JPH1111860A - 天井搬送装置及び天井搬送車 - Google Patents

天井搬送装置及び天井搬送車

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JPH1111860A
JPH1111860A JP9160189A JP16018997A JPH1111860A JP H1111860 A JPH1111860 A JP H1111860A JP 9160189 A JP9160189 A JP 9160189A JP 16018997 A JP16018997 A JP 16018997A JP H1111860 A JPH1111860 A JP H1111860A
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Japan
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unit
hand
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traveling
respect
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JP9160189A
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Akiya Morita
日也 森田
Masanao Murata
正直 村田
Hitoshi Kono
等 河野
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Shinko Electric Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Co Ltd
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    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C7/00—Runways, tracks or trackways for trolleys or cranes
    • B66C7/12—Devices for changing direction of travel or for transferring from one runway to another; Crossings; Combinations of tracks of different gauges
    • B66C7/14—Runway interlocking devices
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    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
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    • B66C7/12—Devices for changing direction of travel or for transferring from one runway to another; Crossings; Combinations of tracks of different gauges
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    • B66C11/04—Underhung trolleys
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    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C11/00—Trolleys or crabs, e.g. operating above runways
    • B66C11/08—Trolleys or crabs, e.g. operating above runways with turntables
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14—Wafer cassette transporting

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、天井搬送車がキャリア等の搬送物
を搬送する際に向きを変える場合、搬送物と周辺機器と
の最短距離を保って搬送することができるようにした。 【解決手段】 本発明の天井搬送装置は、天井搬送車５
の走行台車部６が走行方向を変更する分岐部３に入って
回転してもハンド９に把持される搬送物２５の向きを変
わらないようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、天井側に配された
軌道を走行し、搬送物（キャリア）を吊下げ状態し、ク
リーンルム内等に配置されたプロセス処理装置相互間に
搬送物（キャリア）を搬送する天井搬送装置及び天井搬
送車に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばクリーンルームにおける半導体デ
バイス製造用ウェーハ搬送システムにおいては、天井側
の軌道を走行する天井搬送車を用い、ウェーハの入った
キャリアを半導体プロセス処理装置同志の間又は半導体
プロセス処理装置とストッカとの間で搬送しながら処理
をすることが行われる。
【０００３】この天井搬送車は、軌道に沿って走行する
走行台車部、この走行台車部に設けられたハンド吊り下
げ部、このハンド吊り下げ部から昇降自在に吊り下げら
れたハンドからなり、プロセス処理装置のロードポート
に置かれたキャリアを前記ハンドが把持し、前記ハンド
吊り下げ部がハンドを上昇させ、前記走行台車部が前記
軌道に沿って走行する構造になっている。
【０００４】このような半導体デバイス製造用ウェーハ
搬送システムにおいて、単位時間の搬送量を増やした
り、搬送時間を小さくするため、軌道の適所に回転式
（ターンテーブル式）の分岐部を設けることが行われて
いる。この分岐部では、上記天井搬送車がウェーハの入
ったキャリアを把持した状態で９０°向きを変えること
が行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ウェーハの
入ったキャリアは、向きが変わると、中心からの飛び出
し量が変わる形状をしたものが多い。このキャリアの場
合、上面からみると、円形状でなく楕円形状の半分のよ
うな形状である。そのため、前記分岐部がプロセス処理
装置の上方にある場合、回転式の分岐部において、向き
が変わるキャリアがプロセキ機器と干渉しないように十
分な距離を設ける必要がある。
【０００６】しかしながら、半導体デバイス製造用ウェ
ーハ搬送システムにおいては、クリンルーム内に複数の
プロセス処理装置を配置した後に、これら装置の相互に
キャリアを搬送するための軌道を配置するものである。
従って、キャリアの最大飛び出し部分を基準にして、軌
道の配置を行うと、配置に制約を受け、経過を複雑に
し、建屋全体を大きくする等、ときには逆方向のプロセ
ス処理装置の設置台数、配置関係にまで影響を及ぼしか
ねいこともあり得る。
【０００７】そこで、本発明は、天井搬送車がキャリア
等の搬送物を搬送する際に向きを変える場合、搬送物と
プロセス処理装置との最短距離を保って搬送することが
できる天井搬送装置及び天井搬送車を提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１の発明は、天井側の軌道と、前記軌道に設けられた
回転式の分岐部と、前記軌道に沿って走行し前記分岐部
で向きを変える天井搬送車とを備え、前記天井搬送車
は、前記軌道に対する走行台車部と、前記走行台車部に
対して回転可能に設けられたハンド吊り下げ部と、前記
ハンド吊り下げ部から昇降可能に吊り下げられたハンド
と、前記走行台車部が前記分岐部に入って回転すると、
前記吊り下げ部を前記走行台車部に対して前記回転と逆
方向に回転させる駆動手段とを有し、前記走行台車部が
前記分岐部に入って回転してもハンドに把持される搬送
物の向きが変わらないようにしたことを特徴とする天井
搬送装置である。
【０００９】請求項２の発明は、請求項１において、更
に前記分岐部の回転の程度を知って前記駆動手段を駆動
させる制御部を有する。分岐部の回転の程度を知る手段
としては、分岐部の回転角を光通信で受けること、ハン
ド吊り下げ部に内蔵されたジャイロ等の角度検出器によ
るもの、ハンド吊り下げ部に取り付けられ、プロセス機
器側との距離を検出しつつ一定に保つ距離センサによる
ものがある。
【００１０】請求項３の発明は、天井側の軌道と、前記
軌道に設けられた回転式の分岐部と、前記軌道に沿って
走行し前記分岐部で向きを変える走行台車部と、前記走
行台車部に対して回転可能に設けられたハンド吊り下げ
部と、前記ハンド吊り下げ部から昇降可能に吊り下げら
れたハンド部と、前記走行台車部が前記分岐部に入って
回転すると、前記走行台車部の前記吊り下げ部に対する
回転を許容するものの、外部に対して前記吊り下げ部を
回転させないように外部に設けられた第１固定手段と、
前記走行台車部の通常の走行時に前記吊り下げ部が前記
走行台車部に対して回転させない第２固定手段とを備
え、前記走行台車部が前記分岐部に入って回転してもハ
ンド部に把持される搬送物の向きが変わらないようにし
たことを特徴とする天井搬送装置である。
【００１１】請求項４の発明は、請求項３において、前
記第１固定手段は、軌道側に設けられ、前記吊り下げ部
に対して進退自在に設けられたストッパーである。この
ストッバーは分岐部の支持部に設けられ、吊り下げ部の
角又は突起に対して進退自在なリニアアクチュエータが
例示される。
【００１２】請求項５の発明は、天井側の軌道に沿って
走行する走行台車部と、前記走行台車部に対して回転可
能に設けられたハンド吊り下げ部と、前記ハンド吊り下
げ部から昇降可能に吊り下げられるハンド部と、前記吊
り下げ部の前記走行台車部に対する回転を制御する回転
制御手段とを備える天井搬送車である。回転制御手段と
しては、請求項１，２の駆動手段や制御部の他、請求項
３，４の第１固定手段や第２固定手段等がある。制御さ
れる回転の向きは、前記走行台車部が前記分岐部に入っ
て回転してもハンド部に把持される搬送物の向きが変わ
らないのが典型であるが、搬送経路にある種々のプロセ
ス機器の形状に応じて自在な向きに回転させることを含
む。
【００１３】
【本発明の実施形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照しつつ説明する。図１乃至図４は、第１実施形態を
示す図、図５乃至図７は、第２実施形態を示す図であ
る。
【００１４】先ず、図１乃至図４に基づいて、第１実施
形態における天井搬送装置について説明する。図１にお
いて、本発明の天井搬送装置１は、建物等の天井側に設
けられた軌道２と、該軌道２中に設けられた回転式の分
岐部３（以下、分岐装置３という）と、軌道２を走行し
て分岐装置３で走行向きを変えられて該軌道２から分岐
されたバイパス軌道４に走行自在な天井搬送車５とから
構成されている。天井搬送車５は、各軌道２，４を走行
する走行台車部６と、この走行台車部６に回転可能に設
けられたハンド吊り下げ部７と、ハンド吊り下げ部７に
巻取り可能な吊下部材８（帯状のもの）を介して昇降可
能に吊下げられたハンド９とを有し、ハンド９に設けら
れた開閉可能な爪１０により搬送物２５を把持するよう
になっている。
【００１５】回転式の分岐装置３は、建物の天井に固定
された支持部１１に軸支されたターンテーブル１２を備
えている。ターンテーブル１２は、軌道２，２間を接続
し、又はバイパス軌道４に連結自在とされたテーブル軌
道１３と有し、支持部１１から突出する軸端にプーリ１
４が固設されている。又、ターンテーブル１２は、該プ
ーリ１４を介して支持部１１に設けられたテーブル用モ
ータ１５に連結されている。テーブル用モータ１５はこ
の駆動軸端にプーリ１６が固設されており、該プーリ１
６とターンテーブル１２のプーリ１６との間に架け渡さ
れたタイミングベル１７によりターンテーブル１２に連
結されている。これにより、テーブル用モータ１５を駆
動することで、ターンテーブル１２はテーブル軌道１３
が軌道２，２間を接続する状態からバイパス軌道４に接
続される状態に、又はその逆の軌道２，２間を接続する
状態に９０度の旋回角度を有して旋回できる。
【００１６】又、各軌道２，４，１３を走行する走行台
車部６内には、図２に示すように、ハンド吊下部７（ハ
ンド９）を走行台車部６に対して回転させる駆動手段１
８が設けられている。旋回手段１８は、図２に示すよう
に、ハンド吊り下げ部７から走行台車部６内に突出する
軸端に連結されたウオームギア対１９Ａ，１９Ｂと、該
一方のウオームギヤ１９Ｂを回転させるハンド用モータ
２０とから構成されている。これにより、ハンド用モー
タ２０を駆動することで、ハンド吊り下げ部７（ハンド
部９）はウオームギア対１９Ａ，１９Ｂを介してターン
テーブル１２の旋回と逆方向に９０度の旋回角度を有し
て旋回できる。
【００１７】又、各モータ１５，２０は、図３に示すよ
うに、テーブル用制御装置２１又はハンド用制御装置２
２にそれぞれ接続されている。テーブル用制御装置２１
は、建物の図示しない操作装置（地上側）に接続されて
おり、該操作装置から指令に基づいてテーブル用モータ
１５を駆動することでターンテーブル１２を所定角度
（９０度）だけ回転させる制御を行うと共に、テーブル
用モータ１５に接続された図示しないパルスエンコーダ
からのパルス数を計時してターンテーブル１２の回転状
態を回転信号ａとして、例えば支持部１１に設けられた
送信部２３に出力する。ハンド用制御装置２２は、走行
台車部６内に内蔵されており、送信部２３から送信され
る電波を受信する受信部２４から回転信号ａを入力し
て、該回転信号ａに基づいてハンド用モータ２０を駆動
することで、ハンド吊り下げ部７，ハンド９をターンテ
ーブル１２の回転と同期させるように逆方向９０度だけ
回転制御する。これにより、ターンテーブル１２がテー
ブル軌道１３とバイパス軌道４とを接続するために９０
度だけ回転されると、ハンド吊り下げ部７，ハンド９は
ターンテーブル１２の回転に同期して９０度だけ逆回転
されることから、ハンド９に把持された搬送物２５は、
ターンテーブル１２とハンド吊り下げ部７との相逆方向
の回転により向きを変えられることなく、ターンテーブ
ル１２に搬送された状態を維持する。尚、図３において
は、ターンテーブル１２の回転状態を検出することで、
ハンド吊り下げ部７の旋回を制御するようにしたが、こ
れに限定されるものでなく、図４に示すように、ハンド
吊下部７にジャイロ等を使用した角度検出器２６を備
え、ターンテーブル１２が旋回してもハンド吊り下げ部
７の旋回前の角度を保つようハンド用モータ２２の駆動
を制御することでハンド９で把持されている搬送物２５
をターンテーブル１２に搬送された状態に維持して向き
が変わらないようにしても良い。
【００１８】本発明の天井搬送装置１による搬送物２５
の搬送作動を説明する。図１において、天井搬送車５の
ハンド吊り下げ部７からハンド９を下降させて搬送物２
５を爪１０で把持した後に、ハンド９を昇降させること
で搬送物２５を吊下状態で把持する。そして、天井走行
車５により搬送物２５を搬送するため、走行台車部６を
走行させて回転式の分岐装置３まで搬送して、テーブル
軌道１３内で停止させる。
【００１９】この状態で、上記操作装置（地上側）から
の指令に基づいてテーブル用制御装置２１を介してテー
ブル用モータ１５を駆動させることで、ターンテーブル
１２を９０度だけ回転させる。これと同時に、テーブル
用モータ１５からフィートバックされるパルスによりテ
ーブル用制御装置２１は、送信部２３，受信部２４を介
してハンド用制御装置２２に回転信号ａを出力し、該回
転信号ａを入力したハンド用制御装置２２はハンド用モ
ータ２０の駆動を制御するとことで、ハンド吊り下げ部
７（ハンド９）をターンテーブル１２の旋回方向と逆方
向に、該ターンテーブル１２の旋回に同期するように９
０度だけ回転させる。これにより、ハンド９に把持され
ている搬送物２５は、ターンテーブル１２とハンド吊り
下げ部７との相逆向きの回転により、搬送物２５の向き
を変えられることなく、ターンテール１２に搬送された
最初の状態に維持されると共に、ターンテーブル１２が
９０度だけ旋回されてテーブル軌道１３をバイパス軌道
４に接続できる。そして、テーブル軌道１３がバイパス
軌道４に接続されると、走行台車部６を該テーブル軌道
１３からバイパス軌道４に走行させて、天井搬送車５の
搬送方向を分岐装置３により変更する。
【００２０】このように、回転式の分岐装置３により、
ターンテーブル１２を回転させて軌道２からバイパス軌
道４に軌道を変更する際に、ハンド吊り下げ部７をター
ンテーブル１２の回転に同期するように逆方向に回転さ
せることで、搬送物２５の向きを変えることなく、ター
ンテーブル１２に搬送された初期の状態を維持しつつ、
テーブル軌道１３をバイパス軌道４に接続できる。従っ
て、搬送物２５が旋回しないので、回転式の分岐装置３
に隣設して各種装置を配置でき、又、各種装置の背丈を
気にすることなく配置できることから、従来のように各
種装置の台数を減少させる結果として生産性を落とすこ
となく、搬送物２５の単位時間当たりの搬送量の増加や
搬送時間の短縮を図ることが可能となる。又、各種装置
を分岐装置３に隣設できることから、建物の敷地面積を
有効に利用でき、生産性を向上させるために建物を広げ
る必要もなくなる。
【００２１】次に、図５乃至図７に基づいて、第２実施
形態における天井搬送装置について説明する。尚、図５
乃至図７において、図１と同一の符号は同一の構成を有
するので、その説明は省略する。
【００２２】図５に示す天井搬送装置１は、ハンド吊り
下げ部７を固定して、ハンド９に対してターンテーブル
１２を相対的に回転させることで、搬送物２５をターン
テーブル１２に搬送した初期の状態に維持するようにし
たものである。図５において、支持部１１には、ハンド
吊り下げ部７の回転を外部から規制する第１固定手段３
０が設けられており、この第１固定手段３０はハンド吊
り下げ部７に対して進退自在にされたストッパ３１を有
するリニアアクチュエータである。又、走行台車部６の
内部には、図６に示すように、ハンド吊り下げ部７の回
転を内部から規制する第２固定手段３２が設けられてい
る。第２固定手段３２は、ハンド吊り下げ部７から走行
台車部６内に突出する軸端に固定されたディスク３３
と、このディスク３３に押付自在とされたブレーキ３４
とから構成されている。尚、第２固定手段３２は、図６
に示したものに限定されるものでなく、図７に示すよう
に、走行台車部６内に固設された電磁石３５と、電磁石
３５を遊嵌する軸端に固設されたクラッチ板３６により
構成して良く、電磁石３５の励磁におりクラッチ板３６
を吸着してハンド吊り下げ部７の回転を規制し、又電磁
石３５の消磁によりクラッチ板３６を切り離してハンド
吊り下げ部７を回転可能とする。
【００２３】図５に示す天井搬送装置１において、ハン
ド９で搬送物２５を把持した後に、第２固定手段３２の
ブレーキ３４をディスク３３に押付けることで、ハンド
吊り下げ部７の回転を規制する。これにより、搬送中に
搬送物２５が旋回されることが規制される。そして、天
井走行車５により搬送物２５を搬送するため、走行台車
部６を走行させて回転式の分岐装置３まで搬送して、テ
ーブル軌道１３内で停止させる。
【００２４】この状態で、第１固定手段３０によりスト
ッパ３１をハンド吊り下げ部７に進出させて係合するこ
とで、ハンド吊り下げ部７の回転を規制した後に、テー
ブル用モータ１５を駆動してターンテーブル１２を９０
度がけ回転させる。このとき、ハンド吊り下げ部７は第
１固定手段３０のストッパー３１により回転が規制され
ていることから、走行台車部６のみがターンテーブル１
２ととに９０度だけ回転される。この結果、ターンテー
ブル１２のハンド吊り下げ部７に対する相対的な回転に
より、搬送物２５の向きを変えられることなく、ターン
テール１２に搬送された最初の状態に維持されると共
に、ターンテーブル１２が９０度だけ旋回されてテーブ
ル軌道１３をバイパス軌道４に接続できる。そして、第
１固定手段３０によりストッパ３１をハンド吊り下げ部
７から退避させて、天井搬送車５をバイパス軌道４上に
走行させる。
【００２５】つぎに、図１乃至図４の第１実施形態にか
かる天井搬送装置が半導体デバイス製造用ウェーハ搬送
システムに適用された場合について図８乃至図１０によ
り説明する。
【００２６】図８のように、クリーンルム１０１内に配
置された半導体プロセス処理装置１０２やストッカ１０
３等の間で、半導体デバイス製造用ウェーハＷ（以下、
単に、「半導体ウェーハＷ」という）を搬送する搬送シ
ステムとして、半導体ウェーハＷが複数枚単位で収納さ
れたキャリア（搬送物）１０４を吊下げ状態で搬送する
天井搬送システム１０５が用いられる。
【００２７】天井搬送システム１０５は、クリーンルー
ム１０１内に並設された複数の半導体プロセス処理装置
１０２やストッカ１０３のロードポート１１０上に配置
されたループ状の軌道１０６を走行する天井搬送車５で
構成されている。特に中央の半導体プロセス処理装置１
０２の上の軌道１０６に回転式の分岐部１０７が設けら
れている。
【００２８】天井搬送車５は、走行台車部６と、キャリ
ア１０４を吊下げ状態で把持するハンド部９と、ハンド
部９を昇降自在につり下げるハンド吊り下げ部７とで構
成されている。そして、走行台車部６とハンド吊り下げ
部７の間には、図１乃至図４で説明したように、走行台
車部６が分岐部１０７に入って回転すると、吊り下げ部
７を走行台車部６に対して前記回転と逆方向に回転させ
る駆動手段が設けられている。
【００２９】天井搬送システム１０５により、キャリア
１０４に収納された半導体ウェーハＷを搬送するには、
走行台車部６を軌道１０６に走行させることで、ハンド
部９をプロセス装置１０２（ストッカ１０３）のロート
ポート１１０上に移動させる。この状態で、予め搬送シ
ステムに与えられた値に基づき、ハンド吊り下げ部７を
走行台車部６に対して移動させることで、図９に示すよ
うに、ハンド９を、ロードポート１１０位置に合わせ
て、続いて、吊下部材１１を伸ばすことでハンド９をロ
ードポート１１０上にあるキャリア１０４を把持できる
位置まで降ろす。次いで、ハンド９の爪１０を開閉作動
させることでキャリア１０４上部の取手１０４Ａを掴
み、ハンド吊り下げ部７が吊下部材を巻き上げることで
半導体ウェーハＷを収納したキャリア１０４を吊下げ状
態で把持する。
【００３０】ハンド９がキャリア１０４を吊下げ状態で
把持した後に、走行台車部６を走行させることで、他の
プロセス処理装置１０２やストッカ１０３等のロードポ
ート１１０上に搬送し、ハンド吊下部７の移動によりハ
ンド９をロードポート位置に合わせた後に、吊下部材１
１を伸ばすことで他のプロセス装置１０２やストッカ１
０３のロードポート１１０上に降ろす。この状態で、ハ
ンド９の爪１０を開作動することで、キャリア１０４を
ロードポート１１０上に載置し、再び吊下部材１１を巻
き上げることで、次回の搬送に移行する。
【００３１】ところで、天井搬送システムにおいて、単
位時間当たりの搬送量を増やしたり、搬送時間を短縮す
るために、ループ状の軌道１０６を横切る複数のバイパ
ス軌道１０８を配置して、これらパイパス軌道１０８の
両端とループ軌道１０６とを接続・遮断するターンテー
ブル式或いは回転式の分岐部１０７を設けることが行わ
れる。図示例では、中央の半導体プロセス処理装置１０
２の上に分岐部１０７が設けられている。又、分岐部１
０７はプロセス処理装置１０２の天井１０２ｂすれすれ
で回転できるように、即ちハンド９でロードポート１１
０からキャリア１０４を把持して巻き上げた状態（図８
に示す）では、キャリア１０４がプロセス処理装置１０
２に接触するがその回転は確保されるようにされてい
る。
【００３２】分岐部１０７は、回転されてバイパス軌道
１０８と軌道１０６をターンテーブルを備えている。そ
して、キャリア１０４の搬送時間を短縮等するため、ハ
ンド９でキャリア１０４を把持した後に走行台車部６を
ターンテーブルまで搬送して停止した後に、ターンテー
ブルを９０度回転させることで、各ターンテーブル１５
のテーブル軌道をバイパス軌道１０８に接続する。これ
により、ハンド９により把持されたキャリア１０４がル
ープ状の軌道を一周させる必要がなくなることから、バ
イパス軌道１０８を介して搬送量を増加させたり、搬送
時間を短縮できる。
【００３３】ところで、図１０に示されるように、キャ
リア１４の形状は、半楕円形であり、中心から距離Ｌ１
の面がプロセス装置に対面し、プロセス処理装置１０２
との間で距離Ｌ２を保ちながら搬送される。このキャリ
ア１０４が回転すると、キャリア１０４の最大寸法Ｌｍ
ａｘがプロセス装置と干渉しない程度の距離Ｌ２にする
必要がある。ただし、キャリア１０４が回転しないと、
プロセス処理装置１０２との距離Ｌ２を最小限のまま保
つことでできる。
【００３４】そのため、分岐部１０７で走行台車部６が
回転しても、ハンド吊り下げ部７を走行台車部６に対し
て逆方向に回転させ、走行台車部６が分岐部１０７に入
って回転してもハンド９に把持されるキャリア１０４の
向きが変わらないようにすることが重要である。そのよ
うな機能を達成するために、図１〜４の第１実施形態及
び図５〜７の第２実施形態の天井搬送装置が用いられ
る。図９において、走行台車部６が回転してもハンド吊
り下げ部７は図示の状態を保っている。
【００３５】その結果、キャリア１０４を旋回させても
各プロセス処理装置１０２やストッカ１０３に接触しな
いように、分岐部１０７に隣設してプロセス装置１０２
やストッカ１０３を配置するのを避けたり、分岐部１０
７に隣設するプロセス装置１０２やストッカ１０３を背
の低い小型化にするという制約を受けない。そのため、
プロセス処理装置１０２の配置台数を減らすことを余儀
なくされ生産量が低下し、又は生産量を増加するために
プロセス処理装置１０２の台数を増やすとクリーンルー
ム１０１内を広くしなければならないということや、更
に、プロセス処理装置１０２やストッカ１０３の配置台
数の制約から、複雑な搬送を強いられ、搬送量が減少し
たり、搬送時間が長くなるということを回避することが
できる。
【００３６】なお、上述した実施形態では、走行台車部
が前記分岐部に入って回転してもハンドに把持される搬
送物の向きが変わらない場合を説明したが、搬送経路に
ある邪魔物を回避するために、搬送途中に所定角度だけ
ハンド吊り下げ部 走行台車に対して回転させる場合に
も使用可能である。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように請求項１，２の発明
によると、天井搬送車の走行台車部が回転式の分岐部に
入って回転を始めると、回転の程度を知って、その回転
の程度と同じだけ逆向きに吊り下げ部を走行台車部に対
して回転させることができ、ハンドに把持された搬送物
の向きが変わらない。そのため、搬送物とプロセス機器
との間隔を短く保ったまま分岐することが可能になり、
搬送物の旋回に伴ってプロセス機器の高さを低くした
り、プロセス機器との間隔を広げるという制約がなくな
る。特にクリーンルーム内のプロセス機器は狭い場所に
詰め込まれるため、上記制約がなくなると、プロセス機
器の設置台数を増やしたり、複雑な搬送経路にする必要
がなくなる等の優れた効果を奏する。また、天井搬送車
自体が吊り下げ部の回転を制御する機能を有するため、
分岐部自体の構造を複雑にすることがない。
【００３８】請求項３，４の発明によると、天井搬送車
の走行台車部が回転式の分岐部に入って回転を始める
と、第２固定手段がオフ、第１固定手段がオンになり、
吊り下げ部の向きを変えないため、ハンドに把持された
搬送物の向きが変わらない。そのため、搬送物とプロセ
ス機器との間隔を短く保ったまま分岐することが可能に
なり、搬送物の旋回に伴ってプロセス機器の高さを低く
したり、プロセス機器との間隔を広げるという制約がな
くなる。特にクリーンルーム内のプロセス機器は狭い場
所に詰め込まれるため、上記制約がなくなると、プロセ
ス機器の設置台数を増やしたり、複雑な搬送経路にする
必要がなくなる等の優れた効果を奏する。また、分岐部
の各々に第１固定手段を設ける必要があるものの、天井
搬送車自体には第２固定手段が設けるだけでよいため、
天井搬送車の構造を複雑にすることがない。
【００３９】請求項５記載の発明によると、走行台車部
に対して吊り下げ部を回転自在に設け、回転の程度を制
御する回転制御手段を有するため、搬送途中にハンドに
把持される搬送物の向きを自在に変更することができ、
搬送途中にあるプロセス機器との干渉をさけつつ搬送物
を搬送することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の天井搬送装置の斜視図である。
【図２】走行台車部に対する吊り上げ部の回転駆動手段
を示す図である。
【図３】走行台車部に対する吊り上げ部の回転角度を制
御するための制御部を示す図である。
【図４】走行台車部に対する吊り上げ部の回転角度を制
御するための他の制御部を示す図である。
【図５】本発明の他の天井搬送装置の斜視図である。
【図６】走行台車部に対する吊り上げ部の固定手段を示
す図である。
【図７】走行台車部に対する吊り上げ部の他の固定手段
を示す図である。
【図８】半導体デバイス製造用ウェーハ搬送システムに
おける天井搬送装置を示す斜視図である。
【図９】半導体デバイス製造用ウェーハ搬送システムに
おける天井搬送装置の搬送状態を示す側面図である。
【図１０】搬送物として用いられるウェーハ入りのキャ
リアの上面図である。
【符号の説明】
１ 天井搬送装置 ２ 軌道 ３ 分岐装置（分岐部） ５ 天井搬送装置 ６ 走行台車部 ７ ハンド吊下部 ９ ハンド １８ 駆動手段

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 天井側の軌道と、前記軌道に設けられた
    回転式の分岐部と、前記軌道に沿って走行し前記分岐部
    で向きを変える天井搬送車とを備え、 前記天井搬送車は、前記軌道に対する走行台車部と、前
    記走行台車部に対して回転可能に設けられたハンド吊り
    下げ部と、前記ハンド吊り下げ部から昇降可能に吊り下
    げられたハンド部と、前記走行台車部が前記分岐部に入
    って回転すると、前記吊り下げ部を前記走行台車部に対
    して前記回転と逆方向に回転させる駆動手段とを有し、 前記走行台車部が前記分岐部に入って回転してもハンド
    部に把持される搬送物の向きが変わらないようにしたこ
    とを特徴とする天井搬送装置。
  2. 【請求項２】 前記分岐部の回転の程度を知って前記駆
    動手段を駆動させる制御部を有する請求項１記載の天井
    搬送装置。
  3. 【請求項３】 天井側の軌道と、前記軌道に設けられた
    回転式の分岐部と、前記軌道に沿って走行し前記分岐部
    で向きを変える走行台車部と、前記走行台車部に対して
    回転可能に設けられたハンド吊り下げ部と、前記ハンド
    吊り下げ部から昇降可能に吊り下げられたハンド部と、
    前記走行台車部が前記分岐部に入って回転すると、前記
    走行台車部の前記吊り下げ部に対する回転を許容するも
    のの、外部に対して前記吊り下げ部を回転させないよう
    に外部に設けられた第１固定手段と、前記走行台車部の
    通常の走行時に前記吊り下げ部が前記走行台車部に対し
    て回転させない第２固定手段とを備え、 前記走行台車部が前記分岐部に入って回転してもハンド
    部に把持される搬送物の向きが変わらないようにしたこ
    とを特徴とする天井搬送装置。
  4. 【請求項４】 前記第１固定手段は、軌道側に設けら
    れ、前記吊り下げ部に対して進退自在に設けられたスト
    ッパーである請求項３記載の天井搬送装置。
  5. 【請求項５】 天井側の軌道に沿って走行する走行台車
    部と、前記走行台車部に対して回転可能に設けられたハ
    ンド吊り下げ部と、前記ハンド吊り下げ部から昇降可能
    に吊り下げられるハンド部と、前記吊り下げ部の前記走
    行台車部に対する回転を制御する回転制御手段とを備え
    る天井搬送車。
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