CN115447979A - 传送单元、物品传送系统以及传送单元的控制方法 - Google Patents

传送单元、物品传送系统以及传送单元的控制方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种在沿着天花板设置的轨道上行进的传送单元，所述传送单元包括：主体，所述主体设置有行进驱动器；行进轮，所述行进轮通过从所述行进驱动器接收动力而进行旋转；夹持构件，所述夹持构件被配置为夹持物品；升降构件，所述升降构件设置在所述主体与所述夹持构件之间并且被配置为在竖直方向上移动所述夹持构件；以及控制器，其中所述控制器在所述传送单元在所述轨道上行进时使所述夹持构件降低或升高，其中所述控制器控制所述升降构件和所述行进驱动器，使得在所述传送单元以恒定速度行进的定速段中执行所述夹持构件的降低或升高。

Description

传送单元、物品传送系统以及传送单元的控制方法
技术领域
本发明涉及一种传送单元、一种物品传送系统以及一种传送单元的控制方法。
背景技术
一般而言，为了制造半导体器件，执行各种类型的工艺，诸如沉积、光刻和蚀刻，并且执行这些工艺中的每一者的装置被布置在半导体生产线中。可以在被容纳在诸如FOUP或POD的容器中的状态下向每个半导体处理设备提供物品，诸如基板(例如，晶片、玻璃)，这些物品是要在半导体器件制造工艺中处理的对象。另外，可以从每个半导体处理设备将已经执行了工艺的物品收集到容器中，并且可以将收集有物品的容器传送到外部。
容器由诸如高架提升运输(OHT)设备的传送载具传送。传送载具在沿着半导体生产线的天花板设置的轨道上行进。传送载具将容纳有物品的容器传送到半导体处理装置中的任一者的装载端口。另外，传送载具可以从装载端口拾取容纳有经过处理的物品的容器并将该容器传送到外部，或者将该容器传送到半导体处理装置中的另一者。
图1是示出相关技术中的传送载具将容器传送到端口的方法的图。参考图1，一般而言，传送载具A(诸如OHT设备)包括用于保持容器F的夹持器G、连接到夹持器G的带B，以及用于卷绕或解开带B以提升或降低夹持器G的升降器L。此外，传送载具A沿着轨道R行进。当沿着轨道R行进时，传送载具A使容器F放置在端口P中。在图1中，AP表示传送载具A的行进路径。另外，在图1中，GP表示夹持器G的移动路径。
如可以从图1中看出，传送载具A按以下次序运行：移动到端口P的上部部分并停止；解开带B以降低夹持器G和容器F；以及根据夹持器G的打开和闭合而在端口P上将容器F放下、卷绕带B以提升夹持器并且开始行进。然而，以这种方式，传送载具A的等待时间较长，使得传送载具AP的操作效率降低。
为了解决这个问题，如图2所示，可以考虑一种在传送载具A行进的同时卷绕或解开带B的方法。在这种情况下，优点是传送载具A的等待时间可以缩短，使得传送载具A的操作效率可以增加。然而，在这种方法中，由于传送载具A在带B的长度增加的状态下行进，因此连接到带B的夹持器G的位置可能大大改变。例如，图3示出了传送载具A的位置x随时间t的变化、传送载具A的速度v随时间t的变化和带B的长度l随时间t的变化，以及带B的角度θ随时间t的变化。带B的角度θ意指在垂直于地面的轴线与带B之间的角度。如图3所示，可以看出，当带B的长度l从t2到t3(这是传送载具A加速和减速的区段)改变时，带B的角度θ显著改变。在这种情况下，连接到带B的夹持器G也极大地摇晃。另外，当夹持器G在保持容器F时，在容器F中产生杂质(诸如颗粒)，从而污染物品(诸如基板)或损坏物品。
发明内容
提出本发明以便提供一种传送单元、一种物品传送系统以及一种传送单元的控制方法，它们能够稳定地传送物品。
还提出本发明以便提供一种传送单元、一种物品传送系统以及一种传送单元的控制方法，它们能够最小化在物品或容纳有物品的容器中产生的振动。
还提出本发明以便提供一种传送单元、一种物品传送系统以及一种传送单元的控制方法，它们能够缩短传送物品或容纳有物品的容器的时间。
本发明的目的不限于此，并且本领域的普通技术人员将从以下描述中清楚地理解未提及的其他目的。
本发明的示例性实施例提供了一种在沿着天花板设置的轨道上行进的传送单元，所述传送单元包括：主体，所述主体设置有行进驱动器；行进轮，所述行进轮通过从所述行进驱动器接收动力而进行旋转；夹持构件，所述夹持构件被配置为夹持物品；升降构件，所述升降构件设置在所述主体与所述夹持构件之间并且被配置为在竖直方向上移动所述夹持构件；以及控制器，其中所述控制器被配置为控制所述升降构件和所述行进驱动器以在所述传送单元在所述轨道上行进时使所述夹持构件降低或升高，并且所述控制器控制所述升降构件和所述行进驱动器，使得在所述传送单元以恒定速度行进的定速段中执行所述夹持构件的降低或升高。
根据示例性实施例，所述升降构件可以包括：带，所述带与所述夹持构件连接；以及升降驱动器，所述升降驱动器卷绕或解开所述带。
根据示例性实施例，所述控制器可以控制所述行进驱动器和所述升降驱动器，使得所述带的长度在加速段中或在减速段中是固定的。
根据示例性实施例，所述控制器可以控制所述行进驱动器，使得在所述传送单元的行进速度增加的加速段中或在所述传送单元的所述行进速度降低的减速段中执行使所述夹持构件所夹持的所述物品的摇晃衰减的摇晃衰减操作。
根据示例性实施例，所述摇晃衰减操作可以是在所述物品的摇晃周期的半周期中改变所述传送单元的行进加速度的操作。
根据示例性实施例，所述摇晃衰减操作可以是将所述传送单元的所述行进加速度从第一加速度改变为小于所述第一加速度的第二加速度的操作。
根据示例性实施例，所述摇晃衰减操作可以是将所述传送单元的所述行进从处于所述第一加速度的第一加速行进改变为恒定速度行进以及将所述传送单元的所述行进从所述恒定速度行进改变为处于所述第二加速度的第二加速行进的操作。
根据示例性实施例，所述传送单元执行所述恒定速度行进的时间可以比所述传送单元执行所述第一加速行进或所述第二加速行进的时间短。
本发明的另一示例性实施例提供了一种用于沿着连续地设置有半导体处理装置的生产线的天花板来传送容纳有物品的容器的物品传送系统，所述物品传送系统包括：轨道，所述轨道沿着所述天花板设置；端口，所述端口被配置为允许放置所述容器；传送单元，所述传送单元沿着所述轨道行进并且被配置为将所述容器传送到所述端口，其中所述传送单元包括：主体，所述主体设置有行进驱动器；夹持构件，所述夹持构件被配置为夹持所述容器；升降构件，所述升降构件设置在所述主体与所述夹持构件之间并且被配置为在竖直方向上移动所述夹持构件；以及控制器，其中所述控制器被配置为控制所述升降构件和所述行进驱动器以在所述传送单元在所述轨道上行进时使所述夹持构件降低或升高，并且所述控制器控制所述升降构件和所述行进驱动器，使得在所述传送单元以恒定速度行进的定速段中执行所述夹持构件的所述降低或升高。
根据示例性实施例，所述升降构件可以包括：带，所述带与所述夹持构件连接；以及升降驱动器，所述升降驱动器通过卷绕或解开所述带来改变所述带的长度。
根据示例性实施例，所述控制器可以控制所述行进驱动器和所述升降驱动器，使得所述带的所述长度在所述传送单元的行进速度增加的加速段中和在所述传送单元的所述行进速度降低的减速段中是固定的。
根据示例性实施例，所述控制器可以控制所述行进驱动器，使得在所述传送单元的行进速度增加的加速段中或在所述传送单元的所述行进速度降低的减速段中执行使所述夹持构件所夹持的所述物品的摇晃衰减的摇晃衰减操作。
根据示例性实施例，所述摇晃衰减操作可以是在所述物品的摇晃周期的半周期中改变所述传送单元的行进加速度的操作。
根据示例性实施例，所述摇晃衰减操作可以是将所述传送单元的所述行进加速度从第一加速度改变为小于所述第一加速度的第二加速度的操作。
根据示例性实施例，所述摇晃衰减操作可以是将所述传送单元的所述行进从处于所述第一加速度的第一加速行进改变为恒定速度行进并且将所述传送单元的所述行进从所述恒定速度行进改变为处于所述第二加速度的第二加速行进的操作。
根据示例性实施例，所述传送单元执行所述恒定速度行进的时间可以比所述传送单元执行所述第一加速行进或所述第二加速行进的时间短。
本发明的又一实施例提供了一种控制传送单元的方法，所述传送单元在沿着半导体生产线的天花板设置的轨道上行进并且传送容纳有基板的容器，所述传送单元包括：行进轮，所述行进轮在所述轨道上行进；行进驱动器，所述行进驱动器用于向所述行进轮传递动力；夹持构件，所述夹持构件用于夹持所述容器；带，所述带与所述夹持构件连接；以及升降驱动器，所述升降驱动器用于通过卷绕或解开所述带来改变所述带的长度，所述方法包括：控制所述升降驱动器以在所述传送单元沿着所述轨道以恒定速度行进的定速段、所述传送单元的行进速度增加的加速段和所述传送单元的所述行进速度降低的减速段之中的所述定速段中改变所述带的所述长度。
根据示例性实施例，可以控制所述升降驱动器，使得所述带的长度在所述加速段和所述减速段中是固定的。
根据示例性实施例，可以控制所述行进驱动器，以在所述加速段中或在所述减速段中执行使所述夹持构件所夹持的所述物品的摇晃衰减的摇晃衰减操作。
根据示例性实施例，所述摇晃衰减操作可以是在所述物品的摇晃周期的半周期中改变所述传送单元的行进加速度的操作。
本发明的又一示例性实施例提供了一种控制传送单元以致使所述传送单元执行以下操作的方法，所述传送单元在沿着半导体生产线的天花板设置的轨道上行进并且传送容纳有基板的容器，所述传送单元包括：行进轮，所述行进轮在所述轨道上行进；行进驱动器，所述行进驱动器用于向所述行进轮传递动力；夹持构件，所述夹持构件用于夹持所述容器；以及升降驱动器，所述升降驱动器用于改变所述夹持构件的高度，所述操作包括：在所述传送单元到达放置有所述容器的端口的上部部分之前使所述夹持构件降低；在所述夹持构件的高度固定的同时将所述传送单元移动到所述端口的所述上部部分；以及通过所述夹持构件将所述容器装载到所述端口或从所述端口卸载所述容器。
根据示例性实施例，所述操作还包括：在所述夹持构件的所述高度固定的同时使所述传送单元离开所述端口的所述上部部分；以及在所述传送单元离开所述端口的所述上部部分之后使所述夹持构件升高。
根据示例性实施例，可以在所述传送单元行进的同时执行所述夹持构件的所述降低或所述夹持构件的所述升高。
根据示例性实施例，可以在所述传送单元以恒定速度行进的同时执行所述夹持构件的所述降低或所述夹持构件的所述升高。
根据示例性实施例，所述传送单元的速度可以在所述夹持构件的所述高度固定的同时被改变。
根据示例性实施例，可以稳定地传送物品。
此外，根据本发明的示例性实施例，可以最小化在物品或容纳有物品的容器中产生振动。
此外，根据本发明的示例性实施例，可以缩短用于传送物品或容纳有物品的容器的时间。
本发明的效果不限于上述效果，并且本领域技术人员从本说明书和附图中可以清楚地理解未提及的效果。
附图说明
图1是示出相关技术中的运输载具将容器运输到端口的方法的图。
图2是示出传送载具将容器传送到端口的改进方法的图。
图3是示出图2的传送载具的位置变化、传送载具的速度变化、传送载具的带长度变化以及传送载具的带角度变化的曲线图。
图4是示意性地示出从上方观察的半导体生产线的状态的图。
图5是示出从前方观察的传送单元在图4的轨道上行进的图。
图6是示出从侧面观察的传送单元在图4的轨道上行进的图。
图7是示出从上方观察的传送单元在图4的轨道上行进的图。
图8是示出从上方观察的本发明的传送单元在分支区域中保持行进方向时行进的情况的图。
图9是示出从上方观察的本发明的传送单元在分支区域中改变行进方向时行进的情况的图。
图10是示出本发明的传送单元传送容纳有物品的容器的状态的图。
图11是示出根据本发明的用于旋转行进轮的行进驱动器的旋转速度和用于卷绕或解开带的升降驱动器的旋转速度的曲线图。
图12是示出根据本发明的传送单元的位置变化、传送单元的速度变化、传送单元的带长度变化以及传送单元的带角度变化的曲线图。
图13、图14和图15是示出用于描述图11的摇晃衰减操作的带角度变化的曲线图。
具体实施方式
在下文中，将在下文参考附图更全面地描述本发明的示例性实施例，在这些附图中示出了本发明的示例性实施例。然而，本发明可以被不同地实施并且不限于以下实施例。在本发明的以下描述中，省略并入本文中的已知功能和配置的详细描述以避免使本发明的主题变得不清楚。此外，对于具有类似功能和作用的部分，在整个附图中使用相同的附图标记。
除非明确地相反地描述，否则词语“包括”和诸如“包括了”或“包括有”的变体将被理解为暗示包括所陈述的元件，但不排除任何其他元件。应当了解，术语“包括”和“具有”旨在指定存在特性、数量、步骤、操作、组成元件和本说明书中所描述的部件或它们的组合，但是并不排除预先存在或添加一个或多个其它特性、数量、步骤、操作、组成元件和部件或它们的组合的可能性。
本文所使用的单数表达包括复数表达，除非它们在上下文中具有明确相反的含义。因此，为了更清楚地描述，图中元件的形状、大小等可能被夸大。
诸如第一和第二的术语用于描述各种组成元件，但是所述组成元件不受术语的限制。术语仅仅是用于将一个组成元件与另一个组成元件进行区分。例如，在不脱离本发明的范围的情况下，第一组成元件可以称为第二组成元件，并且类似地，第二组成元件可以称为第一组成元件。
应当理解，当一个组成元件被称为“联接”或“连接”到另一个组成元件时，一个组成元件可直接联接或连接到另一个组成元件，但是也可以存在中间元件。相反，当一个组成元件“直接联接”或“直接连接”到另一个组成元件时，应该理解不存在中间元件。描述组成元件之间关系的其他表述也应类似地解释，诸如“位于……之间”和“直接位于……之间”或“邻近”以及“直接邻近”。
本文使用的所有术语，包括技术或科学术语，具有与本领域技术人员通常理解的含义相同的含义，除非它们被不同地定义。在一般使用的词典中定义的术语应该被解释为它们具有与相关技术的上下文中的那些含义相匹配的含义，并且不应该被解释为理想的或过分正式的含义，除非它们在本申请中被明确定义。
本示例性实施例的物品传送系统可以用于传送容器。特别地，本示例性实施例的物品传送系统传送容纳有物品的容器。物品可以是基板，诸如晶片、玻璃或光罩。容纳有物品的容器可以是前开式统一吊舱(FOUP)或磁带盒。此外，容纳有物品的容器可以是POD。另外，容纳有物品的容器可以包括用于容纳多个印刷电路板的盒、用于容纳多个半导体封装的托盘等。
在下文中，将描述物品传送系统将容纳有基板(诸如晶片)的容器传送到设置在半导体生产线中的半导体处理装置的情况作为示例。将基于用于制造半导体元件的基板作为示例来描述由物品传送装置传送的物品。然而，本发明不限于此，并且本示例性实施例的物品传送装置可以同样或类似地应用于需要传送物品和/或容纳有物品的容器的各种生产线。
在下文中，将参考图4至图15详细地描述本发明的示例性实施例。
图4是示意性地示出从上方观察的半导体生产线的状态的图。参考图4，根据本发明的物品传送系统1000可以将容纳有物品的容器20传送到连续地布置有半导体处理设备10的半导体生产线。物品传送系统1000可以包括轨道300、传送单元500和稍后将描述的端口P。端口P可以是半导体制造设备10包括的并且在其上放置容器20的装载端口。替代地，端口P可以是用于储存容器20的容器储存装置(未示出)包括的端口。替代地，端口P可以是安装在半导体生产线的天花板上的缓冲框架。
轨道300提供稍后将描述的传送单元500沿着其行进的路径。轨道300可以包括行进轨道310和分支轨道330。轨道300可以固定地安装在半导体生产线的天花板上。
传送单元500可以被称为载具或传送载具。传送单元500可以是高架提升装置。传送单元500可以夹持容器20。传送单元500可以沿着轨道300在预定路径上行进。
在图4中，轨道300被示出为大致六边形形状，但轨道300的形状可以不同地修改，诸如圆形形状或正方形形状。轨道300沿着半导体生产线的天花板设置并且可以安装成使得可以从上方检查半导体处理装置10。轨道300的安装范围可以布置在宽广区域中，使得可以看到整个半导体处理装置10。
图5是示出从前方观察的传送单元在图4的轨道上行进的图，图6是示出从侧面观察的传送单元在图4的轨道上行进的图，并且图7是示出从上方观察的传送单元在图4的轨道上行进的图。
参考图5至图7，如上所述，物品传送系统1000可以包括轨道300和传送单元500。
轨道300可以包括驱动轨道310和转向轨道330。
行进轨道310可以提供稍后将描述的传送单元500沿着其行进的行进路径。稍后将描述的传送单元500的行进轮520可以与行进轨道310接触。行进轨道310可以设置有多个，并且可以设置为彼此间隔开。例如，行进轨道310可以设置为一对。该一对行进轨道310可以彼此平行并且可以设置在相同高度处。
转向轨道330可以改变稍后将描述的传送单元500的行进方向。转向轨道330可以与稍后将描述的传送单元500的转向轮532接触。转向轨道330可以包括平直分支轨道332和弯曲分支轨道334。平直分支轨道332可以在行进轨道310分支的区域中保持传送单元500的行进路径。另外，弯曲分支轨道334可以在行进轨道310分支的区域中保持传送单元500的行进路径。
传送单元500可以在轨道300上行进。传送单元500可以在行进轨道310上行进。传送单元500可以夹持容器20。传送单元500可以在夹持容器20的同时在轨道300上行进。传送单元500可以包括主体510、行进轮520、转向构件530、框架540、颈部550、滑动件560、升降构件570、夹持构件580以及控制器590。
行进轮520、转向构件530和颈部550可以联接到主体510。行进轮520可以可旋转地联接到主体510。另外，主体510可以设置有用于旋转行进轮520的行进驱动器511。另外，主体510可以设置有控制传送单元500的操作的控制器590。而且，转向构件530可以设置在主体510的上表面上。另外，颈部550可以可旋转地联接到主体510。
行进驱动器511可以向行进轮520传递动力以旋转行进轮520。另外，可以设置多个主体510。每个主体510可以具有上述行进驱动器511。另外，前述驱动轮520、转向构件530和颈部550可以联接到每个主体510。
行进轮520可以可旋转地联接到主体510。行进轮520可以通过从行进驱动器511接收动力进行旋转。行进轮520可以在与轨道300接触的同时进行旋转。行进轮520可以联接到主体510。行进轮520可以可旋转地联接到主体510。行进轮520可以与轨道300中的行进轨道310接触，并且可以进行旋转以在行进轨道310上行进。可以设置多个行进轮520。驱动轮520可以设置为一对。行进轮520中的一者可以可旋转地联接到主体510的一个表面，并且行进轮520中的另一者可以可旋转地联接到与主体510的一个表面相反的另一表面。
转向构件530可以设置在主体510上方。转向构件530可以包括多个转向轮532和转向轨道534。当从上方观察时，转向轮532可以沿着平行于传送单元500的行进方向的方向设置。另外，当从上方观察时，转向轨道534的纵向方向可以与垂直于传送单元500的行进方向的方向平行。而且，转向轮532的位置可以沿着转向轨道534的纵向方向变化。
框架540可以具有内部空间。稍后将描述的滑动件560、升降构件570和夹持构件580可以设置在框架540的内部空间中。另外，框架540可以具有六面体形状，其中横向表面和下表面两者都打开。也就是说，框架540的前表面和后表面可以设置为挡板。因此，可以防止通过空气阻力保持的容器20在传送单元500行进时摇晃。另外，框架540可以经由颈部550联接到主体510。颈部550可以相对于主体510和框架540可旋转地设置。框架540可以经由至少一个颈部550联接到至少一个主体510。例如，可以设置一个框架540，并且两个颈部550可以联接到一个框架540。另外，两个颈部550可以相应地分别联接到不同的主体510。
滑动件560可以联接到框架540。滑动件560可以联接成使得滑动件560相对于框架540的位置可以变化。滑动件560可以设置在框架540的内部空间中，并且可以联接到框架540的下表面。滑动件560可以联接到框架540以便相对于传送单元500的行进方向在左侧和右侧改变滑动件560的位置。而且，滑动件560可以联接到稍后将描述的升降构件570。因此，升降构件570的位置可以通过改变滑动件560的位置来改变。
升降构件570可以设置在主体510与夹持构件580之间。升降构件570可以使夹持构件580在竖直方向上移动。升降构件570可以使夹持构件580升高或降低。升降构件570可以包括升降驱动器571和带572。升降构件570可以被称为提升装置。升降驱动器571可以通过卷绕或解开带572来改变悬置的带572的长度。例如，当升降驱动器571解开带572时，带572的长度可以增加，并且当升降驱动器571卷绕带572时，带572的长度可以缩短。另外，可以设置多个带572。多个带572中的每一者的一端可以连接到夹持构件580。
夹持构件580可以夹持容器20。当夹持构件580闭合时，夹持构件580可以夹持容器20。当夹持构件580打开时，夹持构件580可以释放容器20。也就是说，夹持构件580可以可拆卸地夹持容器20。夹持构件580可以从端口P(诸如半导体处理设备的装载端口)卸载容器20。
控制器590可以设置在主体510中，如上所述。控制器590可以设置在主体510的内部空间中。控制器590可以控制传送单元500的部件中的至少一者，例如，行进驱动器511、升降驱动器571和滑动件560。另外，控制器590可以生成用于执行下面将描述的传送单元500的控制方法的控制信号。
图8是示出从上方观察的本发明的传送单元在分支区域中保持行进方向时行进的情况的图。参考图8，当传送单元500在分支区域中保持行进方向的情况下行进时，转向构件530的转向轮532移动到与平直分支轨道332接触的位置。因此，在分支区域中，行进轮520与行进轨道310中的任一者接触，转向轮532与平直分支轨道332接触，并且保持传送单元500的行进方向。
图9是示出从上方观察的本发明的传送单元在分支区域中改变行进方向时行进的情况的图。参考图9，当传送单元500在分支区域中改变行进方向时，转向构件530的转向轮532移动到与弯曲分支轨道334接触的位置。因此，在分支区域中，行进轮520与行进轨道310中的任一者接触，转向轮532与弯曲分岔轨道334接触，并且改变输送单元500的行进方向。
在下文中，将详细地描述根据本发明的示例性实施例的控制传送单元500的方法，更具体地，用于执行物品传送方法的传送单元500的控制方法。
图10是示出本发明的传送单元传送容纳有物品的容器的状态的图。在图10中，AP表示传送单元500的行进路径。GP表示夹持构件570的移动路径。参考图10，传送单元500可以将容纳有物品的容器20传送到端口P。传送单元500可以沿着行进轨道310移动以将容器20传送到端口P。例如，在传送单元500到达放置容器20的端口P的上部部分之前，升降驱动器571可以使夹持构件580降低。当完成夹持构件580的降低时，夹持构件580的高度可以固定。在夹持构件580的高度固定时，传送单元500可以移动到端口P的上部部分。此后，夹持构件580可以将容器20装载到端口P中或从端口P卸载容器20。图10示出了传送单元500将容器20装载到端口P中的操作。例如，当传送单元500在端口P的上部部分停止时，夹持构件580可以打开。当夹持构件580完成装载或卸载容器20的操作时，传送单元500可以开始行进。此时，传送单元500可以离开端口P的上部部分，而夹持构件580的高度是固定的。在传送单元500离开端口P的上部部分之后，夹持构件580可以向上移动。
夹持构件580的高度可以通过升降驱动器571来改变。而且，改变夹持构件580的高度的操作(也就是说，升降驱动器571卷绕或解开带572以使夹持构件280降低或升高的操作)可以在传送单元500行进时执行。由于在传送单元500行进时执行夹持构件580的高度控制，因此传送单元500的等待时间(例如，停止时间)可以缩短。因此，可以缩短传送单元500传送物品或容纳有物品的容器20的时间。
图11是示出根据本发明的用于旋转行进轮的行进驱动器的旋转速度和用于卷绕或解开带的升降驱动器的旋转速度的曲线图，并且图12是示出根据本发明的传送单元的位置变化、传送单元的速度变化、传送单元的带长度变化以及传送单元的带角度变化的曲线图。
尽管图11中的VP1表示行进驱动器511的旋转速度，但VP1可以表示传送单元500的行进速度。另外，VP2表示升降驱动器571的旋转速度，但VP2也可以表示带572的长度变化速度。
图12可以表示传送单元500的位置x随时间t的变化，以及传送单元500的速度v的变化、传送单元500的带572的长度l的变化，加之传送单元500的带572的角度θ的变化。角度θ可以意指带572的纵向轴线与垂直于地面的轴线之间的角度。
如图11和图12所示，传送单元500的行进可以具有加速段S10、定速段S20和减速段S30。加速段S10(t0至t3)可以是传送单元500的行进速度增加的区段。定速段S20(t3至t6)可以是传送单元500以恒定速度行进的区段。减速段S30(t6至t9)可以是传送单元500的行进速度降低的区段。定速段S20可以是加速段S10与减速段S30之间的区段。
在加速段S10或减速段S30中，传送单元500可以执行摇晃衰减操作以衰减由夹持构件580夹持的容器20的摇晃。摇晃衰减操作可以通过改变输送单元500的行进速度来执行。例如，摇晃衰减操作可以是在容纳物品(诸如基板)的容器20的摇晃周期的一半中改变传送单元500的加速度的大小的操作。
摇晃周期可以是在停止的传送单元500在t0开始行进时容器20发生摇晃的周期。另外，摇晃周期可以是在以恒定速度行进的传送单元500在t6开始减速时容器20发生摇晃的周期。
摇晃衰减操作可以是将传送单元500的行进加速度从第一加速度改变为小于第一加速度的第二加速度的操作。例如，摇晃衰减操作可以是将传送单元的行进从第一加速度的第一加速行进(t0至t1或t6至t7)改变为恒定速度行进(t1至t2或t7至t8)以及将传送单元的行进从恒定速度行进(t1至t2或t7至t8)改变为第二加速度的第二加速行进(t2至t3或t8至t9)的操作。另外，传送单元500以恒定速度行进的时间(t1至t2或t7至t8)可以比传送单元500执行第一加速行进(t0至t1或t6至t7)和/或第二加速行进(t2至t3或t8至t9)的时间短得多。
在下文中，将参考图13至图15更详细地描述本申请的摇晃衰减操作。图13示出了在不执行本申请的摇晃衰减操作时带572的角度θ的变化。如图13所示，当传送单元500加速/减速时，带572的角度θ因惯性而改变为具有一个周期Tc的波形A。在一般情况下，应该在等待直到带572的角度θ的变化稳定(也就是说，振动消除)之后执行操作，诸如夹持容器20。然而，如图14所示，当在相同事件的波形B的半周期(1/2Tc)之后产生大小较小的摇晃时，只剩下如图15所示的波形R。也就是说，本发明的摇晃衰减操作可以通过以下方式来最小化容器20中发生的摇晃：在加速段S10或减速段S30中、在容器20中引起摇晃的事件(加速开始或减速开始)之后，在容器20中发生的摇晃周期的半周期(1/2Tc)之后再次在容器20中产生具有相同周期的摇晃(在从t1至t2的恒定速度行进之后再次开始加速，或在从t7至t8的恒定速度行进之后再次开始减速)。
再次参考图11和图12，在该摇晃衰减操作中，传送单元500的行进加速度的大小可以在容器20的摇晃周期的半周期(1/2Tc)中改变。例如，改变行进加速度的大小的操作可以是传送单元500的行进加速度的大小从第一加速度在t1或t7改变为0并且在t2或t8之后改变为第二加速度的操作。第二加速度可以是小于第一加速度的速度。此外，间隔t0至t1可以大于间隔t2至t3。而且，间隔t6至t7可以大于t8至t9。
而且，在带572中，带572的长度l在加速段S10和/或减速段S30中可以固定。也就是说，在加速段S10和/或减速段S30中从主体510到夹持构件580的距离可以固定。
可以在定速段S20中改变带572的长度l。换句话说，可以在定速段S20中执行夹持构件580的升高或降低。在定速段S20中，由于传递到传送单元500的部件的合力为0，因此即使改变带572的长度l(夹持构件580的高度变化)，也可以尽可能抑制摇晃的发生。
另外，当带572的长度l在加速段S10和/或减速段S30中改变时，夹持构件580的摆动周期(这是上述振动衰减操作的参数)改变，使得未能抑制摇晃。因此，在根据本发明的示例性实施例的传送单元500的控制方法中，带572的长度l在加速段S10和减速段S30中固定，并且带572的长度l在其中不需要振动衰减操作的定速段S20中改变，由此最小化上述问题的发生。
在前述示例中，尽管已经描述了在传送单元500行进的区段中的定速段S20中改变带572的长度l的情况作为示例，但本发明不限于此。例如，当传送单元500的滑动件560移动升降构件570时，传送单元500的升降构件560的行进可以具有加速段、定速段和减速段。在这种情况下，可以在传送单元500的升降构件560的行进区段当中的定速段中改变带572的长度。
在上述示例中，已经描述了将物品传送系统1000应用于半导体生产线的情况作为示例，但本发明不限于此。例如，物品传送系统1000可以等同地或类似地应用于需要传送物品的各种生产线。
前述详细描述示出了本发明。此外，以上内容示出并描述了本发明的示例性实施例，并且本发明可以在各种其他组合、修改和环境中使用。也就是说，在本说明书所公开的发明构思的范围、与本公开等同的范围和/或本领域技术人员或知识的范围内，可以对前述内容进行修改或修正。前述示例性实施例描述了用于实现本发明的技术精神的最佳状态，并且本发明的特定应用领域和用途所需要的各种变化都是可能的。因此，以上本发明的详细描述不意图将本发明限于所公开的示例性实施例。此外，所附权利要求应被解释为也包括其他示例性实施例。

Claims (20)

1.一种在沿着天花板设置的轨道上行进的传送单元，所述传送单元包括：
主体，所述主体设置有行进驱动器；
行进轮，所述行进轮通过从所述行进驱动器接收动力而进行旋转；
夹持构件，所述夹持构件被配置为夹持物品；
升降构件，所述升降构件设置在所述主体与所述夹持构件之间并且被配置为在竖直方向上移动所述夹持构件；以及
控制器，
其中所述控制器被配置为控制所述升降构件和所述行进驱动器以在所述传送单元在所述轨道上行进时使所述夹持构件降低或升高，并且所述控制器控制所述升降构件和所述行进驱动器，使得在所述传送单元以恒定速度行进的定速段中执行所述夹持构件的所述降低或升高。
2.根据权利要求1所述的传送单元，其中所述升降构件包括：
带，所述带与所述夹持构件连接；以及
升降驱动器，所述升降驱动器卷绕或解开所述带。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的传送单元，其中所述控制器控制所述行进驱动器，使得在所述传送单元的行进速度增加的加速段中或在所述传送单元的所述行进速度降低的减速段中执行使所述夹持构件所夹持的所述物品的摇晃衰减的摇晃衰减操作。
4.根据权利要求3所述的传送单元，其中所述控制器控制所述行进驱动器和所述升降驱动器，使得所述带的长度在所述加速段中或在所述减速段中是固定的。
5.根据权利要求3所述的传送单元，其中所述摇晃衰减操作是在所述物品的摇晃周期的半周期中改变所述传送单元的行进加速度的操作。
6.根据权利要求5所述的传送单元，其中所述摇晃衰减操作是将所述传送单元的所述行进加速度从第一加速度改变为小于所述第一加速度的第二加速度的操作。
7.根据权利要求6所述的传送单元，其中所述摇晃衰减操作是将所述传送单元的所述行进从处于所述第一加速度的第一加速行进改变为恒定速度行进并且将所述传送单元的所述行进从所述恒定速度行进改变为处于所述第二加速度的第二加速行进的操作。
8.根据权利要求7所述的传送单元，其中所述传送单元执行所述恒定速度行进的时间比所述传送单元执行所述第一加速行进或所述第二加速行进的时间短。
9.一种用于沿着连续地设置有半导体处理装置的生产线的天花板来传送容纳有物品的容器的物品传送系统，所述物品传送系统包括：
轨道，所述轨道沿着所述天花板设置；
端口，所述端口被配置为允许放置所述容器；
传送单元，所述传送单元沿着所述轨道行进并且被配置为将所述容器传送到所述端口，
其中所述传送单元包括：
主体，所述主体设置有行进驱动器；
行进轮，所述行进轮通过从所述行进驱动器接收动力而进行旋转；
夹持构件，所述夹持构件被配置为夹持所述容器；
升降构件，所述升降构件设置在所述主体与所述夹持构件之间并且被配置为在竖直方向上移动所述夹持构件；以及
控制器，并且
其中所述控制器被配置为控制所述升降构件和所述行进驱动器以在所述传送单元于所述轨道上行进时使所述夹持构件降低或升高，并且所述控制器控制所述升降构件和所述行进驱动器，使得在所述传送单元以恒定速度行进的定速段中执行所述夹持构件的所述降低或升高。
10.根据权利要求9所述的物品传送系统，其中所述升降构件包括：
带，所述带与所述夹持构件连接；以及
升降驱动器，所述升降驱动器通过卷绕或解开所述带来改变所述带的长度。
11.根据权利要求10所述的物品传送系统，其中所述控制器控制所述行进驱动器和所述升降驱动器，使得所述带的所述长度在所述传送单元的行进速度增加的加速段中和在所述传送单元的所述行进速度降低的减速段中是固定的。
12.根据权利要求9至11中任一项所述的物品传送系统，其中所述控制器控制所述行进驱动器，以在所述传送单元的所述行进速度增加的所述加速段中或在所述传送单元的所述行进速度降低的所述减速段中执行使所述夹持构件所夹持的所述物品的摇晃衰减的摇晃衰减操作。
13.根据权利要求12所述的物品传送系统，其中所述摇晃衰减操作是在所述物品的摇晃周期的半周期中改变所述传送单元的行进加速度的操作。
14.根据权利要求13所述的物品传送系统，其中所述摇晃衰减操作是将所述传送单元的所述行进加速度从第一加速度改变为小于所述第一加速度的第二加速度的操作。
15.根据权利要求14所述的物品传送系统，其中所述摇晃衰减操作是将所述传送单元的所述行进从处于所述第一加速度的第一加速行进改变为恒定速度行进并且将所述传送单元的所述行进从所述恒定速度行进改变为处于所述第二加速度的第二加速行进的操作。
16.根据权利要求14所述的物品传送系统，其中所述传送单元执行所述恒定速度行进的时间比所述传送单元执行所述第一加速行进或所述第二加速行进的时间短。
17.一种控制传送单元的方法，所述传送单元在沿着半导体生产线的天花板设置的轨道上行进并且传送容纳有基板的容器，所述传送单元包括：行进轮，所述行进轮在所述轨道上行进；行进驱动器，所述行进驱动器用于向所述行进轮传递动力；夹持构件，所述夹持构件用于夹持所述容器；带，所述带与所述夹持构件连接；以及升降驱动器，所述升降驱动器用于通过卷绕或解开所述带来改变所述带的长度，所述方法包括：
控制所述升降驱动器以在所述传送单元沿着所述轨道以恒定速度行进的定速段、所述传送单元的行进速度增加的加速段和所述传送单元的所述行进速度降低的减速段之中的所述定速段中改变所述带的所述长度。
18.根据权利要求17所述的方法，其中控制所述升降驱动器，使得所述带的长度在所述加速段中和在所述减速段中是固定的。
19.根据权利要求17或18所述的方法，其中控制所述行进驱动器，以在所述加速段中或在所述减速段中执行使所述夹持构件所夹持的所述物品的摇晃衰减的摇晃衰减操作。
20.根据权利要求19所述的方法，其中所述摇晃衰减操作是在所述物品的摇晃周期的半周期中改变所述传送单元的行进加速度的操作。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57141389A (en) * 1981-02-20 1982-09-01 Nippon Steel Corp Center rest controlling method for suspension type crane
JPH07257876A (ja) * 1994-03-22 1995-10-09 Nkk Corp クレーンの振れ止め制御方法
JP3349833B2 (ja) * 1994-09-12 2002-11-25 石川島播磨重工業株式会社 ケーブルクレーンの運転方法
JP6539961B2 (ja) * 2014-09-01 2019-07-10 村田機械株式会社 搬送車システム及び搬送車システムの制御方法
JP6424705B2 (ja) * 2015-03-27 2018-11-21 村田機械株式会社 搬送車システム
JP6471702B2 (ja) * 2016-01-12 2019-02-20 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP6819224B2 (ja) * 2016-10-31 2021-01-27 株式会社ダイフク 搬送車
KR102316936B1 (ko) * 2019-11-07 2021-10-25 세메스 주식회사 비히클 및 비히클의 속도 조절 방법

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