KR20230099619A - 비히클, 물품 반송 장치 및 물품 반송 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 공정 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 및 상기 주행 레일을 주행하는 비히클;을 포함하고, 상기 비히클은, 기판을 보관하는 용기를 홀딩하는 홀더를 포함하는 주행체;와 상기 주행체에 결합되고, 상기 주행 레일을 주행하는 주행 휠; 및 상기 주행체에 대해서 회전 가능하도록 제공되는 커버 유닛을 포함하며, 상기 커버 유닛은, 주행 방향에 있어서 상기 주행체의 전방부에 설치되는 커버 플레이트; 및 기 커버 플레이트의 각도를 조절하는 각도 조절 부재를 포함하는 물품 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 기판을 반송하는 비히클에 접촉되는 기류의 저항을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

Description

비히클, 물품 반송 장치 및 물품 반송 방법{VEHICLE, ARTICLE TRANSPORT APPARATUS AND ARTICLE TRANSPORT METHOD}
본 발명은 비히클, 물품 반송 장치 및 물품 반송 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 천장의 레일을 따라 이동하며 기판을 반송하는 비히클, 물품 반송 장치 및 물품 반송 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 반송된다. 상기 OHT는 상기 반도체 공정 장치들이 구비된 공간의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다.
도 1 내지 도 3은 일반적인 물품 반송 장치에서 비히클의 모습을 보여주는 도면이다. 도 1 내지 도 3을 참조하면, 일반적인 물품 반송 장치(10)는 비히클(12), 레일(11)을 포함할 수 있다. 비히클(12)에는 복수개의 주행 휠(13)이 결합되며, 주행 휠(13)은 레일(11)을 따라 회전되어 비히클(12)을 이동시킨다. 또한, 비히클(12)은 프레임(14)과 결합될 수 있다. 프레임(14)은 레일(11) 보다 아래에 배치될 수 있다. 프레임(14)이 가지는 내부 공간에는 용기(C)를 파지하는 그립 부재(15)가 제공될 수 있다. 그립 부재(15)는 용기(C)를 파지할 수 있다.
프레임(14)은 내부 공간에 용기(C)가 흔들리는 것을 방지하기 위해 육면체 형상으로 제공되는데, 비히클(12)의 주행시에 커버는 공기 저항의 측면에서 매우 비효율적이며, 비히클(12)을 구동하는대에 필요한 전력의 소비량이 증가하게 된다.
또한, 프레임(14)과 용기(C)가 레일(11)보다 하부에 위치함으로써 비히클(12)의 무게중심이 레일(11)의 아래에 형성된다. 이에 따라, 도 2에 도시된 바와 같이, 비히클(12)의 가속시에 주행 방향을 기준으로 비히클(12)의 후방에 제공되는 주행 휠(13)이 레일(11)과의 접지력이 저하되고, 도 3에 도시된 바와 같이, 비히클(12)의 감속시에는 주행 방향을 기준으로 비히클(12)의 전방에 제공되는 주행 휠(13)의 접지력이 저하되어 정지시 비히클(12)의 제동 안정성이 떨어지게 된다.
본 발명은 주행하는 비히클의 주행 효율을 높일 수 있는 비히클, 물품 반송 설비 및 물품 반송 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 주행중인 비히클의 주행 휠의 접지력을 높일 수 있는 물품 반송 설비를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 비히클에 부딪히는 공기 저항을 저감할 수 있는 물품 반송 설비를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 물품 반송 장치는 공정 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 주행 레일을 주행하는 비히클을 포함하고, 상기 비히클은, 기판을 보관하는 용기를 홀딩하는 홀더를 포함하는 주행체와 상기 주행체에 결합되고, 상기 주행 레일을 주행하는 주행 휠 및 상기 주행체에 대해서 회전 가능하도록 제공되는 커버 유닛을 포함하며, 상기 커버 유닛은, 주행 방향에 있어서 상기 주행체의 전방부에 설치되는 커버 플레이트 및 상기 커버 플레이트의 각도를 조절하는 각도 조절 부재를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 커버 플레이트는, 상기 주행 방향에 수직한 평면에서 상하 방향에 대해 수직한 축을 기준으로 회전되도록 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 각도 조절 부재는, 상기 주행 방향에 대해 상기 커버 플레이트의 각도를 조절하는 구동기와 상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 비히클의 주행 중 가속도가 0보다 클 경우, 상기 커버 플레이트의 상단으로 갈수록 상기 커버 플레이트가 상기 주행체로부터 멀어지도록 상기 구동기를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 비히클의 주행 중 가속도가 0보다 작을 경우, 상기 커버 플레이트의 하단으로 갈수록 상기 커버 플레이트가 상기 주행체로부터 멀어지도록 상기 구동기를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 커버 플레이트는, 제1 플레이트와 상기 제1 플레이트보다 아래에 배치되는 제2 플레이트를 구비하고, 상기 제1 플레이트에 결합된 제1 회동축은 상기 제1 플레이트의 하단에 위치되고, 상기 제2 플레이트에 결합된 제2 회동축은 상기 제2 플레이트의 상단에 위치되며, 상기 각도 조절 부재는, 상기 제1 회동축을 구동시키는 제1 구동기와 상기 제2 회동축을 구동시키는 제2 구동기 및 상기 제1 구동기와 상기 제2 구동기를 제어하는 제어기를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1 회동축과 상기 제2 회동축은, 서로 동일 높이에 배치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1 회동축과 상기 제2 회동축은, 동일 선상에 배치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 비히클의 주행 가속도에 따라서 상기 각도 조절 부재를 제어될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 비히클의 주행 중 가속도가 0보다 클 경우, 상기 제1 플레이트의 상단으로 갈수록 상기 제1 플레이트는 상기 주행체로부터 멀어지도록 상기 제1 구동기를 제어하고, 상기 제2 플레이트의 하단으로 갈수록 상기 제2 플레이트는 상기 주행체로부터 가까워지도록 상기 제2 구동기를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 제1 플레이트의 상단으로 갈수록 상기 제1 플레이트는 상기 주행체로부터 가까워지도록 상기 제1 구동기를 제어하고, 상기 제2 플레이트의 하단으로 갈수록 상기 제2 플레이트는 상기 주행체로부터 멀어지도록 상기 제2 구동기를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 제1 플레이트의 상단으로 갈수록 상기 제1 플레이트는 상기 주행체로부터 가까워지도록 상기 제1 구동기를 제어하고, 상기 제2 플레이트의 하단으로 갈수록 상기 제2 플레이트는 상기 주행체로부터 가까워지도록 상기 제2 구동기를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 커버 플레이트는 복수 개가 제공되고, 상기 커버 플레이트들은, 상하방향으로 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비히클의 주행 제어 방법으로는, 공정 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 과 상기 주행 레일을 주행하는 비히클을 포함하고, 상기 비히클은, 기판을 보관하는 용기를 홀딩하는 홀더를 포함하는 주행체와 상기 주행체에 결합되고, 주행 레일을 주행하는 주행 휠과, 상기 주행체의 주행 방향에 형성되는 기류의 흐름에 대응 가능하게 설치되고, 상기 주행체에 대해서 회전 가능하게 제공되는 커버 유닛, 그리고 상기 커버 유닛의 각도를 제어하는 제어기를 포함하되, 상기 비히클의 주행 가속도에 따라 상기 제어기가 상기 커버 유닛의 각도를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 주행중인 상기 비히클의 가속도가 0보다 클 경우, 상기 기류에 의해 상기 커버 유닛이 상측 방향으로 힘을 받도록 상기 커버 유닛의 각도를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 주행중인 상기 비히클의 가속도가 0보다 작을 경우, 상기 기류에 의해 상기 커버 유닛이 하측 방향으로 힘을 받도록 상기 커버 유닛의 각도를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 주행중인 상기 비히클의 가속도가 0일 경우, 상기 커버 유닛이 받는 힘이 변경되지 않도록 상기 커버 유닛의 각도를 제어할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 의하면, 주행 레일을 주행하는 반송 차량의 주행 효율을 높일 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 의하면, 주행중인 비히클에 부딛히는 공기 저항을 저감함으로써 비히클에 사용되는 전력 사용량을 저감 할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 의하면, 주행하는 비히클의 무게중심에 따른 주행 휠에 전달되는 하중을 조절할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1 내지 도 3은 일반적인 물품 반송 장치에서 비히클의 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 반도체 제조 장치와 본 발명의 일 실시 예에 따른 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 5는 도 4의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이다.
도 6은 도 4의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이다.
도 7은 도 6의 커버 유닛을 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 8은 도 4의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 커버 플레이트를 보여주는 측면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 커버 플레이트를 보여주는 측면도이다.
도 11 내지 도 13은 비히클의 주행 방향에 형성되는 기류와 커버 유닛이 받는 힘을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 14는 물체의 형상에 따른 항력계수를 나타내는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
제1 , 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하에서는 도 4 내지 도 14를 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 상세히 설명한다.
도 4는 반도체 제조 장치와 본 발명의 일 실시 예에 따른 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 물품 반송 장치(1000)는 반도체 공정 장치(100)들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인에 물품이 수납된 용기(20)를 반송할 수 있다. 물품 반송 장치(1000)는 레일(300)과 비히클(500)을 포함할 수 있다. 비히클(500)은 오버 헤드 호이스트 반송 장치일 수 있다. 비히클(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 비히클(500)은 레일(300)을 따라 정해진 경로를 따라 주행할 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비될 수 있다.
도 4에서는 레일(300)을 대체로 육각형의 형태로 도시하였으나, 레일(300)의 형상은 원형, 사각형 등 다양하게 변형될 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되어 반도체 공정 장치(100)들을 상부에서 확인할 수 있도록 설치될 수 있다. 레일(300)의 설치 범위는 반도체 공정 장치(100)들 전체적으로 조망할 수 있도록 넓은 영역으로 배치될 수 있다.
도 5는 도 4의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이고, 도 6은 도 4의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이고, 도 7은 도 6의 커버 유닛을 보여주는 사시도이고,
도 8은 도 4의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 5 내지 도 8을 참조하면, 물품 반송 장치(1000)는 레일(300), 그리고 비히클(500)을 포함할 수 있다.
레일(300)은 주행 레일(310)과 조향 레일(330)을 포함할 수 있다. 주행 레일(310)에는 후술하는 비히클(500)의 주행 휠(520)이 접촉될 수 있다. 주행 레일(310)은 복수로 제공되고, 서로 이격되어 제공될 수 있다. 예컨대, 주행 레일(310)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 주행 레일(310)은 서로 평행하고, 같은 높이로 제공될 수 있다.
조향 레일(330)에는 후술하는 비히클(500)의 조향 휠(530)이 접촉될 수 있다. 조향 레일(330)은 주행 레일(310)보다 상부에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 상부에서 바라볼 때 한 쌍의 주행 레일(310) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(330)은 주행 레일(310)이 분기되는 분기 영역에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 주행 레일(310)이 분기되는 분기 영역에서 비히클(500)의 주행 방향을 유지시키거나, 변경시킬 수 있다.
비히클(500)은 레일(300)을 주행할 수 있다. 비히클(500)은 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 비히클(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 비히클(500)은 용기(20)를 파지한 상태로 레일(300)을 주행할 수 있다. 비히클(500)은 주행체(510), 휠(520, 530), 커버 유닛(600), 프레임(540), 그리고 제어기(700)를 포함할 수 있다.
주행체(510)에는 휠(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다. 주행체(510)에는 휠(520, 530)이 회전 가능하게 결합될 수 있다. 또한, 주행체(510)에는 넥(550)이 회전 가능하게 결합될 수 있다.
주행체(510)는 내부에 주행 구동기(미도시)를 가질 수 있다. 주행 구동기는 휠(520, 530)을 회전시킬 수 있다. 주행 구동기는 휠(520, 530)에 동력을 전달하여 휠(520, 530)을 회전시킬 수 있다. 또한, 주행체(510)는 복수로 제공될 수 있다. 각각의 주행체(510)는 상술한 주행 구동기를 가질 수 있다. 또한, 각각의 주행체(510)에는 상술한 휠(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다.
휠(520, 530)은 주행체(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 휠(520, 530)은 레일(300)과 접촉하여 회전될 수 있다. 휠(520, 530)은 주행 휠(520), 그리고 조향 휠(530)을 포함할 수 있다.
주행 휠(520)은 주행체(510)에 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 주행체(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 레일(300) 중 주행 레일(310)과 접촉하고 회전하여 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 주행 휠(520)은 복수로 제공될 수 있다. 주행 휠(520)은 두 쌍으로 제공될 수 있다. 주행 휠(520) 중 어느 두 개는 주행체(510)의 일면에 회전 가능하게 결합되고, 주행 휠(520) 중 다른 두 개는 주행체(510)의 일면과 대향되는 타면에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 주행체(510)가 가지는 구동기로부터 동력을 전달받아 회전될 수 있다.
조향 휠(530)은 주행체(510)에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 주행체(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 선택적으로 접촉될 수 있다. 조향 휠(530)은 비히클(500)의 주행 방향을 변경시 조향 레일(330)과 접촉될 수 있다. 조향 휠(530)은 비히클(500)이 주행 방향 변경 없이 주행하는 경우 조향 레일(330)과 접촉되지 않을 수 있다. 조향 휠(530)은 주행체(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 주행체(510)가 가지는 구동기가 전달하는 동력에 의해 그 위치가 변경될 수 있다. 조향 휠(530)은 주행체(510)의 상면에 그 위치가 변경 가능하도록 주행체(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 주행체(510)의 상면에 제공되는 가이드 레일(512)을 매개로 주행체(510)와 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 가이드 레일(512)의 길이 방향을 따라 위치가 변경 가능하도록 제공될 수 있다. 가이드 레일(512)의 길이 방향은 주행 휠(520)이 회전하여 비히클(500)이 주행하는 방향에 대하여 수직일 수 있다. 또한, 조향 휠(530)은 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 조향 휠(530)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 조향 휠(530)은 비히클(500)의 주행 방향을 따라 배치될 수 있다.
프레임(540)은 내부 공간을 가질 수 있다. 프레임(540)의 내부 공간에는 후술하는 슬라이더(560), 승강 부재(570), 그리고 홀더(580)가 제공될 수 있다. 또한, 프레임(540)은 주행체(510)의 주행 방향을 기준으로 양 측면 및 하면이 개방된 육면체 형상을 가질 수 있다. 즉, 프레임(540)은 전면 또는 후면이 블로킹 플레이트(Blocking Plate)로 제공될 수 있다. 이에, 비히클(500)이 주행시 공기 저항에 의해 파지된 용기(20)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다.
프레임(540)은 주행체(510)의 하측에 연결될 수 있다. 프레임(540)은 넥(550)을 매개로 주행체(510)에 결합될 수 있다. 넥(550)은 주행체(510), 그리고 프레임(540)에 대하여 회전 가능하게 제공될 수 있다. 프레임(540)은 적어도 하나 이상의 넥(550)을 매개로 적어도 하나 이상의 주행체(510)에 결합될 수 있다. 예컨대, 프레임(540)은 하나로 제공되고, 하나의 프레임(540)에는 두 개의 넥(550)이 결합될 수 있다. 그리고, 두 개의 넥(550)은 서로 다른 주행체(510)에 각각 결합될 수 있다.
슬라이더(560)는 프레임(540)에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)에 대하여 그 위치가 변경될 수 있도록 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)의 내부 공간에 제공되고, 프레임(540)의 하면에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 비히클(500)의 주행 방향에 대하여 좌우 측방으로 그 위치를 변경할 수 있도록 프레임(540)에 결합될 수 있다. 또한, 슬라이더(560)는 후술하는 승강 부재(570)와 결합될 수 있다. 이에, 슬라이더(560)의 위치를 변경하여 승강 부재(570)의 위치를 변경할 수 있다.
승강 부재(570)는 홀더(580)를 승하강 시킬 수 있다. 승강 부재(570)는 프레임(540) 및/또는 넥(550)을 매개로 주행체(510)에 결합될 수 있다. 승강 부재(570)는 내부에 구동기(미도시)를 포함할 수 있다. 구동기는 홀더(580)와 연결된 벨트(572)를 감거나 풀어 홀더(580)를 승하강 시킬 수 있다. 홀더(580)는 용기(20)를 파지할 수 있다. 홀더(580)는 용기(20)를 착탈 가능하게 파지할 수 있다. 홀더(580)는 용기(20)를 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나, 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다.
커버 유닛(600)은 주행체(510)에 결합된다. 커버 유닛(600)은 주행체(510)에 대해서 회전 가능하도록 제공된다. 커버 유닛(600)은 주행체(510)의 주행 방향을 기준으로 대해서 전방부에 결합될 수 있다. 커버 유닛(600)은 주행체(510)의 주행 방향에 형성되는 기류의 방향을 조절할 수 있다. 커버 유닛(600)은 커버 플레이트(610), 그리고 각도 조절 부재(620)를 포함한다.
커버 플레이트(610)는 비히클에 부딪히는 기류의 방향을 변경 가능하도록 제공된다. 커버 플레이트(610)는 각도 조절 부재(620)에 의해 주행체(510)에 결합된다. 커버 플레이트(610)는 주행체(510)의 주행 방향에 수직한 평면에서 상하 방향에 대해 수직한 축을 기준으로 회전되도록 제공될 수 있다. 커버 플레이트(610)는 중단에 회동축(612)이 형성될 수 있다.
커버 플레이트(610)는 비히클(500)의 주행 방향에서 바라보았을 때, 주행체(510) 및 프레임(540)보다 넓은 면적으로 제공될 수 있다. 커버 플레이트(610)는 판 형상을 가질 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 커버 플레이트(610)는 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)를 구비한다. 이때, 회동축(612)은 제1 회동축(612a)과 제2 회동축(612b)을 가질 수 있다. 제2 플레이트(610b)는 제1 플레이트(610a)보다 아래에 배치될 수 있다. 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)는 판 형상을 가질 수 있다. 제2 플레이트(610b)는 제1 플레이트(610a)와 동일한 형상으로 제공될 수 있다. 제2 플레이트(610b)는 비히클(500)의 주행 방향을 축으로 하여 제1 플레이트(610a)가 180도 회전된 형태로 제공될 수 있다. 비히클(500)의 주행 방향에서 바라보았을 때, 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)의 면적의 합은 주행체(510)와 프레임(540)의 면적의 합보다 넓게 제공될 수 있다. 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)는 주행체(510)의 주행 방향에 수직한 평면에서 상하 방향에 대해 수직한 축을 기준으로 회전되도록 제공될 수 있다. 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)는 각각 주행체(510)에 대하여 회동 가능하도록 제1 회동축(612a)과 제2 회동축(612b)이 형성된다. 제1 회동축(612a)과 제2 회동축(612b)은 서로 동일한 높이에 배치될 수 있다. 제1 회동축(612a)과 제2 회동축(612b)은 동일 선상에 배치될 수 있다.
각도 조절 부재(620)는 주행 방향에 대해서 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)의 각도를 조절한다. 각도 조절 부재(620)는 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b) 각각을 주행체(510)에 연결한다. 각도 조절 부재(620)는 제1 회동축(612a)과 제2 회동축(612b)에 연결된다. 각도 조절 부재(620)는 제1 회동축(612a)과 제2 회동축(612b)을 구동한다. 각도 조절 부재(620)는 제1 구동기(미도시)와 제2 구동기(미도시) 그리고, 제어기(700)를 포함한다.
제1 구동기와 제2 구동기는 주행 방향에 대해 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)의 각도를 조절한다. 제1 구동기와 제2 구동기는 제1 회동축(612a)과 제2 회동축(612b) 각각을 구동함으로써 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)의 각도를 조절한다. 제어기(700)는 제1 구동기와 제2 구동기를 제어한다. 제어기(700)는 비히클(500)의 주행 중 가속도에 따라서 제1 구동기와 제2 구동기가 제1 회동축(612a)과 제2 회동축(612b)을 회전시키도록 제어할 수 있다.
제어기(700)는 비히클(500)을 제어할 수 있다. 제어기(700)는 구동기를 제어한다. 제어기(700)는 비히클(500)의 주행 중 가속도에 따라서 구동기가 커버 플레이트(610)를 회전시키도록 제어할 수 있다.
상술한 예에서는 커버 플레이트(610)가 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)로 나누어진 것으로 설명하였으나, 도 9에 도시된 바와 같이 일체로 형성될 수 있다. 또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 커버 플레이트(610)는 주행 방향을 기준으로 측면에서 바라보았을 때 만곡된 형상으로 제공될 수 있다.
다음은, 제어기(700)가 주행 레일(310)을 주행하는 비히클(500)의 커버 플레이트(610)의 각도를 변경하는 방법에 대하여 설명한다. 아래에서는 커버 유닛(600)에 포함되는 커버 플레이트(610)가 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)로 형성된 경우를 예로 들어 설명한다.
먼저, 제어기(700)가 주행중인 비히클(500)의 가속도를 분석한다. 제어기(700)는 가속도가 0보다 큰 경우, 가속도가 0인경우, 가속도가 0보다 작은 경우로 분류한다. 도 11 내지 도 13은 비히클의 주행 방향에 형성되는 기류와 커버 유닛이 받는 힘을 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 11 내지 도 13을 참조하면, 제어기(700)는 주행중인 비히클(500)의 가속도가 0보다 큰 경우, 비히클(500)의 주행 방향에 형성되는 기류가 비히클(500)의 하중이 감소되는 방향으로 힘을 받도록 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)의 각도를 제어한다. 이때, 도 11에 도시된 바와 같이, 제어기(700)는 제1 플레이트(610a)는 제1 회동축(612a)을 기준으로 끝단이 주행체(510)로부터 멀어지는 방향으로 제어되고, 제2 플레이트(610b)는 제2 회동축(612b)을 기준으로 끝단이 주행체(510)에 가까워지는 방향으로 제어할 수 있다. 비히클(500)은 가속도가 0보다 클 경우 출발 시 레일보다 낮게 형성된 무게 중심에 의해 비히클(500)의 후방에 연결된 주행 휠(b)들의 접지력이 낮아지게 되는데 기류가 비히클(500)의 하측으로 흐름으로써 비히클(500)의 전방에 연결된 주행 휠(a)들이 상대적으로 접지력을 낮추게 되고 후방에 연결된 주행 휠(b)들의 접지력을 높일 수 있는 효과가 있다.
또한, 제어기(700)는 주행중인 비히클(500)의 가속도가 0보다 작은 경우, 비히클(500)의 주행 방향에 형성되는 기류가 비히클(500)의 하중이 증가되는 방향으로 힘을 받도록 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)의 각도를 제어한다. 이때, 도 12에 도시된 바와 같이, 제어기(700)는 제1 플레이트(610a)는 제1 회동축(612a)을 기준으로 끝단이 주행체(510)로부터 가까워지는 방향으로 제어되고, 제2 플레이트(610b)는 제2 회동축(612b)을 기준으로 끝단이 주행체(510)에 멀어지는 방향으로 제어할 수 있다. 비히클(500)은 가속도가 0보다 작을 경우 출발 시 레일보다 낮게 형성된 무게 중심에 의해 비히클(500)의 전방에 연결된 주행 휠(a)들의 접지력이 낮아지게 되는데 기류가 비히클(500)의 상측으로 흐름으로써 비히클(500)의 전방에 연결된 주행 휠(a)들이 접지력을 높이게 되고, 비히클(500)의 무게를 증가시켜 비히클(500)의 정지에 필요한 전력량을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 제어기(700)는 주행중인 비히클(500)의 가속도가 0인 경우, 비히클(500)의 주행 방향에 형성되는 기류의 저항이 최소화되도록 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)의 각도를 제어한다. 이때, 도 13에 도시된 바와 같이, 제어기(700)는 제1 플레이트(610a)는 제1 회동축(612a)을 기준으로 끝단이 주행체(510)로부터 가까워지는 방향으로 제어되고, 제2 플레이트(610b)는 제2 회동축(612b)을 기준으로 끝단이 주행체(510)에 가까워지는 방향으로 제어할 수 있다.
주행 방향에 형성되는 기류로 인해 비히클(500)에 작용하는 기류의 저항을 줄이도록 주행체(510)의 전면에 설치된 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)가 비히클(500)은 가속도가 0인 경우는 등속 주행 중인 것을 의미한다. 비히클(500)은 주행 방향에 형성된 기류에 저항이 발생하게 되고 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)의 형상에 따라 항력 계수가 달라지게 된다. 도 14는 물체의 형상에 따른 항력계수를 나타내는 도면이다. 도14를 참조하면, 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)의 끝단이 주행체에 가까워지게됨으로써 항력계수가 커버 유닛(600)이 없을때의 0.5배로 작용하는 효과가 있고, 제1 플레이트(610a)와 제2 플레이트(610b)가 만곡형성 되는 경우, 항력계수가 커버 유닛(600)이 없을때의 0.47배로 작용함으로써 등속주행시 전력 사용량을 감소할 수 있는 효과가 있다.
상술한 예에서는, 용기(20)가 풉(FOUP)이고, 물품이 웨이퍼 등의 기판인 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상술한 예에서는, 물품 반송 장치(300, 500)가 반도체 제조 라인에 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 물품 반송 장치(300, 500)는 물품의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 상술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
500 : 비히클 600 : 커버 유닛
610 : 커버 플레이트 610a : 제1 플레이트
610b : 제2 플레이트 612 : 회동축
612a : 제1 회동축 612b : 제2 회동축
620 : 각도 조절 부재 700 : 제어기

Claims (22)

  1. 공정 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 및
    상기 주행 레일을 주행하는 비히클;을 포함하고,
    상기 비히클은,
    기판을 보관하는 용기를 홀딩하는 홀더를 포함하는 주행체;와
    상기 주행체에 결합되고, 상기 주행 레일을 주행하는 주행 휠; 및
    상기 주행체에 대해서 회전 가능하도록 제공되는 커버 유닛을 포함하며,
    상기 커버 유닛은,
    주행 방향에 있어서 상기 주행체의 전방부에 설치되는 커버 플레이트; 및
    상기 커버 플레이트의 각도를 조절하는 각도 조절 부재를 포함하는 물품 반송 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는,
    상기 주행 방향에 수직한 평면에서 상하 방향에 대해 수직한 축을 기준으로 회전되도록 제공되는 물품 반송 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 각도 조절 부재는,
    상기 주행 방향에 대해 상기 커버 플레이트의 각도를 조절하는 구동기;와
    상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하는 물품 반송 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 비히클의 주행 중 가속도가 0보다 클 경우, 상기 커버 플레이트의 상단으로 갈수록 상기 커버 플레이트가 상기 주행체로부터 멀어지도록 상기 구동기를 제어하는 물품 반송 장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 비히클의 주행 중 가속도가 0보다 작을 경우, 상기 커버 플레이트의 하단으로 갈수록 상기 커버 플레이트가 상기 주행체로부터 멀어지도록 상기 구동기를 제어하는 물품 반송 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는,
    제1 플레이트;와
    상기 제1 플레이트보다 아래에 배치되는 제2 플레이트를 구비하고,
    상기 제1 플레이트에 결합된 제1 회동축은 상기 제1 플레이트의 하단에 위치되고,
    상기 제2 플레이트에 결합된 제2 회동축은 상기 제2 플레이트의 상단에 위치되며,
    상기 각도 조절 부재는,
    상기 제1 회동축을 구동시키는 제1 구동기;와
    상기 제2 회동축을 구동시키는 제2 구동기; 및
    상기 제1 구동기와 상기 제2 구동기를 제어하는 제어기를 포함하는 물품 반송 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제1 회동축과 상기 제2 회동축은,
    서로 동일 높이에 배치되는 물품 반송 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제1 회동축과 상기 제2 회동축은,
    동일 선상에 배치되는 물품 반송 장치.
  9. 제 6항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 비히클의 주행 가속도에 따라서 상기 각도 조절 부재를 제어하는 물품 반송 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 비히클의 주행 중 가속도가 0보다 클 경우, 상기 제1 플레이트의 상단으로 갈수록 상기 제1 플레이트는 상기 주행체로부터 멀어지도록 상기 제1 구동기를 제어하고, 상기 제2 플레이트의 하단으로 갈수록 상기 제2 플레이트는 상기 주행체로부터 가까워지도록 상기 제2 구동기를 제어하는 물품 반송 장치.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 제1 플레이트의 상단으로 갈수록 상기 제1 플레이트는 상기 주행체로부터 가까워지도록 상기 제1 구동기를 제어하고, 상기 제2 플레이트의 하단으로 갈수록 상기 제2 플레이트는 상기 주행체로부터 멀어지도록 상기 제2 구동기를 제어하는 물품 반송 장치.
  12. 제 9항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 제1 플레이트의 상단으로 갈수록 상기 제1 플레이트는 상기 주행체로부터 가까워지도록 상기 제1 구동기를 제어하고, 상기 제2 플레이트의 하단으로 갈수록 상기 제2 플레이트는 상기 주행체로부터 가까워지도록 상기 제2 구동기를 제어하는 물품 반송 장치.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는 복수 개가 제공되고,
    상기 커버 플레이트들은,
    상하방향으로 배치되는 물품 반송 장치.
  14. 기판을 수납하는 용기를 반송하는 비히클에 있어서,
    기판을 보관하는 용기를 홀딩하는 홀더를 포함하는 주행체;와
    상기 주행체에 결합되고, 주행 레일을 주행하는 주행 휠; 및
    상기 주행체에 대해서 회전 가능하도록 제공되는 커버 유닛을 포함하며,
    상기 커버 유닛은,
    주행 방향에 있어서 상기 주행체의 전방부에 설치되는 커버 플레이트; 및
    상기 커버 플레이트의 각도를 조절하는 각도 조절 부재를 포함하는 비히클.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는,
    상기 주행 방향에 수직한 평면에서 상하 방향에 대해 수직한 축을 기준으로 회전되도록 제공되는 비히클.
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 각도 조절 부재는,
    상기 주행 방향에 대해 상기 커버 플레이트의 각도를 조절하는 구동기;와
    상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하는 물품 반송 장치.
  17. 제 14항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는,
    제1 플레이트;와
    상기 제1 플레이트보다 아래에 배치되는 제2 플레이트를 구비하고,
    상기 제1 플레이트에 결합된 제1 회동축은 상기 제1 플레이트의 하단에 위치되고,
    상기 제2 플레이트에 결합된 제2 회동축은 상기 제2 플레이트의 상단에 위치되며,
    상기 각도 조절 부재는,
    상기 제1 회동축을 구동시키는 제1 구동기;와
    상기 제2 회동축을 구동시키는 제2 구동기; 및
    상기 제1 구동기와 상기 제2 구동기를 제어하는 제어기를 포함하는 비히클.
  18. 제 14항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는 복수 개가 제공되고,
    상기 커버 플레이트들은,
    상하방향으로 배치되는 비히클.
  19. 공정 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 과 상기 주행 레일을 주행하는 비히클을 포함하고, 상기 비히클은, 기판을 보관하는 용기를 홀딩하는 홀더를 포함하는 주행체와 상기 주행체에 결합되고, 주행 레일을 주행하는 주행 휠과, 상기 주행체의 주행 방향에 형성되는 기류의 흐름에 대응 가능하게 설치되고, 상기 주행체에 대해서 회전 가능하게 제공되는 커버 유닛, 그리고 상기 커버 유닛의 각도를 제어하는 제어기를 포함하는 비히클의 주행을 제어하는 방법에 있어서,
    상기 비히클의 주행 가속도에 따라 상기 제어기가 상기 커버 유닛의 각도를 제어하는 비히클의 주행 제어 방법.
  20. 제 17항에 있어서,
    상기 제어기는,
    주행중인 상기 비히클의 가속도가 0보다 클 경우, 상기 기류에 의해 상기 커버 유닛이 상측 방향으로 힘을 받도록 상기 커버 유닛의 각도를 제어하는 비히클의 주행 제어 방법.
  21. 제 17항에 있어서,
    상기 제어기는,
    주행중인 상기 비히클의 가속도가 0보다 작을 경우, 상기 기류에 의해 상기 커버 유닛이 하측 방향으로 힘을 받도록 상기 커버 유닛의 각도를 제어하는 비히클의 주행 제어 방법.
  22. 제 17항에 있어서,
    상기 제어기는,
    주행중인 상기 비히클의 가속도가 0일 경우, 상기 기류에 의해 상기 커버 유닛이 받는 힘이 변경되지 않도록 상기 커버 유닛의 각도를 제어하는 비히클의 주행 제어 방법.
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