KR20230004691A - 천장 반송차 및 천장 반송 시스템 - Google Patents

천장 반송차 및 천장 반송 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20230004691A
KR20230004691A KR1020227040260A KR20227040260A KR20230004691A KR 20230004691 A KR20230004691 A KR 20230004691A KR 1020227040260 A KR1020227040260 A KR 1020227040260A KR 20227040260 A KR20227040260 A KR 20227040260A KR 20230004691 A KR20230004691 A KR 20230004691A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
article
drive unit
unit
transport vehicle
load port
Prior art date
Application number
KR1020227040260A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102670887B1 (ko
Inventor
야스히사 이토
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 무라다기카이가부시끼가이샤 filed Critical 무라다기카이가부시끼가이샤
Publication of KR20230004691A publication Critical patent/KR20230004691A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102670887B1 publication Critical patent/KR102670887B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61BRAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00Other railway systems
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0464Storage devices mechanical with access from above
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61BRAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61DBODY DETAILS OR KINDS OF RAILWAY VEHICLES
    • B61D47/00Loading or unloading devices combined with vehicles, e.g. loading platforms, doors convertible into loading and unloading ramps
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0457Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/07Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H01L21/677
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736Loading to or unloading from a conveyor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Vehicle Step Arrangements And Article Storage (AREA)
  • Chain Conveyers (AREA)

Abstract

천장 반송차는, 물품을 보지하는 물품 보지부와, 물품 보지부가 직선적으로 이동하도록 구동하는 직선 구동부와, 물품 보지부가 수평 선회하도록 구동하는 선회 구동부와, 물품 보지부로 보지하고 있는 물품의 방향 및 당해 물품이 재치되는 로드 포트의 방향에 따라, 선회 구동부를 제어하는 제어부를 구비한다.

Description

천장 반송차 및 천장 반송 시스템
본 발명의 일측면은, 천장 반송차 및 천장 반송 시스템에 관한 것이다.
천장 반송차에 관한 기술로서, 예를 들면 특허 문헌 1에 기재된 유궤도 대차가 알려져 있다. 특허 문헌 1에 기재된 유궤도 대차는, 격자 형상으로 배치된 개소를 포함하는 레일을 따라, 레일의 하측에서 물품을 보지(保持)하여 반송하는 본체부를 구비한다.
국제공개 제2018/037762호
그런데, 상술한 바와 같은 천장 반송차에서는, 물품 보지부로 보지하고 있는 물품의 방향에 따라서는, 로드 포트에 대하여 원하는 방향으로 물품을 이동 재치(載置)하는 것이 곤란해질 가능성이 있다.
따라서, 본 발명의 일측면은, 로드 포트에 대하여 원하는 방향으로 물품을 이동 재치할 수 있는 천장 반송차 및 천장 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일측면에 따른 천장 반송차는, 물품을 보지하는 물품 보지부와, 물품 보지부가 직선적으로 이동하도록 구동하는 직선 구동부와, 물품 보지부가 수평 선회하도록 구동하는 선회 구동부와, 물품 보지부로 보지하고 있는 물품의 방향 및 상기 물품이 재치되는 로드 포트의 방향에 따라, 선회 구동부를 제어하는 제어부를 구비한다.
이 천장 반송차에 의하면, 물품 보지부로 보지하고 있는 물품의 방향이 어느 방향이라도, 제어부에 의해 선회 구동부를 물품의 방향 및 로드 포트의 방향에 따라 제어함으로써, 로드 포트에 대하여 원하는 방향으로 물품을 이동 재치할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 천장 반송차에서는, 직선 구동부는, 물품 보지부를 승강시키는 승강 구동부와, 승강 구동부를 슬라이드 이동시키는 슬라이드 구동부를 가지고, 선회 구동부는, 슬라이드 구동부를 수평 선회시키는 제 1 선회 구동부와, 물품 보지부 또는 승강 구동부를 수평 선회시키는 제 2 선회 구동부를 가지고 있어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 물품의 방향을 구체적으로 제어하는 것이 가능해진다.
본 발명의 일측면에 따른 천장 반송차는, 적어도 일부가 격자 형상으로 배치된 레일을 따라 주행 가능한 천장 반송차로서, 레일 상을 전동하는 주행 차륜과, 레일의 하방에 배치되고, 물품 보지부, 직선 구동부 및 선회 구동부를 포함하는 본체부를 구비하고 있어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 천장 반송차의 주행 경로를 자유롭게 선택하기 쉬워져, 정체의 발생을 억제하여, 반송 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.
본 발명의 일측면에 따른 천장 반송차에서는, 제어부는, 물품의 방향과 로드 포트의 방향이 일정 관계가 되도록, 물품 보지부를 제 1 각도 수평 선회시키는 제 1 제어와, 물품의 방향이 미세 조정되도록, 물품 보지부를, 제 1 각도보다 작은 제 2 각도 수평 선회시키는 제 2 제어를 실행해도 된다. 이에 의해, 로드 포트에 대하여, 확실하게 원하는 방향으로 물품을 이동 재치하는 것이 가능해진다.
본 발명의 일측면에 따른 천장 반송 시스템은, 통로를 사이에 둔 일방측 및 타방측의 각각에 있어서 상기 통로를 따라 배열되도록 배치된 복수의 처리 장치와, 상기 천장 반송차를 구비하고, 복수의 처리 장치의 각각은, 그 통로측에 배치된 로드 포트를 가지고, 천장 반송차가 주행하는 경로로서, 통로를 횡단하도록 연장되고 또한 천장 반송차를 한 쌍의 로드 포트 상을 통과시키는 주행 경로를 구비한다.
일반적으로, 통로를 개재하여 대향하는 한 쌍의 로드 포트의 방향은 서로 반대 방향이 되기 때문에, 물품의 방향과 로드 포트의 방향이 일정 관계가 되도록 상기 한 쌍의 로드 포트의 사이에서 물품을 이동 재치하는 것은 곤란하다. 이 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일측면에 따른 천장 반송 시스템은, 통로를 횡단하도록 연장되고 또한 천장 반송차를 한 쌍의 로드 포트 상을 통과시키는 주행 경로(이하, 횡단 주행 경로라고도 함) 및 상기 천장 반송차를 구비하고 있다. 횡단 주행 경로에 따른 한 쌍의 로드 포트의 사이에서도, 제어부에 의해 선회 구동부를 적절히 제어함으로써, 원하는 방향으로 물품을 이동 재치하는 것이 가능해진다.
본 발명의 일측면에 따르면, 로드 포트에 대하여 원하는 방향으로 물품을 이동 재치할 수 있는 천장 반송차 및 천장 반송 시스템을 제공하는 것이 가능해진다.
도 1은 실시 형태에 따른 천장 반송 시스템의 일례를 나타내는 측면도이다.
도 2는 도 1의 천장 반송차를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1의 천장 반송 시스템을 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 1의 천장 반송차를 상방에서 본 상태를 모식적으로 나타내는 도이다.
도 5는 도 1의 천장 반송 시스템에 있어서 천장 반송차에 의해 물품을 로드 포트 간에서 반송하는 경우의 일례를 설명하는 평면도이다.
도 6은 도 5의 연속을 나타내는 평면도이다.
도 7은 도 6의 연속을 나타내는 평면도이다.
도 8은 도 7의 연속을 나타내는 평면도이다.
도 9는 도 8의 연속을 나타내는 평면도이다.
도 10은 도 9의 연속을 나타내는 평면도이다.
도 11은 도 10의 연속을 나타내는 평면도이다.
도 12는 변형예에 따른 천장 반송 시스템이 구비하는 횡단 주행 경로를 나타내는 평면도이다.
이하, 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도면에 있어서는 실시 형태를 설명하기 위하여, 일부분을 크게 또는 강조하여 기재하는 등 적절히 축척을 변경하여 표현하고 있다. 이하의 각 도면에 있어서, XYZ 좌표계를 이용하여 도면 중의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계에 있어서는, 수평면에 평행한 평면을 XY 평면이라 한다. 이 XY 평면을 따른 일직선 방향을 X 방향이라 표기하고, X 방향에 직교하는 방향을 Y 방향이라 표기한다. 또한, 천장 반송차(100)의 주행 방향은, 이하의 도면에 나타난 상태로부터 다른 방향으로 변화 가능하며, 예를 들면 곡선 방향으로 주행하는 경우도 있다. 또한, XY 평면에 수직인 방향은 Z 방향이라 표기한다. X 방향, Y 방향 및 Z 방향의 각각은, 도면 중의 화살표가 가리키는 방향이 + 방향이며, 반대의 방향이 - 방향인 것으로 하여 설명한다. 또한, Z축 둘레의 회전 방향을 θZ 방향이라 표기한다.
도 1, 도 2 및 도 3에 나타나는 바와 같이, 천장 반송 시스템(SYS)은, 예를 들면 반도체 제조 공장의 클린 룸에 있어서, 물품(M)을 천장 반송차(100)에 의해 반송하기 위한 시스템이다. 천장 반송 시스템(SYS)은, 복수의 처리 장치(6)로 물품(M)을 반송하기 위하여, 천장 반송차(100)와, 시스템 컨트롤러(5)를 구비한다. 물품(M)은, 예를 들면, 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP, 혹은 레티클을 수용하는 레티클 Pod 등이다. 물품(M)에는 방향이 있으며, 예를 들면 물품(M)의 덮개부(Mb)측과 반대측이 정면의 방향이다.
처리 장치(6)는, 물품(M)에 대하여 처리를 행하는 장치이다. 처리 장치(6)는 특별히 한정되지 않으며, 각종 장치여도 된다. 도 5에 나타나는 바와 같이, 처리 장치(6)는, 통로(ST)를 사이에 둔 일방측 및 타방측의 각각에 있어서 당해 통로(ST)를 따라 배열되도록 배치되어 있다. 복수의 처리 장치(6)의 각각은, 장치 본체(61) 및 로드 포트(62)를 포함한다. 로드 포트(62)는, 통로(ST)측에 배치되고, 물품(M)이 재치된다. 로드 포트(62)에는 방향이 있으며, 예를 들면 로드 포트(62)의 통로(ST)측이 정면의 방향이다. 로드 포트(62)의 방향은, 그에 재치하는 물품(M)의 방향에 대응한다. 예를 들면, 로드 포트(62)의 정면과 물품(M)의 정면이 일치하도록(물품(M)의 덮개부(Mb)가 장치 본체(61)를 향하도록), 로드 포트(62) 상에 물품(M)이 실린다.
도 1, 도 2 및 도 3에 나타나는 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 천장 반송 시스템(SYS)의 레일(R)을 따라 이동하여, 물품(M)을 반송한다. 천장 반송차(100)는, 건물의 천장 근방을 주행하기 때문에, 천장 주행차라 칭하는 경우가 있다. 천장 반송차(100)는, 예를 들면 복수 대 이용되어도 된다. 복수의 천장 반송차(100)에 의해 물품(M)을 반송함으로써, 고밀도인 반송이 가능해져, 물품(M)의 반송 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.
레일(R)은, 클린 룸 등의 건물의 천장 또는 천장 부근에 부설되어 있다. 레일(R)은 제 1 레일(R1)과, 제 2 레일(R2)과, 교차점 레일(R3)을 가지는 격자 형상 레일이다(도 3 참조). 레일(R)은, 그 적어도 일부가 격자 형상으로 배치되어 있다. 이하, 레일(R)을 격자 형상 레일(R)이라 칭한다. 제 1 레일(R1)은, X 방향(제 1 방향(D1))을 따라 마련된다. 제 2 레일(R2)은, Y 방향(제 2 방향(D2))을 따라 마련된다. 본 실시 형태에서는, 제 1 방향(D1)과 제 2 방향(D2)이 직교하고 있고, 복수의 제 1 레일(R1)과 복수의 제 2 레일(R2)은, 서로 직교하는 방향을 따라 마련되는데, 서로 직접 교차하지 않도록 마련되어 있다. 교차점 레일(R3)은, 제 1 레일(R1)과 제 2 레일(R2)과의 교차 부분에 배치된다. 격자 형상 레일(R)은, 제 1 레일(R1)과 제 2 레일(R2)이 직교하는 방향을 따라 마련됨으로써, 평면에서 봤을 때 복수의 셀(C)(구획)이 이웃하는 상태로 되어 있다. 또한, 도 3에서는 격자 형상 레일(R)의 일부에 대하여 나타내고 있고, 격자 형상 레일(R)은, 도시하고 있는 구성으로부터 제 1 방향(D1)(X 방향) 및 제 2 방향(D2)(Y 방향)으로 동일한 구성이 연속하여 형성되어 있다.
제 1 레일(R1), 제 2 레일(R2) 및 교차점 레일(R3)은, 현수 부재(H)(도 3 참조)에 의해 미도시의 천장에 현수 지지되어 있다. 현수 부재(H)는, 제 1 레일(R1)을 현수하기 위한 제 1 부분(H1)과 제 2 레일(R2)을 현수하기 위한 제 2 부분(H2)과, 교차점 레일(R3)을 현수하기 위한 제 3 부분(H3)을 가진다. 제 1 부분(H1) 및 제 2 부분(H2)은, 각각 제 3 부분(H3)을 사이에 둔 2 개소에 마련되어 있다.
제 1 레일(R1), 제 2 레일(R2) 및 교차점 레일(R3)은, 각각, 천장 반송차(100)의 후술하는 주행 차륜(21)이 주행하는 주행면(R1a, R2a, R3a)을 가진다. 제 1 레일(R1)과 교차점 레일(R3)과의 사이, 제 2 레일(R2)과 교차점 레일(R3)과의 사이에는, 각각 간극(D)이 형성된다. 간극(D)은, 천장 반송차(100)가 제 1 레일(R1)을 주행하여 제 2 레일(R2)을 횡단할 시, 혹은 제 2 레일(R2)을 주행하여 제 1 레일(R1)을 횡단할 시에, 천장 반송차(100)의 일부인 후술하는 연결부(30)가 통과하는 부분이다. 따라서, 간극(D)은, 연결부(30)가 통과 가능한 폭으로 마련되어 있다. 제 1 레일(R1), 제 2 레일(R2) 및 교차점 레일(R3)은, 동일 또는 거의 동일한 수평면을 따라 마련된다. 본 실시 형태에 있어서, 제 1 레일(R1), 제 2 레일(R2) 및 교차점 레일(R3)은, 주행면(R1a, R2a, R3a)이 동일 또는 거의 동일한 수평면 상에 배치된다.
도 1 및 도 2에 나타나는 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 레일(R)을 따라 주행 가능한 반송차이며, 본체부(10)와, 주행부(20)와, 연결부(30)와, 대차 컨트롤러(제어부)(50)를 가진다.
본체부(10)는, 격자 형상 레일(R)의 하방(-Z측)에 배치된다. 본체부(10)는, 평면에서 봤을 때 예를 들면 직사각형 형상으로 형성된다. 본체부(10)는, 평면에서 봤을 때 레일(R)에 있어서의 1 개의 셀(C)에 들어가는 치수로 형성된다. 이 때문에, 이웃하는 제 1 레일(R1) 또는 제 2 레일(R2)을 주행하는 다른 천장 반송차(100)와 엇갈리는 것이 가능해진다.
본체부(10)는 상부 유닛(17)과, 이동 재치 장치(18)를 구비한다. 상부 유닛(17)은, 연결부(30)를 개재하여 주행부(20)에 현수 지지된다. 상부 유닛(17)은, 예를 들면 평면에서 봤을 때 직사각형 형상이며, 상면(17a)에 4 개의 코너부를 가진다. 본체부(10)의 4 개의 코너부의 각각에는, 주행 차륜(21), 연결부(30) 및 방향 전환 기구(34)가 마련되어 있다.
이동 재치 장치(18)는, 상부 유닛(17)의 하방에 마련된다. 이동 재치 장치(18)는, 연직 방향의 제 1 수직축(AX1) 둘레로 회전 가능하다. 이동 재치 장치(18)는, 물품(M)을 보지하는 물품 보지부(13)와, 물품 보지부(13)를 연직 방향으로 승강시키는 승강 구동부(14)와, 승강 구동부(14)를 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 슬라이드 구동부(11)와, 슬라이드 구동부(11)를 보지하는 회동부(12)와, 본체부(10)에 대하여 슬라이드 구동부(11)를 제 1 수직축(AX1) 둘레로 수평 선회시키는(회전 구동하는) 제 1 선회 구동부(15)와, 슬라이드 구동부(11)에 대하여 승강 구동부(14)를 제 2 수직축(AX2) 둘레로 수평 선회시키는 제 2 선회 구동부(16)를 가진다. 승강 구동부(14) 및 슬라이드 구동부(11)는, 물품 보지부(13)가 직선적으로 이동하도록 구동하는 직선 구동부를 구성한다. 제 1 선회 구동부(15) 및 제 2 선회 구동부(16)는, 물품 보지부(13)가 수평 선회하도록 구동하는 선회 구동부를 구성한다. 수평 선회는, 연직 방향을 따르는 축을 회전축으로서 선회하는 것을 의미한다.
슬라이드 구동부(11)는, 예를 들면 Z 방향으로 중첩되어 배치된 복수의 가동판을 가진다. 가동판은, Y 방향으로 이동 가능하다. 최하층의 가동판에는, 제 2 선회 구동부(16)가 장착되어 있다. 슬라이드 구동부(11)는, 미도시의 구동 장치에 의해 가동판을 이동시켜, 최하층의 가동판에 장착된 승강 구동부(14) 및 물품 보지부(13)를 주행 방향에 대하여 일방향으로, 즉 일직선 방향 중 일방향으로 돌출되도록 슬라이드 이동시킬 수 있다. 회동부(12)는, 슬라이드 구동부(11)와 상부 유닛(17)과의 사이에 있어서 제 1 선회 구동부(15)에 장착되고, 슬라이드 구동부(11)를 보지한다.
물품 보지부(13)는, 물품(M)의 플랜지부(Ma)를 파지함으로써, 물품(M)을 현수하여 보지한다. 물품 보지부(13)는, 예를 들면, 수평 방향으로 이동 가능한 클로부(13a)를 가지는 척이며, 클로부(13a)를 물품(M)의 플랜지부(Ma)의 하방으로 진입시키고, 물품 보지부(13)를 상승시킴으로써, 물품(M)을 보지한다. 물품 보지부(13)는, 와이어 혹은 벨트 등의 현수 부재(13b)에 접속되어 있다.
승강 구동부(14)는, 제 2 선회 구동부(16)에 장착되어 있다. 승강 구동부(14)는, 예를 들면 호이스트이며, 현수 부재(13b)를 풂으로써 물품 보지부(13)를 하강시키고, 현수 부재(13b)를 감음으로써 물품 보지부(13)를 상승시킨다. 승강 구동부(14)는, 대차 컨트롤러(50)로 제어되어, 정해진 속도로 물품 보지부(13)를 하강 혹은 상승시킨다. 또한, 승강 구동부(14)는, 대차 컨트롤러(50)로 제어되어, 물품 보지부(13)를 목표의 높이로 유지한다.
제 1 선회 구동부(15)는, 전동 모터 등이 이용되고, 회동부(12)를 제 1 수직축(AX1) 둘레로 회전시킨다. 제 1 선회 구동부(15)는, 회동부(12)의 회전과 함께, 슬라이드 구동부(11)를 제 1 수직축(AX1) 둘레로 회전시킬 수 있다. 제 1 선회 구동부(15)에 의해 슬라이드 구동부(11)가 제 1 수직축(AX1) 둘레로 회전하는 경우, 슬라이드 구동부(11)의 하측에 장착되는 제 2 선회 구동부(16), 승강 구동부(14) 및 물품 보지부(13)가 일체로 제 1 수직축(AX1) 둘레로 회전한다. 제 2 선회 구동부(16)는, 전동 모터 등이 이용되고, 승강 구동부(14)를 제 2 수직축(AX2) 둘레로 회전시킨다.
도 4는 본체부(10)를 상방에서 본 상태를 모식적으로 나타내는 도이다. 도 4는 슬라이드 구동부(11) 및 승강 구동부(14)의 회전 이동의 일례를 나타내고 있다. 도 4에 나타나는 바와 같이, 제 1 선회 구동부(15)는, 제 1 방향(D1) 또는 제 2 방향(D2)에 슬라이드 구동부(11)의 슬라이드 이동의 방향을 맞춘 상태에서, 제 1 수직축(AX1) 둘레로 270도의 범위에서 슬라이드 구동부(11)를 회전시킬 수 있다. 이 경우, 격자 형상 레일(R)에 정지하고 있는 본체부(10)로부터 제 1 방향(D1) 및 제 2 방향(D2)의 어느 방향에 대해서도 물품 보지부(13)를 슬라이드 이동시키는 것이 가능해진다. 또한, 로드 포트(62)에 대하여, 물품(M)을 원하는 방향으로 재치하는 것이 가능해진다.
이동 재치 장치(18)는, 슬라이드 구동부(11)를 구동함으로써, 승강 구동부(14) 및 물품 보지부(13)를 이동 재치 위치(P1)로부터 돌출 위치(P2a, P2b, P2c, P2d) 중 어느 하나로 돌출 가능하다. 돌출 위치(P2a)는, 슬라이드 구동부(11)에 의해 승강 구동부(14) 및 물품 보지부(13)를 +Y 방향으로 슬라이드 이동시켰을 시의 돌출 위치이다. 돌출 위치(P2b)는, 제 1 선회 구동부(15)에 의해 슬라이드 구동부(11)를 제 1 수직축(AX1) 둘레로 90도(예를 들면 시계 방향으로 90도) 회전시키고, 슬라이드 구동부(11)에 의해 승강 구동부(14) 및 물품 보지부(13)를 +X 방향으로 슬라이드 이동시켰을 시의 돌출 위치이다. 돌출 위치(P2c)는, 제 1 선회 구동부(15)에 의해 슬라이드 구동부(11)를 제 1 수직축(AX1) 둘레로 180도 회전시키고, 슬라이드 구동부(11)에 의해 승강 구동부(14) 및 물품 보지부(13)를 -Y 방향으로 슬라이드 이동시켰을 때의 돌출 위치이다. 돌출 위치(P2d)는, 제 1v15에 의해 슬라이드 구동부(11)를 제 1 수직축(AX1) 둘레로 270도 회전시키고, 슬라이드 구동부(11)에 의해 승강 구동부(14) 및 물품 보지부(13)를 -X 방향으로 슬라이드 이동시켰을 시의 돌출 위치이다.
이와 같이, 슬라이드 구동부(11)는, 승강 구동부(14) 및 물품 보지부(13)를 일직선 방향 중 일방향으로 슬라이드 이동시키는 구성이지만, 제 1 선회 구동부(15)를 구동시켜 슬라이드 구동부(11)의 회동 위치를 90도 간격으로 설정함으로써, +X 방향(제 1 방향(D1)), +Y 방향(제 2 방향(D2)), -X 방향(제 1 방향(D1)), -Y 방향(제 2 방향(D2))의 4 방향의 각각으로 승강 구동부(14) 및 물품 보지부(13)를 슬라이드 이동시키는 것이 가능하다.
또한, 제 2 선회 구동부(16)는, 전동 모터 등이 이용되고, 슬라이드 구동부(11)에 의해 슬라이드 이동시키는 일직선 방향을 기준으로서, 제 2 수직축(AX2) 둘레로 적어도 180도의 범위에서 승강 구동부(14)(물품 보지부(13))를 회전시킨다. 도 4에서는, 제 2 수직축(AX2)을 지나는 일점 쇄선으로 나타내는 방향(일직선 방향에 직교하는 방향)의 범위에서, 제 2 수직축(AX2) 둘레로 승강 구동부(14)(물품 보지부(13))를 180도 회전 가능하다. 이 경우, 로드 포트(62)에 대하여, 물품(M)을 원하는 방향으로 재치하는 것이 가능해진다. 예를 들면, 제 2 선회 구동부(16)를 구동함으로써, 물품(M)의 정면측을 +X 방향을 향한 상태에서 제 2 수직축(AX2) 둘레로 180도 회전시킴으로써, 물품(M)의 정면측을 -X 방향(즉 반대 방향)을 향하게 할 수 있다. 예를 들면, 제 2 선회 구동부(16)를 구동함으로써, 물품(M)의 정면측을 +X 방향을 향한 상태로부터, +Y 방향 또는 -Y 방향을 향하게 한 상태로 할 수 있다.
도 1, 도 2 및 도 3에 나타나는 바와 같이, 주행부(20)는 주행 차륜(21)과, 보조 차륜(22)을 가진다. 주행 차륜(21)은, 상부 유닛(17)(본체부(10))의 상면(17a)의 4 개의 코너부에 각각 배치된다. 주행 차륜(21)의 각각은, 연결부(30)에 마련된 미도시의 차축에 장착되어 있다. 차축은, XY 평면을 따라 평행 또는 거의 평행하게 마련되어 있다. 주행 차륜(21)의 각각은, 후술하는 주행 구동부(33)의 구동력에 의해 회전 구동한다. 주행 차륜(21)의 각각은, 격자 형상 레일(R) 상을 전동한다. 주행 차륜(21)의 각각은, 격자 형상 레일(R)에 있어서, 제 1 레일(R1), 제 2 레일(R2) 및 교차점 레일(R3)의 주행면(R1a, R2a, R3a)을 전동하여, 천장 반송차(100)를 주행시킨다. 또한, 4 개의 주행 차륜(21) 전부가 주행 구동부(33)의 구동력에 의해 회전 구동하는 것에 한정되지 않으며, 4 개의 주행 차륜(21) 중 일부에 대하여 회전 구동시키는 구성이어도 된다.
주행 차륜(21)은, 선회축(AX3)을 중심으로서 θZ 방향으로 선회 가능하게 마련된다. 주행 차륜(21)은, 후술하는 방향 전환 기구(34)에 의해 θZ 방향으로 선회하고, 그 결과, 천장 반송차(100)의 주행 방향을 변경할 수 있다. 보조 차륜(22)은, 주행 차륜(21)의 주행 방향의 전후에 각각 1 개씩 배치된다. 보조 차륜(22)의 각각은, 주행 차륜(21)과 마찬가지로, θZ 방향으로 회전 가능하게 되어 있다. 보조 차륜(22)의 하단은, 주행 차륜(21)의 하단보다 높게 되도록 설정되어 있다. 따라서, 주행 차륜(21)이 주행면(R1a, R2a, R3a)을 주행하고 있을 때는, 보조 차륜(22)은, 주행면(R1a, R2a, R3a)에 접촉하지 않는다. 또한, 주행 차륜(21)이 간극(D)(도 3 참조)을 통과할 시에는, 보조 차륜(22)이 주행면(R1a, R2a, R3a)에 접촉하여, 주행 차륜(21)의 빠짐을 억제하고 있다. 또한, 1 개의 주행 차륜(21)에 2 개의 보조 차륜(22)을 마련하는 것에 한정되지 않으며, 예를 들면, 1 개의 주행 차륜(21)에 1 개의 보조 차륜(22)이 마련되어도 되고, 보조 차륜(22)이 마련되지 않아도 된다.
도 1 및 도 2에 나타나는 바와 같이, 이동 재치 장치(18) 및 이동 재치 장치(18)에 유지하고 있는 물품(M)을 둘러싸도록 커버(W)가 마련되어도 된다. 커버(W)는, 하단을 개방한 형상으로서, 또한, 슬라이드 구동부(11)의 가동판이 돌출되는 부분(슬라이드 이동하는 부분)을 노치한 형상을 가지고 있다. 커버(W)는, 상단이 회동부(12)에 장착되어 있고, 회동부(12)의 회동에 수반하여 제 1 수직축(AX1) 둘레로 회동한다.
연결부(30)는, 본체부(10)의 상부 유닛(17)과 주행부(20)를 연결한다. 연결부(30)는, 상부 유닛(17)(본체부(10))의 상면(17a)의 4 개의 코너부에 각각 마련된다. 이 연결부(30)에 의해 본체부(10)는, 현수된 상태가 되어, 격자 형상 레일(R)보다 하방에 배치된다. 연결부(30)는 지지 부재(31)와, 접속 부재(32)를 가진다. 지지 부재(31)는, 주행 차륜(21)의 회전축 및 보조 차륜(22)의 회전축을 회전 가능하게 지지한다. 지지 부재(31)에 의해, 주행 차륜(21)과 보조 차륜(22)과의 상대 위치를 보지한다. 지지 부재(31)는 예를 들면 판 형상으로 형성되고, 간극(D)을 통과 가능한 두께로 형성된다.
접속 부재(32)는, 지지 부재(31)로부터 하방으로 연장되어 상부 유닛(17)의 상면(17a)에 연결되고, 상부 유닛(17)을 보지한다. 접속 부재(32)는, 후술하는 주행 구동부(33)의 구동력을 주행 차륜(21)에 전달하는 전달 기구를 내부에 구비한다. 이 전달 기구는, 체인 또는 벨트가 이용되는 구성이어도 되고, 톱니바퀴열이 이용되는 구성이어도 된다. 접속 부재(32)는, 선회축(AX3)을 중심으로서 θZ 방향으로 회전 가능하게 마련된다. 이 접속 부재(32)가 선회축(AX3)을 중심으로서 회전함으로써, 주행 차륜(21)을 θZ 방향으로 선회시킬 수 있다.
연결부(30)에는 주행 구동부(33)와, 방향 전환 기구(34)가 마련된다. 주행 구동부(33)는, 접속 부재(32)에 장착된다. 주행 구동부(33)는, 주행 차륜(21)을 구동하는 구동원이며, 예를 들면 전기 모터 등이 이용된다. 4 개의 주행 차륜(21)은, 각각 주행 구동부(33)에 의해 구동되어 구동륜이 된다. 4 개의 주행 차륜(21)은, 동일 또는 거의 동일한 회전수가 되도록 대차 컨트롤러(50)에 의해 제어된다. 또한, 4 개의 주행 차륜(21) 중 어느 하나를 구동륜으로서 이용하지 않는 경우는, 그 접속 부재(32)에는 주행 구동부(33)는 장착되지 않는다.
방향 전환 기구(34)는, 본체부(10)에 대하여 연결부(30)의 접속 부재(32)를, 선회축(AX3)을 중심으로서 선회시킴으로써, 주행 차륜(21)을 θZ 방향으로 선회시킨다. 주행 차륜(21)을 θZ 방향으로 선회시킴으로써, 천장 반송차(100)의 주행 방향을 제 1 방향(D1)으로 하는 제 1 상태로부터 주행 방향을 제 2 방향(D2)으로 하는 제 2 상태로, 또는 주행 방향을 제 2 방향(D2)으로 하는 제 2 상태로부터 주행 방향을 제 1 방향(D1)으로 하는 제 1 상태로 전환하는 것이 가능하다.
방향 전환 기구(34)는 구동원(35)과, 피니언 기어(36)와, 랙(37)을 가진다. 구동원(35)은, 주행 구동부(33)에 있어서 선회축(AX3)으로부터 떨어진 측면에 장착되어 있다. 구동원(35)에는, 예를 들면 전기 모터 등이 이용된다. 피니언 기어(36)는, 구동원(35)의 하면측에 장착되어 있고, 구동원(35)에서 발생한 구동력에 의해 θZ 방향으로 회전 구동한다. 피니언 기어(36)는, 평면에서 봤을 때 원형 형상이며, 외주의 둘레 방향으로 복수의 톱니를 가진다. 랙(37)은, 상부 유닛(17)의 상면(17a)에 고정된다. 랙(37)은, 상부 유닛(17)의 상면(17a)의 4 개의 코너부에 각각 마련되고, 주행 차륜(21)의 선회축(AX3)을 중심으로 한 원호 형상으로 마련된다. 랙(37)은, 외주의 둘레 방향으로, 피니언 기어(36)의 톱니와 맞물리는 복수의 톱니를 가진다.
피니언 기어(36) 및 랙(37)은, 서로의 톱니가 맞물린 상태로 배치된다. 피니언 기어(36)가 θZ 방향으로 회전함으로써, 랙(37)의 외주를 따르도록 피니언 기어(36)가 선회축(AX3)을 중심으로 하는 원주 방향으로 이동한다. 이 피니언 기어(36)의 이동에 의해, 접속 부재(32)가 선회하고, 주행 구동부(33) 및 방향 전환 기구(34)가 피니언 기어(36)와 함께 선회축(AX3)을 중심으로 하는 원주 방향으로 선회한다.
방향 전환 기구(34)의 선회에 의해, 상면(17a)의 4 개의 코너부에 배치된 주행 차륜(21) 및 보조 차륜(22)의 각각이 선회축(AX3)을 중심으로서 θZ 방향으로 90도의 범위에서 선회한다. 방향 전환 기구(34)의 구동은, 대차 컨트롤러(50)에 의해 제어된다. 대차 컨트롤러(50)는, 4 개의 주행 차륜(21)의 선회 동작을 동일한 타이밍에 행하도록 지시해도 되고, 상이한 타이밍에 행하도록 지시해도 된다. 주행 차륜(21) 및 보조 차륜(22)을 선회시킴으로써, 주행 차륜(21)이 제 1 레일(R1) 및 제 2 레일(R2)의 일방에 접촉한 상태로부터 타방에 접촉한 상태로 이행한다. 이 때문에, 천장 반송차(100)의 주행 방향을 제 1 방향(D1)(X 방향)으로 하는 제 1 상태와, 주행 방향을 제 2 방향(D2)(Y 방향)으로 하는 제 2 상태에서 전환할 수 있다.
대차 컨트롤러(50)는 CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory) 및 RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어지는 컴퓨터이다. 대차 컨트롤러(50)는, 예를 들면 ROM에 저장되어 있는 프로그램이 RAM 상에 로드되어 CPU로 실행되는 소프트웨어로서 구성할 수 있다. 대차 컨트롤러(50)는, 전자 회로 등에 의한 하드웨어로서 구성되어도 된다. 대차 컨트롤러(50)는, 하나의 장치로 구성되어도 되고, 복수의 장치로 구성되어도 된다. 복수의 장치로 구성되어 있는 경우에는, 이들이 인터넷 또는 인트라넷 등의 통신 네트워크를 개재하여 접속됨으로써, 논리적으로 하나의 대차 컨트롤러(50)가 구축된다. 대차 컨트롤러(50)는, 본체부(10)에 마련되지만, 본체부(10)의 외부에 마련되어도 된다.
대차 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(100)의 각 부의 동작을 통괄적으로 제어한다. 대차 컨트롤러(50)는, 반송 지령에 기초하여, 천장 반송차(100)의 주행을 제어한다. 대차 컨트롤러(50)는, 주행 구동부(33), 방향 전환 기구(34) 등을 제어함으로써, 천장 반송차(100)의 주행을 제어한다. 대차 컨트롤러(50)는, 반송 지령에 기초하여, 천장 반송차(100)의 이동 재치 동작을 제어한다. 대차 컨트롤러(50)는, 이동 재치 장치(18) 등을 제어함으로써, 천장 반송차(100)의 이동 재치 동작을 제어한다. 대차 컨트롤러(50)는, 주기적으로 상태 정보(도시하지 않음)를 생성하여 갱신한다. 대차 컨트롤러(50)는, 상태 정보를 시스템 컨트롤러(5)로 송신한다. 상태 정보는, 예를 들면, 천장 반송차(100)의 현재 위치의 정보, 정상 또는 이상 등의 천장 반송차(100)의 현재의 상태를 나타내는 정보, 반송 지령 등의 각종 지령의 천장 반송차(100)에 의한 실행 상태(실행 중, 실행 완료, 실행 실패)에 관한 정보이다.
시스템 컨트롤러(5)는 CPU, ROM 및 RAM 등으로 이루어지는 컴퓨터이다. 시스템 컨트롤러(5)는, 예를 들면 ROM에 저장되어 있는 프로그램이 RAM 상에 로드되어 CPU로 실행되는 소프트웨어로서 구성할 수 있다. 시스템 컨트롤러(5)는, 전자 회로 등에 의한 하드웨어로서 구성되어도 된다. 시스템 컨트롤러(5)는, 하나의 장치로 구성되어도 되고, 복수의 장치로 구성되어도 된다. 복수의 장치로 구성되어 있는 경우에는, 이들이 인터넷 또는 인트라넷 등의 통신 네트워크를 개재하여 접속됨으로써, 논리적으로 하나의 시스템 컨트롤러(5)가 구축된다.
시스템 컨트롤러(5)는, 반송 지령을 생성한다. 시스템 컨트롤러(5)는, 물품(M)을 반송 가능한 복수의 천장 반송차(100) 중 어느 하나를 선택하고, 선택한 천장 반송차(100)에 반송 지령을 할당한다. 반송 지령은, 반송원의 로드 포트(62)로의 주행을 실행시키는 주행 지령과, 당해 로드 포트(62)에 재치된 물품(M)의 하물 피킹(picking) 지령과, 반송처의 로드 포트(62)로의 주행을 실행시키는 주행 지령과, 보지하고 있는 물품(M)의 당해 로드 포트(62)로의 하물 언로딩 지령을 포함한다. 반송원 및 반송처에 관한 정보는, 예를 들면, 상위 컨트롤러(미도시)로부터 수신할 수 있다. 격자 형상 레일(R)에 있어서 반송원의 로드 포트(62)로 주행할 시에 거치는 주행 경로는, 각종 공지 방법에 의해 취득할 수 있다. 격자 형상 레일(R)에 있어서 반송처의 로드 포트(62)로 주행할 시에 거치는 주행 경로는, 마찬가지로, 각종 공지 방법에 의해 취득할 수 있다.
시스템 컨트롤러(5)에는, 복수의 로드 포트(62)의 각각의 방향에 관한 로드 포트 정보가 미리 기억되어 있다. 일례로서, 시스템 컨트롤러(5)에는, 복수의 로드 포트(62)의 포트 번호, 위치 및 방향이 서로 관련지어진 로드 포트 정보가 기억되어 있다. 포트 번호는, 복수의 로드 포트(62)마다 설정된 식별용의 번호이다. 시스템 컨트롤러(5)는, 할당하는 반송 지령에 있어서의 반송원의 로드 포트(62)의 방향과 반송처의 로드 포트(62)의 방향을, 로드 포트 정보에 기초하여 취득한다. 시스템 컨트롤러(5)는, 반송 지령을 할당하는 천장 반송차(100)에 대하여, 반송원의 로드 포트(62)의 방향에 관한 정보와 반송처의 로드 포트(62)의 방향에 관한 정보를 송신한다.
여기서, 본 실시 형태에 있어서, 대차 컨트롤러(50)는, 물품 보지부(13)로 보지하고 있는 물품(M)의 방향과, 당해 물품(M)이 재치되는 로드 포트(62)의 천장 반송차(100)의 정지 위치에 대한 방향에 따라, 제 1 선회 구동부(15) 및 제 2 선회 구동부(16) 중 적어도 어느 하나를 제어한다. 예를 들면, 로드 포트(62)에 실린 물품(M)의 방향은, 로드 포트(62)의 방향에 대하여 일정 관계의(여기에서는, 동일한) 방향인 점에서, 물품 보지부(13)로 보지하고 있는 물품(M)의 방향은, 시스템 컨트롤러(5)로부터 송신된, 반송원의 로드 포트(62)의 방향에 관한 정보에 기초하여 취득할 수 있다. 물품(M)이 재치되는 로드 포트(62)의 방향은, 시스템 컨트롤러(5)로부터 송신된, 반송처의 로드 포트(62)의 방향에 관한 정보에 기초하여 취득할 수 있다.
대차 컨트롤러(50)는, 물품(M)의 방향과 로드 포트(62)의 방향이 일정 관계가 되도록, 물품 보지부(13)를 제 1 각도 수평 선회시키는 제 1 제어와, 물품(M)의 방향이 미세 조정되도록, 물품 보지부(13)를 제 각도 수평 선회시키는 제 2 제어를 실행한다. 제 1 각도는, 반송원의 로드 포트(62)의 방향과 반송처의 로드 포트(62)의 방향이 상이하기 때문에 요구되는 수평 선회의 각도이다. 제 1 각도는, 예를 들면 90° 이상 270° 이하의 각도이다. 제 2 각도는, 물품(M)의 방향의 의도하지 않는 이탈을 보정하기 위하여 요구되는 수평 선회의 각도이다. 제 2 각도는, 제 1 각도보다 작은 각도이며, 예를 들면 10° 이하의 각도이다.
다음으로, 천장 반송 시스템(SYS)에 있어서, 천장 반송차(100)에 의해 물품(M)을 로드 포트(62) 간에서 반송하는 경우의 일례를 설명한다.
일례에서는, 도 5에 나타나는 바와 같이, 통로(ST)를 사이에 둔 일방측 및 타방측의 각각에 있어서, 당해 통로(ST)를 따라 배열되도록 처리 장치(6)가 3 대씩 배치되어 있다. 통로(ST)는, 상방에서 봤을 때, 직선적으로 곧게 연장된다. 통로(ST)의 일방측의 처리 장치(6)와 통로(ST)의 타방측의 처리 장치(6)는, 서로 마주하도록 배치되어 있다. 로드 포트(62)의 방향은, 정면을 통로(ST)측으로 하는 방향이다. 여기서의 일례에서는, 로드 포트(62S)에 재치된 물품(M)을, 이 로드 포트(62S)에 통로(ST)를 개재하여 대향하는 로드 포트(62E)에 이동 재치한다. 로드 포트(62S)의 방향과 로드 포트(62E)의 방향은, 180° 반대의 방향이다.
천장 반송차(100)는, 반송 지령이 시스템 컨트롤러(5)로부터 할당되고, 또한 당해 반송 지령에 따른 반송원 및 반송처 각각의 로드 포트(62S, 62E)의 방향에 관한 정보를 시스템 컨트롤러(5)로부터 수신한다. 이에 의해, 천장 반송차(100)는, 대차 컨트롤러(50)의 제어에 의해, 이하의 동작을 실행한다.
즉, 도 6에 나타나는 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 반송원의 로드 포트(62S)와의 사이에서 물품(M)을 이동 재치 가능한 위치까지, 반송 지령의 주행 경로를 따라 주행한다. 도 7에 나타나는 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 반송원의 로드 포트(62S)에 재치된 물품(M)의 하물 피킹을 행한다. 도 8에 나타나는 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 물품(M)을 하물 피킹한 상태로, 반송처의 로드 포트(62E)와의 사이에서 물품(M)을 이동 재치 가능한 위치까지, 반송 지령의 주행 경로를 따라 주행한다. 로드 포트(62E)로의 반송 중, 도 9에 나타나는 바와 같이, 제 1 제어를 실시하고, 물품(M)의 방향과 반송처의 로드 포트(62E)의 방향이 일치하도록(물품(M)의 정면이 로드 포트(62E)의 정면을 향하도록), 제 1 선회 구동부(15) 및 제 2 선회 구동부(16) 중 적어도 어느 하나를 제어하여, 물품 보지부(13)를 제 1 각도 수평 선회시킨다. 도시하는 예에서는, 제 1 각도는 180°이다.
도 10에 나타나는 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 반송처의 로드 포트(62E)에 대하여 물품(M)의 하물 언로딩을 행한다. 이 때, 제 2 제어를 실시하고, 물품(M)의 방향이 미세 조정되도록(물품(M)의 정면이 로드 포트(62E)의 정면을 올바르게 향하도록), 제 1 선회 구동부(15) 및 제 2 선회 구동부(16) 중 적어도 어느 하나를 제어하여, 물품 보지부(13)를 제 2 각도 수평 선회시킨다. 이상에 의해, 로드 포트(62S)로부터 로드 포트(62E)로의 물품(M)의 이동 재치가 완료된다. 이 후, 천장 반송차(100)는, 예를 들면 다른 반송 지령이 할당되고, 다른 로드 포트(62)를 향해 주행한다(도 11 참조).
이상, 천장 반송차(100)에 의하면, 물품 보지부(13)로 보지하고 있는 물품(M)의 방향이 어느 방향이라도, 제 1 선회 구동부(15) 및 제 2 선회 구동부(16) 중 적어도 어느 하나를 물품(M)의 방향 및 로드 포트(62)의 방향에 따라 제어함으로써, 로드 포트(62)에 대하여 원하는 방향으로 물품(M)을 이동 재치할 수 있다.
천장 반송차(100)는, 직선 구동부로서, 물품 보지부(13)를 승강시키는 승강 구동부(14)와 승강 구동부(14)를 슬라이드 이동시키는 슬라이드 구동부(11)를 가지고, 선회 구동부로서, 슬라이드 구동부(11)를 수평 선회시키는 제 1 선회 구동부(15)와 승강 구동부(14)를 수평 선회시키는 제 2 선회 구동부(16)를 가진다. 이러한 구성에 의하면, 물품(M)의 방향을 구체적으로 제어하는 것이 가능해진다.
천장 반송차(100)는, 격자 형상 레일(R)을 따라 주행 가능한 반송차로서, 격자 형상 레일(R) 상을 전동하는 주행 차륜(21)과, 격자 형상 레일(R)의 하방에 배치된 본체부(10)를 구비한다. 이러한 구성에 의하면, 천장 반송차(100)의 주행 경로를 자유롭게 선택하기 쉬워져, 정체의 발생을 억제하여, 반송 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.
천장 반송차(100)에서는, 대차 컨트롤러(50)는, 물품(M)의 방향과 로드 포트(62)의 방향이 일정 관계가 되도록 물품 보지부(13)를 제 1 각도 수평 선회시키는 제 1 제어와, 물품(M)의 방향이 미세 조정되도록 물품 보지부(13)를 제 2 각도 수평 선회시키는 제 2 제어를 실행한다. 이에 의해, 로드 포트(62)에 대하여, 확실하게 원하는 방향으로 물품(M)을 이동 재치하는 것이 가능해진다.
이상, 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명의 일태양은, 상기 실시 형태에 한정되지 않으며, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다.
상기 실시 형태에 있어서, 격자 형상 레일(R)에 있어서의 천장 반송차(100)의 주행 경로는, 시스템 컨트롤러(5)에 의해, 반송 지령의 생성에 수반하여 당해 반송 지령에 따라 설정되지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면 도 12에 나타나는 바와 같이, 천장 반송 시스템(SYS)은, 천장 반송차(100)가 주행하는 주행 경로(7)로서, 통로(ST)를 횡단하도록 연장되고 또한 천장 반송차(100)를 한 쌍의 로드 포트(62) 상을 통과시키는 횡단 주행 경로(70)를 구비하고 있어도 된다.
도 12에 나타나는 일례에서는, 주행 경로(7)는, 미리 설정된 일방 통행의 경로이다. 주행 경로(7)는, 횡단 주행 경로(70) 외에, 제 1 인터베이 경로(71) 및 제 2 인터베이 경로(72)를 적어도 포함한다. 제 1 인터베이 경로(71)는, 서로 통행 방향을 반대 방향으로 하여 평행하게 배열되는 쌍으로 설정되어 있다. 제 2 인터베이 경로(72)는, 서로 통행 방향을 반대 방향으로 하여 평행하게 배열되는 쌍으로 설정되어 있다. 제 2 인터베이 경로(72)는, 한 쌍의 제 1 인터베이 경로(71)를 접속한다. 제 2 인터베이 경로(72)는, 통로(ST)를 따르는 방향으로 연장된다. 횡단 주행 경로(70)는, 한 쌍의 제 2 인터베이 경로(72)를 접속한다. 횡단 주행 경로(70)는, 인트라 베이 경로를 구성한다. 횡단 주행 경로(70)는, 서로 통행 방향을 반대 방향으로 하여 평행하게 배열되는 쌍으로 설정되어 있다. 여기서는, 횡단 주행 경로(70)는 한 쌍의 제 2 인터베이 경로(72)의 사이에 3 쌍 설정되어 있다. 횡단 주행 경로(70)는, 한 쌍의 로드 포트(62) 또는 그 주변 상을 지나도록 설정되어 있다.
일반적으로, 통로(ST)를 개재하여 대향하는 한 쌍의 로드 포트(62)의 방향은, 서로 반대 방향이 된다. 이 때문에, 물품(M)의 방향과 로드 포트(62)의 방향이 일정 관계가 되도록 당해 한 쌍의 로드 포트(62)의 사이에서 물품(M)을 이동 재치하는 것은 곤란하다. 이 문제점을 해결하기 위하여, 천장 반송 시스템(SYS)은, 횡단 주행 경로(70) 및 천장 반송차(100)를 구비하고 있다. 횡단 주행 경로(70)에 따른 한 쌍의 로드 포트(62)의 사이에서도, 제 1 선회 구동부(15) 및 제 2 선회 구동부(16) 중 적어도 어느 하나를 적절히 제어함으로써, 원하는 방향으로 물품(M)을 이동 재치하는 것이 가능해진다. 또한, 포인트(A)에서 이동 재치하고 있는 천장 반송차(100)가 존재해도, 영역(X) 내에 있는 물품(M)은 포인트(A)를 통과하는 경로 상에 없기 때문에, 영역(X) 내의 물품(M)을 이동 재치하고자 하여 각 로드 포트(62)를 향하고 있는 천장 반송차(100)의 주행이 방해받지 않게 된다. 이동 재치 가능한 로드 포트(62) 근방(영역(Y)) 내에 분기 합류를 마련하지 않아도 된다. 따라서, 로드 포트(62) 부근에서 정체가 일어나기 어려워진다.
상기 실시 형태에서는, 천장 반송차(100)는, 물품 보지부(13)로 보지하고 있는 물품(M)의 방향을, 시스템 컨트롤러(5)로부터 송신된 반송원의 로드 포트(62)의 방향에 관한 정보에 기초하여 취득했지만, 물품(M)의 방향의 취득 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면 별도의 센서 또는 카메라에 의해, 물품 보지부(13)로 보지하고 있는 물품(M)의 방향을 인식해도 된다. 상기 실시 형태에서는, 천장 반송차(100)는, 반송처의 로드 포트(62)의 방향을, 시스템 컨트롤러(5)로부터 송신된 반송처의 로드 포트(62)의 방향에 관한 정보에 기초하여 취득했지만, 반송처의 로드 포트(62)의 방향의 취득 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면 별도의 센서 또는 카메라에 의해, 반송처의 로드 포트(62)의 방향을 인식해도 된다.
상기 실시 형태에서는, 천장 반송차(100)는, 격자 형상으로 배치되어 있지 않고 또한 일방 통행의 레일을 따라 주행하는 천장 반송차여도 된다. 이러한 천장 반송차에서는, 로드 포트(62)에 대하여 원하는 방향으로 물품(M)을 이동 재치하기 위하여, 당해 로드 포트(62)로 진입하는 방향이 제한되고, 나아가서는, 당해 로드 포트(62)로의 주행 경로가 제한되는 경우가 있다. 이 경우, 다른 천장 반송차(100)의 통행을 방해하고, 정체가 발생하여 반송 효율이 저하될 염려가 있다. 이 점, 대차 컨트롤러(50)에 의해 선회 구동부를 적절히 제어함으로써, 로드 포트(62)에 대하여 어느 방향으로부터 진입한 경우라도, 당해 로드 포트(62)에 대하여 원하는 방향으로 물품(M)을 전달할 수 있다. 그 결과, 천장 반송차는, 목적의 로드 포트(62)로의 주행 경로가 제한되는 것을 억제할 수 있고, 예를 들면 다른 천장 반송차의 통행을 방해하지 않는 주행 경로를 선택하기 쉬워진다. 따라서, 정체의 발생을 억제하여, 반송 효율을 향상시키는 것이 가능해진다. 또한, 격자 형상으로 배치되어 있지 않고 또한 일방 통행의 레일을 따라 주행하는 천장 반송차의 경우에는, 물품 보지부(13)로 보지하고 있는 물품(M)의 방향, 반송처의 로드 포트(62)의 방향, 및 반송처의 로드 포트(62)로의 진입 방향에 따라, 제 1 선회 구동부(15) 및 제 2 선회 구동부(16) 중 적어도 어느 하나가 제어된다.
상기 실시 형태에서는, 제 2 선회 구동부(16)에 의해 승강 구동부(14)가 수평 선회하도록 구성했지만, 제 2 선회 구동부(16)에 의해 물품 보지부(13)가 수평 선회하도록 구성해도 된다. 상기 실시 형태에서는, 천장 반송차(100)가 반송처의 로드 포트(62)로 주행하고 있는 동안에, 물품(M)의 방향과 로드 포트(62)의 방향이 일정 관계가 되도록 물품 보지부(13)를 수평 선회시키는 제 1 제어를 실행했지만, 제 1 제어의 실행 타이밍은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 반송처의 로드 포트(62E)에 대하여 물품(M)의 하물 언로딩을 행하고 있는 동안에, 제 1 제어를 실행해도 된다.
상기 실시 형태 및 변형예에 있어서의 각 구성에는, 상술한 재료 및 형상에 한정되지 않고, 다양한 재료 및 형상을 적용할 수 있다. 상기 실시 형태 또는 변형예에 있어서의 각 구성은, 다른 실시 형태 또는 변형예에 있어서의 각 구성에 임의로 적용할 수 있다. 상기 실시 형태 또는 변형예에 있어서의 각 구성의 일부는, 본 발명의 일태양의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 생략 가능하다.
6 : 처리 장치
10 : 본체부
11 : 슬라이드 구동부(직선 구동부)
13 : 물품 보지부
14 : 승강 구동부(직선 구동부)
15 : 제 1 선회 구동부(선회 구동부)
16 : 제 2 선회 구동부(선회 구동부)
21 : 주행 차륜
50 : 대차 컨트롤러(제어부)
62 : 로드 포트
70 : 횡단 주행 경로(주행 경로)
100 : 천장 반송차
M : 물품
R : 격자 형상 레일(레일)
ST : 통로

Claims (5)

  1. 물품을 보지하는 물품 보지부와,
    상기 물품 보지부가 직선적으로 이동하도록 구동하는 직선 구동부와,
    상기 물품 보지부가 수평 선회하도록 구동하는 선회 구동부와,
    상기 물품 보지부로 보지하고 있는 상기 물품의 방향 및 상기 물품이 재치되는 로드 포트의 방향에 따라, 상기 선회 구동부를 제어하는 제어부를 구비하는, 천장 반송차.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 직선 구동부는, 상기 물품 보지부를 승강시키는 승강 구동부와, 상기 승강 구동부를 슬라이드 이동시키는 슬라이드 구동부를 가지고,
    상기 선회 구동부는, 상기 슬라이드 구동부를 수평 선회시키는 제 1 선회 구동부와, 상기 물품 보지부 또는 상기 승강 구동부를 수평 선회시키는 제 2 선회 구동부를 가지는, 천장 반송차.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    적어도 일부가 격자 형상으로 배치된 레일을 따라 주행 가능한 천장 반송차로서,
    상기 레일 상을 전동하는 주행 차륜과,
    상기 레일의 하방에 배치되고, 상기 물품 보지부, 상기 직선 구동부 및 상기 선회 구동부를 포함하는 본체부를 구비하는, 천장 반송차.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 물품의 방향과 상기 로드 포트의 방향이 일정 관계가 되도록, 상기 물품 보지부를 제 1 각도 수평 선회시키는 제 1 제어와,
    상기 물품의 방향이 미세 조정되도록, 상기 물품 보지부를, 상기 제 1 각도보다 작은 제 2 각도 수평 선회시키는 제 2 제어를 실행하는, 천장 반송차.
  5. 통로를 사이에 둔 일방측 및 타방측의 각각에 있어서 상기 통로를 따라 배열되도록 배치된 복수의 처리 장치와,
    제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 천장 반송차를 구비하고,
    복수의 상기 처리 장치의 각각은, 그 상기 통로측에 배치된 상기 로드 포트를 가지고,
    상기 천장 반송차가 주행하는 경로로서, 상기 통로를 횡단하도록 연장되고 또한 상기 천장 반송차를 한 쌍의 상기 로드 포트 상을 통과시키는 주행 경로를 구비하는, 천장 반송 시스템.
KR1020227040260A 2020-04-27 2021-02-15 천장 반송차 및 천장 반송 시스템 KR102670887B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2020-078157 2020-04-27
JP2020078157 2020-04-27
PCT/JP2021/005478 WO2021220582A1 (ja) 2020-04-27 2021-02-15 天井搬送車及び天井搬送システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20230004691A true KR20230004691A (ko) 2023-01-06
KR102670887B1 KR102670887B1 (ko) 2024-05-31

Family

ID=78331916

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020227040260A KR102670887B1 (ko) 2020-04-27 2021-02-15 천장 반송차 및 천장 반송 시스템

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20230118995A1 (ko)
EP (1) EP4134289A4 (ko)
JP (1) JP7327660B2 (ko)
KR (1) KR102670887B1 (ko)
CN (1) CN115175842B (ko)
IL (1) IL296988A (ko)
TW (1) TW202208216A (ko)
WO (1) WO2021220582A1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG11202104302QA (en) * 2018-10-29 2021-05-28 Murata Machinery Ltd Ceiling traveling vehicle, ceiling traveling vehicle system, and method for detecting obstacle

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140141827A (ko) * 2013-05-31 2014-12-11 주식회사 에스에프에이 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템
WO2015174181A1 (ja) * 2014-05-14 2015-11-19 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
WO2018037762A1 (ja) 2016-08-26 2018-03-01 村田機械株式会社 有軌道台車システム、及び有軌道台車
KR20200027996A (ko) * 2017-08-16 2020-03-13 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송차, 반송 시스템, 및 천장 반송차의 제어 방법

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4702693B2 (ja) * 2004-02-12 2011-06-15 ムラテックオートメーション株式会社 搬送台車及び搬送装置
JP4394027B2 (ja) * 2005-04-05 2010-01-06 村田機械株式会社 天井走行車システム
KR101479941B1 (ko) * 2013-06-24 2015-01-13 주식회사 에스에프에이 반송대차
JP6586936B2 (ja) * 2016-09-21 2019-10-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN110937386A (zh) * 2018-09-21 2020-03-31 张志峰 运输设备
JP7040638B2 (ja) 2018-10-29 2022-03-23 村田機械株式会社 天井搬送車及び天井搬送車システム

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140141827A (ko) * 2013-05-31 2014-12-11 주식회사 에스에프에이 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템
WO2015174181A1 (ja) * 2014-05-14 2015-11-19 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
WO2018037762A1 (ja) 2016-08-26 2018-03-01 村田機械株式会社 有軌道台車システム、及び有軌道台車
KR20190032493A (ko) * 2016-08-26 2019-03-27 무라다기카이가부시끼가이샤 유궤도 대차 시스템 및 유궤도 대차
KR20200027996A (ko) * 2017-08-16 2020-03-13 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송차, 반송 시스템, 및 천장 반송차의 제어 방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN115175842A (zh) 2022-10-11
CN115175842B (zh) 2024-05-03
EP4134289A4 (en) 2024-05-08
EP4134289A1 (en) 2023-02-15
JP7327660B2 (ja) 2023-08-16
WO2021220582A1 (ja) 2021-11-04
KR102670887B1 (ko) 2024-05-31
US20230118995A1 (en) 2023-04-20
IL296988A (en) 2022-12-01
JPWO2021220582A1 (ko) 2021-11-04
TW202208216A (zh) 2022-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI729078B (zh) 搬運系統
CN113056405B (zh) 高架搬运车以及高架搬运车系统
US11476141B2 (en) Rail-guided trolley system, and rail-guided trolley
JP5316907B2 (ja) 物品搬送設備
JP7351348B2 (ja) 搬送システム及びグリッドシステム
KR102670887B1 (ko) 천장 반송차 및 천장 반송 시스템
KR102686321B1 (ko) 반송차
KR102513293B1 (ko) 반송 장치
US12116021B2 (en) Traveling vehicle system
JP7347695B2 (ja) 天井保管システム
JP7323059B2 (ja) 搬送車システム
WO2024070303A1 (ja) 天井搬送車
WO2024070299A1 (ja) 天井搬送車
JP7559999B2 (ja) 搬送システム
WO2024070300A1 (ja) 回転機構及び天井搬送車
WO2024070310A1 (ja) 天井走行車システム
JP2023074704A (ja) 物品搬送装置
TW202428478A (zh) 有軌道台車系統

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant