TW202208216A - 高架搬送車及高架搬送系統 - Google Patents
高架搬送車及高架搬送系統 Download PDFInfo
- Publication number
- TW202208216A TW202208216A TW110114237A TW110114237A TW202208216A TW 202208216 A TW202208216 A TW 202208216A TW 110114237 A TW110114237 A TW 110114237A TW 110114237 A TW110114237 A TW 110114237A TW 202208216 A TW202208216 A TW 202208216A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- article
- transport vehicle
- overhead transport
- orientation
- article holding
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0464—Storage devices mechanical with access from above
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B61B13/00—Other railway systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
- B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61D—BODY DETAILS OR KINDS OF RAILWAY VEHICLES
- B61D47/00—Loading or unloading devices combined with vehicles, e.g. loading platforms, doors convertible into loading and unloading ramps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/07—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H01L21/677
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
Abstract
本發明之高架搬送車具備有:物品保持部,其保持物品;直線驅動部,其以物品保持部直線地移動的方式進行驅動;迴旋驅動部,其以物品保持部水平迴旋的方式進行驅動;以及控制部,其根據由物品保持部所保持之物品的朝向及供該物品載置之裝載埠的朝向,來控制迴旋驅動部。
Description
本發明一態樣係關於高架搬送車及高架搬送系統。
作為關於高架搬送車之技術,已知例如專利文獻1所記載之有軌台車。專利文獻1所記載之有軌台車具備有沿著包含被配置為網格狀部位之軌道而於軌道之下側保持物品並進行搬送的本體部。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]國際專利公開第2018/037762號
(發明所欲解決之問題)
然而,上述之高架搬送車,存在有根據物品保持部所保持之物品的朝向,在將物品移載至裝載埠成為所希望的朝向有所困難之可能。
因此,本發明之一態樣,其目的在於提供可將物品以所期望之朝向對裝載埠進行移載之高架搬送車及高架搬送系統。
(解決問題之技術手段)
本發明一態樣之高架搬送車具備有:物品保持部,其保持物品;直線驅動部,其以物品保持部直線地移動的方式進行驅動;迴旋驅動部,其以物品保持部水平迴旋的方式進行驅動;以及控制部,其根據由物品保持部所保持之物品的朝向及供該物品載置之裝載埠的朝向,來控制迴旋驅動部。
根據該高架搬送車,無論由物品保持部所保持之物品的朝向為哪個朝向,均可藉由控制部而根據物品的朝向及裝載埠的朝向來控制迴旋驅動部,藉此可將物品以所期望之朝向來對裝載埠進行移載。
於本發明一態樣之高架搬送車中,亦可為直線驅動部具有使物品保持部升降之升降驅動部、及使升降驅動部滑動移動之滑動驅動部,而迴旋驅動部具有使滑動驅動部水平迴旋之第1迴旋驅動部、及使物品保持部或升降驅動部水平迴旋之第2迴旋驅動部。根據如此之構成,可具體地控制物品的朝向。
本發明一態樣之高架搬送車係可沿著至少一部分被配置為網格狀之軌道移行之高架搬送車,且其具備有:移行車輪,其在軌道上滾動;以及本體部,其被配置於軌道之下方,包含有物品保持部、直線驅動部及迴旋驅動部。根據如此之構成,可易於自由地選擇高架搬送車之移行路徑,抑制塞車之發生,而提高搬送效率。
於本發明一態樣之高架搬送車中,亦可為控制部執行:第1控制,其以物品之朝向與裝載埠之朝向成為固定關係的方式,使物品保持部以第1角度水平迴旋;及第2控制,其以微調物品之朝向的方式,使物品保持部以小於第1角度的第2角度水平迴旋。藉此,可確實地將物品以所期望之朝向對裝載埠進行移載。
本發明一態樣之高架搬送系統具備有:複數個處理裝置,其等各被配置為在隔著通道之一側及另一側沿著該通道排列;以及上述高架搬送車;複數個處理裝置之各者具有被配置於其通道側之裝載埠;高架搬送系統具備有移行路徑,而該移行路徑係供高架搬送車移行之路徑,以跨越通道之方式延伸且使高架搬送車通過一對裝載埠上。
一般而言,由於隔著通道對向之一對裝載埠的朝向會相互地成為相反方向,因此很難以物品的朝向與裝載埠的朝向成為固定關係之方式在該一對裝載埠之間移載物品。為了解決該問題,本發明一態樣之高架搬送系統具備有以跨越通道之方式延伸且使高架搬送車通過一對裝載埠上的移行路徑(以下,亦稱為跨越移行路徑)、及上述高架搬送車。藉由利用控制部適當地控制迴旋驅動部,則即便在跨越移行路徑之一對裝載埠之間,亦可以所期望之朝向來移載物品。
(對照先前技術之功效)
根據本發明一態樣,可提供將物品以所期望之朝向對裝載埠進行移載之高架搬送車及高架搬送系統。
以下,一邊參照圖式一邊對實施形態進行說明。於圖式中,為了說明實施形態,將一部分放大或加以強調而記載等適當地改變比例尺來表示。於以下各圖中,使用XYZ座標系來說明圖中之方向。於該XYZ座標系中,將與水平面平行之平面設為XY平面。將沿著該XY平面之一直線方向標示為X方向,並將與X方向正交之方向標示為Y方向。再者,高架搬送車100之移行方向可從下圖所示之狀態變化為其他方向,例如亦存在有沿著曲線方向移行之情形。又,與XY平面垂直之方向標示為Z方向。於X方向、Y方向及Z方向之各方向中,圖中箭頭所指的方向係作為+方向,而相反之方向係作為-方向而進行說明。又,將繞Z軸之旋轉方向標示為θZ方向。
如圖1、圖2及圖3所示,高架搬送系統SYS係用以於例如半導體製造工廠的無塵室中藉由高架搬送車100來搬送物品M的系統。高架搬送系統SYS為了朝向複數個處理裝置6搬送物品M而具備有高架搬送車100、及系統控制器5。物品M例如係收容半導體晶圓之FOUP(前開式晶圓傳送盒;Front Opening Unified Pod)、或者收容光罩(reticle)之光罩傳送盒(Pod)等。物品M具有朝向,例如物品M之與蓋部Mb側之相反側係正面之朝向。
處理裝置6係對物品M進行處理之裝置。處理裝置6並未特別被限定,而亦可為各種裝置。如圖5所示,處理裝置6被配置為在隔著通道ST之一側及另一側之各者沿著該通道ST排列。複數個處理裝置6之各者包含有裝置本體61及裝載埠62。裝載埠62被配置於通道ST側,供物品M載置。裝載埠62具有朝向,例如裝載埠62之通道ST側係正面之朝向。裝載埠62之朝向對應於載置於該處之物品M的朝向。例如,物品M可以裝載埠62之正面與物品M之正面一致的方式(以物品M之蓋部Mb面向裝置本體61之方式),載置於裝載埠62上。
如圖1、圖2及圖3所示,高架搬送車100沿著高架搬送系統SYS之軌道R移動並搬送物品M。高架搬送車100由於在建築物之天花板附近移行,而存在有稱為高架移行車之情形。高架搬送車100例如亦可使用複數台。藉由利用複數個高架搬送車100來搬送物品M,可進行高密度之搬送,而可提高物品M之搬送效率。
軌道R被鋪設於無塵室等之建築物的天花板或天花板附近。軌道R係具有第1軌道R1、第2軌道R2、交叉路口軌道R3之網格狀軌道(參照圖3)。軌道R其至少一部分被配置為網格狀。以下,將軌道R稱為網格狀軌道R。第1軌道R1沿著X方向(第1方向D1)被設置。第2軌道R2沿著Y方向(第2方向D2)被設置。於本實施形態中,第1方向D1與第2方向D2正交,複數個第1軌道R1與複數個第2軌道R2雖沿著相互正交之方向被設置,但被設置為彼此不直接交叉。交叉路口軌道R3被配置於第1軌道R1與第2軌道R2之交叉部分。網格狀軌道R藉由沿著第1軌道R1與第2軌道R2正交之方向被設置,而成為俯視時複數個單元C(區域)相鄰之狀態。再者,於圖3中顯示網格狀軌道R之一部分,而網格狀軌道R係由圖示之構成沿著第1方向D1(X方向)及第2方向D2(Y方向)連續相同之構成所形成。
第1軌道R1、第2軌道R2及交叉路口軌道R3藉由垂吊構件H(參照圖3)被垂吊支撐於未圖示之天花板。垂吊構件H具有用以垂吊第1軌道R1之第1部分H1、用以垂吊第2軌道R2之第2部分H2、及用以垂吊交叉路口軌道R3之第3部分H3。第1部分H1及第2部分H2分別被設置於夾住第3部分H3之兩個部位。
第1軌道R1、第2軌道R2及交叉路口軌道R3分別具有供高架搬送車100之後述之移行車輪21移行的移行面R1a、R2a、R3a。在第1軌道R1與交叉路口軌道R3之間、第2軌道R2與交叉路口軌道R3之間,分別形成有間隙D。當高架搬送車100在第1軌道R1上移行並穿越第2軌道R2時、或者在第2軌道R2上移行並穿越第1軌道R1時,間隙D係供作為高架搬送車100之一部分之後述之連結部30通過的部分。因此,間隙D被設置為連結部30可通過之寬度。第1軌道R1、第2軌道R2、及交叉路口軌道R3沿著相同或大致相同之水平面被設置。於本實施形態中,第1軌道R1、第2軌道R2及交叉路口軌道R3係移行面R1a、R2a、R3a被配置於相同或大致相同之水平面上。
如圖1及圖2所示,高架搬送車100係可沿著軌道R移行之搬送車,其具有本體部10、移行部20、連結部30、及台車控制器(控制部)50。
本體部10被配置於網格狀軌道R之下方(-Z側)。本體部10被形成為俯視時例如呈矩形狀。本體部10被形成為俯視時不超出軌道R上之1個單元C的尺寸。因此,可與在相鄰之第1軌道R1上或第2軌道R2上移行之其他高架搬送車100會車。
本體部10具備有上部單元17及移載裝置18。上部單元17經由連結部30被垂吊支撐於移行部20。上部單元17係俯視時例如呈矩形狀,在上表面17a具有4個角落部。於本體部10之4個角落部之各者,設置有移行車輪21、連結部30及方向轉換機構34。
移載裝置18被設置於上部單元17之下方。移載裝置18可繞鉛直方向之第1垂直軸AX1旋轉。移載裝置18具有:物品保持部13,其保持物品M;升降驅動部14,其使物品保持部13沿著鉛直方向升降;滑動驅動部11,其使升降驅動部14沿著水平方向滑動移動;轉動部12,其保持滑動驅動部11;第1迴旋驅動部15,其使滑動驅動部11相對於本體部10繞第1垂直軸AX1水平迴旋(旋轉驅動);及第2迴旋驅動部16,其使升降驅動部14相對於滑動驅動部11繞第2垂直軸AX2水平迴旋。升降驅動部14及滑動驅動部11構成以物品保持部13直線地移動之方式進行驅動的直線驅動部。第1迴旋驅動部15及第2迴旋驅動部16構成以物品保持部13水平迴旋之方式進行驅動的迴旋驅動部。水平迴旋意指以沿著鉛直方向之軸為旋轉軸進行迴旋。
滑動驅動部11具有例如在Z方向上重疊地被配置之複數個可動板。可動板可沿著Y方向移動。於最下層之可動板安裝有第2迴旋驅動部16。滑動驅動部11可藉由未圖示之驅動裝置使可動板移動,而使被安裝於最下層之可動板的升降驅動部14及物品保持部13以相對於移行方向朝一個方向、即朝一直線方向中之一個方向突出的方式滑動移動。轉動部12在滑動驅動部11與上部單元17之間被安裝於第1迴旋驅動部15,而保持滑動驅動部11。
物品保持部13藉由固持物品M之凸緣部Ma,來垂吊而加以物品M保持。物品保持部13例如係具有可沿著水平方向移動之爪部13a的夾具,藉由使爪部13a進入物品M之凸緣部Ma之下方,並使物品保持部13上升,而保持物品M。物品保持部13被連接於線材(wire)或皮帶(belt)之垂吊構件13b。
升降驅動部14被安裝於第2迴旋驅動部16。升降驅動部14例如係吊車,藉由捲出垂吊構件13b使物品保持部13下降,並藉由捲取垂吊構件13b使物品保持部13上升。升降驅動部14由台車控制器50所控制,以既定之速度使物品保持部13下降或上升。又,升降驅動部14由台車控制器50所控制,將物品保持部13保持在目標的高度。
第1迴旋驅動部15使用電動馬達等,使轉動部12繞第1垂直軸AX1旋轉。第1迴旋驅動部15可隨著轉動部12之旋轉,一併使滑動驅動部11繞第1垂直軸AX1旋轉。在滑動驅動部11藉由第1迴旋驅動部15繞第1垂直軸AX1旋轉之情形時,被安裝於滑動驅動部11之下側之第2迴旋驅動部16、升降驅動部14及物品保持部13將一體地繞第1垂直軸AX1旋轉。第2迴旋驅動部16使用電動馬達,使升降驅動部14繞第2垂直軸AX2旋轉。
圖4係示意性地表示自上方觀察本體部10之狀態的圖。圖4表示滑動驅動部11及升降驅動部14之旋轉移動的一例。如圖4所示,第1迴旋驅動部15可從滑動驅動部11之滑動移動的方向已對準於第1方向D1或第2方向D2之狀態,使滑動驅動部11在270度之範圍內繞第1垂直軸AX1旋轉。於該情形時,從停止在網格狀軌道R之本體部10,即使相對於第1方向D1及第2方向D2的任一者,亦可使物品保持部13滑動移動。又,可相對於裝載埠62,將物品M以所期望之朝向進行載置。
移載裝置18藉由驅動滑動驅動部11,可將升降驅動部14及物品保持部13從移載位置P1突出至突出位置P2a、P2b、P2c、P2d之任一者。突出位置P2a係藉由滑動驅動部11使升降驅動部14及物品保持部13朝+Y方向滑動移動時的突出位置。突出位置P2b係藉由第1迴旋驅動部15使滑動驅動部11繞第1垂直軸AX1旋轉90度(例如順時針地旋轉90度),並藉由滑動驅動部11使升降驅動部14及物品保持部13朝+X方向滑動移動時的突出位置。突出位置P2c係藉由第1迴旋驅動部15使滑動驅動部11繞第1垂直軸AX1旋轉180度,並藉由滑動驅動部11使升降驅動部14及物品保持部13朝-Y方向滑動移動時的突出位置。突出位置P2d係藉由第1迴旋驅動部15使滑動驅動部11繞第1垂直軸AX1旋轉270度,並藉由滑動驅動部11使升降驅動部14及物品保持部13朝-X方向滑動移動時的突出位置。
如此,雖然滑動驅動部11係使升降驅動部14及物品保持部13朝一直線方向中的一個方向滑動移動的構成,但藉由使第1迴旋驅動部15驅動並以90度間隔來設定滑動驅動部11之轉動位置,可使升降驅動部14及物品保持部13朝+X方向(第1方向D1)、+Y方向(第2方向D2)、-X方向(第1方向D1)、-Y方向(第2方向D2)之4方向的各者滑動移動。
又,第2迴旋驅動部16使用電動馬達等,以藉由滑動驅動部11所滑動移動之一直線方向為基準,使升降驅動部14(物品保持部13) 在至少180度之範圍內繞第2垂直軸AX2旋轉。於圖4中,可在以通過第2垂直軸AX2之單點鏈線所示之方向(與一直線方向正交之方向)的範圍內,使升降驅動部14(物品保持部13)繞第2垂直軸AX2旋轉180度。於該情形時,相對於裝載埠62,可將物品M以所期望之朝向進行載置。例如,藉由驅動第2迴旋驅動部16,可物品M之正面側,從面向+X方向之狀態,藉由使其繞第2垂直軸AX2旋轉180度,而成為將物品M之正面側面向-X方向(即相反方向)。例如,藉由驅動第2迴旋驅動部16,可將物品M之正面側從面向+X方向之狀態成為面向+Y方向或-Y方向之狀態。
如圖1、圖2及圖3所示,移行部20具有移行車輪21、及輔助車輪22。移行車輪21分別被配置於上部單元17(本體部10)之上表面17a之4個角落部。移行車輪21之各者被安裝於被設置在連結部30之未圖示的車軸。車軸沿著XY平面平行或大致平行地被設置。移行車輪21之各者藉由後述之移行驅動部33的驅動力進行旋轉驅動。移行車輪21之各者在網格狀軌道R上滾動。移行車輪21之各者在網格狀軌道R之第1軌道R1、第2軌道R2、及交叉路口軌道R3之移行面R1a、R2a、R3a上滾動,而使高架搬送車100移行。再者,並不限定於4個移行車輪21全部藉由移行驅動部33之驅動力進行旋轉驅動,亦可為使4個移行車輪21中之一部分旋轉驅動之構成。
移行車輪21被設置為可以迴旋軸AX3為中心朝θZ方向迴旋。移行車輪21藉由後述之方向轉換機構34朝θZ方向迴旋,其結果,可改變高架搬送車100之移行方向。輔助車輪22在移行車輪21之移行方向的前後分別被配置各1個。輔助車輪22之各者與移行車輪21一樣地可朝θZ方向旋轉。輔助車輪22之下端被設定為較移行車輪21之下端高。因此,於移行車輪21在移行面R1a、R2a、R3a上移行時,輔助車輪22不與移行面R1a、R2a、R3a接觸。又,當移行車輪21通過間隙D(參照圖3)時,輔助車輪22與移行面R1a、R2a、R3a接觸而抑制移行車輪21之陷落。再者,並不限定於在1個移行車輪21設置2個輔助車輪22之情形,例如既可於1個移行車輪21設置1個輔助車輪22,亦可不設置輔助車輪22。
如圖1及圖2所示,外罩W亦可以包圍移載裝置18及移載裝置18所保持之物品M的方式被設置。外罩W係下端開放之形狀,且具有將滑動驅動部11之可動板突出的部分(滑動移動的部分)切缺所得之形狀。外罩W係上端被安裝於轉動部12,而伴隨著轉動部12之轉動繞第1垂直軸AX1進行轉動。
連結部30將本體部10之上部單元17與移行部20加以連結。連結部30分別被設置於上部單元17(本體部10)之上表面17a之4個角落部。藉由該連結部30,本體部10成為被垂吊之狀態被配置於較網格狀軌道R更下方。連結部30具有支撐構件31、及連接構件32。支撐構件31將移行車輪21之旋轉軸及輔助車輪22之旋轉軸可進行旋轉地加以支撐。藉由支撐構件31,保持移行車輪21與輔助車輪22之相對位置。支撐構件31例如被形成為板狀,且被形成為可通過間隙D的厚度。
連接構件32從支撐構件31朝下方延伸且被連結於上部單元17之上表面17a,而保持上部單元17。連接構件32在內部具備有將後述之移行驅動部33之驅動力傳遞至移行車輪21的傳遞機構。該傳遞機構既可為使用鏈條(chain)或皮帶(belt)之構成,亦可為使用齒輪列之構成。連接構件32被設置為可以迴旋軸AX3為中心朝θZ方向旋轉。藉由該連接構件32以迴旋軸AX3為中心進行旋轉,可使移行車輪21朝θZ方向迴旋。
於連結部30設置有移行驅動部33、及方向轉換機構34。移行驅動部33被裝設於連接構件32。移行驅動部33係驅動移行車輪21之驅動源,例如使用電動馬達等。4個移行車輪21分別為藉由移行驅動部33所驅動之驅動輪。4個移行車輪21以成為相同或大致相同之轉速的方式由台車控制器50所控制。再者,於未將4個移行車輪21中之任一者作為驅動輪來使用之情形時,於其連接構件32未裝設有移行驅動部33。
方向轉換機構34藉由相對於本體部10使連結部30之連接構件32以迴旋軸AX3為中心迴旋,而使移行車輪21朝θZ方向迴旋。藉由使移行車輪21朝θZ方向迴旋,可從將高架搬送車100之移行方向設為第1方向D1之第1狀態切換為將移行方向設為第2方向D2的第2狀態、或者從將移行方向設為第2方向D2之第2狀態切換為將移行方向設為第1方向D1的第1狀態。
方向轉換機構34具有驅動源35、小齒輪36、齒條37。驅動源35被安裝於移行驅動部33中離開迴旋軸AX3的側面。驅動源35例如使用電動馬達等。小齒輪36被安裝於驅動源35之下表面側,利用由驅動源35所產生之驅動力朝θZ方向進行旋轉驅動。小齒輪36於俯視時為圓形,並沿著外周之圓周方向具有複數個齒。齒條37被固定於上部單元17之上表面17a。齒條37分別被設置於上部單元17之上表面17a的4個角落部,且被設置為以移行車輪21之迴旋軸AX3為中心的圓弧狀。齒條37沿著外周之圓周方向具有與小齒輪36之齒嚙合的複數個齒。
小齒輪36及齒條37以彼此之齒嚙合之狀態被配置。藉由小齒輪36朝θZ方向旋轉,小齒輪36以沿著齒條37之外周的方式,朝以迴旋軸AX3為中心之圓周方向移動。利用該小齒輪36之移動,連接構件32進行迴旋,移行驅動部33及方向轉換機構34與小齒輪36一起朝以迴旋軸AX3為中心的圓周方向迴旋。
藉由方向轉換機構34之迴旋,被配置於上表面17a之4個角落部之移行車輪21及輔助車輪22之各者,以迴旋軸AX3為中心朝θZ方向在90度的範圍內進行迴旋。方向轉換機構34之驅動係由台車控制器50所控制。台車控制器50既可指示為4個移行車輪21之迴轉動作在相同的時間點進行,亦可指示為在不同的時間點進行。藉由使移行車輪21及輔助車輪22迴旋,從移行車輪21與第1軌道R1及第2軌道R2之一者接觸的狀態,轉移至與另一者接觸的狀態。因此,可在將高架搬送車100之移行方向設為第1方向D1(X方向)的第1狀態、與將移行方向設為第2方向D2(Y方向)的第2狀態之間進行切換。
台車控制器50係由CPU(中央處理單元;Central Processing Unit)、ROM(唯讀記憶體;Read Only Memory)、及RAM(隨機存取記憶體;Random AccessMemory)等所構成之電腦。台車控制器50例如可構成為被貯存於ROM之程式被載入RAM上而由CPU所執行之軟體。台車控制器50亦可被構成為由電子電路等所構成之硬體。台車控制器50既可由一個裝置所構成,亦可由複數個裝置所構成。於由複數個裝置所構成之情形時,藉由該等經由網際網路或內部網路等之通信網路所連接,可邏輯性地構築一個台車控制器50。台車控制器50被設置於本體部10,但亦可被設置於本體部10之外部。
台車控制器50總括地控制高架搬送車100之各部的動作。台車控制器50根據搬送指令,來控制高架搬送車100之移行。台車控制器50藉由控制移行驅動部33、方向轉換機構34等,來控制高架搬送車100之移行。台車控制器50根據搬送指令,來控制高架搬送車100之移載動作。台車控制器50藉由控制移載裝置18等,來控制高架搬送車100之移載動作。台車控制器50週期性地生成並更新狀態資訊(未圖示)。台車控制器50將狀態資訊發送至系統控制器5。狀態資訊例如係關於高架搬送車100之當下位置的資訊、表示正常或異常等之高架搬送車100當下之狀態的資訊、搬送指令等之各種指令之高架搬送車100的執行狀態(執行中、執行完成、執行失敗)的資訊。
系統控制器5係由CPU、ROM及RAM等所構成之電腦。系統控制器5可構成為例如被貯存於ROM之程式被載入RAM上而由CPU所執行之軟體。系統控制器5亦可構成為由電子電路等所構成之硬體。系統控制器5既可由一個裝置所構成,亦可由複數個裝置所構成。於由複數個裝置所構成之情形時,藉由該等經由網際網路或內部網路等之通信網路所連接,可邏輯性地構築一個系統控制器5。
系統控制器5生成搬送指令。系統控制器5選擇可搬送物品M之複數個高架搬送車100中之任一者,將搬送指令分配至所選擇之高架搬送車100。搬送指令包含有:要求執行朝向搬送來源之裝載埠62之移行的移行指令;被載置於該裝載埠62之物品M的抓貨指令,要求執行朝向搬送目的地之裝載埠62之移行的移行指令;以及將所保持之物品M朝向該裝載埠62的卸貨指令。關於搬送來源及搬送目的地的資訊,例如可從上位控制器(未圖示)接收。當在網格狀軌道R中朝向搬送來源之裝載埠62移行所路徑的移行路徑,可藉由各種公知方法來取得。可同樣地藉由各種公知方法取得當在網格狀軌道R中朝向搬送目的地移行之裝載埠62時沿循之移行路徑。
於系統控制器5預先儲存有關於複數個裝載埠62之各者之朝向的裝載埠資訊。作為一例,於系統控制器5儲存有複數個裝載埠62之埠號、以及位置及朝向彼此被建立關聯的裝載埠資訊。埠號係針對複數個裝載埠62之各者所分別設定之辨識用的號碼。系統控制器5根據裝載埠資訊,來取得要分配之搬送指令中搬送來源之裝載埠62的朝向與搬送目的地之裝載埠62的朝向。系統控制器5對要分配搬送指令之高架搬送車100,發送關於搬送來源之裝載埠62之朝向的資訊及關於搬送目的地之裝載埠62之朝向的資訊。
此處,於本實施形態中,台車控制器50根據由物品保持部13所保持之物品M的朝向、與高架搬送車100相對於供該物品M載置之裝載埠62之停止位置的朝向,來控制第1迴旋驅動部15及第2迴旋驅動部16之至少任一者。例如,由於被載置於裝載埠62之物品M之朝向相對於裝載埠62之朝向為固定關係(此處為相同)的朝向,因此由物品保持部13所保持之物品M的朝向可根據從系統控制器5被發送之關於搬送來源之裝載埠62之朝向的資訊來取得。供物品M載置之裝載埠62的朝向,可根據從系統控制器5被發送之關於搬送目的地之裝載埠62之朝向的資訊來取得。
台車控制器50執行:第1控制,其以物品M之朝向與裝載埠62之朝向成為固定關係之方式,使物品保持部13以第1角度水平迴旋;及第2控制,其以微調物品M之朝向的方式使物品保持部13以第2角度水平迴旋。第1角度係因搬送來源之裝載埠62之朝向與搬送目的地之裝載埠62之朝向不同所期望之水平迴旋的角度。第1角度例如係90°以上且270°以下之角度。第2角度係為了修正物品M的朝向之意料外之偏離所期望之水平迴旋的角度。第2角度係小於第1角度之角度,例如為10°以下之角度。
其次,對在高架搬送系統SYS中藉由高架搬送車100在裝載埠62之間搬送物品M之情形的一例進行說明。
於一例中,如圖5所示般,在隔著通道ST之一側及另一側之各者,以沿著該通道ST排列的方式各配置有3台處理裝置6。自上方觀察時,通道ST呈直線而筆直地延伸。通道ST之一側之處理裝置6與通道ST之另一側之處理裝置6,以彼此相向之方式被配置。裝載埠62的朝向係將正面設為通道ST側之朝向。此處之一例中,將被載置於裝載埠62S之物品M,移載至隔著通道ST與該裝載埠62S對向之裝載埠62E。裝載埠62S之朝向與裝載埠62E之朝向係180°相反的朝向。
高架搬送車100從系統控制器5被分配搬送指令,並且從系統控制器5接收關於與該搬送指令相關之搬送來源及搬送目的地之各者之裝載埠62S、62E之朝向的資訊。藉此,高架搬送車100藉由台車控制器50之控制來執行以下的動作。
亦即,如圖6所示般,高架搬送車100沿著搬送指令之移行路徑,移行至可在與搬送來源之裝載埠62S之間移載物品M的位置為止。如圖7所示,高架搬送車100進行被載置於搬送來源之裝載埠62S之物品M的抓貨。如圖8所示,高架搬送車100於已將物品M抓貨之狀態下,沿著搬送指令之移行路徑,移行至可在與搬送目的地之裝載埠62E之間移載物品M的位置為止。如圖9所示,在朝向裝載埠62E之搬送中實施第1控制,以物品M之朝向與搬送目的地之裝載埠62E之朝向一致的方式(以物品M之正面面向裝載埠62E之正面的方式),來控制第1迴旋驅動部15及第2迴旋驅動部16之至少任一者,而使物品保持部13以第1角度水平迴旋。於圖示之例子中,第1角度為180°。
如圖10所示,高架搬送車100對搬送目的地之裝載埠62E進行物品M之卸貨。此時,實施第2控制,以微調物品M之朝向的方式(以物品M之正面正確地面向裝載埠62E之正面的方式),來控制第1迴旋驅動部15及第2迴旋驅動部16之至少任一者,而使物品保持部13以第2角度水平迴旋。藉此,物品M從裝載埠62S朝向裝載埠62E之移載便完成。然後,高架搬送車100例如被分配其他搬送指令,而朝向其他裝載埠62移行(參照圖11)。
以上,根據高架搬送車100,無論由物品保持部13所保持之物品M的朝向為哪個朝向,均可根據物品M的朝向及裝載埠62的朝向來控制第1迴旋驅動部15及第2迴旋驅動部16之至少任一者,藉此可將物品M以所期望之朝向來對裝載埠62進行移載。
高架搬送車100作為直線驅動部而具有使物品保持部13升降之升降驅動部14及使升降驅動部14滑動移動之滑動驅動部11,作為迴旋驅動部而具有使滑動驅動部11水平迴旋之第1迴旋驅動部15及使升降驅動部14水平迴旋之第2迴旋驅動部16。根據如此之構成,能夠具體地控制物品M的朝向。
高架搬送車100係可沿著網格狀軌道R移行之搬送車,具備有在網格狀軌道R上滾動之移行車輪21、及被配置於網格狀軌道R之下方的本體部10。根據如此之構成,可易於自由地選擇高架搬送車100之移行路徑,抑制塞車之發生,而提高搬送效率。
於高架搬送車100中,台車控制器50執行:第1控制,其以物品M之朝向與裝載埠62之朝向成為固定關係的方式,使物品保持部13以第1角度水平迴旋;及第2控制,其以微調物品M之朝向的方式,使物品保持部13以第2角度水平迴旋。藉此,可確實地將物品M以所期望之朝向對裝載埠62進行移載。
以上,雖已對實施形態進行說明,但本發明一態樣並不限於上述實施形態,可在不脫離本案發明主旨之範圍內進行各種變更。
於上述實施形態中,網格狀軌道R中之高架搬送車100之移行路徑雖藉由系統控制器5,伴隨著搬送指令之生成並根據該搬送指令而被設定,但並不限定於此。例如,如圖12所示,高架搬送系統SYS作為供高架搬送車100移行之移行路徑7亦可具備有跨越移行路徑70,該跨越移行路徑70係以跨越通道ST之方式延伸且使高架搬送車100通過一對裝載埠62上。
於圖12所示之一例中,移行路徑7係預先所設定之單向通行的路徑。移行路徑7除了跨越移行路徑70之外,至少還包含第1跨區域路徑71及第2跨區域路徑72。第1跨區域路徑71係以相互地將通行方向設為相反方向而平行地排列之成對地被設定。第2跨區域路徑72以相互地將通行方向設為相反方向而平行地排列之成對地被設定。第2跨區域路徑72連接一對第1跨區域路徑71。第2跨區域路徑72朝沿著通道ST之方向延伸。跨越移行路徑70連接一對第2跨區域路徑72。跨越移行路徑70構成區域內路徑。跨越移行路徑70係以相互地將通行方向設為相反方向而平行地排列之成對地被設定。此處,跨越移行路徑70在一對第2跨區域路徑72之間被設定3對。跨越移行路徑70被設定為通過一對裝載埠62或其周邊上。
一般而言,隔著通道ST對向之一對裝載埠62的朝向,會相互地成為相反方向。因此,難以以物品M之朝向與裝載埠62之朝向成為固定關係之方式在該一對裝載埠62之間移載物品M。對此,高架搬送系統SYS具備有跨越移行路徑70及高架搬送車100。即便在與跨越移行路徑70相關之一對裝載埠62之間,亦可藉由適當地控制第1迴旋驅動部15及第2迴旋驅動部16之至少任一者,而以所期望之朝向來移載物品M。又,即便存在正在地點A進行移載之高架搬送車100,在區域X內之物品M亦不在通過地點A的路徑上,因此高架搬送車100欲將區域X內的物品M進行移載而朝向各裝載埠62之移行便不會被阻礙。亦可不在可進行移載之裝載埠62附近(區域Y內)設置分支匯合部。因此,在裝載埠62附近不易造成塞車。
於上述實施形態中,高架搬送車100雖根據關於從系統控制器5被發送之搬送來源之裝載埠62之朝向的資訊,來取得由物品保持部13所保持之物品M的朝向,但物品M之朝向的取得方法未特別被限定。例如亦可藉由另外之感測器或相機來辨識由物品保持部13所保持之物品M的朝向。於上述實施形態中,高架搬送車100雖根據關於從系統控制器5被發送之搬送目的地之裝載埠62之朝向的資訊,來取得搬送目的地之裝載埠62的朝向,但搬送目的地之裝載埠62的朝向之取得方法未特別被限定。例如,亦可藉由另外的感測器或相機來辨識搬送目的地之裝載埠62的朝向。
於上述實施形態中,高架搬送車100亦可為沿著未被配置為網格狀且單向通行之軌道移行的高架搬送車。如此之高架搬送車存在有,為了將物品M以所期望之朝向對裝載埠62進行移載,進入該裝載埠62之方向會受到限制,甚至朝向該裝載埠62之移行路徑會受到限制之情形。於該情形時,存在有會阻礙其他高架搬送車100之通行,造成塞車而搬送效率會下降之可能性。為了解決如此之問題,藉由利用台車控制器50適當地控制迴旋驅動部,則即使在從任何方向進入裝載埠62之情形時,均可將物品M以所期望之朝向對該裝載埠62進行交接。其結果,可抑制高架搬送車朝向目標裝載埠62之移行路徑受限制的情形,而可易於選擇例如不會妨礙其他高架搬送車之通行般的移行路徑。因此,能夠抑制塞車的發生而提高搬送效率。再者,於沿著未被配置為網格狀且單向通行之軌道移行之高架搬送車之情形時,可根據由物品保持部13所保持之物品M的朝向、搬送目的地之裝載埠62的朝向、及朝向搬送目的地之裝載埠62的進入方向,來控制第1迴旋驅動部15及第2迴旋驅動部16之至少任一者。
於上述實施形態中,雖構成為升降驅動部14藉由第2迴旋驅動部16進行水平迴旋,但亦可構成為物品保持部13藉由第2迴旋驅動部16進行水平迴旋。於上述實施形態中,雖然在高架搬送車100朝向搬送目的地之裝載埠62移行的期間,執行以物品M之朝向與裝載埠62之朝向成為固定關係之方式使物品保持部13水平迴旋的第1控制,但第1控制之執行時間點未特別被限定。例如,亦可在對搬送目的地之裝載埠62E進行物品M之卸貨的期間執行第1控制。
上述實施形態及變化例中之各個構成,並不被限定於上述之材料及形狀,而可應用各種材料及形狀。上述實施形態或變化例中之各個構成,可任意地應用於其他實施形態或變化例中之各個構成。上述實施形態或變化例中之各個構成之一部分,在不脫離本發明態樣之主旨的範圍內,其可被適當地省略。
5:系統控制器
6:處理裝置
10:本體部
11:滑動驅動部(直線驅動部)
12:轉動部
13:物品保持部
13a:爪部
13b:垂吊構件
14:升降驅動部(直線驅動部)
15:第1迴旋驅動部(迴旋驅動部)
16:第2迴旋驅動部(迴旋驅動部)
17:上部單元
17a:上表面
18:移載裝置
20:移行部
21:移行車輪
22:輔助車輪
30:連結部
31:支撐構件
32:連接構件
33:移行驅動部
34:方向轉換機構
35:驅動源
36:小齒輪
37:齒條
50:台車控制器(控制部)
61:裝置本體
62,62S,62E:裝載埠
70:跨越移行路徑(移行路徑)
71:第1跨區域路徑
72:第2跨區域路徑
100:高架搬送車
A:地點
AX1:第1垂直軸
AX2:第2垂直軸
AX3:迴旋軸
C:單元
D:間隙
D1:第1方向
D2:第2方向
H:垂吊構件
H1:第1部分
H2:第2部分
H3:第3部分
M:物品
Ma:凸緣部
Mb:蓋部
P2a,P2b,P2c,P2d:突出位置
R:網格狀軌道(軌道)
R1:第1軌道
R1a,R2a,R3a:移行面
R2:第2軌道
R3:交叉路口軌道
ST:通道
SYS:高架搬送系統
W:外罩
X,Y:方向、區域
Z:方向
圖1係表示實施形態之高架搬送系統之一例的側視圖。
圖2係表示圖1之高架搬送車的立體圖。
圖3係表示圖1之高架搬送系統的立體圖。
圖4係示意性地表示自上方觀察圖1之高架搬送車之狀態的圖。
圖5係表示圖1之高架搬送系統中藉由高架搬送車於裝載埠間搬送物品時之一例的俯視圖。
圖6係表示接續圖5之俯視圖。
圖7係表示接續圖6之俯視圖。
圖8係表示接續圖7之俯視圖。
圖9係表示接續圖8之俯視圖。
圖10係表示接續圖9之俯視圖。
圖11係表示接續圖10之俯視圖。
圖12係表示變化例之高架搬送系統所具備之跨越移行路徑的俯視圖。
5:系統控制器
6:處理裝置
10:本體部
11:滑動驅動部(直線驅動部)
12:轉動部
13:物品保持部
13a:爪部
13b:垂吊構件
14:升降驅動部(直線驅動部)
15:第1迴旋驅動部(迴旋驅動部)
16:第2迴旋驅動部(迴旋驅動部)
17:上部單元
17a:上表面
18:移載裝置
20:移行部
21:移行車輪
22:輔助車輪
30:連結部
31:支撐構件
32:連接構件
50:台車控制器(控制部)
62:裝載埠
100:高架搬送車
AX1:第1垂直軸
AX2:第2垂直軸
M:物品
Ma:凸緣部
Mb:蓋部
R:網格狀軌道(軌道)
SYS:高架搬送系統
W:外罩
X,Y,Z:方向
Claims (5)
- 一種高架搬送車,其具備有: 物品保持部,其保持物品; 直線驅動部,其以上述物品保持部直線地移動的方式進行驅動; 迴旋驅動部,其以上述物品保持部水平迴旋的方式進行驅動;以及 控制部,其根據由上述物品保持部所保持之上述物品的朝向及供該物品載置之裝載埠的朝向,來控制上述迴旋驅動部。
- 如請求項1之高架搬送車,其中, 上述直線驅動部具有,使上述物品保持部升降之升降驅動部、及使上述升降驅動部滑動移動之滑動驅動部; 上述迴旋驅動部具有,使上述滑動驅動部水平迴旋之第1迴旋驅動部、及使上述物品保持部或上述升降驅動部水平迴旋之第2迴旋驅動部。
- 如請求項1或2之高架搬送車,其中,其係可沿著至少一部分被配置為網格狀之軌道上移行之高架搬送車;其具備有: 移行車輪,其在上述軌道上滾動;以及 本體部,其被配置於上述軌道之下方,包含有:上述物品保持部、上述直線驅動部及上述迴旋驅動部。
- 如請求項1或2之高架搬送車,其中, 上述控制部執行: 第1控制,其以上述物品的朝向與上述裝載埠的朝向成為固定關係之方式,使上述物品保持部以第1角度水平迴旋;及 第2控制,其以微調上述物品的朝向之方式,使上述物品保持部以小於上述第1角度之第2角度水平迴旋。
- 一種高架搬送系統,其具備有: 複數個處理裝置,其等被配置為各在隔著通道之一側及另一側沿著該通道排列;以及 請求項1或2所記載之高架搬送車; 複數個上述處理裝置之各者具有被配置於其上述通道側之上述裝載埠; 上述高架搬送系統具備有移行路徑,而該移行路徑係供上述高架搬送車移行之路徑,以跨越上述通道之方式延伸且使上述高架搬送車通過一對上述裝載埠上。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020-078157 | 2020-04-27 | ||
JP2020078157 | 2020-04-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW202208216A true TW202208216A (zh) | 2022-03-01 |
Family
ID=78331916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW110114237A TW202208216A (zh) | 2020-04-27 | 2021-04-21 | 高架搬送車及高架搬送系統 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230118995A1 (zh) |
EP (1) | EP4134289A1 (zh) |
JP (1) | JP7327660B2 (zh) |
KR (1) | KR20230004691A (zh) |
IL (1) | IL296988A (zh) |
TW (1) | TW202208216A (zh) |
WO (1) | WO2021220582A1 (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IL282702B2 (en) * | 2018-10-29 | 2023-04-01 | Murata Machinery Ltd | A motorized tool on a ceiling, a system for a motorized tool on a ceiling and a method for detecting an obstacle |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101521498B1 (ko) * | 2013-05-31 | 2015-05-19 | 주식회사 에스에프에이 | 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템 |
US9415934B2 (en) * | 2014-05-14 | 2016-08-16 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system and transport method |
EP3505416B1 (en) | 2016-08-26 | 2021-09-29 | Murata Machinery, Ltd. | Rail-guided trolley system, and rail-guided trolley |
CN113056405A (zh) | 2018-10-29 | 2021-06-29 | 村田机械株式会社 | 高架搬运车以及高架搬运车系统 |
-
2021
- 2021-02-15 JP JP2022518617A patent/JP7327660B2/ja active Active
- 2021-02-15 US US17/996,564 patent/US20230118995A1/en active Pending
- 2021-02-15 WO PCT/JP2021/005478 patent/WO2021220582A1/ja unknown
- 2021-02-15 EP EP21794458.6A patent/EP4134289A1/en active Pending
- 2021-02-15 KR KR1020227040260A patent/KR20230004691A/ko active Search and Examination
- 2021-02-15 IL IL296988A patent/IL296988A/en unknown
- 2021-04-21 TW TW110114237A patent/TW202208216A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN115175842A (zh) | 2022-10-11 |
JPWO2021220582A1 (zh) | 2021-11-04 |
EP4134289A1 (en) | 2023-02-15 |
KR20230004691A (ko) | 2023-01-06 |
US20230118995A1 (en) | 2023-04-20 |
WO2021220582A1 (ja) | 2021-11-04 |
JP7327660B2 (ja) | 2023-08-16 |
IL296988A (en) | 2022-12-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN113056405A (zh) | 高架搬运车以及高架搬运车系统 | |
TW201806835A (zh) | 有軌道台車系統及有軌道台車 | |
JP7351348B2 (ja) | 搬送システム及びグリッドシステム | |
TW202208216A (zh) | 高架搬送車及高架搬送系統 | |
CN115175842B (zh) | 高架输送车以及高架输送系统 | |
JP7435605B2 (ja) | 搬送車 | |
US20210362949A1 (en) | Article Transport Facility | |
TWI828880B (zh) | 搬送車系統 | |
CN113165671B (zh) | 行驶车系统 | |
TWI830922B (zh) | 搬送車 | |
JP7323059B2 (ja) | 搬送車システム | |
JP3514312B2 (ja) | ウェハ搬送装置 | |
WO2022149305A1 (ja) | 天井保管システム | |
WO2024070299A1 (ja) | 天井搬送車 | |
WO2024070300A1 (ja) | 回転機構及び天井搬送車 | |
TW202402640A (zh) | 搬送系統 | |
TW202413241A (zh) | 物品搬送設備 | |
TW202227345A (zh) | 搬運系統 | |
JP2023074704A (ja) | 物品搬送装置 |