CN115385029A - 输送单元和包括该输送单元的物品输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种输送单元。所述输送单元用于输送容纳有物品的容器并在轨道上行进，所述输送单元包括：具有驱动器的主体；以及联接至所述主体并在所述轨道上行进的轮组件，所述轮组件包括：轴承；以及围绕所述轴承的轮毂，并且所述轮毂可以具有缓冲结构。

Description

输送单元和包括该输送单元的物品输送装置

技术领域

本发明涉及一种输送单元和包括该输送单元的物品输送装置，更具体地，涉及一种用于输送在半导体生产线中容纳有晶片等的容器的输送单元、以及包括该输送单元的物品输送装置。

背景技术

通常，为了制造半导体器件，执行诸如沉积、光刻和蚀刻工艺等各种类型的工艺，并且将执行这些工艺中的每种工艺的装置布置在半导体生产线中。可以将用于执行半导体器件制造工艺的诸如晶片等对象以容纳在诸如前开式晶圆传送盒(FOUP)等容器中的状态提供给每个半导体工艺装置。此外，已经执行了工艺的对象从每个半导体工艺装置被回收到容器中，并且回收的容器可以被输送到外部。

容器通过高架提升传输(OHT)进行移送。OHT将容纳有对象的容器输送到半导体工艺装置中的任一装置的装载口。此外，OHT可以从装载口拾取容纳有已进行工艺处理对象的容器，并将其输送到外部，或者输送到半导体工艺装置中的另一个。

通常的OHT包括与半导体生产线的顶部联接的轨道和运载工具。轨道包括运载工具在其上行进的行进轨道以及用于改变运载工具的行进方向的转向轨道。此外，运载工具包括：与行进轨道接触而旋转的行进轮；以及通过选择性地与转向轨道接触而旋转的转向轨道。运载工具通过与行进轨道接触的行进轮的旋转而沿着行进轨道行进。此外，当期望改变运载工具的行进方向时，转向轨道与转向轨道接触以改变运载工具的行进方向。

在这种通常的OHT中，由轨道产生的振动被原样没有衰减地传递到运载工具。由轨道产生的振动被传递到运载工具，并且传递到运载工具的振动被传递到由运载工具把持的容器。传递到容器的振动会在容器中产生颗粒。此外，诱发的颗粒粘附到诸如晶片等对象上，从而导致对象处理中的缺陷。特别是，当转向轨道与转向轮接触时，运载工具的行进方向改变，因此当转向轨道与转向轨道接触时产生的振动的大小相对较大。即，当转向轨道与转向轮接触时，传递到容器的振动增加，并且由此导致在容器中产生更多的颗粒。

发明内容

技术问题

本发明的目的是提供一种能够有效地输送诸如基板等物品的输送单元、以及包括该输送单元的物品输送装置。

此外，本发明的目的是提供一种能够使在容纳有诸如基板等物品的容器中的颗粒的产生最少化的输送单元、以及包括该输送单元的物品输送装置。

此外，本发明的目的是提供一种在输送诸如基板等物品时能够使由轨道产生的振动向容纳有物品的容器的传递最少化的输送单元、以及包括该输送单元的物品输送装置。

本发明的目的不限于此，本领域技术人员从以下描述中将清楚地理解未提及的其他目的。

技术方案

本发明提供一种输送单元。所述输送单元用于输送容纳有物品的容器并在轨道上行进，所述输送单元包括：具有驱动器的主体；以及联接至所述主体并在所述轨道上行进的轮组件，所述轮组件包括：轴承；以及围绕所述轴承的轮毂，并且所述轮毂可以具有缓冲结构。

根据一个实施例，所述缓冲结构可以包括从所述轮毂的一个表面延伸到另一表面的至少一个孔。

根据一个实施例，所述孔可以具有弧形。

根据一个实施例，具有所述弧形的所述孔可以具有与所述轮毂的曲率中心相同的曲率中心。

根据一个实施例，所述孔可以形成在所述轮毂中并且形成为多个，并且多个所述孔中的具有相同的曲率半径的孔可以以彼此间隔开的方式形成在所述轮毂中。

根据一个实施例，所述孔包括：第一孔；以及具有与所述第一孔的曲率半径不同的曲率半径的第二孔。

根据一个实施例，所述缓冲结构还可以包括将所述第一孔和所述第二孔彼此连接的连接孔。

根据一个实施例，从所述轮毂的中心沿着所述轮毂的半径方向绘制的虚拟直线可以与至少一个孔重叠。

根据一个实施例，所述车轮组件还可以包括弹性轮，所述弹性轮围绕所述轮毂并且由具有弹性的材料制成。

此外，本发明提供一种物品输送装置。所述物品输送装置包括：沿着连续布置有半导体工艺装置的半导体生产线的顶部设置的行进轨道；在所述行进轨道上行进的输送单元；以及用于改变所述输送单元的行进方向的转向轨道，所述输送单元包括：具有驱动器的主体；联接至所述主体并在所述行进轨道上行进的行进轮组件；以及联接到所述主体并且在改变所述行进方向时与所述转向轨道接触的转向轮组件，所述转向轮组件包括：轴承；以及围绕所述轴承的轮毂，并且所述轮毂可以具有缓冲结构。

根据一个实施例，所述缓冲结构可以包括从所述轮毂的一个表面延伸到另一表面的至少一个孔。

根据一个实施例，所述孔可以具有弧形。

根据一个实施例，具有所述弧形的所述孔可以具有与所述轮毂的曲率中心相同的曲率中心。

根据一个实施例，所述孔可以形成在所述轮毂中并且形成为多个，并且多个所述孔中的具有相同的曲率半径的孔可以以彼此间隔开的方式形成在所述轮毂中。

根据一个实施例，所述孔包括：第一孔；以及具有与所述第一孔的曲率半径不同的曲率半径的第二孔。

根据一个实施例，所述缓冲结构还可以包括将所述第一孔和所述第二孔彼此连接的连接孔。

根据一个实施例，从所述轮毂的中心沿着所述轮毂的半径方向绘制的虚拟直线可以与至少一个孔重叠。

根据一个实施例，所述车轮组件还可以包括弹性轮，所述弹性轮围绕所述轮毂并且由具有弹性的材料制成。

技术效果

根据本发明的一个实施例，能够有效地输送诸如基板等物品。

此外，根据本发明的一个实施例，能够使在容纳诸如基板等物品的容器中的颗粒的产生最少化。

此外，根据本发明的一个实施例，在输送诸如基板等物品时能够使由轨道产生的振动向容纳有物品的容器的传递最少化。

本发明的效果不限于上述效果，并且本领域普通技术人员将从本说明书和附图中清楚地理解未提及的效果。

附图说明

图1是从顶部观察半导体制造装置和根据本发明的一个实施例的物品输送装置的图。

图2是从正面观察图1的物品输送装置的图。

图3是从侧面观察图1的物品输送装置的图。

图4是从顶部观察图1的物品输送装置的图。

图5是示出根据本发明的一个实施例的输送单元在不改变行进方向的情况下行进的状态的图。

图6是示出根据本发明的一个实施例的输送单元改变行进方向的状态的图。

图7是示出根据本发明的一个实施例的包括在输送单元中的转向轮组件的图。

图8是示出图7的转向轮组件的缓冲结构的示意图。

图9是示出图8的缓冲结构的示例的透视图。

图10是示出图8的缓冲结构的示例的平面图。

具体实施方式

在下文中，将参考附图详细描述本发明的实施例，以使本领域普通技术人员可以容易地实现本发明。然而，本发明可以以各种不同的形式来实现，并且不限于在此描述的实施例。此外，在详细描述本发明的优选实施例时，当确定相关的已知功能或配置的详细描述可能不必要地使本发明的主题晦涩难懂时，将省略其详细描述。此外，在所有附图中，相同的附图标记用于具有相似功能和作用的部件。

除非特别说明，否则“包含”某个构成要素意味着还可以包括其他构成要素，而不是排除其他构成要素。具体地，应当理解，诸如“包括”或“具有”等术语旨在表示在说明书中描述的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合的存在，但是不排除存在或增加一个或多个其他特征或数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合的可能性。

除非上下文另外明确指出，否则单数表述包括复数表述。此外，附图中的要素的形状和尺寸可能被放大以用于更清楚的说明。

本实施例的物品输送装置可以用于输送容器。特别是，本实施例的物品输送装置可以输送容纳有物品的容器。物品可以是诸如晶片等基底或标线片。容纳有物品的容器可以是前开式晶圆传送盒(FOUP)。此外，容纳物品的容器可以是POD。此外，用于容纳物品的容器可以包括用于容纳多个印刷电路板的软片盒、用于容纳多个半导体封装件的托盘等。

以下，以物品输送装置将容纳有晶片等基板的容器输送到布置在半导体生产线上的半导体工艺装置作为示例进行说明。然而，本发明不限于此，并且本实施例的物品输送装置可以以相同或相似的方式应用于需要输送物品和/或容纳有物品的容器的各种生产线。

在下文中，将参照图1至图10详细描述本发明的实施例。

图1是从顶部观察半导体制造装置和根据本发明的一个实施例的物品输送装置的图。参照图1，根据本发明的物品输送装置1000可以在连续地布置有半导体工艺装置100的半导体生产线上输送容纳有物品的容器C。物品输送装置1000可以是OHT装置。物品输送装置1000可以包括轨道300和输送单元500。输送单元500可以把持容器C。输送单元500可沿着轨道300沿着预定路径行进。可以沿着半导体生产线的顶部设置轨道300。

在图1中，尽管以大致六边形的形态示出轨道300，但是可以对轨道300的形状进行各种修改，例如圆形或四边形等。轨道300可以沿着半导体生产线的顶部设置，并且可以设置成使得可以从上方看到半导体工艺装置100。轨道300的设置范围可以布置在宽广的区域中，从而可以看到整个半导体工艺装置100。

图2是从正面观察图1的物品输送装置的图，图3是从侧面观察图1的物品输送装置的图，图4是从顶部观察图1的物品输送装置的图。参照图2至图4，物品输送装置1000可以包括轨道300和输送单元500。

轨道300可包括行进轨道310和转向轨道330。稍后将描述的输送单元500的行进轮组件520可以与行进轨道310接触。行进轨道310可以设置为多个并且彼此间隔开。例如，行进轨道310可以成对设置。一对行进轨道310彼此平行并且可以设置在相同的高度。

稍后将描述的输送单元500的转向轮组件530可以选择性地与转向轨道330接触。转向轨道330可以设置在行进轨道310上方。从上方看时，转向轨道330可以设置在一对行进轨道310之间。此外，当从顶部观看时，转向轨道330的一部分可以具有弯曲的形状。转向轨道330可以改变输送单元500的行进方向。

输送单元500可以在轨道300上行进。输送单元500可以在行进轨道310上行进。输送单元500可以把持容器C。输送单元500可以在把持容器C的状态下在轨道300上行进。输送单元500可包括主体510、轮组件520、530、框架540、颈部550、滑块560、升降器570和抓握构件580。

轮组件520和530以及颈部550可以联接到主体510。轮组件520和530可以可旋转地联接到主体510。此外，颈部550可以可旋转地联接至主体510。主体510可以在内部具有驱动器(未示出)。驱动器可以使轮组件520和530旋转。驱动器可以将动力传递至轮组件520和530以使轮组件520和530旋转。此外，主体510可以设置为多个。每个主体510可以具有上述驱动器。此外，上述轮组件520和530以及颈部550可以联接到每个主体510。

轮组件520和530可以可旋转地联接到主体510。轮组件520和530可以与轨道300接触并旋转。轮组件520和530可以包括行进轮组件520和转向轮组件530。

行进轮组件520可以联接到主体510。行进轮组件520可以可旋转地联接到主体510。轮组件520可以在轨道300中与行进轨道310接触并旋转以在行进轨道310上行进。行进轮组件520可以设置为多个。行进轮组件520可以成对设置。行进轮组件520中的一个可以可旋转地联接至主体510的一个表面，并且行进轮组件520中的另一个可以可旋转地联接至与主体510的一个表面相对的另一表面。行进轮组件520可以通过从主体510具有的驱动器接收动力来旋转。

转向轮组件530可以联接至主体510。转向轮组件530可以可旋转地联接至主体510。转向轮组件530可以选择性地与转向轨道330接触。当输送单元500的行进方向改变时，转向轮组件530可以与转向轨道330接触。当输送单元500在不改变行进方向的情况下行进时，转向轮组件530可以不与转向轨道330接触。转向轮组件530可以联接至主体510的上表面。转向轮组件530的位置可以通过由主体510具有的驱动器传递的动力来改变。转向轮组件530可以联接到主体510的上表面，使得转向轮组件530的位置可以在主体510的上表面上改变。转向轮组件530可以通过设置在主体510的上表面上的导向轨道512联接至主体510。转向轮组件530可以被设置为使得其位置可以沿着导向轨道512的长度方向改变。导向轨道512的长度方向可以垂直于行进轮组件520旋转而使输送单元500行进的方向。此外，转向轮组件530可以设置为多个。例如，转向轮组件530可以成对设置。一对转向轮组件530可以沿着输送单元500的行进方向布置。

框架540可以具有内部空间。可以在框架540的内部空间中设置稍后将描述的滑块560、升降器570和抓握构件580。此外，框架540可以具有两个侧面和底面都敞开的六面体形状。即，框架540可以在前表面和后表面中设置有挡板。因此，可以防止在输送单元500行进时由空气阻力把持的容器C振动。此外，框架540可以经由颈部550联接到主体510。可以将颈部550设置为相对于主体510和框架540可旋转。框架540可以经由至少一个或多个颈部550联接到至少一个或多个主体510。例如，框架540可以设置为一个，并且两个颈部550可以联接至一个框架540。并且，两个颈部550可以分别联接至两个主体510。

滑块560可以联接至框架540。滑块560可以被联接，使得其位置可以相对于框架540而改变。滑块560设置在框架540的内部空间中，并且可以联接至框架540的下表面。滑块560可以联接至框架540以改变其在前方、后方、左侧和右侧的位置。此外，滑块560可以与稍后描述的升降器570联接。因此，通过改变滑块560的位置，可以改变升降器570的位置。

升降器570可以使抓握构件580升高或降低。升降器570可以在其内部包括驱动构件。驱动构件可通过缠绕或松开连接到抓握构件580的带572使抓握构件580升高或降低。抓握构件580可以把持容器C。抓握构件580可以可拆卸地把持容器C。抓握构件580可以将容器C装载到半导体工艺装置的装载口或者从装载口卸载。

在下文中，将描述改变在行进轨道310上行进的输送单元500的行进方向的方法。图5是示出根据本发明的一个实施例的输送单元在不改变驱动方向的情况下行进的状态的图，图6是示出根据本发明的一个实施例的输送单元改变行进方向的状态的图。参照图5和图6，转向导轨330可以布置在行进导轨310的上方。此外，当从上方观察时，转向轨道330可以设置在一对行进轨道310之间。行进轨道310中的一部分可以具有弯曲的形状。此外，转向轨道330的另一部分可以具有线性形状。转向轨道330的弯曲部分可以设置在行进轨道310的相交区域中。转向轨道330的笔直部分可以设置在行进轨道310的行进区域中。

当输送单元500执行线性运动而不改变行进方向时，输送单元500的转向轮组件530被移动到不与转向轨道330接触的位置。即，由于转向轮组件530不与转向轨道330接触，因此输送单元500在不改变行进方向的情况下原样进行线性运动(参见图5)。然而，即使在不改变行进方向而进行直线运动的情况下，如果输送单元500的行进方向没有被转向轮组件530改变，则转向轮组件530也可以与转向轨道330接触。例如，转向轮组件530可以与图5的转向轨道330的左侧面接触。

相反，当期望改变输送单元500的行进方向时，输送单元500的转向轮组件530可以被移动到与转向轨道330接触的位置。具体地，改变转向轮组件530的位置，以基于输送单元500的改变之前的行进方向，接触与改变之后的行进方向相对应的转向轨道330的表面。例如，当基于输送单元500的改变之前的行进方向，改变之后的行进方向为右方向时，改变转向轮组件530的位置，以使其与转向轨道330的与右侧方向相对应的右侧面接触(参照图6)。以图6所示的示例为例，说明输送单元500的行进方向的变化，右轮组件520基于输送单元500的行进方向继续与行进轨道310接触。此外，在改变输送单元500的行进方向的同时，输送单元500的左行进轮组件520与行进轨道310间隔开。然后，转向轮组件530继续与转向轨道330接触，直到完成输送单元500的行进方向的改变为止。当完成行进方向的改变时，转向轮组件530与转向轨道330分离，并且左行进轮组件520再次与行进轨道310接触。

图7是示出根据本发明的一个实施例的包括在输送单元中的转向轮组件的图。图7所示的转向轮组件530的结构可以以相同或相似的方式应用于行进轮组件520。参照图7，转向轮组件530可以包括轮毂600、轴承531和弹性轮532。

可以提供轮毂600以围绕轴承531。此外，可以提供弹性轮532以围绕轮毂600。轮毂600可以由包括金属的材料制成。此外，弹性轮532可以由具有弹性的材料制成。例如，弹性轮532可以由包含氨基甲酸酯的材料制成。

当转向轮组件530与转向轨道330接触以改变输送单元500的行进方向时，转向轮组件530与转向轨道330接触以产生振动。当所产生的振动没有衰减地传递到输送单元500时，振动原样传递到由输送单元500把持的容器C。在这种情况下，容器C会振动，并且可能在振动的容器C的内部空间中产生颗粒。在容器C的内部空间中产生的颗粒可以粘附到容纳在容器中的物品，例如晶片等基板。在这种情况下，基板中可能会出现缺陷。

因此，根据本发明的一个实施例的转向轮组件530的轮毂600具有如图8所示的缓冲结构S。缓冲结构S可以是挠曲结构。当轮毂600具有缓冲结构S时，可以衰减在转向轮组件530与转向轨道330接触时产生的振动。因此，可以衰减传递到容器C的振动，使容器C的振动最小化，从而可以有效地进行容器C的输送。此外，当传递到容器C的振动衰减时，可以抑制容器C内的颗粒的产生，从而可以使容纳在容器C内的物品中的缺陷的发生最少化。

轮毂600的缓冲结构S可以包括各种实施例。在下文中，将详细描述轮毂600的减震结构S的示例。图9是示出图8的缓冲结构的示例的透视图，图10是示出图8的缓冲结构的示例的平面图。参照图9和图10，轮毂600的缓冲结构S可以包括从轮毂600的一个表面延伸到另一表面的至少一个孔610、620、630、640、650、660。

孔610、620、630、640、650和660可以具有弧形。具有弧形的孔610、620、630、640、650和660可具有与轮毂600的曲率中心相同的曲率中心。

此外，可以在轮毂600中形成多个孔610、620、630、640、650和660。此外，在孔610、620、630、640、650、660中，具有相同的曲率半径的孔610、620、630、640、650、660彼此间隔开以形成在轮毂中600。例如，孔610、620、630、640、650、660包括第一孔610、第二孔620、第三孔630、第四孔640、第五孔650和第六孔660。可以将第一孔610，第二孔620，第三孔630，第四孔640，第五孔650和第六孔660分别设置为多个。此外，设置为多个的第一孔610可以具有相同的曲率半径。设置为多个第二孔620可以具有相同的曲率半径。设置为多个第三孔630可以具有相同的曲率半径。设置为多个的第四孔640可具有相同的曲率半径。设置为多个第五孔650可以具有相同的曲率半径。设置为多个的第六孔660可以具有相同的曲率半径。即，具有相同的曲率半径的孔610、620、630、640、650和660可以彼此间隔开以形成在轮毂600中。具有相同的曲率半径的孔610、620、630、640、650、660彼此间隔开并形成在轮毂600中，从而在孔610、620、630、640、650、660可以在轮毂600中更密集地形成。结果，可以进一步提高阻尼效果和对振动的衰减。

此外，第一孔610、第二孔620、第三孔630、第四孔640、第五孔650和第六孔660具有不同的曲率半径。例如，第一孔610的曲率半径最小，并且第二孔620、第三孔630、第四孔640、第五孔650和第六孔660的曲率半径可以依次增大。此外，从轮毂600的中心沿着轮毂600的半径方向绘制的虚拟直线L可以与至少一个孔610、620、630、640、650和660重叠。此外，缓冲结构S可以进一步包括用于将具有不同曲率半径的孔610、620、630、640、650和660彼此连接的连接孔690。结果，可以进一步提高阻尼效果和对振动的衰减。

上面的详细描述是对本发明的说明。此外，以上描述示出并描述了本发明的优选实施例，并且本发明可以以各种其他组合、修改和环境来使用。即，可以在本说明书中公开的本发明的概念的范围、等同于所公开的内容和/或本领域的技术或知识的范围内进行修改或变更。上述实施例描述了用于实现本发明的技术思想的最佳实施例，并且在本发明的特定应用领域和用途中所需的各种改变也是可行的。因此，本发明的详细描述并不旨在将本发明限制于所公开的实施例。此外，所附权利要求应被解释为包括其他实施例。

[附图标记说明]

半导体工艺装置：100

盒式容器：C

物品输送装置：1000

轨道：300

行进轨道：310

转向轨道：330

输送单元：500

主体：510

导向轨道：512

轮组件：520、530

行进轮组件：520

转向轮组件：530

轮毂：600

轴承：532

弹性轮：533

框架：540

颈部：550

滑块：560

升降器：570

带：572

抓握构件：580

轮毂：600

缓冲结构：S

孔：610、620、630、640、650、660

第一孔：610

第二孔：620

第三孔：630

第四孔：640

第五孔：650

第六孔：660

连接孔：690。

Claims (20)

1.一种输送单元，所述输送单元用于输送容纳有物品的容器并在轨道上行进，所述输送单元包括：

具有驱动器的主体；以及

联接至所述主体并在所述轨道上行进的轮组件，

其中，所述轮组件包括：

轴承；以及

围绕所述轴承的轮毂，并且

所述轮毂具有缓冲结构。

2.根据权利要求1所述的输送单元，其中，所述缓冲结构包括从所述轮毂的一个表面延伸到另一表面的至少一个孔。

3.根据权利要求2所述的输送单元，其中，所述孔具有弧形。

4.根据权利要求3所述的输送单元，其中，具有所述弧形的所述孔具有与所述轮毂的曲率中心相同的曲率中心。

5.根据权利要求4所述的输送单元，其中，

所述孔形成在所述轮毂中并且形成为多个，并且

多个所述孔中的具有相同的曲率半径的孔以彼此间隔开的方式形成在所述轮毂中。

6.根据权利要求4所述的输送单元，其中，

所述孔包括：

第一孔；以及

具有与所述第一孔的曲率半径不同的曲率半径的第二孔。

7.根据权利要求6所述的输送单元，其中，所述缓冲结构还包括：将所述第一孔和所述第二孔彼此连接的连接孔。

8.根据权利要求2至7中任一项所述的输送单元，其中，从所述轮毂的中心沿着所述轮毂的半径方向绘制的虚拟直线与至少一个孔重叠。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的输送单元，其中，所述车轮组件还包括弹性轮，所述弹性轮围绕所述轮毂并且由具有弹性的材料制成。

10.一种物品输送装置，所述物品输送装置包括：

沿着连续布置有半导体工艺装置的半导体生产线的顶部设置的行进轨道；

在所述行进轨道上行进的输送单元；以及

用于改变所述输送单元的行进方向的转向轨道，

其中，所述输送单元包括：

具有驱动器的主体；

联接至所述主体并在所述行进轨道上行进的行进轮组件；以及

联接到所述主体并且在改变所述行进方向时与所述转向轨道接触的转向轮组件，

其中，所述转向轮组件包括：

轴承；以及

围绕所述轴承的轮毂，并且

所述轮毂具有缓冲结构。

11.根据权利要求10所述的物品输送装置，其中，所述缓冲结构包括从所述轮毂的一个表面延伸到另一表面的至少一个孔。

12.根据权利要求11所述的物品输送装置，其中，所述孔具有弧形。

13.根据权利要求12所述的物品输送装置，其中，具有所述弧形的所述孔具有与所述轮毂的曲率中心相同的曲率中心。

14.根据权利要求13所述的物品输送装置，其中，

所述孔形成在所述轮毂中并且形成为多个，并且

多个所述孔中的具有相同的曲率半径的孔以彼此间隔开的方式形成在所述轮毂中。

15.根据权利要求13所述的物品输送装置，其中，

所述孔包括：

第一孔；以及

具有与所述第一孔的曲率半径不同的曲率半径的第二孔。

16.根据权利要求15所述的物品输送装置，其中，所述缓冲结构还包括：将所述第一孔和所述第二孔彼此连接的连接孔。

17.根据权利要求11至16中任一项所述的物品输送装置，其中，从所述轮毂的中心沿着所述轮毂的半径方向绘制的虚拟直线与至少一个孔重叠。

18.根据权利要求10至16中任一项所述的物品输送装置，其中，所述车轮组件还包括弹性轮，所述弹性轮围绕所述轮毂并且由具有弹性的材料制成。

19.一种物品输送装置，所述物品输送装置包括：

沿着连续布置有半导体工艺装置的半导体生产线的顶部设置的行进轨道；

在所述行进轨道上行进的输送单元；以及

用于改变所述输送单元的行进方向的转向轨道，

其中，所述输送单元包括：

具有驱动器的主体；

联接至所述主体并在所述行进轨道上行进的行进轮组件；以及

联接到所述主体并且在改变所述行进方向时与所述转向轨道接触的转向轮组件，

其中，所述行进轮组件或所述转向轮组件包括：

轴承；以及

围绕所述轴承的轮毂；以及

围绕所述轮毂并且由具有弹性的材料制成的弹性轮，

其中，所述轮毂具有缓冲结构，并且

所述缓冲结构包括从所述轮毂的一个表面延伸到另一表面的至少一个孔。

20.根据权利要求19所述的物品输送装置，其中，所述孔具有弧形，并且具有与所述轮毂的曲率中心相同的曲率中心。

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