KR102336558B1 - 반송 유닛 및 이를 포함하는 물품 반송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반송 유닛을 제공한다. 물품이 수납된 용기를 반송하고, 레일을 주행하는 반송 유닛은, 구동기를 가지는 바디와; 상기 바디에 결합되고, 상기 레일을 주행하는 휠 어셈블리를 포함하고, 상기 휠 어셈블리는, 베어링과; 상기 베어링을 감싸는 휠 베이스를 포함하고, 상기 휠 베이스는, 완충 구조를 가질 수 있다.

Description

반송 유닛 및 이를 포함하는 물품 반송 장치{Transferring unit and article transferring apparatus comprising the same}
본 발명은 반송 유닛 및 이를 포함하는 물품 반송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 웨이퍼 등이 수납된 용기를 이송하는 반송 유닛 및 이를 포함하는 물품 반송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼 등의 대상물들은 풉(FOUP) 등의 용기에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공될 수 있다. 또한, 공정이 수행된 대상물들은 각 반도체 공정 장치로부터 용기로 회수되고, 회수된 용기는 외부로 반송될 수 있다.
용기는 오버 헤드 호이스트 트랜스퍼(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)에 의해 이송된다. OHT는 대상물이 수납된 용기를 반도체 공정 장치들 중 어느 하나의 로드 포트로 이송한다. 또한, OHT는 공정 처리된 대상물이 수납된 용기를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송하거나, 반도체 공정 장치들 중 다른 하나로 반송할 수 있다.
일반적인 OHT는 반도체 제조 라인의 천장에 결합되는 레일, 그리고 비히클을 포함한다. 레일은 비히클이 주행하는 주행 레일과 비히클의 주행 방향을 변경시키는 조향 레일을 포함한다. 또한, 비히클은 주행 레일과 접촉하여 회전하는 주행 휠과 조향 레일과 선택적으로 접촉하여 회전하는 조향 휠을 포함한다. 비히클은 주행 레일과 접촉된 주행 휠의 회전에 의해 주행 레일을 따라 주행한다. 또한, 비히클의 주행 방향을 변경하고자 하는 경우 조향 휠은 조향 레일과 접촉하여 비히클의 주행 방향을 변경한다.
이러한 일반적인 OHT에서는 레일에서 발생하는 진동이 감쇄 없이 그대로 비히클로 전달된다. 레일에서 발생된 진동은 비히클로 전달되고, 비히클에 전달된 진동은 비히클이 파지하는 용기에 전달된다. 용기에 전달된 진동은 용기 내에서 파티클을 유발시킨다. 또한, 유발된 파티클은 웨이퍼 등의 대상물에 부착되어 대상물 처리의 불량을 야기한다. 특히, 조향 레일에 조향 휠이 접촉되면 비히클의 주행 방향이 변경되므로 조향 레일에 조향 휠이 접촉되면서 발생되는 진동의 크기는 상대적으로 크다. 즉, 조향 레일에 조향 휠이 접촉되면 용기에 전달되는 진동은 커지고, 이에 유발되는 용기 내에서 발생하는 파티클은 더욱 많아진다.
본 발명은 기판 등의 물품을 효과적으로 반송할 수 있는 반송 유닛 및 이를 포함하는 물품 반송 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판 등의 물품을 수납하는 용기 내에서 파티클의 발생하는 것을 최소화 할 수 있는 반송 유닛 및 이를 포함하는 물품 반송 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판 등의 물품을 반송시 레일에서 발생되는 진동이 물품이 수납된 용기에 전달되는 것을 최소화 할 수 있는 반송 유닛 및 이를 포함하는 물품 반송 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 반송 유닛을 제공한다. 물품이 수납된 용기를 반송하고, 레일을 주행하는 반송 유닛은, 구동기를 가지는 바디와; 상기 바디에 결합되고, 상기 레일을 주행하는 휠 어셈블리를 포함하고, 상기 휠 어셈블리는, 베어링과; 상기 베어링을 감싸는 휠 베이스를 포함하고, 상기 휠 베이스는, 완충 구조를 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 완충 구조는, 상기 휠 베이스의 일 면에서 타 면까지 연장되는 적어도 하나 이상의 홀을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 홀은, 호 형상을 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 호 형상을 가지는 상기 홀은, 상기 휠 베이스의 곡률 중심과 동일한 곡률 중심을 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 홀은, 복수로 상기 휠 베이스에 형성되고, 복수의 상기 홀들 중 동일한 곡률 반지름을 가지는 홀들은 서로 간에 이격되어 상기 휠 베이스에 형성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 홀은, 제1홀과; 상기 제1홀과 상이한 곡률 반지름을 가지는 제2홀을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 완충 구조는, 상기 제1홀과 상기 제2홀을 서로 연결하는 연결 홀을 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 휠 베이스의 중심에서 상기 휠 베이스의 반경 방향을 따라 그어진 가상의 직선은 적어도 하나 이상의 상기 홀과 중첩될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 휠 어셈블리는, 상기 휠 베이스를 감싸고, 탄성을 가지는 재질로 제공되는 탄성 휠을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명은 물품 반송 장치를 제공한다. 물품 반송 장치는, 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일과; 상기 주행 레일을 주행하는 반송 유닛과; 상기 반송 유닛의 주행 방향을 변경시키는 조향 레일을 포함하고, 상기 반송 유닛은, 구동기를 가지는 바디와; 상기 바디에 결합되고, 상기 주행 레일을 주행하는 주행 휠 어셈블리와; 상기 바디에 결합되고, 상기 주행 방향을 변경시 상기 조향 레일과 접촉되는 조향 휠 어셈블리를 포함하고, 상기 조향 휠 어셈블리는, 베어링과; 상기 베어링을 감싸는 휠 베이스를 포함하고, 상기 휠 베이스는, 완충 구조를 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 완충 구조는, 상기 휠 베이스의 일 면에서 타 면까지 연장되는 적어도 하나 이상의 홀을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 홀은, 호 형상을 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 호 형상을 가지는 상기 홀은, 상기 휠 베이스의 곡률 중심과 동일한 곡률 중심을 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 홀은, 복수로 상기 휠 베이스에 형성되고, 복수의 상기 홀들 중 동일한 곡률 반지름을 가지는 홀들은 서로 간에 이격되어 상기 휠 베이스에 형성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 홀은, 제1홀과; 상기 제1홀과 상이한 곡률 반지름을 가지는 제2홀을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 완충 구조는, 상기 제1홀과 상기 제2홀을 서로 연결하는 연결 홀을 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 휠 베이스의 중심에서 상기 휠 베이스의 반경 방향을 따라 그어진 가상의 직선은 적어도 하나 이상의 상기 홀과 중첩될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 휠 어셈블리는, 상기 휠 베이스를 감싸고, 탄성을 가지는 재질로 제공되는 탄성 휠을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 효과적으로 반송할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 수납하는 용기 내에서 파티클의 발생하는 것을 최소화 할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 반송시 레일에서 발생되는 진동이 물품이 수납된 용기에 전달되는 것을 최소화 할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 반도체 제조 장치와 본 발명의 일 실시 예에 따른 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 2는 도 1의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 1의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 1의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향의 변경 없이 주행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향을 변경하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 포함하는 조향 휠 어셈블리를 보여주는 도면이다.
도 8은 도 7의 조향 휠 어셈블리의 완충 구조를 표현한 개략도이다.
도 9는 도 8의 완충 구조의 일 예를 보여주는 사시도이다.
도 10은 도 8의 완충 구조의 일 예를 보여주는 평면도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
본 실시 예의 물품 반송 장치는 용기를 반송하는데 사용될 수 있다. 특히, 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품이 수납된 용기를 반송할 수 있다. 물품은 웨이퍼 등의 기판 또는 레티클일 수 있다. 물품이 수납되는 용기는 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 파드(POD)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다.
이하에서는, 물품 반송 장치가 웨이퍼 등의 기판이 수납된 용기를 반도체 제조 라인에 배치된 반도체 공정 장치들에 반송하는 것을 예로 들어 설명한다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품 및/또는 물품이 수납된 용기의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에도 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다.
이하에서는 도 1 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 반도체 제조 장치와 본 발명의 일 실시 예에 따른 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 물품 반송 장치(1000)는 반도체 공정 장치(100)들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인에 물품이 수납된 용기(C)를 반송할 수 있다. 물품 반송 장치(1000)는 OHT 장치일 수 있다. 물품 반송 장치(1000)는 레일(300)과 반송 유닛(500)을 포함할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(C)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 레일(300)을 따라 정해진 경로를 따라 주행할 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비될 수 있다.
도 1에서는 레일(300)을 대체로 육각형의 형태로 도시하였으나, 레일(300)의 형상은 원형, 사각형 등 다양하게 변형될 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되어 반도체 공정 장치(100)들을 상부에서 확인할 수 있도록 설치될 수 있다. 레일(300)의 설치 범위는 반도체 공정 장치(100)들 전체적으로 조망할 수 있도록 넓은 영역으로 배치될 수 있다.
도 2는 도 1의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이고, 도 3은 도 1의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이고, 도 4는 도 1의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 2 내지 도 4를 참조하면, 물품 반송 장치(1000)는 레일(300), 그리고 반송 유닛(500)을 포함할 수 있다.
레일(300)은 주행 레일(310)과 조향 레일(330)을 포함할 수 있다. 주행 레일(310)에는 후술하는 반송 유닛(500)의 주행 휠 어셈블리(520)가 접촉될 수 있다. 주행 레일(310)은 복수로 제공되고, 서로 이격되어 제공될 수 있다. 예컨대, 주행 레일(310)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 주행 레일(310)은 서로 평행하고, 같은 높이로 제공될 수 있다.
조향 레일(330)에는 후술하는 반송 유닛(500)의 조향 휠 어셈블리(530)가 선택적으로 접촉될 수 있다. 조향 레일(330)은 주행 레일(310)보다 상부에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 상부에서 바라볼 때 한 쌍의 주행 레일(310) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(330)의 일부는 상부에서 바라볼 때 굴곡진 형상을 가질 수 있다. 조향 레일(330)은 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시킬 수 있다.
반송 유닛(500)은 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(C)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(C)를 파지한 상태로 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 바디(510), 휠 어셈블리(520, 530), 프레임(540), 넥(550), 슬라이더(560), 호이스트(570), 그리고 그립 부재(580)를 포함할 수 있다.
바디(510)에는 휠 어셈블리(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다. 바디(510)에는 휠 어셈블리(520, 530)가 회전 가능하게 결합될 수 있다. 또한, 바디(510)에는 넥(550)이 회전 가능하게 결합될 수 있다. 바디(510)는 내부에 구동기(미도시)를 가질 수 있다. 구동기는 휠 어셈블리(520, 530)를 회전시킬 수 있다. 구동기는 휠 어셈블리(520, 530)에 동력을 전달하여 휠 어셈블리(520, 530)를 회전시킬 수 있다. 또한, 바디(510)는 복수로 제공될 수 있다. 각각의 바디(510)는 상술한 구동기를 가질 수 있다. 또한, 각각의 바디(510)에는 상술한 휠 어셈블리(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다.
휠 어셈블리(520, 530)는 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 휠 어셈블리(520, 530)는 레일(300)과 접촉하여 회전될 수 있다. 휠 어셈블리(520, 530)는 주행 휠 어셈블리(520), 그리고 조향 휠 어셈블리(530)를 포함할 수 있다.
주행 휠 어셈블리(520)는 바디(510)에 결합될 수 있다. 주행 휠 어셈블리(520)는 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠 어셈블리(520)는 레일(300) 중 주행 레일(310)과 접촉하고 회전하여 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 주행 휠 어셈블리(520)는 복수로 제공될 수 있다. 주행 휠 어셈블리(520)는 한 쌍으로 제공될 수 있다. 주행 휠 어셈블리(520) 중 어느 하나는 바디(510)의 일면에 회전 가능하게 결합되고, 주행 휠 어셈블리(520) 중 다른 하나는 바디(510)의 일면과 대향되는 타면에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠 어셈블리(520)는 바디(510)가 가지는 구동기로부터 동력을 전달받아 회전될 수 있다.
조향 휠 어셈블리(530)는 바디(510)에 결합될 수 있다. 조향 휠 어셈블리(530)는 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 조향 휠 어셈블리(530)는 조향 레일(330)과 선택적으로 접촉될 수 있다. 조향 휠 어셈블리(530)는 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시 조향 레일(330)과 접촉될 수 있다. 조향 휠 어셈블리(530)는 반송 유닛(500)이 주행 방향 변경 없이 주행하는 경우 조향 레일(330)과 접촉되지 않을 수 있다. 조향 휠 어셈블리(530)는 바디(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠 어셈블리(530)는 바디(510)가 가지는 구동기가 전달하는 동력에 의해 위치가 변경될 수 있다. 조향 휠 어셈블리(530)는 바디(510)의 상면에 그 위치가 변경 가능하도록 바디(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠 어셈블리(530)는 바디(510)의 상면에 제공되는 가이드 레일(512)을 매개로 바디(510)와 결합될 수 있다. 조향 휠 어셈블리(530)는 가이드 레일(512)의 길이 방향을 따라 위치가 변경 가능하도록 제공될 수 있다. 가이드 레일(512)의 길이 방향은 주행 휠 어셈블리(520)가 회전하여 반송 유닛(500)이 주행하는 방향에 대하여 수직일 수 있다. 또한, 조향 휠 어셈블리(530)는 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 조향 휠 어셈블리(530)는 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 조향 휠 어셈블리(530)는 반송 유닛(500)의 주행 방향을 따라 배치될 수 있다.
프레임(540)은 내부 공간을 가질 수 있다. 프레임(540)의 내부 공간에는 후술하는 슬라이더(560), 호이스트(570), 그리고 그립 부재(580)가 제공될 수 있다. 또한, 프레임(540)은 양 측면 및 하면이 개방된 육면체 형상을 가질 수 있다. 즉, 프레임(540)은 전면 및 후면이 블로킹 플레이트(Blocking Plate)로 제공될 수 있다. 이에, 반송 유닛(500)이 주행시 공기 저항에 의해 파지된 용기(C)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 프레임(540)은 넥(550)을 매개로 바디(510)에 결합될 수 있다. 넥(550)은 바디(510), 그리고 프레임(540)에 대하여 회전 가능하게 제공될 수 있다. 프레임(540)은 적어도 하나 이상의 넥(550)을 매개로 적어도 하나 이상의 바디(510)에 결합될 수 있다. 예컨대, 프레임(540)은 하나로 제공되고, 하나의 프레임(540)에는 두 개의 넥(550)이 결합될 수 있다. 그리고, 두 개의 넥(550)은 각각 두 개의 바디(510)에 결합될 수 있다.
슬라이더(560)는 프레임(540)에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)에 대하여 그 위치가 변경될 수 있도록 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)의 내부 공간에 제공되고, 프레임(540)의 하면에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 전방, 후방, 좌우 측방으로 그 위치를 변경할 수 있도록 프레임(540)에 결합될 수 있다. 또한, 슬라이더(560)는 후술하는 호이스트(570)와 결합될 수 있다. 이에, 슬라이더(560)의 위치를 변경하여 호이스트(570)의 위치를 변경할 수 있다.
호이스트(570)는 그립 부재(580)를 승하강 시킬 수 있다. 호이스트(570)는 내부에 구동 부재를 포함할 수 있다. 구동 부재는 그립 부재(580)와 연결된 밸트(572)를 감거나 풀어 그립 부재(580)를 승하강 시킬 수 있다. 그립 부재(580)는 용기(C)를 파지할 수 있다. 그립 부재(580)는 용기(C)를 착탈 가능하게 파지할 수 있다. 그립 부재(580)는 용기(C)를 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나, 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다.
이하에서는, 주행 레일(310)을 주행하는 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경하는 방법에 대하여 설명한다. 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향의 변경 없이 주행하는 모습을 보여주는 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향을 변경하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 5와 도 6을 참조하면, 조향 레일(330)은 주행 레일(310)보다 상부에 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(330)은 상부에서 바라볼 때 한 쌍의 주행 레일(310) 사이에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 일부는 굴곡진 형상을 가질 수 있다. 또한, 조향 레일(330)의 다른 일부는 직선 형상을 가질 수 있다. 조향 레일(330)의 굴곡진 부분은 주행 레일(310)들의 교차 영역에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)의 직선 부분은 주행 레일(310)의 주행 영역에 배치될 수 있다.
반송 유닛(500)이 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하는 경우, 반송 유닛(500)의 조향 휠 어셈블리(530)는 조향 레일(330)과 서로 접촉되지 않는 위치로 이동된다. 즉, 조향 휠 어셈블리(530)가 조향 레일(330)과 접촉되지 않으므로, 반송 유닛(500)은 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하게 된다(도 5 참조). 그러나, 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하는 경우에도 조향 휠 어셈블리(530)에 의해 반송 유닛(500)의 주행 방향이 변경되지 않는다면 조향 휠 어셈블리(530)는 조향 레일(330)과 접촉될 수도 있다. 예컨대, 조향 휠 어셈블리(530)는 도 5의 조향 레일(330)의 좌측 면과 접촉될 수도 있다.
이와 달리, 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경하고자 하는 경우, 반송 유닛(500)의 조향 휠 어셈블리(530)는 조향 레일(330)과 접촉되는 위치로 이동될 수 있다. 구체적으로, 조향 휠 어셈블리(530)는 반송 유닛(500)의 변경 전 주행 방향을 기준으로 변경 후 주행 방향과 대응하는 조향 레일(330)의 면과 접촉되도록 그 위치가 변경된다. 예컨대, 반송 유닛(500)의 변경 전 주행 방향을 기준으로 변경 후 주행 방향이 우측 방향인 경우, 우측 방향과 대응하는 조향 레일(330)의 우측 면과 접촉되도록 조향 휠 어셈블리(530)의 위치가 변경된다(도 6 참조). 도 6에 도시된 예로 반송 유닛(500)의 주행 방향 변경을 설명하면, 반송 유닛(500)의 주행 방향을 기준으로 우측 주행 휠 어셈블리(520)는 주행 레일(310)과 계속하여 접촉된다. 그리고, 반송 유닛(500)의 좌측 주행 휠 어셈블리(520)는 반송 유닛(500)의 주행 방향이 변경되면서 주행 레일(310)과 이격된다. 그리고, 조향 휠 어셈블리(530)는 반송 유닛(500)의 주행 방향 변경이 완료될 때까지 조향 레일(330)과 계속하여 접촉한다. 주행 방향 변경이 완료되면 조향 휠 어셈블리(530)는 조향 레일(330)로부터 이격되고, 좌측 주행 휠 어셈블리(520)는 다시 주행 레일(310)과 접촉된다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 포함하는 조향 휠 어셈블리를 보여주는 도면이다. 도 7에서 도시하고 있는 조향 휠 어셈블리(530)의 구조는 주행 휠 어셈블리(520)에도 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다. 도 7을 참조하면, 조향 휠 어셈블리(530)는 휠 베이스(600), 베어링(531), 그리고 탄성 휠(532)을 포함할 수 있다.
휠 베이스(600)는 베어링(531)을 감싸도록 제공될 수 있다. 또한, 탄성 휠(532)은 휠 베이스(600)를 감싸도록 제공될 수 있다. 휠 베이스(600)는 금속을 포함하는 재질로 제공될 수 있다. 또한, 탄성 휠(532)은 탄성을 가지는 재질로 제공될 수 있다. 예컨대, 탄성 휠(532)은 우레탄을 포함하는 재질로 제공될 수 있다.
조향 휠 어셈블리(530)가 조향 레일(330)과 접촉되어 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시키는 경우, 조향 휠 어셈블리(530)는 조향 레일(330)과 접촉되어 진동을 발생시킨다. 발생된 진동이 감쇄 없이 반송 유닛(500)에 전달되면, 그 진동은 반송 유닛(500)이 파지하고 있는 용기(C)로 그대로 전달된다. 이 경우, 용기(C)는 진동하게 되고, 진동하는 용기(C)의 내부 공간에서는 파티클이 발생할 수 있다. 용기(C)의 내부 공간에서 발생된 파티클은 용기 내에 수납된 물품, 예컨대 웨이퍼 등의 기판에 부착될 수 있다. 이 경우, 기판에 불량이 발생할 수 있다.
이에 본 발명의 일 실시 예에 따른 조향 휠 어셈블리(530)의 휠 베이스(600)는 도 8에 도시된 바와 같이 완충 구조(S)를 가진다. 완충 구조(S)는 플랙셔 구조일 수 있다. 휠 베이스(600)가 완충 구조(S)를 가지게 되면, 조향 휠 어셈블리(530)가 조향 레일(330)과 접촉되면서 발생되는 진동을 감쇄할 수 있게 된다. 이에, 용기(C)에 전달되는 진동을 감쇄할 수 있고, 용기(C)가 진동하는 것을 최소화 하여 용기(C)의 반송을 효율적으로 수행할 수 있다. 또한, 용기(C)에 전달되는 진동이 감쇄되면 용기(C) 내에서 파티클이 발생하는 것을 억제할 수 있으므로, 용기(C) 내에 수납된 물품에 불량이 발생하는 것을 최소화 할 수 있다.
휠 베이스(600)의 완충 구조(S)는 다양한 실시 예들을 포함할 수 있다. 이하에서는, 휠 베이스(600)가 가지는 완충 구조(S)의 일 예에 대하여 상세히 설명한다. 도 9는 도 8의 완충 구조의 일 예를 보여주는 사시도이고, 도 10은 도 8의 완충 구조의 일 예를 보여주는 평면도이다. 도 9와 도 10을 참조하면, 휠 베이스(600)가 가지는 완충 구조(S)는 휠 베이스(600)의 일 면에서 타 면까지 연장되는 적어도 하나 이상의 홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)을 포함할 수 있다.
홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)은 호 형상을 가질 수 있다. 호 형상을 가지는 홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)은 휠 베이스(600)의 곡률 중심과 동일한 곡률 중심을 가질 수 있다.
또한, 홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)은 복수로 휠 베이스(600)에 형성될 수 있다. 또한, 홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)들 중 동일한 곡률 반지름을 가지는 홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)들은 서로 간에 이격되어 휠 베이스(600)에 형성될 수 있다. 예컨대, 홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)은 제1홀(610), 제2홀(620), 제3홀(630), 제4홀(640), 제5홀(650), 그리고 제6홀(660)을 포함할 수 있다. 각각의 제1홀(610), 제2홀(620), 제3홀(630), 제4홀(640), 제5홀(650), 그리고 제6홀(660)은 각각 복수로 제공될 수 있다. 그리고, 복수로 제공되는 제1홀(610)은 서로 동일한 곡률 반지름을 가질 수 있다. 복수로 제공되는 제2홀(620)은 서로 동일한 곡률 반지름을 가질 수 있다. 복수로 제공되는 제3홀(630)은 서로 동일한 곡률 반지름을 가질 수 있다. 복수로 제공되는 제4홀(640)은 서로 동일한 곡률 반지름을 가질 수 있다. 복수로 제공되는 제5홀(650)은 서로 동일한 곡률 반지름을 가질 수 있다. 복수로 제공되는 제6홀(660)은 서로 동일한 곡률 반지름을 가질 수 있다. 즉, 동일한 곡률 반지름을 가지는 홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)들은 서로 간에 이격되어 휠 베이스(600)에 형성될 수 있다. 동일한 곡률 반지름을 가지는 홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)들이 서로 간에 이격되어 휠 베이스(600)에 형성됨으로써, 홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)들은 휠 베이스(600)에 더욱 촘촘히 형성될 수 있다. 이에, 진동에 대한 감쇄, 그리고 완충 효과를 더욱 높일 수 있다.
또한, 제1홀(610), 제2홀(620), 제3홀(630), 제4홀(640), 제5홀(650), 그리고 제6홀(660)은 서로 상이한 곡률 반지름을 가질 수 있다. 예컨대, 제1홀(610)의 곡률 반지름이 가장 작고, 제2홀(620), 제3홀(630), 제4홀(640), 제5홀(650), 그리고 제6홀(660)의 곡률 반지름은 순차적으로 커질 수 있다. 또한, 휠 베이스(600)의 중심에서 휠 베이스(600)의 반경 방향을 따라 그어진 가상의 직선(L)은 적어도 하나 이상의 홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)과 중첩될 수 있다. 또한, 완충 구조(S)는 서로 상이한 곡률 반지름을 가지는 홀(610, 620, 630, 640, 650, 660)들을 서로 연결하는 연결 홀(690)을 더 포함할 수 있다. 이에, 진동에 대한 감쇄, 그리고 완충 효과를 더욱 높일 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
반도체 공정 장치 : 100
카세트 용기 : C
물품 반송 장치 : 1000
레일 : 300
주행 레일 : 310
조향 레일 : 330
반송 유닛 : 500
바디 : 510
가이드 레일 : 512
휠 어셈블리 : 520, 530
주행 휠 어셈블리 : 520
조향 휠 어셈블리 : 530
휠 베이스 : 600
베어링 : 532
탄성 휠 : 533
프레임 : 540
넥 : 550
슬라이더 : 560
호이스트 : 570
벨트 : 572
그립 부재 : 580
휠 베이스 : 600
완충 구조 : S
홀 : 610, 620, 630, 640 ,650, 660
제1홀 : 610
제2홀 : 620
제3홀 : 630
제4홀 : 640
제5홀 : 650
제6홀 : 660
연결 홀 : 690

Claims (18)

  1. 물품이 수납된 용기를 반송하고, 레일을 주행하는 반송 유닛에 있어서,
    구동기를 가지는 바디와;
    상기 바디에 결합되고, 상기 레일을 주행하는 휠 어셈블리를 포함하고,
    상기 휠 어셈블리는,
    베어링과;
    상기 베어링의 외주를 감싸는 휠 베이스를 포함하고,
    상기 휠 베이스는,
    상기 휠 베이스의 일 면에서 타 면까지 연장되는 완충 구조를 가지는 반송 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 완충 구조는,
    적어도 하나 이상의 홀을 포함하는 반송 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 홀은,
    호 형상을 가지는 반송 유닛.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 호 형상을 가지는 상기 홀은,
    상기 휠 베이스의 곡률 중심과 동일한 곡률 중심을 가지는 반송 유닛.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 홀은,
    복수로 상기 휠 베이스에 형성되고,
    복수의 상기 홀들 중 동일한 곡률 반지름을 가지는 홀들은 서로 간에 이격되어 상기 휠 베이스에 형성되는 반송 유닛.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 홀은,
    제1홀과;
    상기 제1홀과 상이한 곡률 반지름을 가지는 제2홀을 포함하는 반송 유닛.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 완충 구조는,
    상기 제1홀과 상기 제2홀을 서로 연결하는 연결 홀을 더 포함하는 반송 유닛.
  8. 제2항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 휠 베이스의 중심에서 상기 휠 베이스의 반경 방향을 따라 그어진 가상의 직선은 적어도 하나 이상의 상기 홀과 중첩되는 반송 유닛.
  9. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 휠 어셈블리는,
    상기 휠 베이스를 감싸고, 탄성을 가지는 재질로 제공되는 탄성 휠을 더 포함하는 반송 유닛.
  10. 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일과;
    상기 주행 레일을 주행하는 반송 유닛과;
    상기 반송 유닛의 주행 방향을 변경시키는 조향 레일을 포함하고,
    상기 반송 유닛은,
    구동기를 가지는 바디와;
    상기 바디에 결합되고, 상기 주행 레일을 주행하는 주행 휠 어셈블리와;
    상기 바디에 결합되고, 상기 주행 방향을 변경시 상기 조향 레일과 접촉되는 조향 휠 어셈블리를 포함하고,
    상기 조향 휠 어셈블리는,
    베어링과;
    상기 베어링의 외주를 감싸는 휠 베이스를 포함하고,
    상기 휠 베이스는,
    상기 휠 베이스의 일 면에서 타 면까지 연장되는 완충 구조를 가지는 물품 반송 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 완충 구조는,
    적어도 하나 이상의 홀을 포함하는 물품 반송 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 홀은,
    호 형상을 가지는 물품 반송 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 호 형상을 가지는 상기 홀은,
    상기 휠 베이스의 곡률 중심과 동일한 곡률 중심을 가지는 물품 반송 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 홀은,
    복수로 상기 휠 베이스에 형성되고,
    복수의 상기 홀들 중 동일한 곡률 반지름을 가지는 홀들은 서로 간에 이격되어 상기 휠 베이스에 형성되는 물품 반송 장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 홀은,
    제1홀과;
    상기 제1홀과 상이한 곡률 반지름을 가지는 제2홀을 포함하는 물품 반송 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 완충 구조는,
    상기 제1홀과 상기 제2홀을 서로 연결하는 연결 홀을 더 포함하는 물품 반송 장치.
  17. 제11항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 휠 베이스의 중심에서 상기 휠 베이스의 반경 방향을 따라 그어진 가상의 직선은 적어도 하나 이상의 상기 홀과 중첩되는 물품 반송 장치.
  18. 제10항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 휠 어셈블리는,
    상기 휠 베이스를 감싸고, 탄성을 가지는 재질로 제공되는 탄성 휠을 더 포함하는 물품 반송 장치.

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