KR20220161951A - 주행 휠 및 이를 포함하는 반송 유닛 - Google Patents

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성혁제
임정현
이주호
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 반송 유닛을 제공한다. 일 실시예에서, 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 레일을 주행하고, 물품을 반송하는 반송 유닛은, 구동기가 제공되는 바디; 및 바디에 회전 가능하게 결합되며 구동기로부터 동력을 전달받아 레일을 주행하는 주행 휠을 포함하고, 주행 휠은, 휠 코어; 및 휠 코어의 둘레를 따라 휠 코어에 고정되는 타이어를 포함하고, 타이어는 탄성을 가지는 소재로 제공되며, 휠 코어와 타이어가 맞물리도록 제공될 수 있다.

Description

주행 휠 및 이를 포함하는 반송 유닛{DRIVING WHEEL AND TRANSFERRING UNIT INCLUDING THE SAME}
본 발명은 주행 휠과 이를 포함하는 반송 유닛에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정의 피처리물인 기판(예컨대, 웨이퍼, 글라스) 등의 물품은 풉(FOUP) 등의 용기에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공될 수 있다. 또한, 공정이 수행된 물품들은 각 반도체 공정 장치로부터 용기로 회수되고, 회수된 용기는 외부로 반송될 수 있다.
용기는 오버 헤드 호이스트 반송 장치(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)와 같은 반송 차량에 의해 반송된다. 반송 차량은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 레일을 따라 주행한다. 반송 차량은 물품이 수납된 용기를 반도체 공정 장치들 중 어느 하나의 로드 포트로 반송한다. 또한, 반송 차량은 공정 처리된 물품이 수납된 용기를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송하거나, 반도체 공정 장치들 중 다른 하나로 반송할 수 있다.
반송 차량은 서로 다른 위치에 제공되는 반도체 공정 장치의 상부로 용기를 반송하기 위해, 레일을 따라 주행한다. 일반적으로 휠은 휠과 반송 차량의 몸체를 연결하는 휠 코어와 휠 코어를 감싸도록 제공되는 가이드가 제공된다. 반송 차량이 레일을 따라 주행할 시에 반송 차량은 레일과의 충돌에 의해 진동을 발생시킨다. 이와 같은 진동은 반송 차량의 휠에도 전달된다. 가이드는 휠 코어와 레일이 마찰하는 것을 방지하며, 레일에 탑재되어 반송 차량이 레일을 따라 주행될 수 있도록 한다.
다만, 휠 코어와 가이드는 본드와 같은 접착제에 의해 금형틀 내에서 접착식으로 결합되는데, 이와 같은 방식은 제작 공정이 복잡하고 원가가 높은 단점이 있다. 또한, 반송 차량의 주행 시 본드의 접착력이 약화되어 휠 코어와 가이드가 분리되는 문제점이 있다.
본 발명은 제작 공정이 단순한 주행 휠 및 이를 포함하는 반송 유닛을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 원가를 절감할 수 있는 주행 휠 및 이를 포함하는 반송 유닛을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 반송 차량의 주행 시 불량 발생이 적은 주행 휠 및 이를 포함하는 반송 유닛을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 반송 유닛을 제공한다. 일 실시예에서, 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 레일을 주행하고, 물품을 반송하는 반송 유닛은, 구동기가 제공되는 바디; 및 바디에 회전 가능하게 결합되며 구동기로부터 동력을 전달받아 레일을 주행하는 주행 휠을 포함하고, 주행 휠은, 휠 코어; 및 휠 코어의 둘레를 따라 휠 코어에 고정되는 타이어를 포함하고, 타이어는 탄성을 가지는 소재로 제공되며, 휠 코어와 타이어가 맞물리도록 제공될 수 있다.
일 실시예에서, 휠 코어와 타이어는 억지 끼움 결합될 수 있다.
일 실시예에서, 타이어의 내주면 또는 휠 코어의 외주면 중 어느 하나에 돌출부가 형성되고, 타이어의 내주면 또는 휠 코어의 외주면 중 다른 하나에 돌출부에 대응되는 형상으로 제공되며 돌출부가 삽입되는 홈부가 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 돌출부는, 양단으로 갈수록 단면이 좁아지는 형상으로 제공될 수 있다.
일 실시예에서, 돌출부는 단면이 원형으로 제공될 수 있다.
일 실시예에서, 레일은, 반송 유닛의 주행 경로를 제공하는 주행 레일과; 반송 유닛의 주행 방향을 변경시키도록 제공되는 조향 레일을 포함하고, 주행 레일과 조향 레일은 상하 방향으로 단차를 두고 제공되며, 주행 휠은, 주행 레일에 탑재되는 제1휠과; 조향 레일에 탑재되며 제1휠 보다 작은 직경으로 제공되는 제2휠을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명은 주행 휠을 제공한다. 일 실시예에서, 주행 휠은, 휠 코어; 및 휠 코어의 둘레를 따라 휠 코어에 고정되는 타이어를 포함하고, 타이어는 탄성을 가지는 소재로 제공되며, 휠 코어와 타이어가 맞물리도록 제공될 수 있다.
일 실시예에서, 휠 코어와 타이어는 억지 끼움 결합될 수 있다.
일 실시예에서, 타이어의 내주면 또는 휠 코어의 외주면 중 어느 하나에 돌출부가 형성되고, 타이어의 내주면 또는 휠 코어의 외주면 중 다른 하나에 돌출부에 대응되는 형상으로 제공되며 돌출부가 삽입되는 홈부가 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 돌출부는, 양단으로 갈수록 단면이 좁아지는 형상으로 제공될 수 있다.
일 실시예에서, 돌출부는 단면이 원형으로 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 주행 휠의 제작 공정이 단순해지는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 주행 휠의 제조 원가를 절감할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 반송 차량의 주행 시 주행 휠의 불량 발생이 적은 이점이 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 반도체 제조 라인을 상부에서 바라본 모습을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 레일을 주행하는 반송 유닛을 정면에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 1의 레일을 주행하는 반송 유닛을 측면에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 1의 레일을 주행하는 반송 유닛을 상부에서 바라본 도면이다.
도 5는 본 발명의 반송 유닛이 분기 영역에서 주행 방향을 유지하며 주행하는 모습을 상부에서 바라본 도면이다.
도 6은 본 발명의 반송 유닛이 분기 영역에서 주행 방향을 변경하며 주행하는 모습을 상부에서 바라본 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 휠의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 주행 휠의 단면도이다.
도 9는 도 8의 주행 휠의 분해 사시도이다.
도 10은 도 8의 제2휠이 조향 레일에 탑재된 모습을 나타내는 도면이다.
도 11은 도 8의 제1휠이 주향 레일에 탑재된 모습을 나타내는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 실시 예의 물품 반송 시스템은 용기를 반송하는데 사용될 수 있다. 특히, 본 실시 예의 물품 반송 시스템은 물품이 수납된 용기를 반송할 수 있다. 물품은 웨이퍼 등의 기판 또는 레티클(Reticle)일 수 있다. 물품이 수납되는 용기는 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP), 또는 카세트일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 파드(POD)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다.
이하에서는, 물품 반송 시스템이 웨이퍼 등의 기판이 수납된 용기를 반도체 제조 라인에 배치된 반도체 공정 장치들에 반송하는 것을 예로 들어 설명한다. 물품 반송 장치가 반송하는 물품은 반도체 소자 제조에 사용되는 기판인 것을 예로 들어 설명한다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품 및/또는 물품이 수납된 용기의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에도 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다.
도 1은 반도체 제조 라인을 상부에서 바라본 모습을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 물품 반송 시스템(1000)은 반도체 공정 장치(10)들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인에 물품이 수납된 용기(20)를 반송할 수 있다. 물품 반송 시스템(1000)은 버퍼 유닛(100), 연결 프레임(200), 레일(300), 반송 유닛(500), 그리고 제어기(700)를 포함할 수 있다.
버퍼 유닛(100)은 반도체 제조 라인의 천장(R)에 고정 설치될 수 있다. 버퍼 유닛(100)은 반도체 공정 장치(10)에 반송되는, 또는 반도체 공정 장치(10)로부터 반송되는 용기(20)를 임시 보관할 수 있다.
레일(300)은 후술하는 반송 유닛(500)이 주행하는 경로를 제공한다. 레일(300)은 주행 레일(310), 그리고 분기 레일(330)을 포함할 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장(R)에 고정 설치될 수 있다.
연결 프레임(200)은 버퍼 유닛(100), 그리고 레일(300)을 서로 연결할 수 있다. 이는 버퍼 유닛(100)과 레일(300)이 천장(R)에 고정 설치되기에 수평 방향으로의 흔들림에 취약한 문제점을 보완하기 위한 것이다.
반송 유닛(500)은 비히클일 수 있다. 반송 유닛(500)은 오버 헤드 호이스트 비히클일 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 레일(300)을 따라 정해진 경로를 따라 주행할 수 있다.
도 1에서는 레일(300)을 대체로 육각형의 형태로 도시하였으나, 레일(300)의 형상은 원형, 사각형 등 다양하게 변형될 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되어 반도체 공정 장치(10)들을 상부에서 확인할 수 있도록 설치될 수 있다. 레일(300)의 설치 범위는 반도체 공정 장치(10)들 전체적으로 조망할 수 있도록 넓은 영역으로 배치될 수 있다.
제어기(700)는 물품 반송 시스템(1000)을 제어할 수 있다. 제어기(700)는 물품이 수납된 용기(20)를 반도체 공정 장치(10)에 반송하거나, 반도체 공정 장치(10)로부터 반송할 수 있도록 물품 반송 시스템(1000)을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(700)는 용기(20)를 버퍼 유닛(100)에 반송하거나, 버퍼 유닛(100)으로부터 반송할 수 있도록 물품 반송 시스템(1000)을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(700)는 물품 반송 시스템(1000)의 제어를 실행하는 마이크로프로세서(컴퓨터)로 이루어지는 프로세스 컨트롤러와, 오퍼레이터가 물품 반송 시스템(1000)을 관리하기 위해서 커맨드 입력 조작 등을 행하는 키보드나, 물품 반송 시스템(1000)의 가동 상황을 가시화해서 표시하는 디스플레이 등으로 이루어지는 유저 인터페이스와, 물품 반송 시스템(1000)에서 실행되는 처리를 프로세스 컨트롤러의 제어로 실행하기 위한 제어 프로그램이나, 각종 데이터 및 처리 조건에 따라 각 구성부에 처리를 실행시키기 위한 프로그램, 즉 처리 레시피가 저장된 기억부를 구비할 수 있다. 또한, 유저 인터페이스 및 기억부는 프로세스 컨트롤러에 접속되어 있을 수 있다. 처리 레시피는 기억 부 중 기억 매체에 기억되어 있을 수 있고, 기억 매체는, 하드 디스크이어도 되고, CD-ROM, DVD 등의 가반성 디스크나, 플래시 메모리 등의 반도체 메모리 일 수도 있다.
도 2는 도 1의 레일을 주행하는 반송 유닛을 정면에서 바라본 도면이고, 도 3은 도 1의 레일을 주행하는 반송 유닛을 측면에서 바라본 도면이다. 도 4는 도 1의 레일을 주행하는 반송 유닛을 상부에서 바라본 도면이다.
상술한 바와 같이 물품 반송 시스템(1000)은 레일(300), 그리고 반송 유닛(500)을 포함할 수 있다.
레일(300)은 주행 레일(310)과 조향 레일(330)을 포함할 수 있다.
주행 레일(310)은 후술하는 반송 유닛(500)이 주행하는 주행 경로를 제공할 수 있다. 주행 레일(310)에는 후술하는 반송 유닛(500)의 주행 휠(520)이 접촉될 수 있다. 주행 레일(310)은 복수로 제공되고, 서로 이격되어 제공될 수 있다. 예컨대, 주행 레일(310)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 주행 레일(310)은 서로 평행하고, 같은 높이로 제공될 수 있다.
조향 레일(330)은 후술하는 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시킬 수 있다. 조향 레일(330)은 후술하는 반송 유닛(500)의 조향 휠(532)과 접촉될 수 있다. 조향 레일(330)은 직선 분기 레일(332)과 곡선 분기 레일(334)을 포함할 수 있다. 직선 분기 레일(332)은 주행 레일(310)이 분기되는 영역에서 반송 유닛(500)의 주행 경로를 유지시킬 수 있다. 또한, 곡선 분기 레일(334)은 주행 레일(310)이 분기되는 영역에서 반송 유닛(500)의 주행 경로를 유지시킬 수 있다.
반송 유닛(500)은 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지한 상태로 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 바디(510), 주행 휠(520), 조향 부재(530), 프레임(540), 넥(550), 슬라이더(560), 승강 부재(570), 그리고, 그립 부재(580)를 포함할 수 있다.
바디(510)에는 주행 휠(520), 조향 부재(530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다. 바디(510)에는 주행 휠(520)이 회전 가능하게 결합될 수 있다. 또한 조향 유닛(600)은 바디(510)의 상면에 제공될 수 있다. 또한, 바디(510)에는 넥(550)이 회전 가능하게 결합될 수 있다.
바디(510)는 내부에 주행 구동기(미도시)를 가질 수 있다. 구동기는 주행 휠(520)을 회전시킬 수 있다. 주행 구동기는 주행 휠(520)에 동력을 전달하여 주행 휠(520)을 회전시킬 수 있다. 또한, 바디(510)는 복수로 제공될 수 있다. 각각의 바디(510)는 상술한 주행 구동기를 가질 수 있다. 또한, 각각의 바디(510)에는 상술한 주행 휠(520), 조향 부재(530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다.
주행 휠(520)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 레일(300)과 접촉하여 회전될 수 있다. 주행 휠(520)은 바디(510)에 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 레일(300) 중 주행 레일(310)과 접촉되고, 회전되어 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 주행 휠(520)은 복수로 제공될 수 있다. 주행 휠(520)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 주행 휠(520) 중 어느 하나는 바디(510)의 일면에 회전 가능하게 결합되고, 주행 휠(520) 중 다른 하나는 바디(510)의 일면과 대향되는 타면에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
조향 부재(530)는 바디(510)의 상부에 제공될 수 있다. 조향 부재(530)는 복수의 조향 휠(532), 그리고 조향 레일(534)을 포함할 수 있다. 조향 휠(532)은 상부에서 바라볼 때, 반송 유닛(500)의 주행 방향과 평행한 방향을 따라 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(534)은 그 길이 방향이 상부에서 바라볼 때, 반송 유닛(500)의 주행 방향과 수직한 방향과 평행할 수 있다. 또한, 조향 휠(532)은 조향 레일(534)의 길이 방향을 따라 그 위치가 변경될 수 있다.
프레임(540)은 내부 공간을 가질 수 있다. 프레임(540)의 내부 공간에는 후술하는 슬라이더(560), 승강 부재(570), 그리고 그립 부재(580)가 제공될 수 있다. 또한, 프레임(540)은 양 측면 및 하면이 개방된 육면체 형상을 가질 수 있다. 즉, 프레임(540)은 전면 및 후면이 블로킹 플레이트(Blocking Plate)로 제공될 수 있다. 이에, 반송 유닛(500)이 주행시 공기 저항에 의해 파지된 용기(20)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 프레임(540)은 넥(550)을 매개로 바디(510)에 결합될 수 있다. 넥(550)은 바디(510), 그리고 프레임(540)에 대하여 회전 가능하게 제공될 수 있다. 프레임(540)은 적어도 하나 이상의 넥(550)을 매개로 적어도 하나 이상의 바디(510)에 결합될 수 있다. 예컨대, 프레임(540)은 하나로 제공되고, 하나의 프레임(540)에는 두 개의 넥(550)이 결합될 수 있다. 그리고, 두 개의 넥(550)은 서로 다른 바디(510)에 각각 결합될 수 있다.
슬라이더(560)는 프레임(540)에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)에 대하여 그 위치가 변경될 수 있도록 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)의 내부 공간에 제공되고, 프레임(540)의 하면에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 반송 유닛(500)의 주행 방향에 대하여 좌우 측방으로 그 위치를 변경할 수 있도록 프레임(540)에 결합될 수 있다. 또한, 슬라이더(560)는 후술하는 승강 부재(570)와 결합될 수 있다. 이에, 슬라이더(560)의 위치를 변경하여 승강 부재(570)의 위치를 변경할 수 있다.
승강 부재(570)는 그립 부재(580)를 승하강 시킬 수 있다. 승강 부재(570)는 프레임(540) 및/또는 넥(550)을 매개로 바디(510)에 결합될 수 있다. 승강 부재(570)는 내부에 구동기(미도시)를 포함할 수 있다. 구동기는 그립 부재(580)와 연결된 벨트(572)를 감거나 풀어 그립 부재(580)를 승하강 시킬 수 있다.
그립 부재(580)는 용기(20)를 파지할 수 있다. 그립 부재(580)는 용기(20)를 착탈 가능하게 파지할 수 있다. 그립 부재(580)는 용기(20)를 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나, 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다.
도 5는 본 발명의 반송 유닛이 분기 영역에서 주행 방향을 유지하며 주행하는 모습을 상부에서 바라본 도면이다. 도 5를 참조하면, 반송 유닛(500)이 분기 영역에서 주행 방향을 유지하며 주행하는 경우, 조향 부재(530)의 조향 휠(532)은 직선 분기 레일(332)과 접촉되는 위치로 이동된다. 이에, 분기 영역에서 주행 휠(520)은 주행 레일(310) 중 어느 하나와 접촉되고, 조향 휠(532)은 직선 분기 레일(332)과 접촉되며, 반송 유닛(500)의 주행 방향은 유지된다.
도 6은 본 발명의 반송 유닛이 분기 영역에서 주행 방향을 변경하며 주행하는 모습을 상부에서 바라본 도면이다. 도 6을 참조하면, 반송 유닛(500)이 분기 영역에서 주행 방향을 변경하는 경우, 조향 부재(530)의 조향 휠(532)은 곡선 분기 레일(334)과 접촉되는 위치로 이동된다. 이에, 분기 영역에서 주행 휠(520)은 주행 레일(310) 중 어느 하나와 접촉되고, 조향 휠(532)은 곡선 분기 레일(334)과 접촉되며, 반송 유닛(500)의 주행 방향은 변경된다.
이하, 도 7 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 주행 휠(520)에 대해 설명한다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 휠(520)의 단면도이다. 도 7을 참조하면, 주행 휠(520)은, 휠 코어(720)와 타이어(710)를 포함한다. 휠 코어(720)는 주행 휠(520)과 바디(510)를 연결한다. 일 예에서, 휠 코어(720)는 금속 재질로 제공된다. 일 예에서, 주행 휠(520)은 제1바디(721)와 제2바디(722)를 가지며, 제1바디(721)와 제2바디(722)의 내경에는 암나사가 형성되고, 제1바디(721)와 제2바디(722)는 볼트(527, 528, 529)를 통해 체결될 수 있다. 이와 달리 제1바디(721)와 제2바디(722)는 일체로 제작될 수 있다.
일 예에서, 주행 휠(520)은 바디(510)에 제공된 구동기(미도시)로부터 구동력을 전달받아 레일(300)을 주행한다. 타이어(710)는 주행 휠(520)을 감싸도록 제공된다. 일 예에서, 타이어(710)는 휠 코어(720)의 둘레를 따라 휠 코어(720)에 고정된다. 타이어(710)는, 주행 휠(520)이 레일(300)을 따라 주행하는 동안 발생하는 진동과 마찰을 저감한다. 일 예에서, 타이어(710)는 탄성을 가지는 소재로 제공된다. 예컨대, 타이어(710)는 우레탄 소재로 제공된다.
일 예에서, 휠 코어(720)와 타이어(710)는 맞물리도록 제공된다. 예컨대, 휠 코어(720)와 타이어(710)는 억지 끼움 결합될 수 있다. 일 예에서, 타이어(710)의 내주면 또는 휠 코어(720)의 외주면 중 어느 하나에 돌출부(711)가 형성되고, 타이어(710)의 내주면 또는 휠 코어(720)의 외주면 중 다른 하나에 돌출부(711)에 대응되는 형상으로 제공되며 돌출부(711)가 삽입되는 홈부(713)가 형성될 수 있다. 예컨대, 도 7에 도시된 바와 같이, 타이어(710)의 내주면에 돌출부(711)가 형성되고, 휠 코어(720)의 외주면에 홈부(713)가 형성될 수 있다. 일 예에서, 돌출부(711)는, 양단으로 갈수록 단면이 좁아지는 형상으로 제공될 수 있다. 일 예에서, 돌출부(711)는 단면이 원형으로 제공될 수 있다. 돌출부(711)를 홈부(713)에 삽입할 시에, 돌출부(711)와 홈부(713)가 인접한 일단이, 일단으로 갈수록 단면이 좁아지게 제공되는 바, 돌출부(711)는 홈부(713)에 용이하게 삽입될 수 있다. 또한, 돌출부(711)의 일단이 원형으로 제공되는 바 돌출부(711)가 홈부(713)에 삽입될 때의 마찰을 줄일 수 있다. 또한, 돌출부(711)와 홈부(713)가 인접한 일단의 반대에 위치한 타단의 단면이 좁아지게 제공될 수 있다. 타단으로 갈수록 단면이 좁아지게 제공되는 바, 타단에 대응되도록 형성된 홈부(713)가 주행 휠(520)의 주행 중에 타이어(710)가 휠 코어(720)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
상술한 예에서는 주행 휠(520)이 단일 개로 제공되는 것으로 설명하였다. 그러나, 이와 달리 주행 휠(520)은 도 8 내지 도 9에 도시된 바와 같이 제1휠(524)과 제2휠(522)로 제공될 수 있다. 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 주행 휠(520)의 단면도이고, 도 9는 도 8의 주행 휠(520)의 분해 사시도이고, 도 10은 도 8의 제2휠(522)이 조향 레일(300)에 탑재된 모습을 나타내는 도면이고, 도 11은 도 8의 제1휠(524)이 주향 레일(300)에 탑재된 모습을 나타내는 도면이다.
일 예에서, 주행 레일(300)과 조향 레일(300)은 상하 방향으로 단차를 두고 제공된다. 예컨대, 조향 레일(300)은 주행 레일(300)보다 상방으로 단차를 두고 제공될 수 있다. 일 예에서, 제1휠(524)은 주행 레일(300)에 탑재되고 제2휠(522)은 조향 레일(300)에 탑재된다. 제2휠(522)은 제1휠(524) 보다 작은 직경으로 제공된다. 제1휠(524)과 제2휠(522)은 휠 코어(523)와 타이어(710)를 갖는다. 제1휠(524)과 제2휠(522)에 제공된 휠 코어(523)는, 각각 볼트(527, 528, 529)를 통해 체결될 수 있다.
본 발명에 따르면, 휠 코어(720)와 타이어(710)의 결합은 비접착성으로 제공된다. 이에 따라, 휠 코어(720)와 타이어(710)를 본딩하여 접착하는 방식에 비해 불량 발생 확률이 적은 이점이 있다. 예컨대, 본딩한 부분이 품질 문제 및 본드가 경화되어 박리가 발생하는 문제를 방지할 수 있다. 또한, 휠 코어(720)와 타이어(710)를 본딩하여 접착하는 방식에 비해 제작 공정이 단순해지는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 타이어(710)가 마모되거나, 타이어(710)에 문제가 있을 시에 타이어(710)만을 교체할 수 있는 이점이 있다. 이에, 재료 및 비용이 절감되는 이점이 있다.
상술한 예에서는, 물품 반송 시스템(1000)이 반도체 제조 라인에 적용되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 물품 반송 시스템(1000)은 물품의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (11)

  1. 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 레일을 주행하고, 물품을 반송하는 반송 유닛에 있어서,
    구동기가 제공되는 바디; 및
    상기 바디에 회전 가능하게 결합되며 상기 구동기로부터 동력을 전달받아 상기 레일을 주행하는 주행 휠을 포함하고,
    상기 주행 휠은,
    휠 코어; 및
    상기 휠 코어의 둘레를 따라 상기 휠 코어에 고정되는 타이어를 포함하고,
    상기 타이어는 탄성을 가지는 소재로 제공되며,
    상기 휠 코어와 상기 타이어가 맞물리도록 제공되는 반송 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 휠 코어와 상기 타이어는 억지 끼움 결합되는 반송 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 타이어의 내주면 또는 상기 휠 코어의 외주면 중 어느 하나에 돌출부가 형성되고,
    상기 타이어의 내주면 또는 상기 휠 코어의 외주면 중 다른 하나에 상기 돌출부에 대응되는 형상으로 제공되며 상기 돌출부가 삽입되는 홈부가 형성되는 반송 유닛.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 돌출부는,
    양단으로 갈수록 단면이 좁아지는 형상으로 제공되는 반송 유닛.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 돌출부는 단면이 원형으로 제공되는 반송 유닛.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 레일은,
    상기 반송 유닛의 주행 경로를 제공하는 주행 레일과;
    상기 반송 유닛의 주행 방향을 변경시키도록 제공되는 조향 레일을 포함하고,
    상기 주행 레일과 상기 조향 레일은 상하 방향으로 단차를 두고 제공되며,
    상기 주행 휠은,
    상기 주행 레일에 탑재되는 제1휠과;
    상기 조향 레일에 탑재되며 상기 제1휠 보다 작은 직경으로 제공되는 제2휠을 포함하는 반송 유닛.
  7. 휠 코어; 및
    상기 휠 코어의 둘레를 따라 상기 휠 코어에 고정되는 타이어를 포함하고,
    상기 타이어는 탄성을 가지는 소재로 제공되며,
    상기 휠 코어와 상기 타이어가 맞물리도록 제공되는 주행 휠.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 휠 코어와 상기 타이어는 억지 끼움 결합되는 주행 휠.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 타이어의 내주면 또는 상기 휠 코어의 외주면 중 어느 하나에 돌출부가 형성되고,
    상기 타이어의 내주면 또는 상기 휠 코어의 외주면 중 다른 하나에 상기 돌출부에 대응되는 형상으로 제공되며 상기 돌출부가 삽입되는 홈부가 형성되는 주행 휠.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 돌출부는,
    양단으로 갈수록 단면이 좁아지는 형상으로 제공되는 주행 휠.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 돌출부는 단면이 원형으로 제공되는 주행 휠.
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