JP7304389B2 - 製造工場の物品搬送システム - Google Patents

製造工場の物品搬送システム Download PDF

Info

Publication number
JP7304389B2
JP7304389B2 JP2021164306A JP2021164306A JP7304389B2 JP 7304389 B2 JP7304389 B2 JP 7304389B2 JP 2021164306 A JP2021164306 A JP 2021164306A JP 2021164306 A JP2021164306 A JP 2021164306A JP 7304389 B2 JP7304389 B2 JP 7304389B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
steering
horizontal
transport vehicle
vertical
rail
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021164306A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2022061499A (ja
Inventor
ピョ チョン、サン
Original Assignee
サムス カンパニー リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by サムス カンパニー リミテッド filed Critical サムス カンパニー リミテッド
Publication of JP2022061499A publication Critical patent/JP2022061499A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7304389B2 publication Critical patent/JP7304389B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00—Other railway systems
    • B61B13/12—Systems with propulsion devices between or alongside the rails, e.g. pneumatic systems
    • B61B13/127—Systems with propulsion devices between or alongside the rails, e.g. pneumatic systems the propulsion device consisting of stationary driving wheels
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B10/00—Power and free systems
    • B61B10/001—Arrangements for routing vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B10/00—Power and free systems
    • B61B10/02—Power and free systems with suspended vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G41/00—Supporting frames or bases for conveyors as a whole, e.g. transportable conveyor frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Description

本発明は、製造工場内の物品搬送システムに係り、より具体的には、分岐部でよりスムーズに走行することができる搬送車両、レール及び物品搬送システムを提供する。
半導体（またはディスプレイ）製造工程は、基板（例えば、ウェーハ）上に半導体素子を製造するための工程であって、例えば露光、蒸着、エッチング、イオン注入、洗浄、パッケージングなどを含む。半導体素子を製造するための製造工場の一つまたはそれ以上の層のクリーンルームで構成され、半導体製造工程を行うための製造設備が各層に配置される。
半導体製造工程の効率を最大化するために、各半導体製造工程を改善する方法だけでなく、各製造設備の間で物品（例えば、基板）を迅速かつ効率的に搬送するための技法が導入されている。代表的に、半導体製造工場の天井に設置された経路に沿って物品を搬送するＯＨＴ（ｏｖｅｒｈｅａｄ ｈｏｉｓｔ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）システムが適用されている。一般的に、ＯＨＴシステムは、走行経路を構成するレール、及び該レールに沿って走行し物品を搬送する搬送車両を含む。また、半導体製造設備間の搬送中に物品の保管が必要な場合には、当該物品を貯蔵するための貯蔵システムを備えることができる。
一方、搬送車両の走行経路のいずれかから２つ以上の経路のいずれかへと選択的に走行するように誘導する分岐部が形成される。当該分岐部から、搬送車両は直進方向に走行するか或いは分岐方向に走行することができる。搬送車両の高速化が要求されるにつれて、直進または分岐走行の際に発生する振動又は衝撃を抑えつつ搬送車両がスムーズに走行するための手法が求められている。
そこで、本発明の実施形態は、走行経路の分岐部で搬送車両がスムーズに走行することができる搬送車両、レール及び物品搬送システムを提供することを目的とする。
本発明の解決課題は、上述したものに限定されず、上述していない他の解決課題は、以降の記載から当業者に明確に理解できるだろう。
本発明の実施形態に係る製造工場の物品搬送システムで物品を搬送する搬送車両は、走行レールに沿って走行する走行ユニットと、前記走行レールが分岐する分岐部で選択的にステアリングガイドレールに接触するステアリングユニットと、を含む。前記ステアリングユニットは、前記ステアリングガイドレールの垂直ガイド部に接触する水平ステアリングホイールと、前記ステアリングガイドレールの水平ガイド部に接触する垂直ステアリングホイールと、を含む。
一実施形態において、前記ステアリングユニットは、前記搬送車両の移動方向に対して垂直な方向に移動する移動体と、前記移動体に結合された水平ボディと、前記水平ボディの上部に結合された垂直ボディと、をさらに含むことができる。
一実施形態において、前記移動体は、前記分岐部から前記搬送車両の移動方向と反対の方向に移動することができる。
一実施形態において、前記水平ステアリングホイールは、前記水平ボディに結合された一対の水平ステアリングホイールとして提供され、前記垂直ステアリングホイールは、前記垂直ボディに結合された一対の垂直ステアリングホイールとして提供できる。
一実施形態において、前記一対の垂直ステアリングホイール間の間隔は、直進走行ガイドレールと分岐走行ガイドレールとの交差部における水平ガイド部の離隔距離よりも大きく設定できる。
本発明の実施形態による製造工場の物品搬送システムにおける搬送車両の移動のためのレールは、前記搬送車両が走行するための経路を提供する走行レールと、前記走行レールが分岐する分岐部において前記搬送車両の走行方向をガイドするステアリングガイドレールと、を含む。前記ステアリングガイドレールは、前記搬送車両の水平ステアリングホイールと接触して前記搬送車両をガイドする垂直ガイド部と、前記搬送車両の垂直ステアリングホイールと接触して前記搬送車両をガイドする水平ガイド部と、を含むことができる。
一実施形態において、前記水平ガイド部は、前記垂直ガイド部に対向して設置された垂直構造物と、前記垂直構造物から水平方向に突出するように結合された水平構造物と、を含むことができる。
一実施形態において、前記ステアリングガイドレールは、前記搬送車両を直進方向にガイドする直進走行ガイドレールと、前記搬送車両を分岐方向にガイドする分岐走行ガイドレールと、を含むことができる。
一実施形態において、前記分岐走行ガイドレールは、前記分岐方向の反対側から前記直進走行ガイドレールとの交差部を介して前記分岐方向に形成されることができる。
一実施形態において、前記交差部における前記水平ガイド部の離隔距離は、前記搬送車両の一対の垂直ステアリングホイール間の間隔よりも小さく設定できる。
本発明の実施形態に係る製造工場の物品搬送システムは、物品を搬送する搬送車両と、搬送車両の移動のためのレールと、を含む。前記レールは、前記搬送車両が走行するための経路を提供する走行レールと、前記走行レールが分岐する分岐部において前記搬送車両の走行方向をガイドするステアリングガイドレールと、を含む。前記ステアリングガイドレールは、前記搬送車両の水平ステアリングホイールと接触して前記搬送車両をガイドする垂直ガイド部と、前記搬送車両の垂直ステアリングホイールと接触して前記搬送車両をガイドする水平ガイド部と、を含むことができる。
本発明の実施形態によれば、分岐走行時に搬送車両の水平ステアリングホイールがステアリングガイドレールの垂直ガイド部に接触し、搬送車両の垂直ステアリングホイールがステアリングガイドレールの水平ガイド部に接触することにより、搬送車両がよりスムーズに分岐部を走行することができる。
本発明の効果は、上述したものに限定されず、上述していない他の効果は、以降の記載から当業者に明確に理解できるだろう。
製造工場内の物品搬送システムの例を示す図である。 本発明の実施形態による搬送車両の概略的な構造を示す図である。 本発明の実施形態による搬送車両の概略的な構造を示す図である。 本発明の実施形態による物品搬送システムにおける分岐部で走行する搬送車両の例を示す図である。 本発明の実施形態による物品搬送システムにおける分岐部で走行する搬送車両の例を示す図である。 本発明の実施形態による物品搬送システムにおけるレール及び搬送車両の例を示す図である。 本発明の実施形態によるステアリングガイドレールの例を示す図である。 本発明の実施形態による搬送車両のステアリング部の例を示す図である。 本発明の実施形態によるレールの分岐部を示す図である。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施し得るように詳細に説明する。本発明は、様々な異なる形態で実現でき、ここで説明する実施形態に限定されない。
本発明を明確に説明するために説明と関係のない部分は省略し、明細書全体にわたって、同一又は類似の構成要素に対しては同一の参照符号を付する。
また、幾つかの実施形態において、同一の構成を有する構成要素については同一の符号を使用して代表的な実施形態でのみ説明し、その他の実施形態では代表的な実施形態と異なる構成についてのみ説明する。
明細書全体において、ある部分が他の部分と「連結（または結合）」されているとするとき、これは、「直接的に連結（または結合）」されている場合だけでなく、別の部材を挟んで「間接的に連結（または結合）」されている場合も含む。また、ある部分がある構成要素を「含む」とするとき、これは特に反対される記載がない限り、別の構成要素を除外するのではなく、別の構成要素をさらに含むことができることを意味する。
別に定義されない限り、技術的または科学的な用語を含めてここで使用されるすべての用語は、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者によって一般的に理解されるのと同じ意味を持っている。一般的に使用される、辞典に定義されている用語は、関連技術の文脈上持つ意味と一致する意味を有するものと解釈されるべきであり、本出願で明白に定義しない限り、理想的または過度に形式的な意味で解釈されない。
図１は製造工場内の物品搬送システムの例を示す。半導体またはディスプレイ製造ラインは、一つ又はそれ以上のクリーンルームで構成され、各クリーンルームに製造工程を実行するための製造設備１が設置され得る。一般的に、基板（例えば、ウェーハ）に複数の製造工程が繰り返し行われることにより、最終的に処理された基板が完成できるが、特定の半導体製造設備１で製造工程が完了すると、次の製造工程のための設備へと基板が搬送される。ここで、基板は、複数の基板を収容することが可能な容器（例えば、ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ、ＦＯＵＰ）に保管された状態で搬送できる。基板を収容した容器は、搬送車両（例えば、ｏｖｅｒｈｅａｄ ｈｏｉｓｔ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ、ＯＨＴ）２０によって搬送できる。
搬送車両２０は、天井に設置されたレール（ｒａｉｌ）１０を走行し、搬送作業命令を指令する上位サーバー（車両制御装置）と無線通信方式でインターフェースされる。車両制御装置は、統合制御システムから作業工程による移送に関する命令の伝達を受け、統合制御システムの命令に基づいて搬送車両２０に最短時間で移送作業を完了するために出発地から目的地までの最短経路を探索し、移送作業を実行するのに適した最適の位置にある搬送車両２０を選定して移送命令を指令する。車両制御装置の移送命令に基づいて、搬送車両２０は、車両制御装置が指令する任意のポート（ｐｏｒｔ）から目的地ポート（ｐｏｒｔ）へと物流を移送する。
図１を参照すると、半導体又はディスプレイ製造ラインには、工程を行うための製造設備１が設置され、製造設備１同士の間で物品を搬送するための搬送経路（例えば、天井レール）を形成するレール１０と、該レール１０を走行しながら製造設備１へ物品を搬送する複数の搬送車両２０が提供できる。このとき、物品搬送車両２０は、レール１０に沿って形成された給電ユニット（例えば、電源供給ケーブル）を介して駆動電源の供給を受けることができる。
搬送車両２０が製造設備１同士の間で物品を搬送するとき、物品は、直ちに特定の製造設備から他の製造設備へと搬送されることもあり、貯蔵装置に貯蔵された後で他の製造設備へと搬送されることもある。レール１０の一側には、貯蔵装置（例えば、物品保管部３０）が設置できる。貯蔵装置は、容器内のクリーン環境を維持するために不活性ガスを注入することが可能なラックタイプの倉庫（ストッカ―）、レール１０の側面に隣接して設置され、物品を保管するレール側面バッファ、またはレール１０の下部領域に設置され、物品を保管するレール下部バッファ、または搬送車両の維持及び保守のためのメンテナンス用リフターを含むことができる。
図２及び図３は本発明の実施形態による搬送車両２０の概略的な構造を示す。図２は走行経路の方向から見た搬送車両２０を示し、図３は走行経路の側面から見た搬送車両２０を示す。
図２及び図３を参照すると、搬送車両２０は、走行レール１１０に沿って走行する走行ユニット２１０、走行レール１１０が分岐する分岐部で選択的にステアリングガイドレールに接触するステアリングユニット２２０、及び搬送される物品を把持する把持ユニット２３０を含む。
走行ユニット２１０は、搬送車両２０の走行のための装置が設置される駆動ボディ２１１、走行レール１１０と接触して回転する走行ホイール２１２、及び走行レール１１０の側面に沿って接触して回転する走行ガイドホイール２１３を含む。搬送車両２０は、走行ホイール２１２の回転によって走行レール１１０に沿って走行し、走行ガイドホイール２１３は、搬送車両２０が走行レール１１０から離脱することを防止することができる。
ステアリングユニット２２０は、分岐部から搬送車両２０が選択的に走行するように誘導する装置であって、本発明の実施形態によるステアリングユニット２２０の詳細な構成について以下に詳細に説明する。把持ユニット２３０は、搬送対象物品を把持し、昇降駆動によって各設備１に対して物品をロードまたはアンロードすることができる。
図４及び図５は本発明の実施形態による物品搬送システムにおける分岐部で走行する搬送車両の例を示す。図４は搬送車両２０が分岐部から分岐方向に向かって走行する場合を示し、図５は搬送車両２０が分岐部から直進方向に向かって走行する場合を示す。
図４及び図５に示されているように、ステアリングガイドレール１２０の分岐ステアリングガイドレールは、分岐方向の反対方向から直進分岐ガイドレールとの交差点を通過して分岐方向に形成されている。図４に示されているように、搬送車両２０が分岐方向（例えば左方向）に走行する場合、搬送車両２０のステアリングユニット２２０が分岐方向の反対方向（例えば、右方向）に移動する。一方、図５に示されているように、搬送車両２０が直進方向に走行する場合、搬送車両２０のステアリングユニット２２０は、分岐方向（例えば左方向）に移動する。図４及び図５に示されているようなステアリングガイドレール１２０が構成され、搬送車両２０のステアリングユニット２２０がステアリングガイドレール１２０に沿って走行することにより、搬送車両２０が分岐方向に走行するときに発生する衝撃や振動を低減させることができる。
また、図４及び図５に示されているように、搬送車両２０が分岐方向に走行するとき、搬送車両２０の一方の走行ホイール２１２は、走行レール１１０に接触するが、反対側の走行ホイール２１２は、走行レール１１０と接触せずに励起状態になる。本発明の実施形態によれば、反対側の走行ホイール２１２の代わりに、ステアリングユニット２２０の垂直ステアリングホイール２２２がステアリングガイドレール１２０の水平ガイド部１２２と接触して走行する。つまり、分岐走行の際に、一方の走行ホイール２１２は、走行レール１１０に接触して走行し、反対側では、垂直ステアリングホイール２２２がステアリングガイドレール１２０の水平ガイド部１２２に接触して走行することにより、搬送車両２０の傾きを防止し、励起状態で発生しうる衝撃と振動を緩和することができる。
図６は本発明の実施形態による物品搬送システムにおけるレール１０及び搬送車両２０の例を示す。図６は図５のように搬送車両２０が直進方向に走行する場合を示す。
本発明の実施形態による製造工場の物品搬送システムは、物品を搬送する搬送車両２０と、搬送車両２０の移動のためのレール１０と、を含む。本発明の実施形態において、搬送車両２０は、走行レール１１０に沿って走行する走行ユニット２１０、及び走行レール１１０が分岐する分岐部で選択的にステアリングガイドレール１２０に接触するステアリングユニット２２０を含む。ステアリングユニット２２０は、ステアリングガイドレール１２０の垂直ガイド部１２１に接触する水平ステアリングホイール２２１と、ステアリングガイドレール１２０の水平ガイド部１２２に接触する垂直ステアリングホイール２２２と、を含む。
本発明の実施形態によれば、レール１０は、搬送車両２０が走行するための経路を提供する走行レール１１０と、走行レール１１０が分岐する分岐部で搬送車両２０の走行方向をガイドするステアリングガイドレール１２０と、を含む。ステアリングガイドレール１２０は、搬送車両２０の水平ステアリングホイール２２１と接触して搬送車両２０をガイドする垂直ガイド部１２１と、搬送車両２０の垂直ステアリングホイール２２２と接触して搬送車両をガイドする水平ガイド部１２２と、を含む。
本発明の実施形態において、ステアリングユニット２２０は、搬送車両２０の移動方向に対して垂直な方向に移動する移動体２２３と、移動体２２３に結合された水平ボディ２２４と、水平ボディ２２４の上部に結合された垂直ボディ２２５と、をさらに含む。図６に示されているように、移動体２２３は、ステアリングユニット２２０からガイドレールに沿って搬送車両２０の走行方向に対して垂直な方向（左右方向）に移動することができる。移動体２２３の上部に水平ボディ２２４が設置でき、水平ボディ２２４の上部に垂直ボディ２２５が設置できる。
本発明の実施形態において、移動体２２３は、分岐部から搬送車両２０の移動方向と反対の方向に移動することができる。すなわち、図４及び図５に示されているように、搬送車両２０が分岐方向（例えば左方向）に走行する場合には、移動体２２３が分岐方向の反対方向（例えば、右方向）に移動し、搬送車両２０が直進方向に走行する場合には、移動体２２３は分岐方向（例えば、左方向）に移動する。図４及び図５に示されているようなステアリングガイドレール１２０が構成され、搬送車両２０のステアリングユニット２２０がステアリングガイドレール１２０に沿って走行することにより、搬送車両２０が分岐方向に走行するときに発生する衝撃や振動を低減させることができる。
本発明の実施形態において、水平ステアリングホイール２２１は、水平ボディ２２４に結合された一対の水平ステアリングホイールとして提供され、垂直ステアリングホイール２２２は、垂直ボディ２２５に結合された一対の垂直ステアリングホイールとして提供されることができる。つまり、水平ステアリングホイール２２１と垂直ステアリングホイール２２２のそれぞれは、前後方向に一定間隔ｄ０で離隔して配置される一対のホイールで構成できる。図８を参照すると、水平ステアリングホイール２２１は、水平ボディ２２４に結合された前方の水平ステアリングホイール２２１Ａと後方の水平ステアリングホイール２２１Ｂを含むことができる。垂直ステアリングホイール２２２は、前方の垂直ステアリングホイール２２２Ａと後方の垂直ステアリングホイール２２２Ｂを含むことができる。
ここで、一対の垂直ステアリングホイール間の間隔ｄ０は、直進走行ガイドレールと分岐走行ガイドレールとの交差部における水平ガイド部の離隔距離ｄ１、ｄ２よりも大きく設定できる。つまり、前方の垂直ステアリングホイール２２２Ａと後方の垂直ステアリングホイール２２２Ｂとの間隔ｄ０を交差部での水平ガイド部１２２が存在せず、離れた領域よりも大きく構成することにより、前方の垂直ステアリングホイール２２２Ａまたは後方の垂直ステアリングホイール２２２Ｂのうちの少なくとも一つがステアリングガイドレール１２０の水平ガイド部１２２に常に接触するようにする。そして、垂直ステアリングホイール２２２が励起状態にある場合を防止し、励起状態で発生する衝撃や振動を低減させることができる。
一方、本発明の実施形態によれば、ステアリングガイドレール１２０の水平ガイド部１２２は、垂直ガイド部１２１に対向して設置された垂直構造物１２２Ａと、垂直構造物１２２Ａから水平方向に突出するように結合された水平構造物１２２Ｂと、を含むことができる。
本発明の実施形態において、ステアリングガイドレール１２０は、搬送車両２０を直進方向にガイドする直進走行ガイドレールと、搬送車両２０を分岐方向にガイドする分岐走行ガイドレールと、を含むことができる。図６を参照すると、直進走行ガイドレールは、直進走行垂直ガイド部１２１、及び直進走行水平ガイド部１２２を含み、分岐走行ガイドレールは、分岐走行垂直ガイド部１２３、及び直進走行水平ガイド部１２４を含むことができる。
本発明の実施形態において、分岐走行ガイドレールは、分岐方向の反対側から直進走行ガイドレールとの交差部を介して分岐方向に形成できる。図７に示されているように、分岐走行ガイドレール１２３、１２４は、分岐方向の反対方向から直進走行ガイドレール１２１、１２２との交差部を介して分岐方向に形成される。
また、図９に示されているように、Ｎ字状の分岐部を実現するために、分岐走行ガイドレール１２３、１２４は、分岐方向の反対方向から直進走行ガイドレール１２１、１２２との交差部を介して分岐方向に形成され、合流部から再び搬送車両２０が走行する曲線経路の外側方向に延びて形成されることができる。この場合、分岐部と合流部の両方で前方の垂直ステアリングホイール２２２Ａまたは後方の垂直ステアリングホイール２２２Ｂのうちの少なくとも一つがステアリングガイドレール１２０の水平ガイド部１２２に常に接触するようにする。そして、分岐部と合流部で垂直ステアリングホイール２２２が励起状態にある場合を防止し、励起状態で発生する衝撃や振動を低減させることができる。
上述したように、交差部における水平ガイド部１２２の離隔距離ｄ１、ｄ２は、搬送車両２０の一対の垂直ステアリングホイール間の間隔ｄ０よりも小さく設定される。つまり、交差部における水平ガイド部１２２の離隔距離ｄ１、ｄ２を前方の垂直ステアリングホイール２２２Ａと後方の垂直ステアリングホイール２２２Ｂとの間隔ｄ０よりも小さく構成することにより、前方の垂直ステアリングホイール２２２Ａまたは後方の垂直ステアリングホイール２２２Ｂのうちの少なくとも一つがステアリングガイドレール１２０の水平ガイド部１２２に常に接触するようにする。よって、垂直ステアリングホイール２２２が励起状態にある場合を防止し、励起状態で発生する衝撃や振動を低減させることができる。
また、本発明の実施形態によれば、垂直ステアリングホイール２２２は、前方／後方だけでなく、垂直ボディ２２５を中心に両側にそれぞれ構成できる。この場合、ステアリングガイドレール１２０の垂直ガイド部１２１にも、垂直ステアリングホイール２２２が接触することが可能な水平構造物１２２Ｂが形成されるだろう。垂直ボディ２２５を中心に両側に垂直ステアリングホイール２２２を構成し、垂直ガイド部１２１と水平ガイド部１２２の両方に、垂直ステアリングホイール２２２が接触することが可能な水平構造物を構成することにより、より搬送車両２０が安定的に分岐部を走行するようにすることができる。
本実施形態および本明細書に添付された図面は、本発明に含まれる技術思想の一部を明確に示しているものに過ぎず、本発明の明細書及び図面に含まれている技術思想の範囲内で当業者が容易に類推することが可能な変形例と具体的な実施形態は、いずれも本発明の権利範囲に含まれることが自明であろう。
したがって、本発明の思想は、説明された実施形態に限定されて定められてはならず、後述する特許請求の範囲だけでなく、この特許請求の範囲と均等である或いは等価的変形があるすべてのものは、本発明の思想の範疇に属するというべきである。

Claims (20)

  1. 製造工場の物品搬送システムで物品を搬送する搬送車両であって、
    走行レールに沿って走行する走行ユニットと、
    前記走行レールが分岐する分岐部で選択的にステアリングガイドレールに接触するステアリングユニットと、を含み、
    前記ステアリングユニットは、
    前記ステアリングガイドレールの垂直ガイド部に接触する水平ステアリングホイールと、
    前記ステアリングガイドレールの水平ガイド部に接触する垂直ステアリングホイールと、を含み、
    前記垂直ステアリングホイールは、前記搬送車両が前記分岐部を通過するとき、前記走行レールに接触せず励起状態になる前記走行ユニットの代わりに、前記水平ガイド部に接触することを特徴とする、搬送車両。
  2. 前記ステアリングユニットは、
    前記搬送車両の移動方向に対して垂直な方向に移動する移動体と、
    前記移動体に結合された水平ボディと、
    前記水平ボディの上部に結合された垂直ボディと、をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の搬送車両。
  3. 前記移動体は、前記分岐部から前記搬送車両の移動方向と反対の方向に移動することを特徴とする、請求項２に記載の搬送車両。
  4. 前記水平ステアリングホイールは、前記水平ボディに結合された一対の水平ステアリングホイールとして提供され、
    前記垂直ステアリングホイールは、前記垂直ボディに結合された一対の垂直ステアリングホイールとして提供されることを特徴とする、請求項２に記載の搬送車両。
  5. 前記一対の垂直ステアリングホイール間の間隔は、直進走行ガイドレールと分岐走行ガイドレールとの交差部における水平ガイド部の離隔距離よりも大きいことを特徴とする、請求項４に記載の搬送車両。
  6. 製造工場の物品搬送システムにおける搬送車両の移動のためのレールであって、
    前記搬送車両の走行ユニットが走行するための経路を提供する走行レールと、
    前記走行レールが分岐する分岐部で前記搬送車両の走行方向をガイドするステアリングガイドレールと、を含み、
    前記ステアリングガイドレールは、
    前記搬送車両の水平ステアリングホイールと接触して前記搬送車両をガイドする垂直ガイド部と、
    前記搬送車両の垂直ステアリングホイールと接触して前記搬送車両をガイドする水平ガイド部と、を含み、
    前記水平ガイド部は、前記搬送車両が前記分岐部を通過するとき、前記走行レールに接触せず励起状態になる前記走行ユニットの代わりに、前記垂直ステアリングホイールに接触することを特徴とする、レール。
  7. 前記水平ガイド部は、
    前記垂直ガイド部に対向して設置された垂直構造物と、
    前記垂直構造物から水平方向に突出するように結合された水平構造物と、を含むことを特徴とする、請求項６に記載のレール。
  8. 前記ステアリングガイドレールは、
    前記搬送車両を直進方向にガイドする直進走行ガイドレールと、
    前記搬送車両を分岐方向にガイドする分岐走行ガイドレールと、を含むことを特徴とする、請求項６に記載のレール。
  9. 前記分岐走行ガイドレールは、前記分岐方向の反対側から前記直進走行ガイドレールとの交差部を介して前記分岐方向に形成されることを特徴とする、請求項８に記載のレール。
  10. 前記交差部における前記水平ガイド部の離隔距離は、前記搬送車両の一対の垂直ステアリングホイール間の間隔よりも小さいことを特徴とする、請求項９に記載のレール。
  11. 製造工場の物品搬送システムであって、
    物品を搬送する搬送車両と、
    搬送車両の移動のためのレールと、を含み、
    前記レールは、
    前記搬送車両の走行ユニットが走行するための経路を提供する走行レールと、
    前記走行レールが分岐する分岐部で前記搬送車両の走行方向をガイドするステアリングガイドレールと、を含み、
    前記ステアリングガイドレールは、
    前記搬送車両の水平ステアリングホイールと接触して前記搬送車両をガイドする垂直ガイド部と、
    前記搬送車両の垂直ステアリングホイールと接触して前記搬送車両をガイドする水平ガイド部と、を含み、
    前記水平ガイド部は、前記搬送車両が前記分岐部を通過するとき、前記走行レールに接触せず励起状態になる前記走行ユニットの代わりに、前記垂直ステアリングホイールに接触することを特徴とする、物品搬送システム。
  12. 前記搬送車両は、
    走行レールに沿って走行する走行ユニットと、
    前記走行レールが分岐する分岐部で選択的にステアリングガイドレールに接触するステアリングユニットと、を含み、
    前記ステアリングユニットは、
    前記ステアリングガイドレールの垂直ガイド部に接触する水平ステアリングホイールと、
    前記ステアリングガイドレールの水平ガイド部に接触する垂直ステアリングホイールと、を含むことを特徴とする、請求項１１に記載の物品搬送システム。
  13. 前記ステアリングユニットは、
    前記搬送車両の移動方向に対して垂直な方向に移動する移動体と、
    前記移動体に結合された水平ボディと、
    前記水平ボディの上部に結合された垂直ボディと、をさらに含むことを特徴とする、請求項１２に記載の物品搬送システム。
  14. 前記移動体は、前記分岐部から前記搬送車両の移動方向と反対の方向に移動することを特徴とする、請求項１３に記載の物品搬送システム。
  15. 前記水平ステアリングホイールは、前記水平ボディに結合された一対の水平ステアリングホイールとして提供され、
    前記垂直ステアリングホイールは、前記垂直ボディに結合された一対の垂直ステアリングホイールとして提供されることを特徴とする、請求項１３に記載の物品搬送システム。
  16. 前記一対の垂直ステアリングホイール間の間隔は、直進走行ガイドレールと分岐走行ガイドレールとの交差部における水平ガイド部の離隔距離よりも大きいことを特徴とする、請求項１５に記載の物品搬送システム。
  17. 前記水平ガイド部は、
    前記垂直ガイド部に対向して設置された垂直構造物と、
    前記垂直構造物から水平方向に突出するように結合された水平構造物と、を含むことを特徴とする、請求項１１に記載の物品搬送システム。
  18. 前記ステアリングガイドレールは、
    前記搬送車両を直進方向にガイドする直進走行ガイドレールと、
    前記搬送車両を分岐方向にガイドする分岐走行ガイドレールと、を含むことを特徴とする、請求項１１に記載の物品搬送システム。
  19. 前記分岐走行ガイドレールは、前記分岐方向の反対側から前記直進走行ガイドレールとの交差部を介して前記分岐方向に形成されることを特徴とする、請求項１８に記載の物品搬送システム。
  20. 前記交差部における前記水平ガイド部の離隔距離は、前記搬送車両の一対の垂直ステアリングホイール間の間隔よりも小さいことを特徴とする、請求項１９に記載の物品搬送システム。
JP2021164306A 2020-10-06 2021-10-05 製造工場の物品搬送システム Active JP7304389B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2020-0128815 2020-10-06
KR1020200128815A KR102536042B1 (ko) 2020-10-06 2020-10-06 제조 공장의 물품 반송 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022061499A JP2022061499A (ja) 2022-04-18
JP7304389B2 true JP7304389B2 (ja) 2023-07-06

Family

ID=80931076

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021164306A Active JP7304389B2 (ja) 2020-10-06 2021-10-05 製造工場の物品搬送システム

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20220105966A1 (ja)
JP (1) JP7304389B2 (ja)
KR (1) KR102536042B1 (ja)
CN (1) CN114380005A (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116031190B (zh) * 2023-03-28 2023-06-23 浙江果纳半导体技术有限公司 一种搬运系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007008397A (ja) 2005-07-04 2007-01-18 Murata Mach Ltd 有軌道台車システム
JP2016110193A (ja) 2014-12-02 2016-06-20 株式会社ダイフク 走行設備

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61293760A (ja) * 1985-06-21 1986-12-24 Niigata Eng Co Ltd パレツトキヤリア等の支持案内装置
JPH1185272A (ja) * 1997-09-12 1999-03-30 Komatsu Ltd トンネル内搬送設備
KR101833310B1 (ko) * 2010-10-04 2018-03-02 삼성전자주식회사 곡선 주행 시스템
KR20130117143A (ko) * 2012-04-17 2013-10-25 삼성전자주식회사 호이스트 장치
KR20170006347A (ko) * 2015-07-07 2017-01-18 주식회사알투웍스 ２축 휠 어셈블리 및 이를 구비한 레일유도방식 운반차
KR101854046B1 (ko) * 2016-10-31 2018-05-02 세메스 주식회사 Oht 장치
KR101901029B1 (ko) * 2016-11-29 2018-09-21 세메스 주식회사 Oht 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007008397A (ja) 2005-07-04 2007-01-18 Murata Mach Ltd 有軌道台車システム
JP2016110193A (ja) 2014-12-02 2016-06-20 株式会社ダイフク 走行設備

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022061499A (ja) 2022-04-18
US20220105966A1 (en) 2022-04-07
CN114380005A (zh) 2022-04-22
KR20220045777A (ko) 2022-04-13
KR102536042B1 (ko) 2023-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI752271B (zh) 搬運系統
JP6202199B6 (ja) 搬送システム及び搬送方法
JPWO2015174181A6 (ja) 搬送システム及び搬送方法
JP4200387B2 (ja) 搬送システム
KR102575953B1 (ko) 자기 부상 이송 장치
JP7304389B2 (ja) 製造工場の物品搬送システム
KR20210121589A (ko) 타워 리프트, 타워 리프트 구동 방법 및 기계 판독 가능 매체
JP7323059B2 (ja) 搬送車システム
KR102534256B1 (ko) 물품의 진동을 억제하기 위한 반송 차량 및 이를 포함하는 제조 공장의 물품 반송 시스템
KR20230103869A (ko) 물품 반송 차량, 레일 구조체, 및 이를 포함하는 물품 반송 시스템
KR102628404B1 (ko) 스토커 및 물품 이송 설비
KR20220135292A (ko) 물품 반송 시스템에서 반송 차량의 구동을 제어하기 위한 장치 및 방법
US20230211966A1 (en) Article transport vehicle, rail assembly, and article transport system including the same
KR102635999B1 (ko) 물품 저장 장치 및 그의 제어 방법
WO2023188769A1 (ja) 搬送システム
KR20230038883A (ko) 물품 보관 설비에서 물품을 이송하기 위한 장치 및 방법
KR20230099556A (ko) 조향 장치 및 이를 포함하는 주행 장치
KR20210143566A (ko) 물품 반송 시스템 및 물품 저장 장치
CN114476537A (zh) 物品搬送系统中用于控制搬送车辆的驱动的装置及方法
KR20230102516A (ko) 물품 반송 장치
CN116374909A (zh) 升降机装置、其驱动方法以及包括其的储料器
KR20220061877A (ko) 반송차
KR20220003259A (ko) 오버헤드 호이스트 트랜스포트
JP2009035413A (ja) 工程間搬送システム
JP2006213154A (ja) 搬送台車、およびそれを用いた搬送システム、ならびにそれらを用いた半導体装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20211005

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221125

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20221206

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230302

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230620

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230626

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7304389

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150