CN116031190B - 一种搬运系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种搬运系统，包括轨道和天车，轨道包括至少两条，两条轨道在交汇处形成岔道，一条轨道在岔道口处开设有缺口，天车包括至少一个行走驱动装置，行走驱动装置包括基板，基板的两侧设置有滚轮组件。滚轮组件包括行走轮、限位轮和引导轮，行走轮和引导轮上下间隔设置，且行走轮轴线端点所在的垂直线和导向轮轴线端点所在的垂直线在天车行驶方向的间距大于零，限位轮的外环面与轨道的内侧壁滚动接触。岔道靠近缺口的端部形成一个导向部，导向部的厚度沿天车进入方向逐渐增大直至与轨道厚度相同。该系统对天车的移动提供稳定导向，天车在岔道的缺口处，能快速精准的重新回到轨道上，完成与轨道的精准对接。

Description

一种搬运系统

技术领域

本发明涉及晶圆加工设备技术，尤其涉及一种搬运系统。

背景技术

半导体领域内，晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(AMHS)来提高工厂自动化程度，更加智能地去管理厂内物料的运输与工艺流程。空中自动搬运天车 (OHT)是自动物料传输系统中的重要子系统，主要负责搬运晶圆盒（FOUP）至不同的工艺设备或仓储设备。

天车沿着固定在空中的轨道行驶，因为工艺设备或仓储设备位于不同位置，因此轨道会存在分叉，天车在分叉处转向。当台车运行至轨道的分叉处时，天车一侧的滚轮组件会在轨道上行驶，但另一侧滚轮组件会存在一定时间的悬空，直至再次进入指定的轨道上。悬空的滚轮组件会使天车出现下垂或上翘等位置偏移的异常情况，悬空的滚轮组件再次进入轨道时，可能由于偏移而导致天车与轨道对接不畅甚至无法与轨道对接，导致天车无法继续行驶，影响天车后续的使用。

发明内容

为克服上述缺点，本发明的目的在于提供一种搬运系统，对天车的移动提供稳定导向，天车在岔道的缺口处，能快速精准、平稳顺畅的重新回到轨道上，完成与轨道的精准对接。

为了达到以上目的，本发明采用的技术方案是：一种搬运系统，用于晶圆盒的搬运，包括轨道和天车，所述轨道包括至少两条，每条所述轨道均包括两个轨道本体，两条所述轨道在交汇处形成岔道，一条所述轨道在岔道口处开设有缺口。所述天车包括至少一个行走驱动装置，所述行走驱动装置包括基板，所述基板的两侧设置有能沿轨道本体行走的滚轮组件，每组所述滚轮组件均包括与基板转动连接的行走轮、限位轮和引导轮。

其中所述行走轮和引导轮上下间隔设置，且所述行走轮轴线端点所在的垂直线和导向轮轴线端点所在的垂直线在天车行驶方向的间距大于零，所述行走轮用于天车的行走驱动且其外环面在沿轨道行驶时始终与轨道本体的上端面滚动接触，所述行走轮和引导轮的外环面在竖直方向的最小垂直距离不小于轨道本体的厚度，所述限位轮的轴线与行走轮的轴线垂直，且所述限位轮的外环面与两个轨道本体的相对的内侧壁滚动接触。

所述岔道靠近缺口的端部形成一个导向部，所述导向部的厚度沿天车进入方向逐渐增大直至与轨道本体厚度相同，所述行走轮和引导轮能沿着导向部移动到轨道本体上。

本发明的有益效果在于：一方面，通过行走轮、限位轮和引导轮的布置限定了轨道，对天车的自由度进行了约束，提高了天车移动的稳定性，减少了行走驱动装置在行驶中的抖动和偏移。另一方面，当行走驱动装置行走至缺口处时，一组滚轮组件将从轨道上脱离，当行驶过缺口处时，导向部形成一个缩口结构，滚轮组件进入的进口处的厚度较小，脱离轨道的滚轮组件会在导向部导向下快速继续套接到轨道上。再者，行走轮和引导轮沿天车的行驶方向交错设置，行走轮和引导轮在进入导向部时，有一个先与导向部接触进行导向，提高与轨道对接的稳定性。

进一步来说，所述导向部具有一个上表面和下表面，所述上表面和下表面均成楔形结构，所述上表面自靠近缺口到远离缺口向上倾斜，所述下表面自靠近缺口到远离缺口向下倾斜。上表面和下表面倾斜方向相反，形成一个缩口结构。

进一步来说，所述楔形结构可以为直线过渡、弧线或曲线过渡中的一种，楔形结构具体形状可有多种选择，只要楔形结构整体成倾斜状态即可。

进一步来说，每组所述滚轮组件的限位轮设置有两个，两个所述限位轮沿行走驱动装置的行走方向间隔设置，所述行走轮和引导轮均位于两个限位轮的中间位置。这样布置的滚轮组件，基板的移动提供更加稳定的支撑。

进一步来说，所述限位轮之间设置有固定在基板下端面的固定架，所述引导轮均转动连接在固定架上，固定架实现限位轮的固定。

进一步来说，两个所述行走轮在一个行走驱动件的驱动同步转动，两个所述行走轮固定在一个驱动轴的两端，所述驱动轴与基板转动连接，且所述驱动轴能在行走驱动件驱动下沿自身轴线转动。一个行走驱动件驱动两侧的行走轮同步行走，一方面节约成本，另一方面保证了同步度。

进一步来说，所述天车包括两个行走驱动装置，两个所述行走驱动装置共同连接有一个天车车架，每个所述行走驱动装置还包括旋转模块。旋转模块设置在基板的下端面，旋转模块与天车车架连接，当天车在岔道转向时，旋转模块为天车车架提高导向。

所述旋转模块包括一个固定轴和套接在固定轴外的旋转轴套，所述旋转轴套和固定轴同轴设置且能发生相对转动，所述旋转轴套与基板固定连接，所述固定轴的下端穿过旋转轴套与天车车架固定连接。当一个行走驱动装置在缺口处开始转弯时，由于后面的一个行走驱动装置还没有转向，因此天车车架此时不会转弯，固定轴固定在天车车架上，旋转轴套带动固定连接的基板及基板上方所有装置对于固定轴进行旋转，即基板相对天车车架产生相对转动，实现天车车架的拐弯换道。

进一步来说，所述旋转轴套的侧边还可拆卸连接有取电模块，所述取电模块上开设有一个位于轨道下方的U型槽，所述U型槽内嵌入有位于轨道下方的线路。取电模块与行走驱动装置同步移动，为行走驱动模块装置供电。

进一步来说，所述行走驱动装置还包括换道导向模块，所述换道导向模块和空中的换向轨道配合，用于所述行走驱动装置的转向。

所述换道导向模块包括固定在基板上方的模块座，所述模块座上滑动连接有滑块，所述滑块能在换道驱动组件驱动下垂直行走驱动装置的移动方向往复滑动，所述滑块上转动连接有至少一个转向轮，所述转向轮能与滑块同步滑动且转向轮的外环面能和换向轨道滚动接触。当行走驱动装置行走至缺口处，准备进行换向时，换道驱动组件驱动滑块移动，让滑块上的转向轮与换向轨道抵靠，此时换向轨道会施加给转向轮移动的作用力，由于换道驱动组件的限定，整个行走驱动装置会在换向轨道推动下转向。

进一步来说，所述换道驱动组件包括换道驱动件、摆臂和驱动轮，所述换道驱动件固定在模块座上并能驱动摆臂在水平面内摆动，所述摆动的一端与换道驱动件固定连接，另一端转动连接有所述驱动轮，所述滑块的端部开设有供驱动轮滑动的导向槽，所述导向槽沿换道导向模块的行驶方向延伸，所述驱动轮能在导向槽内滚动且沿导向槽滑动。换道驱动组件通过摆臂、驱动轮和导向槽的配合，将摆臂摆动的作用力转化为滑块直线移动的作用力，节约了空间，让整个换道驱动组件更加紧凑和轻便。

附图说明

图1为本发明一实施例的立体结构示意图；

图2为本发明一实施例的俯视图；

图3为本发明一实施例中行走驱动装置的立体结构示意图；

图4为本发明一实施例中行走驱动装置的另一角度立体结构示意图；

图5为本发明一实施例中行走驱动装置沿轨道行走的侧视图；

图6为本发明一实施例中行走驱动装置的剖视图；

图7为本发明一实施例中导向部的侧视图；

图8为本发明一实施例中行走驱动装置去除导向模块后的结构示意图；

图9为本发明一实施例中导向模块的结构示意图。

图中：

1、轨道；11、缺口；12、岔道；121、导向部；1211、上表面；1212、下表面；

2、行走驱动装置；21、基板；22、滚轮组件；221、行走轮；222、限位轮；223、引导轮；2231、固定架；231、驱动轴；232、行走驱动件；24、旋转模块；241、固定轴；242、旋转轴套；243、旋转轴承；25、取电模块；26、导向模块；261、模块座；262、滑块；2621、导向槽；263、转向轮；264、滑轨；265、换道驱动件；266、摆臂；267、驱动轮；

3、天车车架；

4、换向轨道。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。

参见附图1和附图2所示，本发明的一种搬运系统，包括天车和轨道1，轨道1固定在空中，天车能沿轨道1移动。其中轨道1包括至少两条，其中两条轨道1在交汇处形成岔道12，天车在一个轨道1上行驶，并能在岔道12转向，选择两个轨道1上的一个继续行驶。

参见附图1和附图2所示，每条轨道1均包括两个相互平行的轨道本体，两个轨道本体之间限定形成一个行走通道。两条轨道1的两个轨道本体的相交处形成岔道12，其中一条轨道1的一个轨道本体上开设有连通两个行走通道的缺口11，缺口11位于岔道12的一侧。天车在一条轨道1上行驶时，可以在缺口11处选择行走通道。

参见附图1所示，天车包括至少一个行走驱动装置2和天车车架3，天车车架3与行走驱动装置2连接，行走驱动装置2能沿轨道1行走进而带动天车车架3移动。参见附图3所示，行走驱动装置2包括基板21，基板21的两侧设置有能沿轨道1行走的滚轮组件22，因为每条轨道1有两个轨道本体，因此滚轮组件22设置有两组，分别沿对应的轨道本体滚动，提高天车行走的稳定性。

参见附图4和附图5所示，每组滚轮组件22均包括行走轮221、限位轮222和引导轮223，行走轮221、限位轮222和引导轮223均与基板21转动连接且能与轨道本体滚动接触。其中行走轮221和引导轮223上下间隔设置，行走轮221和引导轮223的外环面分别能与轨道本体的上端面和下端面滚动接触，限位轮222的轴线与行走轮221的轴线垂直，且限位轮222的外环面与轨道本体的内侧壁滚动接触（两个轨道本体的相对面）。行走轮221、限位轮222和引导轮223的位置布置，参见附图5，从侧视方向上，让行走轮221、限位轮222和引导轮223之间限定形成一个U型的限定槽，轨道本体的部分位于限定槽内，限定了天车的移动。行走轮221和引导轮223在竖直方向上对行走驱动装置2的自由度进行了约束，两组滚轮组件22的限位轮222在水平方向上对天车的自由度进行了约束，提高了天车移动的稳定性，减少了行走驱动装置2在行驶中的抖动和偏移。

在一个实施例中，参见附图5所示，行走轮221和引导轮223的轴线平行。但在另一些实施例中，行走轮221和引导轮223的轴线也可异面交错，行走轮的轴线始终在水平面内且和天车的行驶方向垂直，引导轮223的轴线沿水平方向延伸，且和行走轮221的轴线形成一个夹角。只要保证行走轮221和引导轮223的外环面分别能和轨道本体的上端面和下端面滚动接触即可。当然，当行走轮221和引导轮223的轴线平行时，引导轮223和轨道本体的下端面只有滚动摩擦，引导轮223和轨道本体之间的摩擦力较小。

在一个实施例中，行走轮221和引导轮223外环面之间的最小垂直距离等于轨道本体的厚度，这样行走组件在沿轨道行走时，行走轮221的外环面始终与轨道本体的上端面滚动接触，且引导轮223的外环面始终与轨道本体的下端面滚动接触。

在另一个实施例中，行走轮221和引导轮223外环面之间的最小垂直距离大于轨道本体的厚度，这样行走组件在沿轨道行走时，行走轮221的外环面始终与轨道本体的上端面滚动接触，但限位轮222与轨道本体的下端面之间有间隙，使限位轮222与下端面间保持非长期接触而减少滚动摩擦。

在本实施例中的滚轮组件22，通过行走轮221、限位轮222和引导轮223限定了轨道1，即使天车受到侧向力作用时，轨道1会为滚轮组件22提供复位的作用力，天车始终不会发生倾斜。

当行走驱动装置2行走至缺口11处时，一组滚轮组件22将从轨道1上脱离，另一组滚轮组件22仍然沿着轨道1行驶。当行驶过缺口11处时，脱离轨道1的滚轮组件22会继续套接到轨道1上，沿轨道1滚动。因此在一个实施例中，参见附图1所示，岔道12靠近缺口11的端部形成一个导向部121，导向部121对滚轮组件22进行导向，使滚轮组件22能快速的套接到其上，并移动到轨道1上。参见附图7所示，导向部121的厚度沿天车进入方向逐渐增大直至与轨道1厚度相同，即导向部121形成一个缩口结构，滚轮组件22进入的进口处的厚度较小，能快速的嵌入限定槽内。

参见附7所示，导向部121具有一个上表面1211和下表面1212，上表面1211和下表面1212均成楔形结构，上表面1211自靠缺口11到远离缺口11向上倾斜，下表面1212自靠缺口11到远离缺口11向下倾斜，上表面1211和下表面1212倾斜方向相反，形成一个缩口结构，导向部121的厚度小于轨道1的厚度H1，且从缺口11处的厚度H2到逐渐增大到轨道1处的厚度H1，也就是天车从缺口11重新进入轨道1的方向，即附图7中的空心箭头方向，导向部121的厚度逐渐增加，让脱离轨道1的滚轮组件22能沿着导向部121进入轨道1。在此过程中，即使天车因为本身重量导致天车略微下垂或翘摆，也能因为导向部121的缩口能将滚轮组件22快速套接在导向部121上，实现天车与轨道1的顺利对接。

在一个实施例中，楔形结构可以为直线过渡，也可以是弧线或曲线过渡，只要楔形结构整体成倾斜状态即可。

在一个实施例中，参见附图4所示，每组滚轮组件22的限位轮222设置有两个，两个限位轮222沿行走驱动装置2的行走方向间隔设置，引导轮223均位于两个限位轮222之间。参见附图4所示，行走轮221位于基板21的侧边，限位轮222和引导轮223均位于机架的下方，保证滚轮组件22不会对基板21的移动和基板21上的其他装置造成干扰。每个引导轮223均转动连接在对应设置的一个固定架2231上，固定架2231固定在基板21的下端面且位于两个限位轮222之间。固定架2231为L型，包括竖直部和水平部，竖直部的上端与基板21固定，下端与水平部连接，引导轮223套接在水平部外并与水平部转动连接。

在一个实施例中，行走轮221和引导轮223沿天车的行驶方向交错，即行走轮221和引导轮223在天车的行走方向上成前后设置，天车在从缺口11处进入导向部时，行走轮221和引导轮223中的一个先和导向部接触，对天车进行导向。行走轮221和引导轮223能与轨道本体的接触点的连线和一个垂直天车行驶方向的竖直平面形成一个夹角。

参见附图2所示，图中箭头方向为天车的行进方向，当天车直行时，天车右侧的滚轮组件22始终不脱离轨道本体，而天车左侧的车轮滚轮组件22在经过缺口11时会脱离轨道本体而悬空，然后进入岔道12的轨道本体上摆脱悬空状态。天车左侧的车轮滚轮组件22悬空时，在天车自身重力的作用下，可能会出现天车左前方下垂，产生天车位置偏移的异常情况。参见附图7所示，天车左侧滚轮组件22中的行走轮221和引导轮223沿天车的行驶方向交错设置，此时行走轮221在行进方向略偏向于前方，而引导轮223在行进方向略偏向于后方，行走轮221轴线端点所在的垂直线和引导轮223的轴线端点所在的垂直线在天车的行驶方向上留有间距d，其中间距d大于0，能使左侧的滚轮组件22的行走轮221提前进入导向部121的上表面1211，从而更快的矫正天车的位置偏离，使天车能稳定而顺畅的进入岔道12上。

当天车左拐时，天车右侧的滚轮组件22脱离轨道本体，然后经过缺口11再进入岔道12的轨道上，经过缺口11时右侧滚轮组件22会出现悬空，而左侧的滚轮组件22始终在轨道本体上。天车拐弯时在离心力的作用下，右侧滚轮组件22在脱离轨道本体处于悬空状态时，天车右前方的滚轮组件22微微上翘，产生天车位置偏移的异常情况。天车右侧滚轮组件22中的行走轮221和引导轮223沿天车的行驶方向交错设置，此时行走轮221在行进方向略偏向于后方，而引导轮223在行进方向略偏向于前方，能使右侧的滚轮组件22的引导轮223提前进入导向部121的下表面1212，从而更快的矫正天车的位置偏离，使天车能稳定而顺畅的进入岔道12上。

参见附图8所示，两个行走轮221在一个行走驱动件232的驱动同步转动，两个行走轮221固定在一个驱动轴231上，行走轮221分别固定在驱动轴231两端，驱动轴231与基板21转动连接，且驱动轴231能在行走驱动件232驱动下沿自身轴线转动，行走驱动件232固定在基板21上。

基板21的上端面固定有两个间隔设置的立板，驱动轴231的两端穿过连个立板且分别固定一个行走轮221，立板和驱动轴231之间设置有轴承。当行走驱动件232动作时，驱动驱动轴231转动，进而带动两个行走轮221转动，实现行走轮221沿轨道1上端面的行走，为行走驱动装置2的移动提供动力。

参见附图1所示，每个天车均括两个行走驱动装置2，两个行走驱动装置2均与一个天车架连接，即两个天车驱动装置带动一个天车车架3移动。因此，当天车行走装置行走到缺口11处进行转向时，一个行走驱动装置2会先发生转向，而其下方固定的天车车架3由于后方的行走驱动装置2的限定，无法和发生同步的转向。因此为了便于天车架的拐弯，每个行走驱动装置2还包括一个旋转模块24，旋转模块24设置在基板21的下端面，旋转模块24与天车车架3连接，当天车在岔道12转向时，旋转模块24为天车车架3提供换道导向。

参见附图6所示，旋转模块24设置在基板21的中间位置，位于两个滚轮组件22的中间，包括一个固定轴241和套接在固定轴241外的旋转轴套242，旋转轴套242和固定轴241同轴设置且能发生相对转动，旋转轴套242与基板21固定连接，固定轴241的下端穿过旋转轴套242与天车车架3固定连接。

当一个行走驱动装置2在缺口11口开始转弯时，由于后面的一个行走驱动装置2还没有转向，因此天车车架3此时不会转弯，固定轴241固定在天车车架3上，旋转轴套242带动固定连接的基板21及基板21上方所有装置对于固定轴241进行旋转，即基板21相对天车车架3产生相对转动，实现天车车架3的拐弯换道。

在一个实施例中，固定轴241和旋转轴套242之间设置有旋转轴承243，其中旋转轴承243设置有两个，分别位于旋转轴套242的上下两端，为固定轴241和旋转轴向的相对转动，提供稳定的支撑。旋转轴套242的上端法兰与固定板固定连接，一个轴承设置在上端法兰，且固定轴241的上端穿过轴承固定有限定其上下移动的限位环。

参见附图3和附图5所示，在一个实施例中，旋转轴套242的侧边还固定有取电模块25，取电模块25与旋转轴套242可拆卸连接，取电模块25上开设有一个U型槽，U型槽位于轨道1下方，其内嵌入有位于轨道1下方的线路（图中未示）。取电模块25与行走驱动装置2同步移动，为行走驱动模块装置供电。

参见附图3所示，行走驱动装置2还包括换道导向模块26，换道导向模块26和空中的换向轨道4配合，用于行走驱动装置2的转向，也就是天车的转向。

参见附图9所示，换道导向模块26包括模块座261，模块座261固定在基板21的上方，模块座261与两个立板的上端固定。模块座261上滑动连接有滑块262，滑块262能在换道驱动组件驱动下沿行走轮221的轴向往复滑动，即滑块262的在水平面内滑动，且滑动方向与行走驱动装置2的移动行走方向垂直。滑块262上转动连接有至少一个转向轮263，转向轮263能与滑块262同步滑动，且转向轮263的外环面能和换向轨道4滚动接触。换向轨道4固定在轨道1的上方，能推动转向轮263，实现转向。

当行走驱动装置2行走至缺口11处，准备进行换向时，换道驱动组件驱动滑块262移动，让滑块262上的转向轮263与换向轨道4抵靠，此时换向轨道4会施加给转向轮263移动的作用力，由于换道驱动组件的限定，整个行走驱动装置2会在换向轨道4推动下转向。

参见附图9所示，模块座261上端面固定有供滑块262滑动的滑轨264，滑轨264沿垂直行走驱动装置2的移动行走方向设置，对滑块262的滑动进行导向。为了限定滑块262的移动范围，模块座261上还固定有位于滑块262两端的限位块，滑块262始终在两个限位块之间往复滑动。

参见附图所示，换道驱动组件包括换道驱动件265、摆臂266和驱动轮267，换道驱动件265固定在模块座261上并能驱动摆臂266在水平面内摆动，摆动的一端与换道驱动件265固定连接，另一端转动连接有驱动轮267，滑块262的端部开设有供驱动轮267滑动的导向槽2621，导向槽2621沿换道导向模块26的行驶方向延伸，驱动轮267能在导向槽2621内滚动且沿导向槽2621滑动。换道驱动组件通过摆臂266、驱动轮267和导向槽2621的配合，将摆臂266摆动的作用力转化为滑块262直线移动的作用力，节约了空间，让整个换道驱动组件更加紧凑和轻便。

在一个实施例中，转向轮263设置有两个，两个转向轮263沿换道导向模块26的行驶方向间隔分布，保证在整个转向过程中，均有转向轮263和换向轨道4接触。

天车搬运系统在工作时，滚轮组件22的行走轮221、限位轮222和引导轮223分别与对应轨道本体的三个面接触，限定了天车的移动。尤其在岔道12处，当天车需要转型时，换道驱动件265驱动摆臂266摆动，摆动将摆动里转换为滑块262的直线移动的作用力，让滑块262上的转向轮263与换向轨道4抵靠，此时换向轨道4会施加给转向轮263移动的作用力，由于换道驱动组件的限定，整个行走驱动装置2会在换向轨道4推动下转向。一个行走驱动装置2在转向过程中，由于后面的一个行走驱动装置2还没有转向，因此此时固定轴241固定在天车车架3上，旋转轴套242带动固定连接的基板21及基板21上方所有装置对于固定轴241进行旋转，即基板21相对天车车架3产生相对转动，实现天车车架3的拐弯换道。当一个行走驱动装置2在岔道12转向时，一组滚轮组件22将从轨道1上脱离，转向完成后，导向部121的楔形结构的设置，滚轮组件22进入的进口处的厚度较小，能快速嵌入限定槽内，实现滚轮组件22和轨道本体的快速对接。

以上实施方式只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种搬运系统，用于晶圆盒的搬运，包括轨道和天车，所述轨道包括至少两条，每条所述轨道均包括两个轨道本体，两条所述轨道在交汇处形成岔道，一条所述轨道在岔道口处开设有缺口，所述天车在一个轨道上行驶，并能在所述岔道转向，选择两个所述轨道中的一个继续行驶，其特征在于：所述天车包括至少一个行走驱动装置，所述行走驱动装置包括基板，所述基板的两侧设置有滚轮组件，每组所述滚轮组件均包括与基板转动连接的行走轮、限位轮和引导轮；

其中所述行走轮和引导轮上下间隔设置，且所述行走轮轴线端点所在的垂直线和引导轮轴线端点所在的垂直线在天车行驶方向的间距大于零，所述行走轮用于天车的行走驱动且其外环面在沿轨道行驶时始终与轨道本体的上端面滚动接触，所述引导轮位于轨道本体的下方，所述行走轮和引导轮的外环面在竖直方向的最小垂直距离不小于轨道本体的厚度，所述限位轮的轴线与行走轮的轴线垂直，且所述限位轮的外环面与两个轨道本体的相对的内侧壁滚动接触，所述行走轮、限位轮和引导轮之间限定形成一个U型的限定槽，所述轨道本体的部分位于限定槽内；

所述岔道靠近缺口的端部形成一个导向部，所述导向部的厚度沿天车进入方向逐渐增大直至与轨道本体厚度相同，所述行走轮和引导轮能沿着导向部移动到轨道本体上。

2.根据权利要求1所述的一种搬运系统，其特征在于：所述导向部具有一个上表面和下表面，所述上表面和下表面均成楔形结构，所述上表面自靠近缺口到远离缺口向上倾斜，所述下表面自靠近缺口到远离缺口向下倾斜。

3.根据权利要求2所述的一种搬运系统，其特征在于：所述楔形结构为直线过渡或曲线过渡。

4.根据权利要求1所述的一种搬运系统，其特征在于：每组所述滚轮组件的限位轮设置有两个，两个所述限位轮沿行走驱动装置的行走方向间隔设置，所述行走轮和引导轮均位于两个限位轮的中间位置。

5.根据权利要求4所述的一种搬运系统，其特征在于：所述限位轮之间设置有固定在基板下端面的固定架，所述引导轮均转动连接在固定架上。

6.根据权利要求1所述的一种搬运系统，其特征在于：两个所述行走轮在一个行走驱动件的驱动同步转动，两个所述行走轮固定在一个驱动轴的两端，所述驱动轴与基板转动连接，且所述驱动轴能在行走驱动件驱动下沿自身轴线转动。

7.根据权利要求1-6任一所述的一种搬运系统，其特征在于：所述天车包括两个行走驱动装置，两个所述行走驱动装置共同连接有一个天车车架，每个所述行走驱动装置还包括旋转模块；

所述旋转模块包括一个固定轴和套接在固定轴外的旋转轴套，所述旋转轴套和固定轴同轴设置且能发生相对转动，所述旋转轴套与基板固定连接，所述固定轴的下端穿过旋转轴套与天车车架固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种搬运系统，其特征在于：所述旋转轴套的侧边还可拆卸连接有取电模块，所述取电模块上开设有一个位于轨道下方的U型槽，所述U型槽内嵌入有位于轨道下方的线路。

9.根据权利要求1所述的一种搬运系统，其特征在于：所述行走驱动装置还包括换道导向模块，所述换道导向模块和空中的换向轨道配合，用于所述行走驱动装置的转向；

所述换道导向模块包括固定在基板上方的模块座，所述模块座上滑动连接有滑块，所述滑块能在换道驱动组件驱动下垂直行走驱动装置的移动方向往复滑动，所述滑块上转动连接有至少一个转向轮，所述转向轮能与滑块同步滑动且转向轮的外环面能和换向轨道滚动接触。

10.根据权利要求9所述的一种搬运系统，其特征在于：所述换道驱动组件包括换道驱动件、摆臂和驱动轮，所述换道驱动件固定在模块座上并能驱动摆臂在水平面内摆动，所述摆动的一端与换道驱动件固定连接，另一端转动连接有所述驱动轮，所述滑块的端部开设有供驱动轮滑动的导向槽，所述导向槽沿换道导向模块的行驶方向延伸，所述驱动轮能在导向槽内滚动且沿导向槽滑动。

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