KR20220045777A - 제조 공장의 물품 반송 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예는 주행 경로의 분기부에서 반송 차량이 원활하게 주행할 수 있는 반송 차량, 레일, 그리고 물품 반송 시스템을 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 제조 공장의 물품 반송 시스템에서 물품을 반송하는 반송 차량은 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 레일이 분기되는 분기부에서 선택적으로 조향 가이드 레일에 접촉하는 조향 유닛을 포함한다. 상기 조향 유닛은 상기 조향 가이드 레일의 수직 가이드부에 접촉하는 수평 조향 휠과, 상기 조향 가이드 레일의 수평 가이드부에 접촉하는 수직 조향 휠을 포함한다. 본 발명의 실시예에 따르면, 분기 주행시 반송 차량의 수평 조향 휠이 조향 가이드 레일의 수직 가이드부에 접촉하고 반송 차량의 수직 조향 휠이 조향 가이드 레일의 수평 가이드부에 접촉함으로써 반송 차량이 보다 원활하게 분기부를 주행할 수 있다.

Description

제조 공장의 물품 반송 시스템{TRANSPORT SYSTEM IN FABRICATION FACILITY}
본 발명은 제조 공장 내 물품 반송 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로 분기부에서 보다 원활하게 주행할 수 있는 반송 차량 및 레일, 그리고 물품 반송 시스템을 제공한다.
반도체(또는 디스플레이) 제조 공정은 기판(예: 웨이퍼) 상에 반도체 소자를 제조하기 위한 공정으로서, 예를 들어 노광, 증착, 식각, 이온 주입, 세정, 패키징 등을 포함한다. 반도체 소자를 제조하기 위한 제조 공장의 하나 또는 그 이상의 층들의 클린룸들로 구성되며, 반도체 제조 공정을 수행하기 위한 제조 설비들이 각 층들에 배치된다.
반도체 제조 공정의 효율을 극대화하기 위하여, 각 반도체 제조 공정을 개선하는 방법뿐만 아니라 각 제조 설비들 간에 물품(예: 기판)을 신속하면서 효율적으로 반송하기 위한 기법이 도입되고 있다. 대표적으로, 반도체 제조 공장의 천정에 설치된 경로를 따라 물품을 반송하는 OHT(overhead hoist transport) 시스템이 적용되고 있다. 일반적으로 OHT 시스템은 주행 경로를 구성하는 레일, 레일을 따라 주행하며 물품을 반송하는 반송 차량을 포함한다. 또한, 반도체 제조 설비들 간의 반송 중 물품의 보관이 필요한 경우, 해당 물품을 저장하기 위한 저장 시스템이 구비될 수 있다.
한편, 반송 차량의 주행 경로 중 하나의 경로에서 2개 이상의 경로 중 하나로 선택적으로 주행하도 유도하는 분기부가 형성된다. 해당 분기부에서, 반송 차량은 직진 방향으로 주행하거나 분기 방향으로 주행할 수 있다. 반송 차량의 고속화가 요구됨에 따라 직진 또는 분기 주행시 발생하는 진동 또는 충격을 억제하면서 반송 차량이 원활하게 주행하기 위한 기법이 요구되고 있다.
따라서, 본 발명의 실시예는 주행 경로의 분기부에서 반송 차량이 원활하게 주행할 수 있는 반송 차량, 레일, 그리고 물품 반송 시스템을 제공한다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 제조 공장의 물품 반송 시스템에서 물품을 반송하는 반송 차량은 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 레일이 분기되는 분기부에서 선택적으로 조향 가이드 레일에 접촉하는 조향 유닛을 포함한다. 상기 조향 유닛은 상기 조향 가이드 레일의 수직 가이드부에 접촉하는 수평 조향 휠과, 상기 조향 가이드 레일의 수평 가이드부에 접촉하는 수직 조향 휠을 포함한다.
일 실시예에서, 상기 조향 유닛은 상기 반송 차량의 이동 방향에 대하여 수직한 방향으로 이동하는 이동체와, 상기 이동체에 결합된 수평 바디와, 상기 수평 바디의 상부에 결합된 수직 바디를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 이동체는 상기 분기부에서 상기 반송 차량의 이동 방향과 반대 방향으로 이동할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 수평 조향 휠은 상기 수평 바디에 결합된 한 쌍의 수평 조향 휠로서 제공되고, 상기 수직 조향 휠은 상기 수직 바디에 결합된 한 쌍의 수직 조향 휠로서 제공될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 한 쌍의 수직 조향 휠 사이의 간격은 직진 주행 가이드 레일과 분기 주행 가이드 레일의 교차부에서의 수평 가이드부의 이격된 거리 보다 크도록 설정될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 제조 공장의 물품 반송 시스템에서 반송 차량의 이동을 위한 레일은 상기 반송 차량이 주행하기 위한 경로를 제공하는 주행 레일과, 상기 주행 레일이 분기되는 분기부에서 상기 반송 차량의 주행 방향을 가이드하는 조향 가이드 레일을 포함한다. 상기 조향 가이드 레일은, 상기 반송 차량의 수평 조향 휠과 접촉하여 상기 반송 차량을 가이드하는 수직 가이드부와, 상기 반송 차량의 수직 조향 휠과 접촉하여 상기 반송 차량을 가이드하는 수평 가이드부를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 수평 가이드부는 상기 수직 가이드부에 대향하여 설치된 수직 구조물과, 상기 수직 구조물로부터 수평 방향으로 돌출되도록 결합된 수평 구조물을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 조향 가이드 레일은 상기 반송 차량을 직진 방향으로 가이드하는 직진 주행 가이드 레일과, 상기 반송 차량을 분기 방향으로 가이드하는 분기 주행 가이드 레일을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 분기 주행 가이드 레일은 상기 분기 방향의 반대측으로부터 상기 직진 주행 가이드 레일과의 교차부를 통해 상기 분기 방향으로 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 교차부에서 상기 수평 가이드부의 이격된 거리는 상기 반송 차량의 한 쌍의 수직 조향 휠 사이의 간격 보다 작도록 설정될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 제조 공장의 물품 반송 시스템은 물품을 반송하는 반송 차량과, 반송 차량의 이동을 위한 레일을 포함한다. 상기 레일은 상기 반송 차량이 주행하기 위한 경로를 제공하는 주행 레일과, 상기 주행 레일이 분기되는 분기부에서 상기 반송 차량의 주행 방향을 가이드하는 조향 가이드 레일을 포함한다. 상기 조향 가이드 레일은 상기 반송 차량의 수평 조향 휠과 접촉하여 상기 반송 차량을 가이드하는 수직 가이드부와, 상기 반송 차량의 수직 조향 휠과 접촉하여 상기 반송 차량을 가이드하는 수평 가이드부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 분기 주행시 반송 차량의 수평 조향 휠이 조향 가이드 레일의 수직 가이드부에 접촉하고 반송 차량의 수직 조향 휠이 조향 가이드 레일의 수평 가이드부에 접촉함으로써 반송 차량이 보다 원활하게 분기부를 주행할 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 제조 공장 내 물품 반송 시스템의 예를 도시한다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반송 차량의 개략적인 구조를 도시한다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 물품 반송 시스템에서 분기부에서 주행하는 반송 차량의 예를 도시한다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 물품 반송 시스템에서 레일 및 반송 차량의 예를 도시한다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 조향 가이드 레일의 예를 도시한다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 반송 차량의 조향부의 예를 도시한다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 레일의 분기부를 도시한다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(또는 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결(또는 결합)"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결(또는 결합)"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 제조 공장 내 물품 반송 시스템의 예를 도시한다. 반도체 또는 디스플레이 제조 라인은 하나 또는 그 이상의 클린룸으로 구성되며, 각 클린룸에 제조 공정을 수행하기 위한 제조 설비(1)들이 설치될 수 있다. 일반적으로, 기판(예: 웨이퍼)에 복수의 제조 공정들이 반복 수행됨으로써 최종적으로 처리된 기판이 완성될 수 있는데, 특정 반도체 제조 설비(1)에서 제조 공정이 완료되면, 다음 제조 공정을 위한 설비로 기판이 반송된다. 여기서 기판은 복수개의 기판들을 수용할 수 있는 용기(예: front opening unified pod, FOUP)에 보관된 상태로 반송될 수 있다. 기판들을 수용한 용기는 반송 차량(예: overhead hoist transport, OHT)(20)에 의해 반송될 수 있다.
반송 차량(20)은 천장에 설치된 레일(rail)(10)을 주행하며 이송작업 명령을 지령하는 상위 서버(차량 제어 장치)와 무선 통신 방식으로 인터페이스 된다. 차량 제어 장치는 통합 제어 시스템으로부터 작업 공정에 따른 이송에 관한 명령을 전달받으며, 통합 제어 시스템의 명령에 따라 반송 차량(20)에게 최단시간에 이송작업을 완료하기 위해 출발지에서 목적지까지의 최단 경로를 탐색하고 이송 작업을 수행하기에 적합한 최적의 위치에 있는 반송 차량(20)을 선정하여 이송명령을 지령한다. 차량 제어 장치의 이송명령에 따라 반송 차량(20)은 차량 제어 장치가 지령하는 임의의 포트(port)에서 목적지 포트(port)로 물류를 이송한다.
도 1을 참고하면, 반도체 또는 디스플레이 제조 라인에는 공정을 수행하기 위한 제조 설비(1)들이 설치되고, 제조 설비(1)들 간에 물품을 반송하기 위한 반송 경로(예: 천정 레일)를 형성하는 레일(10)과 레일(10)을 주행하면서 제조 설비(1)들로 물품을 반송하는 복수의 반송 차량(20)이 제공될 수 있다. 이때, 물품 반송 차량(20)은 레일(10)을 따라 형성된 급전 유닛(예: 전원 공급 케이블)을 통해 구동 전원을 공급받을 수 있다.
반송 차량(20)이 제조 설비(1)들 사이에서 물품을 반송할 때, 물품은 곧바로 특정 제조 설비에서 다른 제조 설비로 반송될 수도 있고, 물품이 저장 장치에 저장된 이후 다른 제조 설비로 반송될 수 있다. 레일(10)의 일측에는 저장 장치(예: 물품 보관부(30))가 설치될 수 있다. 저장 장치는 용기 내 청정 환경을 유지하기 위하여 비활성 가스를 주입할 수 있는 랙 형태의 창고(스토커) 및 레일(10)의 측면에 인접하게 설치되어 물품을 보관하는 레일 측면 버퍼 또는 레일(10)의 하부 영역에 설치되어 물품을 보관하는 레일 하부 버퍼 또는 반송 차량의 유지 및 보수를 위한 유지보수용 리프터를 포함할 수 있다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반송 차량(20)의 개략적인 구조를 도시한다. 도 2는 주행 경로의 방향에서 바라본 반송 차량(20)을 나타내고, 도 3은 주행 경로의 측면에서 바라본 반송 차량(20)을 나타낸다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 반송 차량(20)은 주행 레일(110)을 따라 주행하는 주행 유닛(210), 주행 레일(110)이 분기되는 분기부에서 선택적으로 조향 가이드 레일에 접촉하는 조향 유닛(220), 반송되는 물품을 파지하는 파지 유닛(230)을 포함한다.
주행 유닛(210)은 반송 차량(20)의 주행을 위한 장치들이 설치되는 구동 바디(211), 주행 레일(110)과 접촉하여 회전하는 주행 휠(212), 주행 레일(110)의 측면을 따라 접촉하여 회전하는 주행 가이드 휠(213)을 포함한다. 반송 차량(20)은 주행 휠(212)의 회전에 의해 주행 레일(110)을 따라 주행하며, 주행 가이드 휠(213)은 반송 차량(20)이 주행 레일(110)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
조향 유닛(220)은 분기부에서 반송 차량(20)이 선택적으로 주행하도록 유도하는 장치로서, 본 발명의 실시예에 따른 조향 유닛(220)의 세부 구성에 대해 이하 상세히 설명하도록 한다. 파지 유닛(230)은 반송 대상 물품을 파지하며, 승하강 구동을 통해 각 설비(1)에 물품을 로딩 또는 언로딩할 수 있다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 물품 반송 시스템에서 분기부에서 주행하는 반송 차량의 예를 도시한다. 도 4는 반송 차량(20)이 분기부에서 분기 방향을 향해서 주행하는 경우를 나타내고, 도 5는 반송 차량(20)이 분기부에서 직진 방향을 향하여 주행하는 경우를 나타낸다.
도 4 및 도 5에 도시된 것과 같이, 조향 가이드 레일(120)의 분기 조향 가이드 레일은 분기 방향의 반대 방향으로부터 직진 분기 가이드 레일과의 교차 지점을 통과하여 분기 방향으로 형성되어 있다. 도 4에 도시된 것과 같이, 반송 차량(20)이 분기 방향(예: 좌측 방향)으로 주행하는 경우 반송 차량(20)의 조향 유닛(220)이 분기 방향의 반대 방향(예: 우측 방향)으로 이동한다. 한편, 도 5에 도시된 것과 같이, 반송 차량(20)이 직진 방향으로 주행하는 경우 반송 차량(20)의 조향 유닛(220)은 분기 방향(예: 좌측 방향)으로 이동한다. 도 4 및 도 5에 도시된 것과 같은 조향 가이드 레일(120)이 구성되고 반송 차량(20)의 조향 유닛(220)이 조향 가이드 레일(120)을 따라 주행함으로써, 반송 차량(20)이 분기 방향으로 주행할 때 발생하는 충격과 진동을 저감시킬 수 있다.
또한, 도 4 및 도 5에 도시된 것과 같이, 반송 차량(20)이 분기 방향으로 주행할 때 반송 차량(20)의 한쪽 주행 휠(212)은 주행 레일(110)에 접촉하나 반대측 주행 휠(212)은 주행 레일(110)과 접촉하지 않고 들뜬 상태가 된다. 본 발명의 실시예에 따르면, 반대측 주행 휠(212)을 대신하여 조향 유닛(220)의 수직 조향 휠(222)이 조향 가이드 레일(120)의 수평 가이드부(122)와 접촉하여 주행하게 된다. 즉, 분기 주행시 한쪽 주행 휠(212)은 주행 레일(110)에 접촉하여 주행하고 반대측에서는 수직 조향 휠(222)이 조향 가이드 레일(120)의 수평 가이드부(122)에 접촉하여 주행함으로써, 반송 차량(20)의 기울어짐을 방지하고 들뜬 상태에서 발생할 수 있는 충격과 진동을 완화할 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 물품 반송 시스템에서 레일(10) 및 반송 차량(20)의 예를 도시한다. 도 6은 도 5와 같이 반송 차량(20)이 직진 방향으로 주행하는 경우를 도시한다.
본 발명의 실시예에 따른 제조 공장의 물품 반송 시스템은 물품을 반송하는 반송 차량(20)과, 반송 차량(20)의 이동을 위한 레일(10)을 포함한다. 본 발명의 실시예에서, 반송 차량(20)은 주행 레일(110)을 따라 주행하는 주행 유닛(210), 주행 레일(110)이 분기되는 분기부에서 선택적으로 조향 가이드 레일(120)에 접촉하는 조향 유닛(220)을 포함한다. 조향 유닛(220)은 조향 가이드 레일(120)의 수직 가이드부(121)에 접촉하는 수평 조향 휠(221)과, 조향 가이드 레일(120)의 수평 가이드부(122)에 접촉하는 수직 조향 휠(222)을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 레일(10)은 반송 차량(20)이 주행하기 위한 경로를 제공하는 주행 레일(110)과, 주행 레일(110)이 분기되는 분기부에서 반송 차량(20)의 주행 방향을 가이드하는 조향 가이드 레일(120)을 포함한다. 조향 가이드 레일(120)은 반송 차량(20)의 수평 조향 휠(221)과 접촉하여 반송 차량(20)을 가이드하는 수직 가이드부(121)과 반송 차량(20)의 수직 조향 휠(222)과 접촉하여 반송 차량을 가이드하는 수평 가이드부(122)를 포함한다.
본 발명의 실시예에서, 조향 유닛(220)은 반송 차량(20)의 이동 방향에 대하여 수직한 방향으로 이동하는 이동체(223)와, 이동체(223)에 결합된 수평 바디(224)와, 수평 바디(224)의 상부에 결합된 수직 바디(225)를 더 포함한다. 도 6에 도시된 것과 같이, 이동체(223)는 조향부(220)에서 가이드 레일을 따라 반송 차량(20)의 주행 방향에 대하여 수직한 방향(좌우 방향)으로 이동할 수 있다. 이동체(223)의 상부에 수평 바디(224)가 설치될 수 있으며, 수평 바디(224)의 상부에 수직 바디(225)가 설치될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 이동체(223)는 분기부에서 반송 차량(20)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 도 4 및 도 5에 도시된 것과 같이, 반송 차량(20)이 분기 방향(예: 좌측 방향)으로 주행할 때 이동체(223)가 분기 방향의 반대 방향(예: 우측 방향)으로 이동하고, 반송 차량(20)이 직진 방향으로 주행하는 경우 이동체(223)는 분기 방향(예: 좌측 방향)으로 이동한다. 도 4 및 도 5에 도시된 것과 같은 조향 가이드 레일(120)이 구성되고 반송 차량(20)의 조향 유닛(220)이 조향 가이드 레일(120)을 따라 주행함으로써, 반송 차량(20)이 분기 방향으로 주행할 때 발생하는 충격과 진동을 저감시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 수평 조향 휠(221)은 수평 바디(224)에 결합된 한 쌍의 수평 조향 휠로서 제공되고, 수직 조향 휠(222)은 수직 바디(225)에 결합된 한 쌍의 수직 조향 휠로서 제공될 수 있다. 즉, 수평 조향 휠(221)과 수직 조향 휠(222) 각각은 전후 방향으로 일정 간격을 두고 이격되어 배치되는 한 쌍의 휠로 구성될 수 있다. 도 8을 참고하면, 수평 조향 휠(221)은 수평 바디(224)에 결합된 전방 수평 조향 휠(221A)과 후방 수평 조향 휠(221B)을 포함할 수 있다. 수직 조향휠(222)은 전방의 수직 조향 휠(222A)과 후방의 수직 조향 휠(222B)을 포함할 수 있다.
여기서, 한 쌍의 수직 조향 휠 사이의 간격은 직진 주행 가이드 레일과 분기 주행 가이드 레일의 교차부에서의 수평 가이드부의 이격된 거리 보다 크도록 설정될 수 있다. 즉, 전방의 수직 조향 휠(222A)과 후방의 수직 조향 휠(222B) 사이의 간격을 교차부에서의 수평 가이드부(122)가 존재하지 않고 떨어진 영역 보다 크도록 구성함으로써, 전방의 수직 조향 휠(222A) 또는 후방의 수직 조향 휠(222B) 중 적어도 하나가 조향 가이드 레일(120)의 수평 가이드부(122)에 항상 접촉하도록 한다. 그리하여 수직 조향 휠(222)이 들뜬 상태에 있는 경우를 방지하고, 들뜬 상태에서 발생하는 충격과 진동을 저감시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따르면, 조향 가이드 레일(120)의 수평 가이드부(122)는 수직 가이드부(121)에 대향하여 설치된 수직 구조물(122A)과 수직 구조물(122A)로부터 수평 방향으로 돌출되도록 결합된 수평 구조물(122B)을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 조향 가이드 레일(120)은 반송 차량(20)을 직진 방향으로 가이드하는 직진 주행 가이드 레일과, 반송 차량(20)을 분기 방향으로 가이드하는 분기 주행 가이드 레일을 포함할 수 있다. 도 6을 참고하면, 직진 주행 가이드 레일은 직진 주행 수직 가이드부(121), 직진 주행 수평 가이드부(122)를 포함하고, 분기 주행 가이드 레일은 분기 주행 수직 가이드부(123), 직진 주행 수평 가이드부(124)를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 분기 주행 가이드 레일은 분기 방향의 반대측으로부터 직진 주행 가이드 레일과의 교차부를 통해 분기 방향으로 형성될 수 있다. 도 7에 도시된 것과 같이, 분기 주행 가이드 레일(123, 124)은 분기 방향의 반대 방향으로부터 직진 주행 가이드 레일(121, 122)과의 교차부를 통해 분기 방향으로 형성된다.
또한, 도 9에 도시된 것과 같이, N 자형 분기부를 구현하기 위하여 분기 주행 가이드 레일(123, 124)은 은 분기 방향의 반대 방향으로부터 직진 주행 가이드 레일(121, 122)과의 교차부를 통해 분기 방향으로 형성되고, 합류부에서 다시 반송 차량(20)이 주행하는 곡선 경로의 외측 방향으로 연장하여 형성될 수 있다. 이 경우, 분기부와 합류부에서 모두 전방의 수직 조향 휠(222A) 또는 후방의 수직 조향 휠(222B) 중 적어도 하나가 조향 가이드 레일(120)의 수평 가이드부(122)에 항상 접촉하도록 한다. 그리하여 분기부와 합류부에서 수직 조향 휠(222)이 들뜬 상태에 있는 경우를 방지하고, 들뜬 상태에서 발생하는 충격과 진동을 저감시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 교차부에서 수평 가이드부(122)의 이격된 거리는 반송 차량(20)의 한 쌍의 수직 조향 휠 사이의 간격 보다 작도록 설정된다. 즉, 교차부에서 수평 가이드부(122)의 이격된 거리를 전방의 수직 조향 휠(222A)과 후방의 수직 조향 휠(222B) 사이의 간격 보다 작도록 구성함으로써, 전방의 수직 조향 휠(222A) 또는 후방의 수직 조향 휠(222B) 중 적어도 하나가 조향 가이드 레일(120)의 수평 가이드부(122)에 항상 접촉하도록 한다. 그리하여 수직 조향 휠(222)이 들뜬 상태에 있는 경우를 방지하고, 들뜬 상태에서 발생하는 충격과 진동을 저감시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 수직 조향 휠(222)은 전방/후방뿐만 아니라, 수직 바디(225)를 중심으로 양쪽에 각각 구성될 수 있다. 이 경우, 조향 가이드 레일(120)의 수직 가이드부(121)에도 수직 조향 휠(222)이 접촉할 수 있는 수평 구조물(122B)이 형성될 것이다. 수직 바디(225)를 중심으로 양 쪽에 수직 조향 휠(222)을 구성하고 수직 가이드부(121)와 수평 가이드부(122)에 모두 수직 조향 휠(222)이 접촉할 수 있는 수평 구조물을 구성함으로써, 보다 반송 차량(20)이 안정적으로 분기부를 주행하도록 할 수 있다.
본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것이 자명하다고 할 것이다.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

Claims (20)

  1. 제조 공장의 물품 반송 시스템에서 물품을 반송하는 반송 차량에 있어서,
    주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛;
    상기 주행 레일이 분기되는 분기부에서 선택적으로 조향 가이드 레일에 접촉하는 조향 유닛을 포함하고,
    상기 조향 유닛은,
    상기 조향 가이드 레일의 수직 가이드부에 접촉하는 수평 조향 휠; 및
    상기 조향 가이드 레일의 수평 가이드부에 접촉하는 수직 조향 휠을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 차량.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 조향 유닛은,
    상기 반송 차량의 이동 방향에 대하여 수직한 방향으로 이동하는 이동체;
    상기 이동체에 결합된 수평 바디; 및
    상기 수평 바디의 상부에 결합된 수직 바디를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 차량.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이동체는 상기 분기부에서 상기 반송 차량의 이동 방향과 반대 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 반송 차량.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 수평 조향 휠은 상기 수평 바디에 결합된 한 쌍의 수평 조향 휠로서 제공되고,
    상기 수직 조향 휠은 상기 수직 바디에 결합된 한 쌍의 수직 조향 휠로서 제공되는 것을 특징으로 하는 반송 차량.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 한 쌍의 수직 조향 휠 사이의 간격은 직진 주행 가이드 레일과 분기 주행 가이드 레일의 교차부에서의 수평 가이드부의 이격된 거리 보다 큰 것을 특징으로 하는 반송 차량.
  6. 제조 공장의 물품 반송 시스템에서 반송 차량의 이동을 위한 레일에 있어서,
    상기 반송 차량이 주행하기 위한 경로를 제공하는 주행 레일; 및
    상기 주행 레일이 분기되는 분기부에서 상기 반송 차량의 주행 방향을 가이드하는 조향 가이드 레일을 포함하고,
    상기 조향 가이드 레일은,
    상기 반송 차량의 수평 조향 휠과 접촉하여 상기 반송 차량을 가이드하는 수직 가이드부; 및
    상기 반송 차량의 수직 조향 휠과 접촉하여 상기 반송 차량을 가이드하는 수평 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레일.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 수평 가이드부는,
    상기 수직 가이드부에 대향하여 설치된 수직 구조물; 및
    상기 수직 구조물로부터 수평 방향으로 돌출되도록 결합된 수평 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 레일.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 조향 가이드 레일은,
    상기 반송 차량을 직진 방향으로 가이드하는 직진 주행 가이드 레일; 및
    상기 반송 차량을 분기 방향으로 가이드하는 분기 주행 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 레일.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 분기 주행 가이드 레일은 상기 분기 방향의 반대측으로부터 상기 직진 주행 가이드 레일과의 교차부를 통해 상기 분기 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 레일.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 교차부에서 상기 수평 가이드부의 이격된 거리는 상기 반송 차량의 한 쌍의 수직 조향 휠 사이의 간격 보다 작은 것을 특징으로 하는 레일.
  11. 제조 공장의 물품 반송 시스템에 있어서,
    물품을 반송하는 반송 차량; 및
    반송 차량의 이동을 위한 레일을 포함하고,
    상기 레일은,
    상기 반송 차량이 주행하기 위한 경로를 제공하는 주행 레일; 및
    상기 주행 레일이 분기되는 분기부에서 상기 반송 차량의 주행 방향을 가이드하는 조향 가이드 레일을 포함하고,
    상기 조향 가이드 레일은,
    상기 반송 차량의 수평 조향 휠과 접촉하여 상기 반송 차량을 가이드하는 수직 가이드부; 및
    상기 반송 차량의 수직 조향 휠과 접촉하여 상기 반송 차량을 가이드하는 수평 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 반송 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 반송 차량은,
    주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛;
    상기 주행 레일이 분기되는 분기부에서 선택적으로 조향 가이드 레일에 접촉하는 조향 유닛을 포함하고,
    상기 조향 유닛은,
    상기 조향 가이드 레일의 수직 가이드부에 접촉하는 수평 조향 휠; 및
    상기 조향 가이드 레일의 수평 가이드부에 접촉하는 수직 조향 휠을 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 반송 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 조향 유닛은,
    상기 반송 차량의 이동 방향에 대하여 수직한 방향으로 이동하는 이동체;
    상기 이동체에 결합된 수평 바디; 및
    상기 수평 바디의 상부에 결합된 수직 바디를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 반송 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 이동체는 상기 분기부에서 상기 반송 차량의 이동 방향과 반대 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 물품 반송 시스템.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 수평 조향 휠은 상기 수평 바디에 결합된 한 쌍의 수평 조향 휠로서 제공되고,
    상기 수직 조향 휠은 상기 수직 바디에 결합된 한 쌍의 수직 조향 휠로서 제공되는 것을 특징으로 하는 물품 반송 시스템.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 한 쌍의 수직 조향 휠 사이의 간격은 직진 주행 가이드 레일과 분기 주행 가이드 레일의 교차부에서의 수평 가이드부의 이격된 거리 보다 큰 것을 특징으로 하는 물품 반송 시스템.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 수평 가이드부는,
    상기 수직 가이드부에 대향하여 설치된 수직 구조물; 및
    상기 수직 구조물로부터 수평 방향으로 돌출되도록 결합된 수평 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 레일.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 조향 가이드 레일은,
    상기 반송 차량을 직진 방향으로 가이드하는 직진 주행 가이드 레일; 및
    상기 반송 차량을 분기 방향으로 가이드하는 분기 주행 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 레일.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 분기 주행 가이드 레일은 상기 분기 방향의 반대측으로부터 상기 직진 주행 가이드 레일과의 교차부를 통해 상기 분기 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 레일.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 교차부에서 상기 수평 가이드부의 이격된 거리는 상기 반송 차량의 한 쌍의 수직 조향 휠 사이의 간격 보다 작은 것을 특징으로 하는 레일.
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