KR20240074525A - 이송 장치의 동작 제어 방법 - Google Patents

이송 장치의 동작 제어 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20240074525A
KR20240074525A KR1020220156688A KR20220156688A KR20240074525A KR 20240074525 A KR20240074525 A KR 20240074525A KR 1020220156688 A KR1020220156688 A KR 1020220156688A KR 20220156688 A KR20220156688 A KR 20220156688A KR 20240074525 A KR20240074525 A KR 20240074525A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transfer device
transfer
priority
path
transfer devices
Prior art date
Application number
KR1020220156688A
Other languages
English (en)
Inventor
김식
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020220156688A priority Critical patent/KR20240074525A/ko
Publication of KR20240074525A publication Critical patent/KR20240074525A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00—Control of position, course, altitude or attitude of land, water, air or space vehicles, e.g. using automatic pilots
    • G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
    • G05D1/021—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles
    • G05D1/0287—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles involving a plurality of land vehicles, e.g. fleet or convoy travelling
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00—Control of position, course, altitude or attitude of land, water, air or space vehicles, e.g. using automatic pilots
    • G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
    • G05D1/021—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles
    • G05D1/0212—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles with means for defining a desired trajectory
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00—Administration; Management
    • G06Q10/08—Logistics, e.g. warehousing, loading or distribution; Inventory or stock management
    • G06Q10/083—Shipping

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Economics (AREA)
  • General Business, Economics & Management (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Strategic Management (AREA)
  • Tourism & Hospitality (AREA)
  • Human Resources & Organizations (AREA)
  • Entrepreneurship & Innovation (AREA)
  • Development Economics (AREA)
  • Marketing (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 개시의 기술적 사상은 복수의 이송 장치 각각의 상태를 기준으로 상기 복수의 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 단계; 상기 복수의 이송 장치 각각의 목적물 또는 목적지를 기준으로 상기 복수의 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 단계; 및 상기 복수의 이송 장치 각각의 경로를 탐색하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법을 제공한다.

Description

이송 장치의 동작 제어 방법{METHOD OF CONTROLLING OPERATIONS OF TRANSPORT VEHICLE}
본 개시의 기술적 사상은 이송 장치의 동작 제어 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 장치의 동작을 제어하는 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 인쇄회로기판, 리드 프레임, 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, OHS(Overhead Head Shuttle) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, AGV(Automatic Guided Vehicle) 등과 같은 이송 장치에 의해 이송될 수 있다. 일 예로서, 상기 이송 장치는 클린룸의 천장 부위에 설치되는 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함할 수 있다.
이송 장치는 이송 레일 상에서 이동 가능하게 구성되는 구동 모듈 및 상기 구동 모듈의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 구동 모듈은 이송 레일 상에 배치되는 전방 휠들과 상기 전방 휠들을 회전시키기 위한 전방 모터를 포함하는 전방 구동 유닛 및 상기 이송 레일 상에 배치되는 후방 휠들과 상기 후방 휠들을 회전시키기 위한 후방 모터를 포함하는 후방 구동 유닛을 포함할 수 있다.
호이스트 모듈은 자재, 예를 들면, 반도체 웨이퍼들의 이송을 위한 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기를 핸들링하기 위한 핸드 유닛과 승강 벨트를 이용하여 상기 핸드 유닛을 승강시키기 위한 호이스트 유닛을 포함할 수 있다.
이송 장치가 이송 레일 상에서 이동하도록 구성된 경우, 이송 장치가 이동할 수 있는 경로가 한정되어 있어, 복수의 이송 장치간의 경로를 판별하는 것이 필요할 수 있다.
본 개시는 복수의 이송 장치 각각의 경로를 결정할 수 있는 이송 장치의 동작 제어 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
상술한 과제를 해결하기 위해, 본 개시의 기술적 사상은 복수의 이송 장치 각각의 정보를 수신받는 단계; 상기 복수의 이송 장치 각각의 상태를 기준으로 상기 복수의 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 단계; 및 상기 복수의 이송 장치 각각의 상태가 동일한 경우, 상기 복수의 이송 장치 각각의 목적물 또는 목적지를 기준으로 상기 복수의 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법을 제공한다.
상기 복수의 이송 장치는 배송(deliver), 반송(retrieve) 및 유휴(idle) 중 하나의 상태를 가지며, 상기 이송 장치가 배송 상태 또는 상기 반송 상태인 경우, 상기 이송 장치가 유휴 상태인 경우보다 높은 우선 순위를 가질 수 있다.
상기 목적물을 포함하는 상기 이송 장치는 배송 상태 또는 반송 상태를 가지고, 상기 목적물을 포함하지 않는 상기 이송 장치는 상기 유휴 상태를 가질 수 있다.
상기 복수의 이송 장치 중, 상기 유휴 상태를 가지는 이송 장치는, 우회 경로를 배정될 수 있다.
상기 목적물의 대기 시간이 길수록, 또는 상기 목적물의 중요도가 높을수록, 상기 목적물을 포함하는 상기 이송 장치의 우선 순위가 상승할 수 있다.
상기 목적지는 제조 설비 및 저장 장치를 포함하고, 상기 이송 장치의 목적지가 제조 설비인 경우, 상기 이송 장치의 목적지가 저장 장치인 경우보다 높은 우선 순위를 가질 수 있다.
상기 복수의 이송 장치 각각의 경로를 탐색하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
상기 경로의 길이가 짧을 수록, 또는 상기 경로 상에 배치되는 유휴 상기 이송 장치의 수가 작을수록, 상기 경로의 우선 순위가 상승하고, 상기 이송 장치의 우선 순위가 높을수록, 상기 높은 순위의 상기 경로가 배정될 수 있다.
상기 복수의 이송 장치는 이송 레일 상을 따라 이동할 수 있다.
상기 복수의 이송 장치는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, OHS(Overhead Head Shuttle) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치 및 AGV(Automatic Guided Vehicle) 장치 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상술한 과제를 해결하기 위해, 본 개시의 기술적 사상은 복수의 이송 장치 각각의 정보를 수신받는 단계; 상기 복수의 이송 장치 각각의 상태를 기준으로 상기 복수의 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 단계; 상기 복수의 이송 장치 각각의 상태가 동일한 경우, 상기 복수의 이송 장치 각각의 목적물 또는 목적지를 기준으로 상기 복수의 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 단계; 및 상기 복수의 이송 장치 각각의 경로를 탐색하는 단계;를 포함하고, 상기 이송 장치가 배송 상태 또는 상기 반송 상태인 경우, 상기 이송 장치가 유휴 상태인 경우보다 높은 우선 순위를 가지며, 상기 목적물의 대기 시간이 길수록, 또는 상기 목적물의 중요도가 높을수록, 상기 목적물을 포함하는 상기 이송 장치의 우선 순위가 상승하고, 상기 이송 장치의 목적지가 제조 설비인 경우, 상기 이송 장치의 목적지가 저장 장치인 경우보다 높은 우선 순위를 가지며, 상기 경로의 길이가 짧을 수록, 또는 상기 경로 상에 배치되는 유휴 상태의 상기 이송 장치의 수가 작을수록, 상기 경로의 우선 순위가 상승하고, 상기 복수의 이송 장치 중 최우선순위를 갖는 이송 장치는 가장 높은 순위의 상기 경로가 배정되며, 상기 유휴 상태의 상기 이송 장치는, 상기 배송 상태 또는 상기 반송 상태의 상기 이송 장치의 상기 경로 상에서 회피하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법을 제공한다.
본 개시의 기술적 사상은, 이송 장치의 상태에 따라 이송 장치의 경로를 결정함으로써, 상대적으로 중요한 공정을 먼저 처리할 수 있어, 공정 효율을 향상시킬 수 있는 이송 장치의 동작 제어 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 개시의 기술적 사상은, 최적 경로에 배치되는 유휴 이송 장치를 상기 최적 경로에서 제외시켜, 공정 효율을 향상시킬 수 있는 이송 장치의 동작 제어 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
도 1는 본 개시의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 본 개시의 일 실시예에 따른 물류 이송 자동화 시스템의 개략적인 구성을 나타내는 구성도이다.
도 3은 본 개시의 일 실시예에 따른 제조 공장 내 물품 이송 시스템의 구성도이다.
도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 이송 장치의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 5는 본 개시의 일 실시예에 따른, 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 방법을 설명하는 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이 다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1는 본 개시의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다. 도 2는 본 개시의 일 실시예에 따른 물류 이송 자동화 시스템의 개략적인 구성을 나타내는 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 이송 장치 동작 제어 시스템(1)은 MCS(Material Control System, 10) 및 OCS(20)를 포함할 수 있다. 이송 장치 동작 제어 시스템(1)은 복수의 이송 장치(100) 각각의 경로를 제어하도록 구성될 수 있다.
이송 장치(100)는 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에서 반도체 웨이퍼 및 인쇄회로기판 등과 같은 자재(150)를 이송하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(100)는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, OHS(Overhead Head Shuttle) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치 및/또는 AGV(Automatic Guided Vehicle) 장치일 수 있으며, 반도체 웨이퍼들의 수납을 위한 전방 개방 통합 포드(Front Opening Unified Pod; FOUP), 전방 개방 배송 박스(Front Opening Shipping Box; FOSB)와 같은 용기의 이송을 위해 사용될 수 있다.
전방 개방 통합 포드 및/또는 전방 개방 배송 박스는 반도체 웨이퍼가 수입되거나 수출될 수 있는 개방부 및 반도체 웨이퍼가 로딩되도록 구성된 로딩부를 포함하는 캐리어일 수 있다. 일 실시예에서, 개방부는 생략될 수 있다. 전방 개방 통합 포드 및/또는 전방 개방 배송 박스는 로딩된 반도체 웨이퍼를 오염으로부터 보호하고 안전하게 고정할 수 있다. 전방 개방 통합 포드 및/또는 전방 개방 배송 박스는 예컨대, 반도체 웨이퍼의 세정, 적재, 보관 및 이송 등의 반도체 소자 제조의 물류 자동화에 사용될 수 있다.
여기서 반도체 웨이퍼의 직경은 약 300mm일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 반도체 웨이퍼의 직경은, 예컨대, 약 150mm, 약 200mm 또는 약 450mm 이거나, 그 이상일 수도 있다. 반도체 웨이퍼는 예컨대, 반도체 소자를 제조하기 위한 실리콘 기판일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 반도체 웨이퍼는 SiC 기판, GaAs 기판, GaN 기판 및 사파이어 기판 중 어느 하나일 수도 있다.
이하에서, 이송 장치(100)가 OHT 장치인 경우를 예시적으로 서술한다.
상기 이송 장치(100)는 상기 클린룸 내에서 기 설정된 경로를 따라 연장하는 이송 레일(102)과 이송 레일(102) 상에서 이동 가능하게 구성되는 이송 차량(104)을 포함할 수 있다. 이송 차량(104)은 이송 레일(102) 상에서 이동 가능하게 구성되는 구동 모듈(110)과 구동 모듈(110)의 하부에 연결되며 자재(150)의 승강을 위한 호이스트 모듈(140)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 이송 장치(100)는 상기 기 설정된 경로를 따라 서로 평행하게 연장하는 제1 이송 레일과 제2 이송 레일을 포함할 수 있으며, 상기 구동 모듈(110)은, 상기 제1 및 제2 이송 레일들 상에 각각 배치되는 전방 휠들(122)을 포함하는 전방 구동 유닛(120)과, 상기 제1 및 제2 이송 레일들 상에 각각 배치되는 후방 휠들(132)을 포함하는 후방 구동 유닛(130)을 포함할 수 있다.
전방 구동 유닛(120)은 전방 휠들(122)을 회전시키기 위한 전방 모터(124)를 포함할 수 있다. 후방 구동 유닛(130)은 상기 후방 휠들(132)을 회전시키기 위한 후방 모터(134)를 포함할 수 있다.
상기 호이스트 모듈(140)은 전방 및 후방 구동 유닛들(120, 130)의 하부에 연결되며 자재(150)를 수납하기 위한 내부 공간을 갖는 하우징(142)과, 상기 하우징(142) 내에 장착되며 자재(150)의 승강을 위한 호이스트 유닛(144) 및 구동 모듈(110)의 전후 방향에 대하여 수직하는 좌우 방향으로 호이스트 유닛 (144)을 이동시키기 위한 슬라이드 유닛(148)을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 유닛(144)은 자재(150)를 파지하기 위한 핸드 유닛(146)을 포함할 수 있으며 승강 벨트(미도시)를 이용하여 상기 핸드 유닛(146)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
이송 장치(100)는 천장에 설치된 이송 레일(102)을 주행하며 이송작업명령을 지령하는 OCS(OHT Control System, 20)와 무선 통신 방식으로 인터페이스된다. OCS(20)는 MCS(10)로부터 작업 공정에 따른 이송에 관한 명령을 전달받으며, MCS(10)의 명령에 따라 이송 장치(100)에게 최단시간에 이송작업을 완료할 수 있도록 하기 위해 출발지에서 목적지까지의 최단경로를 탐색하고 이송작업을 수행하기 적합한 최적의 위치에 있는 이송 장치(100)를 선정하여 이송명령을 지령한다. 그리고 OCS(20)의 이송명령에 따라 선정된 이송 장치(100)는 OCS(20)가 지령하는 임의의 포트(port)에서 목적지 포트(port)로 물류를 이송할 수 있다. 이송 레일(102) 상에는 수십대 내지 수백대의 이송 장치(100) 대차가 이송 명령에 따라 주행 중에 있어, 복수의 이송 장치(100) 간의 우선순위를 결정할 필요가 있다.
MCS(10) 및/또는 OCS(20)는 하드웨어, 펌웨어, 소프트웨어, 또는 이들의 임의의 조합으로 구현될 수 있다. 예를 들어, MCS(10) 및/또는 OCS(20)는 워크 스테이션 컴퓨터, 데스크탑 컴퓨터, 랩 탑 컴퓨터, 태블릿 컴퓨터 등의 컴퓨팅 장치일 수 있다. 예를 들어, MCS(10) 및/또는 OCS(20)는 ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등의 메모리 장치와, 소정의 연산 및 알고리즘을 수행하도록 구성된 프로세서, 예를 들어 마이크로 프로세서, CPU(Central Processing Unit), GPU(Graphics Processing Unit) 등을 포함할 수 있다. 또한, MCS(10) 및/또는 OCS(20)는 전기적 신호를 수신 및 송신하기 위한 수신기 및 전송기를 포함할 수 있다.
도 3은 본 개시의 일 실시예에 따른 제조 공장 내 물품 이송 시스템의 구성도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 반도체 또는 디스플레이 제조 라인은 하나 또는 그 이상의 클린룸으로 구성되며, 각 클린룸에 제조 공정을 수행하기 위한 제조 설비(200)들이 설치될 수 있다. 일반적으로, 기판에 복수의 제조 공정들이 반복 수행됨으로써 최종적으로 처리된 기판이 완성될 수 있는데, 특정 반도체 제조 설비(200)에서 제조 공정이 완료되면, 다음 제조 공정을 위한 제조 설비(200)로 반도체 웨이퍼가 반송된다. 여기서 반도체 웨이퍼는 복수의 반도체 웨이퍼를 수용할 수 있는 웨이퍼 캐리어에 보관된 상태로 반송될 수 있다. 복수의 반도체 웨이퍼를 수용한 전방 개방 통합 포드는 이송 장치(100)에 의해 반송될 수 있다.
반도체 또는 디스플레이 제조 라인에는 공정을 수행하기 위한 복수의 제조 설비(200)가 설치되고, 복수의 제조 설비(200) 간에 물품을 반송하기 위한 반송 경로를 형성하는 이송 레일(102)과 이송 레일(102)을 주행하면서 복수의 제조 설비(200)로 물품을 반송하는 복수의 이송 장치(100)가 제공될 수 있다. 이때, 이송 장치(100)는 이송 레일(102)을 따라 형성된 급전 유닛(예를 들어, 전원 공급 케이블)을 통해 구동 전원을 공급받을 수 있다.
이송 장치(100)가 복수의 제조 설비(200) 사이에서 물품을 반송할 때, 물품은 곧바로 특정 제조 설비(200)에서 다른 제조 설비(200)로 반송될 수도 있고, 물품이 저장 장치에 저장된 이후 다른 제조 설비(200)로 반송될 수 있다. 이송 레일(102)의 일측에는 저장 장치(예를 들어, 웨이퍼 보관 장치(300))가 설치될 수 있다.
도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 이송 장치의 동작 제어 방법을 설명하는 순서도이다. 도 5는 본 개시의 일 실시예에 따른, 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 방법을 설명하는 순서도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, OCS(20)는 복수의 이송 장치(100) 각각의 정보를 수신할 수 있다(S100). 예를 들어, OCS(20)는 복수의 이송 장치(100) 각각의 상태, 목적지 및/또는 목적물의 정보를 수신할 수 있다. 예를 들어, OCS(20)는 MCS(10)로부터 복수의 이송 장치(100) 각각의 상태, 목적지 및/또는 목적물의 정보를 수신할 수 있다. 여기서, 목적물 정보는, 목적물의 유무 및/또는 목적물의 종류를 포함할 수 있다.
이어서, OCS(20)는 이송 장치(100)의 상태에 따라, 이송 장치(100) 각각의 우선 순위를 판별할 수 있다(S200). 예를 들어, 이송 장치(100)는 배송(deliver), 반송(retrieve) 및/또는 유휴(idle) 상태를 가질 수 있다. 예를 들어, 이송 장치(100)는 목적물을 탑재한 온 듀티(on duty) 상태 및/또는 목적물을 탑재하지 않은 오프 듀티(off duty) 상태를 가질 수 있다.
예를 들어, OCS(20)는 이송 장치(100)가 목적물을 운반하는지 여부를 판단할 수 있다(S210). 예를 들어, OCS(20)는 이송 장치(100)가 목적물을 운반하는 경우, 상대적으로 높은 우선 순위를 부여할 수 있다. 또한, OCS(20)는 이송 장치(100)가 목적물을 운반하지 않는 경우, 상대적으로 낮은 우선 순위를 부여할 수 있다. OCS(20)는 가장 높은 우선 순위를 가지는 이송 장치(100)가 최단 경로를 통해 이동할 수 있도록, 이송 장치(100)를 제어할 수 있다. 본 개시의 일 실시예에 따르면, OCS(20)는 목적물을 운반하지 않는 이송 장치(100)가 우회 경로를 배정받도록 제어할 수 있다(S250). 예를 들어, 이송 장치(100)의 목적물은 전방 개방 통합 포드 및/또는 각종 감지 장치를 포함할 수 있다.
이송 장치(100)가 목적물을 운반하는 경우, 이송 장치(100)는 배송 상태 및/또는 반송 상태에 있을 수 있다. 반대로, 이송 장치(100)가 목적물을 운반하지 않는 경우, 이송 장치(100)는 유휴 상태에 있을 수 있다. 이송 장치(100)가 반도체 공정이 이루어지는 프로세스 챔버를 향해 이동하는 경우, 이송 장치(100)는 배송 상태에 있을 수 있다. 또한, 이송 장치(100)가 웨이퍼 저장 장치를 향해 이동하는 경우, 이송 장치(100)는 반송 상태에 있을 수 있다. 웨이퍼 저장 장치는 웨이퍼 캐리어, 예를 들어, 전방 개방 통합 포드를 보관할 수 있다.
이어서, OCS(20)는 이송 장치(100)의 목적물 및/또는 목적지를 기준으로 복수의 이송 장치(100) 각각의 우선 순위를 판별할 수 있다(S300). 예를 들어, OCS(20)는 이송 장치(100)의 상태가 동일한 경우, 이송 장치(100)의 목적물 및/또는 목적지를 기준으로 복수의 이송 장치(100) 각각의 우선 순위를 판별할 수 있다. 예를 들어, OCS(20)는 목적물을 탑재한 이송 장치(100) 각각의 상태는 동일하다고 판단할 수 있다. 또한, OCS(20)는 목적물을 탑재하지 않은 이송 장치(100) 각각의 상태는 동일하다고 판단할 수 있다.
예를 들어, OCS(20)는 이송 장치(100)가 최우선 목적물(예를 들어, hot lot)을 운반하는 경우, 상기 이송 장치(100)의 우선 순위를 높일 수 있다. 목적물의 대기 시간이 길수록 및/또는 목적물의 중요도가 높을수록 목적물의 우선 순위가 상승할 수 있다.
예를 들어, OCS(20)는 이송 장치(100)의 목적지가 반도체 공정이 이루어지는 플라즈마 챔버인 경우에는, 이송 장치(100)의 목적지가 웨이퍼 저장 장치인 경우보다 높은 우선 순위를 갖도록 제어할 수 있다. 또한, OCS(20)는 이송 장치(100)의 목적지인 반도체 공정의 종류에 따라, 이송 장치(100)의 우선 순위를 상이하게 부여할 수 있다.
이어서, OCS(20)는 복수의 이송 장치(100) 각각의 경로를 탐색할 수 있다(S400). OCS(20)는 이송 장치(100)의 경로의 길이 및/또는 경로 상에 배치되는 유휴 이송 장치(100)의 수에 따라 복수의 경로의 우선 순위를 부여할 수 있다. OCS(20)는 이송 장치(100)의 경로가 짧을수록 및/또는 경로 상에 배치되는 유휴 이송 장치(100)의 수가 작을수록, 상기 경로의 우선 순위가 높을 수 있다.
예를 들어, 경로 상에 배치되는 유휴 이송 장치(100)의 수가 동일한 경우를 상정한다. OCS(20)는 최우선 순위를 부여받은 이송 장치(100)가 최단 경로로 이동할 수 있도록, 복수의 이송 장치(100)를 제어할 수 있다. 또한, OCS(20)는 차 순위를 부여받은 이송 장치(100)가 최우선 순위를 부여받은 이송 장치(100)의 경로를 방해하지 않는 범위 내에서 최단 경로로 이동할 수 있도록 이송 장치(100)를 제어할 수 있다. 즉, OCS(20)는, 해당 이송 장치(100)보다 높은 우선 순위를 가지는 이송 장치(100)의 경로를 방해하지 않는 범위 내에서, 상기 이송 장치(100)가 최단 경로로 이동할 수 있도록 복수의 이송 장치(100)를 제어할 수 있다.
또한, OCS(20)는 목적물을 운반하는 이송 장치(100)의 경로를 방해하지 않기 위하여, 목적물을 운반하지 않는 이송 장치(100)를 목적물을 운반하는 이송 장치(100)의 경로 상에서 회피시킬 수 있다. OCS(20)는 목적물을 운반하지 않는 이송 장치(100)를 회피시키는 경우, 이송량이 적은 이송 레일(102) 상으로 이송 장치(100)를 회피시킬 수 있다.
예를 들어, OCS(20)는 목적물을 운반하는 이송 장치(100)의 경로 상에 배치된 유휴 상태에 있는 이송 장치(100)를 목적물을 운반하는 이송 장치(100)의 경로 상에서 회피시킬 수 있다. OCS(20)는 유휴 상태에 있는 이송 장치(100)를 회피시키는 경우, 이송량이 적은 이송 레일(102) 상으로 이송 장치(100)를 회피시킬 수 있다.
일반적인 OCS는 복수의 이송 장치 간의 우선 순위를 부여하지 않고, 각각의 이송 장치가 최단 경로로 주행하도록 이송 장치를 제어한다. 따라서, 복수의 이송 장치간의 병목 현상이 발생하고, 반도체 공정 진행의 효율이 감소하였다.
반면에, 본 실시예의 이송 장치 동작 제어 시스템(1)은 OCS(20)가 복수의 이송 장치(100)간의 우선 순위를 판별하여, 우선 순위가 더 높은 이송 장치(100)가 더 짧은 경로로 주행하도록 이송 장치(100)를 제어할 수 있다. 따라서, 복수의 이송 장치(100) 간의 병목 현상이 감소하고, 반도체 공정 진행의 효율이 증가할 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1: 이송 장치 동작 제어 시스템 10: MCS
20: OCS 100: 이송 장치
102: 이송 레일

Claims (10)

  1. 복수의 이송 장치 각각의 정보를 수신받는 단계;
    상기 복수의 이송 장치 각각의 상태를 기준으로 상기 복수의 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 단계; 및
    기 복수의 이송 장치 각각의 상태가 동일한 경우, 상기 복수의 이송 장치 각각의 목적물 또는 목적지를 기준으로 상기 복수의 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 이송 장치는 배송(deliver), 반송(retrieve) 및 유휴(idle) 중 하나의 상태를 가지며,
    상기 이송 장치가 배송 상태 또는 상기 반송 상태인 경우, 상기 이송 장치가 유휴 상태인 경우보다 높은 우선 순위를 가지는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 목적물을 포함하는 상기 이송 장치는 배송 상태 또는 반송 상태를 가지고,
    상기 목적물을 포함하지 않는 상기 이송 장치는 상기 유휴 상태를 가지는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 복수의 이송 장치 중, 상기 유휴 상태를 가지는 이송 장치는, 우회 경로를 배정받는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 목적물의 대기 시간이 길수록, 또는 상기 목적물의 중요도가 높을수록,
    상기 목적물을 포함하는 상기 이송 장치의 우선 순위가 상승하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 목적지는 제조 설비 및 저장 장치를 포함하고,
    상기 이송 장치의 목적지가 제조 설비인 경우, 상기 이송 장치의 목적지가 저장 장치인 경우보다 높은 우선 순위를 가지는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 이송 장치 각각의 경로를 탐색하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 경로의 길이가 짧을 수록, 또는 상기 경로 상에 배치되는 유휴 상기 이송 장치의 수가 작을수록,
    상기 경로의 우선 순위가 상승하고,
    상기 이송 장치의 우선 순위가 높을수록, 상기 높은 순위의 상기 경로가 배정되는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 이송 장치는 이송 레일 상을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  10. 복수의 이송 장치 각각의 정보를 수신받는 단계;
    상기 복수의 이송 장치 각각의 상태를 기준으로 상기 복수의 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 단계;
    상기 복수의 이송 장치 각각의 상태가 동일한 경우, 상기 복수의 이송 장치 각각의 목적물 또는 목적지를 기준으로 상기 복수의 이송 장치 각각의 우선 순위를 판별하는 단계; 및
    상기 복수의 이송 장치 각각의 경로를 탐색하는 단계;를 포함하고,
    상기 이송 장치가 배송 상태 또는 상기 반송 상태인 경우, 상기 이송 장치가 유휴 상태인 경우보다 높은 우선 순위를 가지며,
    상기 목적물의 대기 시간이 길수록, 또는 상기 목적물의 중요도가 높을수록, 상기 목적물을 포함하는 상기 이송 장치의 우선 순위가 상승하고,
    상기 이송 장치의 목적지가 제조 설비인 경우, 상기 이송 장치의 목적지가 저장 장치인 경우보다 높은 우선 순위를 가지며,
    상기 경로의 길이가 짧을 수록, 또는 상기 경로 상에 배치되는 유휴 상태의 상기 이송 장치의 수가 작을수록, 상기 경로의 우선 순위가 상승하고,
    상기 복수의 이송 장치 중 최우선순위를 갖는 이송 장치는 가장 높은 순위의 상기 경로가 배정되며,
    상기 유휴 상태의 상기 이송 장치는,
    상기 배송 상태 또는 상기 반송 상태의 상기 이송 장치의 상기 경로 상에서 회피하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
KR1020220156688A 2022-11-21 2022-11-21 이송 장치의 동작 제어 방법 KR20240074525A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220156688A KR20240074525A (ko) 2022-11-21 2022-11-21 이송 장치의 동작 제어 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220156688A KR20240074525A (ko) 2022-11-21 2022-11-21 이송 장치의 동작 제어 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20240074525A true KR20240074525A (ko) 2024-05-28

Family

ID=91277382

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220156688A KR20240074525A (ko) 2022-11-21 2022-11-21 이송 장치의 동작 제어 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20240074525A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9659801B2 (en) High efficiency buffer stocker
US11978652B2 (en) Automatic handling buffer for bare stocker
US9299597B2 (en) Scalable stockers with automatic handling buffer
JP6256706B2 (ja) マテリアル取扱システム
JP6229729B2 (ja) 保管庫
US20080240892A1 (en) Storage buffer device for automated material handling systems
KR20080089666A (ko) 단일 트랙 위치로부터 오버헤드 호이스트 수송 차량에 의한하나 이상의 재료 저장 선반 레벨로의 접근
WO2011083525A1 (ja) 搬送車システム
US9576834B2 (en) Stocker and method for dispatching wafer carrier in stocker
EP1845552A1 (en) Transportation system and transportation method
KR20240074525A (ko) 이송 장치의 동작 제어 방법
US20210057250A1 (en) Conveyance system
KR102397848B1 (ko) 스토커, 이를 포함하는 이송 시스템
KR101702901B1 (ko) 베어 스토커용 자동 취급 버퍼
CN108538769B (zh) 传输系统与方法
KR20230034457A (ko) 기판 처리 시스템