KR20210121589A - 타워 리프트, 타워 리프트 구동 방법 및 기계 판독 가능 매체 - Google Patents

타워 리프트, 타워 리프트 구동 방법 및 기계 판독 가능 매체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 타워 리프트를 제공한다. 타워 리프트는, 수직 방향으로 연장되는 레일 모듈; 상기 레일 모듈을 따라 이동 가능하게 구성되고, 물품을 반송하는 캐리지를 가지는 복수의 캐리지 모듈; 및 상기 레일 모듈을 따라 이동되는 상기 캐리지 모듈들 간에 이동 간섭을 회피 할 수 있도록 구성되는 간섭 회피 모듈을 포함할 수 있다.

Description

타워 리프트, 타워 리프트 구동 방법 및 기계 판독 가능 매체{Tower Lift, Driving Method for tower lift and Machine readable medium}
본 발명은 타워 리프트, 타워 리프트 구동 방법 및 기계 판독 가능 매체에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 복층의 건물 내에서 수직 방향으로 물품을 운반하기 위한 타워 리프트, 타워 리프트 구동 방법 및 기계 판독 가능 매체에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 또는 디스플레이 제조 공장의 제조 라인은 복층으로 구성된다. 반도체 제조 라인의 각 층들에는 증착, 노광, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정을 수행하기 위한 설비들이 배치될 수 있다. 각 층에 배치되는 설비들은 반도체 기판으로서 사용되는 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 기판으로서 사용되는 유리 기판에 대하여 일련의 단위 공정들을 반복적으로 수행될 수 있다.
한편, 반도체 제조 라인의 각 층들 사이에서의 물품 이송, 즉 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 물품들의 이송은 각 층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다.
일반적인 타워 리프트는 물품 이송을 위한 캐리지 모듈과, 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하기 위한 레일 모듈을 가진다. 레일 모듈에는 캐리지 모듈을 승강시키기 위한 타이밍 벨트와 같은 구동 벨트가 설치된다. 타이밍 벨트는 캐리지 모듈과 결합되어 캐리지 모듈을 상하 방향으로 이동시킨다. 그러나, 이러한 일반적인 타워 리프트에서 타이밍 벨트가 구동되면 파티클이 발생될 수 있다. 예컨대, 타이밍 벨트는 풀리(Pulley)와 마찰되어 구동되는데, 타이밍 벨트와 풀리가 서로 마찰되면서 파티클이 발생될 수 있다.
또한, 일반적인 타워 리프트에서는 하나의 타이밍 벨트에 하나의 캐리지 모듈이 결합된다. 타이밍 벨트에 복수의 캐리지 모듈이 결합되면, 타이밍 벨트의 구동으로 복수의 캐리지 모듈은 모두 같은 방향으로 승/하강 되기 때문에 캐리지 모듈 서로 간에 독립적인 이동 제어가 어렵기 때문이다. 이와 같이 하나의 캐리지 모듈이 제공되는 일반적인 타워 리프트의 경우, 물품 반송이 하나의 캐리지 모듈에 의해 이루어지기 때문에 각 층들 간의 물품 반송 효율이 낮다.
본 발명은 물품 반송시 발생될 수 있는 파티클을 최소화 할 수 있는 타워 리프트, 타워 리프트 구동 방법 및 기계 판독 가능 매체를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 서로 독립적으로 이동 가능한 복수의 캐리지 모듈을 운용할 수 있는 타워 리프트, 타워 리프트 구동 방법 및 기계 판독 가능 매체를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 복수의 캐리지 모듈이 운용되는 경우, 복수의 캐리지 모듈 간의 이동 간섭을 회피할 수 있는 타워 리프트, 타워 리프트 구동 방법 및 기계 판독 가능 매체를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 타워 리프트를 제공한다. 타워 리프트는, 수직 방향으로 연장되는 레일 모듈; 상기 레일 모듈을 따라 이동 가능하게 구성되고, 물품을 반송하는 캐리지를 가지는 복수의 캐리지 모듈; 및 상기 레일 모듈을 따라 이동되는 상기 캐리지 모듈들 간에 이동 간섭을 회피 할 수 있도록 구성되는 간섭 회피 모듈을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 캐리지 모듈은, 자기 부상 방식으로 상기 레일 모듈을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 간섭 회피 모듈은, 상기 레일 모듈과 조합 가능한 형상을 가지는 복수의 레일 부; 상기 레일 부들이 설치되는 바디; 및 상기 바디를 수평 방향으로 이동시키는 구동 부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 레일 부들은, 그 길이 방향이 상기 수직 방향이고, 상기 수평 방향을 따라 서로 이격되어 상기 바디에 설치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 레일 모듈은, 적어도 둘 이상으로 분할되고, 상기 간섭 회피 모듈은, 분할된 상기 레일 모듈들 사이에 배치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 타워 리프트는, 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 캐리지 모듈들 중 어느 하나인 제1캐리지 모듈과 상기 캐리지 모듈들 중 다른 하나인 제2캐리지 모듈 사이에 이동 간섭이 발생이 예측되는 경우, 상기 제1캐리지 모듈과 상기 제2캐리지 모듈 중 어느 하나는 상기 레일 모듈과 조합되어 있는 상기 복수의 레일 부 중 어느 하나로 이동되고, 상기 바디가 수평 방향으로 이동되어 상기 복수의 레일 부 중 다른 하나가 상기 레일 모듈과 조합되도록 상기 구동 부, 그리고 상기 캐리지 모듈들을 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 복수의 레일 부 중 다른 하나가 상기 레일 모듈과 조합되면, 상기 제1캐리지 모듈과 상기 제2캐리지 모듈 중 다른 하나가 상기 복수의 레일 부 중 다른 하나를 따라 이동되고, 상기 바디가 수평 방향으로 이동되어 상기 복수의 레일 부 중 어느 하나가 상기 레일 모듈과 조합되도록 상기 구동 부, 그리고 상기 캐리지 모듈들을 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 레일 모듈은, 상기 수직 방향으로 연장되는 프레임; 및 상기 프레임에 설치되는 리니어 모터 코일을 포함하고, 상기 캐리지 모듈은, 상기 캐리지와 결합되고, 상기 리니어 모터 코일과의 상호 작용으로 상기 캐리지를 상기 수직 방향으로 이동시키는 리니어 모터 마그넷을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 리니어 모터 코일은, 복수로 제공되고, 상기 수직 방향을 따라 서로 이격되어 상기 프레임에 설치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 레일 모듈은, 상기 프레임에 설치되는 적어도 하나 이상의 가이드 레일을 더 포함하고, 상기 캐리지 모듈은, 상기 가이드 레일을 따라 이동되는 가이드 부를 더 포함하고, 상기 가이드 레일과 상기 가이드 부는 자기력에 의한 척력으로 서로 간에 이격될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 레일 모듈은, 전력 발신부를 더 포함하고, 상기 캐리지 모듈은, 상기 전력 발신부가 발신하는 전력을 수신하는 전력 수신부를 더 포함하고, 상기 전력 발신부는 상기 전력 수신부에 비접촉식으로 전력을 발신할 수 있다.
또한, 본 발명은 타워 리프트 구동 방법을 제공한다. 타워 리프트 구동 방법은, 수직 방향으로 연장되는 레일 모듈을 따라 물품이 수납된 용기를 반송하는 복수의 캐리지 모듈이 이동되되, 상기 캐리지 모듈들 중 어느 하나인 제1캐리지 모듈과 상기 캐리지 모듈들 중 다른 하나인 제2캐리지 모듈 사이에 이동 간섭이 발생될 것으로 예측되는 경우, 상기 제1캐리지 모듈과 상기 제2캐리지 모듈 중 어느 하나는 상기 레일 모듈과 조합 가능한 복수의 레일 부를 가지는 간섭 회피 모듈로 이동되고, 상기 레일 모듈과 조합되어 있던 상기 레일 부들 중 어느 하나의 위치는 변경되어 상기 제1캐리지 모듈과 상기 제2캐리지 모듈 중 어느 하나를 측 방향으로 이동시킬 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 레일 부들 중 어느 하나의 위치 변경이 완료되면, 상기 레일 부들 중 다른 하나는 상기 레일 모듈과 조합될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 레일 부들 중 다른 하나가 상기 레일 모듈과 조합되면, 제1캐리지 모듈과 상기 제2캐리지 모듈 중 다른 하나는 상기 레일 부들 중 다른 하나를 따라 상기 레일 모듈을 주행할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 캐리지 모듈들은, 자기 부상 방식으로 상기 레일 모듈을 주행할 수 있다.
또한, 본 발명은 기계 판독 가능 매체를 제공한다. 적어도 하나의 제어기에 의해 실행되는 프로그램을 저장한 기계 판독 가능 매체로서, 상기 프로그램은, 상기 타워 리프트 구동 방법을 구현하는 명령어들의 집합들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 물품 반송시 발생될 수 있는 파티클을 최소화 할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 서로 독립적으로 이동 가능한 복수의 캐리지 모듈을 운용할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 복수의 캐리지 모듈이 운용되는 경우, 복수의 캐리지 모듈 간의 이동 간섭을 회피할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트가 설치되는 반도체 제조 라인의 모습을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트의 레일 모듈, 그리고 캐리지 모듈을 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트의 레일 모듈, 그리고 캐리지 모듈을 보여주는 평단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트의 간섭 회피 모듈을 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트 구동 방법을 보여주는 플로우 차트이다.
도 6 내지 도 11은 도 5의 타워 리프트의 구동 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 타워 리프트의 레일 모듈, 그리고 간섭 회피 모듈을 보여주는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
본 실시 예에 따른 타워 리프트는 물품을 반송하는데 사용될 수 있다. 특히, 본 실시 예에 따른 타워 리프트는 물품이 수납된 용기를 반송할 수 있다. 물품은 웨이퍼, 유리 기판 또는 레티클(Reticle)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 파드(POD)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트가 설치되는 반도체 제조 라인의 모습을 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 반도체 제조 라인(10)은 복층 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 반도체 제조 라인(10)은 제1층(11), 제2층(12), 그리고 제3층(13)을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고, 반도체 제조 라인(10)이 가지는 복층 구조는 다양하게 변형될 수 있다.
반도체 제조 라인(10)에는 타워 리프트(100), 용기 저장부(200), 반송 레일(300), 그리고 반도체 제조 공정을 수행하는 반도체 제조 장치(미도시)들이 제공될 수 있다.
타워 리프트(100)는 반도체 제조 라인(10)의 각 층(11, 12, 13)들 간에 물품이 수납된 용기(F)를 반송할 수 있다. 타워 리프트(100)는 스테이지 모듈(120), 레일 모듈(140), 캐리지 모듈(160), 그리고 간섭 회피 모듈(180)을 포함할 수 있다.
스테이지 모듈(120)은 반도체 제조 라인(10)의 각 층(11, 12, 13)들 바닥에 설치될 수 있다. 스테이지 모듈(120)은 용기(F)를 용기 저장부(200)로 반송하는 반송 레일(300)과 결합될 수 있다. 타워 리프트(100)가 용기(F)를 각 층(11, 12, 13)으로 반송하면, 각 층(11, 12, 13)으로 반송된 용기는 반송 레일(300)에 의해 용기 저장부(200)로 반송될 수 있다.
레일 모듈(140)은 수직 방향으로 연장될 수 있다. 레일 모듈(140)은 반도체 제조 라인(10)의 적어도 두 개의 층들 사이에서 수직 방향으로 연장될 수 있다. 레일 모듈(140)은 후술하는 캐리지 모듈(160)의 이동을 가이드 할 수 있다. 또한, 레일 모듈(140)은 후술하는 캐리지 모듈(160)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
캐리지 모듈(160)은 레일 모듈(140)을 따라 이동 가능하게 구성될 수 있다. 예컨대, 캐리지 모듈(160)은 레일 모듈(140)을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 캐리지 모듈(160)은 물품을 반송하는 캐리지(162)를 가질 수 있다. 캐리지 모듈(160)은 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 캐리지 모듈(160)은 제1캐리지 모듈(160a), 그리고 제2캐리지 모듈(160b)을 포함할 수 있다. 도 1에서는 캐리지 모듈(160)이 2 개의 캐리지 모듈을 포함하는 것을 예로 들어 설명하였으나, 캐리지 모듈(160)의 숫자는 다양하게 변형될 수 있다.
캐리지 모듈(160)은 물품이 수납된 용기(F)가 안착되는 안착 선반을 가질 수 있다. 이와 달리, 캐리지 모듈(160)은 용기(F)를 파지하는 로봇을 가질 수도 있다. 캐리지 모듈(160)은 용기(F)를 이동시킬 수 있는 다양한 구조로 변형될 수 있다.
간섭 회피 모듈(180)은 레일 모듈(140)을 따라 이동되는 캐리지 모듈(160)들 간에 이동 간섭을 회피할 수 있도록 구성될 수 있다. 간섭 회피 모듈(180)은 적어도 하나 이상이 제공될 수 있다. 예컨대, 간섭 회피 모듈(180)은 반도체 제조 라인(10)의 각 층(11, 12, 13)들 마다 제공될 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 간섭 회피 모듈(180)은 각 층(11, 12, 13) 중 일부에 제공될 수도 있다. 또한, 간섭 회피 모듈(180)은 적어도 둘 이상으로 분할되는 레일 모듈(140)들 사이에 배치될 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 레일 모듈(140), 캐리지 모듈(160), 그리고 간섭 회피 모듈(180)에 대하여 상세히 설명한다. 또한, 상술한 제1캐리지 모듈(160a), 그리고 제2캐리지 모듈(160b)의 구조 및 기능은 서로 동일 또는 유사할 수 있다. 이하에서 설명하는 캐리지 모듈(160)의 구조 및 기능은 제1캐리지 모듈(160a), 그리고 제2캐리지 모듈(160b)에 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트의 레일 모듈, 그리고 캐리지 모듈을 보여주는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트의 레일 모듈, 그리고 캐리지 모듈을 보여주는 평단면도이다.
도 2와 도 3을 참조하면, 레일 모듈(140)은 프레임(142), 리니어 모터 코일(144), 가이드 레일(146), 그리고 전력 발신부(148)를 포함할 수 있다.
프레임(142)은 수직 방향을 따라 연장될 수 있다. 프레임(142)은 그 길이 방향이 수직 방향일 수 있다. 프레임(142)은 반도체 제조 라인(10)의 벽(W)에 고정 설치될 수 있다. 프레임(142)에는 후술하는 리니어 모터 코일(144), 가이드 레일(146), 그리고 전력 발신부(148)가 결합될 수 있다. 프레임(142)은 상부에서 바라볼 때 전체적으로 'H' 형상을 가질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니고 프레임(142)의 형상은 다양하게 변형될 수 있다.
리니어 모터 코일(144)은 후술하는 리니어 모터 마그넷(164)과의 상호 작용으로 캐리지(162)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 상호 작용은 리니어 모터 코일(144) 및/또는 리니어 모터 마그넷(164)이 발생하는 자기력에 의할 수 있다. 리니어 모터 코일(144)은 프레임(142)에 설치될 수 있다. 리니어 모터 코일(144)은 상부에서 바라볼 때, 캐리지 모듈(160)과 대향되는 프레임(142)의 면에 설치될 수 있다. 리니어 모터 코일(144)은 한 쌍으로 제공되고, 서로 간에 서로 이격되어 제공될 수 있다. 서로 간에 이격되는 한 쌍의 리니어 모터 코일(144) 사이에는 후술하는 리니어 모터 마그넷(164)이 삽입될 수 있다.
또한, 리니어 모터 코일(144)에는 전력 라인과 같은 인터페이스 라인(미도시)이 연결될 수 있다. 또한, 한 쌍의 리니어 모터 코일(144)은 복수로 제공될 수 있다. 복수로 제공되는 한 쌍의 리니어 모터 코일(144)들은 프레임(142)이 연장되는 수직 방향을 따라 서로 이격되어 프레임(142)에 설치될 수 있다.
가이드 레일(146)은 캐리지 모듈(160)의 자유도 중 일부를 구속할 수 있다. 가이드 레일(146)은 캐리지 모듈(160)의 수직 방향 이동의 자유도를 제외하고 나머지 자유도를 구속할 수 있다. 가이드 레일(146)은 후술하는 캐리지 모듈(160)이 가지는 가이드 부(166)와 자기력에 의한 척력으로 이격될 수 있다. 가이드 레일(146)에는 전력 라인과 같은 인터페이스 라인(미도시)이 연결될 수 있다. 또한, 가이드 레일(146)과 가이드 부(166) 중 어느 하나에는 갭 센서(미도시)가 제공되고, 갭 센서가 측정하는 측정 값에 근거하여 상기 자기력을 제어할 수 있다. 이에, 가이드 레일(146)과 가이드 부(166) 사이의 간격은 실질적으로 일정하게 제어될 수 있다.
가이드 레일(146)은 적어도 하나 이상 제공될 수 있다. 예컨대, 가이드 레일(146)은 복수로 제공될 수 있다. 가이드 레일(146)들 중 어느 하나는 프레임(142)의 일 면에 설치되고, 가이드 레일(146)들 중 다른 하나는 프레임(142)의 타 면에 설치될 수 있다. 예컨대, 가이드 레일(146)들 중 어느 하나는 프레임(142)의 일 측벽에 설치되고, 가이드 레일(146)들 중 다른 하나는 프레임(142)의 타 측벽에 설치될 수 있다. 또한, 가이드 레일(146)은 그 길이 방향이 프레임(142)의 길이 방향과 서로 동일할 수 있다.
전력 발신부(148)는 후술하는 캐리지 모듈(160)의 전력 수신부(168)로 전력을 발신할 수 있다. 예컨대, 전력 발신부(148)는 비접촉식으로 전력을 공급하는 무접촉전원공급장치(HID) 구성 중 어느 하나일 수 있다. 전력 발신부(148)는 프레임(142)에 설치될 수 있다. 전력 발신부(148)는 가이드 레일(146)이 설치되는 프레임(142) 면들 중 어느 하나에 설치될 수 있다. 예컨대, 전력 발신부(148)는 가이드 레일(146)이 설치되는 프레임(142)의 면들 중 일 측벽에 설치될 수 있다. 전력 발신부(148)에는 전력 라인과 같은 인터페이스 라인(미도시)이 연결될 수 있다.
캐리지 모듈(160)은 물품이 수납된 용기(F)를 반송할 수 있다. 캐리지 모듈(160)은 레일 모듈(140)을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 캐리지 모듈(160)은 레일 모듈(140)을 따라 수직 방향으로 이동되어 반도체 제조 라인(10)의 각 층(11, 12, 13)들에 물품이 수납된 용기(F)를 반송할 수 있다. 캐리지 모듈(160)은 캐리지(162), 리니어 모터 마그넷(164), 연결 바디(165a, 165b), 가이드 부(166), 그리고 전력 수신부(168)를 포함할 수 있다.
캐리지(162)는 물품이 수납된 용기(F)가 안착될 수 있는 안착 선반 형상을 가질 수 있다. 캐리지(162)에는 물품이 수납된 용기(F)를 파지하는 로봇(미도시)이 제공될 수 있다. 도 2에서는 캐리지(162)가 3 단의 선반 형상으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니고 캐리지(162)의 형상은 다양하게 변형될 수 있다.
캐리지(162)에는 리니어 모터 마그넷(164)이 결합될 수 있다. 리니어 모터 마그넷(164)은 상술한 리니어 모터 코일(144)과의 상호 작용으로 캐리지(162)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 상호 작용은 리니어 모터 코일(144) 및/또는 리니어 모터 마그넷(164)이 발생하는 자기력에 의할 수 있다.
또한, 리니어 모터 마그넷(164)은 한 쌍의 리니어 모터 코일(144) 사이에 삽입될 수 있다. 리니어 모터 마그넷(164)의 일부는 한 쌍의 리니어 모터 코일(144) 사이에 삽입될 수 있다. 예컨대, 리니어 모터 마그넷(164)은 상부에서 바라볼 때 전체적으로 'T' 형상을 가지고, 3 개의 단 중 어느 하나의 단이 리니어 모터 코일(144) 사이에 삽입될 수 있다.
연결 바디(165a, 165b)는 후술하는 가이드 부(166), 그리고 전력 수신부(168)를 캐리지(162)에 결합시킬 수 있다. 연결 바디(165a, 165b)는 제1연결 바디(165a), 그리고 제2연결 바디(165b)를 포함할 수 있다. 제1연결 바디(165a)와 제2연결 바디(165b)는 서로 상이한 형상을 가질 수 있다. 제2연결 바디(165b)는 가이드 부(166), 그리고 전력 수신부(168)를 캐리지(162)에 결합시킬 수 있다. 제1연결 바디(165a)는 가이드 부(166)를 캐리지(162)에 결합시킬 수 있다.
가이드 부(166)는 연결 바디(165a, 165b)에 의해 캐리지(162)에 결합될 수 있다. 이에, 캐리지(162)가 이동되면, 가이드 부(166)는 캐리지(162)와 함께 수직 방향을 따라 이동될 수 있다. 가이드 부(166)는 프레임(142)에 설치된 가이드 레일(146) 중 적어도 일부를 감싸는 형상을 가질 수 있다. 가이드 부(166)는 상부에서 바라볼 때, 'ㄷ' 형상을 가질 수 있다. 가이드 부(166)에는 가이드 레일(146)이 삽입될 수 있다. 이에, 가이드 부(166)는 가이드 레일(146)과 함께 캐리지 모듈(160)의 수직 방향 이동의 자유도를 제외하고 나머지 자유도를 구속할 수 있다. 또한, 가이드 레일(146)과 가이드 부(166) 중 어느 하나에는 갭 센서(미도시)가 제공되고, 갭 센서가 측정하는 측정 값에 근거하여 상기 자기력을 제어할 수 있다. 이에, 가이드 레일(146)과 가이드 부(166) 사이의 간격은 실질적으로 일정하게 제어될 수 있다.
전력 수신부(168)는 전력 발신부(148)에서 발신하는 전력을 수신할 수 있다. 또한, 전력 수신부(168)는 전력 발신부(148)와 대향되게 설치될 수 있다. 전력 수신부(168)는 비접촉식으로 전력을 공급하는 무접촉전원공급장치(HID) 구성 중 어느 하나일 수 있다. 제2연결 바디(165b)를 매개로 캐리지(162)와 결합될 수 있다. 이에, 전력 수신부(168)는 캐리지(162)가 이동되면, 캐리지(162)와 함께 수직 방향을 따라 이동될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 캐리지 모듈(160)은 리니어 모터 마그넷(164)을 포함하며, 리니어 모터 마그넷(164)은 리니어 모터 코일(144)과 상호 작용으로 캐리지(162)를 레일 모듈(140)을 따라 이동시킬 수 있다. 즉, 본 발명의 일 실시 예에 따른 캐리지 모듈(160)은 자기 부상 방식으로 레일 모듈(140)을 따라 이동할 수 있다. 일반적인 타워 리프트에서는 타이밍 벨트와 풀리의 마찰로 캐리지 모듈을 이동시키는데, 이 경우 파티클이 발생할 수 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시 예에 따른 캐리지 모듈(160)은 자기 부상 방식으로 레일 모듈(1400을 따라 이동할 수 있다. 이에, 파티클이 발생하는 문제를 최소화 할 수 있다.
또한, 캐리지 모듈(160)은 전력 수신부(168)를 포함하며, 전력 발신부(148)로부터 전력을 비접촉식으로 전달 받을 수 있다. 즉, 캐리지 모듈(160)을 구동하는데 필요한 전력을 비접촉식으로 전달 받을 수 있다. 또한, 본 발명은, 전력 라인의 연결이 필요한 리니어 모터 코일(144)이 프레임(142)에 설치되고, 전력 라인의 연결이 요구되지 않는 리니어 모터 마그넷(164)을 캐리지 모듈(160)이 포함할 수 있다. 즉, 전력 라인과 같은 인터페이스 라인들은 모두 레일 모듈(140)이 가지는 구성들에 연결되고, 캐리지 모듈(160)에는 인터페이스 라인들이 연결되지 않을 수 있다. 캐리지 모듈(160)에 인터페이스 라인들이 연결되는 경우, 연결된 인터페이스 라인들은 복수의 캐리지 모듈(160)의 운용을 방해하는 요소로 작용하는데, 본 발명의 일 실시 예에 따른 캐리지 모듈(160)에는 인터페이스 라인들이 연결되지 않아 복수의 캐리지 모듈(160)의 운용을 보다 용이하게 한다.
또한, 레일 모듈(140)이 가지는 한 쌍의 리니어 모터 코일(144)들은 복수로 제공되고, 프레임(142)의 길이 방향을 따라 서로 이격되어 프레임(142)에 설치될 수 있다. 이에, 제어기(C)는 복수의 리니어 모터 코일(144)들 중 선택된 리니어 모터 코일(144)에 전달되는 전류를 변화시켜, 캐리지 모듈(160)들을 서로 독립적으로 이동 가능하게 제어할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트의 간섭 회피 모듈을 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 간섭 회피 모듈(180)은 분할된 레일 모듈(140)들 사이에 설치될 수 있다. 간섭 회피 모듈(180)은 반도체 제조 라인(10)의 벽(W)에 설치될 수 있다. 간섭 회피 모듈(180)은 레일 모듈(140)을 따라 주행하는 복수의 캐리지 모듈(160) 간에 이동 간섭이 발생되면, 이를 회피시킬 수 있다.
간섭 회피 모듈(180)은 바디(182), 레일 부(184, 185), 그리고 구동 부(188)를 포함할 수 있다.
바디(182)는 구동 부(188)로부터 동력을 전달 받아 이동될 수 있다. 예컨대, 구동 부(188)는 바디(182)에 동력을 전달하여 바디(182)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 구동 부(188)는 구동기(미도시), 그리고 리니어 레일을 포함할 수 있다. 또한, 바디(182)에는 레일 부(184, 185)가 설치될 수 있다.
레일 부(184, 185)는 복수로 제공될 수 있다. 복수의 레일 부(184, 185)들은 수평 방향을 따라 바디(182)에 서로 이격되어 설치될 수 있다. 예컨대, 레일 부(184, 185)는 제1레일 부(184), 그리고 제2레일 부(185)를 포함할 수 있다. 레일 부(184, 185)들의 길이 방향은 레일 모듈(140)의 길이 방향과 서로 일치할 수 있다. 예컨대, 레일 부(184, 185)들은 그 길이 방향이 수직 방향과 일치할 수 있다. 레일 부(184, 185)들은 레일 모듈(140)과 서로 조합 가능한 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 제1레일 부(184)가 적어도 둘 이상으로 분할되는 레일 모듈(140)들 사이에 위치되는 경우, 제1레일 부(184)는 캐리지 모듈(160)이 주행하는 주행 경로 중 일부를 형성할 수 있다. 이와 유사하게, 제2레일 부(184)가 적어도 둘 이상으로 분할되는 레일 모듈(140)들 사이에 위치되는 경우, 제2레일 부(184)는 캐리지 모듈(160)이 주행하는 주행 경로 중 일부를 형성할 수 있다. 또한, 레일 부(184, 185)들은 상술한 레일 모듈(140)과 동일 또는 유사한 기능을 수행할 수 있도록, 레일 모듈(140)과 동일 또는 유사한 구성들을 포함할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트(100)의 구동 방법에 대하여 상세히 설명한다. 또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트(100)는 제어기(C)를 포함할 수 있고, 제어기(C)는 타워 리프트(100)가 가지는 구성들의 동작을 제어할 수 있다. 예컨대, 이하에서 설명하는 타워 리프트(100)의 구동 방법을 수행할 수 있도록 제어기(C)는 타워 리프트(100)가 가지는 구성들의 동작을 제어할 수 있다. 또한, 이하에서 설명하는 타워 리프트(100)의 구동 방법은, 적어도 하나의 제어기(C)에 의해 실행되는 프로그램에 저장될 수 있다. 즉, 프로그램은 이하에서 설명하는 타워 리프트(100)의 구동 방법을 구현하는 명령어들의 집합들을 포함할 수 있다. 또한, 상기 프로그램은 기계 판독 가능 매체에 저장될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트 구동 방법을 보여주는 플로우 차트이고, 도 6 내지 도 11은 도 5의 타워 리프트의 구동 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트 구동 방법은 타워 리프트(100)가 복수의 캐리지 모듈(160)을 운용하는 경우, 복수의 캐리지 모듈(160) 간의 이동 경로 간섭을 회피할 수 있게 한다.
예컨대, 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트 구동 방법은, 레일 모듈(140)을 따라 용기(F)를 반송하는 복수의 캐리지 모듈(160)들이 이동되는 경우, 캐리지 모듈(160)들 중 어느 하나인 제1캐리지 모듈(160a)과 캐리지 모듈(160)들 중 다른 하나인 제2캐리지 모듈(160b) 사이에 이동 간섭이 발생될 것인지를 예측할 수 있다(S10). 예컨대, 도 6에 도시된 바와 같이 제1캐리지 모듈(160a)의 이동 경로와 제2캐리지 모듈(160b)의 이동 경로가 서로 반대되는 방향을 향하는 경우 제어기(C)는 제1캐리지 모듈(160a)과 제2캐리지 모듈(160b) 사이에 이동 간섭이 발생될 것으로 판단 및 예측할 수 있다.
제어기(C)가 제1캐리지 모듈(160a)과 제2캐리지 모듈(160b) 간에 이동 간섭이 발생될 것으로 예측하는 경우, 제어기(C)는 제1캐리지 모듈(160a)과 제2캐리지 모듈(160b) 중 어느 하나를 간섭 회피 모듈(180)로 이동시킬 수 있다(S20). 예컨대, 도 7에 도시된 바와 같이 제어기(C)는 제1캐리지 모듈(160a)을 간섭 회피 모듈(180)이 가지는 제1레일 부(184)로 이동시킬 수 있다.
이후, 제어기(C)는 구동 부(188)를 제어하여, 바디(182)를 이동시킬 수 있다(S30). 즉, 제어기(C) 레일 모듈(140)과 조합되어 있던 레일 부(184, 185)들 중 어느 하나를 측 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에, 간섭 회피 모듈(180)로 이동되었던 제1캐리지 모듈(160a)과 제2캐리지 모듈(160b) 중 어느 하나는 측 방향으로 이동될 수 있다. 레일 부(184, 185)들 중 어느 하나의 위치 변경이 완료되면, 레일 부(184, 185)들 중 다른 하나는 레일 모듈과 조합될 수 있다. 예컨대, 도 8에 도시된 바와 같이 제어기(C)는 바디(182)를 수평 방향으로 이동시켜, 제1레일 부(184)가 레일 모듈(140)로부터 이탈되고, 제2레일 부(185)가 레일 모듈(140)과 서로 조합되어 새로운 주행 경로를 형성할 수 있도록 구동 부(188)를 제어할 수 있다. 또한, 제1레일 부(184)에 위치되었던 제1캐리지 모듈(160a)은 측 방향으로 이동될 수 있다. 이때, 제어기(C)는 제1레일 부(184)에 제공되는 리니어 모터 코일(144)에 전력을 인가하여 제1캐리지 모듈(160a)이 제1레일 부(184)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
레일 부(184, 185)들 중 다른 하나가 레일 모듈(140)과 서로 조합되어 새로운 주행 경로를 형성하게 되면, 제어기(C)는 제1캐리지 모듈(160a)과 제2캐리지 모듈(160b) 중 다른 하나가 레일 모듈(140), 그리고 레일 부(184, 185)들 중 다른 하나를 주행하도록 캐리지 모듈(160)을 제어할 수 있다(S40). 예컨대, 도 9에 도시된 바와 같이 제2레일 부(185)가 레일 모듈(140)과 서로 조합되어 새로운 주행 경로를 형성하게 되면, 제어기(C)는 제2캐리지 모듈(160b)이 레일 모듈(140), 그리고 제2레일 부(185)를 주행하도록 제2캐리지 모듈(160b)을 제어할 수 있다.
이후, 제어기(C)는 구동 부(188)를 제어하여, 다시 바디(182)를 이동시킬 수 있다(S50). 이에, 제1캐리지 모듈(160a)과 제2캐리지 모듈(160b) 중 어느 하나는 측 방향으로 이동될 수 있다. 예컨대, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1캐리지 모듈(160a)이 위치되었던 제1레일 부(184)는 측 방향으로 이동되어 레일 모듈(140)과 서로 조합되어 다시 주행 경로를 형성할 수 있다.
레일 부(184, 185)들 중 어느 하나가 레일 모듈(140)과 서로 조합되어 다시 주행 경로를 형성하게 되면, 제어기(C)는 제1캐리지 모듈(160a)과 제2캐리지 모듈(160b) 중 어느 하나가 레일 모듈(140), 그리고 레일 부(184, 185)들 중 다른 하나를 주행하도록 캐리지 모듈(160)을 제어할 수 있다(S60). 예컨대, 도 11에 도시된 바와 같이 제1레일 부(184)가 레일 모듈(140)과 서로 조합되어 새로운 주행 경로를 형성하게 되면, 제어기(C)는 제1캐리지 모듈(160a)이 레일 모듈(140), 그리고 제1레일 부(184)를 주행하도록 제1캐리지 모듈(160a)을 제어할 수 있다.
즉, 상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시 예에 따른 타워 리프트 구동 방법은, 타워 리프트(100)가 복수의 캐리지 모듈(160)을 운용하는 경우 발생될 수 있는 캐리지 모듈(160) 간 이동 간섭을 회피할 수 있게 한다.
상술한 예에서는 레일 모듈(140)이 하나의 주행 경로만을 제공하는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 12에 도시된 바와 같이 레일 모듈은 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 레일 모듈은 제1레일 모듈(140a), 그리고 제2레일 모듈(140b)을 포함할 수 있다. 제1레일 모듈(140a)과 제2레일 모듈(140b)은 각각 캐리지 모듈(160)들이 주행할 수 있는 주행 경로를 제공할 수 있다. 이때, 간섭 회피 모듈(180)은 분할되는 제1레일 모듈(140a)들 사이 및 분할되는 제2레일 모듈(140b)들 사이에 설치될 수 있다. 또한, 간섭 회피 모듈(180)은 바디(182), 제1레일 부(184), 제2레일 부(185), 그리고 제3레일 부(186)를 포함할 수 있다. 제1레일 부(184), 제2레일 부(185), 그리고 제3레일 부(186)는 제1레일 모듈(140a) 또는 제2레일 모듈(140b)과 서로 조합되어 주행 경로를 형성할 수 있다. 또한, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 간섭 회피 모듈(180)은 캐리지 모듈(160)들 간의 이동 간섭을 회피 시킬 뿐만 아니라, 캐리지 모듈(160)들을 제1레일 모듈(140a), 그리고 제2레일 모듈(140b) 간에 이동될 수 있게 한다.
상술한 예에서는, 타워 리프트(100)가 반도체 제조 라인에 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 타워 리프트(100)는 물품의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
반도체 제조 라인 : 10
제1층 : 11
제2층 : 12
제3층 : 13
타워 리프트 : 100
스테이지 모듈 : 120
레일 모듈 : 140
프레임 : 142
리니어 모터 코일 : 144
가이드 레일 : 146
전력 발신부 : 148
캐리지 모듈 : 160
제1캐리지 모듈 : 160a
제2캐리지 모듈 : 160b
캐리지 : 162
리니어 모터 마그넷 : 164
제1연결 바디 : 165a
제2연결 바디 : 165b
가이드 부 : 166
전력 수신부 : 168
제어기 : C
간섭 회피 모듈 : 180
바디 : 182
제1레일 부 : 184
제2레일 부 : 185
구동 부 : 188
용기 저장부 : 200
반송 레일 : 300

Claims (16)

  1. 수직 방향으로 연장되는 레일 모듈;
    상기 레일 모듈을 따라 이동 가능하게 구성되고, 물품을 반송하는 캐리지를 가지는 복수의 캐리지 모듈; 및
    상기 레일 모듈을 따라 이동되는 상기 캐리지 모듈들 간에 이동 간섭을 회피 할 수 있도록 구성되는 간섭 회피 모듈을 포함하는 타워 리프트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 캐리지 모듈은,
    자기 부상 방식으로 상기 레일 모듈을 따라 이동 가능하게 제공되는 타워 리프트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 간섭 회피 모듈은,
    상기 레일 모듈과 조합 가능한 형상을 가지는 복수의 레일 부;
    상기 레일 부들이 설치되는 바디; 및
    상기 바디를 수평 방향으로 이동시키는 구동 부를 포함하는 타워 리프트.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 레일 부들은,
    그 길이 방향이 상기 수직 방향이고,
    상기 수평 방향을 따라 서로 이격되어 상기 바디에 설치되는 타워 리프트.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 레일 모듈은,
    적어도 둘 이상으로 분할되고,
    상기 간섭 회피 모듈은,
    분할된 상기 레일 모듈들 사이에 배치되는 타워 리프트.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 타워 리프트는,
    제어기를 더 포함하고,
    상기 제어기는,
    상기 캐리지 모듈들 중 어느 하나인 제1캐리지 모듈과 상기 캐리지 모듈들 중 다른 하나인 제2캐리지 모듈 사이에 이동 간섭이 발생이 예측되는 경우,
    상기 제1캐리지 모듈과 상기 제2캐리지 모듈 중 어느 하나는 상기 레일 모듈과 조합되어 있는 상기 복수의 레일 부 중 어느 하나로 이동되고,
    상기 바디가 수평 방향으로 이동되어 상기 복수의 레일 부 중 다른 하나가 상기 레일 모듈과 조합되도록 상기 구동 부, 그리고 상기 캐리지 모듈들을 제어하는 타워 리프트.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 복수의 레일 부 중 다른 하나가 상기 레일 모듈과 조합되면, 상기 제1캐리지 모듈과 상기 제2캐리지 모듈 중 다른 하나가 상기 복수의 레일 부 중 다른 하나를 따라 이동되고,
    상기 바디가 수평 방향으로 이동되어 상기 복수의 레일 부 중 어느 하나가 상기 레일 모듈과 조합되도록 상기 구동 부, 그리고 상기 캐리지 모듈들을 제어하는 타워 리프트.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 레일 모듈은,
    상기 수직 방향으로 연장되는 프레임; 및
    상기 프레임에 설치되는 리니어 모터 코일을 포함하고,
    상기 캐리지 모듈은,
    상기 캐리지와 결합되고, 상기 리니어 모터 코일과의 상호 작용으로 상기 캐리지를 상기 수직 방향으로 이동시키는 리니어 모터 마그넷을 포함하는 타워 리프트.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 리니어 모터 코일은,
    복수로 제공되고, 상기 수직 방향을 따라 서로 이격되어 상기 프레임에 설치되는 타워 리프트.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 레일 모듈은,
    상기 프레임에 설치되는 적어도 하나 이상의 가이드 레일을 더 포함하고,
    상기 캐리지 모듈은,
    상기 가이드 레일을 따라 이동되는 가이드 부를 더 포함하고,
    상기 가이드 레일과 상기 가이드 부는 자기력에 의한 척력으로 서로 간에 이격되는 타워 리프트.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 레일 모듈은,
    전력 발신부를 더 포함하고,
    상기 캐리지 모듈은,
    상기 전력 발신부가 발신하는 전력을 수신하는 전력 수신부를 더 포함하고,
    상기 전력 발신부는 상기 전력 수신부에 비접촉식으로 전력을 발신하는 타워 리프트.
  12. 타워 리프트 구동 방법에 있어서,
    수직 방향으로 연장되는 레일 모듈을 따라 물품이 수납된 용기를 반송하는 복수의 캐리지 모듈이 이동되되,
    상기 캐리지 모듈들 중 어느 하나인 제1캐리지 모듈과 상기 캐리지 모듈들 중 다른 하나인 제2캐리지 모듈 사이에 이동 간섭이 발생될 것으로 예측되는 경우,
    상기 제1캐리지 모듈과 상기 제2캐리지 모듈 중 어느 하나는 상기 레일 모듈과 조합 가능한 복수의 레일 부를 가지는 간섭 회피 모듈로 이동되고,
    상기 레일 모듈과 조합되어 있던 상기 레일 부들 중 어느 하나의 위치는 변경되어 상기 제1캐리지 모듈과 상기 제2캐리지 모듈 중 어느 하나를 측 방향으로 이동시키는 타워 리프트 구동 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 레일 부들 중 어느 하나의 위치 변경이 완료되면, 상기 레일 부들 중 다른 하나는 상기 레일 모듈과 조합되는 타워 리프트 구동 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 레일 부들 중 다른 하나가 상기 레일 모듈과 조합되면, 제1캐리지 모듈과 상기 제2캐리지 모듈 중 다른 하나는 상기 레일 부들 중 다른 하나를 따라 상기 레일 모듈을 주행하는 타워 리프트 구동 방법.
  15. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리지 모듈들은,
    자기 부상 방식으로 상기 레일 모듈을 주행하는 타워 리프트 구동 방법.
  16. 적어도 하나의 제어기에 의해 실행되는 프로그램을 저장한 기계 판독 가능 매체로서,
    상기 프로그램은,
    상기 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따른 방법을 구현하는 명령어들의 집합들을 포함하는 기계 판독 가능 매체.


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