JP2007284203A - 搬送設備 - Google Patents

Abstract

【課題】高重量化された被搬送物であっても、大型化、高重量化させることなく、搬送できる搬送設備を提供する。
【解決手段】軌道上を走行して載置された収容容器１０を搬送する搬送装置１と、収容容器１０を処理又は保管する処理・保管装置６に搬送装置１に載置された収容容器１０を取り込み、処理・保管装置６内に取り込んだ収容容器１０を搬送装置１に載置する移載装置７とを具備する。そして、搬送装置１は、レール機構３に沿って走行する搬送台車２と、収容容器１０が載置可能な載置台５３を有し、載置台５３が搬送台車２上と搬送台車２外との間を移動するように、水平方向に伸長可能に搬送台車２に設けられるフォーク機構５とを備えた構成にする。また、移載装置７は、伸長状態にあるフォーク機構５を下方から支持するフォークサポート７１と、伸長状態にあるフォーク機構５の載置台５３と処理・保管装置６との間で収容容器１０を搬送する昇降式コンベヤ７２とを備えた構成にする。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶ガラス基板等の被搬送物を処理装置や保管装置に搬入し、また、被搬送物を処理装置等から搬出する搬送設備に関するものである。

液晶表示パネル製造、半導体製造、ＦＡ（Factory Automation）などにおける搬送手段は、ＯＨＳ(Over Head Shuttle)や、ＯＨＴ(Over head Hoist Transport)、ＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）等、走行路上を走行する台車による搬送システムが主流となってきている。このような搬送システムは、半導体の処理装置や台車を設置する分だけ巨大化してしまい、大きな設置スペースを必要とするといった不都合が生じていた。これを解決するために、例えば特許文献１には、可及的に設置スペースを小さくできる搬送設備が開示されている。

特許文献１は、搬送設備において、走行用の台車部に、荷を外部との間で移載するための荷移載装置が着脱自在に備えられた荷搬送車と、荷搬送車に装着自在な複数種類の荷移載装置を格納する格納棚と、荷搬送車に装着する荷移載装置を異なる種類のものに交換すべく、格納棚と荷移載装置交換箇所に位置する荷搬送車との間で荷移載装置を搬送する交換用搬送手段と、その交換用搬送手段に対して、新たに装着する荷移載装置を指示する指示手段とが設けられた構成にされている。この特許文献１によると、複数種類の荷移載装置が格納棚に集中して格納されており、搬送する荷に応じて、その複数種類の荷移載装置から所望の荷移載装置を選択するので、荷移載装置を交換するための設備の設置スペースを可及的に小さくすることができ、又、荷移載装置の交換のために、荷搬送車が複数の荷移載装置の交換箇所間を行き来するのを可及的に抑制でき、荷移載装置の交換作業効率を向上できるようになっている。

特開平０９−１２１０６号公報

ところで、特許文献１において、台車本体には移載装置が設置され、この移載装置は、台車走行方向に対し横方向に伸長すると同時に、高さ方向に上下動して被搬送物をフォーク機構上に載置させて処理装置等に搬出入するようになっている。しかし、重量がある限界値を越える重量物に対しては、フォークを最大長さまで伸長させたとき、フォーク先端部が下方に撓む、或いは台車本体が傾斜するなどの問題が発生してしまう。従って、被搬送物の重量増加に対応させて、フォーク機構を堅牢化する必要が生じ、近年促進されている液晶基板の大サイズ化は台車本体の大型化、高重量化の原因となっている。

そこで、本発明の目的は、高重量化された被搬送物であっても、大型化、高重量化させることなく、搬送できる搬送設備を提供することである

課題を解決するための手段及び効果

上記目的を達成するために、第１発明は、軌道上を走行して載置された被搬送物を搬送する搬送装置と、被搬送物を処理又は保管する処理・保管装置に搬送装置に載置された被搬送物を取り込み、処理・保管装置内に取り込んだ被搬送物を搬送装置に載置する移載装置とを具備する搬送設備において、搬送装置は、軌道に沿って走行する走行体と、被搬送物が載置可能な載置部を有し、載置部が走行体上と走行体外との間を移動するように、水平方向に伸長可能に走行体に設けられる伸長機構とを備え、移載装置は、伸長状態にある伸長機構を下方から支持する第１支持部材と、伸長状態にある伸長機構の載置部と処理・保管装置との間で被搬送物を搬送する搬送機構とを備えていることを特徴とする。

この構成によると、搬送機構により被搬送物が載置部と処理・保管装置との間で搬送される際に、伸長状態にある伸長機構が下方から支持されるようになっている。このように、下方から支持することにより、載置部に被搬送物を載置した状態で水平方向に伸長した場合において、被搬送物の重みにより伸長機構が下方に撓んでしまい、破損等してしまうおそれを低減できるようになる。

また、第２発明は、第１発明の伸長機構が、スライド可能に走行体に設けられたスライド板を有しており、第１支持部材が、スライド板の下面と接し、スライド板のスライド方向に回転自在に設けられた第１ローラを有していることを特徴とする。

この構成によると、スライド板のスライド方向に回転自在な第１ローラがスライド板の下面と接するようになっているため、伸長機構のスライド板は、下方から支持されると共に、スライド方向にスライドしやすくなっている。従って、伸長機構をスムーズに伸長させることができる。

また、第３発明は、第２発明において、載置部が、スライド板にスライド可能に設けられたスライド式載置板であって、第１支持部材が、スライド式載置板の下面と接し、スライド方向に回転自在に設けられた第２ローラを有していることを特徴とする。

この構成によると、伸長機構をさらに長く伸長させることができ、スライド式載置板のスライド方向に回転自在な第２ローラがスライド式載置板の下面と接するようになっているため、伸長機構のスライド式載置板は、下方から支持されると共に、スライド方向にスライドしやすくなっている。従って、伸長機構をスムーズに伸長させることができる。

また、第４発明は、第３発明の第１支持部材が、第１及び第２ローラを上下振動可能に支持する弾性体を有していることを特徴とする。

これによると、伸長機構による第１及び第２ローラへの衝撃力を弾性体による振動により吸収、緩和することができる。

また、第５発明は、第１〜第４発明において、載置部が、被搬送物を載置部の中央に載置した場合に、少なくとも伸長方向に垂直な方向における被搬送物の両端部が載置部から突出する大きさを有しており、搬送機構は、載置部から突出した被搬送物の両端部に鉛直方向から当接可能な第２支持部材と、第２支持部材を鉛直方向に昇降させる昇降部とを有し、被搬送物を載置部から脱着する場合において、第２支持部材を、載置部より下方から上昇させることを特徴とする。

この構成によると、第２支持部材を載置部より下方から上昇させることで、第２支持部材が載置部から突出した被搬送物の両端部に当接し、さらに第２支持部材を上昇させると、第２支持部材は被搬送物を支持しながら上昇するようになる。即ち、第２支持部材を載置部より下方から上昇させるだけで、載置部の被搬送物をすくい上げることができ、簡単に被搬送物を載置部から脱着することができる。従って、搬送機構を、被搬送物の一部を把持するといった複雑な機構にする必要がなくなり、構造を簡単にでき、且つ、低コストを実現することができる。

また、第６発明は、第５発明において、搬送機構は、被搬送物を載置部に載置する場合に、載置部を支持した第２支持部材を、載置部より上方から下降させることを特徴とする。

この構成によると、載置部を支持した第２支持部材を載置部より上方から下降させるだけで、被搬送物を載置部に載置できるようになる。従って、搬送機構を、被搬送物の一部を把持するといった複雑な機構にする必要がなくなり、構造を簡単にでき、且つ、低コストを実現することができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態に係る搬送設備は、半導体製品製造施設のように、工程内や工程間を搬送台車で処理対象物を搬送して処理を加えながら最終製品とする搬送システムに好適に適用される。尚、以降の説明においては、液晶表示装置用ガラス基板や、半導体基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物を搬送する搬送システムについて説明するが、これに限定されるものではなく、電子部品や機械部品、化学品、食品、書類等の荷物を搬送する全業種の搬送システムに適用することができる。

上述の搬送システムは、図５に示すように、収容容器１０を一時的に保管するストッカや液晶基板等に処理を施す液晶基板処理装置等の処理・保管装置６と、処理・保管装置６の近傍を通るように配置されるレール機構３と、レール機構３に沿って収納容器１０を搬送する搬送装置１と、処理・保管装置６に対して収容容器１０の搬出入を行う移載装置７（図５には図示せず）と、各収納容器１０の現在位置や搬送装置１の搬送状況等を管理するメインコントローラ８０（図６参照）とを備えている。なお、収納容器１０は、一部が外部雰囲気に解放されたＯＣ(open cassette)形式や、容器内部が密閉されたＦＯＵＰ(front opening unified pod)形式のキャリアであり、内部に液晶基板等を収納するように構成されている。

（搬送装置）
搬送装置１は、図３及び図６に示すように、後述のレール機構３に沿って一方向に走行する搬送台車２と、処理・保管装置６に対して伸縮可能に搬送台車２に設けられたフォーク機構５と、コントローラ２１と、電源２２とを備えている。コントローラ２１は、メインコントローラ８０と無線又は有線により通信可能となっており、電源２２から電力が供給され、メインコントローラ８０からの信号に基づいて後述する搬送台車２やフォーク機構５の各機構を制御する。

（搬送装置：搬送台車）
搬送台車２は、フォーク機構５を支持する支持台３５と、支持台３５の下面に連結された制御機構３１とを有している。制御機構３１は、コントローラ２１からの信号に基づいて搬送台車２を駆動・停止させる。制御機構３１は、支持台３５の下面中心部を支持する台支持部材３６と、台支持部材３６の下端に設けられた一次側コイル３４とを有している。一次側コイル３４は、レール機構３の永久磁石１５に対向するように配置されており、永久磁石１５とでリニアモータを構成している。一次側コイル３４は、一次側鉄心コアと三相コイルとで構成されており、三相交流の電流が通電されることにより直線状に移動する進行磁界を発生する。そして、一次側コイル３４は、レール機構３の永久磁石１５との間の磁気作用により搬送台車２を走行させる推進力や、停止状態を維持する保持力を発生させる。

また、台支持部材３６の下端には、走行ローラ３７および幅方向規正ローラ３８が回転自在に設けられている。走行ローラ３７及び幅方向規正ローラ３８は、搬送台車２の走行方向の前側および後側において左右一対に設けられている。走行ローラ３７は、レール機構３の走行部１２ｇに接触するように設けられている。一方、幅方向規正ローラ３８は、レール機構３の各側面壁に当接するように設けられている。これにより、幅方向規正ローラ３８は、搬送台車２をレール機構３の幅方向の中心部に位置させることによって、一次側コイル３４を常に永久磁石１５に対向させるようになっている。

また、台支持部材３６の中間部には、給電機構３９とガイド機構４０とが支持台３５側からこの順に設けられている。給電機構３９は、二次側鉄心と巻線とを有しており、後述の一次給電線１４から供給される高周波電力を受け、高周波電流を生成する。給電機構３９は、図示しない電流変換部に接続されている。電流変換部は、整流回路において高周波電流を一旦直流に変換し、ＰＷＭ変換回路において三相交流に変換した後、この電流を一次側コイル３４に通電させるようになっている。

また、ガイド機構４０は、レール機構３の幅方向にスライド可能に設けられたスライド機構４１と、スライド機構４１の両端部に回転自在に設けられたガイドローラ３２・３２とを有している。ガイド機構４０は、ガイドローラ３２・３２を何れか一方を後述のガイド部１２ｅに係合することにより走行方向を変更可能にしている。

（搬送装置：フォーク機構）
フォーク機構５は、基台５１、スライド台５２、載置台５３を有している。基台５１は、支持台３５の上方に固設されている。スライド台５２は、水平にスライド可能に基台５１に設けられている。例えば、基台５１及びスライド台５２の何れか一方に溝（図示せず）を設け、また、他方にその溝と係合する突起部（図示せず）を設ける。そして、メインコントローラ８０からの信号に基づいて、ボールネジやリニアモータ等の駆動源を駆動させることで、スライド台５２がスライドするようになる。なお、スライド台５２のスライド方向は、搬送台車２の走行方向に対して垂直横方向であり、スライド台５２は、少なくとも一部が搬送台車２から突出するまでスライドするようになっている。

載置台５３は、収容容器１０を載置可能な構造を有しており、上記したような構成でスライド可能にスライド台５２に設けられている。この載置台５３のスライド方向は、スライド台５２のスライド方向と同方向である。載置台５３の幅（スライド方向に垂直方向の長さ）は、載置する収容容器１０の幅よりも短くなっている。即ち、載置台５３の略中央に収容容器１０を載置すると、収容容器１０のスライド方向に垂直方向における両端部が載置台５３から突出するようになっている（図２参照）。より具体的には、載置台５３の幅をＬとし、収容容器１０の幅をＭ（Ｍ＞Ｌ）とする。この収容容器１０を載置台５３の中央に載置すると、収容容器１０の両幅が載置台５３から（Ｍ−Ｌ）／２の長さ分突出するようになる。

上記のように構成することで、フォーク機構５は、搬送台車２の走行方向に対して垂直横方向に伸縮可能なようになり、収容容器１０を載置する載置台５３を水平に移動させることができる。そして、このフォーク機構５は、搬送台車２がレール機構３に沿って走行する場合は、スライド台５２と載置台５３とをスライドさせない状態（図３）となり、後述の処理・保管装置６に対して収容容器１０を搬出入する場合は、スライド台５２及び載置台５３をスライドさせた状態（図１）となる。なお、フォーク機構５は、収容容器１０の載置の有無や、載置している収容容器１０の種類等の信号をコントローラ２１に送信し、そこからメインコントローラ８０に送信されるようになっている。

以下の説明において、図１に示すように、スライド台５２及び載置台５３を最大限スライドさせた状態を、最大伸長状態として言う。

（レール機構）
レール機構３は、処理工程内や工程間に設けられ、リニアモータの永久磁石１５を備えている。永久磁石１５は、標準の磁化力を有する磁石と、標準の磁化力よりも大きな磁化力を有する磁石とを含んでいる。レール機構３の永久磁石１５は、搬送台車２の一次側コイル３４との間の磁気作用により搬送台車２を走行させる推進力や、停止状態を維持する保持力を発生させる。

レール機構３は、例えば、搬送軌道が水平面内に存在する直線軌道や搬送台車２を右折または左折させる曲線軌道、搬送台車２を２方向に切り替え可能に進行させる分岐軌道、上昇する傾斜区域から水平区域に切り替わる凸状軌道等の組み合わせからなっている。そして、レール機構３は、これら各種の軌道を組み合せることによって、上下左右に変化しながら処理装置等の上方や側方を通過する搬送軌道を形成している。尚、レール機構３の軌道は、上述の軌道に限定されることはない。

上記ようなレール機構３の各軌道は、図３に示すように、押出し成形等により形成されたレール枠体１２を有している。レール枠体１２は、鉛直方向に配置される左側面壁１２ａおよび右側面壁１２ｂと、両側面壁１２ａ・１２ｂの下端部同士を連結した底面壁１２ｃとを有している。左側面壁１２ａと右側面壁１２ｂとは、左右対称に形成されている。各側面壁１２ａ・１２ｂは、上面部１２ｄを上端位置に備えている。上面部１２ｄは、底面壁１２ｃに対して平行に配置され、内側方向に向けて形成されている。上面部１２ｄの長さは、両側壁部１２ａ・１２ｂの上面部１２ｄ同士が対向されたときに、搬送台車２の制御機構３１が通過する最小限の隙間を出現させる程度に設定されている。これにより、上面部１２ｄは、搬送台車２の走行に伴う走行ローラの磨耗等によってレール枠体内で発生する塵埃が、クリーンルーム内に発散することがないよう密閉構造となっている。

また、各側壁部１２ａ・１２ｂは、ガイド部１２ｅを中間位置に有している。ガイド部１２ｅは、底面壁１２ｃに対して平行に配置され、先端部が下方に曲折されている。ガイド部１２ｅは、搬送台車２のガイドローラ３２に係合可能に配置されている。そして、ガイド部１２ｅは、搬送径路が２方向に分岐されている場合、ガイドローラ３２の係合により搬送台車２を何れかの分岐方向に進行させるようになっている。

上記のガイド部１２ｅと上面部１２ｄとの間には、絶縁材料で形成された支持梁１３が設けられている。支持梁１３は、２つの先端部を有するように、縦断面がＣ字形状に形成されている。支持梁１３は、先端部が上下に位置するように取り付けられていると共に、これらの先端部間に上述の給電機構３９を位置させるように取り付けられている。支持梁１３の各先端部には、一次給電線１４がそれぞれ設けられている。また、支持梁１３は、一次給電線１４を搬送軌道の全長に渡って一定の高さ位置に保持するように、搬送軌道方向に所定の間隔で配置されている。一次給電線１４は、図示しない給電装置に接続されており、給電装置からの高周波電力を搬送台車２の給電機構３９に供給するようになっている。

また、レール枠体１２の底面壁１２ｃは、中心位置に配置された溝部１２ｆと、溝部１２ｆを中心として左右対称に配置された走行部１２ｇとを有している。走行部１２ｇには、上述の搬送台車２の走行ローラ３７が接触されている。また、溝部１２ｆは、軌道の種類に応じた溝深さに設定されている。例えば、直線軌道、曲線軌道、分岐軌道における溝部１２ｆは、標準の溝深さに設定されている。一方、凸状軌道における溝部１２ｆは、直線軌道の溝深さよりも深い溝深さに設定されている。

（処理・保管装置）
処理・保管装置６は、収容容器１０を一時的に保管するストッカや収容している液晶基板等を取り出して処理を施す液晶基板処理装置等であって、収容容器１０を内部に取り入れる搬入ポート６ａと、内部の収容容器を取り出す搬出ポート６ｂとを有している。そして、この処理・保管装置６は、搬出入ポート６ａ・６ｂが間に介在するようにレール機構３と平行に配置される。搬出入ポート６ａ・６ｂには後述の移載装置７が配設されており、移載装置７が、搬入ポート６ａにおいて搬送装置１が搬送してきた収容容器１０を処理・保管装置６の内部に取り込み、また、搬出ポート６ｂにおいて処理・保管装置６の内部の収容容器１０を搬送装置１に受け渡すようになっている。なお、処理・保管装置６は、図６に示すように、メインコントローラ８０と通信可能に接続され、メインコントローラ８０からの信号に基づいて、各処理等を行うようになっている。

（移載装置）
移載装置７は、搬出入ポート６ａ・６ｂに配置され、搬送装置１と処理・保管装置６との間で収容容器１０を移載する。なお、搬出入ポート６ａ・６ｂに一つの移載装置７を配置してもよいし、搬入ポート６ａと搬出ポート６ｂの夫々に移載装置７を配置してもよい。

かかる移載装置７は、図１に示すように、最大伸長状態のフォーク機構５、具体的には、スライド台５２及び載置台５３を下方から支持するフォークサポート７１と、昇降式コンベヤ７２とを有している。

フォークサポート７１は、スライド台５２の下面と接触する第１ローラ７１ａと、載置台５３の下面と接触する第２ローラ７１ｂと、ローラ７１ａ・７１ｂを支持する本体７１ｃを有している。本体７１ｃは、スライド台５２及び載置台５３の下方に接触しないように対向配置されている。第１ローラ７１ａは、最頂部がスライド台５２の下面と略同じ高さに配置され、且つ、フォーク機構５のスライド方向に回転自在に本体７１ｃに軸支されている。また、第２ローラ７２ａは、最頂部が載置台５３の下面と略同じ高さに配置され、且つ、フォーク機構５のスライド方向に回転自在に本体７１ｃに軸支されている。

このように、スライド台５２及び載置台５３を下方から支持することで、フォーク機構５のスライド台５２及び載置台５３がスライドする際、載置台５３に収容容器１０が載置されていても、収容容器１０の重量によりスライド台５２及び載置台５３が下方に撓むことを防止できるようになる。また、回転自在なローラ７１ａ・７１ｂによりスライド台５２及び載置台５３を支持することで、フォーク機構５を支持する支持部材との間に発生する摩擦によりスライド台５２及び載置台５３のスライドが妨げられてしまうおそれを低減できる。さらに、スライド台５２及び載置台５３が下方に撓んだ場合、鉛直方向の位置を調節する必要があるが、下方から支持し、撓みを防止することで、鉛直方向の位置合わせが容易となる。

昇降コンベヤ７２は、図２に示すように、一対の駆動モータ７３、コンベア台７４、及びフレーム７５を有しており、フォーク機構５を中心に左右対称に設けられる。より具体的には、図１に示すように最大伸長状態にあるフォーク機構５の載置台５３が間に介在するように、一対の駆動モータ７３、コンベア台７４、及びフレーム７５が設けられる。

コンベア台７４は、ローラ７４ａと、昇降フレーム７４ｂと、ローラ支持軸７４ｃと、ツバ７４ｄとを有しており、ローラ７４ａは、ローラ支持軸７４ｃ及びツバ７４ｄにより昇降フレーム７４ｂに回動自在に軸止されている。そして、昇降フレーム７４ｂは、フレーム７５に昇降可能に支持され、メインコントローラ８０と通信する駆動モータ７３や図示しない昇降機構により昇降するようになっている。

なお、図１に示すように、昇降フレーム７４ｂは、フォーク機構５のスライド方向に長い形状を有しており、複数のローラ７４ａがスライド方向に沿って昇降フレーム７４ｂに軸支されている。

上記一対の駆動モータ７３、コンベア台７４及びフレーム７５は、ローラ７４ａが載置台５３に載置された収容容器１０の一部と接触するような幅を隔てて配置されている。より具体的には、上記したように、収容容器１０を載置台５３に載置すると、収容容器１０の両端部が載置台５３から突出するようになっている。そして、コンベア台７４を昇降すると、一対のローラ７４ａがその突出した両端部に当接する距離で、一対のコンベア台７４等が配置されている。

この構成により、搬入ポート６ａにおいて、コンベア台７４を載置台５３の下方から図１中矢印I方向に上昇させると、載置される収容容器１０の突出した両端部にローラ７４ａが当接し、さらに上昇させると、図１及び図２の破線で示すように、ローラ７４ａが収容容器１０を支持した状態で上昇する。これにより、簡単に収容容器１０を載置台５３から脱着することができる。また、これとは逆に、搬出ポート６ｂにおいて、収容容器１０を支持したコンベア台７４を載置台５３の上方から図１中矢印I’方向に下降させると、収容容器１０を簡単に載置台５３に載置することができる。

次に、搬送装置１に載置された収容容器１０を処理・保管装置６に搬入する際のフォーク機構５及びフォークサポート７１の動作について説明する。

収容容器１０を積載した搬送台車２は処理・保管装置６の搬入ポート６ａに位置合せして停止する。その後、スライド台５２をスライドさせて伸長させる。このとき、載置台５３には収容容器１０が積載されているため、収容容器１０の重量でスライド台５２は下方に撓む。従って、図４（ａ）に示す様に、スライド台５２が伸長して第１ローラ７１ａに達したとき、第１ローラ７１ａの上面に接触するのでなく、第１ローラ７１ａに対し撓み寸法ΔＬ１だけ突き当たって接触する。この状態でスライド台５２を更に伸長させると、スライド台５２は第１ローラ４０ａを矢示方向に回転させながら第１ローラ７１ａ上に乗りあがる。即ち、載置台５３上に積載された収容容器１０の重量の大半は最初の第１ローラ７１ａで支えられることになる。スライド台５２が更に伸長され、伸長が終点に達したとき図４（ｂ）の状態となる。

次いで載置台５３が伸長され載置台５３の先端が第２ローラ７１ｂに達したとき、載置台５３の先端は積載する収容容器１０の重量に起因して、図４（ｃ）に示す様に、下方に撓み第２ローラ７１ｂに対し、撓み寸法ΔＬ２だけ突き当たって接触する。載置台５３は更に伸長されるので、載置台５３は第２ローラ７１ｂを矢示方向に回転させなら第２ローラ７１ｂ上に乗りあげ、伸長が終点に達したとき図４（ｄ）の状態となる。載置台５３の場合も第２ローラ７１ｂ上に乗りあげとき、積載する収容容器１０の重量の大半は第２ローラ７１ｂで支えられるため、載置台５３には大きな耐荷重特性は必要とされない。

なお、ローラ７１ａ・７１ｂは、スライド台５２及び載置台５３との接触により回転するように構成してもよいし、モータ等により強制的に回転させるようにしてもよい。

フォーク機構５が最大伸長状態となると、フォークサポート７１より下位に位置していたコンベア台７４が駆動モータ７３を作動させてフレーム７５に沿いコンベア台７４を実線位置から破線位置まで上昇させる（図１中矢印I方向）。この上昇の途中、フォークサポート７１と同一高さになったとき、コンベア台７４は収容容器１０をフォークサポート７１からすくい取り、収容容器１０を載置した状態で図１や図２の破線位置まで上昇する。コンベア台７４が破線位置まで上昇することで収容容器１０の搬送装置１から搬入ポート６ａへの搬入動作は完了する。搬送装置１はこの後のフォーク機構５を縮退させ、レール機構３に沿って次の目的に向かい走行する。

なお、収容容器１０を搬送装置１に載置する動作は、上記と逆となり、説明は省略する。

（本実施の形態の概要）
以上、説明したように、本実施の形態は、軌道上を走行して載置された収容容器１０を搬送する搬送装置１と、収容容器１０を処理又は保管する処理・保管装置６に搬送装置１に載置された収容容器１０を取り込み、処理・保管装置６内に取り込んだ収容容器１０を搬送装置１に載置する移載装置７とを具備する搬送設備において、搬送装置１は、レール機構３に沿って走行する搬送台車２と、収容容器１０が載置可能な載置台５３を有し、載置台５３が搬送台車２上と搬送台車２外との間を移動するように、水平方向に伸長可能に搬送台車２に設けられるフォーク機構５とを備え、移載装置７は、伸長状態にあるフォーク機構５を下方から支持するフォークサポート７１と、伸長状態にあるフォーク機構５の載置台５３と処理・保管装置６との間で収容容器１０を搬送する昇降式コンベヤ７２とを備えた構成にされている。

この構成によると、昇降式コンベヤ７２により収容容器１０が載置台５３と処理・保管装置６との間で搬送される際に、伸長状態にあるフォーク機構５が下方から支持されるようになっている。このように、下方から支持することにより、載置台５３に収容容器１０を載置した状態で水平方向に伸長した場合において、収容容器１０の重みによりフォーク機構５が下方に撓んでしまい、破損等してしまうおそれを低減できるようになる。また、これによりフォーク機構の小型軽量、低コストが図れる。

また、本実施の形態は、フォーク機構５が、スライド可能に搬送台車２に設けられたスライド台５２を有しており、フォークサポート７１が、スライド台５２の下面と接し、スライド台５２のスライド方向に回転自在に設けられた第１ローラ７１ａを有した構成にされている。

この構成によると、スライド台５２のスライド方向に回転自在な第１ローラ７１ａがスライド台５２の下面と接するようになっているため、フォーク機構７のスライド台５３は、下方から支持されると共に、スライド方向にスライドしやすくなっている。従って、フォーク機構７をスムーズに伸長させることができる。

さらに、フォークサポート７１が、載置台５３の下面と接し、スライド方向に回転自在に設けられた第２ローラ７１ｂを有した構成にされている。

この構成によると、フォーク機構５をさらに長く伸長させることができ、載置台５３のスライド方向に回転自在な第２ローラ７１ｂが載置台５３の下面と接するようになっているため、フォーク機構５の載置台５３は、下方から支持されると共に、スライド方向にスライドしやすくなっている。従って、フォーク機構５をスムーズに伸長させることができる。

なお、第１支持部材が、第１ローラ７１ａ及び第２ローラ７１ｂを上下振動可能に支持する弾性体を有した構成にされていてもよい。具体的には、図７に示すように、ローラ７１ａ・７１ｂが上下に振動するように、バネ７１ｄの一端に第１ローラ７１ａを軸止し、他端を本体７１ｃに固定する。

これによると、フォーク機構７によるローラ７１ａ・７１ｂへの衝撃力を弾性体による振動により吸収、緩和することができる。そして、急激な衝突が回避されるので、収容容器１０が位置ずれを起こす、或いは収容容器１０内の液晶用ガラス基板等が相対的に滑る、或いは滑りに伴う基板表面上に滑り傷が発生、或いはまた、基板の滑り摩耗に伴うパーティクルの発生、等を抑制することができる。

また、本実施の形態は、載置台５３が、収容容器１０を載置台５３の中央に載置した場合に、少なくとも伸長方向に垂直な方向における収容容器１０の両端部が載置台５３から突出する大きさを有しており、昇降式コンベヤ７２は、載置台５３から突出した収容容器１０の両端部に鉛直方向から当接可能なローラ７４ａと、ローラ７４ａを鉛直方向に昇降させる駆動モータ７３とを有し、収容容器１０を載置台５３から脱着する場合において、ローラ７４ａを、載置台５３より下方から上昇させる構成にされている。

この構成によると、ローラ７４ａを載置台５３より下方から上昇させることで、ローラ７４ａが載置台５３から突出した収容容器１０の両端部に当接し、さらにローラ７４ａを上昇させると、ローラ７４ａは収容容器１０を支持しながら上昇するようになる。即ち、ローラ７４ａを載置台５３より下方から上昇させるだけで、載置台５３の収容容器１０をすくい上げることができ、簡単に収容容器１０を載置台５３から脱着ことができる。従って、搬送機構を、収容容器１０の一部を把持するといった複雑な機構にする必要がなくなり、構造を簡単にでき、且つ、低コストを実現することができる。

また、本実施の形態において、昇降コンベヤ７２は、収容容器１０を載置台５３に載置する場合に、載置台５３を支持したローラ７４ａを、載置台５３より上方から下降させる構成にされている。

この構成によると、載置台５３を支持したローラ７４ａを載置台５３より上方から下降させるだけで、収容容器１０を載置台５３に載置できるようになる。従って、搬送機構を、収容容器１０の一部を把持するといった複雑な機構にする必要がなくなり、構造を簡単にでき、且つ、低コストを実現することができる。

また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。例えば、収容容器１０を載置する載置部を載置台５３とし、スライド台５２にスライド可能に設けているが、スライド台５２に収容容器１０を載置するようにしてもよい。この場合、フォーク機構５の伸長構造が複数段になることがないので、構造を簡単にできると共に、ローラ７１ｂ等の補強部材を設ける必要がなく、コストを低減できるようになる。

また、載置台５３と処理・保管装置６との間で収容容器１０を搬送する搬送機構は、昇降コンベア７２に限定することはなく、例えば、収容容器１０を把持して搬送する構成であってもよい。この場合、収容容器１０を確実に保持することができるため、搬送途中で収容容器１０が落下するおそれを低減できるようになる。

さらに、本実施の形態のフォーク機構５は、搬送台車２に上部に設けているが、例えば、搬送台車をＯＨＴ搬送台車として、フォーク機構５をその搬送台車に懸垂させて設けるようにしてもよい。

本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。

本発明の好適な実施形態に係る搬送装置及び移載装置の一部断面図。 図１のII線方向から見た搬送装置及び移載装置の正面図。 図１の搬送装置及びレール機構の透視断面図。 （ａ）スライド台のスライド開始時における側面図。（ｂ）スライド台のスライド終了時における側面図。（ｃ）載置台のスライド開始時における側面図。（ｄ）載置台のスライド終了時における側面図。 本発明の搬送システムの概略構成図。 本発明の搬送システムのブロック図。 本発明の好適な実施形態に係る搬送装置の変形例図。

符号の説明

１ 搬送装置
２ 搬送台車
３ レール機構
５ フォーク機構
７ 移載装置
１０ 収容容器
５１ 基台
５２ スライド台
５３ 載置台
７１ フォークサポート
７２ 昇降コンベヤ

Claims (6)

1. 軌道上を走行して載置された被搬送物を搬送する搬送装置と、前記被搬送物を処理又は保管する処理・保管装置に前記搬送装置に載置された被搬送物を取り込み、前記処理・保管装置内に取り込んだ前記被搬送物を前記搬送装置に載置する移載装置とを具備する搬送設備において、
   前記搬送装置は、
   軌道に沿って走行する走行体と、
   前記被搬送物が載置可能な載置部を有し、前記載置部が前記走行体上と前記走行体外との間を移動するように、水平方向に伸長可能に前記走行体に設けられる伸長機構と、
   を備え、
   前記移載装置は、
   伸長状態にある前記伸長機構を下方から支持する第１支持部材と、
   伸長状態にある伸長機構の前記載置部と前記処理・保管装置との間で前記被搬送物を搬送する搬送機構と
   を備えている
   ことを特徴とする搬送設備。
2. 前記伸長機構が、スライド可能に前記走行体に設けられたスライド板を有しており、
   前記第１支持部材が、前記スライド板の下面と接し、前記スライド板のスライド方向に回転自在に設けられた第１ローラを有していることを特徴とする請求項１の搬送設備。
3. 前記載置部が、前記スライド板にスライド可能に設けられたスライド式載置板であって、
   前記第１支持部材が、前記スライド式載置板の下面と接し、前記スライド方向に回転自在に設けられた第２ローラを有していることを特徴とする請求項２の搬送設備。
4. 前記第１支持部材が、前記第１及び第２ローラを上下振動可能に支持する弾性体を有していることを特徴とする請求項３に記載の搬送設備。
5. 前記載置部が、前記被搬送物を前記載置部の中央に載置した場合に、少なくとも伸長方向に垂直な方向における前記被搬送物の両端部が前記載置部から突出する大きさを有しており、
   前記搬送機構は、
   前記載置部から突出した被搬送物の両端部に鉛直方向から当接可能な第２支持部材と、
   前記第２支持部材を鉛直方向に昇降させる昇降部と
   を有し、
   前記被搬送物を前記載置部から脱着する場合において、前記第２支持部材を、前記載置部より下方から上昇させることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の搬送設備。
6. 前記搬送機構は、
   前記被搬送物を前記載置部に載置する場合に、前記載置部を支持した前記第２支持部材を、前記載置部より上方から下降させることを特徴とする請求項５に記載の搬送設備。

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