KR102445043B1 - 반송 설비 - Google Patents

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Abstract

(과제) 기판 수납용의 수납 용기 내에 진애 등의 외부 물질을 유입시키지 않고 청정성을 높게 유지하는 것이 가능하면서도 고가요성 케이블 등을 필요로 하지 않고 저비용으로 설비 구축을 행하는 것이 가능한 반송 설비를 제공한다.
(해결수단) 수납 용기(20)가 반송대차(50)와 보관 선반(13) 사이에서 이재되는 동안에는 수납 용기(20) 내에 송풍을 행하는 FFU(24)에의 비접촉 급전용의 용기 패드(28)가 반송대차 패드(58)로부터도 보관 선반 패드(18)로부터도 떨어져서 송풍이 정지하지만, 송풍 정지 중은 이재 개시 전까지 FFU(24)가 높아진 수납 용기(20) 내의 내압에 의해 외부의 진애 유입을 방지함으로써 수납 용기(20)내의 청정성을 유지한다.

Description

반송 설비{TRANSPORT FACILITY}
본 발명은 물품 수납용의 용기를 반송하는 설비, 특히 유리 기판이나 반도체 기판 등의 높은 청정성이 요구되는 물품을 수납하기 위한 수납 용기를 반송하는 반송 설비에 관한 것이다.
플랫 패널 디스플레이나 반도체 소자라고 한 정밀기기의 제조에 있어서의 수율을 높게 하기 위해서는 플랫 패널 디스플레이의 제조 과정에서 사용되는 유리 기판이나, 반도체 소자의 제조 과정에 있어서 사용되는 반도체 기판(실리콘 웨이퍼 등)이라고 한 재료 기판을 제조 설비 내에서 취급할 때에 진애 등의 의도하지 않은 외부 물질이 기판에 부착되어 버리지 않도록 기판의 청정성을 높게 유지하는 것이 요구된다.
그 때문에 제조 공장 등의 설비 내에서 이들의 기판을 반송할 때는 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이 복수의 기판을 상하방향으로 나란히 수납할 수 있는 직사각형 형상의 수납 용기를 사용하여 이 직사각형 형상의 수납 용기의 양단에 형성되어 있는 개구부의 일방측에 FFU(팬 필터 유닛; 송풍 여과 장치)를 부착해 둔다는 방법이 채용되는 경우가 있다. 이 방법에 의하면 FFU가 필터를 통해 청정화된 공기를 수납 용기 내로 계속 송풍함으로써 수납 용기 내의 청정성을 계속 유지할 수 있다.
단, FFU가 수납 용기 내에의 송풍을 계속해서 행하기 위해서는 팬을 구동시키기 위한 전력이 FFU에 공급될 필요가 있다. 그래서, 특허문헌 1에 기재되어 있는 반송 설비에서는 FFU에 비접촉 방식으로 급전을 행하기 위한 비접촉 급전 장치의 수전부가 수납 용기에 구비되어 있고, 또한 수납 용기를 수납하기 위한 수납 선반에는 비접촉 급전 장치의 급전부가 설치되어 있어 이 수납 선반에 수납 용기가 수납되어 있는 상태에서는 수납 선반의 급전부로부터 수납 용기의 수전부에 비접촉 방식으로 전력이 공급됨으로써 FFU의 구동 전력을 확보하고 있다.
여기서, 비접촉 방식으로의 전력 공급을 계속하기 위해서는 비접촉 급전 장치의 급전부(송전부)가 수전부에 접근하고 있는 상태를 유지할 필요가 있지만 특허문헌 1에 기재되어 있는 반송 설비에 있어서는 이 설비 내에서 주행하는 스태커크레인으로 수납 용기를 반송하도록 하고 있으므로 스태커 크레인으로 수납 용기를 반송하고 있는 동안은 급전부와 수전부가 떨어져 버린다. 그래서, 특허문헌 1에서는 수납 용기에 공급된 전력을 축적하는 배터리가 구비되어 있고, 급전부와 수전부가 떨어져 있는 동안은 이 배터리에 축적된 전력으로 FFU를 구동하고 있다.
그러나, 설비 내에서 다수 사용되는 수납 용기의 하나하나에 배터리를 부착하면 설비 구축 비용이 비싸고, 또한 장기적으로는 배터리가 수명에 의해 기능 저하하므로 배터리 교환의 수고가 필요하게 되어 설비 운용 비용도 비싸다.
그래서, 도8(a)에 나타내는 바와 같이 이재할 때에 스태커 크레인(80)의 본체부로부터 수납 선반(81)을 향해 이동하는 포크(85) 상에 송전 패드(89b)(송전기)를 설치해 둔다는 방법이 있다. 이재하는 동안에는 이 포크(85) 상의 송전 패드(89b)로부터 수납 용기(82)의 수전 패드(89a)(수전기)에 급전을 행하도록 하면 이재하는 동안에도 FFU(84)가 계속해서 구동할 수 있다. 이 방법이면 하나하나의 수납 용기(82)에 배터리를 부착할 필요는 없으므로 배터리를 사용하는 경우보다 훨씬 저비용으로 설비를 구축할 수 있고, 또한 배터리 교환 등의 수고도 들지 않아 설비 운용 비용도 낮게 할 수 있다.
일본특허공개 2011-91270호 공보
그런데, 수납 용기(82)의 이재 동작 중에 포크(85)가 수납 선반(81)에 가장 접근했을 때(도 8(a)에 나타내는 위치보다 더 수납 선반(81)측으로 포크(85)가 이동했을 때)에 포크(85)측의 송전 패드(89b)가 수납 선반(81)측의 송전 패드(88b)와 충돌하지 않도록 하기 위해서는 포크(85)가 수납 선반(81)에 가장 접근했을 때의 포크(85)측의 송전 패드(89b)의 위치와 수납 선반(81)측의 송전 패드(88b)의 위치가 다를 필요가 있다.
그래서, 수납 용기(82)에는 포크(85) 상에서 급전을 받기 위한 수전 패드(89a) 외에 수납 선반(81) 상에서 급전을 받기 위한 수전 패드(88a)를 부착해 두고, 이 2개의 수전 패드(88a, 89a)를 떨어진 위치로서 둔다는 대책이 채용되는 경우가 있다. 특히, 도 8(a), (b)에 나타내는 바와 같이 수전 패드(88a)와 수전 패드(89a)가 포크(85)의 폭방향으로 떨어져서 배치되어 있으면 이들에 각각 급전을 행하기 위한 수납 선반(81)측의 송전 패드(88b)와 포크(85)측의 송전 패드(89b)도 서로 폭방향으로 다른 위치에 배치되게 되므로 수납 용기(82)의 이재 동작 중에 포크(85)측의 송전 패드(89b)가 수납 선반(81)측의 송전 패드(88b)와 충돌해 버리는 일이 없다.
이렇게 하면 도 8(a)에 나타내는 바와 같이 수납 용기(82)가 포크(85) 상에 있는 경우에는 포크(85)측의 송전 패드(89b)로부터 포크(85)용의 수전 패드(89a)에 급전이 행해지고, 도 8(b)에 나타내는 바와 같이 수납 용기(82)가 수납 선반(81) 상에 있는 경우에는 수납 선반(81)측의 송전 패드(88b)로부터 수납 선반(81)용의 수전 패드(88a)에 급전이 행해지게 되어 FFU(84)에의 급전이 중단되지 않게 행해진다.
그러나, 하나하나의 수납 용기(82)에 드는 비용을 저감하기 위해 배터리를 부착하지 않도록 하고 있음에도 불구하고 이러한 구성에서는 1개의 수납 용기(82)에 대하여 2개의 수전 패드(88a, 89a)가 필요하게 되기 때문에 결국 하나하나의 수납 용기(82)에 드는 비용은 비싸다.
또한, 이재 동작 중에 스태커 크레인(80)의 본체부와 수납 선반(81) 사이에서 이동하는 포크(85)에 송전 패드(89b)를 설치하는 경우에는 이 송전 패드(89b)에 전력 공급을 행하기 위한 전력 케이블은 포크(85)의 이동에 추종할 수 없으면 안 되므로 높은 가요성을 갖는 고가의 케이블을 장거리에 걸쳐 인회하지 않으면 안 되고 이 케이블 배선에 드는 비용도 비싸져 버린다.
이렇게 종래의 방법에서는 수납 용기(82) 내의 청정성을 높게 유지하기 위해서는 반송 설비의 설비 구축 비용이 비싸져 버린다는 문제가 있었다.
그래서, 본 발명은 기판 등의 물품 수납용의 수납 용기 내의 청정성을 높게 유지하는 것이 가능하면서도 저비용으로 설비 구축을 행하는 것이 가능한 반송 설비를 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명에 의한 반송 설비는 물품 수납용의 수납 용기를 반송하는 반송 설비에 있어서 상기 수납 용기를 반송하는 반송 수단과, 상기 수납 용기를 보관하는 보관부가 설치되어 있고, 상기 반송 수단은 상기 수납 용기를 상기 반송 수단과 상기 보관부 사이에서 이재하는 이재 장치를 갖고 있고, 상기 수납 용기는 청정화된 공기를 상기 수납 용기 내에 송풍하는 송풍 장치를 갖고 있고, 상기 수납 용기가 상기 반송 수단에 의해 반송되고 있는 동안과 상기 수납 용기가 상기 보관부에 의해 보관되고 있는 동안에 상기 반송 수단 또는 상기 보관부로부터 상기 송풍 장치에 동작 전력을 공급하는 송전 수단이 상기 반송 수단 및 상기 보관부에 각각 설치되어 있고, 상기 수납 용기는 상기 이재 장치에 의해 상기 반송 수단과 상기 보관부 사이에서 이재되고 있는 동안에는 상기 송풍 장치가 이재 개시 전까지 행한 송풍에 의해 내압이 주위 환경보다 높아진 상태를 유지 가능한 것에 의해 이재되고 있는 동안에 있어서의 주위 환경으로부터의 외부 물질의 유입을 방지가능하게 되어 있는 것을 특징으로 한다.
보다 구체적으로는 본 발명에 의한 반송 설비는 수납 용기를 반송하는 반송 수단과, 상기 수납 용기를 보관하는 보관부가 설치되어 있고, 상기 수납 용기는 내부에 물품을 수납가능한 수납 공간을 갖는 용기 본체와, 청정화된 공기를 상기 수납 공간 내에 송풍하는 송풍 장치와, 비접촉 방식에 의해 공급되는 상기 송풍 장치의 동작 전력을 수전하기 위한 용기 수전기를 갖고 있고, 상기 반송 수단은 상기 수납 용기를 지지하기 위한 지지부와, 상기 반송 수단측의 반송 위치와 상기 보관부측의 보관 위치 사이에서 상기 지지부를 이동시키는 이재 수단과, 상기 반송 위치에 있어서의 상기 지지부에 지지되어 있는 상기 수납 용기의 상기 용기 수전기에 대하여 비접촉 방식에 의해 송전을 행하는 반송 수단 송전기를 갖고 있고, 상기 보관부는 상기 수납 용기를 보관하기 위한 보관 선반과, 상기 보관 선반에 보관되어 있는 상기 수납 용기의 상기 용기 수전기에 대하여 비접촉 방식에 의해 송전을 행하는 보관부 송전기를 갖고 있고, 상기 이재 수단은 상기 수납 용기를 지지한 상태의 상기 지지부를 상기 반송 위치와 상기 보관 위치 사이에서 이동시킴으로써 상기 반송 수단과 상기 보관부 사이에서 상기 수납 용기를 서로 이재하는 것이 가능하며, 상기 수납 용기는 상기 이재 수단에 의해 상기 반송 위치와 상기 보관 위치 사이에서 이동시켜지고 있는 동안에는 상기 송풍 장치가 이동 개시 전까지 행한 송풍에 의해 내압이 주위 환경보다 높아진 상태를 유지가능한 것에 의해 이동시켜지고 있는 동안에 있어서의 주위 환경으로부터의 외부 물질의 유입을 방지가능하게 되어 있는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면 수납 용기가 이재되고 있는 동안은 수납 공간 내의 내압에 의해 진애 등의 외부 물질의 유입이 방지되기 때문에 FFU 등의 송풍 장치가 이재 중에 급전을 받지 못하고 정지해 있었다고 해도 수용 공간 내의 정청성이 높게 유진된다.
또한, 본 발명에 의한 반송 설비는 상기 구성에 추가하여 상기 용기 본체의 외면 중 제 1 면에는 수납 공간에 연결되는 제 1 개구부가 형성되어 있고, 상기 제 1 면과 대향하는 제 2 면에는 상기 제 1 개구부와 대향하는 제 2 개구부가 형성되고 있고, 상기 제 1 면에 뚜껑체를 착탈함으로써 상기 제 1 개구부를 개방 또는 폐쇄가능하며, 송풍 장치가 상기 제 2 면에 부착되어 있고, 상기 송풍 장치가 상기 제 2 개구부로부터 상기 뚜껑체에 의해 폐쇄된 상기 제 1 개구부를 향해 송풍함으로써 상기 수납 공간의 내압이 주위 환경보다 높아지도록 해도 좋다.
이 구성에 의하면 송풍 장치로부터 송풍되는 공기는 송풍 장치와 대향하는 위치의 제 1 개구부를 향해 보내지지만 그 제 1 개구부가 뚜껑체로 폐쇄되어 있기 때문에 수납 공간 내로부터 나갈 수 없다. 제 1 개구부를 향해 보내진 공기가 밖 으로 나올 수 없는 한편 제 2 개구부로부터는 송풍 장치에 의해 공기가 계속 송출되기 때문에 수납 공간 내의 공기 밀도는 주위 환경보다 높아져 간다. 이렇게 해서 수납 공간 내의 내압이 확실히 높아진다. 또한, 공간 내의 공기는 주위 환경으로 유출되는 것이 뚜껑체에 의해 차단되기 때문에 송풍 장치에 의한 송풍이 정지해도 곧바로는 내압이 저하하지 않는다.
또한, 본 발명에 의한 반송 설비는 상기 구성에 추가하여 상기 반송 수단이 상기 지지부 및 상기 이재 수단을 수평면 내에서 선회시키는 선회대를 갖고 있고, 상기 선회대에는 상기 이재 수단에 의한 상기 지지부의 이동방향과는 역방향으로 연장되어 있는 확장 프레임이 부착되어 있고, 상기 반송 수단 송전기가 상기확장 프레임에 부착되어 있도록 해도 좋다.
이 구성에 의하면 선회대의 외측, 나아가서는 지지부의 외측에 반송 수단 송전기를 설치할 수 있다. 그 때문에 용기 수전기의 배치가 수납 용기를 지지부에서 지지했을 때에 지지부의 외측에 위치하도록 되어 있어도 지지부의 외측으로 문제없이 반송 수단 송전기로부터 용기 수전기에의 급전을 행할 수 있다. 또한, 확장 프레임이 연장되어 있는 방향은 지지부의 이동방향과 역방향이기 때문에 확장 프레임이 지지부의 이동을 저해해 버리는 일이 없다.
또한, 본 발명에 의한 반송 설비는 상기 구성에 추가하여 보관부에 보관되어 있는 수납 용기의 용기 수전기에 대한 보관부 송전기의 상대 위치와, 반송 위치에 있어서의 반송 수단의 지지부에 지지되어 있는 수납 용기의 용기 수전기에 대한 반송 수단 송전기의 상대 위치가 동일하게 되도록 용기 수전기, 보관부 송전기, 반송 수단 송전기가 배치되어 있도록 해도 좋다.
이 구성에 의하면 수납 용기가 보관부에 보관되어 있는 상태에서도 반송 수단에 의해 반송되고 있는 상태에서도 비접촉 급전용의 송전기와 수전기의 위치 관계가 동일해지기 때문에 보관부에 있어서의 비접촉 급전과 반송 수단에 있어서의 비접촉 급전으로 전자적인 조건을 갖추는 것이 가능해진다. 그 때문에 이재 작업 중 이외는 송풍 장치의 동작을 일정하게 유지할 수 있어 수납 공간 내의 내압, 나아가서는 청정성을 일정하게 유지할 수 있다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면 수납 용기의 이재 중에 송풍 장치가 정지해 있었다고 해도 수납 용기 내의 청정성을 높게 유지할 수 있기 때문에 이재 중에 수납 용기를 지지하면서 이재방향으로 이동하는 지지부에 송전기를 설치하지 않아도 좋다. 그 때문에 지지부의 이동에 추종할 수 있는 고가요성 케이블을 장거리에 걸쳐 인회할 필요가 없어져 배선 비용을 낮게 억제할 수 있다.
또한, 이재 동작 시에 반송 수단과 보관부 사이에서 이동하는 지지부에 송전 기를 설치하지 않으면 이재 동작 시에 지지부측의 송전기와 보관부측의 송전기가 충돌할 가능성을 고려하지 않아서 좋으므로 반송 수단 송전기와 보관부 송전기를 동일한 폭방향 위치에 배치할 수 있다. 그러한 배치이면 송풍 장치는 반송 수단에서의 반송 중에도 보관부에서의 보관 중에도 동일 용기 수전기에 의해 전력 공급을 받을 수 있기 때문에 수납 용기에 부착하는 수전기는 용기 수전기 1개만으로 족하다. 즉, 수납 용기에 2개의 수전기를 부착할 필요가 없어지므로 하나하나의 수전 용기에 드는 비용을 낮게 억제할 수 있다. 따라서, 반송 설비의 구축을 저비용으로 행할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 반송 설비의 실시형태의 일례를 나타내는 평면도.
도 2는 도 1에 나타내는 반송 설비의 개략 측면도.
도 3은 동 실시형태의 반송 설비에 있어서 사용하는 수납 용기를 나타내는 사시도.
도 4는 동 실시형태의 반송 설비에 있어서 반송대차가 보관부의 앞에 위치해 있는 상태를 나타내는 개략 평면도.
도 5는 도 4의 A-A 화살선 단면도.
도 6은 도 4 및 도 5에 나타내는 반송대차의 굴신식 암이 신장된 상태를 나타내는 개략 평면도.
도 7은 도 6의 B-B 화살선 단면도.
도 8은 종래 기술에 있어서의 수납 용기의 FFU에 대한 급전의 모습을 나타내는 개략 평면도이며, (a)는 수납 용기가 포크에 지지되면서 이재되어 있는 상태를 나타내는 도면, (b)는 수납 용기가 수납 선반에 재치되어 있는 상태를 나타내는 도면.
본 발명에 의한 반송 설비의 실시형태의 일례를 도 1~도7을 참조해서 설명한다.
(반송 설비)
도 1에 개략적으로 나타내는 반송 설비(10)에 있어서는 유리 기판 등의 편평상 물품이 수납 용기(20)에 수납된 상태에서 반송된다. 수용 용기(20)를 반송하기 위한 반송 수단으로서의 반송대차(50)(스태커 크레인)는 반송 설비(10) 내에서 반송방향(W)으로 연장되는 반송 경로를 따라 주행한다. 이 반송대차(50)의 반송 경로에 대하여 반송방향(W)과 직각으로 교차하는 이재방향(Y) 측에는 수납 용기(20)를 보관하기 위한 보관부로서의 랙(11)이 배치되어 있다.
또한, 도면 중에 있어서는 각 부재 간의 위치 관계를 알기 쉽게 하기 위해서 수납 용기(20) 및 그것에 부속되는 부재를 가상선으로 나타내는 경우가 있다.
(보관부)
도 1, 도 2에 나타내는 반송 설비(10)에 있어서는 보관부로서의 2개의 랙(11)(rack)이 이들 간에 반송대차(50)의 반송 경로를 사이에 두도록 해서 서로 마주 보게 설치되어 있다. 바꿔 말하면, 반송대차(50)로부터 반송 경로를 따른 반송방향(W)을 향했을 때 좌우 양측에 랙(11)이 설치되어 있어 반송대차(50)의 주행 경로는 이들 좌우의 랙(11)끼리의 사이에 설정되어 있다는 것이다.
랙(11)에는 복수의 보관 선반(13)(shelf)이 반송방향(W)을 따라 늘어서도록 설치되어 있고, 이 보관 선반(13)의 각각이 수납 용기(20)를 보관가능하다. 또한, 도 2의 개략 측면도에 나타내는 바와 같이 연직방향(H)에도 상하 복수단의 보관 선반(13)이 겹치도록 설치되어 있다. 랙(11)은 연직방향(H)으로 연장되는 복수의 기둥(16)을 갖고 있고, 도 1에 나타내는 바와 같이 보관 선반(13)의 하나하나는 반송방향(W)에 대해서는 이 기둥(16)에 의해 구획되어 있다. 그리고, 이재방향(Y)을 따라 늘어서는 2개의 기둥(16) 사이를 걸치도록 선반판(17)이 설치되어 있어 도 2에 나타내는 바와 같이 연직방향(H)에 대해서는 이 선반판(17)에 의해 하나하나의 보관 선반(13)이 구획되어 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이 선반판(17)은 반송방향(W)으로 크게는 확장되어 있지 않고 반송방향(W)으로 늘어서는 기둥(16)끼리의 사이에 형성되는 공간 중 반송방향(W)의 가장자리부(선반 기둥(16)의 근방)에만 확장되어 있다. 이것에 의해 1개의 보관 선반(13)에는 반송대차(50)로부터 이재방향(Y)을 보아 좌측의 선반판(17)과 우측의 선반판(17)의 2매의 선반판(17)이 포함되는 것이 되고, 이들 2매의 선반판(17)끼리의 사이에는 간격이 벌어져 있다. 반송대차(50)로부터 이재방향(Y)을 보아 좌우 2개의 기둥(16) 사이의 거리는 수납 용기(20)의 폭보다 크고, 선반판(17)끼리의 사이의 간격은 수납 용기(20)의 폭보다 작다. 이 때문에 수납 용기(20)가 보관 선반(13)에 보관될 때에는 폭방향의 양 가장자리부만이 2매의 선반판(17)에 의해 각각 지지된 상태가 된다.
또한, 1개의 보관 선반(13)에 포함되는 2매의 선반판(17) 중 한쪽(여기서는 반송대차(50)로부터 이재방향(Y)을 향했을 때의 우측)의 반송대차(50)의 반송 경로에 가까운 측(반송대차(50)로부터 보아 바로 앞측)의 가장자리부에는 보관부 송전기(송전 수단)로서 비접촉 급전용의 보관 선반 패드(18)가 설치되어 있다. 보관 선반 패드(18)는 외부 전원으로부터의 전류가 흐름으로써 자속을 발생시키는 코일이 임베딩된 판으로 형성되어 있다.
(수납 용기)
이 반송 설비(10) 내에서의 반송 대상이 되는 수납 용기(20)의 구조를 도 3에 나타낸다.
수납 용기(20)는 대략 직육면체의 형상 중 대향하는 2면이 개구된 사각통 형상의 용기 본체(25)를 구비하고 있고, 이 용기 본체(25) 내부에서 물품을 수납하기 위한 수납 공간이 되는 기판 수납 공간(27)에는 유리 기판 등의 편평상 물품(도시하지 않음)을 연직방향(H) 상하에 복수매 나란히 수납할 수 있도록 기판을 재치 상태에서 지지할 수 있는 기판 재치 크로스피스(27a)가 상하에 복수 설치되어 있다.
용기 본체(25) 중 개구되어 있는 2면, 즉 제 1 개구부(25a)와 제 2 개구부(25b)에는 각각 뚜껑체로서의 셔터(21)와, 송풍 장치로서의 FFU(24)(팬 필터 유닛)가 부착된다.
수납 대상이 되는 기판은 제 1 개구부(25a)로부터 기판 수납 공간(27)에 대하여 출입된다. 그리고, 기판의 출입 작업 이외의 기간은 셔터(21)에 의해 제 1 개구부(25a)가 폐쇄된다.
FFU(24)는 제 2 개구부(25b)를 덮을 수 있는 FFU 부착판(22)에 부착되어 있고, 이 FFU 부착판(22)으로 제 2 개구부(25b)를 덮은 상태로 하면 FFU(24)는 제 2 개구부(25b)로부터 제 1 개구부(25a)를 향해 송풍을 행하는 자세가 된다. 또한, FFU 부착판(22)에는 용기 수전기로서 FFU(24)의 팬의 구동 전력을 비접촉 급전 방식에 의해 외부로부터 수전하는 용기 패드(28)가 부착되어 있다. 용기 패드(28)는 외부의 자속 변동에 따라 전류를 발생시키는 코일이 임베딩된 판으로 형성되어 있다.
셔터(21)와 FFU 부착판(22)은 각각 복수의 결합부(21a, 22a)를 구비하고 있고, 셔터(21)와 FFU 부착판(22)을 연직방향(H)을 따라 하방으로 내리면서 용기 본체(25)의 측면에 설치된 록킹부(26a, 26b)에 결합부(21a, 22a)를 걸리게 함으로써 제 1 개구부(25a), 제 2 개구부(25b)가 각각 셔터(21), FFU 부착판(22)에 의해 폐쇄된다.
(반송대차)
도 1에 나타내는 반송 수단으로서의 반송대차(50)는 반송 설비(10) 내에 규정된 반송 경로를 따라 부설(敷設)된 레일 위를 반송방향(W)으로 주행하는 것이 가능한 스태커 크레인 등의 주행 장치이다. 이 반송대차(50)는 수납 용기(20)를 지지하기 위한 지지부로서의 포크(55)를 구비하고 있고, 이 포크(55) 상에 수납 용기(20)가 지지된 상태에서 반송대차(50)가 레일 위를 주행함으로써 반송 설비(10) 내에서의 수납 용기(20)의 반송이 행해진다. 그리고, 반송대차(50)는 반송방향(W)을 따라 2개 늘어선 마스트(51)를 갖고 있고, 이 마스트(51)는 도 2에 나타내는 바와 같이 연직방향(H)으로 연장되어 있다. 포크(55)는 마스트(51)를 따라 연직방향(H)으로 승강하는 것이 가능하게 되어 있고, 반송대차(50)는 수납 용기(20)를 지지한 상태의 포크(55)를 연직방향(H)으로 승강시킴으로써 상하 복수단의 보관 선반(13)의 각각에 대하여 수납 용기(20)의 연직방향(H) 내의 위치를 맞출 수 있다. 또한, 포크(55)를 연직방향(H)으로 승강시키고 있는 동안이나, 후술의 선회를 하고 있는 동안에는 반송방향(W)을 따른 반송대차(50)의 주행이 일시적으로 정지하는 경우가 있지만 이러한 일시적인 정지 상태도 목적지가 되는 보관 선반(13)에 이르기까지의 과정의 일부이므로 본 실시형태에 있어서는 반송대차(50)가 반송방향(W)으로 주행하고 있는 동안뿐만 아니라 승강·선회를 행하고 있는 동안도 통틀어 포크(55) 상에 수납 용기(20)를 지지한 상태 중 후술의 이재 동작 중 이외는 수납 용기(20)가 반송대차(50)에 의해 반송되고 있는 것으로 생각한다.
(선회대)
도 4, 도 5에 나타내는 바와 같이 반송대차(50)는 마스트(51) 사이에 선회대(53)를 갖고 있고, 포크(55)는 이재 수단으로서의 굴신식 암(52)을 통해 선회대(53) 상에 부착되어 있다. 굴신식 암(52)과 포크(55)로 이재 장치를 구성한다. 이 선회대(53)가 굴신식 암(52)과 포크(55)를 수평면 내에서 선회시킴으로써 굴신식 암(52)과 포크(55)의 자세를 변경할 수 있다. 또한, 선회대(53), 굴신식 암(52), 포크(55)는 승강대(57)에 탑재되어 한 덩어리로 연직방향(H)으로 승강하도록 되어 있다. 이 선회대(53)에 의해 포크(55) 및 굴신식 암(52)을 선회시킴으로써 반송방향(W)의 좌우 양측에 설치되어 있는 랙(11)의 어느 쪽에 대하여 이재를 행할지를 스위칭할 수 있다.
도 1에서는 포크(55)는 그 길이방향이 반송방향(W)과 일치하는 자세로 되어 있지만 도 4에서는 포크(55)는 선회대(53)에 의해 도 1에서의 자세로부터 90°선회시켜져서 길이방향이 이재방향(Y)과 일치하는 자세로 되어 있다.
(포크)
포크(55)는 대략 장방형 형상의 판으로 구성되어 있고, 그 폭방향 치수는 보관 선반(13)의 2매의 선반판(17)끼리의 사이의 간격보다 작게 되어 있다.
포크(55)는 굴신식 암(52)을 굴신시킴으로써 수평방향으로 이동시키는 것이 가능하게 되어 있다. 특히 도 4에 나타내는 바와 같은 포크(55)의 길이방향이 이재방향(Y)과 일치하는 자세일 때에 굴신식 암(52)을 굴신시키면 포크(55)가 이재방향(Y)으로 이동하도록 되어 있다. 굴신식 암(52)의 굴신에 의해 포크(55)를 이재방향(Y)으로 이동시키면 도 5, 도 7에 나타내는 바와 같이 선회대(53) 위(반송 수단측)의 반송 위치(55a)와 보관 선반(13) 내(보관부측)의 보관 위치(55b) 사이에서 포크(55)가 이동한다.
그리고, 수납 용기(20)를 지지한 상태의 포크(55)를 도 4에 나타내는 바와 같이 길이방향이 이재방향(Y)과 일치하는 자세로 선회시키고 나서 포크(55)를 반송 위치(55a)로부터 보관 위치(55b)로 이동시키고, 도 6에 나타내는 바와 같이 포크(55)를 선반판(17)끼리의 사이에 삽입함으로써 보관 선반(13) 내에 수납 용기(20)를 송출할 수 있다.
(확장 프레임)
도 1~도 7에 나타내는 바와 같이 선회대(53) 상에는 굴신식 암(52) 이외에 확장 프레임(59)이 부착되어 있다. 이 확장 프레임(59)은 도 6에 나타내는 바와 같이 평면시 T자상의 형상으로 되어 있고, 그 T자 종변부의 선단이 선회대(53) 상에 부착되어 있다. 그리고, 이 T자 종변부는 도 7에 나타내는 바와 같이 굴신식 암(52)이 신장되는 방향과는 반대측으로 연장되어 있고, 측면시 L자상으로 상방으로 구부러져서 T자 횡변부에 연결되어 있다. 또한, 도 6에 나타내는 바와 같이 T자 횡변부의 일단측에 반송 수단 송전기(송전 수단)로서 비접촉 급전용의 반송대차 패드(58)가 설치되어 있다. 반송대차 패드(58)는 외부 전원으로부터의 전류가 흐름으로써 자속을 발생시키는 코일이 임베딩된 판으로 형성된다.
(이재 동작)
여기서, 반송대차(50)에 의해 반송되고 있는 수납 용기(20)를 보관 선반(13)으로 이재할 때의 이재 동작에 대하여 설명한다. 우선, 수납 용기(20)를 지지한 상태의 포크(55)를 연직방향(H)에 있어서 선반판(17)보다 약간 상방측까지 승강시킴과 아울러 포크(55)의 길이방향이 이재방향(Y)과 일치하는 자세로 선회시켜 도 5에 나타내는 바와 같이 수납 용기(20)가 보관 선반(13)의 입구를 향하는 상태로 한다. 그 후, 굴신식 암(52)을 신장시켜 포크(55)를 반송 위치(55a)로부터 보관 위치(55b)로 이동시키고, 그것으로부터 포크(55)를 선반판(17)보다 하방측으로 하강시키면 선반판(17)끼리의 사이의 간격이 포크(55)의 폭방향 치수보다 크고, 또한 수납 용기(20)의 폭보다 짧기 때문에 포크(55)는 선반판(17)끼리의 사이를 빠져 나가는 한편 수납 용기(20)는 선반판(17) 상에 놓여 도 7에 나타내는 상태가 된다. 이렇게 해서 포크(55) 상에 지지되어 있었던 수납 용기(20)가 도 7에 나타내는 바와 같이 선반판(17) 상에 옮겨 놓아진다. 수납 용기(20)의 이재 자체는 이것으로 완료되지만 반송대차(50)가 다음 작업으로 옮겨질 수 있도록 굴신식 암(52)을 축소시켜 포크(55)를 반송 위치(55a)로 되돌리고, 또한 선회대(53)에 의해 포크(55) 및 굴신식 암(52)을 선회시켜 포크(55)의 길이방향이 반송방향(W)과 일치하는 자세로 되돌려 둔다.
또한, 보관 선반(13)에 보관되어 있는 수납 용기(20)를 인출하여 반송대차(50)로 이재할 때에는 포크(55)를 연직방향(H)으로 선반판(17)보다 약간 하방의 위치에서 선반판(17)끼리의 사이에 삽입하고(도 7의 상태) 나서 포크(55)를 상승시킴으로써 선반판(17) 위로부터 포크(55)로 수납 용기(20)를 옮겨 놓을 수 있다. 그 후, 보관 위치(55b)에서 수납 용기(20)를 지지한 상태의 포크(55)를 굴신식 암(52)을 축소시켜 반송대차(50)측의 반송 위치(55a)로 끌어들임(도 5의 상태)으로써 수납 용기(20)가 보관 선반(13)으로부터 반송대차(50)로 이재된다.
(이재 개시 전)
수납 용기(20)를 반송대차(50)로부터 보관 선반(13)으로 이재할 때의 기판 수납 공간(27) 내의 모습을 설명한다.
이재 개시 전에는 도 4, 도 5에 나타내는 바와 같이 비접촉 급전의 송전측이 되는 반송대차 패드(58)와, 수전측이 되는 용기 패드(28)가 접근한 상태가 유지되고 있기 때문에 FFU(24)에는 비접촉 급전에 의해 구동 전력이 계속해서 공급되고 있다. 따라서, FFU(24)의 팬이 필터를 통해 청정화된 공기를 기판 수납 공간(27) 내에 계속 송출한다. 이 상태에 있어서는 FFU(24)에 의해 기판 수납 공간(27) 내에 공기가 송출됨으로써 수납 용기(20)의 내압이 주위 환경보다 높아져 있고, 진애 등의 외부 물질은 주위 환경으로부터 기판 수납 공간(27) 내에 들어갈 수 없다. 이 때문에 기판 수납 공간(27) 내의 청정성은 높게 유지되어 있고, 수납 용기(20)에 수납되어 있는 기판에 진애 등이 부착되어 버리는 일이 없다.
(이재 중)
이재를 위해 포크(55)를 반송 위치(55a)로부터 보관 위치(55b)로 이동시키고 있는 동안은 포크(55) 상의 수납 용기(20)에 부착되어 있는 용기 패드(28)가 반송대차 패드(58)로부터 떨어지게 되므로 FFU(24)는 구동 전력의 공급을 받을 수 없게 되고, FFU(24)에 의한 송풍이 정지한다.
그러나, 수납 용기(20)는 도 3에 나타내는 바와 같이 기판 수납 공간(27)에 연결되는 제 1 개구부(25a) 및 제 2 개구부(25b)가 각각 셔터(21) 및 FFU 부착판(22)에 의해 폐쇄되어 밀봉되는 구조로 되어 있기 때문에 기판 수납 공간(27) 내의 공기는 외부로 달아날 수는 없다. 그 때문에 이재 개시 전까지 반송 위치(55a)의 포크(55) 상에 있어서 FFU(24)가 송풍을 행함으로써 높아진 기판 수납 공간(27)의 내압은 주위 환경보다 높은 그대로 유지된다.
기판 수납 공간(27)의 내압이 주위 환경보다 높은 그대로이기 때문에 이재 중에 FFU(24)의 송풍이 정지해 있어도 외부 물질은 주위 환경으로부터 기판 수납 공간(27) 내에 들어갈 수는 없어 기판 수납 공간(27) 내의 청정성은 높게 유지된다.
(이재 완료 후)
이재가 완료되어 수납 용기(20)가 도 6, 도 7에 나타내는 바와 같이 보관 선반(13)에서 선반판(17)에 지지되어 있는 상태에서는 비접촉 급전의 송전측이 되는 보관 선반 패드(18)가 용기 패드(28)에 접근하고 있기 때문에 FFU(24)에 다시 구동 전력이 공급된다. 따라서, 이재 완료 후는 FFU(24)가 기판 수납 공간(27) 내에의 송풍을 재개하기 때문에 기판 수납 공간(27)의 내압은 높게 계속 유지되고, 기판 수납 공간(27) 내의 청정성이 유지된다.
이상과 같이 본 실시형태의 반송 설비(10)에 있어서는 이재 중에 FFU(24)에 의한 송풍이 중단되어 있는 기간이 있으면서도 기판 수납 공간(27) 내의 청정성이 이재 개시 전부터 이재 완료 후까지에 걸쳐 높게 유지된다.
(본 실시형태의 이점)
본 실시형태의 반송 설비(10)에 있어서는 이재 중에 FFU(24)가 정지해도 기판 수납 공간(27) 내의 청정성이 유지되기 때문에 이재 중에 FFU(24)에의 급전을 계속할 필요가 없다. 그 때문에 확장 프레임(59) 상의 반송대차 패드(58)는 이재 중에 있어서의 포크(55)의 이재방향(Y)으로의 움직임에 추종할 필요가 없다. 따라서, 배선을 위해 가요성이 높은 케이블을 사용할 필요가 없어 저비용으로 반송 설비(10)를 구축할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 FFU(24)의 구동 전력 공급을 위해 수납 용기(20)에 부착되어 있는 비접촉 급전용의 패드는 용기 패드(28) 1개만으로 족하고, 도 8에 나타내는 종래 기술과 같이 2개의 수전 패드(88a, 89a)를 설치할 필요가 없다. 이 때문에 하나하나의 수납 용기(20)를 준비하기 위해서 필요한 비용을 낮게 억제할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 기판 수납 공간(27)에 연결되는 제 1 개구부(25a)와 제 2 개구부(25b)가 폐쇄되어 수용 용기(20)가 밀봉 상태로 되어 있으므로 FFU(24)의 송풍에 의해 기판 수납 공간(27)의 내압을 일단 높여 두면 그 후는 송풍을 정지해도 내압이 낮아지기 어렵다. 그 때문에 이재에 다소의 시간이 걸렸다고 해도 그 동안에 내압이 낮아져서 기판 수납 공간(27)에 외부 물질이 유입될 우려가 없다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 선회대(53)에 부착된 확장 프레임(59) 상에 반송대차 패드(58)가 설치되어 있으므로 도 4, 도 5에 나타내는 바와 같이 포크(55)의 외측에 반송대차 패드(58)를 설치할 수 있다. 그 때문에 도 4에 나타내는 바와 같이 수납 용기(20)가 포크(55) 상에 지지되어 있을 때에 용기 패드(28)가 포크(55)의 외측에 위치하고 있어도 그 포크(55)의 외측의 위치에서 용기 패드(28)에 비접촉 급전을 행할 수 있도록 확장 프레임(59)의 형상을 적절히 설계함으로써 반송대차 패드(58)의 위치를 조절하여 설치할 수 있다. 또한, 확장 프레임(59)은 굴신식 암(52)의 굴신방향, 즉 포크(55)의 이동방향과는 반대방향으로 연장되어 있기 때문에 이 확장 프레임(59)이 굴신식 암(52)의 굴신 및 포크(55)의 이동을 방해하는 일이 없다. 또한, 확장 프레임(59) 및 반송대차 패드(58)는 포크(55)와 함께 선회하므로 굴신식 암(52)의 굴신에 의한 이재 동작이 시작되기 직전까지는 용기 패드(28)에의 급전을 계속할 수 있다.
또한, 확장 프레임(59)의 형상이 적절하면 도 4, 도 5에 나타내는 바와 같은 수납 용기(20)가 반송 위치(55a)의 포크(55) 상에서 지지되어 있는 상태에 있어서의 반송대차 패드(58)와 용기 패드(28)의 위치 관계를 도 6, 도 7에 나타내는 바와 같은 수납 용기(20)가 보관 선반(13)에 의해 보관되어 있는 상태에 있어서의 보관 선반 패드(18)와 용기 패드(28)의 위치 관계와 동일하게 할 수 있다. 그러면, 수납 용기(20)가 보관 선반(13)에 의해 보관되어 있는 상태에서도, 반송대차(50)에 의해 반송되고 있는 상태에서도 비접촉 급전의 전자적인 조건을 갖추는 것이 가능해지므로 이재 중 이외는 FFU(24)의 동작을 일정하게 할 수 있어 기판 수납 공간(27) 내의 내압, 나아가서는 청정성을 안정하게 유지할 수 있다.
(변형예)
또한, 본 실시형태에 있어서는 도 3에 나타내는 바와 같이 기판의 출입구가 되는 제 1 개구부(25a)와 대향하는 제 2 개구부(25b)로부터 FFU(24)가 송풍을 행하고 있지만 송풍방향은 이것에 한정되는 것은 아니고 송풍에 의해 기판 수납 공간(27) 내의 내압을 높일 수 있으면 좋다. 예를 들면, 수납 용기(20)의 상면측으로부터 송풍을 행하도록 해도 좋다. 또한, 본 실시형태에 있어서는 FFU(24)와 용기 패드(28)를 함께 제 2 개구부(25b)측에 부착하고 있지만 FFU(24)와 용기 패드(28)를 전력 케이블로 연결시켜 두면 FFU(24)를 용기 패드(28)와는 다른 면(예를 들면, 상면)에 부착할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 FFU(24)를 FFU 부착판(24)에 부착함과 아울러 이 FFU 부착판(22)을 제 2 개구부(25b)에 대하여 탈착가능하게 함으로써 제 2 개구부(25b)를 개방하는 것도 폐쇄하는 것도 가능하게 하고 있지만 수납 용기(20)에 있어서 FFU(24)를 부착하는 측의 면은 항상 폐쇄되어 있어도 좋다. 즉, FFU 부착판(22)이 용기 본체(25)의 일면을 형성하도록 해서 용기 본체(25)와 일체화한 FFU 부착판(22)에 FFU(24)가 부착된 구조로 해도 좋다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 보관 선반(13)에 있어서도 반송 위치(55a)의 포크(55)에 있어서도 비접촉 급전의 송전측과 수전측의 위치 관계가 동일하게 되도록 하고 있지만 이들의 상대 위치가 엄밀히 동일하게 되도록 배치가 이루어져 있지 않아도 좋고 이재 동작 중(굴신 암(52)이 신축되는 기간) 이외의 기간에 있어서 FFU(24)에의 비접촉 급전이 행해지도록 송전측의 패드(보관 선반 패드(18), 반송대차 패드(58))와 수전측의 패드(용기 패드(28))가 충분히 접근한 상태가 되도록 배치가 이루어져 있으면 좋다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 확장 프레임(59)을 통해 반송대차 패드(58)를 선회대(53)에 부착하고 있지만 반드시 확장 프레임(59)을 설치할 필요는 없어 반송대차(50), 수납 용기(20), 보관 선반(13) 등의 구조, 특히 용기 패드(28)와 보관 선반 패드(18)의 배치에 따라 반송대차 패드(58)의 배치를 변경해도 좋다. 예를 들면, 선회대(53)가 평면시에 있어서 포크(55)의 외측까지 확장되어 있는 형상이라면 포크(55)의 외측이 되는 선회대(53) 상에 반송대차 패드(58)를 직접 부착해도 좋다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 용기 패드(28), 보관 선반 패드(18), 반송대차 패드(58)를 비접촉 급전 방식으로 송수전을 행하는 것으로 하고 있지만 기계적인 접촉에 따르는 분진이나 불꽃의 발생에의 대책과, 정확한 위치 맞춤을 행하기 위한 처치가 이루어져 있으면 이들의 패드를 접촉 급전 방식, 예를 들면 평면 형상으로 확장된 금속 단자 랜드끼리를 접촉시킴으로써 급전을 행하는 방식으로서 구성해도 좋다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 반송 경로를 따라 부설된 레일 위를 주행하는 반송대차(50)를 반송 수단으로서 사용하여 수납 용기(20)의 반송을 행하고 있지만 반송 수단은 이것에 한정되는 것은 아니고 예를 들면 설비의 천정측으로부터 매달린 상태에서 수납 용기(20)의 반송을 행하는 천정 반송차 등이어도 좋다. 또한, 보관부에 대해서도 본 실시형태의 보관 선반(13)에 한정되는 것은 아니고 예를 들면 비접촉 급전 장치를 구비한 팰릿 상에 수납 용기(20)를 재치함으로써 보관을 행하는 것이어도 좋다. 또한, 본 실시형태와 같이 보관부를 복수의 보관 선반(13)으로 구성하는 것은 아니고 단일의 보관 선반으로 구성하는 것이어도 좋다.
10 반송 설비 11 랙
13 보관 선반 18 보관 선반 패드
20 수납 용기 21 셔터
24 FFU 28 용기 패드
50 반송대차 55 포크
55a 반송 위치 55b 보관 위치
58 반송대차 패드 59 확장 프레임

Claims (5)

  1. 물품 수납용의 수납 용기를 반송하는 반송 설비에 있어서,
    상기 수납 용기를 반송하는 반송 수단과, 상기 수납 용기를 보관하는 보관부가 설치되어 있고,
    상기 반송 수단은 상기 수납 용기를 상기 반송 수단과 상기 보관부 사이에서 이재하는 이재 장치를 갖고 있고,
    상기 수납 용기는 청정화된 공기를 상기 수납 용기 내에 송풍하는 송풍 장치를 갖고 있고,
    상기 수납 용기가 상기 반송 수단에 의해 반송되고 있는 동안과, 상기 수납 용기가 상기 보관부에 의해 보관되어 있는 동안에 상기 반송 수단 또는 상기 보관부로부터 상기 송풍 장치에 동작 전력을 공급하는 송전 수단이 상기 반송 수단 및 상기 보관부에 각각 설치되어 있고,
    상기 수납 용기는 상기 이재 장치에 의해 상기 반송 수단과 상기 보관부 사이에서 이재되고 있는 동안에는 상기 송풍 장치가 이재 개시 전까지 행한 송풍에 의해 내압이 주위 환경보다 높아진 상태를 유지가능한 것에 의해 이재되고 있는 동안에 있어서의 주위 환경으로부터의 외부 물질의 유입을 방지가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 설비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 수납 용기는 내부에 물품을 수납가능한 수납 공간을 갖는 용기 본체와, 비접촉 방식에 의해 공급되는 상기 송풍 장치의 동작 전력을 수전하기 위한 용기 수전기를 더 갖고 있고,
    상기 이재 장치는 상기 수납 용기를 지지하기 위한 지지부와, 상기 반송 수단측의 반송 위치와 상기 보관부측의 보관 위치 사이에서 상기 지지부를 이동시키는 이재 수단을 갖고,
    상기 반송 수단은 상기 반송 위치에 있어서의 상기 지지부에 지지되어 있는 상기 수납 용기의 상기 용기 수전기에 대하여 비접촉 방식에 의해 송전을 행하는 반송 수단 송전기를 갖고 있고,
    상기 보관부는 상기 수납 용기를 보관하기 위한 보관 선반과, 상기 보관 선반에 보관되어 있는 상기 수납 용기의 상기 용기 수전기에 대하여 비접촉 방식에 의해 송전을 행하는 보관부 송전기를 갖고 있고,
    상기 이재 수단은 상기 수납 용기를 지지한 상태의 상기 지지부를 상기 반송 위치와 상기 보관 위치 사이에서 이동시킴으로써 상기 반송 수단과 상기 보관부 사이에서 상기 수납 용기를 상호 이재하는 것이 가능하며,
    상기 수납 용기는 상기 이재 수단에 의해 상기 반송 위치와 상기 보관 위치 사이에서 이동시키고 있는 동안에는 상기 송풍 장치가 이동 개시전까지 행한 송풍에 의해 내압이 주위 환경보다 높아진 상태를 유지가능한 것에 의해 이동시키고 있는 동안에 있어서의 주위 환경으로부터의 외부 물질의 유입을 방지가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 설비.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 용기 본체의 외면 중 제 1 면에는 수납 공간에 연결되는 제 1 개구부가 형성되어 있고, 상기 제 1 면과 대향하는 제 2 면에는 상기 제 1 개구부와 대향하는 제 2 개구부가 형성되어 있고,
    상기 제 1 면에 뚜껑체를 착탈함으로써 상기 제 1 개구부를 개방 또는 폐쇄가능하며,
    송풍 장치가 상기 제 2 면에 부착되어 있고, 상기 송풍 장치가 상기 제 2 개구부로부터 상기 뚜껑체에 의해 폐쇄된 상기 제 1 개구부를 향해 송풍함으로써 상기 수납 공간의 내압이 주위 환경보다 높아지는 것을 특징으로 하는 반송 설비.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 반송 수단이 상기 지지부 및 상기 이재 수단을 수평면 내에서 선회시키는 선회대를 갖고 있고,
    상기 선회대에는 상기 이재 수단에 의한 상기 지지부의 이동방향과는 역방향으로 연장되어 있는 확장 프레임이 부착되어 있고,
    상기 반송 수단 송전기는 상기 확장 프레임에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 설비.
  5. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보관부에 보관되어 있는 상기 수납 용기의 상기 용기 수전기에 대한 상기 보관부 송전기의 상대 위치와,
    상기 반송 위치에 있어서의 상기 반송 수단의 상기 지지부에 지지되어 있는 상기 수납 용기의 상기 용기 수전기에 대한 상기 반송 수단 송전기의 상대 위치가 동일하게 되도록 상기 용기 수전기, 상기 보관부 송전기, 상기 반송 수단 송전기가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 설비.
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