KR20090009529A - 물품 수납 장치 - Google Patents

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KR20090009529A
KR20090009529A KR1020070072896A KR20070072896A KR20090009529A KR 20090009529 A KR20090009529 A KR 20090009529A KR 1020070072896 A KR1020070072896 A KR 1020070072896A KR 20070072896 A KR20070072896 A KR 20070072896A KR 20090009529 A KR20090009529 A KR 20090009529A
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기미히로 츠게
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아시스트 테크놀로지스 재팬 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 물품의 수납 능력을 증강시키면서, 반송 대차에 의한 반송 시간을 짧게 하는 것을 목적으로 한다.
수납 공간(1)에는 서로 평행하게 4개의 수납 선반(23)이 배열되고, 인접하는 수납 선반(23) 사이에 레일(25)이 부설되어 있다. 이송 로봇(24)은 수납 선반(23) 및 수납 포트(32)와의 사이에서 캐리어(18)의 전달을 행하는 동시에, 레일(25)을 따라 이동하여 수납 선반(23)과 수납 포트(32) 간에 캐리어(18)를 반송한다. 승강대(6)는 수납 포트(32) 및 반입출 포트(26)와의 사이에서 캐리어(18)의 전달을 행하는 동시에, 천장(5)을 관통하여 연직 방향으로 이동하여 수납 포트(32)와 반입출 포트(26) 간에 캐리어(18)를 반송한다. OHT 반송 대차(17)는 반입출 포트(26) 및 반도체 제조 장치와의 사이에서 캐리어(18)의 전달을 행하는 동시에, 공정 내 궤도(13)를 따라 이동하여 반입출 포트(26)와 반도체 제조 장치 간에 캐리어(18)를 반송한다.
반송 궤도, 반송 대차, 반도체 제조 장치, 수납 선반, 리프터, 이동 로봇

Description

물품 수납 장치{ARTICLE CONTAINING APPARATUS}
본 발명은 천장으로부터 현수된 반송 대차에 의해 반송되는 물품을 수납하는 물품 수납 장치에 관한 것이다.
특허 문헌 1에는, 액정 표시 장치의 제조 공장에서 각 제조 공정에 대응하여, 제조 도중의 기판 등을 보존해 두기 위한 자동 창고(물품 수납 장치)가 설치되어 있으며, 각 제조 공정에서 제조된 기판(물품)은 무인 반송차(반송 대차)에 의해 대응하는 자동 창고까지 반송되고, 자동 창고 안에 설치되어 있는 자동 창고 사이에 기판을 반송하는 천장 반송차에 의해 다른 제조 공정에 대응하는 자동 창고로 반송되며, 이 자동 창고로부터 기판이 다른 제조 공정으로 반송되는 것이 기재되어 있다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2001-159304호 공보(도 1)
특허 문헌 1에서는 자동 창고가 각 제조 공정에 근접하여 설치되어 있지만, 생산 능력의 향상 등에 의해 자동 창고의 수용 능력을 증강시킬 필요가 발생한 경우에, 자동 창고를 제조 공정과 동일한 플로어에 설치하고자 하면, 공장 면적의 관계로부터 제조 공정과 자동 창고를 근접시켜 배치할 수 없는 경우가 있다. 그리고, 제조 공정과 자동 창고가 떨어져 배치되면, 무인 반송차가 제조 공정과 자동 창고 간에 기판을 반송하는 데 걸리는 시간이 증대된다.
본 발명의 목적은, 물품의 수납 능력을 증강시키면서 반송 대차에 의한 반송 시간이 적게 하는 물품 수납 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 물품 수납 장치는 천장으로부터 현수되어 부설된 반송 궤도를 따라 주행하는 반송 대차에 의해 반송되는 물품을 수납하는 물품 수납 장치이다. 그리고, 천장 안에 설치된 수납 공간과, 수납 공간 안에 설치되어 물품이 수납되는 수납 선반과, 반송 대차로부터 수납 선반으로의 물품 반입 및 수납 선반으로부터 반송 대차로의 물품의 반출을 행하는 반입출 장치를 포함하며, 반입출 장치가 천장을 관통하여 연직 방향으로 승강하여, 물품을 수납 공간의 내부 및 수납 공간의 외부로 반송하는 동시에, 반송 대차와의 사이에서 물품의 전달을 행하는 승강 반송 장치와, 수납 공간 안에 배치되고, 승강 반송 장치와 상기 수납 선반 사이를 이동하는 동시에, 승강 반송 장치와의 사이 및 수납 선반와의 사이에서 물품의 전달을 행하는 수납 반송 장치를 구비하고 있다.
이것에 의하면, 천장 안의 공간을 물품을 수납하기 위한 수납 공간으로서 이용함으로써, 물품의 수납 능력을 증강시킬 수 있는 동시에, 공장 설비 등에 있어서 공간을 유효하게 활용할 수 있다. 또한, 승강 반송 장치는 천장의 임의의 위치에 설치할 수 있기 때문에, 승강 반송 장치를 물품의 반송처 및 반송원에 근접시켜 배치함으로써, 반송 대차에 의한 물품의 반송에 따른 시간이 단축된다.
또한, 본 발명의 물품 수납 장치에 있어서는 복수의 수납 선반이 한방향을 따라 서로 평행하게 배열되어 있으며, 수납 반송 장치가 인접하는 수납 선반 사이에 수납 선반의 연장 방향을 따라 배치된 제1 주행 궤도와, 제1 주행 궤도를 주행하고, 수납 선반과의 사이에서 상기 물품의 전달을 행하는 제1 수납 대차를 갖고 있어도 좋다. 이것에 의하면, 복수의 수납 선반이 한방향을 따라 서로 평행하게 배치되어 있는 경우, 제1 수납 대차가 인접하는 수납 선반 사이에 배치된 제1 주행 궤도를 따라 주행하고, 수납 선반과의 물품의 전달을 행함으로써, 수납 선반에 대한 물품의 전달을 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 물품 수납 장치에 있어서는 수납 반송 장치가 복수의 수납선반을 둘러싸도록 배치된 제2 주행 궤도와, 제2 주행 궤도를 따라 주행하고, 승강 반송 장치와의 사이 및 제1 수납 대차와의 사이에서 물품의 전달을 행하는 제2 수납 대차를 더 구비하고 있어도 좋다. 이것에 의하면, 복수의 수납 선반을 둘러싸는 제2 주행 궤도를 따라 주행하는 제2 수납 대차를 통해 반입출 장치와 임의의 수납 선반에 대응하는 제1 수납 대차 간에 물품의 전달을 행할 수 있기 때문에, 수납 선 반 및 대응하는 제1 수납 대차의 수를 증가시켜, 수납 공간에서의 물품의 수납 능력을 더욱 증강시킬 수 있다. 또한, 제1 수납 대차와 제2 수납 대차가 독립하여 이동할 수 있기 때문에, 수납 선반으로의 물품의 수납 및 수납 선반으로부터 물품을 꺼내는 것을 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 물품 수납 장치에 있어서는 수납 반송 장치가 복수의 수납선반을 둘러싸도록 배치되고, 물품을 반송하는 제1 컨베이어와, 제1 컨베이어로부터 분기되어 수납 위치 근방까지 연장된 제2 컨베이어를 더 포함하고, 승강 반송 장치가 제2 컨베이어와의 사이에서 물품의 전달을 행하고, 제1 수납 대차가 제1 컨베이어와의 사이에서 물품의 전달을 행하여도 좋다. 이것에 의하면, 복수의 수납 선반을 둘러싸도록 배치된 제1 컨베이어를 통해 반입출 장치와 임의의 수납 선반에 대응하는 제1 수납 대차 간에 물품의 전달을 행할 수 있기 때문에, 수납 선반 및 대응하는 제1 수납 대차의 수를 증가시켜 수납 공간에서의 물품의 수납 능력을 더욱 향상시킬 수 있다. 또한, 제1 수납 대차와 제1, 제2 컨베이어는 독립적으로 동작할 수 있기 때문에, 수납 선반으로의 물품의 수납 및 수납 선반으로부터 물품을 꺼내는 것을 효율적으로 행할 수 있다. 덧붙여, 제1, 제2 컨베이어가 설치됨으로써, 반입출 장치와 제2 컨베이어 간에 및 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 간에 물품의 전달을 바로 행할 수 있기 때문에, 수납 선반으로의 물품의 수납 및 수납 선반으로부터 물품을 꺼내는 것을 한층 효율적으로 행할 수 있다.
본 발명에 따르면, 천장 안의 공간을 물품을 수납하기 위한 수납 공간으로서 이용함으로써, 물품의 수납 능력을 증강시킬 수 있는 동시에, 공장 설비 등에 있어서 공간을 유효하게 활용할 수 있다. 또한, 승강 반송 장치는 천장의 임의의 위치에 설치할 수 있기 때문에, 승강 반송 장치를 물품의 반송처 및 반송원에 근접시켜 배치함으로써, 반송 대차에 의한 물품의 반송에 따른 시간이 단축된다.
이하, 본 발명의 적합한 실시형태에 대해서 설명한다.
도 1은 본 실시형태에 따른 반송 시스템(10)의 천장 안을 제외한 부분의 평면도이다. 도 2는 도 1의 리프터 유닛(2) 중 하나와, 이 리프터 유닛(2)에 대응하는 천장 안의 부분의 사시도이다. 도 3은 도 2의 천장 안의 부분의 평면도이다. 반송 시스템(10)은 반도체 제조 공장의 클린룸 안에 설치된 것으로, 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 4개의 베이(7), 4개의 스토커(20), 반송 궤도(10), OHT(Overhead Hoist Transport) 반송 대차(17) 및 수납 장치(물품 수납 장치)(101)를 갖고 있다.
4개의 베이(7)는 도 1의 상하 방향으로 2개씩, 도 1의 좌우 방향으로 2열로 배치되어 있다. 각 베이(7)에는 4개의 반도체 제조 장치(14)가 설치되어 있으며, 반도체 제조 장치(14)에 의해 반도체 제조의 각 공정이 행해진다. 각 반도체 제조 장치(14)에는 제조 도중의 제품 등을 반송하기 위한 캐리어(물품)(18)를 반입하기 위한 반입 포트(15) 및 캐리어(18)를 반출하기 위한 반출 포트(16)가 설치되어 있다.
4개의 스토커(20)는 4개의 베이(7)에 각각 인접하여 배치되어 있으며, 내부 에 캐리어(18)가 수납되어 있다. 각 스토커(20)에는 캐리어(18)를 반입하기 위한 반입 포트(20) 및 캐리어(18)를 반출하기 위한 반출 포트(22)가 설치되어 있다.
반송 궤도(10)는 천장으로부터 현수되어 부설된 궤도로서, 반송 궤도(10)로부터 현수되어 있는 OHT 반송 대차(17)가 반송 궤도(10)를 따라 주행한다[OHT 반송 대차(17)는 반송 궤도(10)를 따라 이동 가능하게 지지되어 있음]. 그리고, OHT 반송 대차(17)가 캐리어(18)를 적재하여 반송 궤도(10)를 따라 주행함으로써, 캐리어(18)를 반도체 제조 장치(14), 스토커(15) 및 수납 장치(101)의 후술하는 리프터 유닛(2)으로 반송한다.
반송 궤도(10)는 공정간 궤도(11), 분기 궤도(12) 및 공정 내 궤도(13)로 구성되어 있다. 공정간 궤도(11)는 도 1의 상하 방향으로 연장된 환상의 궤도이며, OHT 반송 대차(17)가 공정간 궤도(11)를 따라 주행함으로써 베이(7) 간에 및 베이(7)와 스토커(20) 간에 캐리어(18)를 반송한다.
분기 궤도(12)는 4개의 베이(7) 및 4개의 스토커(20)에 대응하여 공정간 궤도(11)로부터 분기된 궤도이다. OHT 반송 대차(17)는 분기 궤도(12)를 통해 공정간 궤도(11)와 공정 내 궤도(13) 사이를 이동한다. 또는, OHT 반송 대차(17)는 분기 궤도(12)를 따라 스토커(20)의 반입 포트(21) 상측까지 이동하여 반입 포트(21)로 캐리어(18)를 이송하고, 반출 포트(22) 상측까지 이동하여 반출 포트(22)에 적재된 캐리어(18)를 OHT 반송 대차(17)로 이송한다.
공정 내 궤도(13)는 각 베이(7)의 상측에 배치된 환상의 궤도이며, OHT 반송 대차(18)는 반도체 제조 장치(14)에 캐리어(18)를 반입하는 경우에는 공정 내 궤 도(13)를 따라 주행하여, 반도체 제조 장치(14)의 반입 포트(15) 상측까지 이동하여 반입 포트(15)에 캐리어(18)를 적재하고, 반도체 제조 장치(14)로부터 캐리어(18)를 반출하는 경우에는 공정 내 궤도(13)를 따라 주행하여, 반도체 제조 장치(14)의 반출 포트(16)의 상측까지 이동하여 반출 포트(16)에 적재된 캐리어(18)를 OHT 반송 대차(17)에 이송한다.
수납 장치(101)는 스토커(20)와는 별로로 설치된 캐리어(18)를 수납하기 위한 장치이며, 클린룸의 천장 안에 설치된 수납 공간(1)과, 이 수납 공간(1)에 설치된 4개의 수납 선반(23), 2개의 레일(제1 주행 궤도)(25), 2개의 이송 로봇(제1 반송 대차)(24) 및 작업 발판(40)과, 리프터 유닛(2)에 의해 구성되어 있다.
수납 공간(1)은 천장(5)의 상면을 바닥면으로 하는 공간이다. 4개의 수납 선반(23)은 캐리어(18)를 수납해 두기 위한 대략 직육면체 형상의 선반이며, 수납 공간(1) 안에는 도 3의 좌우 방향을 따라 서로 평행하게 배열되어 있다. 2개의 레일(25)은 각각 도 3의 좌측으로부터 1번째와 2번째의 수납 선반(23) 사이 및 좌측으로부터 3번째와 4번째의 수납 선반(23) 사이에서, 수납 선반(23)과 평행하게 연장되어 있다. 2개의 이송 로봇(24)은 각각 2개의 레일(25)을 따라 수납 선반(23)과 수납 포트(32)[리프터 유닛(30)] 사이를 주행하고, 수납 선반(23)에 캐리어(18)를 적재하거나 또는 수납 선반(23)에 적재된 캐리어(18)를 이송 로봇(24)에 이송한다[수납 선반(23)과의 사이에서 캐리어(18)의 전달을 행함]. 또한, 이송 로봇(24)은 레일(25)을 따라 후술하는 수납 포트(32) 근방까지 이동하고, 수납 포트(32)에 캐리어(18)를 이송하거나 혹은 수납 포트(32)에 적재된 캐리어(18)를 이송 로봇(24) 에 이송한다. 작업 발판(40)은 도 2의 리프터 유닛(2)의 전방에 설치되어 있으며, 작업자가 보수 점검을 하기 위해 이용하는 발판으로 되어 있다.
이와 같이, 클린룸의 천장 안에 캐리어(18)를 수납하기 위한 수납 공간(1)을 설치함으로써, 캐리어(18)의 수납 능력을 증강시킬 수 있는 동시에, 클린룸의 공간을 유효하게 이용할 수 있다. 또한, 수납 공간(1)에서, 수납 선반(23)을 서로 평행하게 배열하고, 인접하는 수납 선반(23) 사이에 배치된 레일(25)을 따라 이송 로봇(24)을 이동시켜 수납 선반(23)과 이송 로봇(24) 간에 효율적으로 캐리어(18)의 전달을 행할 수 있다. 또한, 레일(25)과 이송 로봇(24)이 본 발명의 수납 반송 장치에 해당한다.
리프터 유닛(2)은 대략 직육면체의 외형 형상을 갖는 통형체이며, 천장(5)의 각 베이(7)의 상측 부분을 관통하여 연직 방향으로 연장되어 있다. 여기서, 리프터 유닛(2)은 천장(5)의 임의의 위치에 설치할 수 있기 때문에, 도 1, 도 2에 도시하는 바와 같이, 각 베이(7)에 근접시켜 설치함으로써, OHT 반송 대차(17)에 의해 반도체 제조 장치(14)와 리프터 유닛(2) 간에 캐리어(18)를 반송하는 데 걸리는 시간이 짧다. 또한, 리프터 유닛(2)은 2개의 리프터(승강 반송 장치)(30)가 일체로 된 것이다. 각 리프터(30)는 승강대(6), 이송 장치(34), 반입출 포트(26), 수납 포트(32) 및 지상 포트(8)를 갖고 있다. 승강대(6)는 리프터(30)[리프터 유닛(2)]의 내부 공간 안에서 캐리어(18)를 적재하여 연직 방향으로 승강함으로써, 캐리어(18)를 반입출 포트(26) 및 수납 포트(32)로 이송한다[천장(5)을 관통하여 승강하고, 캐리어(18)를 수납 공간(1)의 내부 및 수납 공간(1)의 외부로 반송함]. 이송 장 치(34)는 승강대(6)의 상면에 배치되어 있으며, 캐리어(18)를 승강대(6)에 적재하거나 또는 승강대(6)에 적치된 캐리어(18)를 반입출 포트(26) 및 수납 포트(32)로 이송한다.
반입출 포트(26)는 공정 내 궤도(13)를 주행하는 OHT 반송 대차(17)의 하측에서, 리프터 유닛(2)에 형성된 반입출구(28)로부터 외측으로 대략 수평 방향으로 연장되어 있다. 반입출 포트(26)에는 OHT 반송 대차(17)로부터 캐리어(18)가 이송되고, 반입출 포트(26)에 이송된 캐리어(18)는 승강대(6)로 더 이송된다. 혹은, 반입출 포트(26)에는 승강대(6)로부터 캐리어(18)가 이송되고, 반입출 포트(26)에 이송된 캐리어(18)는 OHT 반송 대차(17)에 더 이송된다. 즉, 반입출 포트(26)를 통해 OHT 반송 대차(17)와 승강대(6)[리프터(30)] 간에 캐리어(18)의 전달이 행해진다.
수납 포트(32)는 리프터 유닛(2)의 상단부 부근에 형성된 수납구(35)로부터 외측으로 대략 수평 방향으로 연장되어 있다. 수납 포트(32)에는 승강대(6)로부터 캐리어(18)가 이송되고, 수납 포트(32)에 이송된 캐리어(18)는 이송 로봇(24)에 더 이송된다. 혹은, 수납 포트(32)에는 이송 로봇(24)으로부터 캐리어(18)가 이송되고, 수납 포트(18)에 이송된 캐리어(18)는 승강대(6)로 더 이송된다. 즉, 수납 포트(32)를 통해, 승강대(6)와 이송 로봇(24) 간에 캐리어(18)의 전달이 행해진다.
지상 포트(8)는 리프터 유닛(2)의 하단부 부근에 형성된 지상 반입출구(9)로부터 외측으로 대략 수평 방향으로 연장되어 있다. 지상 포트(8)에는 작업자(P)에 의해 캐리어(18)가 이송되고, 지상 포트(8)에 이송된 캐리어(18)는 승강대(6)로 더 이송된다. 혹은, 지상 포트(8)에는 승강대(6)에 의해 캐리어(18)가 이송되고, 지상 포트(8)에 이송된 캐리어(18)가 작업자(P)에 의해 꺼내진다. 즉, 지상 포트(8)를 통해, 작업자(P)와 승강대(6) 간에 캐리어(18)의 전달이 행해진다.
또한, 전술한 본 발명의 수납 반송 장치에 해당하는 레일(25) 및 이송 로봇(24)에, 리프터 유닛(2)을 추가한 것이 본 발명의 반입출 장치에 해당하고, 이 반입출 장치가 OHT 반송 대차(17)로부터 수납 선반(23)으로의 캐리어(18)의 반입 및 수납 선반(23)으로부터 OHT 반송 대차(17)로의 캐리어(18)의 반출을 행한다.
여기서, 수납 선반(23)에 캐리어(18)를 수납하는 방법 및 수납 선반(23)에 수납된 캐리어(18)를 꺼내는 방법에 대해서 설명한다.
수납 선반(23)에 캐리어(18)를 수납하기 위해서는 OHT 반송 대차(17)를 수납 선반(23)에 수납하는 캐리어(18)가 있는 반도체 제조 장치(14)의 반출 포트(16)의 상측까지 이동시켜, 반출 포트(16)로부터 OHT 반송 대차(17)로 캐리어(18)를 이송한다. 그리고, OHT 반송 대차(17)를 동일한 베이(7) 안에 설치된 리프터(30)[리프터 유닛(2)]의 반입출 포트(26)의 상측까지 이동시켜, 캐리어(18)를 반입출 포트(26)로 이송한다. 이 때, 리프터(30)가 천장(5)의 각 베이(7)의 상측 부분을 관통하여 연직 방향으로 연장되어, 각 베이(7)에 근접한 위치에 있기 때문에, OHT 반송 대차(17)를 반출 포트(16)로부터 반입출 포트(26)까지 이동시키는 데 걸리는 시간이 적다.
이어서, 승강대(6)를 반입출구(28)와 동일한 높이까지 이동시키고 나서, 이송 장치(34)에 의해 반입출 포트(26)로 이송된 캐리어(28)를 승강대(6)로 이송한다. 그리고, 승강대(6)를 수납구(35)와 동일한 높이까지 이동시키고, 이송 장 치(34)에 의해 캐리어(18)를 승강대(6)로부터 수납 포트(32)로 이송한다.
다음에, 이송 로봇(24)을 레일(25)을 따라 수납 포트(32)에 근접하는 위치까지 이동시키고, 수납 포트(32)에 이송된 캐리어(18)를 이송 로봇(24)에 이송한다. 그리고, 이송 로봇(24)을 레일(25)을 따라 수납 선반(23)의 캐리어(18)를 수납해야하는 위치에 대향하는 위치까지 이동시켜, 이송 로봇(24)으로부터 수납 선반(23)에 캐리어(18)를 이송하여, 캐리어(18)를 수납 선반(23)에 수납한다.
한편, 수납 선반(23)에 수납된 캐리어(18)를 꺼내기 위해서는 이송 로봇(24)을 레일(25)을 따라 수납 선반(23)의 꺼내야하는 캐리어(18)가 수납된 부분에 대향하는 위치까지 이동시키고, 수납 선반(23)으로부터 이송 로봇(24)에 캐리어(18)를 이송한다. 이어서, 이송 로봇(24)을 레일(25)을 따라 수납 포트(32)에 근접하는 위치까지 이동시켜, 이송 로봇(24)으로부터 수납 포트(32)로 캐리어(18)를 이송한다.
다음에, 승강대(6)를 수납구(35)와 동일한 높이까지 이동시키고, 이송 장치(34)에 의해 수납 포트(32)로부터 승강대(6)로 캐리어(18)를 이송한다. 그리고, 승강대(6)를 반입출구(28)와 동일한 높이까지 이동시켜, 이송 장치(34)에 의해 승강대(6)로부터 반입출 포트(26)로 캐리어(18)를 이송한다.
이어서, OHT 반송 대차(17)를 반입출 포트(26)의 상측까지 이동시켜, 반입출 포트(26)로부터 OHT 반송 대차(17)로 캐리어(18)를 이송한다. 그리고, OHT 반송 대차(17)를 반송처의 반도체 제조 장치(14)의 반입 포트(15)의 상측까지 이동시켜, OHT 반송 대차(17)로부터 반입 포트(15)로 캐리어(18)를 이송한다. 이 때, 리프터(30)가 천장(5)의 각 베이(7)의 상측 부분을 관통하여 연직 방향으로 연장되어, 각 베이(7)에 근접한 위치에 있기 때문에, OHT 반송 대차(17)를 반입출 포트(26)로부터 반입 포트(15)까지 이동시키는 데에 걸리는 시간이 짧다.
또한, 지상 포트(8)로부터 수납 장치(101)에 캐리어(18)를 수납하는 방법 및 수납 장치(101)에 수납된 캐리어(18)를 지상 포트(8)에서 꺼내는 방법도 전술한 것과 동일하기 때문에 여기서는 설명을 생략한다.
이상으로 설명한 실시형태에 의하면, 클린룸의 천장 안의 공간을 캐리어(18)를 수납하기 위한 수납 공간(1)으로서 이용함으로써, 캐리어(18)의 수납 능력을 증강시킬 수 있는 동시에, 클린룸에서 공간을 유효하게 활용할 수 있다. 또한, 리프터 유닛(2)은 천장(5) 임의의 위치에 설치할 수 있기 때문에, 리프터 유닛(2)을 반송처 및 반송원인 반도체 제조 장치(14)가 있는 베이(7)에 근접시켜 배치함으로써, OHT 반송 대차(17)에 의한 캐리어(17)의 반송에 걸리는 시간이 단축된다.
또한, 수납 공간(1)에서, 수납 선반(23)을 상호 평행하게 배열하고, 인접하는 수납 선반(23) 사이에 수납 선반(23)의 연장 방향을 따라 연장된 레일(25)을 따라 이송 로봇(24)을 이동시킴으로써, 수납 선반(23)과 이송 로봇(24) 간에 효율적으로 캐리어(18)의 전달을 행할 수 있다.
다음에, 본 실시형태에 여러 가지의 변경을 추가한 변형예에 대해서 설명한다. 단, 본 실시형태와 동일한 구성을 갖는 것에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 적절하게 그 설명을 생략한다.
하나의 변형예에서는 도 4에 도시하는 바와 같이, 수납 공간(3)에 6개의 수납 선반(23)이 도 4의 좌우 방향을 따라 서로 평행하게 배열되어 있으며, 좌측으로 부터 1번째와 2번째의 수납 선반(23) 사이, 좌측으로부터 3번째와 4번째의 수납 선반(23) 사이 및 좌측으로부터 5번째와 6번째의 수납 선반(23) 사이에 레일(25)이 부설되고, 이 레일(25)을 따라 이송 로봇(24)이 주행하도록 구성되어 있다. 또한, 이들 6개의 수납 선반(23) 및 3개의 레일(25)을 둘러싸도록 레일(제2 주행 경로)(50)이 부설되고, 이 레일(50)을 따라 OHS(Over Head Shuttle) 반송 대차(제2 수납 대차)(51)가 주행한다(변형예 1).
이 경우, 수납 공간(3)에 캐리어(18)를 수납할 때에는 전술한 것과 마찬가지로 캐리어(18)를 적재한 승강대(6)를 수납구(35)(도 2 참조)와 동일한 높이까지 이동시킨다. 그리고, 승강대(6)로부터 이송 장치(34)에 의해 이 승강대(6)에 근접하는 위치까지 이동시킨 OHS 반송 대차(51)에 캐리어(18)를 이송하고, OHS 반송 대차(51)를 이 캐리어(18)가 수납되는 수납 선반(23)에 대응하는 이송 로봇(24)이 주행하는 레일(25)의 한쪽 단부 근방까지 이동시키고, 이 위치에서, OHS 반송 대차(51)로부터 이송 로봇(24)에 캐리어(18)를 이송한다.
한편, 수납 공간(3)에 수납된 캐리어(18)를 꺼낼 때에는 꺼내야하는 캐리어(18)가 수납된 수납 선반(23)에 대응하는 이송 로봇(24)이 주행하는 레일(25)의 한쪽 단부 근방까지 OHS 반송 대차(51)를 이동시켜, 이송 로봇(24)으로부터 OHS 반송 대차(51)에 캐리어(18)를 이송한다. 그리고, OHS 반송 대차(51)를 레일(50)을 따라 리프터 유닛(2)과 근접하는 위치까지 이동시켜, 이송 장치(34)에 의해 OHS 반송 대차(51)로부터 승강대(6)에 캐리어(18)를 이송한다.
이 경우에는 복수의 수납 선반(23)을 둘러싸도록 부설된 레일(50)을 따라 주 행하는 OHS 반송 대차(51)를 통해 승강대(6)와 이송 로봇(24) 사이에 캐리어(18)의 전달을 행하고 있기 때문에, 리프터 유닛(2)과 레일(25)이 떨어져 배치되어 있어도 좋고, 수납 선반(23), 레일(25) 및 이송 로봇(24)의 수를 증가시켜, 수납 공간(3)에서의 캐리어(18)의 수납 능력을 증강시킬 수 있다.
또한, 이송 로봇(24)과 OHS 반송 대차(51)는 독립적으로 이동할 수 있기 때문에, 이송 로봇(24)이 수납 선반(23)과의 사이에서 캐리어(18)의 전달을 행하고 있는 동안에도 OHS 반송 대차(51)와 승강대(6) 간에 캐리어(18)의 전달을 행할 수 있고, 수납 공간(3)으로의 캐리어(18)의 수납 및 수납 공간(3)으로부터 캐리어(18)를 꺼내는 것을 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 변형예 1에서는 수납 선반(23)의 수를 6개, 레일(25) 및 이송 로봇(24)의 수를 3개로 하고 있지만, 수납 선반(23), 레일(25) 및 이송 로봇(24)의 수를 수납 공간(3)의 크기에 맞추어 적절하게 증가시키는 것도 가능하다. 또한, 변형예 1에 있어서는 레일(25), 이송 로봇(24), 레일(50) 및 OHS 반송 대차(51)가 본 발명의 수납 반송 장치에 해당한다.
다른 하나의 변형예에서는 도 5에 도시하는 바와 같이, 수납 공간(4)에 변형예 1과 마찬가지로 6개의 수납 선반(23)이 도 5의 좌우 방향을 따라 서로 평행하게 배열되어 있으며, 좌측으로부터 1번째와 2번째의 수납 선반(23) 사이, 좌측으로부터 3번째와 4번째의 수납 선반(23) 사이 및 좌측으로부터 5번째와 6번째의 수납 선반(23) 사이에 각각 레일(25)이 부설되고, 이 레일(25)을 따라 이송 로봇(24)이 주행하도록 구성되어 있다. 또한, 이들 6개의 수납 선반(23) 및 3개의 레일(25)을 둘 러싸도록 컨베이어(제1 컨베이어)(52)가 부설되어 있으며, 또한, 컨베이어(52)로부터 분기된 컨베이어(제2 컨베이어)(53)가 리프터 유닛(2)에 근접하는 위치까지 연장되어 있다. 또한, 컨베이어(52)와 컨베이어(53)와의 분기점, 컨베이어(53)의 리프터 유닛(2) 근방 및 컨베이어(52)의 레일(25) 양단 근방에는 각각 턴테이블(55, 56, 57)이 설치되어 있다(변형예 2).
이 경우, 수납 공간(4)에 캐리어(18)를 수납할 때에는 전술한 바와 같이, 캐리어(18)를 적재한 승강대(6)를 수납구(35)(도 2 참조)와 동일한 높이까지 이동시킨다. 그리고, 승강대(6)로부터, 이송 장치(34)에 의해 턴테이블(56)로 캐리어(18)를 이송한다. 그러면, 캐리어(18)가 컨베이어(53)를 따라 컨베이어(52)와의 분기점에 설치된 턴테이블(55)까지 반송된다. 또한, 캐리어(18)는 컨베이어(52)를 따라 이 캐리어(18)가 수납되는 수납 선반(23)에 대응하는 레일(25)의 한쪽 단부 근방에 배치된 턴테이블(57) 위까지 반송되고, 이 턴테이블(57)에 의해 그 위치에 멈춰지게 된다. 그리고, 이 턴테이블(57) 상에 멈춰진 반송된 캐리어(18)는 이송 로봇(24)에 이송된다.
한편, 수납 공간(4)에 수납된 캐리어(18)를 꺼낼 때에는 꺼낼 캐리어(18)가 수납된 수납 선반(23)에 대응하는 이송 로봇(24)이 레일(25)의 한쪽 단부 근방 턴테이블(55)에 캐리어(18)를 적재한다. 그렇게 하면, 캐리어(18)는 컨베이어(52)를 따라 반송처의 반도체 제어 장치(14)(도 1 참조)가 있는 베이(7)(도 1 참조)에 대응하는 리프터 유닛(2)과 컨베이어(52) 사이에 연장된 컨베이어(53)와의 분기점에 있는 턴테이블(55)까지 반송되고, 턴테이블(55)에 의해 컨베이어(52)로 반송된다. 또한, 캐리어(18)는 컨베이어(52)에 의해 리프터 유닛(2) 근방에 있는 턴테이블(56)까지 반송되고, 턴테이블(56)에 의해 그 위치에 멈춰지게 된다. 그리고, 이 턴테이블(56)에 멈춰진 캐리어(18)를 이송 장치(34)에 의해 승강대(6)로 이송한다.
이 경우에는, 복수의 수납 선반(23)을 둘러싸도록 부설된 컨베이어(52) 및 컨베이어(52)로부터 분기된 컨베이어(53)를 통해 승강대(6)와 이송 로봇(24) 사이의 캐리어(18)의 전달을 행하고 있기 때문에, 리프터 유닛(2)과 레일(25)이 떨어져 배치되어 있어도 좋고, 수납 선반(23), 레일(25) 및 이송 로봇(24)의 수를 증가시켜 수납 공간(4)에서의 캐리어(18)의 수납 능력을 증강시킬 수 있다.
또한, 이송 로봇(24)과 컨베이어(52, 53)는 독립적으로 동작하기 때문에, 이송 로봇(24)이 수납 선반(23)과의 사이에서 캐리어(18)의 전달을 행하고 있는 사이에도 승강대(6)와 컨베이어(53) 간에 캐리어(18)의 전달을 행할 수 있어, 수납 공간(4)으로의 캐리어(18)의 수납 및 수납 공간(4)으로부터 캐리어(18)를 꺼내는 것을 효율적으로 행할 수 있다. 또한, 승강대(6)로부터 이송 로봇(24)까지 캐리어(18)를 반송하는 것이 컨베이어(52, 53)이기 때문에, 승강대(6)와의 사이에서 캐리어(18)의 전달을 행할 때에, 변형예 1과 같이 OHS 반송 대차(51)(도 4 참조)가 승강대(6)의 근방으로 오는 것을 대기할 필요가 없이, 승강대(6)와 컨베이어(53) 간에 바로 캐리어(18)의 전달을 행하여, 컨베이어(52)에 반송할 수 있기 때문에, 수납 공간(4)으로의 캐리어(18)의 수납 및 수납 공간(4)으로부터 캐리어(18)를 꺼내는 것을 한층 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 변형예 2에서도 변형예 1과 마찬가지로 수납 선반(23), 레일(25) 및 이송 로봇(24)의 수를 수납 공간(4의) 크기에 맞추어 적절하게 증가시키는 것이 가능하다. 또한, 변형예 2에 있어서는 레일(25), 이송 로봇(24), 컨베이어(52, 53) 및 턴테이블(55∼57)이 본 발명의 수납 반송 장치에 해당한다.
또한, 본 실시형태에서는 반송 대차로서 OHT 반송 대차(17)를 이용한 예에 대해서 설명하였지만, 반송 대차로서, OHS 반송 대차 등 OHT 반송 대차(17) 이외의 것을 이용하여도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는 리프터 유닛(2)을 구성하는 2개의 리프터(30) 양방을 수납 공간(1)으로의 캐리어(18)의 수납 및 수납 공간(1)으로부터 캐리어(18)를 꺼내기 위해 사용하였지만, 2개의 리프터(30) 중 한쪽을 수납 공간(1)으로의 캐리어(18)의 수납을 위해서만 사용하고, 다른 한쪽을 수납 공간(1)으로부터 캐리어(18)를 꺼내기 위해서만 사용하며, 수납 공간(1)으로부터 캐리어(18)를 꺼내기 위해 사용하는 리프터(30)의 수납구(32) 근방에 에어 샤워를 설치하여도 좋다. 이 경우에는 수납 공간(1) 안에 약간의 먼지 등이 있고, 그 먼지가 캐리어(18)에 부착되는 경우라 해도 에어 샤워에 의해 그 먼지가 제거되어, 클린룸 안에 먼지가 들어가는 것을 방지할 수 있다.
또한, 수납 공간(1)이 외기에 연통하고 있는 경우에는, 수납 공간 안에 외기 중에 포함되는 먼지 등을 제거하여 수납 공간(1)의 내부에 먼지가 들어가는 것을 방지하기 위한 필터가 설치되어도 좋다.
또한, 천장(5)은 본 실시형태의 경우와 같이 상면이 평면으로 된 구조 외에, 그레팅(grating) 구조 등으로 할 수도 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 반송 시스템의 천장 안을 제외한 부분의 개략 구성도.
도 2는 도 1의 반송 시스템 중 하나의 리프터 유닛과 이 리프터 유닛에 대응하는 천장 안의 부분의 사시도.
도 3은 도 2의 천장 안의 부분의 평면도.
도 4는 변형예 1의 도 3에 해당하는 평면도.
도 5는 변형예 2의 도 3에 해당하는 평면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 수납 공간 2 : 리프터 유닛
5 : 천장 6 : 승강대
10 : 반송 시스템 17 : OHT 반송 대차
18 : 캐리어 23 : 수납 선반
24 : 이송 로봇 25 : 레일
30 : 리프터 50 : 레일
51 : OHS 반송 대차 52, 53 : 컨베이어
55∼57 : 턴테이블 101 : 수납 장치

Claims (4)

  1. 천장으로부터 현수되어 부설된 반송 궤도를 따라 주행하는 반송 대차에 의해 반송되는 물품을 수납하는 물품 수납 장치로서,
    천장 안에 설치된 수납 공간과,
    상기 수납 공간 안에 마련되고 상기 물품이 수납되는 수납 선반과,
    상기 반송 대차로부터 상기 수납 선반으로의 상기 물품의 반입 및 상기 수납 선반으로부터 상기 반송 대차로의 상기 물품의 반출을 행하는 반입출 장치
    를 포함하고, 상기 반입출 장치는,
    상기 천장을 관통하여 연직 방향으로 승강하고, 상기 물품을 상기 수납 공간의 내부 및 상기 수납 공간의 외부로 반송하는 동시에, 상기 반송 대차와의 사이에서 상기 물품의 전달을 행하는 승강 반송 장치와,
    상기 수납 공간 안에 배치되고, 상기 승강 반송 장치와 상기 수납 선반 사이를 이동하는 동시에, 상기 승강 반송 장치와의 사이 및 상기 수납 선반과의 사이에서 상기 물품의 전달을 행하는 수납 반송 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 수납 장치.
  2. 제1항에 있어서, 복수의 상기 수납 선반이 한 방향을 따라 서로 평행하게 배치되어 있으며,
    상기 수납 반송 장치는,
    인접하는 상기 수납 선반 사이에 상기 수납 선반의 연장 방향을 따라 배치된 제1 주행 궤도와,
    상기 제1 주행 궤도를 주행하고, 상기 수납 선반과의 사이에서 상기 물품의 전달을 행하는 제1 수납 대차를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 물품 수납 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 수납 반송 장치는,
    복수의 상기 수납 선반을 둘러싸도록 배치된 제2 주행 궤도와,
    상기 제2 주행 궤도를 따라 주행하고, 상기 승강 반송 장치와의 사이 및 상기 제1 수납 대차와의 사이에서 상기 물품의 전달을 행하는 제2 수납 대차를 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 물품 수납 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 수납 반송 장치는,
    복수의 상기 수납 선반을 둘러싸도록 배치되고, 상기 물품을 반송하는 제1 컨베이어와,
    상기 제1 컨베이어로부터 분기되어 상기 수납 위치 근방까지 연장된 제2 컨베이어를 더 포함하고,
    상기 승강 반송 장치는 상기 제2 컨베이어와의 사이에서 상기 물품의 전달을 행하며,
    상기 제1 수납 대차는 상기 제1 컨베이어와의 사이에서 상기 물품의 전달을 행하는 것을 특징으로 하는 물품 수납 장치.
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CN113213051A (zh) * 2021-06-16 2021-08-06 浙江云洁仓储设备有限公司 一种具有电动抓取机构的大型仓储柜体
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