JP4848862B2 - 搬送台車走行軌道 - Google Patents

Description

本発明は、搬送台車が移動可能に取り付けられる搬送台車走行軌道に関する。

特許文献１には、天井から懸吊されたレール（搬送台車走行軌道）にＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）搬送台車が懸垂されており、ＯＨＴ搬送台車がレールに沿って移動可能となった（搬送台車が搬送台車走行軌道に移動可能に固定された）搬送システムが記載されている。

特開２００５−１１２５６３号公報（図１）

ここで、このような搬送システムを半導体や液晶装置を生産するクリーンルーム等において用いる場合に、生産規模の拡大、最新世代のデバイス対応の生産ラインへの更新等を行うために、従前の工場建屋に新規工場を増設する場合や、従前の工場スペースに新規に生産設備を増設する場合がある。上記のような搬送システムでは、一般にレールは天井付近において水平方向に敷設され、ＯＨＴ搬送台車が水平方向に移動するように構成されるが、このような新規工場、新規設備の増設では、天井に敷設するレールに高低差を設ける必要が生じる場合がある。

特許文献１の搬送システムでは、このような場合、レールの高さが変化する部分において、レールを構成する複数のレール部材を高低差に合わせて傾斜させて配設することになるが、その際、レール部材毎に傾斜角を確認しながら配設していく必要があり、作業の工数が増加してしまうとともに、作業のミスも起こりやすくなる。また、軌道を滑らかな曲線に沿ったものとするために、この部分に配設するレール部材を水平に配設するレール部材よりも短いものとし、このような長さの短いレール部材を多数用いて傾斜部分を形成する必要があるので、傾斜部分においてレールを天井から懸吊する作業の工数が増加してしまう。

本発明の目的は、作業の工数が少なく且つ作業ミスも起こりにくい高低差を有する搬送台車走行軌道を提供することである。

本発明の搬送台車走行軌道は、搬送台車が移動可能に取り付けられる搬送台車走行軌道であって、上端が天井に固定され下方に延在する複数の懸吊部材と、一方向に延在し、懸吊部材により所定の間隔で支持される第１直線レール部材と、鉛直面内で湾曲し、その湾曲方向に沿って延在した、懸吊部材により所定の間隔で支持される湾曲レールモジュールとを有し、湾曲レールモジュールと第１直線レール部材とがこれらの延在方向に関する端面において互いに接続されており、湾曲レールモジュールが、鉛直面内でその延在方向に沿って湾曲した湾曲面を表面に有する湾曲部材と、一方向に延在しその延在方向に関する長さが第１直線レール部材よりも短い、湾曲部材に固定された複数の第２直線レール部材とから構成されており、複数の第２直線レール部材が、隣接する第２直線レール部材の延在方向が互いに異なるように湾曲面に当接して配列されるとともに、隣接する第２直線レール部材の延在方向に関する端面同士が互いに対向するように連接配置され、搬送台車が、連設配置された第２レール部材に案内されて走行する。

これによると、搬送台車走行軌道が高低差を有する場合、高さが変化する部分を湾曲レールモジュールにより接続することができる。ここで、湾曲レールモジュールは、複数の第２直線レール部材を湾曲面に当接させて配列し、湾曲部材に固定することにより形成することができるため、搬送台車走行軌道の高さが変化する部分を形成する際に、第２直線レール部材毎に傾斜角を確認する必要がなくなり、作業の工数が減少するとともに作業のミスも起こりにくくなる。さらに、湾曲レールモジュールにおいて、複数の第２直線レール部材が湾曲部材に固定されているため、懸吊部材により湾曲レールモジュールを所定の間隔で支持することによって湾曲レールモジュールを天井から懸吊することができ、複数の第２直線レール部材を別々に懸吊部材により支持する必要がなく、懸吊部材の数が少なくてすむとともに湾曲レールモジュールを懸吊するための作業の工数が減少する。

また、本発明の搬送台車走行軌道においては、湾曲部材が、第２直線レール部材に向かって凸となるように湾曲した湾曲面を有する凸型湾曲部材、及び、第２直線レール部材と反対側に向かって凸となるように湾曲した湾曲面を有する凹型湾曲部材のいずれかであってもよい。これによると、湾曲部材を第２直線レール部材の上方又は下方のいずれかにしか配置することができない場合にも、湾曲部材として凸型湾曲部材及び凹型湾曲部材を用いて上に凸になるように湾曲した湾曲レールモジュール及び下に凸になるように湾曲した湾曲レールモジュールのいずれも作製することができ、搬送台車走行軌道の高さが変化している部分の全てを湾曲レールモジュールにより接続することができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

図１は本発明の実施の形態に係る搬送システムの概略構成図である。搬送システム１は、半導体を製造するためのクリーンルームに設けられたものであり、図１に示すように、搬送台車走行軌道２とＯＨＴ搬送台車５とを有し、ＯＨＴ搬送台車５が搬送台車走行軌道２に沿って移動することによって製造の各工程間及び各工程内において加工途中の中間製品の搬送が行われる。

搬送台車走行軌道２は、工程間軌道６、複数の分岐軌道７及び複数の工程内軌道４を有している。工程間軌道６は、半導体の製造における各工程を行う図１の上下方向に配列された複数のベイ９の左方において、図１の上下方向に延びた環状の軌道であり、搬送台車５は工程間軌道６に沿ってベイ９間を移動する。複数の分岐軌道７は、複数のベイ９に対応して工程間軌道６から分岐した軌道であり、搬送台車５は工程間軌道６から搬送先のベイ９に対応する分岐軌道７に移動し、分岐軌道７に沿ってベイ９の上方まで移動する。複数の工程内軌道４は、複数の分岐軌道７に接続されており、各ベイ９上に環状に延びている。各ベイ９には、半導体を製造するための半導体製造装置３６及びＯＨＴ搬送台車５により搬送されるＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）３４（図６参照）をストックしておくためのストッカ３７が設けられている。半導体製造装置３６にはＦＯＵＰ３４（図６参照）の積み下ろしをするためのポート３５が設けられ、ストッカ３７にはＦＯＵＰ３４のストッカ３７への出入庫を行うための出庫ポート３８及び入庫ポート３９が設けられている。ＯＨＴ搬送台車５は工程内軌道４に沿ってポート３５、出庫ポート３８及び入庫ポート３９の上方まで移動する。これにより、後述するように、ある工程を行うベイ９において製造された部品などをＦＯＵＰ３４（図６参照）に積載して別の工程を行うベイ９に搬送することができる。

次に、搬送台車走行軌道２の構造について図２〜図５を用いて説明する。図２は図１の搬送台車走行軌道２の側面図である。図３は、図２の第１直線レール部材８の概略斜視図である。図４（ａ）は図２の湾曲レールモジュール４１の概略斜視図であり、図４（ｂ）は図２の湾曲レールモジュール４２の概略斜視図である。図５は図４（ａ）の凹型湾曲部材１０と第２直線レール部材１２との接続部分、及び、図４（ｂ）の凸型湾曲部材１１と第２直線レール部材１２との接続部分の断面図である。

図２に示すように、搬送台車走行軌道２は、第１直線レール部材８、２種類の湾曲レールモジュール４１、４２及び懸吊部材１４を有している。第１直線レール部材８は、図３に示すように、略直方体の外形形状を有しており、その延在方向における２つの端面にそれぞれ開口８ｂを有するとともに、下面に第１直線レール部材８の延在方向に延び、両端が２つの開口８ｂに接続された開口８ｃを有する空間８ａが形成されている。そして、後述するように、ＯＨＴ搬送台車５の１次側コイル２１、１次側鉄心２３、２次側コイル２４、分岐ローラ２７及び走行車輪２８（図６参照）が空間８ａ内を移動する。

湾曲レールモジュール４１は、図２、図４（ａ）に示すように、５つの第２直線レール部材１２と凹型湾曲部材１０とから構成されており、鉛直面内で湾曲し、その湾曲方向に沿って延在している。第２直線レール部材１２は、その延在方向に関する長さが第１直線レール部材８よりも短い略直方体形状の外形形状を有し、その延在方向に関する２つの端面にそれぞれ開口１２ｂを有するとともに、下面に第２直線レール部材１２の延在方向に延び、両端が２つの開口１２ｂに接続された開口１２ｃを有する空間１２ａが形成されている。そして、後述するように、ＯＨＴ搬送台車５の１次側コイル２１、１次側鉄心２３、２次側コイル２４、分岐ローラ２７及び走行車輪２８（図６参照）が空間１２ａ内を移動する。

凹型湾曲部材１０は、その上面が平面状に構成されているとともに、下面がその延在方向に沿って上に凸（第２直線レール部材１２と反対側に向かって凸）となるように鉛直面内で滑らかに湾曲した湾曲面１０ａとなっている。５つの第２直線レール部材１２は、隣接する第２直線レール部材１２の延在方向が互いに異なるように湾曲面１０ａに当接して配列されて凹型湾曲部材１０に固定されており、隣接する第２直線レール部材１２の開口１２ｂ（延在方向に関する端面）同士が互いに対向するように連接配置されている。ここで、隣接する第２直線レール部材１２の開口１２ｂの間には隙間が存在しているが、この隙間は小さなものであって、搬送台車５は、この隙間を越えて（隣接する第２直線レール部材１２の開口１２ｂを越えて）５つの第２直線レール部材１２に案内されて移動可能であり、隙間が実用上の問題となることはない。なお、第２直線レール部材１２の端面形状を調整することにより、このような隙間が生じないようにすることも可能である。そして、５つの第２直線レール部材５が全体として湾曲面１０ａに沿って滑らかに湾曲した軌道を構成している。また、第２直線レール部材１２と凹型湾曲部材１０とは、図５に示すように、第２直線レール部材１２の空間１２ａの天井面から第２直線レール部材１２及び凹型湾曲部材１０を貫通して延びたボルト１５に凹型湾曲部材１０側からナット１６が取り付けられることにより固定されている。ここで、ボルト１５とナット１６とは、空間１２ａの天井面の下に配置されたワッシャー１９、凹型湾曲部材１０の上面の上に配置されたワッシャー１７及びスプリングワッシャー１８を介して第２直線レール部材１２と凹型湾曲部材１０とを挟み、両者を固定している。

湾曲レールモジュール４２は、図２、図４（ｂ）に示すように、５つの第２直線レール部材１２と凸型湾曲部材１１とから構成されており、鉛直面内で湾曲し、その湾曲方向に沿って延在している。第２直線レール部材１２は、湾曲レールモジュール４１と同様のものである。凸型湾曲部材１１は、その上面が平面状に構成されているとともに、下面が延在方向に沿って下に凸（第２直線レール部材１２に向かって凸）となるように鉛直面内で滑らかに湾曲した湾曲面１１ａとなっている。５つの第２直線レール部材１２は、隣接する第２直線レール部材１２の延在方向が互いに異なるように湾曲面１１ａに当接して凸型湾曲部材１１に固定されており、隣接する第２直線レール部材１２の開口１２ｂ（延在方向に関する端面）同士が互いに対向するように連接配置されている。ここで、隣接する第２直線レール部材１２の開口１２ｂの間には隙間が存在しているが、この隙間は小さなものであって、搬送台車５は、この隙間を越えて５つの第２直線レール部材１２に案内されて移動可能となっている。なお、第２直線レール部材１２をこのような隙間が生じない端面形状とすることも可能である。そして、５つの第２直線レール部材１２が全体として湾曲面１１ａに沿って滑らかに湾曲した軌道を構成している。また、第２直線レール部材１２と凸型湾曲部材１１とは、第２直線レール部材１２と凹型湾曲部材１０と同様、図５に示すように、ボルト１５、ナット１６、ワッシャー１７、１９及びスプリングワッシャー１８により固定されている。

複数の懸吊部材１４は、その上端が天井に固定され、上端から下方に延びているとともに、その下端が第１直線レール部材８の延在方向における両端部付近及び湾曲レールモジュール４１、４２の延在方向の両端に位置する第２直線レール部材１２に固定されている（所定の間隔で支持されている）。これにより、第１直線レール部材８及び湾曲レールモジュール４１、４２が、懸吊部材１４によって天井から懸吊される。

搬送台車走行軌道２は、図２に示すように、高低差を有する軌道となっており、同じ高さで水平方向に延びている部分においては、複数の第１直線レール部材８が配設されるとともに隣接する第１直線レール部材８の開口８ｂ同士が接続されている。高さが変化する部分においては、高い位置にある第１直線レール部材８に隣接して湾曲レールモジュール４１が配設されるとともに、開口８ｂと開口１２ｂとが接続され、低い位置にある第１直線レール部材８に隣接して湾曲レールモジュール４２が配設されるとともに開口８ｂと開口１２ｂとが接続されている。また、湾曲レールモジュール４１と湾曲レールモジュール４２とは第１直線レール部材８を介して互いに接続されている。

ここで、湾曲レールモジュール４１、４２は、５つの第２直線レール部材１２を、湾曲面１０ａ及び湾曲面１１ａに沿って配列させて凹型湾曲部材１０及び凸型湾曲部材１１に固定することにより形成することができ、搬送台車走行軌道２の高さが変化する部分を湾曲レールモジュール４１、４２を用いて接続することができるので、高さが変化する部分において第２直線レール部材１２毎に傾斜角を確認しながら第２直線レール部材１２を配設する必要がなく、作業の工数が減少するとともに、作業のミスも起こりにくくなる。また、湾曲レールモジュール４１、４２においては、それぞれ凹型湾曲部材１０、凸型湾曲部材１１に５つの第２直線レール部材１２が固定されているので、湾曲レールモジュール４１、４２の延在方向の両端に位置する２つの第２直線レール部材１２を懸吊部材１４の下端に固定することにより（懸吊部材１４により所定の間隔で湾曲レールモジュール４１、４２を支持することにより）、湾曲レールモジュール４１、４２を懸吊することができ、５つの第２直線レール部材１２を別々に懸吊部材１４により懸吊する必要がなく、懸吊部材１４の数が少なくてすむとともに、懸吊するための作業の工数が減少する。

次に、ＯＨＴ搬送台車５について図６を用いて説明する。図６は、ＯＨＴ搬送台車５が搬送される方向から見たときの直線レール部材８、１２及びＯＨＴ搬送台車５の側面図である。なお、図面をわかりやすくするために、図６では、空間８ａ（空間１２ａ）を図３〜図５よりも大きく描いている。

図６に示すように、ＯＨＴ搬送台車５は、空間８ａ、１２ａ内を移動する１次側コイル２１、１次側鉄心２３、２つの２次側コイル２４、２つの分岐ローラ２７及び２つの走行車輪２８、並びに、開口８ｃ、１２ｃを越えて下方に延びた部分に配置される位置合わせ機構２９、懸垂ベルト３０及び昇降体３１を有している。

１次側コイル２１及び１次側鉄心２３は、平面視でＯＨＴ搬送台車５の略中央部に設けられている。一方、直線レール部材８、１２には、１次側コイル２１、１次側鉄心２３に対応して、空間８ａ、１２ａの天井面の略中央部には延在方向に延びた２次側永久磁石２２が配置されている。

２つの２次側コイル２４は、直線レール部材８、１２の延在方向と直交する方向に関する空間８ａ、１２ａの２つの側面付近にそれぞれ形成されている。一方、直線レール部材８、１２のこれら２つの側面には、２次側コイル２４にそれぞれ対応して、直線レール部材８、１２の延在方向に延びた２つの１次側給電線２５が設けられている。

そして、ＯＨＴ搬送台車５には、１次側給電線２５に供給される電力が２次側コイル２４に非接触で誘導される誘導電力として供給され、供給された電力を用いて、１次側コイル２１、１次側鉄心２３及び２次側永久磁石２２により構成されるリニアモータが、ＯＨＴ搬送台車２５の走行推力を発生させる。

２つの分岐ローラ２７は、２次側コイル２４の下方にそれぞれ配置されている。一方、直線レール部材８、１２の工程間軌道６と分岐軌道７との分岐点（図２参照）近傍の部分には、分岐ローラ２７に対応して、１次側給電線２５の下方に、１次側給電線２５が設けられているのと同じ側面から水平方向に突出し、その先端において下方に折れ曲がった断面形状を有し、直線レール部材８、１２の延在方向に延びた分岐ガイド２６が形成されている。そして、２つの分岐ローラ２７は、一体的に図６の左右方向に移動可能となっており、２つの分岐ローラ２７のうちの一方のみが選択的に対応する分岐ガイド２６に係合するように構成されている。これにより、ＯＨＴ搬送台車５を、工程間軌道６から分岐軌道７に移動させるか否かを選択することができる。

２つの走行車輪２８は、それぞれ２つの分岐ローラ２７の下方に設けられており、その径は、前述した湾曲レールモジュール４１、４２における隣接する第２直線レール部材１２の開口１２ｂの間にできる隙間を越えることができる程度の大きさとなっている。走行車輪２８は、空間８ａ、１２ａの底面に支持されており、走行車輪２８が回転することによって、走行車輪２８が１次側コイル２１、１次側鉄心２３、２次側コイル２４及び分岐ローラ２７とともに空間８ａ、１２ａ内を移動する。これにより、ＯＨＴ搬送台車５が直線レール部材８、１２に沿って移動する。

位置合わせ機構２９は、ＯＨＴ搬送台車５とポート３５との位置合わせを行う。懸垂ベルト３０は位置合わせ機構２９の下面から下方に延びており、その下端に昇降体３１が取り付けられている。そして、懸垂ベルト３０が巻き上げられる又は繰り出されることによって昇降体３１が上下方向に移動可能となっている。

昇降体３１の下面には、ＦＯＵＰ３４を把持するためのグリッパ３２が設けられている。ＦＯＵＰ３４は、内部に搬送されるシリコンウエハなどの半導体基板が入れられる箱であり、その上面にグリッパ３２に係合するフランジ３３が形成されている。そして、グリッパ３２は、ＦＯＵＰ３４の搬送中にはフランジ３３と係合してＦＯＵＰ３４を把持し、搬送先のポート３５、入庫ポート３９に到着したときには、フランジ３３との係合を解除してＦＯＵＰ３４をポート３５、入庫ポート３９上に載置する。

ここで、ＯＨＴ搬送台車５がＦＯＵＰ３４を搬送する動作について説明する。ＦＯＵＰ３４を搬送する際には、まず、ＯＨＴ搬送台車５は、搬送台車走行軌道２に沿って、搬送されるＦＯＵＰ３４があるポート３５の上方まで移動する。目的のポート３５上方において、ＯＨＴ搬送台車５は位置合わせ機構２９によって位置合わせされ、位置合わせが完了すると、懸垂ベルト３０を繰り出して、昇降体３１をグリッパ３２がＦＯＵＰ３４のフランジ３３に接触するまで下方に移動させる。そして、グリッパ３２をフランジ３３に係合させてから、懸垂ベルト３０を巻き上げる。

次に、ＯＨＴ搬送台車５は搬送台車走行軌道２に沿って搬送先のポート３５の上方まで移動する。搬送先のポート３５の上方において、ＯＨＴ搬送台車５は、位置合わせ機構２９により位置合わせされ、位置合わせが完了すると、懸垂ベルト３０を繰り出して、ＦＯＵＰ３４とともに昇降体３１をポート３５まで下方に移動させる。そして、ＦＯＵＰ３４の下面がポート３５に到達した時点で、グリッパ３２とフランジ３３との係合を解除し、ＦＯＵＰ３４をポート３５に載置する。この後、ＯＨＴ搬送台車５は懸垂ベルト３０を巻き上げ、次の指令に従って、搬送台車走行経路２に沿って移動する。なお、出庫ポート３８からＦＯＵＰ３４を取り出す際の動作、及び、入庫ポート３９にＦＯＵＰ３４を搬送する際の動作もこれと同様であるので、ここではその説明を省略する。

以上に説明した実施の形態によると、台車走行軌道２が高低差を有して配設されている場合、高さが変化する部分を湾曲レールモジュール４１、４２により接続することができる。ここで、湾曲レールモジュール４１、４２は、それぞれ５つの第２直線レール部材を湾曲面１０ａ、１１ａに当接させて配列し、湾曲部材１０、１１に固定することにより形成することができるため、搬送台車走行軌道２の高さが変化する部分を形成する際に、第２直線レール部材１２毎に傾斜角を確認する必要がなくなり、作業の工数が減少するとともに作業のミスも起こりにくくなる。さらに、湾曲レールモジュール４１、４２において、５つの第２直線レール部材１２がそれぞれ凹型湾曲部材１０、凸型湾曲部材１１に固定されているため、湾曲レールモジュール４１、４２の延在方向に関する両端に位置する第２直線レール部材１２を懸吊部材１４の下端に固定することにより、湾曲レールモジュール４１、４２を天井から懸吊することができ、５つの第２直線レール部１２を別々に懸吊部材１４により懸吊する必要がなく、懸吊部材１４の数が少なくてすむとともに懸吊するための作業の工数が減少する。

さらに、湾曲部材として凹型湾曲部材１０と凸型湾曲部材１１を用いることにより、上に凸となるように湾曲した軌道を有する湾曲レールモジュール４１、及び、下に凸となるように湾曲した軌道を有する湾曲レールモジュール４２を形成することができるので、湾曲部材を第２直線レール部材１２の上方にしか設けることができない場合にも、搬送台車走行軌道２の高さが変化する部分を全て湾曲レールモジュール４１、４２により接続することができる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、本実施の形態では、湾曲レールモジュール４１、４２を構成するのにそれぞれ５つの第２直線レール部材１２を用いたが、第２直線レール部材１２の数はこれには限られず、軌道高低差の程度、湾曲面１０ａ及び第２直線レール部材１２の延在方向に関する長さに応じて適宜最適設計値を選択し、変更適用してもよい。

また、本実施の形態では、搬送台車走行軌道２の高さが異なる部分において、高い位置にある第１直線レール部材８に湾曲レールモジュール４１を接続し、低い位置にある第１直線レール部材８に湾曲レールモジュール４２を接続し、湾曲レールモジュール４１と湾曲レールモジュール４２との間に第１直線レール部材８を接続したが、これには限られず、高低差が小さい部分では、湾曲レールモジュール４１と湾曲レールモジュール４２とを直接接続してもよい。逆に、高低差が大きい部分では、湾曲レールモジュール４１及び湾曲レールモジュール４３をそれぞれ複数連続して接続してもよい。

また、本実施の形態ではＯＨＴ搬送台車５を搬送するための搬送台車走行軌道２について説明したが、このほか、ＯＨＳ（Over Head Shuttle）等他の種類の搬送台車を搬送するための搬送台車走行軌道においても本発明を適用することも可能である。

本発明の実施の形態に係る搬送システム１の概略構成図である。 図１の搬送台車走行軌道の側面図である。 図２の第１直線レール部材の概略斜視図である。 図２の湾曲レールモジュールの概略斜視図である。 図４の凹型湾曲部材及び凸型湾曲部材と第２直線レール部材との接続部分の断面図である。 ＯＨＴ搬送台車が搬送される方向から見たときの直線レール部材及びＯＨＴ搬送台車の側面図である。

符号の説明

２ 搬送台車走行軌道
５ ＯＨＴ搬送台車
８ 第１直線レール部材
１０ 凹型湾曲部材
１１ 凸型湾曲部材
１０ａ、１１ａ 湾曲面
１２ 第２直線レール部材
１４ 懸吊部材
４１、４２ 湾曲レールモジュール

Claims (2)

1. 搬送台車が移動可能に取り付けられる搬送台車走行軌道であって、
   上端が天井に固定され下方に延在する複数の懸吊部材と、
   一方向に延在し、前記懸吊部材により所定の間隔で支持される第１直線レール部材と、
   鉛直面内で湾曲し、その湾曲方向に沿って延在した、前記懸吊部材により所定の間隔で支持される湾曲レールモジュールとを有し、
   前記湾曲レールモジュールと前記第１直線レール部材とがこれらの延在方向に関する端面において互いに接続されており、
   前記湾曲レールモジュールが、
   鉛直面内でその延在方向に沿って湾曲した湾曲面を表面に有する湾曲部材と、
   一方向に延在しその延在方向に関する長さが前記第１直線レール部材よりも短い、前記湾曲部材に固定された複数の第２直線レール部材とから構成されており、
   複数の前記第２直線レール部材が、隣接する前記第２直線レール部材の延在方向が互いに異なるように前記湾曲面に当接して配列されるとともに、隣接する前記第２直線レール部材の延在方向に関する端面同士が互いに対向するように連接配置され、前記搬送台車が、前記連設配置された前記第２レール部材に案内されて走行することを特徴とする搬送台車走行軌道。
2. 前記湾曲部材が、前記第２直線レール部材に向かって凸となるように湾曲した前記湾曲面を有する凸型湾曲部材及び前記第２直線レール部材と反対側に向かって凸となるように湾曲した前記湾曲面を有する凹型湾曲部材のいずれかであることを特徴とする請求項１に記載の搬送台車走行軌道。
   

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