TWI681489B - 基板搬運裝置 - Google Patents

Abstract

本揭示提供一種基板搬運裝置，包含：一立體框架，具有一可用於儲放一基板的容置空間；至少一車輪，連接至該立體框架，用於方便該立體框架之移動；一固定座，裝設在該立體框架上且位在該容置空間內；以及一承載台，與該固定座可滑動地連接，用於供該基板插置，包含：一第一基座，其上設置有朝一第一方向延伸的一第一限位槽；以及一第二基座，與該第一基座連接，且該第二基座上設置有朝一第二方向延伸的一第二限位槽，其中該基板之第一邊放置在該第一限位槽內，以及該基板之第二邊放置在該第二限位槽內，且該基板之該第一邊與該第二邊鄰接。

Description

基板搬運裝置

本揭示是關於一種搬運裝置，特別是關於一種基板搬運裝置。

隨著科技不斷演進，為了符合消費者對於產品的薄型化與大尺寸的要求，產品採用的基板的尺寸越來越大，且厚度則越來越薄。然而，大尺寸薄型基板的剛性低且容易產生翹曲(Warpage)。考慮到基板為大尺寸且容易翹曲，如何在搬運的過程中避免對基板造成傷害已變成急需解決的難題。

目前在以人工方式進行基板的搬運作業中，通常會搭配使用適當的治具來進行。舉例來說，藉由將真空吸盤吸附在基板的板面以與基板形成多點接觸，進而可進行基板的搬運作業。此外，也可以藉由將抬板治具卡固在基板的無效邊以固定基板，或者是將基板放置在平放式的抽屜型貨架上。上述列舉的搬運方法中，除了卡固無效邊的方式以外，其他方式都會接觸基板的表面，進而對基板造成傷害，甚至是破壞形成在基板表面的元件。此外，卡固基板無效邊的抬板治具一次只能搬運一片產品，且需由人員來進行搬運作用，故不但降低生產效率也無法做為長途搬運使用。

有鑑於此，有必要提供一種基板搬運裝置，以解決習知技術 所存在的問題。

為解決上述技術問題，本揭示之目的在於提供一種基板搬運裝置，通過提供可裝載多片基板的承載台以及設計相關的限位結構來固定基板的無效邊，並且將承載台和限位結構裝設在可移動的載具上，如此可達到在不會傷害基板的表面的情況下，進行較長距離搬運。

為達成上述目的，本揭示提供一種基板搬運裝置，包含：一立體框架，具有一可用於儲放一基板的容置空間；至少一車輪，連接至該立體框架，用於方便該立體框架的移動；一固定座，裝設在該立體框架上且位在該容置空間內；以及一承載台，與該固定座可滑動地連接，用於供該基板插置，包含：一第一基座，其上設置有朝一第一方向延伸的一第一限位槽；以及一第二基座，與該第一基座連接，且該第二基座上設置有朝一第二方向延伸的一第二限位槽，其中該基板之第一邊放置在該第一限位槽內，以及該基板之第二邊放置在該第二限位槽內，且該基板之該第一邊與該第二邊鄰接。

於本揭示其中之一較佳實施例中，基板搬運裝置還包含：一對內滑軌，設置在該固定座之兩相向的表面上，且該對內滑軌朝該第一方向延伸；以及一對外滑軌，設置在該第一基座之兩背向的表面上，且該對外滑軌朝該第一方向延伸，其中該對外滑軌收容在該固定座之該對內滑軌內，使得該承載台可滑動地連接在該固定座上。

於本揭示其中之一較佳實施例中，基板搬運裝置還包含一第三基座，與該立體框架連接且與該第一基座平行設置，其中該第三基座上 設置有朝該第一方向延伸的一第三限位槽，用於放置該基板之第三邊，且該基板之第三邊與該第二邊鄰接。

於本揭示其中之一較佳實施例中，該立體框架，包含：一下框架，用於與該固定座組裝；一上框架，與該下框架平行設置；以及複數個支柱，一端連接在該下框架之外邊緣，另一端連接在該上框架之外邊緣，其中該下框架、該複數個支柱、與該上框架定義出該容置空間。

於本揭示其中之一較佳實施例中，基板搬運裝置還包含一升降架，與該立體框架連接且與該複數個支柱平行設置，其中該升降架設置有複數個沿著該第二方向排列的刻度槽，以及該第三基座可調整地連接至該升降架之其中之一刻度槽上，進而改變該第三基座與該第一基座兩者之間的相對距離。

於本揭示其中之一較佳實施例中，基板搬運裝置還包含：一第四基座，可拆裝地連接至該承載台之該第一基座，其中該第四基座上設置有朝該第二方向延伸的一第四限位槽，用於放置該基板之第四邊，並且該基板之第一邊與該第四邊鄰接。

於本揭示其中之一較佳實施例中，該承載台之該第一基座設置有複數個沿著該第一方向排列的組裝孔，且該第四基座之一端設有一卡榫，以及該第四基座可調整地連接至該第一基座之其中之一組裝孔上，進而改變該第四基座與該第二基座兩者之間的相對距離。

於本揭示其中之一較佳實施例中，該承載台之該第一基座包含一底板、一第一側板、和一第二側板，且該第一側板與該第二側板分別連接至該底板之相對的兩側邊以形成該第一限位槽，其中該第一側板與該 第二側板兩者遠離該底板一端之間的距離大於兩者靠近該底板一端之間的距離。

於本揭示其中之一較佳實施例中，該承載台之該第二基座包含一立壁、一第三側板、和一第四側板，且該立壁與該第一基座連接，且該第三側板與該第四側板分別連接至該立壁之相對的兩側邊以形成該第二限位槽，其中該第三側板與該第四側板兩者遠離該第一基座一端之間的距離大於兩者靠近該第一基座一端之間的距離。

於本揭示其中之一較佳實施例中，該承載台之該第一基座上設有複數個平行排列的第一限位槽，以及該第二基座上設有複數個平行排列且與該複數個第一限位槽對應設置的第二限位槽，其中每一組相對應的該第一限位槽與該第二限位槽用於提供一片基板插置。

相較於習知技術，本揭示藉由將基板搬運裝置的承載台、第三基座、和第四基座組合構成基板的限位結構，且該等限位結構只會與基板的無效邊接觸，故可達到在不傷害大尺寸薄型基板表面的情況下進行長途移載運輸。此外，承載台是藉由滑軌與立體框架形成可滑動連接，使得承載台可輕易地被抽出立體框架外，並且通過將第四基座設計為可快速拆除的結構，如此當承載台向外抽離立體框架時，搬運人員可通過將第四基座拆除即可進行基板的取放作業。藉此設計，基板的取放作業變得更為簡易且可以一次取放多片基板。再者，通過將第三基座和第四基座設計為可調整地連接，故可依基板的尺寸改變第三基座和第四基的位置以滿足裝載不同尺寸基板的需求。

1‧‧‧基板搬運裝置

10‧‧‧立體框架

11‧‧‧上框架

12‧‧‧下框架

13‧‧‧支柱

14‧‧‧手把件

15‧‧‧橫樑

16‧‧‧升降架

161‧‧‧刻度槽

20‧‧‧固定座

21‧‧‧第一長板

22‧‧‧第二長板

23‧‧‧磁性件

30‧‧‧承載台

31‧‧‧第一基座

311‧‧‧底壁

312‧‧‧第一側壁

313‧‧‧第二側壁

314‧‧‧第一限位槽

315‧‧‧底板

316‧‧‧第一側板

317‧‧‧第二側板

32‧‧‧第二基座

321‧‧‧第二限位槽

322‧‧‧立壁

323‧‧‧第三側板

324‧‧‧第四側板

40‧‧‧第三基座

41‧‧‧定位凸塊

42‧‧‧第三限位槽

50‧‧‧第四基座

51‧‧‧第四限位槽

60‧‧‧車輪

61‧‧‧煞車

71‧‧‧警示燈

72‧‧‧凸面鏡

81‧‧‧內滑軌

82‧‧‧外滑軌

C‧‧‧對應第5圖的部分

D‧‧‧對應第8圖的部分

E‧‧‧容置空間

S‧‧‧基板

L1‧‧‧第一邊

L2‧‧‧第二邊

L3‧‧‧第三邊

L4‧‧‧第四邊

R1、R2‧‧‧距離

X‧‧‧第一方向

Z‧‧‧第二方向

Y‧‧‧第三方向

A-A、B-B‧‧‧割面線

第1圖顯示根據本揭示較佳實施例之基板搬運裝置之示意圖；第2圖顯示將基板放置在第1圖之基板搬運裝置之裝載示意圖；第3圖顯示將基板放置在第1圖之基板搬運裝置內的上視圖；第4圖顯示沿著第3圖之割面線A-A之剖面圖；第5圖顯示第4圖之C部分之放大示意圖；第6圖顯示沿著第3圖之割面線B-B之剖面圖；第7圖顯示第1圖之基板搬運裝置之另一變化示意圖；以及第8圖顯示第1圖之D部分之放大示意圖。

為了讓本揭示之上述及其他目的、特徵、優點能更明顯易懂，下文將特舉本揭示較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。

請參照第1圖，其顯示根據本揭示較佳實施例之基板搬運裝置1之示意圖。基板搬運裝置1包含立體框架10、固定座20、承載台30、第三基座40、第四基座50、和車輪60。立體框架10為矩形且中空的框架，其內部具有容置空間E。具體來說，立體框架包含矩形的上框架11、矩形的下框架12、和四根支柱13，其中四根支柱13之一端分別連接在下框架12之外邊緣的四個角落處，且另一端分別連接在上框架11之外邊緣的四個角落處，如此藉由上框架11、下框架12、和四根支柱13定義出立體框架10的容置空間E。容置空間E可用於儲放基板和提供各種元件安裝放置。在本揭示中，基板搬運裝置1包含四個車輪60，分別裝設在立體框架10之下框架12的四個角落，用於方便立體框架10以及連同放置在立體框架10上的基板的一 起移動。較佳地，立體框架10上設置有便於運送人員握持的手把件14，以及車輪60上設置有用於限制其轉動的煞車61。可選地，基板搬運裝置1還包含各種安全輔助件，例如用於發出警示燈號的警示燈71、用於增加觀視範圍以利於運送人員看到前方障礙物的凸面鏡72、和用於發出警示音的蜂鳴器(未顯示於圖中)等。

請參照第2圖，其顯示將基板S放置在第1圖之基板搬運裝置1之裝載示意圖。在本實施例中，基板搬運裝置1包含數量相對應的固定座20和承載台30，即三個固定座20和三個承載台30。三個固定座20並行排列的裝設在立體框架10的下框架12上且位在容置空間E內，以及每一承載台30組裝在對應的固定座20上。可以理解的是，在其他實施例中亦可採用其他數量的固定座20和承載台30，不侷限於此。每一固定座20包含第一長板21和第二長板22，其中第一長板21和第二長板22兩者的板面互相平行，且兩者的板面與立體框架10的下框架12垂直。

如第2圖所示，承載台30包含第一基座31和第二基座32，其中第一基座31與第二基座32垂直地連接。第一基座31包含底壁311(如第1圖所示)、第一側壁312、和第二側壁313，其中第一側壁312和第二側壁313彼此平行設置，且分別連接在底壁311相對的兩個長邊。並且，第一側壁312和第二側壁313兩者之間的距離小於固定座20的第一長板21和第二長板22兩者之間的距離。再者，在固定座20之第一長板21和第二長板22之兩相向的表面上設置有一對朝第一方向X延伸的內滑軌81，以及在第一基座31之第一側壁312和第二側壁313上的兩背向的表面上設置有一對同樣朝第一方向X延伸的外滑軌82。第一基座31之該對外滑軌82收容在固定座20之該對內滑 軌81內，使得承載台30可滑動地連接在固定座20上。並且，如第1圖所示，承載台30可滑動至位在立體框架10的容置空間E內，以及如第2圖所示，承載台30可滑動至只保留一部份的第一基座31位在立體框架10的容置空間E內，其餘另一部分的第一基座31和第二基座32皆會位在容置空間E外部。此外，在固定座20之第一長板21和第二長板22的末端(遠離承載台30和第二基座32的那端)設置有磁性件23。藉此設計，當承載台30被推放至容置空間E內時，磁性件23會吸附住第一基座31的第一側壁312和第二側壁313，以將承載台30固定在固定座20上，如此可避免基板搬運裝置1在移動過程中承載台30朝離開立體框架10的方向滑移。

請參照第3圖、第4圖、和第5圖，第3圖顯示將基板S放置在第1圖之基板搬運裝置1內的上視圖，第4圖顯示沿著第3圖之割面線A-A之剖面圖，以及第5圖顯示第4圖之C部分之放大示意圖。如第4圖所示，承載台30的第一基座31設置有朝第一方向X延伸的第一限位槽314。在本實施例中，每一承載台30設置有兩個平行排列的第一限位槽314，惟不侷限於此。如第5圖所示，承載台30的第一基座31包含底板315、第一側板316、和第二側板317。第一側板316和第二側板317分別連接至底板315之相對的兩側邊以形成第一限位槽314。第一側板316和第二側板317兩者之間的距離是採用漸變式設計。具體來說，第一側板316和第二側板317兩者遠離底板315一端之間的距離R2大於兩者靠近底板315一端之間的距離R1。藉此設計，第一側板316和第二側板317在遠離底板315之一端會形成斜邊，用於引導基板S能被順利地放置入第一限位槽314內。

如第2圖所示，承載台30的第二基座32上設置有朝第二方向 Z延伸的第二限位槽321。在本實施例中，每一承載台30設置有數量與第一限位槽314相對應的第二限位槽321，即兩個平行排列的第二限位槽321，惟不侷限於此。在承載台30上，每一組相對應的第一限位槽314與第二限位槽321用於提供一片基板S插置。詳言之，基板S的第一邊L1是插置在第一限位槽314內，以及第二邊L2是插置在第二限位槽321內，並且基板S的第一邊L1與第二邊L2鄰接。第二基座32包含立壁322、第三側板323、和第四側板324，其中立壁322與第一基座31垂直連接。第三側板323和第四側板324分別連接至立壁322之相對的兩側邊以形成第二限位槽321。第三側板323和第四側板324兩者之間的距離是採用漸變式設計。具體來說，第三側板323和第四側板324兩者遠離第一基座31一端之間的距離大於兩者靠近第一基座31一端之間的距離。藉此設計，第三側板323和第四側板324在遠離底板315之一端會形成斜邊，該端是基板S放置進入第二限位槽321的位置，如此通過斜邊的引導，使得基板S能被順利地放置入第二限位槽321內。

如第1圖所示，基板搬運裝置1的第三基座40與立體框架10連接且與第一基座20平行設置。具體來說，立體框架10的兩根相鄰的支柱13之間連接有一橫樑15，其與上框架11的長邊平行。基板搬運裝置1還包含四個與支柱13平行設置的升降架16，分別裝設在立體框架10的兩側邊，並且每一升降架16垂直連接在上框架11的長邊與橫樑15之間。請參照第6圖，其顯示沿著第3圖之割面線B-B之剖面圖。升降架16之一側邊設置有複數個沿著第二方向Z排列的刻度槽161。可選地，每一刻度槽161的刻度可用於表示該位置與第一基座31之間的距離。如第1圖所示，第三基座40的外邊緣在對應升降架16的位置設置有定位凸塊41。通過將第三基座40的定位凸塊41 卡放在刻度槽161內，以穩定地將第三基座40架設在立體框架10上。應當注意的是，第三基座40可調整地連接至升降架16之其中之一刻度槽161上，進而改變第三基座40與第一基座31兩者之間的相對距離，如此基板搬運裝置1可用於運載不同尺寸的基板。

如第4圖所示，第三基座40上設置有朝第一方向X延伸的複數個第三限位槽42，其中該等第三限位槽42沿著第三方向Y平行的排列為一排。該等第三限位槽42的數量與位置是與第一限位槽314的數量與位置對應設置。第三限位槽42是用於放置基板S的第三邊L3，其中基板S的第三邊L3是與第二邊L2鄰接。較佳地，第三限位槽42的開口大小同樣是採用漸變式的設計，且開口在靠近基板S放置進入第三限位槽42的位置會較大，如此通過斜邊的引導，使得基板S能被順利地放置入第三限位槽42內。

請參照第7圖，其顯示第1圖之基板搬運裝置1之另一變化示意圖。基板搬運裝置1的第四基座50可拆裝地連接至30承載台之第一基座31。具體來說，請參照第8圖，其顯示第1圖之D部分之放大示意圖。第一基座31的第一側壁312和第二側壁313設置有沿著第一方向X排列的複數個組裝孔315。第四基座50之一端設有一對卡榫52，通過將該對卡榫52分別卡放在對應的組裝孔315中以完成第四基座50與第一基座31之間的固定。由於卡榫52末端連接有彈性件53，因此只需將卡榫52朝遠離組裝孔315的方向施力，即可使得彈性件53暫時地壓縮，進而將卡榫52從組裝孔315中脫離，如此解除第四基座50與第一基座31之間的卡固機制。也就是說，通過卡榫52與組裝孔315的設置，使得第四基座50可調整地連接至第一基座31之其中之一組裝孔315上，進而改變第四基座50與第二基座32兩者之間的相對距離。 因此，通過將第四基座50安裝在不同的組裝孔315上，基板搬運裝置1可用於運載不同尺寸的基板。

如第7圖所示，每一第四基座50上設置有朝第二方向Z延伸的複數個(註：圖上顯示為二個)第四限位槽51以可收容複數個基板S，其中每一第四基座50上的該等第四限位槽51為平行排列並沿著第三方向Y呈一排設置。該等第四限位槽51的數量與位置是與第二限位槽321的數量與位置對應設置。第四限位槽51是用於放置基板S的第四邊L4(參照第6圖)，其中基板S的第四邊L4是與第一邊L1鄰接。較佳地，第四限位槽51的開口大小同樣是採用漸變式的設計，且開口在靠近基板S放置進入第四限位槽51的位置會較大，如此通過斜邊的引導，使得基板S能被順利地放置入第四限位槽51內。在本揭示中，當承載台30向外抽離立體框架10時，第一基座31、第二基座32和第四基座50會一起移動至立體框架10的容置空間E外部，而第三基座40則會保持在固定的位置。此時，搬運人員只需要將第四基座50拆除即可簡易地進行基板S的取放作業。

綜上所述，本揭示藉由將基板搬運裝置的承載台、第三基座、和第四基座組合構成基板的限位結構，且該等限位結構只會與基板的無效邊接觸，故可達到在不傷害大尺寸薄型基板表面的情況下進行較長距離搬運。此外，承載台是藉由滑軌與立體框架形成可滑動連接，使得承載台可輕易地被抽出立體框架外，並且通過將第四基座設計為可快速拆除的結構，如此當承載台向外抽離立體框架時，搬運人員可通過將第四基座拆除即可進行基板的取放作業。藉此設計，基板的取放作業變得更為簡易且可以一次取放多片基板。再者，通過將第三基座和第四基座設計為可調整 地連接，故可依基板的尺寸改變第三基座和第四基的位置以滿足裝載不同尺寸基板的需求。

雖然本揭示已用較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本揭示，本揭示所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本揭示之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本揭示之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

1‧‧‧基板搬運裝置

10‧‧‧立體框架

11‧‧‧上框架

12‧‧‧下框架

13‧‧‧支柱

14‧‧‧手把件

15‧‧‧橫樑

16‧‧‧升降架

20‧‧‧固定座

30‧‧‧承載台

311‧‧‧底壁

40‧‧‧第三基座

41‧‧‧定位凸塊

50‧‧‧第四基座

60‧‧‧車輪

61‧‧‧煞車

71‧‧‧警示燈

72‧‧‧凸面鏡

D‧‧‧對應第8圖的部分

E‧‧‧容置空間

X‧‧‧第一方向

Z‧‧‧第二方向

Y‧‧‧第三方向

Claims (10)

1. 一種基板搬運裝置，包含：一立體框架，具有一可用於儲放一基板的容置空間；至少一車輪，連接至該立體框架，用於方便該立體框架的移動；一固定座，裝設在該立體框架上且位在該容置空間內；以及一承載台，與該固定座可滑動地連接，用於供該基板插置，包含：一第一基座，其上設置有朝一第一方向延伸的一第一限位槽；以及一第二基座，與該第一基座連接，且該第二基座上設置有朝一第二方向延伸的一第二限位槽，其中該基板之第一邊放置在該第一限位槽內，以及該基板之第二邊放置在該第二限位槽內，且該基板之該第一邊與該第二邊鄰接。
2. 如請求項1的基板搬運裝置，還包含：一對內滑軌，設置在該固定座之兩相向的表面上，且該對內滑軌朝該第一方向延伸；以及一對外滑軌，設置在該第一基座之兩背向的表面上，且該對外滑軌朝該第一方向延伸，其中該對外滑軌收容在該固定座之該對內滑軌內，使得該承載台可滑動地連接在該固定座上。
3. 如請求項1的基板搬運裝置，還包含一第三基座，與該立體框架連接且與該第一基座平行設置，其中該第三基座上設置有朝該第一方向延伸的一第三限位槽，用於放置該基板之第三邊，且該基板之第三邊與該第二邊鄰接。
4. 如請求項3的基板搬運裝置，其中該立體框架，包含：一下框架，用於與該固定座組裝； 一上框架，與該下框架平行設置；以及複數個支柱，一端連接在該下框架之外邊緣，另一端連接在該上框架之外邊緣，其中該下框架、該複數個支柱、與該上框架定義出該容置空間。
5. 如請求項4的基板搬運裝置，還包含一升降架，與該立體框架連接且與該複數個支柱平行設置，其中該升降架設置有複數個沿著該第二方向排列的刻度槽，以及該第三基座可調整地連接至該升降架之其中之一刻度槽上，進而改變該第三基座與該第一基座兩者之間的相對距離。
6. 如請求項1的基板搬運裝置，還包含：一第四基座，可拆裝地連接至該承載台之該第一基座，其中該第四基座上設置有朝該第二方向延伸的一第四限位槽，用於放置該基板之第四邊，並且該基板之第一邊與該第四邊鄰接。
7. 如請求項6的基板搬運裝置，其中該承載台之該第一基座設置有複數個沿著該第一方向排列的組裝孔，且該第四基座之一端設有一卡榫，以及該第四基座可調整地連接至該第一基座之其中之一組裝孔上，進而改變該第四基座與該第二基座兩者之間的相對距離。
8. 如請求項1的基板搬運裝置，其中該承載台之該第一基座包含一底板、一第一側板、和一第二側板，且該第一側板與該第二側板分別連接至該底板之相對的兩側邊以形成該第一限位槽，其中該第一側板與該第二側板兩者遠離該底板一端之間的距離大於兩者靠近該底板一端之間的距離。
9. 如請求項1的基板搬運裝置，其中該承載台之該第二基座包含一立壁、一第三側板、和一第四側板，且該立壁與該第一基座連接，且該第三側板與該第四側板分別連接至該立壁之相對的兩側邊以形成該第二限位槽，其中該第三側板與該第四側板兩者遠離該第一基座一端之間的距離大於兩者靠近該第一基座一端之間的距離。
10. 如請求項1的基板搬運裝置，其中該承載台之該第一基座上設有複數個平行排列的第一限位槽，以及該第二基座上設有複數個平行排列且與該複數個第一限位槽對應設置的第二限位槽，其中每一組相對應的該第一限位槽與該第二限位槽用於提供一片基板插置。

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