JP2019169585A - ウェーハガイド治具及び単結晶ウェーハの収納方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ウェーハをケースに収納する際にウェーハ同士の接触による表面の汚れやキズを防止しうるウェーハガイド治具及び単結晶ウェーハの収納方法を提供する。【解決手段】ウェーハケースに備える複数のスロットに、単結晶ウェーハを個別に収納する際に使用されるウェーハガイド治具であって、前記ウェーハケースの開口側に配置される治具本体と、前記治具本体に設けられ、単結晶ウェーハを収納予定の前記スロットとは異なる前記スロットに挿入されるスロットピンと、単結晶ウェーハを収納予定の前記スロットの開口側において互いに離間して前記治具本体に設けられ、前記スロットに挿入される単結晶ウェーハの周縁部の一部が当接することにより単結晶ウェーハをガイドする一対のガイドピンと、を有し、前記一対のガイドピンは、単結晶ウェーハの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動可能であることを特徴とするウェーハガイド治具などにより提供。【選択図】図１

Description

本発明は、ウェーハガイド治具及び単結晶ウェーハの収納方法に関し、より詳しくは、ウェーハをケースに収納する際にウェーハ同士の接触による表面の汚れやキズを防止しうるウェーハガイド治具及び単結晶ウェーハの収納方法に関するものである。

近年、表面波デバイスに供される単結晶ウェーハは、一般的にチョクラルスキー法（ＣＺ法）等の育成方法を用いて得られたタンタル酸リチウムＬｉＴａＯ_３（以下、ＬＴと記す場合がある）やニオブ酸リチウムＬｉＮｂＯ_３（以下、ＬＮと記す場合がある）などの酸化物単結晶インゴットを円筒状へ研削した後、円形板状に切断し、次いで円形板状のウェーハ基板をラッピングなどで平行で平坦な形状へ加工し、最終的にポリッシングなどで片側表面を鏡面研磨することで製造されている。

表面波デバイスの性能と信頼性は、製造技術に左右されるが、その材料となる単結晶ウェーハが高精度に加工された状態を維持され、また、清浄に保たれなければならない。そのため、それらの単結晶ウェーハを収納するウェーハケースは、ウェーハケース内で単結晶ウェーハ同士が接触して損傷や汚染されないよう、単結晶ウェーハ周縁部を支持し、互いに離間した状態で収納される。

例えば、特許文献１には、樹脂製のウェーハ収納枠、その枠を収めるケース本体、ケース蓋及び蓋に装着されているウェーハ押え治具から構成され、ウェーハ周縁部をＵ字型溝（以下スロットともいう）により部分的に支え固定するウェーハケースが開示されている。ここでは、ウェーハ収納枠が本体の側壁内側に隔置リブを具備し、隔置リブの溝にウェーハを挿入することで、ウェーハ周縁部を部分的に支え固定するようにしている。特許文献１の第１図からわかるように、ケース本体は、多数のＵ字型溝（スロット）を有するが、スロット幅およびスロット相互の間隔が極めて狭い。

特開昭６２−３３４３６号公報

ところで、ＬＴやＬＮなどの単結晶ウェーハにおいては、近年、製造原価の低減を目的として、ウェーハの大口径化及び薄型化が進められている。実際、８インチ以上、０．５ｍｍ以下と大口径かつ薄型の単結晶ウェーハ（以下、単にウェーハともいう）を取り扱うことが増えている。

このような大口径のウェーハをウェーハケースに収納する場合、ウェーハをピンセット等により吸着してウェーハケースに近づけスロットの上に持っていく。しかし、ピンセットのアームが撓んでウェーハが傾き、収納済のウェーハと接触してウェーハ表面にキズが付きやすかった。特に大口径ウェーハは重いので、ピンセット等によりスロットの上で保持した状態から、挿入したいスロット位置に移動するときに手元が定まりにくく、隣のスロットにまたがって挿入してしまうこともあった。そのため、従来の挿入手順では、スロット片側の溝にウェーハの周縁部を当ててウェーハの挿入を開始し、続いて反対側の溝に入れ回転させながら下していく手順をとっている。

しかし、この手順は、作業に習熟していないと、反対側のスロットに挿入する際にウェーハが傾いてしまい、収納済のウェーハと接触する頻度が高くなり、ウェーハ表面にキズ等の外観不良を発生させることがあった。また、キズをつけないよう慎重に入れようとすると時間がかかっていた。これらの問題を防止するために、例えば２５枚収納可能なケースであれば、１スロットおきに収納すると、ウェーハ間に隙間を設けなければならないので、１３枚収納となり、１ケースあたりの収納枚数が減ることで、ウェーハの保管スペースが拡大する等の問題があった。

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたものであり、大口径のウェーハをウェーハケースに収納する際に、収納済のウェーハと接触せずにウェーハ表面にキズ等の外観不良を抑制しうるウェーハガイド治具及び単結晶ウェーハの収納方法を提供するものである。

本発明者は、上記課題を解決するため鋭意研究を重ねたところ、収納予定のスロットにウェーハガイド治具を載せ、隣のスロットにスロットピンを挿入してから、単結晶ウェーハをガイドピンに接触させ下降させるとガイドピンが単結晶ウェーハの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動して通路を広げるようになり、対象とするスロットに単結晶ウェーハを挿入しやすくなって、収納済のウェーハと接触せず単結晶ウェーハ表面にキズ等の外観不良が生じなくなることを見出し、本発明を完成させた。

すなわち、本発明の第１の発明によれば、ウェーハケースに備える複数のスロットに、単結晶ウェーハを個別に収納する際に使用されるウェーハガイド治具であって、前記ウェーハケースの開口側に配置される治具本体と、前記治具本体に設けられ、単結晶ウェーハを収納予定の前記スロットとは異なる前記スロットに挿入されるスロットピンと、単結晶ウェーハを収納予定の前記スロットの開口側において互いに離間して前記治具本体に設けられ、前記スロットに挿入される単結晶ウェーハの周縁部の一部が当接することにより単結晶ウェーハをガイドする一対のガイドピンと、を有し、前記一対のガイドピンは、単結晶ウェーハの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動可能であることを特徴とするウェーハガイド治具が提供される。

また、本発明の第２の発明によれば、第１の発明において、前記一対のガイドピンは、先端同士の間隔が単結晶ウェーハの直径の２分の１から３分の１の範囲で離間するように配置されることを特徴とするウェーハガイド治具が提供される。

また、本発明の第３の発明によれば、第１又は２の発明において、前記一対のガイドピンのそれぞれは、弾性部材の弾性力に抗して移動可能であることを特徴とするウェーハガイド治具が提供される。

また、本発明の第４の発明によれば、第１から第３のいずれかの発明において、前記一対のガイドピンのそれぞれは、先端に単結晶ウェーハの周縁部が当接する溝を備えることを特徴とするウェーハガイド治具が提供される。

また、本発明の第５の発明によれば、第１から第４のいずれかの発明において、前記スロットピンは、前記スロットに挿入される長さが単結晶ウェーハの直径の１０分の１から２０分の３であることを特徴とするウェーハガイド治具が提供される。

また、本発明の第６の発明によれば、第１から第５のいずれかの発明において、前記治具本体は、前記ウェーハケースに配置される一対のレールと、前記レールに沿ってスライド可能なスライド部とを有し、前記スロットピンは、前記レールに設けられ、前記一対のガイドピンは、前記スライド部に設けられ、前記一対のガイドピンを前記スロットの１つに位置決めする位置決め機構を備えることを特徴とするウェーハガイド治具が提供される。

また、本発明の第７の発明によれば、ウェーハケースに備える複数のスロットに、単結晶ウェーハを個別に収納する方法であって、前記ウェーハケースの開口側に配置される治具本体と、前記治具本体に設けられ、単結晶ウェーハを収納予定の前記スロットとは異なる前記スロットに挿入されるスロットピンと、単結晶ウェーハを収納予定の前記スロットの開口側において互いに離間して前記治具本体に設けられ、前記スロットに挿入される単結晶ウェーハの周縁部の一部が当接することにより単結晶ウェーハをガイドする一対のガイドピンと、を有し、前記一対のガイドピンが、単結晶ウェーハの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動可能であるウェーハガイド治具を用いて、収納予定の前記スロットと異なる前記スロットに前記スロットピンを挿入し、単結晶ウェーハの周縁部を前記一対のガイドピンに接触させて移動させながら、単結晶ウェーハを前記スロットに収納することを特徴とする単結晶ウェーハの収納方法が提供される。

本発明のウェーハガイド治具は、単結晶ウェーハを挿入予定のスロット位置に誘導するガイドピンを有するので、スロットの収納枠に単結晶ウェーハの周縁端部の両側を同時に挿入することができる。大口径の単結晶ウェーハでも傾くことなくスロットに垂直に入るため、既に収納されている単結晶ウェーハとの接触がなくなり、キズや破損を防止することができる。作業ミスが減るので効率があがり、作業コストを節減することも可能となる。また、全てのスロットを有効利用した収納が可能となるため、ウェーハケースに最大枚数を収納できるので、省スペースによるウェーハ保管が可能となる。

本発明が適用される一般的なウェーハケースとウェーハガイド治具を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態であるウェーハガイド治具の外観を示した斜視図（ａ）、正面図（ｂ）である。 本発明のウェーハガイド治具の平面図（ａ）、ウェーハケースの縁部に載せた状態を示す側面図（ｂ）である。 本発明のウェーハガイド治具のガイドピンの先端形状を示す側面図である。 ガイドピンの先端が図４とは異なる態様の平面図（ａ）、正面図（ｂ）、側面図（ｃ）である。 本発明のウェーハガイド治具の使用状態で、単結晶ウェーハをスロット上に接近（ａ）、ガイドピンに接触（ｂ）したときの説明図である。 本発明のウェーハガイド治具の使用状態で、単結晶ウェーハがガイドピンを通過中（ａ）、単結晶ウェーハが収納されたとき（ｂ）の説明図である。 本発明の第２実施形態であるウェーハガイド治具と、その使用状態を示す平面図である。 ウェーハガイド治具で用いるレールを示す斜視図である。 ウェーハガイド治具をウェーハケースの縁部に載せた状態を示す側面図（ａ）、正面図（ｂ）である。 図８のウェーハガイド治具の使用状態を示す部分拡大図である。 従来法で、単結晶ウェーハをスロットに挿入しはじめた状態を示す側面図（ｂ）である。 従来法で、単結晶ウェーハを挿入し隣の単結晶ウェーハに衝突した状態（ａ）、単結晶ウェーハがスロットをまたいで挿入された状態を示す平面図（ｂ）である。

以下、本発明に係るウェーハガイド治具、及び単結晶ウェーハの収納方法について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。

１．ウェーハガイド治具
本発明のウェーハガイド治具は、ウェーハケースに備える複数のスロットに、単結晶ウェーハを個別に収納する際に使用されるウェーハガイド治具であって、ウェーハケースの開口側に配置される治具本体と、治具本体に設けられ、単結晶ウェーハを収納予定のスロットとは異なるスロットに挿入されるスロットピンと、単結晶ウェーハを収納予定のスロットの開口側において互いに離間して治具本体に設けられ、スロットに挿入される単結晶ウェーハの周縁部の一部が当接することにより単結晶ウェーハをガイドする一対のガイドピンと、を有し、一対のガイドピンは、単結晶ウェーハの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動可能であることを特徴とする。

［第１実施形態］
第１実施形態に係る単結晶ウェーハＷ（以下、単にウェーハＷともいう）をガイドするウェーハガイド治具１００について説明する。

図１〜図５は、第１実施形態に係るウェーハガイド治具１００を示す図であり、図１はウェーハガイド治具１００をウェーハケース２００の開口側のケース縁部２０１に載せた状態、図２は、ウェーハガイド治具１００の斜視図（ａ）、正面図（ｂ）である。図３はウェーハガイド治具１００の平面図（ａ）、側面図（ｂ）である。また、図４はウェーハガイド治具１００のガイドピン２０の先端形状を示す側面図、図５は先端部２３に回転する円盤が取り付けられたガイドピン２０を示す平面図（ａ）、正面図（ｂ）、側面図（ｃ）である。

本発明が適用されるウェーハケース２００は、複数のウェーハＷを個別に離間して直立支持可能な樹脂製のケースが一般的である。このようなウェーハケース２００は、ウェーハＷを保管する箱状の本体部、及び蓋部を有し、本体側壁は上半部がそれぞれ直立し、下半部が内方向に湾曲し、内側表面にはウェーハＷを離間させる離間リブを有しており、Ｕ字型溝（スロット）２０２と称されている。

本発明のウェーハガイド治具１００は、図１のように、ウェーハケース２００の開口側のケース縁部２０１の上に向かい合わせて載せ、複数のウェーハＷをＵ字型溝（スロット）２０２にて個別に離間して立てた状態で支持可能な樹脂製のウェーハケース２００にウェーハＷを収納する時に使用する治具である。

次に、ウェーハガイド治具１００の全体構造を図２により詳細に説明する。ウェーハガイド治具１００は、ウェーハケース２００の開口側に配置される治具本体Ｈと、治具本体Ｈに設けられスロット２０２に嵌合して治具を固定するスロットピン１０と、治具本体Ｈに設けられウェーハＷを収納予定のスロット２０２にウェーハＷを誘導しウェーハＷの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動する１対のガイドピン２０とを具備し、ガイドピン２０を一時的に格納するピンケース２１と、ウェーハガイド治具１００をウェーハケース２００に設置するための支持板３１と、固定板３０とを有している。

この治具は、ウェーハＷの挿入時に得られる効果が大きいが、収納されたウェーハＷをケースから取り出すときにも使用できる。第１実施形態では、一対のウェーハガイド治具１００は連結されておらず、独立しており、個別に着脱される。

＜スロットピン＞
ウェーハガイド治具１００は、支持板３１と固定板３０でウェーハケース２００のケース縁部２０１を跨ぎ設置される。しかし、支持板３１と固定板３０だけでは、ウェーハＷがガイドピン２０に接触し下降する際、ガイドピン２０にウェーハＷの重量が作用してウェーハガイド治具１００が倒れることも懸念される。スロットピン１０はそれを防止するために、単結晶ウェーハＷを収納予定のスロット２０２とは異なるスロット２０２に挿入され、ウェーハＷによる下向きの応力を受け止め、ウェーハガイド治具１００とウェーハケース２００の上面部の平行度を保つようにする。

スロットピン１０は、ウェーハＷを挿入予定のスロット２０２の隣のスロット２０２に挿入して、ガイドピン２０をウェーハＷが挿入されるスロット２０２の真上になるよう位置決めするものである。そのためスロットピン１０は、挿入予定のスロット以外であれば、ウェーハＷが挿入されていないスロット２０２だけでなく、すでにウェーハＷが挿入されたスロット２０２に挿入されることもある。いずれにしても、スロットピン１０は、スロット２０２のＶ溝２０３に沿って挿入されることから、接触面となるスロット２０２とほぼ同じ形状、すなわち、スロット２０２との接触面をスロット２０２のＶ溝２０３と同様にするのが好ましい。

治具は、収納されるウェーハＷの数だけ装着と脱着が繰り返される。収納されたウェーハＷを取り出すときにも同じく装着と脱着が繰り返される。そのため、ガイドピン２０の脱着を容易にするため、スロット２０２の溝幅にもよるが、溝幅に対し０．１５ｍｍから０．２５ｍｍのクリアランスを設けることが好ましい。クリアランスが０．１５ｍｍ未満であると装着・脱着しにくく、０．２５ｍｍを超えると緩くなりガイドピン２０の動作が不安定になることがある。

また、スロットピン１０は、ウェーハＷが収納されていないスロット２０２に設置するのであれば、収納枠と同程度の長さでもよい。しかし、既に収納されたウェーハＷのスロット２０２に設置される場合は、収納されたウェーハＷの上縁部が干渉するため、スロットピン１０は、既に収納されたウェーハＷに干渉しない長さに設定する。スロットピン１０は、スロット２０２に挿入される長さが単結晶ウェーハＷの直径の１０分の１から２０分の３であることが好ましい。スロットピン１０の長さが単結晶ウェーハＷの直径の１０分の１未満であると、支持力が弱くてガイドピン２０の動作が不安定になる場合がある。一方、スロットピン１０の長さが単結晶ウェーハＷの直径の２０分の３を超えると、スロットピン１０が既に収納されたウェーハＷに干渉することがある。例えば、８インチのウェーハＷの場合は、収納済のウェーハＷとスロットピン１０の接触を避けるため、３０ｍｍ以下に設定する必要性がある。好ましくは２０ｍｍ〜３０ｍｍである。スロットピン１０の材質は特に制限されず、強度が高ければ樹脂製でもよいが、繰り返し使用するため、アルミニウム、銅、鋼、ステンレスなど金属製が好ましい。またスロットピン１０の表面にコーティングやメッキを施してもよい。

＜ガイドピン＞
ガイドピン２０は、ウェーハＷを挿入予定のスロット２０２の真上になるよう、誘導するための部材である。また、誘導されたウェーハＷを受け止めて円滑にスロット内に挿入する部材でもある。ガイドピン２０は、治具本体Ｈの治具底板３２の上にスロットピン１０と併設されたピンケース２１内で、スプリングなどの弾性部材２２と連結しており、ピンケース２１から出入りする。ガイドピン２０がスロットピン１０と隣り合っていることから、スロットピン１０がスロット２０２に挿入されるとガイドピン２０も隣のスロット２０２上に設置されることになる。

ガイドピン２０の先端部２３は、ウェーハＷの挿入時、ウェーハＷの周縁部ｓを受け止めてガイドする機能を有する。水平に置かれた一対のガイドピン２０は、単結晶ウェーハＷの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動し、単結晶ウェーハＷの周縁部ｓの一部が当接しながらスロット内へとウェーハＷをガイドする。このため、ガイドピン２０の先端部２３の形状は、図４に示すように、ウェーハＷの挿入時、ウェーハＷと接触した時にガイドピン２０が滑らかに移動するようＣ面または曲面を有する。具体的には、角部の丸みを持つ三角形状、ウェーハＷと接触する部分に平行部を持つ台形形状、あるいは半円形状等であることが好ましい。また、図５に示すように円盤を取り付け、ウェーハＷが接触すると中心軸で円盤が回転する構造でも良い。ウェーハＷと接触することからガイドピン２０の先端部２３にはスロット２０２と同形状の溝２４が設けられている。また、ガイドピン２０の先端部２３だけでなく上下側にもウェーハＷの周縁部ｓを支えるために溝２４が形成されている。ただし、ウェーハＷの周縁部ｓのみを接触させるなら、必ずしもスロット２０２と同じＶ形状である必要はない。

ガイドピン２０は、ウェーハケース２００の開口側にウェーハＷの挿入予定のスロット２０２の真上に対になるように２ヶ所設置される。すなわち、図１のように同じスロット２０２のケース縁部２０１に２個の治具が設置される。ウェーハガイド治具１００は、ガイドピン２０の形状・形態が同じものが良いが、同じ機能を有すれば異なっていてもよい。ただし、ガイドピン間の幅は、ウェーハＷを円滑にスロット内に挿入できる範囲でなければならない。ガイドピン間の幅が、ウェーハＷの径の１／２〜１／３の幅になるようにする。

離間するガイドピン２０の幅（Ｄ２）が、ウェーハＷの径（Ｄ１）の１／２より広いと、誘導時に狙いがつけにくいので、ウェーハＷが揺れたときなどにガイドピン２０によってガイドできず既に挿入された隣のウェーハＷと接触しキズ等を損傷する恐れが生じる。逆にガイドピン同士の幅がウェーハＷの径の１／３未満と狭い場合、ガイドピン２０の移動距離が長くなるため、長いガイドピン２０が必要になってウェーハガイド治具１００が大きくなってしまう。また、ガイドピン２０にウェーハＷの自重がかかり、水平方向への力も大きくなるので不安定になる。

ガイドピン２０は、ウェーハＷの周縁部ｓを滑らせながらウェーハＷをスロット内に収納するため、ガイドピン２０の表面にウェーハＷが触れても傷みにくい耐摩耗性がある樹脂材料、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、テフロン（登録商標）などのフッ素系樹脂、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が使用される。特に耐摩耗性の優れたテフロン（登録商標）等を用いることが望ましい。これに対して金属製やセラミック製だと、ウェーハＷの周縁部ｓのチッピング等に繋がる恐れがある。

一方、ガイドピン２０のピンケース内には弾性部材２２が設けてあり、ウェーハＷの周縁部ｓの動きに伴ってガイドピン２０が伸縮する仕組みとなっている。ウェーハＷの周縁部ｓがガイドピン２０を押せば縮んでピンケース２１内に収納され、ウェーハＷの周縁部ｓがガイドピン２０から離れればピンケース２１から伸びて出てくる仕組みである。

弾性部材２２の強度はウェーハＷを挿入した時に変形が起きない程度に設定すれば良い。例えば、弾性部材２２はスプリングでもよい。スプリングの強さは、８インチのウェーハＷの場合、線径０．２ｍｍ以下が好ましい。線径を太くして弾性を強くしすぎると、ウェーハＷの周縁部ｓに強い応力が掛かることから好ましくない。なお、弾性部材２２としてスプリングを例示したが、同様な機能を有するものであれば限定されず、様々なアクチュエータが適用できる。例えば磁石の反発力を利用することも考えられる。一対の磁石を用意し、ピンケース２１の奥とガイドピン２０のピンケース２１寄り端部に、磁性を合わせて取り付ければ、スプリングと同様な機能を得ることができる。

このウェーハガイド治具１００を使用することで、ウェーハＷが挿入されるまでガイドピン２０によってウェーハＷの周縁部ｓがガイドされるため、収納済のウェーハＷと接触することなく、ウェーハＷを垂直にスロット２０２に挿入することが可能となる。また、ウェーハＷを取り出す際も、ガイドピン２０を基準とし、ウェーハＷを垂直に取り出すことが可能となるため、取り出し時のウェーハ同士の接触を防止することができる。ウェーハＷが隣のスロット２０２のウェーハＷと衝突しないので、キズがつかないから強度が低下せず、運送中にウェーハＷが振動しても割れにくくなる。

［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係るウェーハガイド治具１００について説明する。図８は、本発明の第２実施形態であるウェーハガイド治具と、その使用状態を示す平面図である。図９は、ウェーハガイド治具で用いるレールを示す斜視図である。図１０は、ウェーハガイド治具をウェーハケースの縁部に載せた状態を示す側面図（ａ）、正面図（ｂ）である。図１１は、図８のウェーハガイド治具の使用状態を示す部分拡大図である。本実施形態のウェーハガイド治具１００は、図８に示すように第１実施形態と同様、一対の治具本体Ｈを有しているが、治具本体Ｈが分離し独立して使用される第１実施形態に係るウェーハガイド治具１００とは異なり、治具本体Ｈ同士をガイドピン２０の先端が向き合うように連結されており、レール４０の上を連続的に移動できる構造になっている。

本実施形態に係るウェーハガイド治具１００は、治具本体Ｈがウェーハケース２００に配置される一対のレール４０と、レール４０に沿ってスライド可能なスライド部５０とを有し、スロットピン１０は、レール４０に設けられ、一対のガイドピン２０は、スライド部５０に設けられ、一対のガイドピン２０をスロット２０２の１つに位置決めする位置決め機構５１を備えることを特徴とする。

前述の第１実施形態は、ウェーハガイド治具１００がガイドピン２０を有することでスロット２０２へのウェーハＷの挿入を容易にしているが、ウェーハＷを挿入する毎に治具本体Ｈを取り外し、スロットピン１０を隣のスロット２０２に嵌合しなおす必要がある。本実施形態は、スライド機構を用いることでスロットピン１０を外さず、１対のガイドピン２０がスライド機構により次のスロット２０２へと１コマずつ移動し、連続してウェーハＷを挿入することができる。

第２実施形態は、連続してスロット２０２にウェーハＷを挿入できるウェーハガイド治具１００で、図８に示す構造をしている。ウェーハガイド治具１００は、図８ではウェーハケース２００のケース縁部２０１の両端に敷かれる２本のレール４０を示しているが、スライド部を嵌合させるためのレール４０の断面は凸形状あるいは凹形状でもよい。

＜スロットピン＞
スロットピン１０は、ウェーハガイド治具１００をウェーハケース２００のケース縁部２０１に固定するための部材であり、レール４０に固定されている。スロットピン１０の形状は、接触面となるスロット２０２の形状、すなわち、Ｖ溝２０３とほぼ同じにするのが好ましい。

また、スロットピン１０は、通常レール４０の両側の端部に１つずつ取り付けられる。ウェーハＷが収納されていないスロット２０２に設置してもよいが、レール４０の両端には先にウェーハＷを収納しておくことが好ましい。スロットピン１０の長さは、第１実施形態と同様であり、スロットピン１０の材質も第１実施形態と同様である。

固定板３０は、ウェーハＷとガイドピン２０が接触した際、ウェーハガイド治具１００の倒れを防止するためにスロットピン１０と対向する側に設置される。レール４０が長い場合は、レール４０の中間付近にさらに１つ取り付けることもできる。レール４０の中間付近にも取り付ける場合は、治具本体Ｈの移動に障害にならないようにする。これにより治具本体Ｈとウェーハケース２００上面部の平行度を保つことができる。治具本体Ｈは、ウェーハＷの挿入作業の開始と終了のたびに、第１実施形態のように収納されるウェーハＷの数だけ装着と脱着が繰り返されるわけではない。したがって、第１実施形態ほどガイドピン２０とスロット２０２とのクリアランスを考慮する必要はない。

＜ガイドピン＞
ガイドピン２０は、第１実施形態と同様、ウェーハＷの挿入予定のスロット２０２の真上になるよう誘導するための部材であり、誘導されたウェーハＷを受け止めて円滑にスロット内に挿入する部材でもある。

ウェーハガイド治具１００は、ウェーハケース２００のケース縁部２０１を跨ぎ設置される。一対のガイドピン２０は、連結板４１に連結された治具底板３２上に、ぞれぞれ連結されている。連結板４１はスロット２０２と同等の幅、同等以上の長さを有する細長い板状体である。ガイドピン２０は、ピンケース２１内でスプリングなどの弾性部材２２と連結しており、ピンケース２１から出入りする。ガイドピン２０の先端は、ウェーハＷの挿入時、ウェーハＷの周縁部ｓが接触したウェーハＷをガイドする機能を有するため、ガイドピン２０の先端形状は、図４に示すように、ウェーハＷの挿入時、ウェーハＷと接触した時にガイドピン２０が滑らかに移動するようＣ面または曲面を有する。具体的な先端形状などの形態は第１実施形態と同様である。

ガイドピン２０は、ウェーハケース２００の開口側のケース縁部２０１にウェーハ挿入予定のスロット２０２の真上に対になるように設置される。すなわち、図８のように同じスロット２０２のケース縁部２０１にウェーハガイド治具１００が設置される。ガイドピン２０間の幅（Ｄ２）は、ウェーハＷを円滑にスロット２０２内に挿入できる範囲でなければならない。ガイドピン同士の幅（Ｄ２）が、ウェーハＷの径（Ｄ１）の１／２〜１／３の幅になるようにする。ガイドピン同士の幅（Ｄ２）が、ウェーハＷの径（Ｄ１）の１／２より広いと、ウェーハＷをガイドピン２０に近づけるとき狙いをつけにくいので、ウェーハＷが揺れたときなどにガイドピン２０によってガイドできず既に挿入された隣のウェーハＷと接触しキズ等を損傷する恐れが生じる。逆にガイドピン同士の幅（Ｄ２）がウェーハＷの径（Ｄ１）の１／３未満と狭い場合、ガイドピン２０の移動距離を長くするため、長いガイドピン２０が必要になって治具本体Ｈが大きくなってしまう。また、ガイドピン２０にウェーハＷの自重がかかり、単結晶ウェーハＷの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動する力も大きくなる。

ガイドピン２０は、ウェーハＷの周縁部ｓを滑らせながらスロット２０２に収納するため、表面にウェーハＷが触れるので耐摩耗性がある樹脂材料が使用される。一方、ガイドピン２０の先端部２３の反対側にはスプリングなどの弾性部材２２が設けてあり、ウェーハＷの出し入れに習って移動する仕組みとなっている。弾性部材（スプリング）２２の材質、弾性部材（スプリング）２２の強度は第１実施形態と同様である。

治具本体Ｈは、レール４０に沿ってスライド可能なスライド部５０を有する。スライド部とレール部を嵌合させるために、断面が凸形状のレール４０に対して、スライド部５０の断面を凹形状にしている。また、このスライド部５０は、ガイドピン２０を設けた治具本体Ｈをレール４０に乗せて移動させる。なお、レール４０を含むスライド機構は市販品から適宜選定し使用できる。

治具本体Ｈは、一対のガイドピン２０をスロット２０２の１つに位置決めする位置決め機構５１を備えている。位置決め機構５１は、例えば、レール４０の側面が一定間隔に曲面を形成しており、内側に窪んだ曲面に球状の止め具が入り込む構造になっている。球状の止め具は、スプリングなどの弾性部材により、レール４０の曲面に合わせて伸縮する。この位置決め機構５１を利用すれば、レール４０の凹部で治具本体Ｈを球状の止め具が圧迫するので、各スロット２０２のＶ溝２０３の位置で止まるようになり、作業能率が向上する。治具本体Ｈは、ウェーハＷが挿入されていないスロット２０２へと一方向に移動させる。治具本体Ｈが既に挿入し終わったスロット２０２側に移動するとウェーハＷを傷つけるので、ラチェット機構を有することが望ましい。位置決め機構５１やラチェット機構は市販品から適宜選定し使用できる。

２．ウェーハの収納方法
次に本発明のウェーハの収納方法について説明する。本発明は、ウェーハケース２００に備える複数のスロット２０２に、単結晶ウェーハＷを個別に収納する方法であって、ウェーハケース２００の開口側に配置される治具本体Ｈと、治具本体Ｈに設けられ、単結晶ウェーハＷが収納されるスロット２０２とは異なるスロット２０２に挿入されるスロットピン１０と、単結晶ウェーハＷを収納予定のスロット２０２の開口側において互いに離間して治具本体Ｈに設けられ、スロット２０２に挿入される単結晶ウェーハＷの周縁部ｓの一部が当接することにより単結晶ウェーハＷをガイドする一対のガイドピン２０と、を有し、一対のガイドピン２０が、単結晶ウェーハＷの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動可能であるウェーハガイド治具１００を用いて、収納予定のスロット２０２と異なるスロット２０２にスロットピン１０を挿入し、単結晶ウェーハＷの周縁部ｓを一対のガイドピン２０に接触させて移動させながら、単結晶ウェーハＷをスロット２０２に収納することを特徴とする。

本発明において、ウェーハケース２００に収納されるウェーハＷは、単結晶の種類によっては特に制限されない。ウェーハＷとしては、円盤状のシリコンウェーハ、サファイアウェーハ、ＬＴウェーハ、ＬＮウェーハ等が挙げられ、特にＬＴウェーハ、ＬＮウェーハの場合に好適である。ＬＴウェーハ、ＬＮウェーハでは、ＣＺ法等の育成方法を用いて製造された単結晶インゴットをマルチワイヤソー等の切断装置で所定の厚みに切断しウェーハ状に加工される。ＬＴやＬＮのウェーハＷは、表面の研磨状態によって制限されるわけではないが、近年、片面のみポリッシュ加工を行い鏡面状態にし、もう一方の片面はラッピング加工面による粗面状態としたウェーハＷが主流を占めている。以下、ＬＴウェーハなどの場合で説明するが、単結晶以外のガラスウェーハなどにも同様に適用できる。

また、ウェーハＷは、例えば直径（Ｄ１）が２００ｍｍ〜４５０ｍｍと大口径のものを対象としたとき得られる効果が大きい。また、ウェーハＷの厚みは、特に制限されないが、１ｍｍ以下、例えば０．３〜０．８ｍｍと薄いものに好ましく適用できる。

次に、本発明が適用されるウェーハケース２００について説明する。ウェーハケース２００は、その構造によって制限されない。図１に示すウェーハケース２００は、ウェーハＷを１枚ごとに収納可能なスロット２０２を有しており、ウェーハＷの収納、取り出し時には図のように単独で使用される。ウェーハＷを収納した後は、この状態で次の工程に移動してウェーハＷの取り出しなどが行われる。しかし、単結晶ウェーハＷの製品を出荷するときには、ウェーハケース２００を通常箱型の収納容器に入れて、運搬される。箱型の収納容器は、ケース蓋と、ケース蓋に設けられたウェーハ押え治具とを備えている。すなわち、ウェーハケース２００は、収納容器から着脱（分離及び装着）可能な別部品として収納容器に組み込むことができる。

ウェーハケース２００の形状は、上方が四角形に開口し所定数のウェーハＷを保持できれば、限定されない。ウェーハケース２００のスロット２０２にウェーハＷを挿入するときは、ケースの下部開口部に支持部材が使用される。支持部材は、ウェーハＷと接触する部分がゴムなどの弾性を有する板状の部材が好ましい。ウェーハケース２００は、スロット２０２の両側がケース内面から底面にわたってＵ字状となり、ウェーハＷを保持するＶ溝２０３を有している。隣り合うリブ（離間リブ）が所定の間隔となっていることにより、ウェーハＷを１枚毎、スロット２０２のＶ溝２０３に合わせて所定の枚数を個別に離間して立てた状態に支持できる。

ウェーハケース２００は、樹脂製であるが、ウェーハＷと直接触れるために、接触面が平坦であり、挿入時に先端が当たっても削れや剥がれが生じにくく、挿入効率がよい材料が望ましい。用いられる樹脂としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が例示される。

次に、従来の方法で大口径のウェーハＷをスロット２０２に収納する要領を図１２〜１３を用いて説明する。一般的にウェーハＷをウェーハケース２００に入れるハンドリングでは、吸着ピンセット３００が使用される。真空ポンプにより吸着ピンセット３００の先端部の吸着盤３０１でウェーハＷの表面を真空吸着させてウェーハＷを保持、搬送する方法が採用されている。吸着ピンセット３００は、幅が８ｍｍと狭く２ｍｍ程度の薄いアームの先端部に、直径又は一辺が３０ｍｍ程度で厚さが４ｍｍ程度の吸着盤３０１を有している。作業者は吸着ピンセット３００の吸着盤３０１から５０ｍｍ程度先のアーム部分を持ってウェーハＷを吸引する。

前記した通り、スロット２０２の幅および相互の間隔が狭いため、ウェーハＷが大型で重いと吸着ピンセット３００を持つ手元が定まりにくく、挿入したいスロット２０２の位置へとガイドしにくい。そのため、従来は、図１２のように、スロット２０２の片側にウェーハＷの周縁部ｓを入れた後、続いてウェーハＷを回転させるようにしてスロット２０２の反対側に入れる手順としているが、図１３（ａ）のように、スロット２０２の反対側に入れる際にウェーハＷが傾き、収納済のウェーハＷと接触することがあった。ウェーハＷが接触すると衝突したウェーハＷの表面にキズ等の外観不良を発生させる。作業者が習熟していないと、キズをつけないよう慎重に入れようとするので作業時間がかかっていた。また、作業者の手元が定まらないと、図１３（ｂ）のように隣のスロット２０２に交差してウェーハＷが入ってしまうこともあった。

次に、本発明における単結晶ウェーハＷの収納方法を図６〜７を用いて説明する。本発明では、前記第１実施形態あるいは第２実施形態に示したウェーハガイド治具１００を使用する。ウェーハガイド治具１００は、治具本体Ｈに設けられ単結晶ウェーハＷを収納予定のスロット２０２とは異なるスロット２０２に挿入されるスロットピン１０と、単結晶ウェーハＷを収納予定のスロット２０２の開口側において互いに離間して治具本体Ｈに設けられ、スロット２０２に挿入される単結晶ウェーハＷの周縁部ｓの一部が当接することにより単結晶ウェーハＷをガイドする一対のガイドピン２０を有している。

スロットピン１０とガイドピン２０が異なるスロット２０２上に位置する構造であるため、ウェーハケース２００の端部に先にウェーハＷを収納しておくことで、ウェーハガイド治具１００のスロットピン１０をウェーハケース２００の端部のスロット２０２に設置することが可能となる。すなわち、少なくともウェーハケース２００の端部へウェーハＷを収納する際には、ウェーハ同士が接触する懸念が無いため、従来の方法で収納すればよい。

このような準備作業を行った後、本発明のウェーハガイド治具１００を用いて、本作業に入る。図６（ａ）はウェーハケース２００の開口側のケース縁部２０１にウェーハガイド治具１００を設置して、ウェーハＷの表面方向からみた概略図である。ウェーハガイド治具１００は、スロット２０２の両サイドに１つずつ設置する。これによりガイドピン２０が、ウェーハケース２００のウェーハＷの挿入予定のスロット２０２の真上に対になるように２ヶ所設置される。治具本体Ｈは、支持板３１と固定板３０でウェーハケース２００のケース縁部２０１を跨ぎ設置する。支持板３１と固定板３０は、ウェーハＷとガイドピン２０が接触した際、ウェーハガイド治具１００の倒れを防止するために設置されており、これにより治具とウェーハケース２００上面部の平行度を保つことができる。

ガイドピン２０は、ウェーハＷの挿入予定のスロット２０２の真上になるよう、スロット２０２と同形状のスロットピン１０をウェーハＷの挿入予定のスロット以外のスロット２０２に挿入することで設置される。ガイドピン２０の先端は、ウェーハＷの挿入時、ウェーハＷの周縁部ｓが接触したウェーハＷをガイドする。また、ウェーハＷの挿入により、ガイドピン２０が単結晶ウェーハＷの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動し、ウェーハＷの周縁部ｓを移動しながらガイドする。

ガイドピン２０は、ウェーハＷの挿入予定のスロット２０２の真上で向き合っているが、この時のガイドピン同士の幅は、ウェーハＷの径の１／２〜１／３の幅に設定する。ウェーハガイドピン同士の幅が、ウェーハＷの径の１／２より小さいとウェーハＷがガイドピン２０にガイドされる前に既に挿入されたウェーハＷと接触しキズ等を損傷する可能性が高い。逆にガイドピン２０同士の幅がウェーハＷの径の１／３未満の場合、ガイドピン２０の移動距離が長くなりウェーハガイド治具１００が大きくなってしまう。また、ウェーハＷを押さえる力を調整することが難しくなる。

まず、図６（ａ）のように、吸着ピンセットにより保持されたウェーハＷを上方から挿入予定のスロット２０２に近づけ、図６（ｂ）のように、吸着ピンセットの吸着盤先端を真下に向け、ガイドピン２０の先端にウェーハＷの周縁部ｓを当てて安定させる。その後、吸着ピンセット３００でウェーハＷを下に降ろすとガイドピン２０がウェーハＷの周縁部ｓに習って移動し、ウェーハＷがガイドされながらスロット２０２に対して下降する。ガイドピン２０の先端部２３の反対側にはスプリングなどの弾性部材２２が設けてあり、ウェーハＷの動きに習ってガイドピン２０を移動する。ガイドピン２０がウェーハＷに押されると、ピンケース２１に一時的に収納される形となる。図７（ａ）は、ガイドピン２０が縮んで最も深くピンケース２１に入った状態を示している。さらにウェーハＷは自重によってスロット２０２のＶ溝２０３にそって下降していく。下降しにくい場合は、ピンセットでウェーハＷの周縁部ｓを押して下方へ滑らせながら押し込んでいく。図７（ｂ）のように、収納完了後は、ウェーハＷの吸着を解除して吸着ピンセット３００を抜き取った後、ウェーハガイド治具１００をガイドピン２０が次の挿入予定のスロット２０２の上になるように差し替える。

このウェーハガイド治具１００を使用することで、ウェーハＷが挿入されるまでウェーハＷの周縁部ｓがガイドされるため、収納済のウェーハＷと接触することなくスロット２０２に挿入することが可能となる。また、ウェーハＷを取り出す際も、ガイドピン２０を基準とし、ウェーハＷを上向き垂直に取り出すことが可能となるため、取り出し時のウェーハ同士の接触を防止することができる。

以上の実施形態は、ウェーハガイド治具１００がガイドピン２０を有することでスロット２０２へのウェーハＷの挿入を容易にしているが、ウェーハＷを挿入する毎にウェーハガイド治具１００を取り外し、スロットピン１０を隣のスロット２０２に嵌合しなおす必要がある。しかし、第２実施形態のウェーハガイド治具１００は、一対のガイドピン２０が先端を向き合わすように連結板４１で連結されており、スライド機構を用いることでスロットピン１０を外さず、１対のガイドピン２０がスライド機構によりスロット間を１コマずつ移動するので、連続してウェーハＷを挿入することができる。

すなわち、連続してウェーハＷを挿入するには、治具本体Ｈがウェーハケース２００に配置される一対のレール４０と、レール４０に沿ってスライド可能なスライド部５０と一対のガイドピン２０を備えるウェーハガイド治具１００を使用する。ウェーハガイド治具１００は、スロットピン１０がレール４０に固定され、一対のガイドピン２０をスロット２０２の１つに位置決めする位置決め機構５１を有している。

まず、ウェーハケース２００の端部に先にウェーハＷを収納しておく。少なくともウェーハケース２００の端部へウェーハＷを収納する際には、ウェーハ同士が接触する懸念が無いため、従来の方法で収納すればよい。次に、レール４０をウェーハケース２００のケース縁部２０１上に配置して、スロットピン１０をスロット２０２に差し込み固定する。レール４０に付設されたスロットピン１０は、少なくともウェーハケース２００の両端に設置する。二本のレール４０を用いるので４か所のスロットピン１０は、既にウェーハＷを収納したスロット２０２に設置される。なお、レール４０を含むスライド機構は市販のものを使用できる。その後、レール４０の上に治具本体Ｈのスライド部５０を載置する。

次に、前記と同様、ウェーハＷをスロット２０２の両端に対向して配置されたガイドピン２０に接近させ、ガイドピン２０の先端部２３の真上でウェーハＷの周縁部ｓをガイドピン２０の先端に当接させ、引き続き、ガイドピン２０にウェーハＷの周縁部ｓが摺動するようにウェーハＷを下降させるようにして、スロット内にウェーハＷを収納する。

治具本体Ｈは、ウェーハＷを１枚収納する毎に、スライド部５０により次のスロット２０２へと移動させる。移動時には治具本体Ｈに連結された位置決め機構５１を使用する。この位置決め機構５１は、１対のガイドピン２０とピンケース２１をウェーハＷが収納される各スロット２０２の位置に固定できるように設定する。レール４０の側面が一定間隔に曲面を形成しており、内側に窪んだ曲面に球状の止め具が入り込む構造になっていれば、球状の止め具に付属するスプリングなどの弾性部材で調整する。治具本体Ｈを進行方向に押したとき、球状の止め具がレール４０の曲面の山を容易に乗り越えるが、谷に嵌ると制止するよう強度を調整するのが好ましい。

これにより、前述のスライド機構を有しないウェーハガイド治具１００では、ウェーハＷを挿入毎にウェーハガイド治具１００を取り外し、スロットピン１０を隣のスロット２０２に嵌合しなおす必要があったが、本実施形態ではスライド部５０と位置決め機構５１を用いることでスロットピン１０を外さず、１対のガイドピン２０とピンケース２１を一定のピッチでスロット間を移動し、連続してウェーハＷを挿入することができる。

上記の工程を経て、所定数のウェーハＷがウェーハケース２００のスロット底部に収納配置された後、収納容器に装入しケース蓋を閉じると、ウェーハＷは、ウェーハ押え治具により収納枠側の溝部に押し付けられ安定する。収納容器は、例えば段ボールや輸送ケース内に収納容器のサイズに合った緩衝材のウレタンフォームなどを収納容器の六面に密着させて梱包する。

輸送後にケース蓋を開けると、ウェーハＷは、ウェーハ押え治具による圧力から解放され取り出せるようになる。ウェーハＷを取り出す際も、本ウェーハガイド治具１００を用いれば、ガイドピン２０を基準とし、ウェーハＷを真上方向に取り出すことが可能となるため、ウェーハ同士の接触を防止することができる。

以下、実施例及び比較例により本発明の具体的な実施内容を説明するが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。

（実施例１）
本発明である図１、２のウェーハガイド治具とウェーハケース（インテグリス社製のＰＡ１９２−８０Ｍ−０６０３；ウェーハＷを２５枚収納でき、スロット幅は１．２ｍｍ）を２０個用意した。１０個のウェーハケースには、外径２００ｍｍ、厚さ０．５ｍｍサイズのタンタル酸リチウムのウェーハＷを収納しておき、残り１０個のウェーハケースは空のままにしておいた。
まず、ウェーハガイド治具を両方のウェーハケースの開口側の縁部にのせた。離間するガイドピンの幅（Ｄ２）は、ウェーハＷの径（Ｄ１）の１／２の幅に設定し、スロットピン１０は、既に収納されたウェーハＷに干渉しないように３０ｍｍの長さにした。
次にウェーハＷが収納されているウェーハケースに吸着ピンセットのアームをケース側面の開口部から近づけ、最も手前のウェーハＷの表面をアームの吸着盤で吸着し、垂直に上方へ引き上げ、スロットから取り出した。取り出したウェーハＷは、空のウェーハケースに載せたウェーハガイド治具の上から、ウェーハＷの周縁部ｓがガイドピンに当接するようにして下降させ、空のウェーハケースのスロットに挿入した。ウェーハＷの取り出しや収納が終わるたびに治具本体Ｈをウェーハケースから外し、次のスロットに移した。なお、吸着ピンセット及び真空ポンプは、フロロメカニック社の製品を使用した。
ウェーハの収納は全てのスロットを用いて最大収納枚数とし、外観不良検査で良品と判定されたウェーハ２５０枚（１０ケース分）を空ケースに移し替えたことになる。その後、更に元のケースに戻す作業を実施した。このとき、ウェーハ同士接触回数をカウントするようにし、収納後の外観再検査を実施した。作業者は経験２か月で、この操作に習熟していなかったが、本発明のウェーハガイド治具を用いたことで、ウェーハケースからの初回取り出し（１）の所要時間は２１分、ケースへの初回収納（１）の所要時間は３３分と能率がよがった。また、表１に示すように、ウェーハ同士の接触回数０回、外観不良品の発生率０％という好結果で作業ができた。表１には１回目の取り出しと収納に（１）、２回目の取り出しと収納に（２）を付記している。

（実施例２）
実施例１と同様、本発明のウェーハガイド治具を用いたが、ウェーハガイドピン間の幅（Ｄ２）を変え、ウェーハＷの径（Ｄ１）の１／３の幅になるよう設定した。それ以外は実施例１と同様にしてウェーハＷの移し替え実験を行った。ウェーハケースからの初回取り出し（１）の所要時間は１７分、ケースへの初回収納（１）の所要時間は２５分と能率が良かった。またウェーハ同士の接触回数０回、外観不良発生率０％と良好な結果であった。

（比較例１）
実施例１のウェーハＷ及び吸着ピンセット、ウェーハケースを用い、ウェーハガイド治具を使用せず、従来の収納手順により同様の移し替え作業を実施した。ウェーハＷが揺れて手元が定まりにくく、接触回数は計６９回と多く、外観再検査後の不良発生率は６．０％であった。またウェーハケースからの初回取り出し（１）の所要時間は２５分、ケースへの初回収納（１）の所要時間は３８分と能率が悪かった。

なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。

Ｗ ウェーハ
ｓ 周縁部
ｉ 挿入方向
Ｈ 治具本体
１００ ウェーハガイド治具
１０ スロットピン
２０ ガイドピン
２１ ピンケース
２２ 弾性部材（スプリング）
２３ ピン先端部
２４ 溝
３０ 固定板
３１ 支持板
３２ 治具底板
４０ レール
４１ 連結板
５０ スライド部
５１ 位置決め機構
２００ ウェーハケース
２０１ ケース縁部
２０２ スロット
２０３ Ｖ溝
２０４ 開口部
３００ 吸着ピンセット（アーム）
３０１ 吸着盤

Claims (7)

1. ウェーハケースに備える複数のスロットに、単結晶ウェーハを個別に収納する際に使用されるウェーハガイド治具であって、
   前記ウェーハケースの開口側に配置される治具本体と、
   前記治具本体に設けられ、単結晶ウェーハを収納予定の前記スロットとは異なる前記スロットに挿入されるスロットピンと、
   単結晶ウェーハを収納予定の前記スロットの開口側において互いに離間して前記治具本体に設けられ、前記スロットに挿入される単結晶ウェーハの周縁部の一部が当接することにより単結晶ウェーハをガイドする一対のガイドピンと、を有し、
   前記一対のガイドピンは、単結晶ウェーハの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動可能であることを特徴とするウェーハガイド治具。
2. 前記一対のガイドピンは、先端同士の間隔が単結晶ウェーハの直径の２分の１から３分の１の範囲で離間するように配置されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハガイド治具。
3. 前記一対のガイドピンのそれぞれは、弾性部材の弾性力に抗して移動可能であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェーハガイド治具。
4. 前記一対のガイドピンのそれぞれは、先端に単結晶ウェーハの周縁部が当接する溝を備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のウェーハガイド治具。
5. 前記スロットピンは、前記スロットに挿入される長さが単結晶ウェーハの直径の１０分の１から２０分の３であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のウェーハガイド治具。
6. 前記治具本体は、前記ウェーハケースに配置される一対のレールと、前記レールに沿ってスライド可能なスライド部とを有し、
   前記スロットピンは、前記レールに設けられ、
   前記一対のガイドピンは、前記スライド部に設けられ、
   前記一対のガイドピンを前記スロットの１つに位置決めする位置決め機構を備えることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のウェーハガイド治具。
7. ウェーハケースに備える複数のスロットに、単結晶ウェーハを個別に収納する方法であって、
   前記ウェーハケースの開口側に配置される治具本体と、
   前記治具本体に設けられ、単結晶ウェーハを収納予定の前記スロットとは異なる前記スロットに挿入されるスロットピンと、
   単結晶ウェーハを収納予定の前記スロットの開口側において互いに離間して前記治具本体に設けられ、前記スロットに挿入される単結晶ウェーハの周縁部の一部が当接することにより単結晶ウェーハをガイドする一対のガイドピンと、を有し、
   前記一対のガイドピンが、単結晶ウェーハの挿入方向に対して直交する方向で、かつ互いに離れる方向に移動可能であるウェーハガイド治具を用いて、
   収納予定の前記スロットと異なる前記スロットに前記スロットピンを挿入し、
   単結晶ウェーハの周縁部を前記一対のガイドピンに接触させて移動させながら、単結晶ウェーハを前記スロットに収納することを特徴とする単結晶ウェーハの収納方法。

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