JP2001298079A - ウェーハ輸送容器のサポート具 - Google Patents
ウェーハ輸送容器のサポート具Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動で容易にウェーハの共振を招いたり、ウ
ェーハが損傷したり、破損するおそれを抑制除去し、損
傷したウェーハが他のウェーハに悪影響を及ぼすという
二次災害を未然に防止し、既存の設備を使用できるウェ
ーハ輸送容器のサポート具を提供する。 【解決手段】 ウェーハ輸送容器１にバックグラインド
加工された複数枚のウェーハＷを整列収納し、複数枚の
ウェーハＷの撓みをサポート具１６で規制するものであ
って、ウェーハ輸送容器１を形成する容器本体２の内部
の前後面に、サポート具１６用のストッパ３を突出成形
する。また、サポート具１６を、容器本体２の底面側に
位置し、ストッパ３に嵌入固定される一対の対向壁１７
と、一対の対向壁１７間に間隔をおいて架設される一対
の連結バー１８と、一対の連結バー１８の長手方向に所
定のピッチで並設される複数の仕切保持体１９とから構
成する。そして、複数の仕切保持体１９間にウェーハＷ
を挿入保持させ、ウェーハＷの撓みを規制する。
ェーハが損傷したり、破損するおそれを抑制除去し、損
傷したウェーハが他のウェーハに悪影響を及ぼすという
二次災害を未然に防止し、既存の設備を使用できるウェ
ーハ輸送容器のサポート具を提供する。 【解決手段】 ウェーハ輸送容器１にバックグラインド
加工された複数枚のウェーハＷを整列収納し、複数枚の
ウェーハＷの撓みをサポート具１６で規制するものであ
って、ウェーハ輸送容器１を形成する容器本体２の内部
の前後面に、サポート具１６用のストッパ３を突出成形
する。また、サポート具１６を、容器本体２の底面側に
位置し、ストッパ３に嵌入固定される一対の対向壁１７
と、一対の対向壁１７間に間隔をおいて架設される一対
の連結バー１８と、一対の連結バー１８の長手方向に所
定のピッチで並設される複数の仕切保持体１９とから構
成する。そして、複数の仕切保持体１９間にウェーハＷ
を挿入保持させ、ウェーハＷの撓みを規制する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製品の生産
に使用されるシリコンウェーハ等のウェーハ輸送容器の
サポート具に関し、より詳しくは、表面に電子回路の配
線パターンが形成され、バックグラインド工程で裏面が
研磨されて極薄肉厚に精密加工されたウェーハの保管、
輸送に好適なウェーハ輸送容器のサポート具に関するも
のである。
に使用されるシリコンウェーハ等のウェーハ輸送容器の
サポート具に関し、より詳しくは、表面に電子回路の配
線パターンが形成され、バックグラインド工程で裏面が
研磨されて極薄肉厚に精密加工されたウェーハの保管、
輸送に好適なウェーハ輸送容器のサポート具に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来におけるウェーハ輸送容器は、有底
筒形の容器本体と、この容器本体に収納され、複数枚の
ウェーハを支持溝９を介して所定のピッチで整列状態に
収納するカセット６と、容器本体の開口面をシール部材
を介して開閉する蓋体と、この蓋体の内面に選択的に装
着されるウェーハ抑えとから構成されている。ウェーハ
Ｗは、口径が６″(約１５０ｍｍ) と８″(約２００ｍ
ｍ)のポリッシングタイプが現在量産されている。この
ウェーハＷの厚さとしては、現在６２５μｍ〜７２５μ
ｍが主流である。
筒形の容器本体と、この容器本体に収納され、複数枚の
ウェーハを支持溝９を介して所定のピッチで整列状態に
収納するカセット６と、容器本体の開口面をシール部材
を介して開閉する蓋体と、この蓋体の内面に選択的に装
着されるウェーハ抑えとから構成されている。ウェーハ
Ｗは、口径が６″(約１５０ｍｍ) と８″(約２００ｍ
ｍ)のポリッシングタイプが現在量産されている。この
ウェーハＷの厚さとしては、現在６２５μｍ〜７２５μ
ｍが主流である。
【０００３】ところで、ウェーハＷは、各種の処理加工
が施された表面に電子回路がパターン形成されると、バ
ックグラインド工程に供され、最終製品の厚さスペック
に合わせて裏面(背面)が研磨され、極薄(５０μｍ〜３
０４μｍ)に精密調整されたバックグラインドウェーハ
に加工される。このようなウェーハＷは、表面に電子回
路がパターン形成されているので非常に高価であり、し
かも、実に撓みやすく、力学的に破損しやすいので、慎
重に取り扱う必要がある(この点につき、図１０参照)。
が施された表面に電子回路がパターン形成されると、バ
ックグラインド工程に供され、最終製品の厚さスペック
に合わせて裏面(背面)が研磨され、極薄(５０μｍ〜３
０４μｍ)に精密調整されたバックグラインドウェーハ
に加工される。このようなウェーハＷは、表面に電子回
路がパターン形成されているので非常に高価であり、し
かも、実に撓みやすく、力学的に破損しやすいので、慎
重に取り扱う必要がある(この点につき、図１０参照)。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のウェーハ輸送容
器は、以上のようにカセット６に複数枚のウェーハＷを
支持溝９を介して単に整列収納するので、バックグライ
ンド加工されたウェーハＷを収納して次工程のダイシン
グ工程等のために別の場所に輸送される場合には、ウェ
ーハＷの厚さとカセット６の支持溝９との寸法誤差が増
大するためにガタツキ易く、輸送時の振動で比較的容易
にウェーハＷの共振を招くこととなる。また、従来のウ
ェーハ輸送容器には、バックグラインド加工されたウェ
ーハＷの中央部を抑える部材がなんらセットされないの
で、揺れ幅が大きくなってウェーハＷ同士が撓んで接触
したり、強度限界を超えて振動し、結果的にウェーハＷ
が損傷したり、破損するおそれが少なくない。
器は、以上のようにカセット６に複数枚のウェーハＷを
支持溝９を介して単に整列収納するので、バックグライ
ンド加工されたウェーハＷを収納して次工程のダイシン
グ工程等のために別の場所に輸送される場合には、ウェ
ーハＷの厚さとカセット６の支持溝９との寸法誤差が増
大するためにガタツキ易く、輸送時の振動で比較的容易
にウェーハＷの共振を招くこととなる。また、従来のウ
ェーハ輸送容器には、バックグラインド加工されたウェ
ーハＷの中央部を抑える部材がなんらセットされないの
で、揺れ幅が大きくなってウェーハＷ同士が撓んで接触
したり、強度限界を超えて振動し、結果的にウェーハＷ
が損傷したり、破損するおそれが少なくない。
【０００５】さらに、大口径の複数枚のウェーハＷや電
子回路がパターン形成された複数枚のウェーハＷが輸送
時に一枚でも損傷すると、破片等が他のウェーハＷの電
子回路に悪影響を及ぼすという二次災害が発生する。こ
の場合、全ウェーハＷが使用不能になるのが殆どなの
で、きわめて高額の金銭的損失が生じることとなる。
子回路がパターン形成された複数枚のウェーハＷが輸送
時に一枚でも損傷すると、破片等が他のウェーハＷの電
子回路に悪影響を及ぼすという二次災害が発生する。こ
の場合、全ウェーハＷが使用不能になるのが殆どなの
で、きわめて高額の金銭的損失が生じることとなる。
【０００６】このような問題に鑑み、特開平９‐１２９
７１９号や特開平９‐２４６３６９号公報は、ウェーハ
輸送容器の容器本体に略円筒形の円筒部を立設し、この
円筒部内に複数枚のウェーハＷをクッション材を介して
水平に積層収納するという方法を提案している。しかし
ながら、この方法では、専用の設備が必要不可欠となる
ので、既存の設備を到底使用することができないという
大きな問題が新たに発生することとなる。
７１９号や特開平９‐２４６３６９号公報は、ウェーハ
輸送容器の容器本体に略円筒形の円筒部を立設し、この
円筒部内に複数枚のウェーハＷをクッション材を介して
水平に積層収納するという方法を提案している。しかし
ながら、この方法では、専用の設備が必要不可欠となる
ので、既存の設備を到底使用することができないという
大きな問題が新たに発生することとなる。
【０００７】本発明は、上記に鑑みなされたもので、振
動で比較的容易にウェーハの共振を招いたり、ウェーハ
が損傷したり、破損するおそれを有効に抑制除去し、損
傷したウェーハが他のウェーハに悪影響を及ぼす二次災
害を未然に防止し、しかも、既存の設備を略そのまま使
用することのできるウェーハ輸送容器のサポート具を提
供することを目的としている。
動で比較的容易にウェーハの共振を招いたり、ウェーハ
が損傷したり、破損するおそれを有効に抑制除去し、損
傷したウェーハが他のウェーハに悪影響を及ぼす二次災
害を未然に防止し、しかも、既存の設備を略そのまま使
用することのできるウェーハ輸送容器のサポート具を提
供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明にお
いては、上記課題を達成するため、ウェーハ輸送容器に
バックグラインド加工された複数枚のウェーハを整列状
態に収納し、この複数枚のウェーハの撓みをサポート具
で規制するものであって、上記ウェーハ輸送容器の内面
に上記サポート具用のストッパを設け、該サポート具
を、上記ウェーハ輸送容器の開口面と反対側の突き当た
り面側に位置し、上記ストッパに固定される一対の対向
壁と、この一対の対向壁間に間隔をおいて架設される一
対の連結バーと、この一対の連結バーの長手方向に所定
のピッチで並べ設けられる複数の仕切保持体とから構成
し、この複数の仕切保持体間に上記ウェーハを挿入保持
させるようにしたことを特徴としている。なお、上記複
数の仕切保持体間に、上記ウェーハの直径の１／３以上
の領域を挿入保持させると良い。
いては、上記課題を達成するため、ウェーハ輸送容器に
バックグラインド加工された複数枚のウェーハを整列状
態に収納し、この複数枚のウェーハの撓みをサポート具
で規制するものであって、上記ウェーハ輸送容器の内面
に上記サポート具用のストッパを設け、該サポート具
を、上記ウェーハ輸送容器の開口面と反対側の突き当た
り面側に位置し、上記ストッパに固定される一対の対向
壁と、この一対の対向壁間に間隔をおいて架設される一
対の連結バーと、この一対の連結バーの長手方向に所定
のピッチで並べ設けられる複数の仕切保持体とから構成
し、この複数の仕切保持体間に上記ウェーハを挿入保持
させるようにしたことを特徴としている。なお、上記複
数の仕切保持体間に、上記ウェーハの直径の１／３以上
の領域を挿入保持させると良い。
【０００９】ここで、特許請求の範囲におけるウェーハ
輸送容器は、トップオープンボックスタイプでも良い
し、フロントオープンボックスタイプでも良い。このウ
ェーハ輸送容器に複数枚のウェーハを整列収納する手段
としては、カセットに複数枚のウェーハを整列収納し、
このカセットを容器本体に収納する方法、容器本体の両
内側壁に支持溝をそれぞれ一体成形し、この複数の支持
溝を利用して複数枚のウェーハをカセットを省略して整
列収納する方法等があげられる。ウェーハの材質や口径
サイズについては、シリコン、３″、６″、８″、１
２″等、必要に応じて適宜変更することができる。この
ウェーハの枚数は、２枚以上であれば、１３枚、２５
枚、２６枚等とすることができる。また、ウェーハ輸送
容器の突き当たり面とは、ウェーハ輸送容器がトップオ
ープンボックスタイプの場合には底面(下面)が該当し、
ウェーハ輸送容器がフロントオープンボックスタイプの
場合には背面が該当する。
輸送容器は、トップオープンボックスタイプでも良い
し、フロントオープンボックスタイプでも良い。このウ
ェーハ輸送容器に複数枚のウェーハを整列収納する手段
としては、カセットに複数枚のウェーハを整列収納し、
このカセットを容器本体に収納する方法、容器本体の両
内側壁に支持溝をそれぞれ一体成形し、この複数の支持
溝を利用して複数枚のウェーハをカセットを省略して整
列収納する方法等があげられる。ウェーハの材質や口径
サイズについては、シリコン、３″、６″、８″、１
２″等、必要に応じて適宜変更することができる。この
ウェーハの枚数は、２枚以上であれば、１３枚、２５
枚、２６枚等とすることができる。また、ウェーハ輸送
容器の突き当たり面とは、ウェーハ輸送容器がトップオ
ープンボックスタイプの場合には底面(下面)が該当し、
ウェーハ輸送容器がフロントオープンボックスタイプの
場合には背面が該当する。
【００１０】請求項１記載の発明によれば、ウェーハ輸
送容器にバックグラインド加工された複数枚のウェーハ
を整列させて収納すると、サポート具を形成する複数の
仕切保持体に複数枚のウェーハが挟んだ状態に保持さ
れ、各仕切保持体にウェーハの撓みが規制される。
送容器にバックグラインド加工された複数枚のウェーハ
を整列させて収納すると、サポート具を形成する複数の
仕切保持体に複数枚のウェーハが挟んだ状態に保持さ
れ、各仕切保持体にウェーハの撓みが規制される。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
ましい実施形態を説明すると、本実施形態におけるウェ
ーハ輸送容器のサポート具は、図１ないし図７に示すよ
うに、ウェーハ輸送容器１にバックグラインド加工され
た複数枚のウェーハＷを整列状態に収納し、この複数枚
のウェーハＷの撓みをサポート具１６で規制するように
している。
ましい実施形態を説明すると、本実施形態におけるウェ
ーハ輸送容器のサポート具は、図１ないし図７に示すよ
うに、ウェーハ輸送容器１にバックグラインド加工され
た複数枚のウェーハＷを整列状態に収納し、この複数枚
のウェーハＷの撓みをサポート具１６で規制するように
している。
【００１２】ウェーハ輸送容器１は、図１に示すよう
に、有底角筒形の容器本体２と、この容器本体２に着脱
自在に収納され、複数枚のウェーハＷを整列収納するポ
リプロピレン製のカセット６と、容器本体２の開口面を
シール部材１３を介して開閉する蓋体１０と、この蓋体
１０の内面に選択的に装着されて複数枚のウェーハＷを
振動や衝撃から保護するウェーハ抑え１４とから従来と
同様に構成されている。容器本体２は、例えば耐薬品性
等に優れるポリプロピレン等を用いて半透明に射出成形
され、内部の少なくとも前後面からストッパ３が突出し
ている。容器本体２の開口部外周は薄肉に成形されてシ
ール部材１３用の嵌合凹部４を形成し、容器本体２の両
外側壁上部からは複数のフック５がそれぞれ突出してい
る。
に、有底角筒形の容器本体２と、この容器本体２に着脱
自在に収納され、複数枚のウェーハＷを整列収納するポ
リプロピレン製のカセット６と、容器本体２の開口面を
シール部材１３を介して開閉する蓋体１０と、この蓋体
１０の内面に選択的に装着されて複数枚のウェーハＷを
振動や衝撃から保護するウェーハ抑え１４とから従来と
同様に構成されている。容器本体２は、例えば耐薬品性
等に優れるポリプロピレン等を用いて半透明に射出成形
され、内部の少なくとも前後面からストッパ３が突出し
ている。容器本体２の開口部外周は薄肉に成形されてシ
ール部材１３用の嵌合凹部４を形成し、容器本体２の両
外側壁上部からは複数のフック５がそれぞれ突出してい
る。
【００１３】カセット６は、同図に示すように、隙間を
おいて対向する左右一対の側壁７を備え、この一対の側
壁７の前後部間には端壁８がそれぞれ装架されている。
各側壁７の内面には、上下方向に伸びる複数の支持溝９
が前後方向に並設成形され、この複数の支持溝９が複数
枚のウェーハＷを所定のピッチで平行に位置決め整列収
納する。蓋体１０は、耐衝撃性、耐熱性等に優れるポリ
カーボネート等を用いてウェーハＷの確認ができるよう
透明に射出成形され、両側壁の下部から揺動可能な板状
の係合片１１がそれぞれ突出しており、各係合片１１の
複数の孔１２がフック５に嵌入係止して容器本体２の開
口面を閉塞する。
おいて対向する左右一対の側壁７を備え、この一対の側
壁７の前後部間には端壁８がそれぞれ装架されている。
各側壁７の内面には、上下方向に伸びる複数の支持溝９
が前後方向に並設成形され、この複数の支持溝９が複数
枚のウェーハＷを所定のピッチで平行に位置決め整列収
納する。蓋体１０は、耐衝撃性、耐熱性等に優れるポリ
カーボネート等を用いてウェーハＷの確認ができるよう
透明に射出成形され、両側壁の下部から揺動可能な板状
の係合片１１がそれぞれ突出しており、各係合片１１の
複数の孔１２がフック５に嵌入係止して容器本体２の開
口面を閉塞する。
【００１４】シール部材１３は、同図に示すように、ポ
リエステル系エラストマー等の各種熱可塑性エラストマ
ーやシリコンゴム、フッ素ゴム等の合成ゴム等を使用し
て枠状に成形され、蓋体１０のセット時に容器本体２の
嵌合凹部４にパッキンとして密嵌し、気密性を確保す
る。ウェーハ抑え１４は、耐衝撃性に優れるポリエステ
ル系エラストマー等の各種熱可塑性エラストマーやポリ
プロピレン等の合成樹脂を用いて基本的には略枠形に射
出成形され、蓋体１０の内部に着脱自在に装着される。
このウェーハ抑え１４の両側壁には、断面略Ｌ字形でば
ね性の支持片１５が前後方向に並べて成形され、各支持
片１５の先端部には、ウェーハＷの上部外周縁を誘導し
て嵌入圧接するＶ溝が成形されており、各Ｖ溝が支持溝
９内のウェーハＷの動きを規制する。
リエステル系エラストマー等の各種熱可塑性エラストマ
ーやシリコンゴム、フッ素ゴム等の合成ゴム等を使用し
て枠状に成形され、蓋体１０のセット時に容器本体２の
嵌合凹部４にパッキンとして密嵌し、気密性を確保す
る。ウェーハ抑え１４は、耐衝撃性に優れるポリエステ
ル系エラストマー等の各種熱可塑性エラストマーやポリ
プロピレン等の合成樹脂を用いて基本的には略枠形に射
出成形され、蓋体１０の内部に着脱自在に装着される。
このウェーハ抑え１４の両側壁には、断面略Ｌ字形でば
ね性の支持片１５が前後方向に並べて成形され、各支持
片１５の先端部には、ウェーハＷの上部外周縁を誘導し
て嵌入圧接するＶ溝が成形されており、各Ｖ溝が支持溝
９内のウェーハＷの動きを規制する。
【００１５】サポート具１６は、ポリプロピレン、ポリ
エチレン、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレ
ート等の熱可塑性樹脂、ポリオレフィン系、ポリエステ
ル系の熱可塑性エラストマー樹脂を用いて成形される。
好ましくは、ウェーハ輸送容器１の材料として実績があ
り、柔軟性や成形性等に優れるポリプロピレンやポリエ
ステル系のエラストマーを使用して成形される。このサ
ポート具１６は、図２ないし図４に示すように、容器本
体２の開口面と反対側の底面側に位置し、ストッパ３に
着脱自在に嵌合固定される一対の対向壁１７と、この一
対の対向壁１７の両側部間に間隔をおいて一体的に架設
される一対の連結バー１８と、この一対の連結バー１８
間上の長手方向(図２の左右方向)に所定のピッチで一体
的に載架して並べられ、挿入されたウェーハＷを保持す
る複数の仕切保持体１９とから構成されている。
エチレン、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレ
ート等の熱可塑性樹脂、ポリオレフィン系、ポリエステ
ル系の熱可塑性エラストマー樹脂を用いて成形される。
好ましくは、ウェーハ輸送容器１の材料として実績があ
り、柔軟性や成形性等に優れるポリプロピレンやポリエ
ステル系のエラストマーを使用して成形される。このサ
ポート具１６は、図２ないし図４に示すように、容器本
体２の開口面と反対側の底面側に位置し、ストッパ３に
着脱自在に嵌合固定される一対の対向壁１７と、この一
対の対向壁１７の両側部間に間隔をおいて一体的に架設
される一対の連結バー１８と、この一対の連結バー１８
間上の長手方向(図２の左右方向)に所定のピッチで一体
的に載架して並べられ、挿入されたウェーハＷを保持す
る複数の仕切保持体１９とから構成されている。
【００１６】各対向壁１７は、外壁面から一対の嵌入リ
ブ２０がそれぞれ突出し、この一対の嵌入リブ２０が容
器本体２のストッパ３に着脱自在に位置決め固定され
る。各対向壁１７の上部は、上方向に向かうにしたがい
徐々に外側に広がるよう傾斜する誘導ガイド２１に屈曲
成形され、この誘導ガイド２１がカセット６の底部に接
触し、位置決めしながらカセット６を導入するよう機能
する(図５及び図６参照)。複数の仕切保持体１９は、隣
接する仕切保持体１９と仕切保持体１９との間隔、すな
わちピッチが支持溝９と同一ピッチに形成され、隣接す
る仕切保持体１９との間に形成されるウェーハＷ挿入部
の溝幅がウェーハＷの厚さよりも０．８ｍｍ〜１．２ｍ
ｍ程度広く形成されている。また図６に示すように、隣
接する仕切保持体１９と仕切保持体１９との間に、ウェ
ーハＷの直径の１／４〜３／４の領域、好ましくはウェ
ーハＷの直径の１／３〜１／２の領域を挿入保持できる
高さに成形されている。
ブ２０がそれぞれ突出し、この一対の嵌入リブ２０が容
器本体２のストッパ３に着脱自在に位置決め固定され
る。各対向壁１７の上部は、上方向に向かうにしたがい
徐々に外側に広がるよう傾斜する誘導ガイド２１に屈曲
成形され、この誘導ガイド２１がカセット６の底部に接
触し、位置決めしながらカセット６を導入するよう機能
する(図５及び図６参照)。複数の仕切保持体１９は、隣
接する仕切保持体１９と仕切保持体１９との間隔、すな
わちピッチが支持溝９と同一ピッチに形成され、隣接す
る仕切保持体１９との間に形成されるウェーハＷ挿入部
の溝幅がウェーハＷの厚さよりも０．８ｍｍ〜１．２ｍ
ｍ程度広く形成されている。また図６に示すように、隣
接する仕切保持体１９と仕切保持体１９との間に、ウェ
ーハＷの直径の１／４〜３／４の領域、好ましくはウェ
ーハＷの直径の１／３〜１／２の領域を挿入保持できる
高さに成形されている。
【００１７】各仕切保持体１９は、図１、図４、図５、
図６に示すように、上部が湾曲した略Ｕ字状、略Ｖ字
状、アーチ状に成形されている。各仕切保持体１９の前
後面の上部は、図２、図７に示すように、上方向に向か
うにしたがい徐々に広がるよう傾斜する導入ガイド２２
に傾斜成形され、この導入ガイド２２がウェーハＷ導入
時のガイドとなる。この導入ガイド２２は、ガイド面の
間隔が収納するウェーハＷの厚さよりも１．５ｍｍ〜３
ｍｍ幅広に形成されている。
図６に示すように、上部が湾曲した略Ｕ字状、略Ｖ字
状、アーチ状に成形されている。各仕切保持体１９の前
後面の上部は、図２、図７に示すように、上方向に向か
うにしたがい徐々に広がるよう傾斜する導入ガイド２２
に傾斜成形され、この導入ガイド２２がウェーハＷ導入
時のガイドとなる。この導入ガイド２２は、ガイド面の
間隔が収納するウェーハＷの厚さよりも１．５ｍｍ〜３
ｍｍ幅広に形成されている。
【００１８】上記構成において、ウェーハ輸送容器１に
バックグラインド加工された複数枚のウェーハＷを収納
して輸送する場合には、先ず、容器本体２内のストッパ
３にサポート具１６を一対の嵌入リブ２０を介し嵌入固
定するとともに、カセット６に複数枚のウェーハＷを整
列収納する。これらの作業は、同時でも良いし、順序が
逆でも良い。そして、図１、図５、図６示すように、容
器本体２内にカセット６をサポート具１６を介して収納
し、複数の仕切保持体１９に複数枚のウェーハＷを保持
させて撓みを規制するようにし、その後、容器本体２の
開口面に、ウェーハ抑え１４付きの蓋体１０をシール部
材１３を介して密嵌し、ウェーハ抑え１４の複数の支持
片１５にウェーハＷの動きを規制させれば、ウェーハ輸
送容器１に複数枚のウェーハＷを適切に収納し、これを
輸送することが可能になる。
バックグラインド加工された複数枚のウェーハＷを収納
して輸送する場合には、先ず、容器本体２内のストッパ
３にサポート具１６を一対の嵌入リブ２０を介し嵌入固
定するとともに、カセット６に複数枚のウェーハＷを整
列収納する。これらの作業は、同時でも良いし、順序が
逆でも良い。そして、図１、図５、図６示すように、容
器本体２内にカセット６をサポート具１６を介して収納
し、複数の仕切保持体１９に複数枚のウェーハＷを保持
させて撓みを規制するようにし、その後、容器本体２の
開口面に、ウェーハ抑え１４付きの蓋体１０をシール部
材１３を介して密嵌し、ウェーハ抑え１４の複数の支持
片１５にウェーハＷの動きを規制させれば、ウェーハ輸
送容器１に複数枚のウェーハＷを適切に収納し、これを
輸送することが可能になる。
【００１９】上記構成によれば、サポート具１６の複数
の仕切保持体１９に、複数枚のウェーハＷの略中央部か
ら下部にわたる領域を挟持、保持させるので、移動時や
輸送時の振動で簡単にウェーハＷの共振を招くことがな
い。また、比較的簡易な構成でウェーハＷ同士が撓んで
接触したり、ウェーハＷが損傷したり、あるいは破損す
るおそれをきわめて有効に抑制防止することができる。
したがって、損傷した一枚のウェーハＷの破片等が他の
ウェーハＷの電子回路に悪影響を及ぼす二次災害をも防
止することが可能になる。また、既存のウェーハ輸送容
器１を略そのまま使用することができるので、専用の供
給設備や搬送設備等をなんら必要としない。よって、既
存設備の有効利用が大いに期待できる。
の仕切保持体１９に、複数枚のウェーハＷの略中央部か
ら下部にわたる領域を挟持、保持させるので、移動時や
輸送時の振動で簡単にウェーハＷの共振を招くことがな
い。また、比較的簡易な構成でウェーハＷ同士が撓んで
接触したり、ウェーハＷが損傷したり、あるいは破損す
るおそれをきわめて有効に抑制防止することができる。
したがって、損傷した一枚のウェーハＷの破片等が他の
ウェーハＷの電子回路に悪影響を及ぼす二次災害をも防
止することが可能になる。また、既存のウェーハ輸送容
器１を略そのまま使用することができるので、専用の供
給設備や搬送設備等をなんら必要としない。よって、既
存設備の有効利用が大いに期待できる。
【００２０】なお、上記実施形態では容器本体２の内部
の少なくとも前後面からストッパ３を突出させたが、容
器本体２の内部の前後面及び底面からストッパ３を突出
させても良い。また、嵌入リブ２０の数や形状は適宜増
減変更することができる。誘導ガイド２１の数や形状に
ついても同様である。また、上記実施形態では略Ｕ字
状、略Ｖ字状、アーチ状の仕切保持体１９を示したが、
なんらこれに限定されるものではない。例えば、同様の
役割が期待できるものなら、各仕切保持体１９を、上部
が湾曲した略二等辺三角形の板状(図８参照)に成形した
り、略ハ字状等に成形して一対の突棒からなる仕切保持
体１９を相互に接近するよう斜め上方に傾斜させること
もできる(図９参照)。
の少なくとも前後面からストッパ３を突出させたが、容
器本体２の内部の前後面及び底面からストッパ３を突出
させても良い。また、嵌入リブ２０の数や形状は適宜増
減変更することができる。誘導ガイド２１の数や形状に
ついても同様である。また、上記実施形態では略Ｕ字
状、略Ｖ字状、アーチ状の仕切保持体１９を示したが、
なんらこれに限定されるものではない。例えば、同様の
役割が期待できるものなら、各仕切保持体１９を、上部
が湾曲した略二等辺三角形の板状(図８参照)に成形した
り、略ハ字状等に成形して一対の突棒からなる仕切保持
体１９を相互に接近するよう斜め上方に傾斜させること
もできる(図９参照)。
【００２１】また、上記以外にも、略Ｍ字状、略Ｙ字
状、半円状、半楕円状、半小判状、多角形状の仕切保持
体１９を適宜利用することも可能である。さらに、ウェ
ーハ輸送容器１の材質は、有機汚染やパーティクルの発
生を抑制することができるものであれば、適宜変更する
ことが可能である。さらにまた、ウェーハ輸送容器１の
透明性についても適宜変更することが可能である。
状、半円状、半楕円状、半小判状、多角形状の仕切保持
体１９を適宜利用することも可能である。さらに、ウェ
ーハ輸送容器１の材質は、有機汚染やパーティクルの発
生を抑制することができるものであれば、適宜変更する
ことが可能である。さらにまた、ウェーハ輸送容器１の
透明性についても適宜変更することが可能である。
【００２２】
【実施例】以下、本発明に係るウェーハ輸送容器のサポ
ート具の実施例を比較例とともに説明する。実施例のウ
ェーハ輸送容器１と比較例のウェーハ輸送容器１を使用
して以下の振動試験と落下衝撃試験をそれぞれ実施し、
バックグラインド研磨加工されたウェーハＷの破損状態
を確認した。 実施例のウェーハ輸送容器 ウェーハ輸送容器１に図２ないし図４に示すサポート具
１６を内蔵し、このウェーハ輸送容器１に、約３００μ
ｍの厚さにバックグラインド研磨加工された口径８″の
ウェーハＷを２５枚収納した。 比較例のウェーハ輸送容器 サポート具１６を省略したウェーハ輸送容器１に、約３
００μｍの厚さにバックグラインド研磨加工された口径
８″のウェーハＷを２５枚収納した。
ート具の実施例を比較例とともに説明する。実施例のウ
ェーハ輸送容器１と比較例のウェーハ輸送容器１を使用
して以下の振動試験と落下衝撃試験をそれぞれ実施し、
バックグラインド研磨加工されたウェーハＷの破損状態
を確認した。 実施例のウェーハ輸送容器 ウェーハ輸送容器１に図２ないし図４に示すサポート具
１６を内蔵し、このウェーハ輸送容器１に、約３００μ
ｍの厚さにバックグラインド研磨加工された口径８″の
ウェーハＷを２５枚収納した。 比較例のウェーハ輸送容器 サポート具１６を省略したウェーハ輸送容器１に、約３
００μｍの厚さにバックグラインド研磨加工された口径
８″のウェーハＷを２５枚収納した。
【００２３】振動試験 振動試験機を使用し、この振動試験機の振動板上に実施
例のウェーハ輸送容器１と比較例のウェーハ輸送容器１
をキャンバス製のバンドを介してそれぞれ固定し、３０
Ｈｚ×５分間＋５０Ｈｚ×５分間＋７０Ｈｚ×５分間の
条件で振動を加えた。振動を加えるのを終了したら、各
ウェーハ輸送容器１の蓋体１０をゆっくりと開け、バッ
クグラインド研磨加工されたウェーハＷの破損の有無を
目視調査し、表１に結果をまとめた。
例のウェーハ輸送容器１と比較例のウェーハ輸送容器１
をキャンバス製のバンドを介してそれぞれ固定し、３０
Ｈｚ×５分間＋５０Ｈｚ×５分間＋７０Ｈｚ×５分間の
条件で振動を加えた。振動を加えるのを終了したら、各
ウェーハ輸送容器１の蓋体１０をゆっくりと開け、バッ
クグラインド研磨加工されたウェーハＷの破損の有無を
目視調査し、表１に結果をまとめた。
【００２４】
【表１】
【００２５】落下衝撃試験 実施例のウェーハ輸送容器１と比較例のウェーハ輸送容
器１に、ダンボール箱による外装梱包と、ウェーハ輸送
容器１の上下部に緩衝部材をそれぞれ接触させる内装梱
包とをそれぞれ施し、各ウェーハ輸送容器１を落下させ
た。落下方向は、コンクリート面に対してウェーハ輸送
容器１の底面が対向する正立方向とした。また、落下に
際しては、コンクリート面から４０ｃｍの高さから自然
落下させ、ウェーハ輸送容器１に約５０Ｇの衝撃が加わ
るようにした。このようにして落下させたら、各ウェー
ハ輸送容器１の蓋体１０をゆっくりと開け、バックグラ
インド研磨加工されたウェーハＷの破損状態を目視調査
し、表２にまとめた。
器１に、ダンボール箱による外装梱包と、ウェーハ輸送
容器１の上下部に緩衝部材をそれぞれ接触させる内装梱
包とをそれぞれ施し、各ウェーハ輸送容器１を落下させ
た。落下方向は、コンクリート面に対してウェーハ輸送
容器１の底面が対向する正立方向とした。また、落下に
際しては、コンクリート面から４０ｃｍの高さから自然
落下させ、ウェーハ輸送容器１に約５０Ｇの衝撃が加わ
るようにした。このようにして落下させたら、各ウェー
ハ輸送容器１の蓋体１０をゆっくりと開け、バックグラ
インド研磨加工されたウェーハＷの破損状態を目視調査
し、表２にまとめた。
【００２６】
【表２】
【００２７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、振動で比
較的容易にウェーハの共振を招いたり、ウェーハが損傷
したり、破損するおそれを有効に抑制あるいは除去する
ことができるという効果がある。また、損傷したウェー
ハが他のウェーハに悪影響を及ぼすという二次災害を未
然に防止し、かつ既存の設備をおおよそそのまま使用す
ることが可能になる。
較的容易にウェーハの共振を招いたり、ウェーハが損傷
したり、破損するおそれを有効に抑制あるいは除去する
ことができるという効果がある。また、損傷したウェー
ハが他のウェーハに悪影響を及ぼすという二次災害を未
然に防止し、かつ既存の設備をおおよそそのまま使用す
ることが可能になる。
【図１】本発明に係るウェーハ輸送容器のサポート具の
実施形態を示す分解斜視図である。
実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】本発明に係るウェーハ輸送容器のサポート具の
実施形態におけるサポート具を示す平面図である。
実施形態におけるサポート具を示す平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ‐ＩＩＩ線断面図である。
【図４】図２のＩＶ‐ＩＶ線断面図である。
【図５】本発明に係るウェーハ輸送容器のサポート具の
実施形態におけるカセット収納前の状態を示す断面説明
図である。
実施形態におけるカセット収納前の状態を示す断面説明
図である。
【図６】本発明に係るウェーハ輸送容器のサポート具の
実施形態におけるカセット収納時の状態を示す断面説明
図である。
実施形態におけるカセット収納時の状態を示す断面説明
図である。
【図７】本発明に係るウェーハ輸送容器のサポート具の
実施形態におけるサポート具を示す要部平面図である。
実施形態におけるサポート具を示す要部平面図である。
【図８】本発明に係るウェーハ輸送容器のサポート具の
第２の実施形態におけるサポート具を示す断面説明図で
ある。
第２の実施形態におけるサポート具を示す断面説明図で
ある。
【図９】本発明に係るウェーハ輸送容器のサポート具の
第３の実施形態におけるサポート具を示す断面説明図で
ある。
第３の実施形態におけるサポート具を示す断面説明図で
ある。
【図１０】従来におけるウェーハ輸送容器のカセットに
整列収納されたバックグラインドウェーハの撓み状態を
示す部分平面図である。
整列収納されたバックグラインドウェーハの撓み状態を
示す部分平面図である。
１ ウェーハ輸送容器 ２ 容器本体 ３ ストッパ ６ カセット ９ 支持溝 １０ 蓋体 １６ サポート具 １７ 対向壁 １８ 連結バー １９ 仕切保持体 ２０ 嵌入リブ ２１ 誘導ガイド ２２ 導入ガイド Ｗ ウェーハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3E062 AA20 AB10 BA20 BB02 BB09 3E096 AA06 BA16 BB04 CA09 CB03 DA30 DB08 DC02 FA09 FA10 GA20 5F031 CA02 DA01 DA08
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェーハ輸送容器にバックグラインド加
工された複数枚のウェーハを整列状態に収納し、この複
数枚のウェーハの撓みをサポート具で規制するウェーハ
輸送容器のサポート具であって、 上記ウェーハ輸送容器の内面に上記サポート具用のスト
ッパを設け、該サポート具を、上記ウェーハ輸送容器の
開口面と反対側の突き当たり面側に位置し、上記ストッ
パに固定される一対の対向壁と、この一対の対向壁間に
間隔をおいて架設される一対の連結バーと、この一対の
連結バーの長手方向に所定のピッチで並べ設けられる複
数の仕切保持体とから構成し、この複数の仕切保持体間
に上記ウェーハを挿入保持させるようにしたことを特徴
とするウェーハ輸送容器のサポート具。 - 【請求項２】 上記複数の仕切保持体間に、上記ウェー
ハの直径の１／３以上の領域を挿入保持させるようにし
た請求項１記載のウェーハ輸送容器のサポート具。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000115644A JP4330761B2 (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | ウェーハ輸送容器のサポート具 |
| US09/819,836 US6499602B2 (en) | 2000-04-17 | 2001-03-28 | Support device for a wafer shipping container |
| TW090107550A TW501218B (en) | 2000-04-17 | 2001-03-29 | Support device for a wafer shipping container |
| EP01109260.8A EP1148536B1 (en) | 2000-04-17 | 2001-04-14 | Support device for a wafer shipping container |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000115644A JP4330761B2 (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | ウェーハ輸送容器のサポート具 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001298079A true JP2001298079A (ja) | 2001-10-26 |
| JP4330761B2 JP4330761B2 (ja) | 2009-09-16 |
Family
ID=18627243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000115644A Expired - Fee Related JP4330761B2 (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | ウェーハ輸送容器のサポート具 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6499602B2 (ja) |
| EP (1) | EP1148536B1 (ja) |
| JP (1) | JP4330761B2 (ja) |
| TW (1) | TW501218B (ja) |
Cited By (1)
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| WO2019097832A1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
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| US7526467B2 (en) * | 2002-09-13 | 2009-04-28 | Natural Selection, Inc. | Intelligently interactive profiling system and method |
| US7157376B1 (en) | 2003-06-13 | 2007-01-02 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for handling thin semiconductor wafers |
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| US7316325B2 (en) * | 2003-11-07 | 2008-01-08 | Entegris, Inc. | Substrate container |
| JP2006173331A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Miraial Kk | 収納容器 |
| US7803859B2 (en) | 2005-12-15 | 2010-09-28 | Zinus, Inc. | Nano-silver infused container arrangements |
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| US20070187286A1 (en) * | 2006-02-16 | 2007-08-16 | Pylant James D | Wafer storage container and apparatus |
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| JP2009087972A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 基板収容機構及び半導体製造装置 |
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| TWI395698B (zh) * | 2010-06-22 | 2013-05-11 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | 晶圓盒之晶圓限制件 |
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| KR20170076179A (ko) * | 2015-12-24 | 2017-07-04 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 수납 용기 |
| TWI586597B (zh) * | 2016-02-23 | 2017-06-11 | 中勤實業股份有限公司 | 用於收納基板的容器 |
| CN107452660B (zh) * | 2017-07-26 | 2018-07-03 | 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 | 晶圆载具及其制作方法 |
| CN112820663B (zh) * | 2019-11-15 | 2022-11-04 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 | 一种自动复位的对开型晶圆盒托架 |
| USD954769S1 (en) * | 2020-06-02 | 2022-06-14 | Applied Materials, Inc. | Enclosure system shelf |
| US11858728B2 (en) * | 2021-10-29 | 2024-01-02 | Scott Carrington | Container anchoring base |
| CN114295199A (zh) * | 2021-12-09 | 2022-04-08 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 | 一种晶圆传送系统检测方法及晶圆传送系统 |
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| US4450960A (en) * | 1982-08-30 | 1984-05-29 | Empak Inc. | Package |
| JPS60173826A (ja) * | 1984-02-20 | 1985-09-07 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 輸送用ウエハ−ケ−ス |
| US4718552A (en) * | 1986-12-11 | 1988-01-12 | Fluoroware, Inc. | Disk shipper and transfer tray |
| US4787508A (en) | 1987-10-06 | 1988-11-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Integrated circuit wafer container |
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| JP2779143B2 (ja) * | 1995-03-17 | 1998-07-23 | 信越ポリマー株式会社 | 半導体ウェーハ収納容器 |
| JPH09129719A (ja) | 1995-08-30 | 1997-05-16 | Achilles Corp | 半導体ウエハの収納構造および半導体ウエハの収納・取出し方法 |
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-
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- 2001-03-28 US US09/819,836 patent/US6499602B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-03-29 TW TW090107550A patent/TW501218B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-04-14 EP EP01109260.8A patent/EP1148536B1/en not_active Expired - Lifetime
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| TW501218B (en) | 2002-09-01 |
| JP4330761B2 (ja) | 2009-09-16 |
| US20010042697A1 (en) | 2001-11-22 |
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