JP2006173331A - 収納容器 - Google Patents

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Abstract

【課題】 洗浄、乾燥時の作業性を向上させる。
【解決手段】 容器本体内に半導体ウエハを収納する収納容器である。容器本体に、ハンドル２１及びトップフランジが設けられると共に、これらが上記容器本体に対して着脱可能に装着される着脱機構部２３を備え、当該着脱機構部２３を、上記容器本体側の被嵌合部に直接嵌合される嵌合板と、当該嵌合板が上記被嵌合部に嵌合された状態でこれらを固定するロック部２８とから構成した。当該ロック部２８は、上記容器本体側に設けられた嵌合穴３４と、上記嵌合板側に揺動可能に設けられると共に一端部に上記嵌合穴３４に嵌合する嵌合爪３５を有する揺動片３６と、当該揺動片３６が一方へ揺動して上記嵌合爪３５が嵌合穴３４に嵌合した状態と他方へ揺動して上記嵌合爪が嵌合穴から外れた状態とでそれぞれ固定するストッパとから構成した。
【選択図】 図６

Description

本発明は、半導体ウエハ等の被収納物を収納して搬送、保管、出荷する収納容器に関し、特に作業者が持ち上げるためのハンドル又は装置によって自動で持ち上げるためのフランジを備えた収納容器に関するものである。
半導体ウエハ等の収納、搬送に用いられる収納容器は一般に知られている。この収納容器に半導体ウエハ等を複数枚収納して、作業者が上記収納容器を手で持って持ち上げたり、移動したりする。
このような収納容器においては、作業者が上記収納容器を手で持つためのハンドルが設けられている。このハンドルの例としては特許文献１がある。この例を図２，３に示す。
このハンドルは、把持部１と平面部２とからなり、平面部１の両側にくさび部材３が４つ設けられている。容器本体の側壁４には、平面部２が嵌合する凹状の溝部５が設けられている。この溝部５の両側の４カ所に係合部材６が設けられている。
この構造により、ハンドルは、その平面部２が溝部５に嵌合されて、溝部５内でずらされることで、係合部材６に支持されて容器本体側に固定される。このとき、くさび部材３が係合部材６に係止して、平面部２が溝部５から抜け落ちるのを防止する。
特開平１１−９１８６４号公報
ところが、上記構成の収納容器のハンドルでは、くさび部材３が係合部材６に係止した後は、くさび部材３を係合部材６から外して、ハンドルを容器本体から取り外すのが容易ではない。このため、半導体ウエハを搬送する収納容器等のように、一度搬送に供した後に洗浄する必要のある収納容器の場合は、ハンドルを取り外して洗浄を行うが、ハンドルを取り外すのが容易ではないため、作業性が悪いという問題点がある。
本発明は以上の問題点に鑑みなされたもので、ハンドルの着脱を容易にした収納容器を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、容器本体内に被収納物を収納して搬送、保管される収納容器において、上記容器本体に、当該容器本体を手動で持ち上げるためのハンドル又は自動で持ち上げるためのフランジの一方又は両方が設けられると共に、これらハンドル又はフランジの一方又は両方が上記容器本体に対して着脱可能に装着される着脱機構部を備え、当該着脱機構部が、上記容器本体側の被嵌合部に直接嵌合される嵌合板と、当該嵌合板が上記被嵌合部に嵌合された状態でこれらを固定するロック部とからなるものである。
この収納容器において、上記ロック部を、上記容器本体側に設けられた嵌合穴又は嵌合爪と、上記嵌合板側に揺動可能に設けられると共に一端部に上記嵌合穴又は嵌合爪に嵌合する嵌合爪又は嵌合穴を有する揺動片と、当該揺動片が一方へ揺動して上記嵌合爪が嵌合穴に嵌合した状態と他方へ揺動して上記嵌合爪が嵌合穴から外れた状態とでそれぞれ固定するストッパとを備えて構成した。
この構成により、上記ハンドルの着脱機構部の嵌合板を上記容器本体側の被嵌合部に嵌合させて、ロック部で固定する。このロック部では、上記揺動片を一方へ揺動させて上記嵌合爪を上記嵌合穴に嵌合させる。このとき、上記揺動片は上記ストッパによって一方へ揺動させた状態で固定される。これにより、ハンドルが容器本体側に確実に固定される。ハンドルを取り外すときは、上記揺動片を他方へ揺動させる。このとき、揺動片は他方へ揺動した状態で、ストッパによって固定される。これにより、固定解除され、嵌合板を被嵌合部から取り外す。
また、上記ロック部は、上記容器本体側に設けられた嵌合爪と、可撓性を有しその基端部が上記嵌合板側に設けられると共に先端部に上記嵌合爪に嵌合する嵌合穴を有する可撓板と、当該可撓板を撓ませて上記嵌合爪を上記嵌合穴から外して固定解除するツマミとを備えて構成してもよい。
上記構成により、上記ハンドルの着脱機構部の嵌合板を上記容器本体側の被嵌合部に嵌合させると、上記可撓板が撓んで嵌合爪が嵌合穴に嵌合する。上記嵌合板を上記被嵌合部から取り外すときは、上記ツマミを押さえて上記可撓板を撓ませ、上記嵌合爪を上記嵌合穴から外して固定解除させる。この状態で、上記嵌合板をずらして上記被嵌合部から取り外す。
また、上記ロック部は、可撓性を有しその基端部が上記容器本体側に設けられると共に先端部に上記嵌合爪を有する本体側可撓片と、基端部が上記嵌合板側に設けられると共に先端部に上記嵌合爪に嵌合する嵌合穴を有するハンドル側嵌合板と、上記本体側可撓板を撓ませて上記嵌合爪を上記嵌合穴から外して固定解除するツマミとを備えて構成してもよい。
上記構成により、上記ハンドルの着脱機構部の嵌合板を上記容器本体側の被嵌合部に嵌合させると、上記本体側可撓片が撓んで嵌合爪が嵌合穴に嵌合する。上記嵌合板を上記被嵌合部から取り外すときは、上記ツマミを押さえて上記本体側可撓片を撓ませ、上記嵌合爪を上記嵌合穴から外して固定解除させる。この状態で、上記嵌合板をずらして上記被嵌合部から取り外す。
以上詳述したように、本発明の収納容器によれば、次のような効果を奏する。
上記揺動片を揺動させて上記嵌合爪を上記嵌合穴に着脱させると共に、上記ストッパで揺動片を固定するため、固定、固定解除を確実に行うことができ、嵌合板を被嵌合部に対して容易に着脱することができる。この結果、ハンドルを容器本体に対して容易に着脱させることができ、収納容器の洗浄作業等の効率を向上させることができる。
また、上記可撓板が撓むことで、嵌合爪を嵌合穴に嵌合させ、又は取り外して固定、固定解除させ、上記嵌合板を上記被嵌合部に着脱させるため、ハンドルを容器本体に対して容易に着脱させることができ、収納容器の洗浄作業等の効率を向上させることができる。
さらに、上記本体側可撓片が撓むことで、嵌合爪を嵌合穴に嵌合させ、又は取り外して固定、固定解除させ、上記嵌合板を上記被嵌合部に着脱させるため、ハンドルを容器本体に対して容易に着脱させることができ、収納容器の洗浄作業等の効率を向上させることができる。
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
［第１実施形態］
本実施形態では、被収納物として半導体ウエハを収納する収納容器を例に説明する。図１は本実施形態に係るハンドルを示す正面図、図４は本実施形態に係る収納容器の容器本体を示す斜視図、図５は本実施形態に係る収納容器の容器本体を示す斜視図、図６は本実施形態に係るハンドルを示す一部破断側面図、図７はロック部の動作を説明する模式図である。
本実施形態に係る収納容器は主に、半導体ウエハを内部に収納する容器本体１１と、当該容器本体１１に取り付けられて内部を密封する蓋体(図示せず)とから構成されている。
蓋体は、四角形の皿状に形成され、容器本体１１にその上側から取り付けられて容器本体１１内を密閉する。蓋体は、容器本体１１に固定するための固定手段を備えている。この固定手段としては、フック等の手動式のものと、着脱装置によって自動的に着脱させるものとがある。いずれのタイプでも本発明を適用することができる。
容器本体１１は、図４，５に示すように、全体をほぼ立方体状に形成されている。この容器本体１１は、垂直方向に縦置きされた状態（図４，５の状態）で、周囲の壁となる４枚の側壁部１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄと底板部(図示せず)とから構成されている。各側壁部１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄには、補強のための縦溝１２が設けられている。この容器本体１１は、半導体ウエハの製造ライン等において必要に応じて水平方向に横置きされる。この横置き状態で底部となる側壁部１１Ａの外側面には、位置決め手段(図示せず)が設けられている。横置き状態で天井部となる側壁部１１Ｂの外側面には、ウエハ搬送装置用のトップフランジ１３が着脱可能に取り付けられる。横置き状態で横壁部となる側壁部１１Ｃ，１１Ｄの外側面には、ハンドル取付部１５が設けられ、このハンドル取付部１５にハンドル２１（図１参照）が着脱自在に取り付けられる。横置き状態で上壁部となる側壁部１１Ｂの外側面には、フランジ取付部１６が設けられ、このフランジ取付部１６にトップフランジ１３が着脱自在に取り付けられる。
ハンドル取付部１５は、側壁部１１Ｃ，１１Ｄの三本の縦溝１２のうち中央の縦溝１２に設けられた２つの内側フランジ部１８と、両側の縦溝１２に設けられた２つの外側フランジ部１９と、両側の縦溝１２のうち上記内側フランジ部１８に対向する位置に設けられた２つの中間フランジ部２０とから構成されている。２つの内側フランジ部１８は、後述するハンドル２１の２つの内側係止板３２にそれぞれ係止するための部材である。２つの内側フランジ部１８は、互いに向き合うように対向して配設されている。２つの外側フランジ部１９は、後述するハンドル２１の２つの外側係止板３１にそれぞれ係止するための部材である。外側フランジ部１９は、両側の縦溝１２の外側壁に１つずつ設けられ、互いに向き合うように対向して配設されている。一方（図中の右側）の外側フランジ部１９には、ロック部２８の嵌合爪３５が嵌合する嵌合穴３４が設けられている。なお、中間フランジ部２０は、他の構造のハンドルが係止するための部材である。
フランジ取付部１６は、側壁部１１Ｂの中央の縦溝１２に、互いに対向した状態で２つ設けられたフランジ部１６Ａによって構成されている。
ハンドル２１は、作業者が収納容器を持ち上げたり、運んだりするときに掴む部材である。このハンドル２１は、図１、図６及び図７に示すように主に、作業者が手で掴む把持部２２と、容器本体１１の両側に着脱自在に取り付ける着脱機構部２３とから構成されている。
把持部２２は、作業者が直接手で掴む円盤部２４と、この円盤部２４を着脱機構部２３に一体的に固定する円筒状連結部２５とから構成されている。
着脱機構部２３は、容器本体１１側に嵌合する嵌合板２７と、この嵌合板２７が容器本体１１のハンドル取付部１５に嵌合した状態で容器本体１１側に係止して固定するロック部２８とから構成されている。
嵌合板２７は、全体をＶ字状に形成され、その両端部に外側係止板３１が、その中央部に内側係止板３２が形成されている。この外側係止板３１及び内側係止板３２は、ハンドル取付部１５の内側フランジ部１８と外側フランジ部１９とにそれぞれ整合する位置に形成されている。外側係止板３１は、断面Ｌ字状に形成されて、嵌合板２７との間で外側フランジ部１９を挟むように支持する。内側係止板３２は、外側係止板３１と同様に、断面Ｌ字状に形成されて、嵌合板２７との間で内側フランジ部１８を挟むように支持する。
嵌合板２７の一方の端部にはロック部２８が設けられている。このロック部２８は、容器本体１１側に設けられた嵌合穴３４と、ハンドル２１の嵌合板２７側に揺動可能に設けられると共に一端部に上記嵌合穴３４に嵌合する嵌合爪３５を有する揺動片３６と、この揺動片３６を固定するストッパ３７とから構成されている。
嵌合穴３４は、嵌合爪３５が嵌合するための穴である。嵌合穴３４は、容器本体１１の一方の外側フランジ部１９に設けられている。
揺動片３６は、揺動してロック及びロック解除をするために板材である。嵌合板２７の一方には、揺動片３６を装着するために四角形の装着穴２７Ａが設けられている。揺動片３６は、装着穴２７Ａに装着された状態で、回転軸３６Ａによって揺動可能に支持されている。揺動片３６の一端部（図７中の右側端部）に嵌合爪３５が設けられている。この嵌合爪３５が、揺動片３６の揺動によって嵌合穴３４に嵌合する。
ストッパ３７は、揺動片３６が一方へ揺動して嵌合爪３５が嵌合穴３４に嵌合した状態（図７中の実線の状態）と、他方へ揺動して嵌合爪３５が嵌合穴３４から外れた状態（図７中の一点鎖線の状態）とでそれぞれ固定するための部材である。このストッパ３７は、揺動片３６の両側面の前後にそれぞれ４つ設けられた半球状の凸部３７Ａと、各凸部３７Ａに嵌合する半球状の凹部３７Ｂとから構成されている。凹部３７Ｂは、装着穴２７Ａの内壁のうち、揺動片３６が一方へ揺動して嵌合爪３５が嵌合穴３４に嵌合した状態で嵌合して揺動片３６を固定する位置と、他方へ揺動して嵌合爪３５が嵌合穴３４から外れた状態で嵌合して揺動片３６を固定する位置とにそれぞれ設けられている。
トップフランジ１３は、搬送装置(図示せず)のアーム部で捕まれる把持部１３Ａと、この把持部１３Ａと一体的に設けられてフランジ取付部１６に嵌合する嵌合板(図示せず)と構成されている。嵌合板には、フランジ取付部１６のフランジ部１６Ａに嵌合する断面Ｌ字状の係止板(図示せず)と、上記ロック部２８と同様の構成のロック部(図示せず)が設けられている。
［動作］
以上のように構成された収納容器は、次のようにして、ハンドル２１及びトップフランジ１３を着脱させる。
収納容器に半導体ウエハを収納して搬送されると、収納容器は洗浄されるために、ハンドル２１やトップフランジ１３等が取り外される。
このときは、まず、ロック部２８の揺動片３６を、指で押して揺動させて図７中の一点鎖線の状態にして、ストッパ３７で固定する。これにより、ハンドル２１のロックが解除される。この状態で、ハンドル２１を下方へずらすと、ハンドル２１は容器本体１１から外れてしまう。トップフランジ１３も同様にして取り外す。
そして、これら、容器本体１１、トップフランジ１３、ハンドル２１等を純粋等で洗浄して、乾燥させる。
次いで、ハンドル２１の外側係止板３１と内側係止板３２を縦溝１２に挿入した状態で、上方へずれして、内側フランジ部１８と外側フランジ部１９とにそれぞれ嵌合させる。次いで、ロック部２８の揺動片３６を、指で押して揺動させて図７中の実線の状態にして、ストッパ３７で固定する。これにより、嵌合爪３５が嵌合穴３４に嵌合して、ハンドル２１が容器本体１１に固定される。
トップフランジ１３も同様にして固定する。
以上により、この結果、ハンドル２１を容器本体１１に対して容易に着脱させることができ、収納容器の洗浄作業等の効率を向上させることができる。
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について、図８及び図９に基づいて説明する。
本実施形態の収納容器の全体構成は上記第１実施形態と同様であるため、同一部材には同一符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴部分のみを説明する。
本実施形態は、ロック部を改良したものである。本実施形態のロック部４１は、嵌合爪４２と、嵌合穴４３と、可撓板４４と、ツマミ４５とを備えて構成されている。
嵌合爪４２は、可撓板４４の嵌合穴４３に嵌合するための部材である。この嵌合爪４２は、容器本体１１側に設けられたフランジ部４６の下側に設けられている。
嵌合穴４３は、嵌合爪４２に嵌合してハンドルを固定するための穴である。この嵌合穴４３は、可撓板４４の先端に設けられている。
可撓板４４は、嵌合爪４２が嵌合穴４３に嵌合した状態で支持するための部材である。可撓板４４は、可撓性を有する板材で構成され、その基端部が上記嵌合板２７側に設けられている。即ち、可撓板４４の基端部が、嵌合板２７の縁部から垂直に折り返された立て板部２７Ａで支持されている。これにより、可撓板４４と嵌合板２７との間には一定の間隔を有しており、その間にフランジ部４６が挿入される。可撓板４４の先端部に上記嵌合爪４２に嵌合する嵌合穴４３が設けられている。
ツマミ４５は、ロックを解除するための部材である。ツマミ４５は、可撓板４４の先端に設けられ、この可撓板４４を撓ませて嵌合爪４２を嵌合穴４３から外して固定解除する。
以上のように構成された収納容器では、ハンドル２１の着脱機構部２３の嵌合板２７と可撓板４４との間に、容器本体１１側のフランジ部４６を嵌合させると、可撓板４４が撓んで嵌合爪４２が嵌合穴４３に嵌合する。これにより、ハンドルがロックされる。
嵌合板２７を取り外すときは、ツマミ４５を押さえて可撓板４４を撓ませ、嵌合爪４２を嵌合穴４３から外して固定解除させる。この状態で、嵌合板２７をずらして取り外す。
これにより、上記第１実施形態と同様に、ハンドル２１を容器本体１１に対して容易に着脱させることができ、収納容器の洗浄作業等の効率を向上させることができる。
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態について、図１０及び図１１に基づいて説明する。
本実施形態の収納容器の全体構成は上記第１実施形態と同様であるため、同一部材には同一符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴部分のみを説明する。
本実施形態は、ロック部を改良したものである。本実施形態のロック部５１は、嵌合爪５２と、本体側可撓片５３と、ツマミ５４と、ハンドル側嵌合板５５と、嵌合穴５６とを備えて構成されている。
嵌合爪５２は、ハンドル側嵌合板５５の嵌合穴５６に嵌合するための部材である。この嵌合爪５２は、本体側可撓片５３の下側に設けられている。
本体側可撓片５３は、嵌合爪５２が嵌合穴５６に嵌合した状態で支持するための部材である。本体側可撓片５３は、可撓性を有する板材で構成され、その基端部が、容器本体１１側に設けられたフランジ部５７に設けられている。
ツマミ５４は、ロックを解除するための部材である。ツマミ５４は、本体側可撓片５３の先端に設けられ、この本体側可撓片５３を撓ませて嵌合爪５２を嵌合穴５６から外して固定解除する。
ハンドル側嵌合板５５は、嵌合爪５２に嵌合する嵌合穴５６を先端に設けて支持するための部材である。このハンドル側嵌合板５５は、嵌合板２７の縁部から垂直に折り返された立て板部２７Ａで支持されている。これにより、ハンドル側嵌合板５５と嵌合板２７との間には一定の間隔を有しており、その間にフランジ部５７が挿入される。
以上のように構成された収納容器では、ハンドル２１の着脱機構部２３の嵌合板２７とハンドル側嵌合板５５との間に、容器本体１１側のフランジ部５７を嵌合させると、本体側可撓片５３が撓んで嵌合爪５２が嵌合穴５６に嵌合する。これにより、ハンドルがロックされる。
嵌合板２７を取り外すときは、ツマミ５４を手前に引いて本体側可撓片５３を撓ませ、嵌合爪５２を嵌合穴５６から外して固定解除させる。この状態で、嵌合板２７をずらして取り外す。
これにより、上記第１実施形態と同様に、ハンドル２１を容器本体１１に対して容易に着脱させることができ、収納容器の洗浄作業等の効率を向上させることができる。
［変形例］
上記各実施形態では、半導体ウエハの収納容器を例に説明したが、本発明はこれに限らず、他の収納物を収納するための収納容器であってもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
本発明の第１実施形態に係るハンドルを示す正面図である。 従来の収納容器のハンドルを示す正面図である。 従来の収納容器のハンドルを示す断面図である。 本発明の第１実施形態に係る収納容器の容器本体を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る収納容器の容器本体を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係るハンドルを示す一部破断側面図である。 本発明の第１実施形態に係るロック部の動作を説明する模式図である。 本発明の第２実施形態に係るロック部を示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係るロック部を示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係るロック部を示す斜視図である。 本発明の第３実施形態に係るロック部を示す断面図である。
符号の説明
１１：容器本体、１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ：側壁部、１２：縦溝、１３：トップフランジ、１３Ａ：把持部、１５：ハンドル取付部、１６：フランジ取付部、１６Ａ：フランジ部、１８：内側フランジ部、１９：外側フランジ部、２０：中間フランジ部、２１：ハンドル、２２：把持部、２３：着脱機構部、２４：円盤部、２５：円筒状連結部、２７：嵌合板、２７Ａ：装着穴、２８：ロック部、３１：外側係止板、３２：内側係止板、３４：嵌合穴、３５：嵌合爪、３６：揺動片、３６Ａ：回転軸、３７：ストッパ、３７Ａ：凸部、３７Ｂ：凹部、４１：ロック部、４２：嵌合爪、４３：嵌合穴、４４：可撓板、４５：ツマミ、４６：フランジ部、５１：ロック部、５２：嵌合爪、５３：本体側可撓片、５４：ツマミ、５５：ハンドル側嵌合板、５６：嵌合穴、５７：フランジ部。

Claims (3)

  1. 容器本体内に被収納物を収納して搬送、保管される収納容器において、
    上記容器本体に、当該容器本体を手動で持ち上げるためのハンドル又は自動で持ち上げるためのフランジの一方又は両方が設けられると共に、これらハンドル又はフランジの一方又は両方が上記容器本体に対して着脱可能に装着される着脱機構部を備え、
    当該着脱機構部が、上記容器本体側の被嵌合部に直接嵌合される嵌合板と、当該嵌合板が上記被嵌合部に嵌合された状態でこれらを固定するロック部とからなり、
    当該ロック部が、上記容器本体側に設けられた嵌合穴又は嵌合爪と、上記嵌合板側に揺動可能に設けられると共に一端部に上記嵌合穴又は嵌合爪に嵌合する嵌合爪又は嵌合穴を有する揺動片と、当該揺動片が一方へ揺動して上記嵌合爪が嵌合穴に嵌合した状態と他方へ揺動して上記嵌合爪が嵌合穴から外れた状態とでそれぞれ固定するストッパとを備えて構成されたことを特徴とする収納容器。
  2. 容器本体内に被収納物を収納して搬送、保管される収納容器において、
    上記容器本体に、当該容器本体を手動で持ち上げるためのハンドル又は自動で持ち上げるためのフランジの一方又は両方が設けられると共に、これらハンドル又はフランジの一方又は両方が上記容器本体に対して着脱可能に装着される着脱機構部を備え、
    当該着脱機構部が、上記容器本体側の被嵌合部に直接嵌合される嵌合板と、当該嵌合板が上記被嵌合部に嵌合された状態でこれらを固定するロック部とからなり、
    当該ロック部が、上記容器本体側に設けられた嵌合爪と、可撓性を有しその基端部が上記嵌合板側に設けられると共に先端部に上記嵌合爪に嵌合する嵌合穴を有する可撓板と、当該可撓板を撓ませて上記嵌合爪を上記嵌合穴から外して固定解除するツマミとを備えて構成されたことを特徴とする収納容器。
  3. 容器本体内に被収納物を収納して搬送、保管される収納容器において、
    上記容器本体に、当該容器本体を手動で持ち上げるためのハンドル又は自動で持ち上げるためのフランジの一方又は両方が設けられると共に、これらハンドル又はフランジの一方又は両方が上記容器本体に対して着脱可能に装着される着脱機構部を備え、
    当該着脱機構部が、上記容器本体側の被嵌合部に直接嵌合される嵌合板と、当該嵌合板が上記被嵌合部に嵌合された状態でこれらを固定するロック部とからなり、
    当該ロック部が、可撓性を有しその基端部が上記容器本体側に設けられると共に先端部に上記嵌合爪を有する本体側可撓片と、基端部が上記嵌合板側に設けられると共に先端部に上記嵌合爪に嵌合する嵌合穴を有するハンドル側嵌合板と、上記本体側可撓板を撓ませて上記嵌合爪を上記嵌合穴から外して固定解除するツマミとを備えて構成されたことを特徴とする収納容器。
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