JP2011129660A - 基板収納容器 - Google Patents
基板収納容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011129660A JP2011129660A JP2009285940A JP2009285940A JP2011129660A JP 2011129660 A JP2011129660 A JP 2011129660A JP 2009285940 A JP2009285940 A JP 2009285940A JP 2009285940 A JP2009285940 A JP 2009285940A JP 2011129660 A JP2011129660 A JP 2011129660A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- handle
- storage container
- substrate storage
- hole
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】基板収納容器は、所定の挿入方向に前記基部を擦動可能に案内する一対のレール溝7と、ストッパーリブ8とほぼ平行に形成される係合リブ9と、基部の挿入方向の先端部に形成され、前記係合リブ9に当接する脚部、及び該脚部の端部から前記基部の外側方向に延びて形成され貫通穴を持つ取付部14と、前記ハンドル3の基部をレール溝7に挿入して摺動させた後、前記貫通穴が前記係合リブ9を超えた後に、前記貫通穴に挿入される係止部材とを備え、前記係止部材の貫通穴への挿入により、当該係止部材と前記脚部で前記係合リブ9を挟持して、前記ハンドル3を前記容器本体1に固定する。
【選択図】図2
Description
3、29…ハンドル、 7…レール溝、
8…ストッパーリブ、 9…係合リブ、
10…基部、 11…前部支柱部、
12…後部支柱部、 13…グリップ部、
14、31…取付部、 14b…貫通穴部、
15…貫通穴、 16…フランジ部、
17(17a、17b、17c) …肉盗み凹部(リブ)、
18…補強リブ
19、25…クリップ部材、 20、26、…頭部、
14a、21、27…脚部、 22…中空部、
23…張り出し部、 24…屈曲部
27…脚部、 28…鍔部
30…羅刻部材、 32…螺刻溝
100…基板収納容器
Claims (6)
- 基板を収納する容器本体と、該容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の左右の側面に設けられ、板状の基部、及び該基部上に形成されたグリップ部を含む一対のハンドルとを有する基板収納容器であって、
前記左右の各側面に設けられ、所定の挿入方向に前記基部を摺動可能に案内するレール部と、
前記基部の挿入方向の面とほぼ垂直な方向に伸びるように形成され、前記基部の先端部の挿入位置を規制するストッパーリブと、
該ストッパーリブとほぼ平行に形成される係合リブと、
前記基部の挿入方向の先端部に形成され、前記係合リブに当接する脚部、及び該脚部の端部から前記基部の外側方向に延びて形成され貫通穴を持つ取付部と、
前記ハンドルの基部を前記レール部と係合させて摺動させた後、前記貫通穴が前記係合リブを超えた後に、前記貫通穴に挿入される係止部材と、を備えることを特徴とする基板収納容器。 - 前記係止部材は、
先端が細くなるように形成された頭部と、
該頭部から分岐され一方が開口する一対の脚部と、
前記一対の脚部から外側に折れ曲がるように形成され前記頭部の他端と向き合う屈曲部とを含み、
前記一対の脚部と前記屈曲部は、前記貫通穴と嵌合するよう形成されていることを特徴とする請求項1記載の基板収納容器。 - 前記係止部材は、頭部と、該頭部から分岐される一対の脚部を含み、該頭部と前記一対の脚部で形成される中空部は前記頭部側から前記脚部にかけて拡開されることを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。
- 前記係止部材は、螺刻部材であり、前記貫通穴部には、螺刻溝が形成され、前記螺刻溝に前記螺刻部材が嵌合されることを特徴とする請求項1記載の基板収納容器。
- 前記ハンドルのグリップ部は、幅方向に延び、長手方向に所定の間隔で配列され形成されたリブからなる肉盗み部を含むことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板収納容器。
- 前記係止部材は、前記貫通穴へ挿入されることにより、前記係止部材と前記取付部に形成された脚部で前記係合リブを挟持することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009285940A JP5328627B2 (ja) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009285940A JP5328627B2 (ja) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011129660A true JP2011129660A (ja) | 2011-06-30 |
JP5328627B2 JP5328627B2 (ja) | 2013-10-30 |
Family
ID=44291949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009285940A Active JP5328627B2 (ja) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5328627B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017050494A (ja) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器及びその製造方法 |
WO2018034101A1 (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP2022534394A (ja) * | 2019-05-23 | 2022-07-29 | インテグリス・インコーポレーテッド | ウエハキャリア用ハンドル |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS585377U (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-13 | ソニー株式会社 | 把手取付装置 |
JPS6114616U (ja) * | 1984-06-28 | 1986-01-28 | 麒麟麦酒株式会社 | 連結可能な合成樹脂製壜箱 |
JPS6282944U (ja) * | 1985-11-12 | 1987-05-27 | ||
JPH0677288U (ja) * | 1993-04-01 | 1994-10-28 | ポップリベット・ファスナー株式会社 | プリント回路基板等のためのクリップ |
US5390972A (en) * | 1993-02-03 | 1995-02-21 | Vlsi Technology, Inc. | Wafer cassette handle |
JPH0819425A (ja) * | 1994-07-06 | 1996-01-23 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ブラシのハンドル |
US5782517A (en) * | 1995-12-12 | 1998-07-21 | Texas Instruments Incorporated | Handle for wafer carrier and docking station |
JP2000306988A (ja) * | 1999-04-20 | 2000-11-02 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
JP2005508274A (ja) * | 2001-07-12 | 2005-03-31 | エンテグリス・インコーポレーテッド | 水平カセット |
JP2006173331A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Miraial Kk | 収納容器 |
-
2009
- 2009-12-17 JP JP2009285940A patent/JP5328627B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS585377U (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-13 | ソニー株式会社 | 把手取付装置 |
JPS6114616U (ja) * | 1984-06-28 | 1986-01-28 | 麒麟麦酒株式会社 | 連結可能な合成樹脂製壜箱 |
JPS6282944U (ja) * | 1985-11-12 | 1987-05-27 | ||
US5390972A (en) * | 1993-02-03 | 1995-02-21 | Vlsi Technology, Inc. | Wafer cassette handle |
JPH0677288U (ja) * | 1993-04-01 | 1994-10-28 | ポップリベット・ファスナー株式会社 | プリント回路基板等のためのクリップ |
JPH0819425A (ja) * | 1994-07-06 | 1996-01-23 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ブラシのハンドル |
US5782517A (en) * | 1995-12-12 | 1998-07-21 | Texas Instruments Incorporated | Handle for wafer carrier and docking station |
JP2000306988A (ja) * | 1999-04-20 | 2000-11-02 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
JP2005508274A (ja) * | 2001-07-12 | 2005-03-31 | エンテグリス・インコーポレーテッド | 水平カセット |
JP2006173331A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Miraial Kk | 収納容器 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017050494A (ja) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器及びその製造方法 |
WO2018034101A1 (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JPWO2018034101A1 (ja) * | 2016-08-19 | 2019-06-13 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
US10727099B2 (en) | 2016-08-19 | 2020-07-28 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Substrate storage container |
JP2022534394A (ja) * | 2019-05-23 | 2022-07-29 | インテグリス・インコーポレーテッド | ウエハキャリア用ハンドル |
JP7333416B2 (ja) | 2019-05-23 | 2023-08-24 | インテグリス・インコーポレーテッド | ウエハキャリア用ハンドル |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5328627B2 (ja) | 2013-10-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6446741B2 (ja) | 留め具及び締結構造 | |
JP5328627B2 (ja) | 基板収納容器 | |
US8770410B2 (en) | Substrate storage container | |
JP2008066031A (ja) | ランプホルダ及びランプホルダ取付構造 | |
JP2006296083A (ja) | ケーブル用クランプ | |
JP2007143333A (ja) | クランプ | |
JP2005133783A (ja) | クリップ | |
JP2004270930A (ja) | 保護キャップ | |
JP2009170591A (ja) | 基板収納容器及びそのシールガスケットの取り付け方法 | |
BRPI0613748B1 (pt) | Etiqueta de orelha para identificação de animais | |
JPS636551Y2 (ja) | ||
JP5853705B2 (ja) | ワイヤーハーネス用プロテクタ | |
JP2005188623A (ja) | クリップ | |
JP2009018003A (ja) | 紐係止具 | |
JP6508922B2 (ja) | 長尺体固定具及びホルダ部材 | |
JP6396255B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP4461325B2 (ja) | ウエハ搬送容器 | |
JP7362100B2 (ja) | ケーブル支持具 | |
JP2017041930A (ja) | 線状体用クリップ | |
JP2005188697A (ja) | クリップ | |
JP2012219891A (ja) | クリップ | |
JP5699071B2 (ja) | 天井シート材の取付構造 | |
JP6581441B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP3981751B2 (ja) | 壁面養生板の支持方法並びに支持装置 | |
CN105882551B (zh) | 注塑成型的面板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120309 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130426 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130701 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130723 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130723 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5328627 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |