JP7333416B2

JP7333416B2 - ウエハキャリア用ハンドル

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Publication number: JP7333416B2
Application number: JP2021569989A
Authority: JP
Inventors: ティ．ステフェンズ、ジェイソン; ブイ．スミス、マーク; エイ．フラー、マシュー
Original assignee: Entegris Inc
Current assignee: Entegris Inc
Priority date: 2019-05-23
Filing date: 2020-05-20
Publication date: 2023-08-24
Anticipated expiration: 2040-05-20
Also published as: JP2022534394A; KR20210158860A; TWI771684B; CN114080667A; US20220230900A1; KR102699990B1; WO2020236923A1; TW202102417A; TW202240746A

Description

本開示は、概して、ウエハの保管または搬送に使用される前面開閉式基板容器に関する。より詳細には、本開示は、前面開閉式基板容器用のハンドルに関する。

半導体デバイスは、ウエハ基板から製造される。ウエハ基板、または単にウエハは、一連の製造工程を経て製造される。例えば、製造工程においては、これらに限定されないが、材料層の堆積、ドーピング、エッチングまたは基板材料の化学的もしくは物理的な反応等が行われる。１つまたは複数のウエハは、製造前、製造中または製造後に、前面開閉式基板容器に入れて保管および搬送できる。いくつかの製造工程では、ウエハは、前面開閉式基板容器内に収容された状態で処理される。前面開閉式基板容器は、収容するウエハを物理的損傷（衝撃等）や汚染から保護する。

本開示は、概して、ウエハの保管または搬送に使用される前面開閉式基板容器に関する。より詳細には、本開示は、前面開閉式基板容器用のハンドルに関する。
ウエハキャリア用ハンドルが開示される。このハンドルは、本体と、タブを有する挿入可能部材と、可撓性拡張部を有するロック機構と、を備えている。挿入可能部材は、ウエハキャリアの開口部に挿入されるように構成されている。係合状態にあるとき、挿入可能部材は開口部内に保持される。ロック機構は、ロック状態とロック解除状態との間を移動可能である。ロック状態においては、ロック機構がタブを係合状態に維持するとともに、可撓性拡張部が、ロック機構をロック状態に維持する位置に配置される。

一実施形態では、タブは、挿入可能部材の第１の側面に配置される。挿入可能部材は、第１の側面とは反対側の第２の側面を有し、ロック部材は、ロック状態にあるとき、第２の側面に沿って延びる。

一実施形態では、ハンドルは、本体の第１の端部に配置された突起を有している。突起は、異なる方向に延びる第１の部分および第２の部分を有している。突起は、ウエハキャリアに対するハンドルの固定を助けるためにウエハキャリアのレールと係合するように構成されている。

ウエハキャリアが開示される。このウエハキャリアは、外面、ハンドルおよびロック機構を有している。ウエハキャリアは、外面から延びる突出部も有している。開口部は突出部によって画定されており、外面と突出部の延在部との間に位置している。ハンドルはウエハキャリアの外面に取り付けられ、本体を有している。本体は、ハンドルを外面に固定するためにウエハキャリアの開口部内に延びる挿入可能部材を有している。挿入可能部材は、係合状態にあるときに挿入可能部材を開口部内に保持するタブを有している。ロック機構は、可撓性部材を有し、ロック状態とロック解除状態との間を挿入可能部材に対して移動可能である。ロック状態にあるとき、ロック機構はタブを係合状態に維持し、可撓性拡張部はロック機構をロック状態に維持する。

一実施形態において、ロック機構は、挿入可能部材が開口部に挿入される方向と平行な方向に沿ってロック解除状態からロック状態に移動する。
一実施形態では、ウエハキャリアは、その外面に沿って延びるレールを有し、ハンドルは、ハンドルの本体の第１の端部に配置された突起を有している。突起は、ハンドルの固定を助けるためにウエハキャリアのレールと係合するように構成されている。一実施形態においては、突起が、挿入可能部材がウエハキャリアの開口部に挿入される方向と同じ方向に沿って移動されてレールと係合する。一実施形態においては、突起とレールとの係合によって、ハンドルがウエハキャリアの第１の側面部に近付く方向または第１の側面部から遠ざかる方向へ移動することが抑制されている。

一実施形態では、ウエハキャリアは、ＦＯＵＰ（前面開閉式一体型ポッド）である。一実施形態では、ウエハキャリアは、ＦＯＳＢ（前面開閉式シッピングボックス）である。
本開示は、添付の図面を参照して以下に記載する様々な例示的な実施形態の説明によって完全に理解される。

本開示の一実施形態に係るウエハキャリアの右側斜視図。前面ドアを除いた状態の図１のウエハキャリアを示す左側斜視図。前面ドアを除いた状態の図１に示すウエハキャリアの正面図。前面ドアを除いた状態の図１に示すウエハキャリアの側面図。ハンドルを外した状態の図１のウエハキャリアを示す右側斜視図。一実施形態によるウエハキャリア用の取り外し可能なハンドルの側面図。図６Ａに示す取り外し可能なハンドルの正面図。図６Ａに示す取り外し可能なハンドルの背面図。一実施形態による、ウエハキャリアの取り外し可能なハンドルのロック機構を示す斜視図。図３のウエハキャリアのＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線断面図。図８Ａに示す領域Ｂの拡大図。図８Ａに示す領域Ｃの拡大図。図４に示すウエハキャリアの一部分のＩＸ－ＩＸ線断面図。本開示の一実施形態に係るウエハキャリアの一部分の斜視図。図１０に示すウエハキャリアのロック機構の前面斜視図。図１０に示すウエハキャリアのロック機構の側面斜視図。本開示の一実施形態に係るウエハキャリアの一部分の斜視図。図１３に示すウエハキャリアのロック機構の前面斜視図。図１３に示すウエハキャリアのロック機構の背面斜視図。図１３に示すウエハキャリアの一部分のＸＶＩ－ＸＶＩ線断面図。本開示の一実施形態に係る、ハンドルおよびロック機構を有しているウエハの側面図。図１７に示すハンドルの斜視図。図１７に示すハンドルの正面図。図１７に示すハンドルの側面図。ハンドルと連係する図１７のロック機構を示す斜視図。図１７に示す領域Ｄの拡大図。図１７に示す領域Ｅの拡大図。図１７に示すウエハキャリアの２１Ａ－２１Ａ線断面図。一実施形態に係る、ハンドルが取り外された状態のウエハキャリアを示す斜視図。図２２に示すウエハキャリアの側面図。図２２および２３に示すハンドルの斜視図。図２２および２３に示すハンドルの正面図。図２２および２３に示すハンドルの側面図。図２３に示す領域Ｆの拡大図。図２３に示す領域Ｇの拡大図。一実施形態に係る、図２２および２３に示すウエハキャリアの側壁に設けられたレールと係合するロック機構の部分断面図。別の実施形態に係るウエハキャリアの斜視図。図２７に示すウエハキャリアの側面図。図２７および２８に示すハンドルの斜視図。図２８に示すウエハキャリアの側壁に取り付けられたハンドルの拡大図。

本開示は様々な修正及び代替形態を受け入れ、その詳細は例として図面に示され、詳細に記載される。しかしながら、その意図は、本開示の態様を、記載された特定の例示的な実施形態に限定することではないことを理解されたい。反対に、その意図は、本開示の趣旨及び範囲に含まれるすべての修正、均等物、及び代替形態を網羅することである。

本明細書および添付された特許請求の範囲において、単数形の「１つの」および「その」は、特に断らない限り、複数の対象物を含む。本明細書および添付の特許請求の範囲において、「または」という用語は、特に断らない限り、「および／または」という意味を有しているものとする。

「約」という語は、一般に、記載される値と同等である（すなわち、同じ機能または結果を有する）とみなされる数値範囲を指す。多くの場合において、「約」という語は、最も近い有効数字に四捨五入された数を含む。

上下限値による数値範囲の記載は、その範囲内のすべての数を含む（例えば、１～５は、１、１．５、２、２．７５、３、３．８０、４および５を含む）。
以下の記載においては図面を参照するが、異なる図における類似する構成要素には同一の符号が付されている。詳細な説明および図面は例示的実施形態を示すものであり、本発明の範囲を限定するものではない。また、図面は必ずしも縮尺どおりではない。例示的実施形態は、本発明の説明のみを意図する。特に断らない限り、例示的実施形態の選択された特徴は、別の実施形態に組み込み可能である。

半導体デバイスは、ウエハ基板を形成することによって製造される。１つまたは複数のウエハ基板、または単にウエハは、製造中、製造前または製造後にウエハキャリア内に収容できる。前面開閉式基板容器は、保管または搬送中にウエハキャリア内のウエハを保護する。例えば、ウエハキャリアは、他の物体との衝突や、ウエハ同士の衝突によってもたらされる損傷からウエハを保護する。例えば、ウエハキャリアは、ウエハキャリアの前面が閉じられた状態において、汚染された空気のウエハキャリア内への侵入を抑制または防止するように構成される。ウエハキャリアは、ある場所から別の場所に人（技術者、操作者等）が運ぶことができる大きさおよび重量を有している。

ウエハキャリアは、例えば、ＦＯＵＰ（前面開閉式一体型ポッド）またはＦＯＳＢ（前面開閉式シッピングボックス）であるが、これらに限定されない。一般に、ＦＯＵＰは製造施設内で基板ウエハを搬送するために使用され、ＦＯＳＢはより長い距離（例えば、製造施設から別の施設への製造施設間）にわたって基板ウエハを搬送するために使用される。例えば、ＦＯＵＰは、ＦＯＵＰの前面が開放しているときに、ＦＯＵＰ内への汚染空気の侵入を防止するように構成される。例えば、ＦＯＵＰは、製造用のプロセスガスや、ＦＯＵＰ内を陽圧化するための濾過されたガス等のガスを選択的にＦＯＵＰに入れるように構成される場合もあるが、これに限定されない。

開示する実施形態は、ハンドルを備えたウエハキャリアに関する。ハンドルが備えられているため、ウエハキャリアを安全に運ぶことができる。開示するウエハキャリアでは、他の特徴に加えて、ロック機構を有するハンドルおよびレールを備えていることによって、ハンドルが意図せず外れるリスクが低減され、搬送時のウエハキャリアの屈曲／変形の量が減少するため、ウエハキャリア内の収容物の安全性が好適に向上している。

ロック機構によって、ハンドルがウエハキャリアから意図せず外れることが防止される。ハンドルは、従来の構成で必要とされていた、ウエハキャリアを損傷させるおそれのある力と比較して、ウエハキャリアに加わる力を小さくして好適に取り付けることができる。本開示のハンドルは、一体形成されたハンドルよりも強度の高い構造を有し、かつ、ハンドルを離して洗浄できることからウエハキャリアの清浄度を向上させる。

図１～４に、一実施形態に係るウエハキャリアを示す。図１～４に示すウエハキャリアは、ウエハキャリア１の一実施形態である。図１は、ウエハキャリア１の右側斜視図である。図２は、ウエハキャリア１の左側斜視図である。図３は、ウエハキャリア１の正面図である。図４は、ウエハキャリア１の側面図である。様々な実施形態において、ウエハキャリア１はＦＯＵＰである。他の実施形態では、ウエハキャリア１はＦＯＳＢである。

ウエハキャリア１は、第１のハンドル１００Ａ、第２のハンドル１００Ｂ（図２）、第１のハンドル１００Ａ用の第１のロック機構１５０Ａ（図４）および第２のハンドル１００Ｂ用の第２のロック機構１５０Ｂ（図２）を有している。

各ハンドル１００Ａ，１００Ｂは、好適には、非破壊的に取り外し可能であるように構成される。ハンドル１００Ａ，１００Ｂは同じ構造を有し、左右対称的であることを除いては、同様に着脱できるように構成されている。第１のハンドル１００Ａおよび第１のロック機構１５０Ａの特徴部には、以下の記載および図面において接尾辞「Ａ」が付され、一方、第２のハンドル１００Ｂおよび第２のロック機構１００Ｂの特徴部には、以下の記載および図面において接尾辞「Ｂ」が付されている。特に記載または図示されない限り、ハンドル１００Ｂおよびロック機構１５０Ｂは、それぞれ、ハンドル１００Ａおよびロック機構１５０Ａについて記載または図示されている「Ａ」特徴部に対応する「Ｂ」特徴部を備えているものとする。

ウエハキャリア１は、前面ドア７、上部１０、右側面部１２（図１および４）、左側面部１４（図２）、後面部１６および下部１８を有し、これらは概して側面部１０，１２，１４，１６，１８と称される。前面ドア７と側面部１０，１２，１４，１６，１８によって、密閉された内部空間６が形成されている（図３）。ウエハキャリア１は、ウエハキャリア１の前面部８に前面開口部９（図２）を有している。前面ドア７は前面開口部７（図１）を覆い、ウエハキャリア１は、前面ドア７を動かす（例えば、開く、取り外す）ことによってアクセス可能となる。図２および３は、前面ドア７が取り外された（例えば、開かれた）状態のウエハキャリア１を示している。

側面部１０，１２，１４，１６，１８および前面ドア７は、ウエハキャリア１の外面２２を形成している。一実施形態では、側面部１０，１２，１４，１６，１８は単一の一体構造である。例えば、側面部１０，１２，１４，１６，１８は、単一の連続した部品として成形されてもよいし、複数の部品を恒久的に接合して成形してもよい。一実施形態では、ウエハキャリア１は、高純度のポリカーボネート等、概して非反応性で封じ込め耐性を有する（例えば、透過性が低い）材料で構成されているが、これに限定されない。

図３に示すように、内部空間６内に複数のウエハ（図示せず）を収容するためのウエハ歯２０が、ウエハキャリア１内に設けられている。ウエハは、ウエハ歯２０の空間内に挿入され、ウエハキャリア１内において図の紙面に対して垂直方向に積み重ねられる。一実施形態では、ウエハキャリア１は、図示されたウエハ歯２０とは異なる、ウエハキャリア１の内部空間６内にウエハを保持する他の周知の構成を有している。前面ドア７は、内部空間６を囲むようにウエハキャリア１の前面開口部９を覆っている。ウエハは、ウエハキャリア１によって内部空間６内で保護されている。前面ドア７は、側面部１０，１２，１４，１８に封止されるように構成され、空気がウエハキャリア１の内部空間６に流入して、収容されたウエハを汚染することを防いでいる。

上部１０は自動化インターフェース２６を有し、下部１８はベース２４を有している。自動化インターフェース２６は、上部操作フランジと称する場合もある。一実施形態では、自動化インターフェース２６によって、例えば自動式アーム等の、ウエハキャリア１を移動させる標準的な自動化アタッチメント（図示せず）がウエハキャリア１に接続できるように構成されている。例えば、自動式アームを使用して、異なる製造装置間でウエハキャリア１が移動される。ハンドル１００Ａ，１００Ｂは、一般的に自動化アタッチメントのために確保されているウエハキャリア１周囲のスペース内に延在しないように構成される。一実施形態では、ベース２４は、ウエハキャリア１を異なる製造装置に接続するために使用される。

一実施形態では、ウエハキャリア１は、１つまたは複数のポート２８を有している。例えば、ポート２８は、ウエハキャリア１内にガスを供給するための入口（例えば、ポート２８が流体源に流体接続しているときに開放される）であってもよいし、ガスの流出を可能とする出口（例えば、パージ孔）であってもよい。例えば、ポート２８は、前面ドア７の開放時にウエハキャリア１内を陽圧化させるための入口であってもよく、または、製造工程においてウエハキャリア１を通って１つまたは複数の種類のプロセスガスを循環させるための入口であってもよい。例えば、ベース２４は、異なる製造工程において適切な製造装置（図示せず）に接続（配置、取り付け等）され、ポート２８を介してウエハキャリア１内に注入されたガスが、ウエハキャリア１を通って循環する。

第１のハンドル１００Ａは、ウエハキャリア１の一方の側面部１２に取り付けられ（図１）、第２のハンドル１００Ｂは、ウエハキャリア１の別の側面部１４に取り付けられる（図２）。ハンドル１００Ａ，１００Ｂは、人が手でウエハキャリア１を別の場所に運ぶことができるように構成されている。

ウエハキャリア１は、ハンドル１００Ａ，１００Ｂが意図せず外れることを防止するように構成されている。ハンドル１００Ａ，１００Ｂは、ウエハキャリア１から各ハンドル１００Ａ，１００Ｂが意図せず外れることを防止するように構成されたロック機構１５０Ａ，１５０Ｂ（図２および４）をそれぞれ有している。例えば、搬送中にハンドル１００Ａ，１００Ｂがウエハキャリア１から意図せず外れると、ウエハキャリア１が落下し、ウエハキャリア１に保管されているウエハが損傷する可能性がある。

図５は、ハンドル１００Ａが取り外された状態のウエハキャリア１の右側斜視図である。取り付けられた状態（図１）では、ハンドル１００Ａは、ウエハキャリア１の側面部１２に沿って延びる。

図５に示すように、ウエハキャリア１には、側面部１２に沿って突出部３０Ａ，４０Ａおよびレール５０Ａ，６０Ａが設けられている。突出部３０Ａ，４０Ａはウエハキャリア１の外面２２から突出している。ハンドル１００Ａは、突出部３０Ａ，４０Ａおよびレール５０Ａ，６０Ａを介してウエハキャリア１に固定される。図２に示すように、突出部３０Ｂ，４０Ｂおよびレール５０Ｂ，６０Ｂも、第２のハンドル１００Ｂをウエハキャリア１に固定するために、ウエハキャリア１の反対側の側面部１４に沿って設けられている。

突出部３０Ａ，４０Ａによって開口部３２Ａ，４２Ａが形成されている。開口部３２Ａは、突出部３０Ａによって画定され、ウエハキャリア１の外面２２と突出部３０Ａの延在部３４Ａとの間に位置している。開口部４２Ａは、突出部４０Ａによって画定され、ウエハキャリア１の外面２２と突出部４０Ａの延在部４４Ａとの間に位置している。各開口部３２Ａ，４２Ａは、ウエハキャリア１の側面部１２に沿って、ウエハキャリア１の前面部８から後面部１６に向かって延びる。

図６Ａ～６Ｃに、一実施形態によるハンドル１００Ａを示す。図６Ａは、ハンドル１００Ａの側面図である。図６Ｂは、ハンドル１００Ａの正面図である。例えば、図４および図６Ｂは、ハンドル１００Ａを同じ視点から見た図である。図６Ｃは、ハンドル１００Ａの背面図である。

ハンドル１００Ａは、第１の端部１１２Ａおよび第２の端部１１４Ａを有する本体１１０Ａを備えている。本体１１０Ａの第１の端部１１２Ａと第２の端部１１４Ａとの間にはグリップ部１２０Ａが配置されている。図６Ａに示すように、グリップ部１２０Ａは、本体１１０Ａの第１の端部１１２Ａに近い第１の端部１２２Ａと、本体１１０Ａの第２の端部１１４Ａに近い第２の端部１２４Ａとを有している。

ハンドル１００Ａがウエハキャリア１の外面２２に取り付けられた状態において、ハンドル１００Ａは、人がハンドル１００Ａのグリップ部１２０Ａを把持してウエハキャリア１を運搬できるように構成されている。グリップ部１２０Ａは、ハンドル１００Ａが側面部１２に取り付けられた状態で、握りやすく、扱いやすいように構成されている。例えば、図１および３に示すように、グリップ部１２０Ａは、側面部１２から離間しており、人がグリップ部１２０Ａを把持するのに十分なスペースを形成する方向に延びている。図６Ａ～６Ｃに示すように、グリップ部１２０Ａは、ハンドル１００Ａの本体１１０Ａの一部分を形成している。

一実施形態では、グリップ部１２０Ａは、カラーインジケータ１２６Ａ（図６Ｂ）を有している。例えば、カラーインジケータによって、ウエハキャリア１の内容物を示すことができる（例えば、ウエハキャリア１内のウエハの特定の種類や、ウエハキャリア１内のウエハの現在の製造段階等）。一実施形態では、カラーインジケータ１２６Ａは、洗浄が困難な面（亀裂、溝等）が形成されることを避けるためにハンドル１００Ａの本体１１０Ａと一体に形成されているが、ハンドル１００Ａ，１００Ｂが取り外し可能であるため、ウエハキャリア１に別のカラーインジケータが必要になった場合には、ハンドル１００Ａ，１００Ｂを交換できる。例えば、このような実施形態におけるカラーインジケータ１２６Ａは、本体１１０Ａ自体の着色によって、または本体１１０Ａと一体的に形成されている着色された部分によって構成される。

ハンドル１００Ａは、第１の挿入可能部材１３０Ａおよび第２の挿入可能部材１４０Ａも有している。図６Ａに示すように、第１の挿入可能部材１３０Ａは、第１の端部１１２Ａとグリップ部１２０Ａとの間に配置されている。一実施形態においては、第１の挿入可能部材１３０Ａは、グリップ部１２０Ａの端部１２２Ａ、第１の端部１１２Ａ、または第１の端部１１２Ａとグリップ部１２０Ａとの間に配置される。挿入可能部材１３０Ａは、タブ１３２Ａと、前面１３４Ａと、前面１３４Ａの反対側の背面１３６Ａとを有している。タブ１３２Ａは、挿入可能部材１３０Ａの前面１３４Ａ側にあり、挿入可能部材１３０Ａの前面１３４Ａから離れる方向に延びている。挿入可能部材１３０Ａは、本体１１０Ａの反対側にある端部１３８Ａ（図６Ｂおよび８Ｃ）を有している。一実施形態では、タブ１３２Ａは、挿入可能部材１３０Ａの前面１３４Ａにおいて本体１１０Ａよりも端部１３８Ａに近い位置に配置されている。例えば、タブ１３２Ａは、前面１３４Ａ上に配置され、端部１３８Ａに沿って延びる。

図６Ａに示すように、第２の挿入可能部材１４０Ａは、グリップ部１２０Ａと第２の端部１１４Ａとの間に配置される。一実施形態では、第２の挿入可能部材１４０Ａは、グリップ部１２０Ａの端部１２４Ａ、第２の端部１１４Ａ、または第２の端部１１４Ａとグリップ部１２０Ａとの間に配置される。第１の挿入可能部材１３０Ａと同様に、第２の挿入可能部材１４０Ａも、タブ１４２Ａ、前面１４４Ａおよび背面１４６Ａを有している。一実施形態では、第１の挿入可能部材１３０Ａおよび第２の挿入可能部材１４０Ａの一方または両方が、本体１１０Ａと一体に形成される（例えば、単一の連続した部品として形成される）。例えば、成形（射出成形等）されたハンドル１００Ａは、単一の部品として形成された本体１１０Ａおよび挿入可能部材１３０Ａを少なくとも有している。このような実施形態では、挿入可能部材１３０Ａは、以下に説明するように、ハンドル１００Ａの着脱を可能にするために、本体１１０Ａに対して所望の量の可撓性を有するように形成される。

一実施形態では、挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａは、グリップ部１２０Ａとは異なる本体１１０Ａの部分に沿って配置されている（すなわち、グリップ部１２０Ａに沿って配置されていない）。これによって、グリップ部１２０Ａを把持するためのスペースが確保され、グリップ部１２０Ａを扱う人が、挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａのいずれかに意図せず接触することを抑制できる。例えば、意図しない接触により、挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａの損傷または緩みが発生する可能性がある。

ハンドル１００Ａは、第１の突起１７０Ａおよび第２の突起１８０Ａも有している。第１の突起１７０Ａは、本体１１０Ａの第１の端部１１２Ａに配置されている。図４に示すように、第１の突起１７０Ａは、ウエハキャリア１を側面から見たときに、ウエハキャリア１の上部１０の外面２２と同じ高さに位置するか、外面２２の下に位置するように構成される。例えば、第１の突起１７０Ａは、ウエハキャリア１の上部１０の外面２２より上に延在しないように構成される。このため、自動化インターフェース２６に対する取り付け時や取り付け後に、標準的な自動化アタッチメントが動作するスペースに突起１７０Ａが干渉することがない。第２の突起１８０Ａは、本体１１０Ａの第２の端部１１４Ａに配置されている。第１の突起１７０Ａは、ウエハキャリア１の第１のレール５０Ａと係合するように構成される。第２の突起１８０Ａは、ウエハキャリア１の第２のレール６０Ａと係合するように構成される。

図１は、ウエハキャリア１の外面２２に取り付けられたハンドル１００Ａを示し、図５は、取り外された状態のハンドル１００Ａを示している。図１と図５との比較から分かるように、ハンドル１００Ａは、（図５に示すように）外されたハンドル１００Ａをウエハキャリア１に対して第１の方向Ｄ_１に移動させて取り付けられる。一実施形態では、第１の方向Ｄ_１は、ＦＯＵＰの後面部１６から前面部８に向かう方向である。例えば、第１の方向Ｄ_１は、ウエハキャリア１の側面部１２に概して平行である。ハンドル１００Ａがウエハキャリア１に対して第１の方向Ｄ_１に動かされると、各挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａが対応する開口部３２Ａ，４２Ａに挿入され、各突起１７０Ａ，１８０Ａが対応するレール５０Ａ，６０Ａと係合する。挿入された挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａおよび係合した突起１７０Ａ，１８０Ａによって、ハンドル１００Ａがウエハキャリア１に固定される。取り付けられたハンドル１００Ａを取り外す際には、（図４に示すように）第１の方向Ｄ_１と反対の方向Ｄ_２にハンドル１００Ａを動かす。装着されたハンドル１００Ａの取り外しについては、詳細を後述する。

挿入可能部材１３０Ａは、本体１１０Ａに対して屈曲するように構成されている（すなわち、本体１１０Ａに対して曲がるように構成されている）。より具体的には、挿入可能部材１３０Ａは、挿入可能部材１３０Ａが本体１１０Ａから延びる方向である方向Ｄ_１に垂直な方向（例えば、図６Ｂの紙面に対して出入りする方向）に屈曲するように構成される。一実施形態では、この可撓性構造を有していることによって、挿入可能部材１３０Ａが、ウエハキャリア１の外面２２に対して近付く方向および離れる方向に（繰り返して）屈曲できるように構成されている。一実施形態では、挿入可能部材１３０Ａが開口部３２Ａに挿入されるときには、タブ１３２Ａが突出部３０Ａに接触することによって挿入可能部材１３０Ａがウエハキャリア１の外面２２に向かって屈曲されるため、挿入可能部材１３０Ａが開口部３２Ａに嵌入される。例えば、挿入可能部材１３０Ａの屈曲によって、挿入可能部材１３０Ａの開口部３２Ａへの挿入が可能となる。このように、挿入可能部材１３０Ａが開口部３２Ａまで移動されて挿入されると、タブ１３２Ａが突出部３０Ａに接触することによって、挿入可能部材１３０Ａに圧力が加わり、挿入可能部材１３０Ａがウエハキャリア１の外面２２に向かって屈曲される。

タブ１３２Ａが開口部３２Ａを通り過ぎると、タブ１３２Ａは、ウエハキャリア１の外面２２から離れるように屈曲する。具体的には、屈曲した挿入可能部材１３０Ａの張力によって、ウエハキャリア１の外面２２から離れる方向にタブ１３２Ａが屈曲される。タブ１３２Ａの屈曲によって、タブ１３２Ａが係合状態になる。係合状態のタブ１３２Ａは、開口部３２Ａ内に挿入可能部材１３０Ａを保持する。より具体的には、係合状態にあるタブ１３４Ａは、挿入可能部材１３０Ａが開口部３２Ａから外れることを防止する。タブ１３２Ａは、ハンドル１００Ａが挿入方向Ｄ_１とは反対の方向Ｄ_２に移動した（例えば、引っ張られた）ときに、突出部３０Ａの前側外面３６Ａ（図４）に接触することによって挿入可能部材１３０Ａの離脱を防止する。例えば、タブ１３２Ａは、突出部３０Ａの前側外面３６Ａに引っ掛けられている。図４に示すように、前側外面３６Ａは、ハンドル１００Ａの本体１１０Ａとは反対の方向（例えば、方向Ｄ_１）を向いている。

一実施形態において、タブ１３２Ａは非係合状態も有している。タブ１３２Ａは、非係合状態にあるときには、開口部３２Ａから挿入可能部材１３０Ａを取り外すことができるように構成される。例えば、非係合状態のタブ１３２Ａは、挿入方向Ｄ_１とは反対の方向Ｄ_２への、突出部３０Ａに対する挿入可能部材１３０Ａの移動を可能にする。一実施形態では、ウエハキャリア１は、ハンドル１００Ａの挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａの両方のタブ１３２Ａ，１４２Ａが非係合状態にあるときに、ハンドル１００Ａが取り外せるように構成される。

挿入可能部材１３０Ａを開口部３２Ａに挿入するハンドル１００Ａの動き（例えば、第１の方向Ｄ_１への動き）によって、第１の突起１７０Ａも第１のレール５０Ａに対して動かされ、第２の突起１８０Ａも第２のレール６０Ａに対して動かされる。より具体的には、ハンドル１００Ａの上記の動きによって、第１の突起１７０Ａが第１のレール５０Ａと係合し、第２の突起１８０Ａが第２のレール６０Ａと係合する。各突起１７０Ａ，１８０Ａと対応するレール５０Ａ，６０Ａとの係合によって、ハンドル１００Ａの、ウエハキャリア１から離れる方向（例えば、図３の方向Ｄ_３）への移動が防止されるように構成されている。例えば、突起１７０Ａ，１８０Ａが対応するレール５０Ａ，６０Ａと係合することによって、ウエハキャリア１の角部に引張力が分散されるため、ウエハキャリア１の側面部１２からハンドル１００Ａを引き離す力が緩和され、側面部１２の外側への撓曲が抑制される。

挿入可能部材１４０Ａおよびタブ１４２Ａは、挿入可能部材１３０Ａおよびタブ１３２Ａと同様の方法で、ウエハキャリア１の対応する突出部４０Ａおよび開口部４２Ａに挿入される。一実施形態では、ハンドル１００Ａは、ハンドル１００Ａの第１の方向Ｄ_１への一回の移動によって、挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａが挿入されて突起１７０Ａ，１８０Ａが係合するように構成される。一実施形態では、ハンドル１００Ａは、ハンドル１００Ａが第１の方向Ｄ_１に一回移動することによって、挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａの挿入と、タブ１３２Ａ，１４２Ａの係合状態への移行と、突起１７０Ａ，１８０Ａの係合が行われるように構成される。

図７は、一実施形態によるロック機構１５０Ａの斜視図である。ロック機構１５０Ａは、ハンドル１００Ａがウエハキャリア１から意図せずに外れることを防ぐように構成されている。例えば、ロック状態にあるときのロック機構１５０Ａは、挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａとの意図しない接触や、ハンドル１００Ａにかかる力（例えば、満載時のウエハキャリア１の重量、ウエハキャリアの揺れ）によって、タブ１３２Ａが係合状態から外れないように構成される。

ロック機構１５０Ａは、前端１５２Ａ、後端１５４Ａ、接触面１５６Ａおよび可撓性拡張部１６０Ａを有している。ロック機構１５０Ａは、前端１５２Ａから後端１５４Ａまで延びる長さＬを有する。接触面１５６Ａは、ロック機構１５０Ａの前端１５２Ａと可撓性拡張部１６０Ａとの間に配置されている。一実施形態では、ロック機構１５０Ａの厚みＴ_１は、前端１５２Ａと可撓性拡張部１６０Ａとの間においては、接触面１５６Ａで最大となっている。ロック機構１５０Ａの厚みＴ_１は、その長さＬに垂直である。

図４に示すように、ロック機構１５０Ａは、ハンドル１００Ａの本体１１０Ａのガイド部１１６Ａに保持されている。ロック機構１５０Ａは、本体１１０Ａにスライド可能に取り付けられるように、ガイド部１１６Ａ内に保持されている。例えば、ガイド部１１６Ａは、ロック機構１５０Ａの第１の方向Ｄ_１への移動を可能としながら、第１の方向Ｄ_１に垂直な方向（例えば、図３の方向Ｄ_３や方向Ｄ_４）へのロック機構１５０Ａの移動を防止する。一実施形態では、ロック機構１５０Ａは、上規制部１６４Ａおよび下規制部１６６Ａを有している（図７）。ロック機構１５０Ａは、ガイド部１１６Ａおよび２つの規制部１６４Ａ，１６６Ａによって、ハンドル１００Ａの本体１１０Ａにスライド可能に取り付けられている。上規制部１６４Ａはガイド部１１６Ａの上方に配置され（例えば、図４の紙面から出る方向において、ガイド部１１６Ａは上規制部１６４Ａよりも外面２２に近い）、下規制部１６６Ａはガイド部１１６Ａの下方に配置される（例えば、図４において、下規制部１６６Ａはガイド部１１６Ａよりも外面２２に近い）。例えば、ハンドル１００Ａを横から見た場合（図６Ａ等）、ガイド部１１６Ａは、上規制部１６４Ａと下規制部１６６Ａとの間に配置される。一実施形態では、１つの上規制部１６４Ａおよび１つの下規制部１６６Ａが、ロック機構１５０Ａの各側部に沿って設けられる。

一実施形態では、規制部１６６Ａのうちの１つが曲げられる（例えば幅Ｗの方向に曲げられる）ように形成されており、ロック機構１５０Ａは、ハンドル１００Ａとは別に形成されてから、ガイド部１１６Ａとスナップ係合するように構成されている。規制部１６４Ａ，１６６Ａは、ガイド部１１６Ａにスナップ係合したロック機構１５０Ａの離脱を防ぐように構成される。別の実施形態では、ハンドル１００Ａは、ロック機構１５０Ａが本体１１０Ａと一体をなしてガイド部１１６Ａ内に収まるように形成（成形等）され、ロック機構１５０Ａを本体１１０Ａに接続している部分が破壊されることによって、ロック機構１５０Ａが、本体１１０Ａ対してスライド可能に取り付けられるように構成されている。

ハンドル１００Ａの本体１１０Ａは、貫通穴１１８Ａおよび保持空間１１９Ａを有している。一実施形態では、保持空間１１９Ａは、ハンドル１００Ａが取り付けられたときにウエハキャリア１の側面部１２の外面２２に対向する本体１１０Ａの後面部１０２Ａ（図６Ａ）に設けられている。例えば、ハンドル１００Ａがウエハキャリア１の側面部１２に取り付けられると、保持空間１１９Ａは、本体１１０Ａとウエハキャリア１の側面部１２の外面２２との間に配置される。貫通穴１１８Ａは、保持空間１１９Ａに接続している。貫通穴１１８Ａは、ハンドル１００Ａの本体１１０Ａの端部１１２Ａと端部１１４Ａとの間において、挿入可能部材１３０Ａの近傍に位置している。保持空間１１９Ａは、貫通穴１１８Ａと挿入可能部材１３０Ａとの間に配置されている。ロック機構１５０Ａは、貫通穴１１８Ａを通って保持空間１１９Ａ内に延びるように構成される。

図６Ａおよび６Ｃに示すように、保持空間１１９Ａは、ハンドル１００Ａの後面部１０２Ａに沿って開口している。しかしながら、一実施形態においては、保持空間１１９Ａは、ハンドル１００Ａの後面部１０２Ａに沿って囲まれている。例えば、このような実施形態では、本体１１０Ａには貫通穴が形成され、貫通穴内において保持空間１１９Ａが占める体積が大きくなる。

図８Ａは、図３のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿ったウエハキャリア１の断面図である。図８Ｂは、図８Ａの領域Ｂの拡大図である。図８Ｃは、図８Ａの領域Ｃの拡大図である。図示を明瞭にして比較を容易にするために、図８Ｂでは領域Ｂを反転および回転して示しており、図８Ｃでは領域Ｃを図８Ａから回転して示している。

ロック機構１５０Ａは、ロック状態とロック解除状態とを有する。ハンドル１００Ａ，１００Ｂは、ロック機構１５０Ａ，１５０Ｂをそれぞれ有している（図１および２）。図８Ａおよび８Ｃに、ロック状態にある第１のハンドル１００Ａのロック機構１５０Ａを示す。図８Ａおよび８Ｂに、ロック解除状態にある第２のハンドル１００Ｂのロック機構１５０Ｂを示す。図８Ｂのロック機構１５０Ｂは、第１の方向Ｄ_１に移動することにより、ロック解除状態からロック状態（図８Ｃのロック機構１５０Ａの状態）に移動する。図８Ｃのロック機構１５０Ａは、可撓性拡張部１６０Ａに力を加えてからロック機構１５０Ａを反対方向Ｄ_２に動かすことによって、ロック状態からロック解除状態（図８Ｂのロック機構１５０Ａの状態）に移動される。

ロック機構１５０Ａは、挿入可能部材１３０Ａに対して移動可能であるように構成される。例えば、詳細は後述するが、ロック機構１５０Ａは選択的に移動可能であり、外力が作用するまでは、ロック状態にあるロック機構１５０Ａの移動は可撓性拡張部１６０Ａによって規制される。

図８Ｂでは、ロック機構１５０Ｂはロック解除状態にある。ロック機構１５０Ｂがロック解除状態にあるときには、タブ１３２Ｂが係合状態から移動できる。例えば、ロック機構１５０Ｂは、タブ１３２Ｂが係合状態から移動できる量の挿入可能部材１３０Ｂの屈曲を可能とするように構成されている。ロック機構１５０Ｂの接触面１５６Ｂは、ロック解除状態にあるときでも、挿入可能部材１３０Ｂの背面１３６Ｂに接触している。別の実施形態では、ロック解除状態では、接触面１５６Ｂは挿入可能部材１３０Ｂに接触しない。ロック機構１５０Ｂがロック解除状態にあるときには、挿入可能部材１３０Ｂが突出部３０Ｂから離れるように屈曲することができるため、タブ１３２Ｂを突出部３０Ｂから外すことができる。一実施形態では、可撓性部材１６０Ｂが保持空間１１９Ｂの外側に配置されているときに、ロック機構１５０Ｂがロック状態にある。ロック機構１５０Ｂは、方向Ｄ_１に移動し、可撓性部材１６０Ｂが保持空間１１９Ｂに配置されると、ロック状態に移行する。

図８Ｃでは、タブ１３２Ａは係合状態にあり、ロック機構１５０Ａはロック状態にある。例えば、図８Ｃのタブ１３２Ａは、ハンドル１００Ａが方向Ｄ_２に動かされる（例えば、引っ張られる）ときに、突出部３０Ａの前側外面３８Ａに接触するように配置されており、これによって、挿入可能部材１３０Ａが開口部３２Ａから外れることが防止される。ロック機構１５０Ａは、ロック状態にあるときにはタブ１３２Ａを係合状態に維持するように構成される。タブ１３２Ａは、挿入可能部材１３０Ａから第１の方向Ｄ_３に延びており、反対方向Ｄ_４に移動することによって係合状態から移動される。ロック状態にあるロック機構１５０Ａの位置によって、タブ１３２Ａが係合状態から移動することが防止されている。ロック状態にあるロック機構１５０Ａの接触面１５６Ａの位置によって、挿入可能部材１３０Ａの屈曲が抑制され、タブ１３２Ａが反対方向Ｄ_４に移動することが抑制されている。例えば、ロック状態にあるロック機構１５０Ａの接触面１５６Ａの位置によって、タブ１３２Ａが係合状態から外れることが防止されている。一実施形態では、ロック機構１５０Ａの接触面１５６Ａは、ロック機構１５０Ａがロック状態にあるときに挿入可能部材１３０Ａに接触している。ロック機構１５０Ａの接触によって、挿入可能部材１３０Ａの屈曲が防止される。一実施形態では、ロック機構１５０Ａは、挿入可能部材１３０Ａに接触することなく、タブ１３２Ａを係合状態に維持する。例えば、タブ１３２Ａを係合状態から移動させるためには、挿入可能部材１３０Ａの最低限の量の屈曲が必要である。ロック状態にあるロック機構１５０Ａの接触面１５６Ａは、挿入可能部材１３０Ａがこの最低限の量まで屈曲することを防止する。

ロック機構１５０Ａは、開口部３２Ａ内に入り、タブ１３２Ａの背面１３６Ａに沿って延びる。挿入可能部材１３０Ａは、ロック機構１５０Ａの接触面１５６Ａと突出部３０Ａの内面３８Ａとの間に配置されている。ロック機構１５０Ａの厚みＴ_１によって、挿入可能部材１３０Ａの屈曲が規制され、タブ１３２Ａが係合状態に維持されている。図８Ｃに示すロック機構１５０Ａの厚みＴ_１によって、挿入可能部材１３０Ａの屈曲およびタブ１３２Ａの移動が阻止される。厚みＴ_１は、挿入可能部材１３０Ａがハンドル１００Ａの本体１１０Ａから開口部３２Ａに延びる方向Ｄ_１に対して垂直に延びる。

可撓性拡張部１６０Ａは、外力Ｆ_１によって屈曲可能に構成されている（例えば、ロック機構１５０Ａの残りの部分に対して曲がることができる）。例えば、外力Ｆ_１は、ロック機構１５０Ａを動かしたい人によって加えられる。保持空間１１９Ａは、意図しない接触によって可撓性拡張部１６０Ａに外力Ｆ_１が加わることを防止する。可撓性拡張部１６０Ａの位置によって、第１の方向Ｄ_１とは反対の方向Ｄ_２へのロック機構１５０Ａの動きが防止されている。

可撓性拡張部１６０Ａは、外力Ｆ_１によって曲げられない限り、ロック状態からのロック機構１５０Ａの動きを規制するように構成されており、ロック機構１５０Ａは、選択的に移動可能である。ロック機構１５０Ａは、方向Ｄ_１に移動することにより、ロック解除状態からロック状態に移行する。ロック機構１５０Ａが第１の方向Ｄ_１に動くときには、可撓性拡張部１６０Ａが貫通穴１１８Ａを通って保持空間１１９Ａ内に移動する。一実施形態では、ロック機構１５０Ａは、可撓性拡張部１６０Ａが保持空間１１９Ａに配置されると、ロック状態に入る。

貫通穴１１８Ａに対する保持空間１１９Ａの大きさは、可撓性拡張部１６０Ａが少なくとも部分的に屈曲状態から元の形状に戻ることができる大きさに設定されている。保持空間１１９Ａ内に位置している（すなわち、外力Ｆ_１が加えられていない）可撓性拡張部１６０Ａの通常の形状は、方向Ｄ_２から見て、貫通穴１１８Ａと整合していない（例えば、一致していない、収まっていない）。この非整合によって、可撓性拡張部１６０Ａが貫通穴１１８Ａに嵌入することが防止され、ロック機構１５０Ａが方向Ｄ_２に移動して、ロック位置から移動することが防止される。このように、保持空間１１９Ａ内の可撓性拡張部１６０Ａの位置によって、ロック機構１５０Ａがロック状態に維持されている。外力Ｆ_１によって可撓性拡張部１６０Ａが屈曲され、可撓性拡張部１６０Ａが方向Ｄ_２において貫通穴１１９Ａと整合すると、可撓性拡張部１６０Ａが貫通穴１１８Ａに嵌入できるようになる。このようにして、ロック機構１５０Ａは、外力Ｆ_１を可撓性拡張部１６０Ａに加え、ロック機構１５０Ａを方向Ｄ_２に移動させることにより、ロック状態からロック解除状態に移動可能であり、これによって、可撓性拡張部１６０Ａが保持空間１１９Ａから貫通穴１１８Ａ内に移動する。一実施形態では、可撓性拡張部１６０Ａが保持空間１１９Ａの外側に配置されたときに、ロック機構１５０Ａがロック解除状態に入る。一実施形態においては、可撓性拡張部１６０Ａが貫通穴１１８Ａおよび保持空間１１９Ａの両方の外側に配置されたときに、ロック機構１５０Ａがロック解除状態に入る。

一実施形態では、第２の方向Ｄ_２における貫通穴１１８Ａに対する可撓性拡張部１６０Ａの非整合は、ロック機構１５０Ａの幅Ｗに起因している。図７に示すように、ロック機構１５０Ａは、可撓性拡張部１６０Ａによって画定される幅Ｗを有している。一実施形態では、可撓性拡張部１６０Ａは、外力Ｆ_１によって屈曲されることによって、ロック機構１５０Ａの幅Ｗが変更される（例えば、狭くなる）ように構成されている。例えば、可撓性拡張部１６０Ａが外力Ｆ_１によって屈曲されると、ロック機構は幅Ｗ_１を有する。一実施形態では、外力Ｆ_１によって、可撓性拡張部１６０Ａが圧縮されてロック機構１５０Ａの幅Ｗが狭くなる。可撓性拡張部１６０Ａは、恒久的に変形することなく圧縮可能に構成されている。

図６Ｂに示すように、貫通穴１１８Ａは幅Ｗ_２を有し、保持空間１１９Ａは幅Ｗ_３を有している。保持空間１１９Ａの幅Ｗ_３は、貫通穴１１８Ａの幅Ｗ_２よりも大きい。ロック機構１５０Ａがロック解除位置（図８Ｂのロック機構１５０Ｂの位置）からロック位置（図８Ｃのロック機構１５０Ａの位置）に移動されると、可撓性拡張部１６０Ａは、貫通穴１１８Ａから保持空間１１９Ａ内に移動する。保持空間１１９Ａが（貫通穴１１８Ａの幅Ｗ_２と比較して）広い幅Ｗ_３を有しているため、可撓性拡張部１６０Ａは、保持空間１１９Ａ内において少なくとも部分的に屈曲状態から元の形状に戻ることができる。可撓性拡張部１６０Ａのこの非屈曲により、ロック機構１５０Ａの幅Ｗ（例えば、可撓性拡張部１６０Ａの幅）は、貫通穴１１８Ａの幅Ｗ_２よりも大きくなる。したがって、ロック状態（すなわち、外力Ｆ_１が加えられていない状態）のロック機構１５０Ａの通常の幅Ｗは、貫通穴１１８Ａの幅Ｗ_２よりも大きい。外力Ｆ_１によって可撓性拡張部１６０Ａが屈曲されると、ロック機構１５０Ａの幅Ｗ_１は、貫通穴１１８Ａの幅Ｗ_２以下になる。このように、可撓性拡張部１６０Ａを屈曲させてロック機構１５０Ａの幅Ｗを狭くしてから、ロック機構１５０Ａを第２の方向Ｄ_２に移動させることによって、ロック機構１５０Ａがロック解除状態からロック状態に移動する。

このように、可撓性拡張部１６０Ａが保持空間１１９Ａに配置されると、可撓性拡張部１６０Ａの形状によって、ロック機構１５０Ａがロック状態に維持されている。例えば、ロック機構１５０Ａが第１の方向Ｄ_１に移動することによってロック解除状態からロック状態に移動すると、保持空間１１９Ａ内に位置する可撓性拡張部１６０Ａの形状によって、ロック機構１５０Ａが反対の方向Ｄ_２に移動することが防止される。一実施形態では、ロック機構１５０Ａをロック状態に維持する可撓性拡張部１６０Ａの形状は、上記のように、ロック機構１５０Ａの幅Ｗである。

可撓性拡張部１６０Ａは、屈曲することによって、ロック機構１５０Ａをロック解除状態からロック状態に移動可能とする。一実施形態では、貫通穴１１８Ａおよび可撓性拡張部１６０Ａの一方または両方が、ロック機構１５０Ａを第１の方向Ｄ_１に動かす力によって、可撓性拡張部１６０Ａの屈曲および貫通穴１１８Ａ内の通過も達成されるように構成される。例えば、ロック解除状態のロック機構１５０Ａがロック解除位置にあるときに互いに向き合う貫通穴１１８Ａの１つまたは複数の面および可撓性拡張部１６０Ａの面が、傾斜している。

ロック機構１５０Ａの上面１５８Ａは、挿入可能部材１３０Ａに対して概して平坦である。しかしながら、一実施形態では、ロック機構１５０Ａが凹形状の上面１５８Ａを有しており、ロック機構１５０Ａの長さＬは、可撓性拡張部１６０Ａが保持空間１１９Ａに配置されたときに、接触面１５６Ａが開口部３２Ａの外側に位置するように設定されている。上面１５８Ａの凸形状は、タブ１３２Ａが係合状態から非係合状態に移動可能な程度に挿入可能部材１３０Ａが屈曲できるように構成されている。このような実施形態では、ロック機構１５０Ａは、第１の方向Ｄ_１とは反対の方向Ｄ_２に移動することによって、ロック状態からロック解除状態に移動することができる。ロック機構１５０Ａは、可撓性拡張部１６０Ａが保持空間１１９Ａに配置されているときはロック解除状態となり、可撓性拡張部１６０Ａが保持空間１１９Ａの外側に配置されているときはロック状態になる。このような実施形態では、可撓性拡張部１６０Ａは、方向Ｄ_２への移動に関する点を除いては上記と同様に構成され、ロック状態にあるときは、ロック機構１５０Ａの方向Ｄ_１への移動を規制するように構成される。例えば、このような実施形態における可撓性拡張部１６０Ａは、方向Ｄ_２ではなく方向Ｄ_１であること以外は上記と同様に、貫通穴１１８Ａへの挿入が防止される。

図４および８Ｃに示すように、ハンドル１００Ａが取り外し方向Ｄ_２に引っ張られると、係合状態のタブ１３２Ａが突出部３０Ａの前側外面３８Ａに接触して、挿入可能部材１３０Ａが開口部３２Ａから外れることを防止するように構成されている。しかしながら、一実施形態では、ノッチ（図示せず）が開口部３２Ａに設けられており、タブ１３２Ａは、当該ノッチと係合することによって挿入可能部材１３０Ａが外れることを防止するように構成される。例えば、ノッチは、突出部３０Ａの内面３８Ａまたはウエハキャリア１の外面２２に設けることができる。このような実施形態では、挿入可能部材１３０Ａは、開口部３２Ａ内を部分的にのみ延びる。このような実施形態では、ロック状態にあるときのロック機構１５０Ａの一部分が、突出部３０Ａと挿入可能部材１３０Ａとの間に配置される。一実施形態では、タブ１３２Ａは、挿入可能部材１３０Ａから、ウエハキャリア１の外面２２から離れる方向とは異なる方向（例えば、図８Ｃの方向Ｄ_３とは異なる方向）に延びている。例えば、一実施形態におけるタブ１３２Ａは、挿入可能部材１３０Ａからウエハキャリア１の外面２２に向かって（例えば、方向Ｄ_４に）延び、またはウエハキャリア１の外面２２から離れる方向に対して垂直な方向（例えば、図９の方向Ｄ_５）に延びる。

前述したように、挿入可能部材１３０Ａは、開口部３２Ａに挿入されると、タブ１３２Ａを自動的に係合状態に屈曲させるように構成されている。しかしながら、一実施形態では、挿入可能部材１３０Ａが、タブ１３２Ａを係合状態に屈曲させるようには構成されていない。一実施形態では、ロック機構１５０Ａが、挿入可能部材１３０Ａを屈曲させることによって、タブ１３２Ａを係合位置に屈曲させる。例えば、タブ１３２Ａは、挿入可能部材１３０Ａの前面１３４Ａ上に位置し、挿入可能部材は、タブ１３２Ａを係合状態に屈曲させるために、第２の方向Ｄ_２に屈曲する必要がある。ロック機構１５０Ａは、ロック状態に移動するときに、挿入可能部材１３０Ａを第２の方向Ｄ_２に押して、タブ１３２Ａを係合状態に屈曲させるように構成される。

図９は、ウエハキャリア１の一部を示す、図４のＩＸ－ＩＸ線に沿った断面図である。ハンドル１００Ａの第１の突起１７０Ａは、ウエハキャリア１の第１のレール５０Ａと係合する。より具体的には、第１の突起１７０Ａは、第１のレール５０Ａと噛合するように構成されている。

突起１７０Ａは、第１の部分１７２Ａと、第１の部分１７２Ａに直接接続している第２の部分１７４Ａとを有している。第１の部分１７２Ａは、ハンドル１００Ａの本体１１０Ａから第１の方向Ｄ_４に延び、第２の部分１７４Ａは、第１の部分１７２Ａから異なる方向Ｄ_５に延びる。第１の部分１７２Ａの方向Ｄ_４は、本体１１０Ａの第１の端部１１２Ａと同一平面をなしていない。一実施形態においては、第１のレール５０Ａは、ウエハキャリア１の側面部１２の外面２２から離れる方向に延びている。第１のレール５０Ａは、内面５２Ａおよびスロット５４Ａを有している。スロット５４Ａは、内面５２Ａによって画定されている。突起１７０Ａは、レール５０Ａのスロット５４Ａ内を延びている。レール５０Ａの内面５２Ａと突起１７０Ａの第２の部分１７４Ａとの接触によって、取り付けられたハンドル１００Ａの、ウエハキャリア１の外面２２から離れる方向への移動（例えば方向Ｄ_３の移動）が防止される。第２のレール６０Ａおよび第２の突起１８０Ａは、突起レール１８０Ａがハンドル１００Ａの第２の端部１１４Ａに沿って反転して配置されている点以外は、第１のレール５０Ａおよび第１の突起１８０Ａについての説明と同様の構造および係合状態を有する。

図３に示すように、ウエハ歯２０は、ウエハキャリア１の側面部１２，１４に取り付けられている。ハンドル１００Ａを（例えば、方向Ｄ_３に）引っ張る力によって、側面部１２が外向きに撓む可能性があり、その結果、ウエハ歯２０の形状に影響が及び、ウエハ歯２０内のウエハが損傷するおそれがある。例えば、レール５０Ａ，６０Ａおよび突起１７０Ａ，１８０Ａは、ハンドル１００Ａをウエハキャリア１の外面２２に取り付けるための、剛性の高い接点（例えば、角部またはその近傍の接点）として機能する。このような剛性の高い接点によって、ハンドル１００Ａからウエハキャリア１の角部に引張力を分散させることができ、側面部１２の外向きの撓みの抑制が可能となる。

第１のレール５０Ａによって画定されるスロット５４Ａは、図９において上方（すなわち、方向Ｄ_５）を向いている。しかしながら、一実施形態では、第１のレール５０Ａおよび第２の部分１７４Ａの方向は逆であってもよい。例えば、このような実施形態では、スロット５４Ａは下方（すなわち、方向Ｄ_５の反対側）を向く。一実施形態では、第２のレール６０Ａおよび第２の突起１８０Ａも同様に変更される。

ウエハキャリア１のハンドル１００Ａは、２つの挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａ、２つのレール１７０Ａ，１８０Ａおよび１つのロック機構１５０Ａを有している。しかしながら、一実施形態におけるハンドル１００Ａは、異なる数の挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａ、レール１７０Ａ，１８０Ａおよびロック機構１５０Ａを有している。一実施形態では、ハンドル１００Ａは、挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａのうちの片方または両方を有する。一実施形態では、ハンドル１００Ａが、１つまたは複数のレール１７０Ａ，１８０Ａを有している。このような実施形態では、ウエハキャリア１は、対応する数の突出部３０Ａ，４０Ｂおよびレール５０Ａ，６０Ａを有する。一実施形態では、ウエハキャリア１は、ハンドル１００Ａ用のロック機構１５０Ａを複数有している。例えば、一実施形態におけるウエハキャリア１においては、ハンドル１００Ａの挿入可能部材１３０Ａ，１４０Ａのそれぞれが、ロック機構を有している。

図１～９に示す上記のハンドル１００Ａ，１００Ｂおよびロック機構１５０Ａ，１５０Ｂは、ウエハキャリア１用である。しかしながら、ハンドル１００Ａ，１００Ｂ、ロック機構１５０Ａ，１５０Ｂおよび突出部３０Ａ，３０Ｂは、ウエハキャリア１について図示および記載された方法と同様の方法で、前面開閉式シッピングボックス（ＦＯＳＢ）等の他の種類のウエハキャリアに適用可能である。一実施形態では、前面開閉式シッピングボックス（ＦＯＳＢ）は、少なくとも突出部３０Ａ，３０Ｂ、ハンドル１００Ａ，１００Ｂおよびハンドル１００Ａ，３０Ｂ用のロック機構１５０Ａ，１５０Ｂを有している。

図１０～１２に、別の実施形態によるロック機構３５０Ａを示す。図１０は、ＦＯＵＰ３００の一部分の斜視図である。図１１は、ロック機構３５０Ａの前面斜視図である。図１２は、ロック機構３５０Ａの背面斜視図である。

ＦＯＵＰ３００は、図１～５のウエハキャリア１と同様のハンドル１００Ａ，１００Ｂを有している。したがって、ＦＯＵＰ３００は、ウエハキャリア１の第２のハンドル１００Ｂ用に、ロック機構３５０Ａと同様の第２のロック機構も有している。

図１０に、ロック位置にあるロック機構３５０Ａを示す。ロック機構３５０Ａは、ロック解除位置にあるときは、ハンドル１００Ａおよびウエハキャリア１から分離されており、ロック機構をハンドル３５０Ａに連結することによってロック位置に配置される。ロック機構３５０Ａは、ロック状態とロック解除状態とを有する。ロック機構３５０Ａは、ハンドル１００Ａに連結されることによって、ロック解除状態からロック状態に移行する。ロック状態にあるロック機構３５０Ａは、挿入可能部材１３０Ａのタブ１３８Ａを係合状態に維持する。タブ１３２Ａは、図１０ではロック機構３５０Ａによって隠されているため、図１０には符号が示されていない。より具体的には、ロック状態のロック機構３５０Ａは、タブ１３８Ａが移動して係合状態から外れることを防止するように構成される。ロック機構３５０Ａは、ハンドル３５０Ａとの連結から外されることによって、ロック状態からロック解除状態に移行する。

図１１および１２に示すように、ロック機構３５０Ａは、前端３５２Ａ、後端３５４Ａ、内面３６６Ａおよび長さＬ_２を有している。ロック機構３５０Ａは、概して凹状の形状を有する。ロック機構３５０Ａは、前端３５２Ａに配置された第１のタブ３５６Ａと、後端３５４Ａに配置された第２のタブ３５７Ａとを有している。第１のタブ３５６Ａおよび第２のタブ３５７Ａは同様の構造を有している。第１のタブ３５６Ａおよび第２のタブ３５７Ａは、それぞれロック機構３５０Ａの内面３６６Ａから延びている。一実施形態では、第１のタブ３５６Ａおよび第２のタブ３５７Ａは、内面３６６Ａから、ロック機構３５０Ａの長さＬ_２に平行な方向に延びている。ロック機構３５０Ａは、第１のタブ３５６Ａおよび第２のタブ３５７Ａによってハンドル１００Ａに連結される。

ロック機構３５０Ａがロック状態にあるとき、第１のタブ３５６Ａは、挿入可能部材１３０Ａの背面１３６Ａ（図６Ｃに示す）に接触し、第２のタブ３５７Ａは、ハンドル１００Ａの貫通穴１１８Ａに挿入される。例えば、ロック状態にあるとき、第１のタブ３５６Ａは、挿入可能部材１３０Ａの端部１３８Ａに引っ掛けられ、第２のタブ３５７Ａは、貫通穴１１８Ａに引っ掛けられている。一実施形態では、タブ３５７Ａに対応する貫通穴１１８Ａは、止まり穴であってもよい。ハンドル１００Ａに連結されると、第１のタブ３５６Ａは、挿入可能部材１３０Ａの背面１３６Ａを押す。このようにロック状態のロック機構３５０Ａによって挿入可能部材１３０Ａに圧力が加わることによって、挿入可能部材１３０Ａがウエハキャリア１の外面２２に向かって屈曲することが阻止され、タブ１３２Ａが係合状態から移動することが防止される。その結果、ロック機構３５０Ａによって、タブ１３２Ａの係合状態が維持されている。

ロック機構３５０Ａの長さは、その通常の長さＬ_２（すなわち、ロック機構３５０Ａに外力Ｆ_２、Ｆ_３が加えられていないときの長さ）よりも長くすることができる。ハンドル１００Ａに連結されるときおよび取り外されるときの長さは、長さＬ_２よりも大きい。ロック機構３５０Ａは、外力（例えば、力Ｆ_２、力Ｆ_３）によって、ロック機構３５０Ａの長さＬ_２が増加できる可撓性を有するように構成されている。一実施形態では、可撓性拡張部３５３Ａが、ロック機構３５０Ａの第１の端部３５２Ａに位置している。外力Ｆ_２、Ｆ_３がロック機構３５０Ａに加えられていないときには、拡張可能な拡張部３５３Ａは、その形状を維持し、長さＬ_２を維持している。この拡張可能部３５３Ａの位置によって、ロック機構３５０Ａがハンドル１００Ａに連結した状態に維持されている。このように、拡張可能部３５３Ａの形状によって、ロック機構３５０Ａがロック状態に維持されている。

ロック機構３５０Ａがロック状態にあるとき、第１の端部３５２Ａまたは第２の端部３５４Ａに沿ってロック機構３５０Ａの内面３６６Ａに外力（例えば、力Ｆ_２、力Ｆ_３）を加えることによって、ロック解除状態に移動させる（すなわち、取り外す）ことができる。例えば、外力Ｆ_２、Ｆ_３によって、拡張可能な拡張部３５３Ａが拡張され、ロック機構３５０Ａの長さＬ_２が増加する。長さＬ_２が増加することによって、ロック機構３５０Ａをハンドル１００Ａから取り外すことができる。

図１０～１２に示されているロック機構３５０Ａの実施形態は、ロック解除状態にあるとき（すなわち、ロック解除状態においてハンドル１００Ａに連結されていないとき）、ハンドル１００Ａから分離されている。しかしながら、一実施形態においては、ハンドル１００Ａおよびロック機構３５０Ａは、単一の一体部品として構成される。このような実施形態では、後端３５４Ａが、ハンドル１００Ａの本体１１０Ａと一体的に接続している。前端３５３Ａが、挿入可能部材１３０Ａに対して可撓性を有し、その結果、前端３５３Ａは、挿入可能部材１３０Ａから方向Ｄ_３に引き離せるように構成されている。このため、突出部３０Ａが前端３５３Ａと挿入可能部材１３０Ａとの間に入ることができ、ハンドル１００Ａをウエハキャリア１から外すことが可能となる。

ロック機構３５０Ａは、図１０～１２に示され、ＦＯＵＰ３００への適用を意図して説明されている。しかしながら、ハンドル１００Ａ、ロック機構３５０Ａおよび突出部３０Ａは、例えば、前面開閉式シッピングボックス（ＦＯＳＢ）等の他の種類のウエハキャリアに同様に適用可能である。一実施形態においては、ウエハキャリアは、ＦＯＵＰ３００について図示および記載された状態と同様に、ハンドル１００Ａ、突出部３０Ａおよびハンドル１００Ａ用のロック機構３５０Ａを有している。一実施形態では、ウエハキャリアは、一対の突出部３０Ａ，３０Ｂ、一対のハンドル１００Ａ，１００Ｂおよび一対のロック機構３５０Ａを有している。

図１３～１６に、別の実施形態によるロック機構４５０Ａを示す。図１３は、ＦＯＵＰ４００の一部分の斜視図である。図１４は、ロック機構４５０Ａの前面斜視図である。図１５は、ロック機構４５０Ａの背面斜視図である。図１６は、図１３のＸＶＩ－ＸＶＩ線に沿ったＦＯＵＰ４００の部分断面図である。

ＦＯＵＰ４００は、図１～４のウエハキャリア１と同様の取り外し可能なハンドル１００Ａ，１００Ｂを有している。したがって、ＦＯＵＰ４００は、ウエハキャリア１の第２のハンドル１００Ｂ用に、ロック機構４５０Ａと同様の第２のロック機構も有している。

ロック機構４５０Ａは、ロック状態とロック解除状態とを有する。図１３および１６に、ロック状態のロック機構４５０Ａを示す。ロック機構４５０Ａは、開口部３２Ａに対する挿入可能部材１３０Ａの挿入方向Ｄ_１とは反対の方向Ｄ_２で開口部３２Ａに挿入されることにより、ロック解除状態からロック状態に移行する。ロック機構４５０Ａは、方向Ｄ_１に移動することにより、ロック状態からロック解除状態に移行する。

図１４～１６に示すように、ロック機構４５０Ａは、前端４５２Ａ、後端４５４Ａ、長さＬ_３、リップ部４５３Ａ、付勢部材４５８Ａおよび可撓性拡張部４６０Ａを有している。可撓性拡張部４６０Ａは、第１のタブ４６３Ａを備えた第１のアーム４６２Ａと、第２のタブ４６５Ａを備えた第２のアーム４６４Ａとを含む。一実施形態では、ロック機構４５０Ａの長さＬ_３は、挿入可能部材１３０Ａがハンドル１００Ａの本体１１０Ａから延びる方向に平行に延びている。ロック機構４５０Ａの長さＬ_３は、その厚みＴ_２に垂直である。

ロック機構４５０Ａがロック状態にあるとき、付勢部材４５８Ａは、ウエハキャリア１の外面２２に接触し、接触面４５６Ａを挿入可能部材１３０Ａの背面１３６Ａに接触させるように押している。挿入可能部材１３０Ａは、ロック機構４５０Ａの接触面４５６Ａと突出部３０Ａの内面３８Ａとの間に挟まれている。付勢部材４６４Ａは、ロック部材４５０Ａの厚みＴ_２が、挿入可能部材１３０Ａの屈曲を防止できる厚みとなるように構成されている。付勢部材４６４Ａは、ロック部材４５０Ａの厚みＴ_２が、挿入可能部材１３０Ａの屈曲を防止できる厚みとなるように構成されている。一実施形態では、付勢部材４６４Ａは、ロック機構４５０Ａが、タブ１３２Ａの係合位置からの移動を可能とする最低限の量まで挿入可能部材を屈曲させない厚みＴ_２を少なくとも有するように構成される。その結果、挿入可能部材１３０Ａのタブ１３４Ａが係合状態から屈曲することが防止される。このようにして、ロック状態にあるロック機構４５０Ａによって、タブ１３４Ａの係合状態が維持されている。

リップ部４５３Ａは、ロック機構４５０Ａの前端４５２Ａに配置されている。リップ部４５３Ａによって、開口部３２Ａ内へのロック機構４５０Ａの挿入量が設定されている。リップ部は接触面４５３Ａより上方に延びている。ロック機構４５０Ａがロック状態に移行すると、リップ部４５３Ａは、挿入可能部材１３０Ａの端部１３８Ａに接触し、ロック機構４５０Ａのそれ以上の挿入を防止する。例えば、リップ部４５３Ａは、ロック機構４５０Ａが開口部３０Ａ内に完全に挿入されることや、開口部３０Ａを貫通することを防ぐように構成されている。

タブ４６３Ａ，４６５Ａは、ロック位置にあり、外力Ｆ_４がアーム４６２Ａ，４６４Ａに加えられていないときに、ハンドル１００Ａの内面１２１Ａに接触する。より具体的には、タブ４６３Ａ，４６５Ａは、ハンドル１００Ａの１つまたは複数の内面１２１Ａに引っ掛けられている。例えば、保持空間１１９Ａは、ハンドル１００Ａの内面１２１Ａによって画定されている。タブ４６３Ａ，４６５Ａが内面に接触することによって、ロック機構４５０Ａが第１の方向Ｄ_１に移動することが防止される。可撓性拡張部４６０Ａは、外力Ｆ_４によってアーム４６２Ａ，４６４Ａが互いに近づく方向に屈曲可能に構成されており、これによって幅Ｗ_４が減少し、アーム４６２Ａ，４６４Ａが対応する内面１２１から離れるように移動する。例えば、外力Ｆ_４は、ロック機構４５０Ａをロック解除位置に動かしたい人によって加えられる。

このように、可撓性拡張部４６０Ａのアーム４６２Ａ，４６４Ａの大きさおよび位置によって、ロック機構がロック位置に維持されている。例えば、タブ４６３Ａ，４６５Ａに沿った可撓性拡張部４６０Ａの幅Ｗ_４によって、ロック機構４５０Ａのロック状態からの移動が防止される。

図１６に示すように、接触面４５６Ａは、挿入可能部材１３０Ａを方向Ｄ_３に押すように構成されている。しかしながら、前述したように、一実施形態における挿入可能なタブ１３２Ａは、挿入可能部材１３０Ａから、ウエハキャリア１の外面２２から離れる方向とは異なる方向（例えば、方向Ｄ_３とは異なる方向）に延びるように構成される。このような実施形態では、ロック機構４５０Ａは、挿入可能部材１３０Ａのタブ１３２Ａが係合状態に維持されるように、挿入可能部材１３０Ａを適切な方向に押すように構成される。例えば、ロック機構４５０Ａは、突出部３０Ａと挿入可能部材１３０Ａの前面１３４Ａとの間を延び、挿入可能部材１３０Ａをウエハキャリア１の外面２２に向かって押すように構成してもよいし、方向Ｄ_１および方向Ｄ_３に垂直な方向に挿入可能部材１３０Ａを押すように構成してもよい。

ロック機構４５０Ａは、図１３～１６に示され、ＦＯＵＰ４００への適用を意図して説明されている。しかしながら、ハンドル１００Ａ、ロック機構４５０Ａおよび突出部３０Ａは、例えば、前面開閉式シッピングボックス（ＦＯＳＢ）等の他の種類のウエハキャリアに同様に適用可能である。

図１７～２１に、本開示の別の実施形態による、ウエハキャリア５００およびハンドル５１０の様々な実施形態を示す。
図１７は、本開示の別の実施形態による、ハンドル５１０およびロック機構５２０Ａ，５２０Ｂを備えたウエハキャリア５００の側面図である。ウエハキャリア５００は、前述したようにＦＯＵＰまたはＦＯＳＢ等であり、上記のウエハキャリア１と同じ特徴を多く備えている。一実施形態では、ウエハキャリア５００はＦＯＵＰである。ハンドル５１０は、特に図６Ａ～６Ｃを参照して前述したハンドル１００Ａと同じ特徴を多く備えている。簡潔にするために図示は省略するが、ウエハキャリア５００は、ハンドル５１０と同様の特徴を備えた第２のハンドルをウエハキャリア５００の反対側の側壁に備えている。

図１７に示すように、ハンドル５１０は、ウエハキャリア５０４の側壁５０６に設けられたレール５０Ａ，６０Ａと係合している。レール５０Ａ，６０Ａは、例えば、図５に最も明瞭に示される上記のレール５０Ａ，６０Ａ等である。ハンドル５１０は、ハンドル本体５１２と、ハンドル本体５１２の上端５２４に設けられた第１のロック機構５２０Ａと、ハンドル本体５１２の下端５２６に設けられた第２のロック機構５２０Ｂとを有している。各ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂは、ハンドル本体５１２の上端５２４および下端５２６にそれぞれ設けられた縦方向ガイド部５３０Ａ，５３０Ｂ内に保持されるように構成されており、縦方向ガイド部５３０Ａ，５３０内をスライドしてロック解除状態からロック状態に移行する。ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂは、保持空間５１９Ａ，５１９Ｂによってロック状態に保持される。図１７では、ロック機構５２０Ａがロック解除状態に位置し、ロック機構５２０Ｂがロック状態に位置している。

図１８Ａ～１８Ｃは、ハンドル５１０の異なる図である。図１８Ａは、ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂがロック解除状態にあるハンドル５１０を示している。図１８Ｂは、ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂを取り除いて縦方向ガイド部５３０Ａ，５３０Ｂが見える状態になっているハンドル５１０の正面図である。ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂは、縦方向ガイド部５３０Ａ，５３０Ｂ内に保持されて、ロック解除状態からロック状態へ移行する。図１８Ｃは、ハンドル５１０の側面図である。上記のハンドル１００Ａと同様に、ハンドル５１０は、レール５０Ａ，６０Ａと係合してスライドするように構成された上側突出部５８０Ａおよび下側突出部５８０Ｂを有している。上下の突出部５８０Ａ，５８０Ｂは、レール５０Ａ，６０Ａの形状と相補的な形状を有している。いくつかの実施形態では、上側突出部５８０Ａおよび下側突出部５８０Ｂは、下方に延びるＬ字状をなしてガイド部５８２Ａ，５８２Ｂを形成している。このため、レール５０Ａ，６０Ａ上での上側突出部５８０Ａおよび下側突出部５８０Ｂの保持およびスライドを容易に行える。

図１９に、ロック機構５２０Ａを単独で示す。図２０Ａは、ハンドル本体５１２の上端５２４に設けられた第１のロック機構５２０Ａの拡大図であり、図２０Ｂは、ハンドル本体５１２の下端５２６に設けられた第２のロック機構５２０Ｂの拡大図である。図２１は、ロック状態のロック機構５２０Ｂを示す断面図である。

ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂは、ウエハキャリア５００からハンドル５１０が意図せず外れることを防止するように構成されている。ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂは、ロック解除状態からロック状態に移行するときに縦方向ガイド部５３０Ａ，５３０Ｂ内でスライド可能な状態で縦方向ガイド部５３０Ａ，５３０Ｂに保持される（図１８Ｂに最も明瞭に示されている）ように構成される。図２０Ａに、ロック解除状態のロック機構５２０Ａを示す。図２０Ｂに、ロック状態のロック機構５２０Ｂを示す。

図１９に示すように、ロック機構５２０Ａは、第１の端部５５２Ａと、第２の端部５５４Ａと、第１の端部５５２Ａと第２の端部５５４Ａとの間に配置された可撓性拡張部５６０Ａとを有している。ロック機構５２０は、第１の端部５５２Ａに設けられた上規制部５６４Ａおよび下規制部５６６Ａを有している。一実施形態では、１つの上規制部５６４Ａおよび１つの下規制部５６６Ａが、ロック機構５２０Ａの各側部に沿って設けられる。一実施形態では、規制部５６６Ａのうちの１つが屈曲可能（例えば幅Ｗの方向に屈曲可能）に形成されており、ロック機構５３０Ａは、ハンドル５１０とは別に形成され、縦方向ガイド部５３０Ａとスナップ係合するように構成されている。上規制部５６４Ａおよび下規制部５６６Ａは、縦方向ガイド部５３０Ａにスナップ係合したロック機構５２０Ａの離脱を防ぐように構成される。

図２０Ａおよび２０Ｂに明瞭に示すように、ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂは、２つの規制部５６４Ａ，５６４Ｂおよび５６４Ａ，５６６Ｂと縦方向ガイド部５３０Ａ，５３０Ｂとの連係によって、ハンドル本体５１２にスライド可能に取り付けられる。上規制部５６４Ａ，５６４Ｂは、縦方向ガイド部５３０Ａ，５３０Ｂを画定している壁の上面よりも上に位置し、下規制部５６６Ａ，５６６Ｂは、縦方向ガイド部５３０Ａ，５３０Ｂを画定している壁の下面よりも下に位置し、縦方向ガイド部５３０Ａ，５３０Ｂを画定している壁がロック機構５２０Ａ，５２０Ｂの上規制部５６４Ａ，５６４Ｂと下規制部５６６Ａ，５６６Ｂとの間に位置するように、それぞれ配置されている。

可撓性拡張部５６０Ａは、加えられた力に応じて、第１の幅を有する第１の状態から、第１の幅よりも狭い第２の幅を有する第２の状態まで、中心線ｘに向かって内側に屈曲できるように構成されている。第２の状態にある可撓性拡張部５６０Ａは、ロック機構５２０Ａがロック状態に移行したときに、保持空間５１９Ａ内に収まることができる。

図２０Ｂおよび２１は、ロック状態のロック機構５２０Ｂを示す異なる図である。前述したように、ロック機構５２０Ｂは、上記のロック機構５２０Ａと同じ特徴を有している。図２０Ｂおよび図２１に示すように、可撓性拡張部５６０Ｂは、ロック機構５２０Ｂがロック状態にあるとき、保持空間５１９Ｂ内に保持される。可撓性拡張部５６０Ｂに加えられた力が解除されると、可撓性拡張部は、第２の状態から第１の状態に移行し、可撓性拡張部５６０Ｂが保持空間５１９Ｂ内に保持される。ロック機構５２０Ｂをロック状態からロック解除状態に移行させるためには、可撓性拡張部５６０Ｂに再度力を加えて第２の状態にして、保持空間５１９の幅よりも可撓性拡張部５６０Ｂの幅を狭くすることによって、取り外しが可能となる。

さらに、いくつかの実施形態では、第２の端部５５４Ａが、ロック機構５２０Ａがロック状態にあるときに、レール５０Ａに設けられた対応する開口部内に受容されて保持される大きさを有している。ロック機構５２０Ｂも同様にレール６０Ａに係合している。いくつかの実施形態では、レール６０Ａは、ロック機構５２０Ｂがロック状態にあるときに、ロック機構５２０Ｂの第２の端部を受容して保持する大きさの開口部を備えている。

図２２～２６に、本開示の別の実施形態による、ウエハキャリア６００およびハンドル６１０を示す。ウエハキャリア６００は、上記のウエハキャリア１および５００と同じ特徴を多く備えている。ウエハキャリア６００は、ＦＯＵＰまたはＦＯＳＢ等である。一実施形態では、ウエハキャリア６００はＦＯＵＰである。

図２２に示すウエハキャリア６００は、ウエハキャリア６００の側壁６０６に設けられたレール５０Ａ，６０Ａに取り付けられる前の状態で図示されているハンドル６１０を有している。図２３に、ウエハキャリア６００の側壁６０６にハンドル６１０が取り付けられた状態のウエハキャリア６００を示す。簡潔にするために図示は省略するが、ウエハキャリア６００は、ハンドル６１０と同様の特徴を備えた第２のハンドルをウエハキャリア６００の反対側の側壁に備えている。

図２３に示すように、ハンドル５１０は、ウエハキャリア６００の側壁６０６に設けられたレール５０Ａ，６０Ａと係合している。レール５０Ａ，６０Ａは、例えば、図５に最も明瞭に示される上記のレール５０Ａ，６０Ａ等である。ハンドル６１０は、ハンドル本体６１２と、ハンドル本体６１２の上端６２４に設けられた第１のロック機構５２０Ａと、ハンドル本体６１２の下端６２６に設けられた第２のロック機構６２０Ｂとを有している。ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂは、図１９を参照して詳細に説明されている。各ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂは、ハンドル本体６１２の上端６２４および下端６２６のそれぞれに設けられた縦方向ガイド部６３０Ａ，６３０Ｂ内に保持されるように構成されており、縦方向ガイド部６３０Ａ，６３０内をスライドしてロック解除状態からロック状態に移行するように構成されている。

図２２～２６に示す実施形態では、保持空間６１９Ｂおよび縦方向溝部６３０Ｂは、ハンドル本体６１２の下端６２６を通って延びる中心線ｘ２から偏位している。図１７～２１を参照して前述した実施形態では、保持空間６１９Ｂおよび縦方向溝部６３０Ｂは、ハンドル本体５１２の下端５２６を通って延びる中心線ｘ２を中心に配置されている。ロック機構５２４Ｂの第２の端部５５４Ｂは、レール６０に設けられた開口部と連係するのではなく、ロック機構５２４Ｂがロック状態にあるときにレール６０Ａの端部に当接している。これについては詳細を後述する。いくつかの例では、ハンドル６１０の上端６２４に位置する保持空間６１９Ａおよび縦方向溝部６３０Ａも、ハンドル本体の上端５２４に配置されており、ロック機構５２４Ａがロック状態にあるときに、第２の端部５５４Ａがレール５０Ａの端部に当接する。

図２４Ａ～２４Ｃは、ハンドル６１０の異なる図である。図２４Ａは、ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂがロック解除状態にあるハンドル６１０を示している。図２４Ｂは、ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂを取り除いて縦方向ガイド部６３０Ａ，６３０Ｂが見える状態になっているハンドル６１０の正面図である。ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂは、縦方向ガイド部６３０Ａ，６３０Ｂ内に保持されて、ロック解除状態からロック状態へ移行する。図２４Ｃは、ハンドル６１０の側面図である。上記のハンドル１００Ａおよび５１０と同様に、ハンドル６１０は、レール５０Ａ，６０Ａに沿って係合およびスライドするように構成された上側突出部６８０Ａおよび下側突出部６８０Ｂを有している。上下の突出部６８０Ａ，６８０Ｂは、レール５０Ａ，６０Ａの形状と相補的な形状を有している。いくつかの実施形態では、上側突出部６８０Ａおよび下側突出部６８０Ｂは、下方に延びるＬ字状をなしてガイド部６８２Ａ，６８２Ｂを形成している。このため、ハンドル６１０がウエハキャリア６００の側壁６０６に取り付けられた状態において、レール５０Ａ，６０Ａ上での上側突出部６８０Ａおよび下側突出部６８０Ｂの保持およびスライドを容易に行える。

図２５Ａおよび２５Ｂは、ロック状態のロック機構５２０Ａ，５２０Ｂを示す拡大図である。ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂは、保持空間６１９Ａ，６１９Ｂによってロック状態に保持される。可撓性拡張部５６０Ａ，５６０Ｂに加えられた力が解除されると、可撓性拡張部５６０，５６０Ｂは、第２の状態から第１の状態に移行し、可撓性拡張部５６０Ａ，５６０Ｂが保持空間６１９Ａ，６１９Ｂに保持される。ロック機構５２０Ａ，５２０Ｂをロック状態からロック解除状態に移行させるためには、可撓性拡張部５６０Ａ，５６０Ｂに再度力を加えて第２の状態にして、保持空間６１９Ａ，６１９Ｂの幅よりも可撓性拡張部５６０Ａ，５６０Ｂの幅を狭くすることによって、取り外しが可能となる。

図２６は、ハンドル本体６１２の上端６２４の部分断面図であり、ロック状態にあり、レール５０Ａと係合しているロック機構５２０Ａを示している。図２６から分かるように、可撓性拡張部５６０Ａは、保持空間６１９Ａ内に受容されて保持されており、ロック機構５２０Ａの第２の端部５５４Ａは、レール５０Ａの先端５５８に当接している。これによって、ハンドル６１０が意図せずレール５０Ａに対して後退することが防止される。

図２７～３０に、本開示の別の実施形態による、ウエハキャリア７００およびハンドル７１０を示す。ウエハキャリア７００は、上記のウエハキャリア１、５００および６００と同じ特徴を多く備えている。ウエハキャリア７００は、ＦＯＵＰまたはＦＯＳＢ等である。一実施形態では、ウエハキャリア７００はＦＯＵＰである。

図２７に示すウエハキャリア７００は、ウエハキャリア７００の側壁７０６に設けられたレール５０Ａ，６０Ａに取り付けられる前の状態で図示されているハンドル７１０を有している。図２８に、ウエハキャリア７００の側壁７６０６にハンドル７１０が取り付けられた状態のウエハキャリア７００を示す。図３０に、ハンドル７１０を単独で示す。簡潔にするために図示は省略するが、ウエハキャリア７００は、ハンドル７１０と同様の特徴を備えた第２のハンドルをウエハキャリア７００の反対側の側壁に備えている。

図２８および２９に示すように、ハンドル７１０は、ウエハキャリア７００の側壁７０６に設けられたレール５０Ａ，６０Ａと係合している。レール５０Ａ，６０Ａは、例えば、図５に最も明瞭に示される上記のレール５０Ａ，６０Ａ等である。ハンドル７１０は、ハンドル本体７１２と、ハンドル本体７１２の上端７２４に設けられた第１のロックアーム７２０Ａと、ハンドル本体７１２の下端７２６に設けられた第２のロックアーム７２０Ｂとを有している。各ロックアーム７２０Ａ，７２０の先端７６０Ａ，７６０Ｂは、各レール５０Ａ，５０Ｂの先端７５８Ａ，７５８Ｂと係合するように構成されている。いくつかの実施形態では、先端７６０Ａ，７６０Ｂは、保持力によってレール５０Ａ，６０Ａの先端７５８Ａ，７５８Ｂと係合するかえし部、掛止部または他の突出部として構成できる（図２８および２９）。

ロックアーム７２０Ａ，７２０Ｂは可撓性を有しており、ハンドル７１０がウエハキャリア７００に取り付けられるときに、キャリアの側面部から離れるように外側に屈曲されて、レール５０Ａ，６０Ａの各外面７５０上に乗せることができるように構成されている。レール５０Ａ，５０Ｂの先端７５８Ａ，７５８Ｂに到達すると、各可撓性アーム７２０Ａ，７２０Ｂが、ウエハキャリア７００の側壁７０６に向って内側に曲げ戻る。これによって、図２９に示すように、各可撓性アーム７２０Ａ，７２０Ｂの先端７６０Ａ，７６０Ｂが各レール５０Ａ，５０Ｂの先端７５８Ａ，７５８Ｂと係合して保持される。

態様：各態様１～１３は各態様１４～２３と組み合わせ可能である。
態様１．ウエハキャリア用ハンドルであって、ウエハキャリアがウエハキャリアの外面から延びている突出部を有し、突出部が、ハンドルを取り付けるための開口部を、ウエハキャリアの外面と突出部の延在部との間に画定しており、本体であって、第１の端部と、第１の端部の反対側の第２の端部と、本体の第１の端部と第２の端部との間に設けられているとともにハンドルをウエハキャリアに固定するために開口部に挿入されるように構成されている挿入可能部材であって、係合状態において挿入可能部材を開口部内に保持するタブを有している挿入可能部材と、を有する本体と、挿入可能部材に対して、ロック状態とロック解除状態との間を移動可能なロック機構であって、可撓性拡張部を有し、ロック状態において、ロック機構がタブを係合状態に維持するとともに、可撓性拡張部が、ロック機構をロック状態に維持させる位置に配置されるロック機構と、を備えたハンドル。

態様２．ハンドルが、ウエハキャリアに対して取り付けられ、非破壊的に取り外されるように構成されている、態様１に記載のハンドル。
態様３．タブが挿入可能部材の第１の側面に設けられ、ロック状態にあるとき、ロック機構が、第１の側面とは反対側の、挿入可能部材の第２の側面に沿って延びている、態様１または２に記載のハンドル。

態様４．ロック状態にあるとき、ロック機構の厚みによって、タブが係合状態に維持されている、態様１～３のいずれか１つに記載のハンドル。
態様５．ロック機構がロック状態にあるとき、可撓性拡張部の形状によって、ロック機構がロック状態に維持されている、態様１～４のいずれか１つに記載のハンドル。

態様６．可撓性拡張部は、より小さな形状または異なる位置に屈曲可能であり、可撓性拡張部をより小さな形状または異なる位置に屈曲させる外力を受けたときに、ロック機構がロック状態から移動可能となるように構成されている、態様１～５のいずれか１つに記載のハンドル。

態様７．本体が、挿入可能部材の近傍において本体に設けられたガイド部を有し、ロック機構が、ロック機構が本体にスライド可能に取り付けられるようにガイド部によって保持されている、態様１～６のいずれか１つに記載のハンドル。

態様８．挿入可能部材が、ハンドルの端部、第１の端部、またはハンドルのグリップ部と第１の端部との間に配置されている、態様１～７のいずれか１つに記載のハンドル。
態様９．本体の第１の端部から、第１の方向および第２の方向にこの順序で延びる突起をさらに備え、第１の方向は本体から離れる方向であるとともに本体の第１の端部と同一平面に位置しておらず、第２の方向は第１の方向とは異なっており、突起が、ハンドルをウエハキャリアに固定するためにウエハキャリアのレールと係合するように構成されている、態様１～８のいずれか１つに記載のハンドル。

態様１０．挿入可能部材が、本体の残りの部分に対して可撓性を有しており、タブは、挿入可能部材が屈曲することによって係合状態に移動可能である、態様１～９のいずれか１つに記載のハンドル。

態様１１．ロック機構が本体を貫通している、態様１～１０のいずれか１つに記載のハンドル。
態様１２．ロック機構が、本体の貫通穴を貫通しており、ロック状態にあるとき、可撓性拡張部によって、ロック機構の幅が、貫通穴の対応する幅よりも大きくされる、態様１～１１のいずれか１つに記載のハンドル。

態様１３．本体が、本体の第１の端部と第２の端部との間に配置されたグリップ部を有している、態様１～１２のいずれか１つに記載のハンドル。
態様１４．ウエハキャリアであって、外面と、外面から延びている突出部であって、外面と突出部の延在部との間に開口部を画定している突出部と、開口部を介して外面に取り付けられた、本体を有するハンドルであって、本体が、第１の端部と、第１の端部と反対側の第２の端部と、第１の端部と第２の端部との間に設けられているとともにハンドルを外面に固定するために開口部内を延びている挿入可能部材であって、係合状態において挿入可能部材を開口部内に保持するタブを有している挿入可能部材と、を有する、ハンドルと、挿入可能部材に対して、ロック状態とロック解除状態との間を移動可能なロック機構であって、可撓性拡張部を有し、ロック状態において、ロック機構がタブを係合状態に維持するとともに、可撓性拡張部が、ロック機構をロック状態に維持させる位置に配置されるロック機構と、を備えた、ウエハキャリア。

態様１５．ロック状態にあるとき、ロック機構が挿入可能部材と外面との間を延びており、ロック機構の厚みによって、タブが係合状態に維持されている、態様１４に記載のウエハキャリア。

態様１６．挿入可能部材が第１の方向に沿って開口部内に延びており、ロック機構の厚みが第１の方向に垂直な第２の方向に延びている、態様１４または１５に記載のウエハキャリア。

態様１７．ロック状態にあるとき、ロック機構が挿入可能部材と外面との間を延びている、態様１４～１６のいずれか１つに記載のウエハキャリア。
態様１８．挿入可能部材が第１の方向に沿って開口部に挿入され、ロック機構が第１の方向に平行な第２の方向に沿ってロック解除状態からロック状態に移動する、態様１４～１７のいずれか１つに記載のウエハキャリア。

態様１９．外面に沿って延びるレールをさらに備え、ハンドルが、本体の第１の端部から、第１の方向および第２の方向にこの順序で延びる突起をさらに有し、第１の方向は本体から離れる方向であるとともに本体の第１の端部と同一平面に位置しておらず、第２の方向は第１の方向とは異なっており、突起が、ハンドルを外面に固定するためにレールと係合する、態様１４、１５、１７および１８のいずれか１つに記載のウエハキャリア。

態様２０．ハンドルの突起が、挿入可能部材が開口部に挿入される方向と同じ方向に沿って移動されてレールと係合する、態様１９に記載のウエハキャリア。
態様２１．第１の側面部と、第１の側面部によって画定されている外面と、第１の側面部に沿って延びているハンドルとをさらに備え、突起とレールとの係合によって、ハンドルが第１の側面部に近付く方向または第１の側面部から遠ざかる方向への移動が抑制されている、態様１９または２０に記載のウエハキャリア。

態様２２．レールの内面によって画定されているスロットをさらに備え、突起がスロット内に延びている、態様１９～２１のいずれか１つに記載のウエハキャリア。
態様２３．ウエハキャリアが、前面開閉式一体型ポッドおよび前面開閉式シッピングボックスのうちのいずれか一方である、請求項１４～２２のいずれか一項に記載のウエハキャリア。

上記のいくつかの例示的な実施形態の説明によって、本明細書に添付される特許請求の範囲内でさらに別の実施形態の作成および使用が可能であることが、当業者に理解される。ここに記載される開示の多くの効果が上記の詳細な説明において記載されている。しかしながら、この開示は、多くの点で例示にすぎない。本開示の範囲を超えることなく、詳細事項、特に形状、寸法および部品の配置に関して変更を加えることができる。開示の範囲は、添付の特許請求の範囲の文言によって定義される。

Claims

ウエハキャリア用ハンドルであって、前記ウエハキャリアが該ウエハキャリアの外面から延びている突出部を有し、該突出部が、前記ハンドルを取り付けるための開口部を、前記ウエハキャリアの前記外面と前記突出部の延在部との間に画定しており、前記ハンドルが、
本体であって、
第１の端部と、該第１の端部の反対側の第２の端部と、
前記本体の前記第１の端部と前記第２の端部との間に設けられているとともに前記ハンドルを前記ウエハキャリアに固定するために前記開口部に挿入されるように構成されている、挿入可能部材であって、係合状態において当該挿入可能部材を前記開口部内に保持するタブを有している挿入可能部材と、を有する本体と、
前記挿入可能部材に対して、ロック状態とロック解除状態との間を移動可能なロック機構であって、可撓性拡張部を有し、前記ロック状態において、前記ロック機構が前記タブを前記係合状態に維持するとともに、前記可撓性拡張部が、前記ロック機構を前記ロック状態に維持させる位置に配置されるロック機構と、
前記本体の前記第１の端部から、第１の方向および第２の方向にこの順序で延びる突起と、を備え、
前記第１の方向は前記本体から離れる方向であるとともに前記本体の前記第１の端部と同一平面に位置しておらず、前記第２の方向は前記第１の方向とは異なっており、
前記突起が、前記ハンドルを前記ウエハキャリアに固定するために前記ウエハキャリアのレールと係合するように構成されている、
ハンドル。
ウエハキャリア用ハンドルであって、前記ウエハキャリアが該ウエハキャリアの外面から延びている突出部を有し、該突出部が、前記ハンドルを取り付けるための開口部を、前記ウエハキャリアの前記外面と前記突出部の延在部との間に画定しており、前記ハンドルが、
本体であって、
第１の端部と、該第１の端部の反対側の第２の端部と、
前記本体の前記第１の端部と前記第２の端部との間に設けられているとともに前記ハンドルを前記ウエハキャリアに固定するために前記開口部に挿入されるように構成されている、挿入可能部材であって、係合状態において当該挿入可能部材を前記開口部内に保持するタブを有している挿入可能部材と、を有する本体と、
前記挿入可能部材に対して、ロック状態とロック解除状態との間を移動可能なロック機構であって、可撓性拡張部を有し、前記ロック状態において、前記ロック機構が前記タブを前記係合状態に維持するとともに、前記可撓性拡張部が、前記ロック機構を前記ロック状態に維持させる位置に配置されるロック機構と、を備え、
前記ロック機構が、前記本体の貫通穴を貫通しており、前記ロック状態にあるとき、前記可撓性拡張部によって、前記ロック機構の幅が、前記貫通穴の対応する幅よりも大きくされる、
ハンドル。
前記ハンドルが、前記ウエハキャリアに対して取り付けられ、かつ、前記ウエハキャリアから非破壊的に取り外されるように構成されている、
請求項１または請求項２に記載のハンドル。
前記タブが前記挿入可能部材の第１の側面に設けられ、前記ロック状態にあるとき、前記ロック機構が、前記第１の側面とは反対側の、前記挿入可能部材の第２の側面に沿って延びている、
請求項１または請求項２に記載のハンドル。
前記可撓性拡張部は、より小さな形状または異なる位置に屈曲可能であり、前記可撓性拡張部を前記より小さな形状または異なる位置に屈曲させる外力を受けたときに、前記ロック機構が前記ロック状態から移動可能となるように構成されている、
請求項１または請求項２に記載のハンドル。
ウエハキャリアであって、
外面と、
前記外面から延びている突出部であって、前記外面と前記突出部の延在部との間に開口部を画定している突出部と、
前記開口部を介して前記外面に取り付けられた、本体を有するハンドルであって、前記本体が、
第１の端部と、該第１の端部と反対側の第２の端部と、前記第１の端部と前記第２の端部との間に設けられているとともに前記ハンドルを前記外面に固定するために前記開口部内を延びている挿入可能部材であって、係合状態において当該挿入可能部材を前記開口部内に保持するタブを有している挿入可能部材と、を有する、ハンドルと、
前記挿入可能部材に対して、ロック状態とロック解除状態との間を移動可能なロック機構であって、可撓性拡張部を有し、前記ロック状態において、前記ロック機構が前記タブを前記係合状態に維持するとともに、前記可撓性拡張部が、前記ロック機構を前記ロック状態に維持させる位置に配置される、ロック機構と、
前記外面に沿って延びているレールと、を備え、
前記ハンドルが、前記本体の前記第１の端部から、第１の方向および第２の方向にこの順序で延びる突起を有し、前記第１の方向は前記本体から離れる方向であるとともに前記本体の前記第１の端部と同一平面に位置しておらず、前記第２の方向は前記第１の方向とは異なっており、
前記突起が、前記ハンドルを前記外面に固定するために前記レールと係合する、
ウエハキャリア。