JP4335608B2 - 基板保持ケース及び基板搬送システム - Google Patents
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Description
基板保持溝は、挿入される基板の両側縁部を保持するために、中箱の対向する二つの内側面に形成されており、複数の基板を保持する場合は、中箱の各内側面に複数の基板保持溝が並列状に形成される。
基板保持溝の溝幅は、保持する基板の厚さ寸法に応じて設定されており、基板と基板保持溝との間には、所定のクリアランスが確保される。
しかしながら、基板を垂直姿勢に保持する基板保持ケースに対し、ロボットを用いて基板の挿入や引き出しを行うと、以下のような問題が発生する。
基板保持ケースをこのように構成すれば、基板を水平方向に引き出す際、横倒し姿勢の前記中箱又は前記中箱と前記外箱を任意に上下反転させることが可能になる。これにより、基板の向き(表裏)が中箱ごとに異なっていても、所望の向きで基板を引き出すことができる。
しかも、ステージは、横倒し姿勢の前記中箱又は前記中箱と前記外箱を、脚部との係合により、ステージに対して位置決めする位置決め部を備えているので、ステージに対する基板の位置を正確に規定して、ロボットのハンドリングミスを防止することができる。
まず、本発明に係る基板保持ケースの実施形態について、図1〜図5を参照して説明する。
図1は、基板保持ケースの一部切り欠き正面図、図2は、基板保持ケースの一部切欠き平面図である。
基板2としては、主表面が正方形のフォトマスクや、その材料となるフォトブランクス、サブストレートなどが挙られる。通常は、これらの基板2を中箱4に収納するとともに、この中箱4を外箱3に収納し、その後、外箱3の上部開口に蓋5を被せることにより、基板2が基板保持ケース1に密封状態で収納される。
また、蓋5の上部下面には、リテーナ7が設けられている。外箱3に蓋5を被せると、リテーナ7が基板2の上端角部に弾性的に当接することにより、基板2のがたつきが抑制されるようになっている。
本実施形態では、三枚の基板2を収納可能な基板保持ケースとしているが、これに限定されるものではなく、基板2は一枚でもよく又は三枚以外の複数枚であってもよい。
基板保持溝4bの溝幅は、保持する基板2の厚さ寸法よりも大きく設定されており、基板2と基板保持溝4bとの間には、所定のクリアランスが確保される。これにより、基板保持溝4bに対する基板2の挿入や基板2の引き出しが容易になるとともに、摩擦による基板2の損傷が抑制される。
以上の外箱3、中箱4及び蓋5を形成する材料としては、特に制限はないが、ポリプロピレン、アクリル、ポリエチレン、ポリアミド、ABSなどの各種樹脂から適宜選択することが好ましい。
図3(a)は、中箱の正面図、図3(b)は、横倒し姿勢の中箱を示す側面図である。
図1〜図3に示すように、中箱4の正面及び背面(基板2と並列する二つの外側面)には、中箱4を横倒し姿勢に支持するための脚部4cが設けられている。本実施形態では、脚部4cを正方形の突起とし、これを中箱4の正面及び背面の四隅に配しているが、脚部4cの形状や個数は、これに限定されるものではなく、適宜変更することができる。また、脚部4cは、中箱4に一体成形してもよいし、別部材として形成して中箱4に固定してもよい。
各脚部4cの突出寸法は、脚部4cで中箱4を横倒し姿勢に支持したとき、中箱4に保持される基板2が水平姿勢となるように調整されている。
図1、図2及び図4に示すように、外箱3の正面及び背面(基板2と並列する二つの外側面)には、外箱3を横倒し姿勢に支持するための脚部3bが設けられている。本実施形態では、脚部3bをL字形の突起とし、これを外箱3の正面及び背面の四隅に配しているが、脚部3bの形状や個数は、これに限定されるものではなく、適宜変更することができる。また、脚部3bは、外箱3に一体成形してもよいし、別部材として形成して外箱3に固定してもよい。
各脚部3bの突出寸法は、脚部3bで外箱3を横倒し姿勢に支持したとき、中箱4に保持される基板2が水平姿勢となるように調整されている。
しかも、この場合には、外箱3から中箱4を取り出す必要がないので、作業手順を減らし、作業効率が高められるという利点がある。
なお、本実施形態を基板搬送システムに適用する場合、基板を挿入及び/又は引き出すときに、中箱4が前後に移動しないようにするためのストッパ(係止手段)をステージ8に設けることが好ましい。
図1及び図2では省略しているが、外箱3の内側面(基板2と並列する二つの内側面)には、中箱4の脚部4cを係止する係止部3cが設けられている。本実施形態の係止部3cは、中箱4が外箱3に装着されたとき、脚部4cの側部を係止するように形成された突起であり、中箱4の前後方向のがたつきを抑える。例えば、図5(a)に示すように、各脚部4cの両側部を係止するものであっても良いし、図5(b)や図5(c)に示すように、脚部4cの一側部を係止するものであっても良い。
外箱3をこのように構成すれば、外箱3に対する中箱4の移動を規制することができるので、基板保持ケース1の搬送中に、外箱1の中で中箱4が移動したりすることがなく、振動による発塵を防止することができる。しかも、中箱4の脚部4cを利用するので、中箱4に専用の突起を設ける場合に比べ、構造を簡略化することが可能になる。
つぎに、本発明に係る基板搬送システムの実施形態について、図6及び図7を参照して説明する。
図6は、基板搬送システムを示す斜視図、図7は、ステージに位置決めされた中箱を示す側面図である。
この図に示すように、基板搬送システムは、基板2を保持する前記した外箱3とその中に収納された中箱4を有する基板保持ケース1と、中箱4が載置されるステージ8と、ステージ8に載置された中箱4から、基板2の挿入や引き出しを行うハンド部材9aを有するロボット9とを備えて構成されている。
なお、本実施形態の基板搬送システムでは、中箱4をステージ8に載置するが、中箱4が収納された外箱3をステージ8に載置する場合においても適用することができる。また、ハンド部材9aは、ロボット9が操作するのではなく、手動によって操作されるものであってもよい。
このように構成されたステージ8に中箱4を載置する場合は、脚部4cの外側角部を位置決め部8aの内側角部に係合させることにより、ステージ8に対する中箱4の位置が正確に位置決めされる。
ロボット9は、プレート状のハンド9aを有しており、その上部には、基板2を下方から受止める受け部材9bが複数設けられている。ハンド9aは、少なくとも、基板2の挿入や引き出しを行うための水平動作と、基板2の受け渡しを行うための垂直動作が可能であり、水平動作と垂直動作の組み合せで中箱4に対する基板2の挿入や引き出しが行われる。
しかも、ステージ8は、横倒し姿勢の中箱4を、脚部4cとの係合により、ステージ8に対して位置決めする位置決め部8aを備えるため、ステージ8に対して中箱4や外箱3を正確に位置決めし、ロボット9のハンドリング精度を高めることが可能になる。
また、中箱4に対する基板2の挿入や基板の引き出しをスカラ型のロボット9で行うことが可能になるため、ロボット9からの発塵が基板2に付着することを防止し、塵埃による基板2の欠陥を抑制することができる。
2 基板
3 外箱
3b 脚部
3c 係止部
4 中箱
4b 基板保持溝
4c 脚部
5 蓋
8 ステージ
8a 位置決め部
9 ロボット
9a ハンド
Claims (3)
- 開口を有する外箱と、前記外箱の内部に着脱自在に設けられる中箱とを備え、前記中箱の基板保持溝に沿って挿入される基板を保持する基板保持ケースであって、
前記中箱又は前記中箱と前記外箱の外側面に、前記中箱又は前記中箱と前記外箱を横倒し姿勢に支持する脚部が設けられ、前記中箱又は前記中箱と前記外箱を前記脚部で支持したとき、前記基板が水平姿勢となり、前記基板の水平方向の挿入及び/又は引き出しを可能とするとともに、
前記外箱の内側面に、前記中箱の前記脚部を係止する係止部を設けた
ことを特徴とする基板保持ケース。 - 前記中箱又は前記中箱と前記外箱が、前記脚部を、前記基板と並列する二つの外側面に備えることを特徴とする請求項1記載の基板保持ケース。
- 請求項1又は2に記載の基板保持ケースを用いた基板搬送システムであって、
前記中箱又は前記中箱と前記外箱が載置されるステージと、前記ステージに載置された前記中箱又は前記中箱と前記外箱に対して、前記基板の挿入及び/又は引き出しを行うロボットとを備え、
前記ステージは、横倒し姿勢の前記中箱又は前記中箱と前記外箱を、前記脚部との係合により、前記ステージに対して位置決めする位置決め部を備え、
前記ロボットは、前記ステージに横倒し姿勢で位置決めされた前記中箱又は中箱を収納した前記外箱に対して、前記基板の挿入及び/又は引き出しを行う
ことを特徴とする基板搬送システム。
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