JP5738118B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
支持部材は、容器本体の側壁に取り付けられる取付壁と、この取付壁の表面前部に取り付けられて基板の側部周縁前方を略水平に支持する第一の支持片と、取付壁の表面後部に取り付けられて基板の側部周縁後方を略水平に支持する第二の支持片とを含み、これら取付壁、第一、第二の支持片を別体とし、
第一の支持片を、取付壁の表面前部に挿入支持される挿入部と、この挿入部から容器本体の内方向に張り出す基板用の支持張り出し部とから構成し、
第二の支持片を、取付壁の表面後部に挿入支持される挿入部と、この挿入部から容器本体の後方に向かって湾曲する傾斜部と、この傾斜部に形成されて容器本体の内方向に張り出す基板用の支持張り出し部とから構成し、傾斜部を第二の支持片の側面とし、支持張り出し部を傾斜部よりも薄くしてこれら支持張り出し部と傾斜部との間には基板用の規制壁面を形成するとともに、支持張り出し部の表面に基板用の支持突起を形成し、
取付壁の表面前部の上下方向に、第一の支持片の挿入部用の挿入溝を配列形成し、取付壁の前部上下方向に、複数の挿入溝にそれぞれ挿入された第一の支持片の挿入部を貫通する第一の位置ずれ防止バーを間隔をおき並べて挿着し、
取付壁の表面後部の上下方向に、第二の支持片の挿入部用の挿入溝を配列形成するとともに、取付壁の後部上下方向に、複数の挿入溝にそれぞれ挿入された第二の支持片の挿入部を貫通する第二の位置ずれ防止バーを間隔をおき並べて挿着し、複数の第二の支持片の傾斜部先端付近には、第三の位置ずれ防止バーを貫通させて挿着し、
複数の第二の支持片の傾斜部に、基板用の挿入限度規制バーを貫通させて挿着し、この挿入限度規制バーの端部に、最上部あるいは最下部に位置する第二の支持片の傾斜部に干渉するストッパを取り付けたことを特徴としている。
また、容器本体内に支持部材を固定する固定部材を含み、この固定部材を、取付壁の上下部にそれぞれ取り付けられる複数の固定具として各固定具を容器本体内に干渉係止可能とすることができる。
また、取付壁の複数の挿入溝に第一、第二の支持片をそれぞれ挿入してその脱落を防ぐので、これらの組み立ての円滑化、迅速化、容易化等を図ることができる。また、複数の第一、第二の位置ずれ防止バーと第三の位置ずれ防止バーにより、第一、第二の支持片が回転等するのを防止することができる。また、第一の位置ずれ防止バーにより、複数の第一の支持片を適切に位置合わせして高精度に整列保持し、第二、第三の位置ずれ防止バーにより、複数の第二の支持片を適切に位置合わせして高精度に整列保持することができるので、これらに支持される基板の位置精度を向上させることが可能になる。
また、複数の第二の支持片の規制孔に挿入限度規制バーを挿入して固定することができるので、複数の第二の支持片間の隙間や段差等が基板に干渉するのを防止することができ、円滑な基板の出し入れが期待できる。さらに、挿入限度規制バーのストッパが第二の支持片の傾斜部に干渉するので、第二の支持片から挿入限度規制バーが抜け落ちたり、安易に回転するのを防止することが可能になる。
2 正面
3 側壁
7 リム部
9 位置決め嵌合レール
11 蓋体
17 施錠機構
30 支持部材
31 取付壁
32 位置決め溝
33 螺子ボス
34 挿入溝
34A 挿入溝
35 貫通孔
35A 貫通孔
36 第一の位置ずれ防止バー
36A 第二の位置ずれ防止バー
36B 第三の位置ずれ防止バー
39 第一の支持片
40 挿入部
41 挿通孔
42 支持張り出し部
43 端部
44 支持突起
45 第二の支持片
46 挿入部
47 連結部
48 挿通孔
49 傾斜部
50 挿通孔
51 規制孔
52 挿入限度規制バー
53 キャップ
54 ストッパ
55 切り欠き
56 支持張り出し部
57 規制壁面
58 支持突起
59 補助片
60 固定部材
61 固定具
62 締結具
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (2)
- 基板を収納可能なフロントオープンボックスの容器本体に、基板を支持する支持部材を固定した基板収納容器であって、
支持部材は、容器本体の側壁に取り付けられる取付壁と、この取付壁の表面前部に取り付けられて基板の側部周縁前方を略水平に支持する第一の支持片と、取付壁の表面後部に取り付けられて基板の側部周縁後方を略水平に支持する第二の支持片とを含み、これら取付壁、第一、第二の支持片を別体とし、
第一の支持片を、取付壁の表面前部に挿入支持される挿入部と、この挿入部から容器本体の内方向に張り出す基板用の支持張り出し部とから構成し、
第二の支持片を、取付壁の表面後部に挿入支持される挿入部と、この挿入部から容器本体の後方に向かって湾曲する傾斜部と、この傾斜部に形成されて容器本体の内方向に張り出す基板用の支持張り出し部とから構成し、傾斜部を第二の支持片の側面とし、支持張り出し部を傾斜部よりも薄くしてこれら支持張り出し部と傾斜部との間には基板用の規制壁面を形成するとともに、支持張り出し部の表面に基板用の支持突起を形成し、
取付壁の表面前部の上下方向に、第一の支持片の挿入部用の挿入溝を配列形成し、取付壁の前部上下方向に、複数の挿入溝にそれぞれ挿入された第一の支持片の挿入部を貫通する第一の位置ずれ防止バーを間隔をおき並べて挿着し、
取付壁の表面後部の上下方向に、第二の支持片の挿入部用の挿入溝を配列形成するとともに、取付壁の後部上下方向に、複数の挿入溝にそれぞれ挿入された第二の支持片の挿入部を貫通する第二の位置ずれ防止バーを間隔をおき並べて挿着し、複数の第二の支持片の傾斜部先端付近には、第三の位置ずれ防止バーを貫通させて挿着し、
複数の第二の支持片の傾斜部に、基板用の挿入限度規制バーを貫通させて挿着し、この挿入限度規制バーの端部に、最上部あるいは最下部に位置する第二の支持片の傾斜部に干渉するストッパを取り付けたことを特徴とする基板収納容器。 - 第一の支持片の支持張り出し部を平面略山形に形成してその容器本体の最も内方向に位置する端部表面付近には基板用の支持突起を形成し、第一の支持片の挿入部の幅をL1とし、挿入部と支持張り出し部との境界から支持突起までの長さをL2とした場合に、L1をL2の1/8〜1/3とした請求項1記載の基板収納容器。
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