JP2013038200A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェーハを収納可能な容器本体に、半導体ウェーハを支持する支持部材30を固定部材60を介して内蔵固定した基板収納容器であり、支持部材30を、容器本体の側壁に装着される取付壁31と、取付壁31の表面前部に配設されて半導体ウェーハの側部周縁前方を水平に支持する複数の第一の支持片39と、取付壁31の表面後部に配設されて半導体ウェーハの側部周縁後方を水平に支持する複数の第二の支持片45とから構成し、取付壁31、第一、第二の支持片39・45を別体とする。第一の支持片39を、取付壁31の表面前部に挿入支持される挿入部40と、挿入部40から容器本体の内方向に張り出す半導体ウェーハ用の支持張り出し部42とから構成する。
【選択図】図5
Description
支持部材は、容器本体の側壁に取り付けられる取付壁と、この取付壁の表面前部に取り付けられて基板の側部周縁前方を略水平に支持する第一の支持片と、取付壁の表面後部に取り付けられて基板の側部周縁後方を略水平に支持する第二の支持片とを含み、これら取付壁、第一、第二の支持片を別体とし、第一の支持片を、取付壁の表面前部に挿入支持される挿入部と、この挿入部から容器本体の内方向に張り出す基板用の支持張り出し部とから構成したことを特徴としている。
また、容器本体内に支持部材を固定する固定部材を含み、この固定部材を、取付壁の上下部にそれぞれ取り付けられる複数の固定具として各固定具を容器本体内に干渉係止可能とすることができる。
取付壁の表面後部の上下方向に、第二の支持片の挿入部用の挿入溝を配列形成するとともに、取付壁の後部上下方向に、複数の挿入溝にそれぞれ挿入された第二の支持片の挿入部を貫通する第二の位置ずれ防止バーを間隔をおき並べて挿着し、複数の第二の支持片の傾斜部先端付近には、第三の位置ずれ防止バーを貫通させて挿着することが可能である。
さらに、支持部材は、取付壁に取り付けられる補助片を含み、この補助片を第一、第二の支持片の間に介在させ、かつ基板の側部周縁に隙間をおいて下方から対向させることが好ましい。
2 正面
3 側壁
7 リム部
9 位置決め嵌合レール
11 蓋体
17 施錠機構
30 支持部材
31 取付壁
32 位置決め溝
33 螺子ボス
34 挿入溝
34A 挿入溝
35 貫通孔
35A 貫通孔
36 第一の位置ずれ防止バー
36A 第二の位置ずれ防止バー
36B 第三の位置ずれ防止バー
39 第一の支持片
40 挿入部
41 挿通孔
42 支持張り出し部
43 端部
44 支持突起
45 第二の支持片
46 挿入部
47 連結部
48 挿通孔
49 傾斜部
50 挿通孔
51 規制孔
52 挿入限度規制バー
53 キャップ
54 ストッパ
55 切り欠き
56 支持張り出し部
57 規制壁面
58 支持突起
59 補助片
60 固定部材
61 固定具
62 締結具
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (5)
- 基板を収納可能なフロントオープンボックスの容器本体に、基板を支持する支持部材を固定した基板収納容器であって、
支持部材は、容器本体の側壁に取り付けられる取付壁と、この取付壁の表面前部に取り付けられて基板の側部周縁前方を略水平に支持する第一の支持片と、取付壁の表面後部に取り付けられて基板の側部周縁後方を略水平に支持する第二の支持片とを含み、これら取付壁、第一、第二の支持片を別体とし、第一の支持片を、取付壁の表面前部に挿入支持される挿入部と、この挿入部から容器本体の内方向に張り出す基板用の支持張り出し部とから構成したことを特徴とする基板収納容器。 - 第一の支持片の支持張り出し部を平面略山形に形成してその容器本体の最も内方向に位置する端部表面付近には基板用の支持突起を形成し、第一の支持片の挿入部の幅をL1とし、挿入部と支持張り出し部との境界から支持突起までの長さをL2とした場合に、L1をL2の1/8〜1/3とした請求項1記載の基板収納容器。
- 支持部材の第二の支持片を、取付壁の表面後部に挿入支持される挿入部と、この挿入部から容器本体の後方に傾斜する傾斜部と、この傾斜部に形成されて容器本体の内方向に張り出す基板用の支持張り出し部とから構成し、この支持張り出し部を傾斜部よりも薄くしてこれら支持張り出し部と傾斜部との間には基板用の規制壁面を形成し、支持張り出し部の表面に基板用の支持突起を形成した請求項1又は2記載の基板収納容器。
- 取付壁の表面前部の上下方向に、第一の支持片の挿入部用の挿入溝を配列形成し、取付壁の前部上下方向に、複数の挿入溝にそれぞれ挿入された第一の支持片の挿入部を貫通する第一の位置ずれ防止バーを間隔をおき並べて挿着し、
取付壁の表面後部の上下方向に、第二の支持片の挿入部用の挿入溝を配列形成するとともに、取付壁の後部上下方向に、複数の挿入溝にそれぞれ挿入された第二の支持片の挿入部を貫通する第二の位置ずれ防止バーを間隔をおき並べて挿着し、複数の第二の支持片の傾斜部先端付近には、第三の位置ずれ防止バーを貫通させて挿着した請求項3記載の基板収納容器。 - 複数の第二の支持片の傾斜部に、基板用の挿入限度規制バーを貫通させて挿着し、この挿入限度規制バーの端部に、最上部あるいは最下部に位置する第二の支持片の傾斜部に干渉するストッパを取り付けた請求項4記載の基板収納容器。
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