CN108028216A - 互锁模块化衬底支撑柱 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于衬底容器的衬底支撑组合件。所述组合件可包含一对衬底支撑柱，其各自包含多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆。每一架部件可包含叶片部分，其具有第一及第二相对表面以及内及外周边。所述叶片部分的每一表面可包含肋结构及定位成朝向所述外周边且从所述叶片部分的前向部分延伸到后向部分的多个轴套。互锁特征部可界定于所述肋结构上。所述架部件的所述堆叠可包含经由所述肋结构与一或多个相邻架部件堆叠的每一架部件，借此经由所述互锁特征部互锁每一架部件与所述一或多个相邻架部件。

Description

互锁模块化衬底支撑柱

相关申请案

本申请案主张2015年8月25日申请的第62/209,771号美国临时申请案及2015年12月21日申请的第62/270,388号美国临时申请案的优先权，所述申请案的揭示内容的全文以引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及半导体处理设备，且更明确来说，涉及用于半导体衬底的容器。

背景技术

随着对更小、更低成本且高性能的半导体装置的需求的增加，对更小的且更薄的集成电路的需求增加。为实现这些较小集成电路，可在集成电路制造工艺中使用薄半导体衬底或晶片。

在将晶片处理成集成电路的各个点处，将晶片固定于衬底容器中。这些衬底容器可在晶片的下部及晶片的外周边处水平地支撑晶片。然而，随着晶片变得更薄，其趋于在定位于此类衬底容器中时越来越松垂，这是归因于重力对越来越薄的晶片结构的影响。此松垂增大将晶片支撑于衬底容器中的难度且因此增大在处理期间损坏晶片的风险。此外，晶片的额外松垂可产生与用于处置晶片的自动化过程的互操作性问题。因此，可期望一种用于处置薄衬底的改进的衬底容器。

发明内容

本发明的各种实施例可安装于各种类型的衬底容器中。例如，本发明的一些实施例包含具有偏离安装位置的安装支架，所述偏离安装位置调适支撑柱以安装于包含自然地未与SEMI标准晶片凹穴尺寸对准的附接位置的衬底容器内。这是与(例如在450mm衬底容器中)其中安装位置与每一组装杆的中心轴简单重合的先前设计不同的方法。第8,919,563号美国专利中阐释具有可堆叠晶片架的450mm衬底容器的概念，所述专利为本申请案的拥有者所拥有且其全文以引用的方式并入本文中，唯其中所含的专利权利要求书及表达定义除外。

本发明的实施例涉及一种用于将薄衬底支撑于衬底容器中的衬底支撑组合件。在各种实施例中，所述衬底支撑组合件包含一对模块化支撑柱，所述对模块化支撑柱各自包含堆叠在一起且由多个支撑杆以及上及下安装支架固定于适当位置中的多个个别架部件。在各种实施例中，所述支撑杆中的每一者插入通过所述堆叠架部件以对所述支撑柱提供结构支撑。所述上及下安装支架附接到所述支撑柱中的每一者的顶部及底部以将所述支撑柱安装于所述衬底容器内。

各种实施例提供一种用于将薄衬底储存于各种类型的衬底容器中的具成本效益的且可配置的模块化设计。例如，本发明的实施例包含模块化支撑柱，通过堆叠多个个别模制架部件以产生多件式衬底支撑件而组装所述模块化支撑柱。在各种实施例中，所述个别架部件中的每一者是相同的，使用相同设计构造而成。此外，在特定实施例中，所述架部件中的每一者是正反两用的。因而，相同设计可用于组装衬底支撑组合件的两侧。另外，每一支撑柱中的架或狭槽的数目在组装期间可容易基于组合件中所使用的架部件的数目而变化。

因此，制造的复杂性降低，而取代包含具有相异左侧设计及右侧设计的多个整体架的衬底支撑结构的常规设计。此外，常规设计必须解决射出模制具有适于支撑薄衬底的深肋架的整体支撑结构的实际限制。另外，常规设计具高制造成本，这是归因于对此产品预期的更低体积需求及生产射出模具的高成本。

根据一或多个实施例，衬底支撑组合件包含一对衬底支撑柱，所述对衬底支撑柱各自包含多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆。每一架部件可包含具有第一及第二相对表面及从前向部分延伸到后向部分的一对纵长边缘的叶片部分。所述对纵长边缘可界定所述叶片部分的外周边及内周边。

在各种实施例中，所述叶片部分包含从所述第一表面延伸的第一肋结构及从所述第二表面延伸的第二肋结构。所述第一肋结构及所述第二肋结构可定位成朝向所述叶片部分的所述外周边且从所述前向部分延伸到所述后向部分。在一些实施例中，所述叶片部分包含从所述第一表面延伸的第一多个轴套及从所述第二表面延伸的第二多个轴套。所述第一多个轴套及所述第二多个轴套可定位成朝向所述外周边且可各自包含定位于所述前向部分处的前向轴套及定位于所述后向部分处的后向轴套。在一或多个实施例中，所述前向轴套及所述后向轴套界定通过所述架部件的多个孔口。

在特定实施例中，所述叶片部分包含界定于所述第一肋结构的边缘上的第一群组的互锁特征部及界定于所述第二肋结构的边缘上的第二群组的互锁特征部。所述第一群组的互锁特征部可包含突出部且所述第二群组的互锁特征部可包含对应凹部以在所述第一群组与所述第二群组的互锁特征部之间互补地互锁。

在一或多个实施例中，所述多个架部件的所述堆叠包含经由所述第一肋结构及所述第二肋结构中的至少一者与一或多个相邻架部件堆叠的所述架部件中的每一者。在各种实施例中，所述堆叠借此经由所述第一群组及所述第二群组的互锁特征部的至少一个群组互锁每一架部件与所述一或多个相邻架部件。在一些实施例中，所述堆叠借此对准所述多个架部件的所述孔口且界定通过所述堆叠的多个通道以插入所述支撑杆。

上述发明内容并不希望描述本发明的每一经说明实施例或每一个实施方案。

附图说明

本申请案中所包含的图式并入到本说明书中且形成本说明书的部分。所述图式说明本发明的实施例且连同描述一起用来说明本发明的原理。所述图式仅说明特定实施例且不限制本发明。

图1描绘根据本发明的一或多个实施例的包含衬底支撑组合件的衬底容器。

图2描绘根据本发明的一或多个实施例的一对互补衬底支撑柱的透视图。

图3描绘根据本发明的一或多个实施例的架部件的透视图。

图4描绘根据本发明的一或多个实施例的架部件的第一平面图。

图5描绘根据本发明的一或多个实施例的图4的架部件的第二平面图。

图6描绘根据本发明的一或多个实施例的图4的架部件的侧视图。

图7A到7F描绘本发明的一或多个实施例的图4的架部件的部分视图。

图8描绘根据本发明的一或多个实施例的衬底支撑柱的分解图。

图9描绘根据本发明的一或多个实施例的多个架部件的透视图。

图10描绘根据本发明的一或多个实施例的架部件堆叠的侧视图。

图11描绘在图10的线11-11处取得的横截面视图。

图12描绘在图10的线12-12处取得的横截面视图。

图13描绘根据本发明的一或多个实施例的上支架的透视图。

图14A到14B描绘根据本发明的一或多个实施例的下支架的平面图。

图15A描绘根据本发明的一或多个实施例的衬底容器的前视图。

图15B描绘在图15A的线B-B处取得的横截面视图。

图15C描绘在图15C的线C-C处取得的横截面视图。

图16A描绘根据本发明的一或多个实施例的衬底容器中的上支架以及榫槽(tongue and groove)特征部的横截面视图。

图16B描绘根据本发明的一或多个实施例的衬底容器中的衬底架及榫槽特征部的横截面视图。

虽然本发明的实施例可有各种修改及替代形式，但其具体形式已通过实例展示于图式中并将作详细描述。然而，应了解，并不希望将本发明限制于所描述的特定实施例。反之，希望涵盖落于本发明的精神及范围内的全部修改、等效及替代。

具体实施方式

参考图1，描绘根据本发明的实施例的用于储存多个衬底的衬底容器30。如本文中所使用，多个衬底包含于半导体、印刷电路板、平板显示器及类似者的制造中使用的衬底或晶片。在特定实施例中，衬底容器30包含两个相对侧部分34、顶部部分36、底板38及背部部分42。侧部分34、顶部部分36、背部部分42及底板界定衬底容器30的内部43。衬底容器30的前部分44包含门框46，其界定门开口48以插入且移除衬底32。门52经调适以密封且遮盖门开口48。衬底容器30的门开口48位于面部基准面(facial datum plane)或包含轴54的Z-Y平面中，且平行于由Z轴指示的垂直或向上方向。在各种实施例中，衬底容器30的特征为含有微环境。

在特定实施例中，衬底容器30进一步包含定位于底板38下方的输送板56。在各种实施例中，输送板56经安装到衬底容器30的底部以在各个衬底处理步骤期间对衬底容器30进行基于机器的定位及对准。

在一或多个实施例中，衬底支撑组合件66(包含一对衬底支撑柱68、69)安置于衬底容器30内。在特定实施例中，支撑柱68、69中的每一者靠近侧部分34的相应一者。所述对支撑柱68、69各自包含经对准以界定多个狭槽的多个架部件70。支撑柱68、69中的每一者经隔开使得衬底(例如衬底32)可由多个架部件70支撑于支撑柱68与支撑柱69之间。

参考图2到8，描绘根据本发明的实施例的所述对衬底支撑柱68、69。在所描绘的实施例中，衬底支撑柱68、69包含多个堆叠架部件70，其由延伸通过所述堆叠架部件70的多个支撑杆82(图8)固定在一起。上支架86及下支架90、帽94及紧固件98可附接到支撑杆82。在一或多个实施例中，支撑柱68、69中的每一者包含具有面向上表面100的最顶部架部件99及具有面向下表面103的最底部架部件101。

在各种实施例中，架部件70各自包含叶片部分102以及多个肋结构106及轴套110。在一或多个实施例中，架部件70经由堆叠叶片部分102产生上及下边界以约束Z方向上的衬底移动，且经由肋结构106及轴套110产生侧边界以约束X-Y平面中的衬底移动。在特定实施例中，每一相邻架部件70之间的距离等于衬底节距。在一些实施例中，每一相邻架部件70之间的距离是20毫米(mm)。在特定实施例中，每一相邻架部件之间的距离是10mm。在一或多个实施例中，每一相邻架部件70之间的距离在10mm到20mm的范围内。在各种实施例中，每一架部件之间的距离可按用户需求而变化。在特定实施例中，叶片部分102大致平行于水平基准面。在一些实施例中，叶片部分102设置为与水平基准面成角度以帮助衬底保持在支撑柱68、69中。例如，在一些实施例中，叶片部分102设置为倾斜朝向衬底容器30的背部42(图1)的角度。在一些实施例中，所述角度偏离水平基准面介于一度到四度之间。

在各种实施例中，面向上表面100的轴套110连接到上支架86且面向下表面103的轴套110连接到下支架90。在一或多个实施例中，多个堆叠架部件70，支架86、90及帽94中的每一者是个别组件。在一些实施例中，最顶部架部件99及上支架86是整体结构。类似地，在特定实施例中，且最底部架部件及下支架90是整体结构。在各种实施例中，架部件70设计成具有镜像结构，使得相同架部件70可用来组装左支撑柱69及右支撑柱69两者。例如，架部件70可简单旋转或翻转以配置架部件70而用作左侧或右侧架。

在各种实施例中，架部件70可使用各种材料构造而成，所述材料包含但不限于：聚合物、弹性体、金属或其它适合材料。可使用各种适合模制工艺来射出模制、插入模制、包覆模制或制造所述部件。

如图3到6中所描绘，叶片部分102可具有包含第一及第二相对表面114、118以及从前向部分126延伸到后向部分130的纵长边缘122的大致平面形状。在各种实施例中，纵长边缘122界定外周边134及内周边138。在各种实施例中，外及内周边134、138是弯曲的或弧形的，其具有大体上与衬底容器30的内部侧壁34(图1)贴合的形状。在一些实施例中，叶片部分102在第一及第二表面114、118上额外包含垫片或凸块(未描绘)以将衬底与叶片表面114、118隔开。

在一或多个实施例中，架部件中的每一者包含多个轴套110及肋结构106。例如，叶片部分102可具有从第一表面114延伸的第一群组的轴套142及从第二表面118延伸的第二群组的轴套146(图4及5)。

在各种实施例中，多个轴套110是定位于沿叶片部分102的外周边134的各个位置处的圆形立柱(stud)或突起物。例如，在一些实施例中，叶片部分102包含定位于前向部分126处的前向轴套150及定位于后向部分130处的后向轴套154。在特定实施例中，第一群组及第二群组的轴套142、146各自包含定位于前向轴套150与后向轴套154之间且沿外周边134的一或多个中间轴套158。

在各种实施例中，多个轴套110中的每一者界定通过架部件70的孔口162。例如，第一及第二表面114、118上的前向轴套150界定前向部分134处的孔口162。类似地，第一及第二表面114、118上的后向轴套154界定后向部分130处的孔口162。

在一或多个实施例中，架部件70的肋结构106包含从第一表面114延伸的第一肋结构166及从第二表面118延伸的第二肋结构170。因此，肋结构106是第一及第二表面114、118上的材料的凸起肋或部分。

在一或多个实施例中，第一及第二肋结构166、170靠近外周边134从前向部分126延伸到后向部分130。在一些实施例中，肋结构106延伸于架部件70中的多个轴套110中的每一者之间。例如，在图3中描绘，肋结构106可包含延伸于前向轴套150与中间轴套158之间的第一部分174及延伸于中间轴套158与后向轴套154之间的第二部分178。

在一些实施例中，架部件70包含一对准特征部182。在各种实施例中，对准特征部182是从第一及第二表面114、118延伸的材料的凸起肋。对准特征部182可定位于肋结构106与外周边134之间。在一些实施例中，对准特征部182大体上定位成朝向叶片部分102的后向部分130。在一些实施例中，对准特征部182与衬底容器30(图1)的结构元件(例如榫槽特征部)接合以将支撑柱68、69对准于容器30内。

在一或多个实施例中，架部件70包含从叶片部分102的第一及第二表面114、118延伸的互锁特征部186。例如，第一群组190的互锁特征部186可从第一表面114延伸经过第一肋结构166及第一群组142的轴套110。类似地，第二群组194的互锁特征部186可从第二表面118延伸经过第二肋结构170及第二群组146的轴套110。

至少在图6到7F中描绘，在各种实施例中，第一及第二群组190、194的互锁特征部186彼此互补，其经配置以通过与突出部及对应凹部重叠或配合在一起而配接或配合在一起。例如，在图7A到7C中，描绘第一群组190的互锁特征部186。第一群组190包含从第一肋结构166及第一群组的轴套142延伸的多个突出部198。例如，第一肋结构166包含从第一肋结构166的边缘202延伸的多个肋形突出部198。第一群组的轴套142包含围绕孔口162的环形突出部198。

类似地，如图7D到7F中所描绘，第二群组194的互锁特征部186包含具有与第一群组190的互锁特征部186中的多个突出部198的形状相对应的形状的多个凹部206。例如，第二肋结构170在第二肋结构170的边缘202中包含多个肋形凹部206。第二群组的轴套146包含围绕孔口162的环形凹部206。在一或多个实施例中，互锁肋结构166、170抵抗个别架部件70之间的横向移动。

参考图8到12，在组装时，多个架部件70可相互堆叠以形成支撑柱68、69(图2)。在一些实施例中，每一架部件70堆叠到多个支撑杆82上。在特定实施例中，一旦架部件70经堆叠，支撑杆82便可经由轴套110中的每一者中的孔口162插入通过所述堆叠。在各种实施例中，到支撑杆82的配合可为间隙配合、滑动配合或压入配合，这取决于杆82及架部件70的结构相互作用。在各种实施例中，支撑杆82可使用紧固件98连接到上及下安装支架86、90及帽94，以将架部件70的堆叠固定在一起，借此形成支撑柱68。还预期其中不利用支撑杆的实施例，其中形成于轴套110之间的接头提供足够结构完整性。

如先前描述，架部件70中的每一者是彼此的镜像，其在第一及第二表面114、118上具有肋结构106及轴套110的大致相同定位。例如，为形成“左”支撑柱68，架部件70经堆叠而使第一表面114面向上且第二表面118面向下。相反地，为形成“右”支撑柱69(图2)，架部件70经堆叠而使第二表面118面向上且第一表面114面向下。

在图9到12中描绘，第一架部件222及第二架部件226直接布置于彼此上方。架部件222、226中的每一者经定向以用作左支撑柱68中的架。因而，第二架部件226的第一群组的轴套142及第一肋结构166布置于第一架部件122的第二群组的轴套146及第二肋结构170下面。因为将第一及第二架部件222、226放置在一起，所以架部件222、226的互锁特征部186配合在一起，借此形成一个双架堆叠230，在图10中描绘。

第一群组142的轴套110的环形突出部198配合于第二群组146的轴套110的凹部206内，而将两者以图11中所描绘的互锁关系配合在一起。类似地，第一及第二肋结构166、170的突出部198及凹部206如图12中描绘那样配合在一起。

参考图13，描绘根据本发明的一或多个实施例的上支架86。上支架86可包含具有面向上表面238及面向下表面242的主体部分234。上支架86可包含面向下表面242上的支撑杆入口246以接纳支撑杆82，且包含面向上表面238中的孔口250以经由插入于孔口250中的紧固件98将支撑杆82及上支架86固定在一起。

另外，上支架86可包含从面向上表面延伸的对准特征部254。在一或多个实施例中，对准特征部254是从表面238向上延伸的材料的细长肋。在各种实施例中，对准特征部254可与衬底容器30(图1)的结构元件(例如榫槽特征部)接合以在安装于容器30内时对准支撑柱68、69。

参考图14A到14B，描绘根据一或多个实施例的下支架90。在一或多个实施例中，下支架90包含前向支架91及后向支架92。前向支架91可包含支撑杆入口258以接纳支撑杆82。在特定实施例中，支撑杆82通过各种方法而固持于适当位置中，所述方法包含但不限于：压入配合、粘合或螺合配合。前向支架91可包含使安装部分266从支撑杆入口258偏离的偏离部分262。在各种实施例中，安装部分266有螺纹以接纳紧固件98。类似地，后向支架92可包含一对支撑杆入口270、274及将支撑杆入口270、274连接到安装入口286的偏离部分278、282。

参考图15A到16B，在组装时，支撑柱68、69可插入到衬底容器30的内部43中。图15B到15C中所描绘，支撑柱68、69中的每一者可经由下支架90安装于内部43中。输送板56及底板38可包含各种安装位置290以将紧固件98插入到下支架90中的每一者中的安装部分266中。在特定实施例中，这些安装点290可放置于容器30的标准化位置中且下支架90中的每一者调适支撑柱68、69以安装到容器30的内部内的现有安装位置290。因而，下支架90中的每一者经由偏离部分262、278、282将支撑柱68、69的支撑杆82连接到各个安装位置290，在图14A到14B中描述。

对于图16A到16B的所描绘实施例，在组装时，因为经预组装支撑柱68、69向后插入到容器中，所以上支架86的对准特征部254及架部件70的对准特征部254与从顶部部分36的内部延伸的前向槽特征部300(图16A)及从衬底容器30的内部表面308延伸的后向槽特征部304(图16B)接合。因此，因为支撑柱68、69经插入，所以对准特征部254、182将支撑柱68、66中的每一者导引到用于将下支架90附接到衬底容器30的底板38的位置中。

已出于说明的目的而呈现本发明的各种实施例的描述，但所述描述并不希望为详尽的或限于所揭示的实施例。在不脱离所描述实施例的范围及精神的情况下，所属领域的一般技术人员将明白许多修改及变化。本文中使用的术语经选取以说明实施例的原理、实际应用或优于市场上发现的技术的技术改进，或使所属领域的一般技术人员能够理解本文中揭示的实施例。

Claims (20)

1.一种衬底支撑组合件，其包括：

一对衬底支撑柱，其各自包含多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆，每一架部件包含叶片部分，所述叶片部分具有第一及第二相对表面及从所述叶片部分的前向部分延伸到后向部分且界定所述叶片部分的外周边及内周边的一对纵长边缘，所述叶片部分包含：

从所述第一表面延伸的第一肋结构及从所述第二表面延伸的第二肋结构，所述第一肋结构及所述第二肋结构定位成靠近所述外周边且从所述前向部分延伸到所述后向部分；

从所述第一表面延伸的第一多个轴套及从所述第二表面延伸的第二多个轴套，所述第一多个轴套及所述第二多个轴套定位成靠近所述外周边且各自包含定位于所述前向部分处的前向轴套及定位于所述后向部分处的后向轴套，所述前向轴套及所述后向轴套界定通过所述架部件的孔口；及

界定于所述第一肋结构的边缘上的第一群组的互锁特征部及界定于所述第二肋结构的边缘上的第二群组的互锁特征部，所述第一群组的互锁特征部包含突出部且所述第二群组的互锁特征部包含对应凹部以在所述多个架部件的相邻架部件之间互补地互锁；

其中所述多个架部件的所述堆叠包含经由所述第一肋结构及所述第二肋结构中的至少一者与一或多个相邻架部件堆叠的所述架部件中的每一者，借此经由所述第一群组及所述第二群组的互锁特征部的至少一个群组互锁所述多个架部件的每一架部件与所述一或多个相邻架部件，所述多个架部件的所述孔口经对准且界定通过所述堆叠的多个通道以供插入所述多个支撑杆。

2.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：

所述第一肋结构延伸于所述第一多个轴套的所述前向轴套与所述后向轴套之间，且所述第二肋结构延伸于所述第二多个轴套的所述前向轴套与所述后向轴套之间。

3.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：

所述叶片部分进一步包含界定于所述第一表面上的对准特征部及界定于所述第二表面上的第二对准特征部，所述第一对准特征部及所述第二对准特征部定位成靠近所述外周边且包含从所述第一表面及所述第二表面延伸以与衬底容器中的槽接合而对准所述支撑柱的肋。

4.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：

所述堆叠包含具有所述第一表面及所述第二表面的面向上表面的最顶部架部件；及

所述堆叠包含连接到所述面向上表面的所述前向轴套的上支架，所述上支架包含主体部分及从所述主体部分向上延伸的对准特征部，所述对准特征部包含用于与衬底容器中的槽接合以对准所述支撑柱的肋。

5.根据权利要求4所述的衬底支撑组合件，其中：

所述最顶部架部件及所述上支架是整体结构。

6.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：

所述堆叠包含具有所述第一表面及所述第二表面的面向下表面的最底部架部件；及

所述堆叠包含连接到所述面向下表面的所述前向轴套的第一下支架及连接到所述面向下表面的所述后向轴套的第二下支架，所述第一下支架及所述第二下支架包含：支撑杆入口，其连接到所述多个支撑杆中的一者的端；安装部分，其用于连接到衬底容器的底板；及偏离部分，其使所述安装部分从所述支撑杆入口偏离。

7.根据权利要求6所述的衬底支撑组合件，其中：

所述最底部架部件以及所述第一下支架及所述第二下支架是整体结构。

8.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：

所述第一多个轴套及所述第二多个轴套各自包含定位于所述前向轴套与所述后向轴套之间的中间轴套，所述中间轴套界定通过所述架部件的孔口。

9.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：

所述多个架部件的每一侧是彼此的镜像。

10.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：

所述多个架部件中的每一者是个别模制件。

11.一种衬底容器，其包括：

容器部分，其包含两个相对侧壁、背部侧壁、顶部侧壁及底板，所述容器部分在所述衬底容器的前部分中界定到用于容纳衬底的内部的开口，所述容器部分安装于输送板上；

门，其经配置以遮盖且密封由所述容器部分界定的所述开口；及

一对衬底支撑柱，其安装于所述内部以支撑衬底，所述对衬底支撑柱各自包含多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆，每一架部件包含叶片部分，所述叶片部分具有第一及第二相对表面及从前向部分延伸到后向部分且界定外周边及内周边的一对纵长边缘，所述叶片部分包含：

从所述第一表面延伸的第一肋结构及从所述第二表面延伸的第二肋结构，所述第一肋结构及所述第二肋结构定位成靠近所述外周边且从所述前向部分延伸到所述后向部分；

从所述第一表面延伸的第一多个轴套及从所述第二表面延伸的第二多个轴套，所述第一多个轴套及所述第二多个轴套定位成靠近所述外周边且各自包含定位于所述前向部分处的前向轴套及定位于所述后向部分处的后向轴套，所述前向轴套及所述后向轴套界定通过所述架部件的孔口；及

界定于所述第一肋结构的边缘上的第一群组的互锁特征部及界定于所述第二肋结构的边缘上的第二群组的互锁特征部，所述第一群组的互锁特征部包含突出部且所述第二群组的互锁特征部包含对应凹部以在所述两者之间互补地互锁；

其中所述多个架部件的所述堆叠包含经由所述第一肋结构及所述第二肋结构中的至少一者与一或多个相邻架部件堆叠的所述架部件中的每一者，借此经由所述第一群组及所述第二群组的互锁特征部的至少一个群组互锁每一架部件与所述一或多个相邻架部件，且借此对准所述多个架部件的所述孔口而界定通过所述堆叠的多个通道以供插入所述多个支撑杆。

12.根据权利要求11所述的衬底容器，其中：

所述堆叠包含具有所述第一表面及所述第二表面的面向下表面的最底部架部件；及

所述堆叠包含连接到所述面向下表面的所述前向轴套的第一下支架及连接到所述面向下表面的所述后向轴套的第二下支架，所述第一支架及所述第二支架包含：支撑杆入口，其连接到所述多个支撑杆中的一者的端；安装部分，其连接到所述衬底容器的所述底板；及偏离部分，其使所述安装部分从所述支撑杆入口偏离。

13.根据权利要求11所述的衬底容器，其中：

所述容器包含所述顶部侧壁的所述内部中的第一槽，所述第一槽定位成靠近所述衬底容器的所述开口；

所述堆叠包含具有所述第一表面及所述第二表面的面向上表面的最顶部架部件；且

所述堆叠包含连接到所述面向上表面的所述前向轴套的上支架，所述上支架包含主体部分及从所述主体部分向上延伸的第一对准特征部，所述第一对准特征部包含与所述顶部侧壁中的所述槽接合以对准所述支撑杆的肋。

14.根据权利要求13所述的衬底容器，其中：

所述容器包含所述顶部侧壁的所述内部中的第二槽，所述第二槽定位成靠近所述衬底容器的所述背部侧壁；且

所述面向上表面包含第二对准特征部，所述第二对准特征部定位成靠近所述外周边且包含从所述面向上表面延伸且与所述第二槽接合以对准所述支撑柱的肋。

15.根据权利要求11所述的衬底容器，其中：

所述第一肋结构延伸于所述第一多个轴套的所述前向轴套与所述后向轴套之间，且所述第二肋结构延伸于所述第二多个轴套的所述前向轴套与所述后向轴套之间。

16.根据权利要求11所述的衬底容器，其中：

所述第一多个轴套及所述第二多个轴套各自包含定位于所述前向轴套与所述后向轴套之间的中间轴套，所述中间轴套界定通过所述架部件的孔口。

17.根据权利要求11所述的衬底容器，其中：

所述多个架部件的每一侧是彼此的镜像。

18.一种组装衬底容器的方法，所述方法包括：

将一对衬底支撑柱插入到容器部分的内部中，所述容器部分包含两个相对侧壁、背部侧壁、顶部侧壁及底板，所述容器部分在所述衬底容器的前部分中界定到用于容纳衬底的所述衬底容器的所述内部的开口，所述对衬底支撑柱各自包含：

多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆，每一架部件包含叶片部分，所述叶片部分具有第一及第二相对表面及从前向部分延伸到后向部分且界定外周边及内周边的一对纵长边缘，所述堆叠包含具有所述第一表面及所述第二表面的面向下表面的最底部架部件，且所述堆叠包含连接到所述面向下表面的所述前向部分的第一下支架及连接到所述面向下表面的所述后向部分的第二下支架，所述第一下支架及所述第二下支架包含：支撑杆入口，其连接到所述多个支撑杆中的一者的端；安装部分，其用于连接到所述底板；

及偏离部分，其使所述安装部分从所述支撑杆入口偏离；及

经由所述第一下支架及所述第二下支架将所述对衬底支撑柱中的每一者安装到所述容器部分的所述底板。

19.根据权利要求18所述的方法，其中所述容器部分包含从所述顶部侧壁的所述内部延伸的槽，且所述堆叠包含具有所述第一表面及所述第二表面的面向上表面的最顶部架部件，且包含连接到所述面向上表面的所述前向部分的上支架，所述上支架包含主体部分及从所述主体部分向上延伸的对准特征部，所述对准特征部包含用于与所述容器部分中的所述槽接合的肋，其中所述方法进一步包括：

经由所述上支架的所述对准特征部将所述对衬底支撑柱中的每一者对准于所述容器部分的所述内部中。

20.根据权利要求18所述的方法，其中所述叶片部分包含：

从所述第一表面延伸的第一肋结构及从所述第二表面延伸的第二肋结构，所述第一肋结构及所述第二肋结构定位成靠近所述外周边且从所述前向部分延伸到所述后向部分；

从所述第一表面延伸的第一多个轴套及从所述第二表面延伸的第二多个轴套，所述第一多个轴套及所述第二多个轴套定位成靠近所述外周边且各自包含定位于所述前向部分处的前向轴套及定位于所述后向部分处的后向轴套，所述前向轴套及所述后向轴套界定通过所述架部件的孔口；及

界定于所述第一肋结构的边缘上的第一群组的互锁特征部及界定于所述第二肋结构的边缘上的第二群组的互锁特征部，所述第一群组的互锁特征部包含突出部且所述第二群组的互锁特征部包含对应凹部以在所述两者之间互补地互锁；

其中所述多个架部件的所述堆叠包含经由所述第一肋结构及所述第二肋结构中的至少一者与一或多个相邻架部件堆叠的所述架部件中的每一者，借此经由所述第一群组及所述第二群组的互锁特征部的至少一个群组互锁每一架部件与所述一或多个相邻架部件，且借此对准所述多个架部件的所述孔口而界定通过所述堆叠的多个通道以供插入所述多个支撑杆。