JP2018526824A - モジュール式基板支持柱のインターロック - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2015年8月25日に出願された米国仮特許出願第62/209,771号および2015年12月21日に出願された米国仮特許出願第62/270,388号に対する優先権を主張し、その開示内容はその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (20)
- 基板支持アセンブリであって、
一対の基板支持柱を含み、各々は、複数の棚部材のスタックと、前記スタックを一緒に固定するために前記スタックに挿入された複数の支持ロッドとを含み、各棚部材は、第1および第2の対向する表面を有するブレード部分と、前記ブレード部分の前方部分から後方部分まで延在し、かつ前記ブレード部分の外周部および内周部を画定する一対の長手方向縁部とを含み、前記ブレード部分は、
前記第1の表面から延在する第1のリブ構造体と、前記第2の表面から延在する第2のリブ構造体とであって、前記第1および第2のリブ構造体は、前記外周部に近接して配置され、かつ前記前方部分から前記後方部分まで延在する、第1および第2のリブ構造体と、
前記第1の表面から延在する第1の複数のボスと、前記第2の表面から延在する第2の複数のボスとであって、前記第1および第2の複数のボスは、前記外周部に近接して配置され、各々が前記前方部分に配置された前方ボスと、前記後方部分に配置された後方ボスとを含み、前記前方ボスおよび前記後方ボスは、前記棚部材を貫通する開口部を画定する、第1および第2の複数のボスと、
前記第1のリブ構造体の縁部に画定されたインターロック機構の第1のグループと、前記第2のリブ構造体の縁部に画定されたインターロック機構の第2のグループとであって、前記インターロック機構の前記第1のグループは突出部を含み、前記インターロック機構の前記第2のグループは、前記複数の棚部材の隣接する棚部材間の相補的インターロックのための対応する凹部を含む、インターロック機構の第1および第2のグループと
を含み、
前記複数の棚部材の前記スタックは、前記第1および第2のリブ構造体のうちの少なくとも一方を介して1つまたは複数の隣接する棚部材と共にスタックされた前記棚部材の各々を含み、それによって、前記インターロック機構の前記第1および第2のグループのうちの少なくとも一方を介して、各棚部材を前記複数の棚部材の前記1つまたは複数の隣接する棚部材とインターロックし、前記複数の棚部材の前記開口部は、整列されて、前記複数の支持ロッドを挿入するための前記スタックを貫通する複数のチャネルを画定する、
基板支持アセンブリ。 - 前記第1のリブ構造体は、前記第1の複数のボスの前記前方ボスと前記後方ボスとの間に延在し、前記第2のリブ構造体は、前記第2の複数のボスの前記前方ボスと前記後方ボスとの間に延在する、
請求項1に記載の基板支持アセンブリ。 - 前記ブレード部分は、前記第1の表面上に画定されたアライメント機構と、前記第2の表面上に画定された第2のアライメント機構とをさらに含み、前記第1および第2のアライメント機構は、前記外周部に近接して配置され、前記支持柱のアライメントのための基板容器内の溝と係合するための前記第1および第2の表面から延在するリブを含む、
請求項1に記載の基板支持アセンブリ。 - 前記スタックは、前記第1および第2の表面の上向きの面を含む最上部の棚部材を含み、
前記スタックは、前記上向きの面の前記前方ボスに接続された上側ブラケットを含み、前記上側ブラケットは、本体部分と、前記本体部分から上方に延在するアライメント機構とを含み、前記アライメント機構は、前記支持柱のアライメントのための基板容器内の溝と係合するためのリブを含む、
請求項1に記載の基板支持アセンブリ。 - 前記最上部の棚部材および前記上側ブラケットは一体構造である、
請求項4に記載の基板支持アセンブリ。 - 前記スタックは、前記第1および第2の表面の下向きの面を含む最下部の棚部材を含み、
前記スタックは、前記下向きの面の前記前方ボスに接続された第1の下側ブラケットと、前記下向きの面の前記後方ボスに接続された第2の下側ブラケットとを含み、前記第1および第2の下側ブラケットは、前記複数の支持ロッドのうちの1つの端部に接続された支持ロッド入口と、基板容器の底部プレートに接続するための取付け部分と、前記取付け部分を前記支持ロッド入口からオフセットさせるオフセット部分とを含む、
請求項1に記載の基板支持アセンブリ。 - 前記最下部の棚部材および前記第1および第2の下側ブラケットは一体構造である、
請求項6に記載の基板支持アセンブリ。 - 前記第1および第2の複数のボスは、各々前記前方ボスと前記後方ボスとの間に配置された中間ボスを含み、前記中間ボスは前記棚部材を貫通する開口部を画定する、
請求項1に記載の基板支持アセンブリ。 - 前記複数の棚部材の各側部は互いに鏡像である、
請求項1に記載の基板支持アセンブリ。 - 前記複数の棚部材の各々は、個別に成形された部品である、
請求項1に記載の基板支持アセンブリ。 - 基板容器であって、
2つの対向する側壁、背部側壁、上部側壁、および底部プレートを含む容器部分であって、前記基板容器の前部に、基板を収容するための内部までの開口を画定し、コンベアプレートに取り付けられた容器部分と、
前記容器部分によって画定された前記開口を覆って封止するように構成されたドアと、
基板を支持するために前記内部に取り付けられた一対の基板支持柱とを含み、前記一対の基板支持柱は、各々が複数の棚部材のスタックと、前記スタックを一緒に固定するために前記スタックに挿入された複数の支持ロッドとを含み、各棚部材は、第1および第2の対向する表面を有するブレード部分と、前方部分から後方部分まで延在し、かつ外周部および内周部を画定する一対の長手方向縁部とを含み、前記ブレード部分は、
前記第1の表面から延在する第1のリブ構造体と、前記第2の表面から延在する第2のリブ構造体とであって、前記第1および第2のリブ構造体は、前記外周部に近接して配置され、かつ前記前方部分から前記後方部分まで延在する、第1および第2のリブ構造体と、
前記第1の表面から延在する第1の複数のボスと、前記第2の表面から延在する第2の複数のボスとであって、前記第1および第2の複数のボスは、前記外周部に近接して配置され、各々が前記前方部分に配置された前方ボスと、前記後方部分に配置された後方ボスとを含み、前記前方ボスおよび前記後方ボスは、前記棚部材を貫通する開口部を画定する、第1および第2の複数のボスと、
前記第1のリブ構造体の縁部に画定されたインターロック機構の第1のグループと、前記第2のリブ構造体の縁部に画定されたインターロック機構の第2のグループとであって、前記インターロック機構の前記第1のグループは突出部を含み、前記インターロック機構の前記第2のグループは、前記2つの間の相補的インターロックのための対応する凹部を含む、インターロック機構の第1および第2のグループと
を含み、
前記複数の棚部材の前記スタックは、前記第1および第2のリブ構造体のうちの少なくとも一方を介して1つまたは複数の隣接する棚部材と共にスタックされた前記棚部材の各々を含み、それによって、前記インターロック機構の前記第1および第2のグループのうちの少なくとも一方を介して、各棚部材を前記1つまたは複数の隣接する棚部材とインターロックし、それによって、前記複数の棚部材の前記開口部を整列させ、前記複数の支持ロッドを挿入するための前記スタックを貫通する複数のチャネルを画定する、
基板容器。 - 前記スタックは、前記第1および第2の表面の下向きの面を含む最下部の棚部材を含み、
前記スタックは、前記下向きの面の前記前方ボスに接続された第1の下側ブラケットと、前記下向きの面の前記後方ボスに接続された第2の下側ブラケットとを含み、前記第1および第2のブラケットは、前記複数の支持ロッドのうちの1つの端部に接続された支持ロッド入口と、前記基板容器の前記底部プレートに接続された取付け部分と、前記取付け部分を前記支持ロッド入口からオフセットさせるオフセット部分とを含む、
請求項11に記載の基板容器。 - 前記容器は前記上部側壁の前記内部に第1の溝を含み、前記第1のグローブは前記基板容器の前記開口に近接して配置され、
前記スタックは、前記第1および第2の表面の上向きの面を含む最上部の棚部材を含み、
前記スタックは、前記上向きの面の前記前方ボスに接続された上側ブラケットを含み、前記上側ブラケットは、本体部分と、前記本体部分から上方に延在する第1のアライメント機構とを含み、前記第1のアライメント機構は、前記支持柱のアライメントのために前記上部側壁の前記溝に係合するリブを含む、
請求項11に記載の基板容器。 - 前記容器は前記上部側壁の前記内部に第2の溝を含み、前記第2のグローブは前記基板容器の前記背部側壁に近接して配置され、
前記上向きの面は第2のアライメント機構を含み、前記第2のアライメント機構は、前記外周部に近接して配置され、前記上向きの面から延在し、かつ前記支持柱のアライメントのための前記第2の溝と係合するリブを含む、
請求項13に記載の基板容器。 - 前記第1のリブ構造体は、前記第1の複数のボスの前記前方ボスと前記後方ボスとの間に延在し、前記第2のリブ構造体は、前記第2の複数のボスの前記前方ボスと前記後方ボスとの間に延在する、
請求項11に記載の基板容器。 - 前記第1および第2の複数のボスは、各々前記前方ボスと前記後方ボスとの間に配置された中間ボスを含み、前記中間ボスは前記棚部材を貫通する開口部を画定する、
請求項11に記載の基板容器。 - 前記複数の棚部材の各側部は互いに鏡像である、
請求項11に記載の基板容器。 - 基板容器を組み立てる方法であって、
2つの対向する側壁、背部側壁、上部側壁、および底部プレートを含む容器部分の内部に一対の基板支持柱を挿入するステップであって、前記容器部分は、前記基板容器の前部に、基板を収容するための前記基板容器の前記内部までの開口を画定し、前記一対の基板支持柱は各々、
複数の棚部材のスタックと、前記スタックを一緒に固定するために前記スタックに挿入された複数の支持ロッドとを含み、各棚部材は、第1および第2の対向する表面を有するブレード部分と、前方部分から後方部分まで延在し、かつ外周部および内周部を画定する一対の長手方向縁部とを含み、前記スタックは、前記第1および第2の表面の下向きの面を含む最下部の棚部材を含み、前記スタックは、前記下向きの面の前記前方部分に接続された第1の下側ブラケットと、前記下向きの面の前記後方部分に接続された第2の下側ブラケットとを含み、前記第1および第2の下側ブラケットは、前記複数の支持ロッドのうちの1つの端部に接続された支持ロッド入口と、前記底部プレートに接続するための取付け部分と、前記取付け部分を前記支持ロッド入口からオフセットさせるオフセット部分とを含む、ステップと、
前記第1および第2の下側ブラケットを介して、前記一対の基板支持柱の各々を前記容器部分の前記底部プレートに取り付けるステップと
を含む方法。 - 前記容器部分は、前記上部側壁の前記内部から延在する溝を含み、前記スタックは、前記第1および第2の表面の上向きの面を含む最上部の棚部材を含み、かつ、前記上向きの面の前記前方部分に接続された上側ブラケットを含み、前記上側ブラケットは、本体部分と、前記本体部分から上方に延在するアライメント機構とを含み、前記アライメント機構は、前記容器部分内の前記溝と係合するためのリブを含み、前記方法は、
前記上側ブラケットの前記アライメント機構を介して、前記一対の基板支持柱の各々を前記容器部分の前記内部に位置合わせするステップをさらに含む、請求項18に記載の方法。 - 前記ブレード部分は、
前記第1の表面から延在する第1のリブ構造体と、前記第2の表面から延在する第2のリブ構造体とであって、前記第1および第2のリブ構造体は、前記外周部に近接して配置され、かつ前記前方部分から前記後方部分まで延在する、第1および第2のリブ構造体と、
前記第1の表面から延在する第1の複数のボスと、前記第2の表面から延在する第2の複数のボスとであって、前記第1および第2の複数のボスは、前記外周部に近接して配置され、各々が前記前方部分に配置された前方ボスと、前記後方部分に配置された後方ボスとを含み、前記前方ボスおよび前記後方ボスは、前記棚部材を貫通する開口部を画定する、第1および第2の複数のボスと、
前記第1のリブ構造体の縁部に画定されたインターロック機構の第1のグループと、前記第2のリブ構造体の縁部に画定されたインターロック機構の第2のグループとであって、前記インターロック機構の前記第1のグループは突出部を含み、前記インターロック機構の前記第2のグループは、前記2つの間の相補的インターロックのための対応する凹部を含む、インターロック機構の第1および第2のグループと
を含み、
前記複数の棚部材の前記スタックは、前記第1および第2のリブ構造体のうちの少なくとも一方を介して1つまたは複数の隣接する棚部材と共にスタックされた前記棚部材の各々を含み、それによって、前記インターロック機構の前記第1および第2のグループのうちの少なくとも一方を介して、各棚部材を前記1つまたは複数の隣接する棚部材とインターロックし、それによって、前記複数の棚部材の前記開口部を整列させ、前記複数の支持ロッドを挿入するための前記スタックを貫通する複数のチャネルを画定する、
請求項18に記載の方法。
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