CN201327824Y

CN201327824Y - 晶圆盒的转动开关装置

Info

Publication number: CN201327824Y
Application number: CNU2008201788479U
Authority: CN
Inventors: 张耀中
Original assignee: YAO LIEN TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: YAO LIEN TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date: 2008-11-12
Filing date: 2008-11-12
Publication date: 2009-10-14
Anticipated expiration: 2018-11-12

Abstract

本实用新型公开一种晶圆盒的转动开关装置，其设于一晶圆盒的盒座内，其包含一旋转盘、一枢接部、二支撑轴、二抵接轴套及一盖板。所述旋转盘利用所述枢接部枢接于所述晶圆盒的盒座内。所述支撑轴对称的设于所述旋转盘上，所述抵接轴套可转动的套设于所述二支撑轴上，所述二抵接轴套用以抵接所述晶圆盒内的二闩锁板。所述盖板结合于所述枢接部及支撑轴上，使所述抵接轴套可转动的位于所述盖板及旋转盘的底面之间。所述旋转盘可受一驱动机构的驱动而转动，以控制所述闩锁板的开关。藉此，可增加所述转动开关装置的强度，并减少抵接于所述闩锁板时产生的微粒，避免污染所述晶圆盒。

Description

晶圆盒的转动开关装置

技术领域

本实用新型是涉及一种晶圆盒的转动开关装置，特别是涉及一种通过可转动的抵接轴套与一闩锁板相抵接，以减少因刮削及磨擦而产生微粒污染的晶圆盒的转动开关装置。

背景技术

为避免晶圆在运送过程中受到污染及碰撞，一般会利用一可运送及可密封的晶圆盒来放置及运送晶圆。举例而言，中国台湾专利公告第151739号揭示一种具有改良闩机构的可密封、可运送容器，其具有一盒子及一盒门。盒子有一第一密封表面，而盒门有一第二密封表面，当盒门以一对着盒子的密封方向移动时，第二密封表面与第一密封表面共同组成一密封。盒门中备有一闩机构，可两段式操作。闩组件自一缩回位置移到一延伸位置是第一阶段的运作；在缩回位置中，闩组件包容在盒门中以便让盒门对着盒子移动，而在延伸位置中，闩组件邻近盒子的闩锁表面。自缩回位置移到延伸位置动作的完成，在闩组件和闩锁表面之间并未有接触，以避免任何会盒子内部的干净区域中产生微粒(particle)的刮削或摩擦动作。第二阶段的运作包括闩组件囓合闩锁表面而使盒门依密封方向移动；第二阶段动作的完成在闩组件和闩锁表面之间也没有刮削或摩擦动作。

综上所述，所述具有改良闩机构的可密封、可运送容器通过一种双向移动的闩机构来使所述容器达到密封的状态，并且此闩机构双向移动时不会与盒子或盒子内侧的干净区域中的盒门刮削或摩擦式接触，因此能避免盒子内部的干净区域中产生微粒的污染。所述闩机构的运作，是由所述闩机构中的凸轮机构的二凸轮突部分别与二闩锁板的弧形部份囓合，并通过所述凸轮机构的旋转使凸轮突部推抵所述二闩锁板的弧形部份，以使所述闩组件延伸或缩回。

请参考图1所示，其揭示一种现有的转动开关装置91，其包含一旋转盘911、一轴孔912、二抵接凸轮913、二驱动销孔914、二凸台915及二挡止部916。所述转动开关装置91枢设于一晶圆盒的盒座底板92内，其下方设有一驱动件93。所述驱动件93设有二对称的驱动插销931，其位置与所述二驱动销孔914对应，所述二驱动插销931分别穿过所述盒座底部92的弧形孔921而与所述转动开关装置91的二驱动销孔914结合，以驱动所述转动开关装置91做一限定角度的转动，从而控制所述晶圆盒内的闩机构(未绘示)开启或闭合。

然而，当所述转动开关装置91转动时，所述二抵接凸轮913的抵接面913a会相对于所述转动开关装置91的中心点转动，然而所述抵接面913a与闩机构(未绘示)的接触摩擦为一不同步移动的表面摩擦过程，并且现有的转动开关装置91大多由塑料材质制成，而与金属材质的闩机构仍有因为刮削或摩擦而产生微粒的情形，从而造成晶圆盒的污染。另外，所述二抵接凸轮913也可能因为长时间的使用而发生断裂的情形。

因此，有必要提供一种晶圆盒的转动开关装置，以解决现有技术所存在的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆盒的转动开关装置，其是利用可自由转动的抵接轴套，以便消除所述转动开关装置与一闩锁板间的刮削或摩擦，从而减少微粒产生而污染晶圆盒的情形。

本实用新型的另一目的在于提供一种晶圆盒的转动开关装置，其是利用金属材质的支撑轴与抵接轴套，提高所述转动开关装置的结构强度及耐磨程度。

本实用新型的又一目的在于提供一种晶圆盒的转动开关装置，其是利用一盖板与枢接孔及支撑轴对应连结，以使所述转动开关装置整体结构更为稳固。

为达上述的目的，本实用新型提供一种晶圆盒的转动开关装置，其设于一晶圆盒内的盒座内，其包含一旋转盘、一枢接部、二支撑轴、二抵接轴套及一盖板。所述旋转盘利用所述枢接部枢接于所述晶圆盒的盒座内。所述支撑轴对称的设于所述旋转盘上，所述抵接轴套可转动的套设于所述二支撑轴上，所述二抵接轴套用以抵接所述晶圆盒内的二闩锁板。所述盖板结合于所述枢接部及支撑轴上，使所述抵接轴套可转动的位于所述盖板及旋转盘的底面之间。所述旋转盘可受一驱动机构的驱动而转动，以控制所述闩锁板的开关。藉此，可增加所述转动开关装置的强度，并减少抵接于所述闩锁板时产生的微粒，避免污染所述晶圆盒。

相较于现有技术，本实用新型通过可转动的抵接轴套与一闩锁板相抵接，其确实可以减少因刮削及磨擦而产生微粒污染晶圆盒的情形，并提高转动开关装置的结构强度及耐磨程度。

附图说明

图1：现有的晶圆盒的转动开关装置的立体图。

图2：本实用新型较佳实施例的晶圆盒的转动开关装置的立体分解图。

图3：本实用新型较佳实施例的晶圆盒的转动开关装置的第一位置的俯视图。

图4：本实用新型较佳实施例的晶圆盒的转动开关装置的第二位置的俯视图。

具体实施方式

为让本实用新型上述目的、特征及优点更明显易懂，下文特举本实用新型较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下：

为避免晶圆在运送过程中受到污染及碰撞，一般会利用一晶圆盒来放置及运送晶圆。所述晶圆盒包含一盒罩及一盒座。所述盒座用以承载晶圆，所述盒座内部设有一转动开关装置，当所述转动开关装置受到一外部的驱动装置驱动时，所述盒座内部的闩锁机构会受到所述转动开关装置的驱动而产生密封所述盒罩与盒座的动作。所述盒罩及盒座的构造是属现有的，并可参照本实用新型先前技术引用的中国台湾专利公告第151739号所述的晶圆盒构造，所以本实用新型于下文将省略对所述盒罩及盒座的详细描述，于此合先叙明。

请参照图2所示，其揭示本实用新型较佳实施例的晶圆盒的转动开关装置1的立体分解图，其包含一旋转盘11、一枢接部12、二支撑轴13、二抵接轴套14及二驱动销孔15。所述旋转盘11是概呈圆盘状的构造。所述枢接部12优选是一体成型凸设于所述旋转盘11的中央位置上，用以将所述晶圆盒的转动开关装置1枢接于一晶圆盒的盒座(未绘示)内。所述二支撑轴13对称的固设于所述旋转盘11上，并位于所述枢接部12的周侧。如图2所示，所述旋转盘11设有二插孔(未标示)供所述支撑轴13固定于所述旋转盘11上，但本实用新型不限于此型式的固设方式。所述二抵接轴套14分别可转动的套设于所述二支撑轴13上。

请再参照图2所示，所述二驱动销孔15分别为一盲孔，其分别设于所述旋转盘11的底部，亦即所述二支撑轴13的下方，所述二驱动销孔15的轴心分别与所述二支撑轴13同心，用以接受一驱动机构(未绘示)的插入，以驱动所述转动开关装置1旋转一限定的角度，从而驱动所述晶圆盒内的二闩锁片(未绘示)。另外，优选于所述枢接部12的上端盖设一盖板16，所述盖板16设有一第一枢接孔161及二第二枢接孔162。所述第一枢接孔161与所述枢接部12相连通，而所述二第二枢接孔162分别与所述二支撑轴13相对应，通过黏胶、超音波焊接、螺丝或插梢等适当结合手段将所述盖板16结合在所述枢接部12及所述二支撑轴13上，可使所述转动开关装置1整体结构更为稳固。

如图2所示，所述旋转盘11优选由较硬的材质所制成，其可选自硬质工程塑料或金属材质。另外，在本实用新型中，所述二支撑轴13优选是由金属材质所制成，以增强其抵接的强度与耐磨性。所述二支撑轴13可以是插设于所述旋转盘11上，或一体成型于所述旋转盘11上。再者，所述二抵接轴套14优选是由耐磨的材质所制成，其可选自硬质工程塑料或金属材质。另外，所述枢接部12可视所述晶圆盒的盒座(未绘示)内的设计而有所不同，可以是一轴孔或一凸出轴体的形式。

如图2所示，在本实用新型中，所述旋转盘11具有二侧对称的构造，其设有二组的第一平面111、二第二平面112及二第三平面113，其沿着所述旋转盘11的圆周形成的高度及坡度梯状变化，其中所述第二平面112是一斜面用以连接不同高度的第一平面111及第三平面113。另外，所述旋转盘11的外周缘还对应设有二檔止部17，这部分的功能为现有的功能，将于下文另予详细说明。

请参照图3所示，本实用新型较佳实施例的晶圆盒的转动开关装置的第一位置的俯视图，其揭示所述晶圆盒的二闩锁板2处于内缩(开启)的状态。所述二闩锁板2受到一弹力装置(未绘示)的作用使所述二闩锁板2能保持一内缩的状态，所述每一闩锁板2对应所述转动开关装置1的抵接轴套14的旋转路径，设有一第一位置槽21、一第二位置边22以及一凸接点23，此第一位置槽21及第二位置边22使得所述转动开关装置1的旋转运动转换为线性运动，从而使所述闩锁板2到达开启或闭合的位置。在此第一位置时，所述抵接轴套14是位于所述第一位置槽21内。

请参照图4所示，本实用新型较佳实施例的晶圆盒的转动开关装置的第二位置的俯视图，其揭示所述晶圆盒的闩锁片2处于伸展(闭合)的状态。在第二位置时，所述转动开关装置顺时钟方向旋转了一限定的角度，所述抵接轴套14是从所述第一位置槽21内滑出到所述第二位置边22。并且，所述闩锁板2的凸接点23将受到所述转动开关装置1的第二平面112推动，从所述第一平面111经所述第二平面112到达所述第三平面113，因而使所述闩锁板2的内侧端上升，相对的外侧端下降，所以能带动所述晶圆盒的盒罩(未绘示)向下与盒座(未绘示)紧压以密封所述晶圆盒。另外，所述挡止部17于第二位置时，正好能分别抵止于设于晶圆盒座内的二挡柱3上，具有限制转动角度的定位功能。

请参照图3及图4所示，本实用新型较佳实施例的晶圆盒的转动开关装置在转动过程中，所述抵接轴套14与所述闩锁板2的第一位置槽21与第二位置边22相抵接与摩擦，因为所述抵接轴套14是可转动的设于所述支撑轴13上，因此能够顺着与闩锁板2接触的第一位置槽21与第二位置边22的表面转动，其能转换所述转动开关装置1的旋转运动为所述闩锁板2的线性运动，并且相较于现有的技术，由于所述抵接轴套14可任意转动，因此有效的减少刮削或摩擦造成的微粒产生。另外，由于所述支撑轴13及抵接轴套14由金属制成，因此相较于现有的塑料材质也更为坚固与耐磨，较不易产生微粒而污染所述晶圆盒。

综上所述，相较于现有晶圆盒的转动开关装置，虽然使用一抵接凸轮来转换所述转动开关装置的旋转运动为所述闩锁板的线性运动，但也因为抵接凸轮的抵接面会相对闩机构的接触摩擦为一不同步的表面摩擦，从而因为刮削或摩擦而产生微粒污染晶圆盒的情形。图2的本实用新型通过一可自由转动的抵接轴套，以便消除所述转动开关装置与一闩锁板间的刮削或摩擦，其确实可以有效减少微粒污染晶圆盒的情形。另外，金属材质的支撑轴与抵接轴套，也有效提高所述转动开关装置的结构强度及耐磨程度。

Claims

1、一种晶圆盒的转动开关装置，其设于一晶圆盒的盒座内，其特征在于：

所述晶圆盒的转动开关装置包含：

一旋转盘；

一枢接部，其凸设于所述旋转盘上，用以将所述旋转盘枢接于所述晶圆盒的盒座内；

二支撑轴，其对称的固设于所述旋转盘上；

二抵接轴套，其分别可转动的套设于所述二支撑轴上；以及

一盖板，其结合于所述枢接部及支撑轴上，使所述抵接轴套可转动的位于所述盖板及旋转盘的底面之间。

2、如权利要求1所述的晶圆盒的转动开关装置，其特征在于：所述晶圆盒的转动开关装置另包含二驱动销孔，其分别为一盲孔分别设于所述旋转盘的底部，所述二驱动销孔的轴心分别与所述二支撑轴同心，用以接受一驱动机构的驱动而使所述转动开关装置旋转。

3、如权利要求1所述的晶圆盒的转动开关装置，其特征在于：所述盖板具有一第一枢接孔与二第二枢接孔，所述第一枢接孔与所述枢接部连结，所述二第二枢接孔分别与所述二支撑轴连结。

4、如权利要求1所述的晶圆盒的转动开关装置，其特征在于：所述旋转盘为塑料旋转盘或金属旋转盘。

5、如权利要求1所述的晶圆盒的转动开关装置，其特征在于：所述支撑轴为金属支撑轴。

6、如权利要求1所述的晶圆盒的转动开关装置，其特征在于：所述抵接轴套为金属抵接轴套或塑料抵接轴套。

7、如权利要求1所述的晶圆盒的转动开关装置，其特征在于：所述旋转盘对称的设有二组的第一平面、第二平面及第三平面，所述第二平面是一斜面用以连接不同高度的第一平面及第三平面。

8、如权利要求1所述的晶圆盒的转动开关装置，其特征在于：所述旋转盘的外周缘对称的设有二挡止部。