KR102117314B1 - 인터로킹 모듈형 기판 지지 칼럼 - Google Patents

인터로킹 모듈형 기판 지지 칼럼 Download PDF

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Abstract

기판 용기용 기판 지지 조립체가 제공된다. 조립체는 한 쌍의 기판 지지 칼럼을 구비할 수 있으며, 각각의 기판 지지 칼럼은 복수의 선반 부재의 스택 및 상기 스택을 함께 고정하기 위해 스택을 통해서 삽입되는 복수의 지지 막대를 구비한다. 각각의 선반 부재는 제1 및 제2 대향 표면과 내주 및 외주를 갖는 블레이드 부분을 구비할 수 있다. 블레이드 부분의 각 표면은 리브 구조물, 및 외주를 향해서 배치되고 블레이드 부분의 전방 부분에서 후방 부분으로 연장되는 복수의 보스를 구비할 수 있다. 리브 구조물에는 인터로킹 특징부가 형성될 수 있다. 선반 부재의 스택은 리브 구조물을 통해서 하나 이상의 인접한 선반 부재와 적층되는 각각의 선반 부재를 구비할 수 있으며, 따라서 각각의 선반 부재를 인터로킹 특징부를 통해서 하나 이상의 인접한 선반 부재와 인터로킹시킨다.

Description

인터로킹 모듈형 기판 지지 칼럼
관련 출원
본 출원은 그 개시 내용이 전체로 본 명세서에 참조로 원용되는 2015년 8월 25일자 미국 가출원 제62/209,771호 및 2015년 12월 21일자 미국 가출원 제62/270,388호에 대해 우선권을 주장한다.
본 개시 내용은 반도체 처리 장비에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 반도체 기판용 용기에 관한 것이다.
소형의 저렴한 고성능 반도체 소자에 대한 수요가 증가함에 따라, 더 작고 더 얇은 집적 회로에 대한 수요가 증가하고 있다. 이러한 소형 집적 회로를 달성하기 위해서, 얇은 반도체 기판 또는 웨이퍼가 집적 회로 제조 공정에 사용될 수 있다.
웨이퍼를 처리하여 집적 회로로 만드는데 있어서의 다양한 지점에서, 웨이퍼는 기판 용기에 고정된다. 이들 기판 용기는 웨이퍼를 수평으로, 웨이퍼의 하면에서, 및 그 외주에서 지지할 수 있다. 그러나, 웨이퍼가 얇아질수록, 웨이퍼는 웨이퍼의 점점 더 얇은 구조에 대한 중력 효과로 인해 이러한 기판 용기 내에 배치될 때 점점 처지는 경향이 있다. 이 처짐은 기판 용기 내에 웨이퍼를 지지하는 것의 어려움을 증가시키며 따라서 처리 도중의 웨이퍼 손상 위험을 증가시킨다. 또한, 웨이퍼의 추가 처짐은 웨이퍼를 취급하기 위한 자동화 공정과 상호운용성 문제를 발생시킬 수 있다.
따라서, 얇은 기판을 취급하기 위한 개선된 기판 용기가 요구된다.
본 발명의 다양한 실시예는 다양한 형태의 기판 용기에 장착될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 일부 실시예는 지지 칼럼을 SEMI 표준 웨이퍼 포켓 치수와 본래 오정렬되는 부착 위치를 갖는 기판 용기 내에 장착되도록 적응시키는 오프셋 장착 위치를 갖는 장착 브래킷을 구비한다. 이는 450mm 기판 용기 내와 같은, 이전 설계와 다른 접근법이며, 여기에서 장착 위치는 각 조립 막대의 중심 축과 간단히 일치된다. 적층 가능한 웨이퍼 선반을 갖는 450mm 기판 용기의 개념은, 본 출원의 소유자에 의해 소유되며, 명세서에 포함된 표현 정의와 특허청구범위를 제외하고 그 전체가 본 명세서에 참조로 원용되는 미국 특허 제8,919,563호에 예시되어 있다.
본 발명의 실시예는 얇은 기판을 기판 용기 내에 지지하기 위한 기판 지지 조립체에 관한 것이다. 다양한 실시예에서, 기판 지지 조립체는 함께 적층되고 복수의 지지 막대와 상부 및 하부 장착 브래킷에 의해 적소에 고정되는 복수의 개별 선반 부재를 각각 구비하는 한 쌍의 모듈형 지지 칼럼을 구비한다. 다양한 실시예에서, 지지 막대 각각은 적층된 선반 부재를 통해서 삽입되어 지지 칼럼에 구조적 지지를 제공한다. 상부 및 하부 장착 브래킷은 기판 용기 내에 지지 칼럼을 장착하기 위해 각각의 지지 칼럼의 상부 및 하부에 부착된다.
다양한 실시예는 얇은 기판을 다양한 형태의 기판 용기에 저장하기 위한 비용 효과적이고 구성 가능한 모듈형 설계를 제공한다. 예를 들어, 본 발명의 실시예는 다중 피스 기판 지지부를 생성하기 위해 복수의 개별 성형된 선반 부재를 적층함으로써 조립되는 모듈형 지지 칼럼을 구비한다. 다양한 실시예에서, 개별 선반 부재의 각각은 동일한 설계를 사용하여 동일하게 구성된다. 또한, 특정 실시예에서, 선반 부재의 각각은 가역적이다. 따라서, 기판 지지 조립체의 양측을 조립하기 위해 동일한 설계가 사용될 수 있다. 또한, 각 지지 칼럼 내의 선반 또는 슬롯의 개수는 조립에 사용되는 선반 부재의 개수에 기초하여 조립 중에 쉽게 변경될 수 있다.
결과적으로, 제조의 복잡성이 감소되며, 복수의 일체형(unitary) 선반을 구비하는 기판 지지 구조물에 대한 종래의 설계를 별개의 좌측 및 우측 설계로 대체한다. 또한, 종래의 설계는 얇은 기판을 지지하기에 적합한 딥 리브형(deep ribbed) 선반을 갖는 일체형 지지 구조물을 사출 성형하는 것의 실질적인 한계를 극복해야 한다. 또한, 종래의 설계는 이 제품에 대해 예상되는 보다 적은 체적 수요와 사출 성형의 높은 제조 비용으로 인해 제조 비용이 많이 든다.
하나 이상의 실시예에 따르면, 기판 지지 조립체는 복수의 선반 부재의 스택을 각각 구비하는 한 쌍의 기판 지지 칼럼 및 스택을 함께 고정하기 위해 스택을 통해 삽입되는 복수의 지지 막대를 구비한다. 각각의 선반 부재는 제1 및 제2 대향 표면과 전방 부분에서 후방 부분으로 연장되는 한 쌍의 종방향 에지를 갖는 블레이드 부분을 구비할 수 있다. 한 쌍의 종방향 에지는 블레이드 부분에 대한 내주와 외주를 형성할 수 있다.
다양한 실시예에서, 블레이드 부분은 제1 표면으로부터 연장되는 제1 리브 구조물 및 제2 표면으로부터 연장되는 제2 리브 구조물을 구비한다. 제1 및 제2 리브 구조물은 블레이드 부분의 외주를 향해서 위치될 수 있으며 전방 부분에서 후방 부분으로 연장될 수 있다. 일부 실시예에서, 블레이드 부분은 제1 표면으로부터 연장되는 제1 복수의 보스 및 제2 표면으로부터 연장되는 제2 복수의 보스를 구비한다. 제1 및 제2 복수의 보스는 외주를 향해서 배치될 수 있으며 그 각각은 전방 부분에 배치되는 전방 보스 및 후방 부분에 배치되는 후방 보스를 구비할 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 전방 보스와 후방 보스는 선반 부재를 관통하는 복수의 개구를 형성한다.
특정 실시예에서, 블레이드 부분은 제1 리브 구조물의 에지에 형성되는 제1 그룹의 인터로킹 특징부 및 제2 리브 구조물의 에지에 형성되는 제2 그룹의 인터로킹 특징부를 구비한다. 제1 그룹 및 제2 그룹의 인터로킹 특징부 사이의 상보적 인터로킹을 위해 제1 그룹의 인터로킹 특징부는 돌출부를 구비할 수 있으며 제2 그룹의 인터로킹 특징부는 대응 리세스를 구비할 수 있다.
하나 이상의 실시예에서, 복수의 선반 부재의 스택은 제1 및 제2 리브 구조물 중 적어도 하나를 통해서 하나 이상의 인접한 선반 부재와 적층되는 선반 부재의 각각을 포함한다. 다양한 실시예에서, 적층은 따라서 각각의 선반 부재를 제1 및 제2 그룹의 인터로킹 특징부 중 적어도 하나를 통해서 하나 이상의 인접한 선반 부재와 인터로킹한다. 일부 실시예에서, 적층은 따라서 복수의 선반 부재의 개구를 정렬시키며 지지 막대의 삽입을 위해 스택을 관통하는 복수의 채널을 형성한다.
상기 개요는 본 발명의 각각의 예시된 실시예 또는 모든 구현예를 설명하도록 의도되지 않는다.
본 출원에 포함된 도면은 명세서에 통합되어 명세서의 일부를 형성한다. 이들 도면은 본 발명의 실시예를 설명하며 명세서와 함께 본 발명의 원리를 설명하는 역할을 한다. 도면은 단지 특정 실시예를 예시하는 것이며 본 발명을 제한하지 않는다.
도 1은 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른, 기판 지지 조립체를 구비하는 기판 용기를 도시한다.
도 2는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른, 한 쌍의 상보적 기판 지지 칼럼의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른 선반 부재의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른 선반 부재의 제1 평면도이다.
도 5는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른, 도 4의 선반 부재의 제2 평면도이다.
도 6은 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른, 도 4의 선반 부재의 측면도이다.
도 7a 내지 도 7f는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른, 도 4의 선반 부재의 부분 도시도이다.
도 8은 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른 기판 지지 칼럼의 분해도이다.
도 9는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른 복수의 선반 부재의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른 선반 부재 스택의 측면도이다.
도 11은 도 10의 11-11 라인에서 취한 단면도이다.
도 12는 도 10의 12-12 라인에서 취한 단면도이다.
도 13은 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른 상부 브래킷의 사시도이다.
도 14a 및 도 14b는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른 하부 브래킷의 평면도이다.
도 15a는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른 기판 용기의 정면도이다.
도 15b는 도 15a의 B-B 라인에서 취한 단면도이다.
도 15c는 도 15a의 C-C 라인에서 취한 단면도이다.
도 16a는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른, 기판 용기 내의 텅 및 홈 특징부와 상부 브래킷의 단면도이다.
도 16b는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른, 기판 용기 내의 텅 및 홈 특징부와 기판 선반의 단면도이다.
본 발명의 실시예는 다양한 수정 및 대안 형태를 따를 수 있지만, 그 상세는 도면에서 예시적으로 도시되어 있고 상세히 설명될 것이다. 그러나 그 의도는 본 발명을 개시된 특정 실시예로 한정하려는 것이 아님을 알아야 한다. 반대로, 그 의도는 본 발명의 취지 및 범위에 포함되는 모든 수정예, 등가예 및 대체예를 커버하는 것이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른, 복수의 기판을 저장하기 위한 기판 용기(30)가 도시되어 있다. 본 명세서에 사용될 때, 복수의 기판은 반도체, 인쇄 회로 기판, 평판 디스플레이 등의 제조에 사용되는 기판 또는 웨이퍼를 구비한다. 특정 실시예에서, 기판 용기(30)는 두 개의 대향 측면 부분(34), 상측 부분(36), 바닥 판(38) 및 후방 부분(42)을 구비한다. 측면 부분(34), 상측 부분(36), 후방 부분(42) 및 바닥 판은 기판 용기(30)를 위한 내부(43)를 형성한다. 기판 용기(30)의 전방 부분(44)은 기판(32)의 삽입 및 제거를 위한 도어 개구(48)를 형성하는 도어 프레임(46)을 구비한다. 도어(52)는 도어 개구(48)를 밀봉 및 커버하도록 구성된다. 기판 용기(30)의 도어 개구(48)는 축(54)을 구비하는 Z-Y 평면 또는 안면 기준면에 놓이며, Z축으로 표시된 수직 방향 또는 상방향에 평행하다. 다양한 실시예에서, 기판 용기(30)는 미세 환경을 포함하는 것을 특징으로 한다.
특정 실시예에서, 기판 용기(30)는 바닥 판(38) 아래에 배치되는 컨베이어 판(56)을 추가로 구비한다. 다양한 실시예에서, 컨베이어 판(56)은 다양한 기판 처리 단계 중에 기판 용기(30)의 기계 기반 위치설정 및 정렬을 위해 기판 용기(30)의 바닥에 장착된다.
하나 이상의 실시예에서는, 한 쌍의 기판 지지 칼럼(68, 69)을 구비하는 기판 지지 조립체(66)가 기판 용기(30) 내에 배치된다. 특정 실시예에서, 지지 칼럼(68, 69)의 각각은 측방 부분(34) 각각의 근처에 위치한다. 한 쌍의 지지 칼럼(68, 69) 각각은 복수의 슬롯을 형성하기 위해 정렬되는 복수의 선반 부재(70)를 구비한다. 지지 칼럼(68, 69)의 각각은 그 사이에 기판(32)과 같은 기판이 복수의 선반 부재(70)에 의해 지지될 수 있도록 이격된다.
도 2 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 한 쌍의 기판 지지 칼럼(68, 69)이 도시되어 있다. 도시된 실시예에서, 기판 지지 칼럼(68, 69)은 적층된 선반 부재(70)를 통해서 연장되는 복수의 지지 막대(82)(도 8)에 의해 함께 고정되는 복수의 적층된 선반 부재(70)를 구비한다. 상부 및 하부 브래킷(86, 90), 캡(94) 및 체결구(98)는 지지 막대(82)에 부착될 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 지지 칼럼(68, 69)의 각각은 상향 표면(100)을 갖는 최상위 선반 부재(99) 및 하향 표면(103)을 갖는 최하위 선반 부재(101)를 구비한다.
다양한 실시예에서, 선반 부재(70) 각각은 블레이드 부분(102) 및 복수의 리브 구조물(106)과 보스(110)를 구비한다. 하나 이상의 실시예에서, 선반 부재(70)는 기판 이동을 Z 방향으로 억제하기 위해 적층된 블레이드 부분(102)을 통해서 상부 및 하부 경계를 생성하고, 기판 이동을 X-Y 평면으로 억제하기 위해 리브 구조물(106) 및 보스(110)를 통해서 측방 경계를 생성한다. 특정 실시예에서, 각각의 인접한 선반 부재(70) 사이의 거리는 기판 피치와 동일하다. 일부 실시예에서, 각각의 인접한 선반 부재(70) 사이의 거리는 20밀리미터(mm)이다. 특정 실시예에서, 각각의 인접한 선반 부재 사이의 거리는 10mm이다. 하나 이상의 실시예에서, 각각의 인접한 선반 부재(70) 사이의 거리는 10mm 내지 20mm의 범위에 있다. 다양한 실시예에서, 각각의 선반 부재 사이의 거리는 사용자 요구에 따라 달라질 수 있다. 특정 실시예에서, 블레이드 부분(102)은 수평 기준 평면에 실질적으로 평행하다. 일부 실시예에서, 블레이드 부분(102)은 지지 칼럼(68, 69) 내에서의 기판 유지를 보조하기 위해 수평 기준 평면에 대해 비스듬히 설정된다. 예를 들어, 일부 실시예에서, 블레이드 부분(102)은 기판 용기(30)(도 1)의 후방(42)을 향해서 경사지는 각도로 설정된다. 일부 실시예에서, 각도는 수평 기준 평면으로부터 1도 내지 4도이다.
다양한 실시예에서, 상향 표면(100)의 보스(110)는 상부 브래킷(86)에 연결되며 하향 표면(103)의 보스(110)는 하부 브래킷(90)에 연결된다. 하나 이상의 실시예에서, 복수의 적층된 선반 부재(70), 브래킷(86, 90) 및 캡(94)의 각각은 개별 부품이다. 일부 실시예에서, 최상위 선반 부재(99)와 상부 브래킷(86)은 일체형 구조물이다. 마찬가지로, 특정 실시예에서, 최하위 선반 부재와 하부 브래킷(90)은 일체형 구조물이다. 다양한 실시예에서, 선반 부재(70)는 좌측 지지 칼럼(69)과 우측 지지 칼럼(69)을 둘 다 조립하기 위해 동일한 선반 부재(70)가 사용될 수 있도록 거울 이미지 구조를 갖고 설계된다. 예를 들어, 선반 부재(70)는 선반 부재(70)를 좌측 또는 우측 선반으로서 기능하도록 구성하기 위해 간단히 회전되거나 뒤집힐 수 있다.
다양한 실시예에서, 선반 부재(70)는 폴리머, 탄성중합체, 금속 또는 기타 적절한 재료를 포함하지만 이것에 한정되지 않는 다양한 재료를 사용하여 구성될 수 있다. 상기 부재는 다양한 적절한 사출 성형 공정을 사용하여 사출 성형, 인서트 성형, 오버몰딩 또는 제조될 수 있다.
도 3 내지 도 6에 도시하듯이, 블레이드 부분(102)은 제1 및 제2 대향 표면(114, 118)과, 전방 부분(126)에서 후방 부분(130)으로 연장되는 종방향 에지(122)를 갖는 실질적으로 편평한 형상을 가질 수 있다. 다양한 실시예에서, 종방향 에지(122)는 외주(134)와 내주(138)를 형성한다. 다양한 실시예에서, 외주 및 내주(134, 138)는 기판 용기(30)(도 1)의 내부 측벽(34)과 대체로 합치하는 형상을 갖는 곡선형이거나 아치형이다. 일부 실시예에서, 블레이드 부분(102)은 또한 기판을 블레이드 표면(114, 118)으로부터 이격시키기 위해 제1 및 제2 표면(114, 118) 상에 패드 또는 범프(도시되지 않음)를 구비한다.
하나 이상의 실시예에서, 선반 부재의 각각은 복수의 보스(110) 및 리브 구조물(106)을 구비한다. 예를 들어, 블레이드 부분(102)은 제1 표면(114)으로부터 연장되는 제1 그룹의 보스(142) 및 제2 표면(118)으로부터 연장되는 제2 그룹의 보스(146)를 가질 수 있다(도 4 및 도 5).
다양한 실시예에서, 복수의 보스(110)는 블레이드 부분(102)의 외주(134)를 따라서 다양한 위치에 배치되는 원형 스터드 또는 돌출부이다. 예를 들어, 일부 실시예에서, 블레이드 부분(102)은 전방 부분(126)에 위치하는 전방 보스(150) 및 후방 부분(130)에 위치하는 후방 보스(154)를 구비한다. 특정 실시예에서, 제1 및 제2 그룹의 보스(142, 146) 각각은 외주(134)를 따라서 전방 보스(150)와 후방 보스(154) 사이에 위치하는 하나 이상의 중간 보스(158)를 구비한다.
다양한 실시예에서, 복수의 보스(110)의 각각은 선반 부재(70)를 관통하는 개구(162)를 형성할 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 표면(114, 118) 상의 전방 보스(150)는 전방 부분(134)에서 개구(162)를 형성한다. 마찬가지로, 제1 및 제2 표면(114, 118) 상의 후방 보스(154)는 후방 부분(130)에서 개구(162)를 형성한다.
하나 이상의 실시예에서, 선반 부재(70)의 리브 구조물(106)은 제1 표면(114)으로부터 연장되는 제1 리브 구조물(166) 및 제2 표면(118)으로부터 연장되는 제2 리브 구조물(170)을 구비한다. 따라서, 리브 구조물(106)은 제1 및 제2 표면(114, 118) 상의 재료의 융기된 리브 또는 부분이다.
하나 이상의 실시예에서, 제1 및 제2 리브 구조물(166, 170)은 전방 부분(126)에서 후방 부분(130)까지 외주(134)에 근접하여 연장된다. 일부 실시예에서, 리브 구조물(106)은 선반 부재(70) 내의 복수의 보스(110)의 각각 사이에서 연장된다. 예를 들어, 도 3에 도시하듯이, 리브 구조물(106)은 전방 보스(150)와 중간 보스(158) 사이에서 연장되는 제1 부분(174) 및 중간 보스(158)와 후방 보스(154) 사이에서 연장되는 제2 부분(178)을 구비할 수 있다.
일부 실시예에서, 선반 부재(70)는 정렬 특징부(182)를 구비한다. 다양한 실시예에서, 정렬 특징부(182)는 제1 및 제2 표면(114, 118)으로부터 연장되는 재료의 융기된 리브이다. 정렬 특징부(182)는 리브 구조물(106)과 외주(134) 사이에 배치될 수 있다. 일부 실시예에서, 정렬 특징부(182)는 일반적으로 블레이드 부분(102)의 후방 부분(130)을 향해서 배치된다. 일부 실시예에서, 정렬 특징부(182)는 용기(30) 내의 지지 칼럼(68, 69)의 정렬을 위해 텅 및 홈 특징부와 같은, 기판 용기(30)(도 1)의 구조적 요소와 결합한다.
하나 이상의 실시예에서, 선반 부재(70)는 블레이드 부분(102)의 제1 및 제2 표면(114, 118)으로부터 연장되는 인터로킹 특징부(186)를 구비한다. 예를 들어, 제1 그룹(190)의 인터로킹 특징부(186)는 제1 표면(114)으로부터 제1 리브 구조물(166) 및 제1 그룹(142)의 보스(110)를 거쳐서 연장될 수 있다. 마찬가지로, 제2 그룹(194)의 인터로킹 특징부(186)는 제2 표면(118)으로부터 제2 리브 구조물(170) 및 제2 그룹(146)의 보스(110)를 거쳐서 연장될 수 있다.
적어도 도 6 내지 도 7f에 도시되어 있듯이, 다양한 실시예에서, 제1 및 제2 그룹(190, 194)의 인터로킹 특징부(186)는 서로 상보적이며, 돌출부 및 대응 리세스와 중첩되거나 끼워맞춤됨으로써 함께 교합되거나 끼워맞춤되도록 구성된다. 예를 들어, 도 7a 내지 도 7c에는 제1 그룹(190)의 인터로킹 특징부(186)가 도시되어 있다. 제1 그룹(190)은 제1 리브 구조물(166)로부터 및 제1 그룹의 보스(142)로부터 연장되는 복수의 돌출부(198)를 구비한다. 예를 들어, 제1 리브 구조물(166)은 제1 리브 구조물(166)의 에지(202)로부터 연장되는 복수의 리브형 돌출부(198)를 구비한다. 제1 그룹의 보스(142)는 개구(162)를 둘러싸는 환형 돌출부(198)를 구비한다.
마찬가지로, 도 7d 내지 도 7f에 도시하듯이, 제2 그룹(194)의 인터로킹 특징부(186)는 제1 그룹(190)의 인터로킹 특징부(186) 내의 복수의 돌출부(198)의 형상에 대응하는 형상을 갖는 복수의 리세스(206)를 구비한다. 예를 들어, 제2 리브 구조물(170)은 제2 리브 구조물(170)의 에지(202)에 복수의 리브형 리세스(206)를 구비한다. 제2 그룹의 보스(146)는 개구(162)를 둘러싸는 환형 리세스(206)를 구비한다. 하나 이상의 실시예에서, 인터로킹 리브 구조물(166, 170)은 개별 선반 부재(70) 사이의 측방 이동에 저항한다.
도 8 내지 도 12를 참조하면, 조립 시에, 복수의 선반 부재(70)는 지지 칼럼(68, 69)(도 2)을 형성하기 위해 상호 적층될 수 있다. 일부 실시예에서, 각각의 선반 부재(70)는 복수의 지지 막대(82) 상에 적층된다. 특정 실시예에서, 선반 부재(70)가 적층되면, 지지 막대(82)는 스택을 통해서, 보스(110) 각각의 개구(162)를 거쳐서 삽입될 수 있다. 다양한 실시예에서, 지지 막대(82)에 대한 끼워맞춤은 막대(82)와 선반 부재(70)의 구조적 상호작용에 따라서 헐거운 끼워맞춤, 슬립 끼워맞춤 또는 압입 끼워맞춤일 수 있다. 다양한 실시예에서, 지지 막대(82)는 선반 부재(70)의 스택을 함께 고정하여 지지 칼럼(68)을 형성하기 위해 체결구(98)를 사용하여 상부 및 하부 장착 브래킷(86, 90)과 캡(94)에 연결될 수 있다. 지지 막대가 전혀 사용되지 않는 실시예도 고려되며, 여기에서 보스(110) 사이에 형성된 조인트는 충분한 구조적 완전성을 제공한다.
전술했듯이, 선반 부재(70)의 각각은 서로의 거울 이미지이며, 제1 및 제2 표면(114, 118) 상의 리브 구조물(106) 및 보스(110)의 실질적으로 동일한 위치설정을 갖는다. 예를 들어, "좌측" 지지 칼럼(68)을 형성하기 위해, 선반 부재(70)는 제1 표면(114)이 위쪽으로 향하고 제2 표면(118)이 아래쪽으로 향하는 상태로 적층된다. 반대로, "우측" 지지 칼럼(69)(도 2)을 형성하기 위해, 선반 부재(70)는 제2 표면(118)이 위쪽으로 향하고 제1 표면(114)이 아래쪽으로 향하는 상태로 적층된다.
도 9 내지 도 12에 도시하듯이, 제1 선반 부재(222) 및 제2 선반 부재(226)는 서로의 바로 위에 배치된다. 선반 부재(222, 226)의 각각은 좌측 지지 칼럼(68)에서 선반으로서 작용하도록 배향된다. 따라서, 제2 선반 부재(226)의 제1 그룹의 보스(142) 및 제1 리브 구조물(166)은 제1 선반 부재(122)의 제2 그룹의 보스(146) 및 제2 리브 구조물(170) 아래에 배치된다. 제1 및 제2 선반 부재(222, 226)가 함께 배치될 때, 선반 부재(222, 226)의 인터로킹 특징부(186)는 함께 끼워맞춤되어, 도 10에 도시된 두 개의 선반 스택(230)을 형성한다.
제1 그룹(142)의 보스(110)의 환형 돌출부(198)는 제2 그룹(146)의 보스(110)의 리세스(206) 내에 끼워지며, 이들은 도 11에 도시된 인터로킹 관계로 함께 끼워진다. 마찬가지로, 제1 및 제2 리브 구조물(166, 170)의 돌출부(198) 및 리세스(206)는 도 12에 도시하듯이 함께 끼워진다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른 상부 브래킷(86)이 도시되어 있다. 상부 브래킷(86)은 상향 표면(238) 및 하향 표면(242)을 갖는 본체 부분(234)을 구비할 수 있다. 상부 브래킷(86)은 지지 막대(82)를 수용하기 위한 하향 표면(242)의 지지 막대 입구(246), 및 개구(250)에 삽입된 체결구(98)에 의해 지지 막대(82)와 상부 브래킷(86)을 함께 고정하기 위한 상향 표면(238)의 개구(250)를 구비할 수 있다.
또한, 상부 브래킷(86)은 상향 표면으로부터 연장된 정렬 특징부(254)를 구비할 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 정렬 특징부(254)는 표면(238)으로부터 위쪽으로 연장되는 재료의 세장형 리브이다. 다양한 실시예에서, 정렬 특징부(254)는, 용기(30) 내에 장착될 때 지지 칼럼(68, 69)의 정렬을 위해, 텅 및 홈 특징부와 같은, 기판 용기(30)(도 1)의 구조적 요소와 결합할 수 있다.
도 14a 및 도 14b를 참조하면, 하나 이상의 실시예에 따른 하부 브래킷(90)이 도시되어 있다. 하나 이상의 실시예에서, 하부 브래킷(90)은 전방 브래킷(91) 및 후방 브래킷(92)을 구비한다. 전방 브래킷(91)은 지지 막대(82)를 수용하기 위한 지지 막대 입구(258)를 구비할 수 있다. 특정 실시예에서, 지지 막대(82)는 압입, 접착제 또는 나사 끼워맞춤을 포함하지만 이것에 한정되지 않는 다양한 방법에 의해 적소에 유지된다. 전방 브래킷(91)은 장착 부분(266)을 지지 막대 입구(258)로부터 오프셋시키는 오프셋 부분(262)을 구비할 수 있다. 다양한 실시예에서, 장착 부분(266)은 체결구(98)를 수용하기 위해 나사산 형성된다. 마찬가지로, 후방 브래킷(92)은 한 쌍의 지지 막대 입구(270, 274) 및 상기 지지 막대 입구(270, 274)를 장착 입구(286)에 연결시키는 오프셋 부분(278, 282)을 구비할 수 있다.
도 15a 내지 도 16b를 참조하면, 조립 시에, 지지 칼럼(68, 69)은 기판 용기(30)의 내부(43)에 삽입될 수 있다. 도 15b 및 도 15c에 도시하듯이, 지지 칼럼(68, 69)의 각각은 하부 브래킷(90)을 통해서 내부(43)에 장착될 수 있다. 컨베이어 판(56) 및 바닥 판(38)은 하부 브래킷(90)의 각각에서 체결구(98)를 장착 부분(266)에 삽입하기 위한 다양한 장착 위치(290)를 구비할 수 있다. 특정 실시예에서, 이들 장착 지점(290)은 용기(30)에 대해 표준화된 위치에 배치될 수 있으며 하부 브래킷(90)의 각각은 지지 칼럼(68, 69)을 용기(30) 내부의 기존 장착 위치(290)에 장착되도록 적응시킨다. 따라서, 하부 브래킷(90)의 각각은 지지 칼럼(68, 69)의 지지 막대(82)를 도 14a 및 도 14b에 도시된 오프셋 부분(262, 278, 282)을 통해서 다양한 장착 위치(290)에 연결시킨다.
도 16a 및 도 16b에 도시된 실시예에서, 조립 시에, 사전-조립된 지지 칼럼(68, 69)이 용기 내에 후방으로 삽입됨에 따라, 상부 브래킷(86)의 정렬 특징부(254) 및 선반 부재(70)의 정렬 특징부(254)는 상측 부분(36)(도 16a)의 내부로부터 연장되는 전방 홈 특징부(300) 및 기판 용기(30)(도 16b)의 내표면(308)으로부터 연장되는 후방 홈 특징부(304)와 결합한다. 따라서, 지지 칼럼(68, 69)이 삽입됨에 따라, 정렬 특징부(254, 182)는 지지 칼럼(68, 66)의 각각을 기판 용기(30)의 바닥 판(38)에 대한 하부 브래킷(90)의 부착을 위한 위치로 안내한다.
본 발명의 다양한 실시예의 설명은 예시적인 목적으로 제공되었지만, 배타적이거나 개시된 실시예로 한정되도록 의도되지 않는다. 기술된 실시예의 취지 및 범위를 벗어나지 않는 여러가지 수정 및 변경이 통상의 기술자에게 명백할 것이다. 본 명세서에 사용된 용어는 실시예의 원리, 실제 적용 또는 기존 기술에 대한 기술적 개선을 설명하기 위해서 또는 통상의 기술자가 본 명세서에 개시된 실시예를 이해할 수 있게 하기 위해서 선택되었다.

Claims (20)

  1. 기판 지지 조립체이며,
    한 쌍의 기판 지지 칼럼을 포함하고,
    각각의 기판 지지 칼럼은 복수의 선반 부재의 스택 및 상기 스택을 함께 고정하기 위해 스택을 통해서 삽입되는 복수의 지지 막대를 구비하며, 각각의 선반 부재는 대향하는 제1 표면 및 제2 표면을 갖는 블레이드 부분과 상기 블레이드 부분의 전방 부분에서 후방 부분으로 연장되고 블레이드 부분의 외주 및 내주를 형성하는 한 쌍의 종방향 에지를 구비하며,
    상기 블레이드 부분은,
    상기 제1 표면으로부터 연장되는 제1 리브 구조물 및 상기 제2 표면으로부터 연장되는 제2 리브 구조물로서, 블레이드 부분의 외주에 근접하여 위치되고 블레이드 부분의 전방 부분에서 후방 부분으로 연장되는, 제1 및 제2 리브 구조물;
    상기 제1 표면으로부터 연장되는 제1 복수의 보스 및 상기 제2 표면으로부터 연장되는 제2 복수의 보스로서, 제1 및 제2 복수의 보스는 블레이드 부분의 외주에 근접하여 위치되고, 각각은 블레이드 부분의 전방 부분에 위치하는 전방 보스 및 블레이드 부분의 후방 부분에 위치하는 후방 보스를 구비하며, 전방 보스와 후방 보스는 선반 부재를 관통하는 개구를 형성하는, 제1 및 제2 복수의 보스; 및
    상기 제1 리브 구조물의 에지에 형성되는 제1 그룹의 인터로킹 특징부 및 상기 제2 리브 구조물의 에지에 형성되는 제2 그룹의 인터로킹 특징부를 구비하며,
    복수의 선반 부재 중 인접한 선반 부재 사이의 상보적 인터로킹을 위해 제1 그룹의 인터로킹 특징부는 돌출부를 구비하고 제2 그룹의 인터로킹 특징부는 대응 리세스를 구비하며,
    상기 복수의 선반 부재의 스택은 제1 및 제2 리브 구조물 중 적어도 하나를 통해서 하나 이상의 인접한 선반 부재와 적층되는 각각의 선반 부재를 구비하고, 따라서 각각의 선반 부재를 제1 및 제2 그룹의 인터로킹 특징부 중 적어도 하나를 통해서 복수의 선반 부재 중 하나 이상의 인접한 선반 부재와 인터로킹하며, 복수의 선반 부재의 개구는 복수의 지지 막대의 삽입을 위해 정렬되고 스택을 관통하는 복수의 채널을 형성하고, 상기 스택은 제1 및 제2 표면의 상향 표면을 구비하는 최상위 선반 부재와 상기 최상위 선반 부재의 상향 표면의 전방 보스에 연결되는 상부 브래킷을 추가로 구비하며, 상기 상부 브래킷은 본체 부분과 상기 본체 부분으로부터 상향 연장되는 정렬 특징부를 구비하고, 상기 정렬 특징부는 지지 칼럼의 정렬을 위해 기판 용기 내의 홈과 결합하기 위한 리브를 구비하는, 기판 지지 조립체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 리브 구조물은 제1 복수의 보스 중 전방 보스와 후방 보스 사이에서 연장되며, 상기 제2 리브 구조물은 제2 복수의 보스 중 전방 보스와 후방 보스 사이에서 연장되는, 기판 지지 조립체.
  3. 제1항에 있어서, 상기 블레이드 부분은 제1 표면 상에 형성되는 제1 정렬 특징부 및 제2 표면 상에 형성되는 제2 정렬 특징부를 추가로 구비하며, 상기 제1 및 제2 정렬 특징부는 블레이드 부분의 외주에 근접하여 위치되고, 지지 칼럼의 정렬을 위해 기판 용기 내의 홈과 결합하기 위해 제1 및 제2 표면으로부터 연장되는 리브를 구비하는, 기판 지지 조립체.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 스택은 제1 및 제2 표면의 하향 표면을 구비하는 최하위 선반 부재를 구비하고;
    상기 스택은 하향 표면의 전방 보스에 연결되는 제1 하부 브래킷 및 하향 표면의 후방 보스에 연결되는 제2 하부 브래킷을 구비하며, 상기 제1 및 제2 하부 브래킷은 복수의 지지 막대 중 하나의 단부에 연결되는 지지 막대 입구, 기판 용기의 바닥 판에 연결하기 위한 장착 부분, 및 상기 장착 부분을 지지 막대 입구로부터 오프셋시키는 오프셋 부분을 구비하는, 기판 지지 조립체.
  6. 제1항 내지 제3항 및 제5항 중 어느 한 항의 기판 지지 조립체를 포함하는 기판 용기.
  7. 기판 용기를 조립하는 방법이며,
    두 개의 대향 측벽, 후방 측벽, 상부 측벽 및 바닥 판을 구비하는 용기 부분의 내부에 한 쌍의 기판 지지 칼럼을 삽입하는 단계로서, 상기 용기 부분은 기판을 수용하기 위해 기판 용기의 내부에 대한 기판 용기의 전방부에 개구를 형성하며, 상기 한 쌍의 기판 지지 칼럼 각각은;
    복수의 선반 부재의 스택 및 상기 스택을 함께 고정하기 위해 스택을 통해서 삽입되는 복수의 지지 막대를 구비하며, 각각의 선반 부재는 대향하는 제1 표면 및 제2 표면을 갖는 블레이드 부분과 상기 블레이드 부분의 전방 부분에서 후방 부분으로 연장되고 블레이드 부분의 외주 및 내주를 형성하는 한 쌍의 종방향 에지를 구비하며, 상기 스택은 제1 및 제2 표면의 하향 표면을 구비하는 최하위 선반 부재를 구비하고, 상기 스택은 하향 표면의 전방 부분에 연결되는 제1 하부 브래킷 및 하향 표면의 후방 부분에 연결되는 제2 하부 브래킷을 구비하며, 상기 제1 및 제2 하부 브래킷은 복수의 지지 막대 중 하나의 단부에 연결되는 지지 막대 입구, 바닥 판에 연결하기 위한 장착 부분, 및 상기 장착 부분을 지지 막대 입구로부터 오프셋시키는 오프셋 부분을 구비하는 것; 및
    상기 한 쌍의 기판 지지 칼럼의 각각을 제1 및 제2 하부 브래킷을 거쳐서 용기 부분의 바닥 판에 장착하는 것을 포함하는, 기판 용기 조립 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 용기 부분은 상부 측벽의 내부로부터 연장되는 홈을 구비하며, 상기 스택은 제1 및 제2 표면의 상향 표면을 갖는 최상위 선반 부재를 구비하고 상향 표면의 전방 부분에 연결되는 상부 브래킷을 구비하며, 상기 상부 브래킷은 본체 부분 및 상기 본체 부분으로부터 상향 연장되는 정렬 특징부를 구비하고, 상기 정렬 특징부는 용기 부분 내의 홈과 결합하기 위한 리브를 구비하며,
    상기 방법은,
    한 쌍의 기판 지지 칼럼의 각각을 용기 부분의 내부에서 상부 브래킷의 정렬 특징부에 의해 정렬시키는 단계를 추가로 포함하는, 기판 용기 조립 방법.
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