JP6854335B2 - モジュール式基板支持柱のインターロック - Google Patents

Description

関連出願
本出願は、２０１５年８月２５日に出願された米国仮特許出願第６２／２０９，７７１号および２０１５年１２月２１日に出願された米国仮特許出願第６２／２７０，３８８号に対する優先権を主張し、その開示内容はその全体が参照により本明細書に組み込まれる。

本開示は、半導体処理装置に関し、より具体的には半導体基板用容器に関する。

半導体デバイスの小型化、低コスト化、および高性能化への要求が高まるとともに、集積回路の小型化、薄型化への要求が高まっている。これらのより小型の集積回路を実現するために、集積回路製造プロセスにおいて薄い半導体基板またはウエハを使用することができる。

集積回路へのウエハの処理における様々な時点で、ウエハは基板容器内に固定される。これらの基板容器は、ウエハの下面で、およびその外周部でウエハを水平に支持することができる。しかし、ウエハが薄くなるにつれて、ウエハのますます薄い構造に対する重力の影響によって、そのような基板容器内に配置されたときにウエハはますます弛む傾向がある。この弛みは、基板容器内でのウエハの支持の困難性を増大させ、結果として、処理中にウエハに損傷を与えるリスクを増大させる。さらに、ウエハのさらなる弛みは、ウエハをハンドリングするための自動化されたプロセスとの相互運用性の問題を引き起こすおそれがある。したがって、薄い基板をハンドリングするための改善された基板容器が望ましい。

本開示の様々な実施形態は、様々なタイプの基板容器に搭載可能である。例えば、本開示のいくつかの実施形態は、ＳＥＭＩ標準ウエハポケット寸法と自然に位置がずれている取付け位置を含む基板容器内に取り付けるために支持柱を適合させるオフセット取付け位置を有する取付けブラケットを含む。これは、４５０ｍｍ基板容器などの以前の設計とは異なるアプローチであって、取付け位置が各アセンブリロッドの中心軸と単純に一致している。スタック可能なウエハ棚を有する４５０ｍｍの基板容器の概念は、本願の所有者が所有する米国特許第８，９１９，５６３号に示されており、特許請求の範囲およびそれに含まれる明示的な定義を除いてその全体が参照により本明細書に組み込まれる。

本開示の実施形態は、薄い基板を基板容器内に支持するための基板支持アセンブリに関する。様々な実施形態では、基板支持アセンブリは、複数の支持ロッドと上側および下側の取付けブラケットとによって共にスタックされ、所定の位置に固定された複数の個々の棚部材をそれぞれ含む一対のモジュール式支持柱を含む。様々な実施形態では、支持ロッドの各々は、スタックされた棚部材を貫通して挿入され、支持柱に構造的支持を提供する。上側および下側の取付けブラケットは、支持柱を基板容器内に取り付けるために、支持柱のそれぞれの上部および底部に取り付けられている。

様々な実施形態は、様々なタイプの基板容器に薄い基板を格納するための費用効果が高く構成可能なモジュール式設計を提供する。例えば、本開示の実施形態は、複数の個別に成形された棚部材をスタックすることによって組み立てられて、複数部品の基板支持体を形成するモジュール式支持柱を含む。様々な実施形態では、個々の棚部材の各々は同一であり、同じ設計を使用して構成される。さらに、特定の実施形態では、各棚部材はリバーシブルである。このように、同じ設計が基板支持アセンブリの両面を組み立てるために使用可能である。さらに、各支持柱の棚またはスロットの数は、組立に使用される棚部材の数に基づいて、組立中に容易に変更することができる。

結果として、製造の複雑さが低減され、複数の単一の棚を含む基板支持構造の従来の設計を、異なる左側面および右側面の設計に置き換える。さらに、従来の設計は、薄い基板を支持するのに適した深いリブ付き棚を備えた単一支持構造の射出成形の実際の限界に対処しなければならない。さらに、従来の設計は、この製品のために予想される体積要求がより低く、射出成形金型を製造するためのコストが高いために、製造コストが高い。

１つまたは複数の実施形態によれば、基板支持アセンブリは、各々が複数の棚部材のスタックと、スタックを一緒に固定するためにスタックに挿入された複数の支持ロッドとを含む一対の基板支持柱を含む。各棚部材は、第１および第２の対向する表面を有するブレード部分と、前方部分から後方部分まで延在する一対の長手方向縁部とを含むことができる。一対の長手方向縁部は、ブレード部分の外周部および内周部を画定することができる。

様々な実施形態では、ブレード部分は、第１の表面から延在する第１のリブ構造体と、第２の表面から延在する第２のリブ構造体とを含む。第１および第２のリブ構造体は、ブレード部分の外周部に向かって配置され、前方部分から後方部分まで延在することができる。いくつかの実施形態では、ブレード部分は、第１の表面から延在する第１の複数のボスと、第２の表面から延在する第２の複数のボスとを含む。第１および第２の複数のボスは、外周部に向かって配置され、前方部分に配置された前方ボスと、後方部分に配置された後方ボスとをそれぞれ含むことができる。１つまたは複数の実施形態では、前方ボスおよび後方ボスは、棚部材を貫通する複数の開口部を画定する。

特定の実施形態では、ブレード部分は、第１のリブ構造体の縁部に画定されたインターロック機構の第１のグループと、第２のリブ構造体の縁部に画定されたインターロック機構の第２のグループとを含む。インターロック機構の第１のグループは突出部を含むことができ、インターロック機構の第２のグループは、インターロック機構の第１のグループと第２のグループとの間の相補的インターロックのための対応する凹部を含むことができる。

１つまたは複数の実施形態では、複数の棚部材のスタックは、第１および第２のリブ構造体のうちの少なくとも一方を介して１つまたは複数の隣接する棚部材と共にスタックされた棚部材の各々を含む。様々な実施形態では、それによって、スタックがインターロック機構の第１および第２のグループのうちの少なくとも一方を介して、各棚部材を１つまたは複数の隣接する棚部材とインターロックする。いくつかの実施形態では、それによって、スタックが複数の棚部材の開口部を整列させ、支持ロッドを挿入するためのスタックを貫通する複数のチャネルを画定する。

上記の概要は、本開示の各例示された実施形態またはすべての実施形態を説明することを意図するものではない。

本願に含まれる図面は、明細書に組み込まれ、明細書の一部を形成する。それらは、本開示の実施形態を示し、説明と共に、本開示の原理を説明するのに役立つ。図面は、特定の実施形態の単なる例示であり、本開示を限定するものではない。

本開示の１つまたは複数の実施形態による、基板支持アセンブリを含む基板容器を示す図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、一対の相補的な基板支持柱の斜視図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、棚部材の斜視図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、棚部材の第１の平面図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、図４の棚部材の第２の平面図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、図４の棚部材の側面図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、図４の棚部材の部分図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、図４の棚部材の部分図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、図４の棚部材の部分図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、図４の棚部材の部分図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、図４の棚部材の部分図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、図４の棚部材の部分図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、基板支持柱の分解図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、複数の棚部材の斜視図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、棚部材のスタックの側面図である。 図１０の線１１−１１に沿った断面図である。 図１０の線１２−１２に沿った断面図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、上側ブラケットの斜視図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、下側ブラケットの平面図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、下側ブラケットの平面図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、基板容器の正面図である。 図１５Ａの線Ｂ−Ｂに沿った断面図である。 図１５Ｃの線Ｃ−Ｃに沿った断面図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、基板容器内の上側ブラケットおよびタングおよび溝機構の断面図である。 本開示の１つまたは複数の実施形態による、基板容器内の基板棚およびタングおよび溝機構の断面図である。

本開示の実施形態は様々な変更および代替形式に従うが、それらの詳細は図面において例として示され、詳細に説明される。しかしながら、本開示を記載された特定の実施形態に限定することを意図するものではないことを理解されたい。むしろ、本開示の趣旨および範囲内に入るすべての変形例、等価例、および代替例を含むことを意図するものである。

図１を参照すると、本開示の一実施形態による、複数の基板を格納するための基板容器３０が示されている。本明細書で使用される場合、複数の基板は、半導体、プリント回路基板、フラットパネルディスプレイなどの製造に使用される基板またはウエハを含む。特定の実施形態では、基板容器３０は、２つの対向する側部３４、上部３６、底部プレート３８および背部４２を含む。側部３４、上部３６、背部４２および底部プレートは、基板容器３０の内部４３を画定する。基板容器３０の前部４４は、基板３２の挿入および取り外しのためのドア開口４８を画定するドアフレーム４６を含む。ドア５２は、ドア開口４８を封止して覆うように適合されている。基板容器３０のドア開口４８は、軸５４を含むフェイシャル基準面またはＺ−Ｙ平面内にあり、Ｚ軸によって示される垂直または上方方向に平行である。様々な実施形態では、基板容器３０は微小環境を含むものとして特徴付けられる。

特定の実施形態では、基板容器３０は、底部プレート３８の下に配置されたコンベアプレート５６をさらに含む。様々な実施形態では、コンベアプレート５６は、様々な基板処理工程の間に、基板容器３０の機械ベースの位置決めおよびアライメントのために、基板容器３０の底部に取り付けられる。

１つまたは複数の実施形態では、一対の基板支持柱６８、６９を含む基板支持アセンブリ６６が、基板容器３０内に配置される。特定の実施形態では、支持柱６８、６９の各々は、側部３４のそれぞれ１つに近接している。一対の支持柱６８、６９は、複数のスロットを画定するように整列された複数の棚部材７０をそれぞれ含む。支持柱６８、６９の各々は、基板３２などの基板が複数の棚部材７０によってそれらの間に支持され得るように離間されている。

図２〜図８を参照すると、本開示の一実施形態による一対の基板支持柱６８、６９が示されている。図示する実施形態では、基板支持柱６８、６９は、スタックされた棚部材７０を貫通して延在する複数の支持ロッド８２（図８）によって共に固定された複数のスタックされた棚部材７０を含む。上側および下側ブラケット８６、９０、キャップ９４、および締結具９８を支持ロッド８２に取り付けることができる。１つまたは複数の実施形態では、支持柱６８、６９の各々は、上向きの面１００を有する最上部の棚部材９９と、下向きの面１０３を有する最下部の棚部材１０１とを含む。

様々な実施形態では、棚部材７０は、ブレード部分１０２と、複数のリブ構造体１０６と、ボス１１０とをそれぞれ含む。１つまたは複数の実施形態では、棚部材７０は、Ｚ方向および横方向境界の基板移動を拘束するために、スタックされたブレード部分１０２を介して、Ｘ−Ｙ平面内の基板移動を拘束するために、リブ構造体１０６およびボス１１０を介して、上側および下側の境界を形成する。特定の実施形態では、隣接する各棚部材７０の間の距離は、基板ピッチに等しい。いくつかの実施形態では、各隣接する棚部材７０の間の距離は２０ミリメートル（ｍｍ）である。特定の実施形態では、隣接する各棚部材の間の距離は１０ｍｍである。１つまたは複数の実施形態では、各隣接する棚部材７０の間の距離は、１０ｍｍ〜２０ｍｍの範囲内にある。様々な実施形態では、各棚部材の間の距離は、ユーザの要求に応じて変えることができる。特定の実施形態では、ブレード部分１０２は、水平基準面に実質的に平行である。いくつかの実施形態では、ブレード部分１０２は、支持柱６８、６９における基板保持を助けるために、水平基準面に対してある角度に設定される。例えば、いくつかの実施形態では、ブレード部分１０２は、基板容器３０（図１）の背部４２に向かって傾斜する角度に設定される。いくつかの実施形態では、その角度は水平基準面から１度から４度の間にある。

様々な実施形態では、上向きの面１００のボス１１０は上側ブラケット８６に接続され、下向きの面１０３のボス１１０は下側ブラケット９０に接続される。１つまたは複数の実施形態では、複数のスタックされた棚部材７０、ブラケット８６、９０、およびキャップ９４の各々は、個々の構成要素である。いくつかの実施形態では、最上部の棚部材９９および上側ブラケット８６は一体構造である。同様に、特定の実施形態では、最下部の棚部材および下側ブラケット９０は一体構造である。様々な実施形態では、棚部材７０は、同一の棚部材７０が、左支持柱６９および右支持柱６９の両方を組み立てるために使用できるように鏡像構造を有するように設計される。例えば、棚部材７０を単に回転または反転させて、棚部材７０を左側棚または右側棚として機能させるように構成することができる。

様々な実施形態では、棚部材７０は、ポリマー、エラストマー、金属、または他の適切な材料を含むが、これに限定されない、様々な材料を使用して構成することができる。これらの部材は、射出成形、インサート成形、オーバーモールド成形、または様々な適切な成形プロセスを使用して製造することができる。

図３〜図６に示すように、ブレード部分１０２は、第１および第２の対向する表面１１４、１１８および前方部分１２６から後方部分１３０まで延在する長手方向縁部１２２を有する実質的に平面の形状を有してもよい。様々な実施形態では、長手方向縁部１２２は、外周部１３４および内周部１３８を画定する。様々な実施形態では、外周部１３４および内周部１３８は、湾曲し、または円弧状であって、基板容器３０（図１）の内側側壁３４と概ね一致する形状を有する。いくつかの実施形態では、ブレード部分１０２は、基板をブレード表面１１４、１１８から離すために、第１および第２の表面１１４、１１８上にパッドまたはバンプ（図示せず）をさらに含む。

１つまたは複数の実施形態では、棚部材の各々は、複数のボス１１０およびリブ構造体１０６を含む。例えば、ブレード部分１０２は、第１の表面１１４から延在する第１のグループのボス１４２と、第２の表面１１８から延在する第２のグループのボス１４６とを有することができる（図４および図５）。

様々な実施形態では、複数のボス１１０は、ブレード部分１０２の外周部１３４に沿った様々な位置に配置された円形スタッドまたは隆起である。例えば、いくつかの実施形態では、ブレード部分１０２は、前方部分１２６に配置された前方ボス１５０と、後方部分１３０に配置された後方ボス１５４とを含む。特定の実施形態では、第１および第２のグループのボス１４２、１４６はそれぞれ、前方ボス１５０と後方ボス１５４との間で外周部１３４に沿って配置された１つまたは複数の中間ボス１５８を含む。

様々な実施形態では、複数のボス１１０の各々は、棚部材７０を貫通する開口部１６２を画定する。例えば、第１および第２の表面１１４、１１８上の前方ボス１５０は、前方部分１３４に開口部１６２を画定する。同様に、第１および第２の表面１１４、１１８上の後方ボス１５４は、後方部分１３０に開口部１６２を画定する。

１つまたは複数の実施形態では、棚部材７０のリブ構造体１０６は、第１の表面１１４から延在する第１のリブ構造体１６６と、第２の表面１１８から延在する第２のリブ構造体１７０とを含む。したがって、リブ構造体１０６は、第１および第２の表面１１４、１１８上の材料の隆起したリブまたは部分である。

１つまたは複数の実施形態では、第１および第２のリブ構造体１６６、１７０は、外周部１３４に近接して前方部分１２６から後方部分１３０まで延在する。いくつかの実施形態では、リブ構造体１０６は、棚部材７０内の複数のボス１１０の各々の間に延在する。例えば、図３に示すように、リブ構造体１０６は、前方ボス１５０と中間ボス１５８との間に延在する第１の部分１７４と、中間ボス１５８と後方ボス１５４との間に延在する第２の部分１７８とを含むことができる。

いくつかの実施形態では、棚部材７０はアライメント機構１８２を含む。様々な実施形態では、アライメント機構１８２は、第１および第２の表面１１４、１１８から延在する材料の隆起したリブである。アライメント機構１８２は、リブ構造体１０６と外周部１３４との間に配置することができる。いくつかの実施形態では、アライメント機構１８２は、概ねブレード部分１０２の後方部分１３０に向かって配置される。いくつかの実施形態では、アライメント機構１８２は、容器３０内の支持柱６８、６９のアライメントのために、タングおよび溝機構などの基板容器３０（図１）の構造要素と係合する。

１つまたは複数の実施形態では、棚部材７０は、ブレード部分１０２の第１および第２の表面１１４、１１８から延在するインターロック機構１８６を含む。例えば、インターロック機構１８６の第１のグループ１９０は、第１のリブ構造体１６６およびボス１１０の第１のグループ１４２を介して、第１の表面１１４から延在することができる。同様に、インターロック機構１８６の第２のグループ１９４は、第２のリブ構造体１７０およびボス１１０の第２のグループ１４６を介して、第２の表面１１８から延在することができる。

少なくとも図６〜図７Ｆに示すように、様々な実施形態では、インターロック機構１８６の第１および第２のグループ１９０、１９４は、互いに相補的であり、突出部および対応する凹部と重なり合うか嵌合することによって互いに嵌合する。例えば、図７Ａ〜図７Ｃには、インターロック機構１８６の第１のグループ１９０が示されている。第１のグループ１９０は、第１のリブ構造体１６６および第１のグループのボス１４２から延在する複数の突出部１９８を含む。例えば、第１のリブ構造体１６６は、第１のリブ構造体１６６の縁部２０２から延在する複数のリブ形状の突出部１９８を含む。第１のグループのボス１４２は、開口部１６２を取り囲む環状の突出部１９８を含む。

同様に、図７Ｄ〜図７Ｆに示すように、インターロック機構１８６の第２のグループ１９４は、インターロック機構１８６の第１のグループ１９０内の複数の突出部１９８の形状に対応する形状を有する複数の凹部２０６を含む。例えば、第２のリブ構造体１７０は、第２のリブ構造体１７０の縁部２０２に複数のリブ形状の凹部２０６を含む。第２のグループのボス１４６は、開口部１６２を取り囲む環状の凹部２０６を含む。１つまたは複数の実施形態では、インターロックするリブ構造体１６６、１７０は、個々の棚部材７０の間の横方向移動に抵抗する。

図８〜図１２を参照すると、組立時に、複数の棚部材７０を互いにスタックして支持柱６８、６９（図２）を形成することができる。いくつかの実施形態では、各棚部材７０は、複数の支持ロッド８２上にスタックされる。特定の実施形態では、一旦、棚部材７０がスタックされると、支持ロッド８２を、各ボス１１０の開口部１６２を介して、スタックを貫通して挿入することができる。様々な実施形態では、支持ロッド８２への嵌合は、ロッド８２と棚部材７０との構造的相互作用に応じて、すきま嵌め、滑り嵌め、または圧入とすることができる。様々な実施形態では、支持ロッド８２は、棚部材７０のスタックを互いに固定するために、締結具９８を使用して上側および下側の取付けブラケット８６、９０およびキャップ９４に接続することができ、それにより支持柱６８を形成することができる。ボス１１０の間に形成されたジョイントが十分な構造的完全性を提供する場合には、支持ロッドを使用しない実施形態も考慮される。

既に説明したように、各棚部材７０は互いに鏡像であり、第１および第２の表面１１４、１１８上のリブ構造体１０６とボス１１０の位置が実質的に同一である。例えば、「左」支持柱６８を形成するために、棚部材７０は、第１の表面１１４が上向きに、第２の表面１１８が下向きになるようにスタックされる。反対に、「右」支持柱６９（図２）を形成するために、棚部材７０は、第２の表面１１８が上向きに、第１の表面１１４が下向きになるようにスタックされる。

図９〜図１２に示すように、第１の棚部材２２２および第２の棚部材２２６は、互いの上に直接に配置される。各棚部材２２２、２２６は、左支持柱６８の棚として機能するように配向されている。このように、第１のグループのボス１４２および第２の棚部材２２６の第１のリブ構造体１６６は、第２のグループのボス１４６および第１の棚部材１２２の第２のリブ構造体１７０の下に配置される。第１および第２の棚部材２２２、２２６が共に配置されると、棚部材２２２、２２６のインターロック機構１８６が共に嵌合し、それによって図１０に示す２つの棚スタック２３０を形成する。

ボス１１０の第１のグループ１４２の環状突出部１９８は、ボス１１０の第２のグループ１４６の凹部２０６内に嵌合し、図１１に示すインターロック関係で２つを互いに嵌合させる。同様に、第１および第２のリブ構造体１６６、１７０の突出部１９８および凹部２０６は、図１２に示すように互いに嵌合する。

図１３を参照すると、本開示の１つまたは複数の実施形態による上側ブラケット８６が示されている。上側ブラケット８６は、上向きの面２３８および下向きの面２４２を有する本体部分２３４を含むことができる。上側ブラケット８６は、支持ロッド８２を受け入れるための下向きの面２４２上の支持ロッド入口２４６と、支持ロッド８２と上側ブラケット８６とを開口部２５０に挿入された締結具９８を介して一緒に固定するための上向きの面２３８内の開口部２５０とを含むことができる。

加えて、上側ブラケット８６は、上向きの面から延在するアライメント機構２５４を含むことができる。１つまたは複数の実施形態では、アライメント機構２５４は、表面２３８から上方に延在する材料の細長いリブである。様々な実施形態では、アライメント機構２５４は、容器３０内に取り付けられたときに、支持柱６８、６９を整列させるために、タングおよび溝機構などの基板容器３０（図１）の構造要素と係合することができる。

図１４Ａ〜図１４Ｂを参照すると、１つまたは複数の実施形態による下側ブラケット９０が示されている。１つまたは複数の実施形態では、下側ブラケット９０は、前方ブラケット９１および後方ブラケット９２を含む。前方ブラケット９１は、支持ロッド８２を受け入れるための支持ロッド入口２５８を含むことができる。特定の実施形態では、支持ロッド８２は、圧入、接着剤、またはねじ嵌合を含むが、これに限定されない、様々な方法によって定位置に保持される。前方ブラケット９１は、取付け部分２６６を支持ロッド入口２５８からオフセットさせるオフセット部分２６２を含むことができる。様々な実施形態では、取付け部分２６６は、締結具９８を受け入れるためにねじが切られている。同様に、後方ブラケット９２は、一対の支持ロッド入口２７０、２７４と、支持ロッド入口２７０、２７４を取付け入口２８６に接続するオフセット部分２７８、２８２とを含むことができる。

図１５Ａ〜図１６Ｂを参照すると、組立時に、支持柱６８、６９を基板容器３０の内部４３に挿入することができる。図１５Ｂ〜図１５Ｃに示すように、各支持柱６８、６９を下側ブラケット９０を介して内部４３に取り付けることができる。コンベアプレート５６および底部プレート３８は、下側ブラケット９０のそれぞれの取付け部分２６６内に締結具９８を挿入するための様々な取付け位置２９０を含むことができる。特定の実施形態では、これらの取付け点２９０は、容器３０の標準化された位置に配置することができ、下側ブラケット９０の各々は、容器３０の内部の既存の取付け位置２９０に取り付けるために支持柱６８、６９を適合させる。したがって、下側ブラケット９０の各々は、図１４Ａ〜１４Ｂに記載されたオフセット部分２６２、２７８、２８２を介して、支持柱６８、６９の支持ロッド８２を様々な取付け位置２９０に接続する。

図１６Ａ〜図１６Ｂの図示する実施形態では、組立時に、予め組み立てられた支持柱６８、６９が容器内に後方に挿入されると、上側ブラケット８６のアライメント機構２５４と棚部材７０のアライメント機構２５４は、上部３６（図１Ａ）の内部から延在する前方溝機構３００、および基板容器３０の内面３０８から延在する後方溝機構３０４（図１６Ｂ）と係合する。その結果、支持柱６８、６９が挿入されると、アライメント機構２５４、１８２は、支持柱６８、６６の各々を、下側ブラケット９０を基板容器３０の底部プレート３８に取り付けるための位置に案内する。

本開示の様々な実施形態の説明は、例示のために提示されたものであって、網羅的なもの、あるいは開示された実施形態に限定されるものを意図していない。記載した実施形態の範囲および趣旨から逸脱することなく、多くの変更および変形が当業者には明らかであろう。本明細書で使用される用語は、実施形態の原理、市場で見出される技術に対する実用的な応用または技術的改良を説明するために、あるいは当業者が本明細書に開示する実施形態を理解できるように選択された。

Claims (7)

1. 基板支持アセンブリであって、
   一対の基板支持柱を含み、各々は、複数の棚部材のスタックと、前記スタックを一緒に固定するために前記スタックに挿入された複数の支持ロッドとを含み、各棚部材は、第１および第２の対向する表面を有するブレード部分と、前記ブレード部分の前方部分から後方部分まで延在し、かつ前記ブレード部分の外周部および内周部を画定する一対の長手方向縁部とを含み、前記ブレード部分は、
   前記第１の表面から延在する第１のリブ構造体と、前記第２の表面から延在する第２のリブ構造体とであって、前記第１および第２のリブ構造体は、前記外周部に近接して配置され、かつ前記前方部分から前記後方部分まで延在する、第１および第２のリブ構造体と、
   前記第１の表面から延在する第１の複数のボスと、前記第２の表面から延在する第２の複数のボスとであって、前記第１および第２の複数のボスは、前記外周部に近接して配置され、各々が前記前方部分に配置された前方ボスと、前記後方部分に配置された後方ボスとを含み、前記前方ボスおよび前記後方ボスは、前記棚部材を貫通する開口部を画定する、第１および第２の複数のボスと、
   前記第１のリブ構造体の縁部に画定されたインターロック機構の第１のグループと、前記第２のリブ構造体の縁部に画定されたインターロック機構の第２のグループとであって、前記インターロック機構の前記第１のグループは突出部を含み、前記インターロック機構の前記第２のグループは、前記複数の棚部材の隣接する棚部材間の相補的インターロックのための対応する凹部を含む、インターロック機構の第１および第２のグループと
   を含み、
   前記複数の棚部材の前記スタックは、前記第１および第２のリブ構造体のうちの少なくとも一方を介して１つまたは複数の隣接する棚部材と共にスタックされた前記棚部材の各々を含み、それによって、前記インターロック機構の前記第１および第２のグループのうちの少なくとも一方を介して、各棚部材を前記複数の棚部材の前記１つまたは複数の隣接する棚部材とインターロックし、前記複数の棚部材の前記開口部は、整列されて、前記複数の支持ロッドを挿入するための前記スタックを貫通する複数のチャネルを画定し、
   前記複数の棚部材の前記スタックは、前記第１および第２の表面のうち上向きの面を含む最上部の棚部材と、前記上向きの面の前記前方ボスに接続された上側ブラケットとを含み、
   前記上側ブラケットは、本体部分と、前記本体部分から上方に延在するアライメント機構とを含み、前記アライメント機構は、前記支持柱のアライメントのための基板容器内の溝と係合するためのリブを含む、
   基板支持アセンブリ。
2. 前記第１のリブ構造体は、前記第１の複数のボスの前記前方ボスと前記後方ボスとの間に延在し、前記第２のリブ構造体は、前記第２の複数のボスの前記前方ボスと前記後方ボスとの間に延在する、
   請求項１に記載の基板支持アセンブリ。
3. 前記ブレード部分は、前記第１の表面上に画定された第１のアライメント機構と、前記第２の表面上に画定された第２のアライメント機構とをさらに含み、前記第１および第２のアライメント機構は、前記外周部に近接して配置され、前記支持柱のアライメントのための基板容器内の溝と係合するための前記第１および第２の表面から延在するリブを含む、
   請求項１に記載の基板支持アセンブリ。
4. 前記スタックは、前記第１および第２の表面のうち下向きの面を含む最下部の棚部材を含み、
   前記スタックは、前記下向きの面の前記前方ボスに接続された第１の下側ブラケットと、前記下向きの面の前記後方ボスに接続された第２の下側ブラケットとを含み、前記第１および第２の下側ブラケットは、前記複数の支持ロッドのうちの１つの端部に接続された支持ロッド入口と、基板容器の底部プレートに接続するための取付け部分と、前記取付け部分を前記支持ロッド入口からオフセットさせるオフセット部分とを含む、
   請求項１に記載の基板支持アセンブリ。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の基板支持アセンブリを含む基板容器。
6. 基板容器を組み立てる方法であって、
   ２つの対向する側壁、背部側壁、上部側壁、および底部プレートを含む容器部分の内部に一対の基板支持柱を挿入するステップであって、前記容器部分は、前記基板容器の前部に、基板を収容するための前記基板容器の前記内部までの開口を画定し、前記一対の基板支持柱は各々、
   複数の棚部材のスタックと、前記スタックを一緒に固定するために前記スタックに挿入された複数の支持ロッドとを含み、各棚部材は、第１および第２の対向する表面を有するブレード部分と、前方部分から後方部分まで延在し、かつ外周部および内周部を画定する一対の長手方向縁部とを含み、前記スタックは、前記第１および第２の表面のうち下向きの面を含む最下部の棚部材を含み、前記スタックは、前記下向きの面の前記前方部分に接続された第１の下側ブラケットと、前記下向きの面の前記後方部分に接続された第２の下側ブラケットとを含み、前記第１および第２の下側ブラケットは、前記複数の支持ロッドのうちの１つの端部に接続された支持ロッド入口と、前記底部プレートに接続するための取付け部分と、前記取付け部分を前記支持ロッド入口からオフセットさせるオフセット部分とを含む、ステップと、
   前記第１および第２の下側ブラケットを介して、前記一対の基板支持柱の各々を前記容器部分の前記底部プレートに取り付けるステップと
   を含む方法。
7. 前記容器部分は、前記上部側壁の前記内部から延在する溝を含み、前記スタックは、前記第１および第２の表面のうち上向きの面を含む最上部の棚部材を含み、かつ、前記上向きの面の前記前方部分に接続された上側ブラケットを含み、前記上側ブラケットは、本体部分と、前記本体部分から上方に延在するアライメント機構とを含み、前記アライメント機構は、前記容器部分内の前記溝と係合するためのリブを含み、前記方法は、
   前記上側ブラケットの前記アライメント機構を介して、前記一対の基板支持柱の各々を前記容器部分の前記内部に位置合わせするステップをさらに含む、請求項６に記載の方法。

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