ITTO980327A1

ITTO980327A1 - Trasportatore composito

Info

Publication number: ITTO980327A1
Application number: IT98TO000327A
Authority: IT
Inventors: Shawn D Eggum; Sanjiv M Bhatt; Wayne C Olson
Original assignee: Fluoroware Inc
Priority date: 1997-04-16
Filing date: 1998-04-16
Publication date: 1999-10-16
Also published as: TW439172B; IT1303943B1; KR19980081457A; HK1015945A1; JPH10326825A; GB9808105D0; GB2324413B; CA2231742A1; MY126575A; FR2765563A1; US6039186A; DE19816834A1; FR2765563B1; GB2324413A

Description

DESCRIZIONE

del brevetto per invenzione industriale

SFONDO DELL'INVENZIONE

La presente invenzione si riferisce ad un trasportatore composito per fette di silicio progettato per il trasporto, immagazzinamento e lavorazione di dischi di fette di silicio semiconduttore usate nella produzione di componenti di circuiti integrati.

La lavorazione di dischi di fette di silicio in chip per circuito integrato, spesso prevede diverse fasi in cui i dischi vengono ripetutamente trattati, immagazzinati e trasportati. A causa della natura delicata dei dischi e del loro elevato valore, è vitale che siano appropriatamente protetti durante questo procedimento. Uno scopo del trasportatore per fette di silicio consiste nel fornire questa protezione. Inoltre, poiché la lavorazione dei dischi di fette di silicio è generalmente automatica, è necessario che i dischi siano posizionati con precisione rispetto all'attrezzatura di lavorazione per la rimozione e l'inserimento robotizzati delle fette di silicio. Un secondo scopo di un trasportatore per fette di silicio è di contenere in modo sicuro i dischi di fette di silicio durante il trasporto.

Il trasportatore convenzionale per fette di silicio è una singola parte stampata comprendente generalmente una estremità anteriore avente una parte di interfaccia a barra ad H, una estremità posteriore avente un pannello e pareti laterali aventi fessure e porzioni inferiori curve o convergenti che seguono la curvatura delle fette di silicio, e con una parte superiore aperta ed un fondo aperto. Questi progetti presentano problemi nella loro versatilità e nella loro produzione. Quando occorre apportare una regolazione alle strutture di un trasportatore a stampo singolo, lo stampo vecchio oppure una sua parte, viene tipicamente modificata o gettata e viene preparato una nuovo stampo oppure una sua parte. Le singole parti non modificate del trasportatore tipicamente non possono venire stampate separatamente e impilate per un montaggio futuro. Inoltre, parti stampate più grandi e più complesse aumentano la possibilità che si verifichino deformazioni o altri problemi strutturali, influenzando quindi la qualità e l'uniformità del prodotto. Per conseguenza, trasportatori per fette di silicio integrali a stampo .singolo sono di per sé inefficienti.

La presente invenzione utilizza parti stampate separatamente per formare un trasportatore composito per fette di silicio a barra ad H. Questo progetto riduce i problemi strutturali e di versatilità associati con i trasportatori a barra ad H a stampo singolo. Anzitutto, riducendo la dimensione volumetrica della parte stampata, vengono ridotti i problemi strutturali come la deformazione, aumentando quindi la qualità, la precisione e la solidità della produzione del trasportatore per fette di silicio. Inoltre, questo progetto aumenta la versatilità permettendo di soddisfare varie specifiche semplicemente riprogettando le pareti laterali o altri componènti, piuttosto che tutto il trasportatore per fette di silicio. Come risultato, la presente-invenzione è molto più efficiente rispetto ai progetti precedenti a stampo singolo.

Una realizzazione della presente invenzione consiste in un trasportatore a barra ad H per fette di silicio, che utilizza pareti laterali di impegno delle fette di silicio stampate separatamente, inserite in un telaio del trasportatore stampato delle fette di silicio. Il telaio del trasportatore per fette di silicio ha un elemento di estremità anteriore, un elemento di estremità posteriore opposto ed elementi di supporto laterali o elementi distanziatori che si estendono fra l'estremità dell'elemento anteriore ed elementi di estremità posteriore che forniscono mezzi di fissaggio per trattenere in posizione le pareti laterali. Ciascuna delle pareti laterali ha una pluralità di fessure per contenere e trattenere fette di silicio nel trasportatore durante il trasporto oppure la conservazione. L'elemento di estremità anteriore ha una barra ad H per interfacciarsi con l'attrezzatura di lavorazione per assicurare un allineamento preciso per l'inserimento e la rimozione robotizzati dei dischi di fette di silicio. Inoltre, un secondo sistema di interfaccia può venire posizionato sull'elemento di estremità posteriore.

Una caratteristica dell'invenzione consiste nell'aumentare l'efficienza di produzione del trasportatore per fette di silicio. Anziché dover progettare tutto il trasportatore per fette di silicio e produrre un nuovo stampo, una caratteristica per il trasportatore per fette di silicio può spesso venire soddisfatta semplicemente progettando pareti laterali nuove e inserendole in un telaio universale di un trasportatore per fette di silicio.

Un'altra caratteristica dell'invenzione consiste nell'aumentare sostanzialmente la versatilità del trasportatore per fette di silicio per ridurre il costo e lo scarto di materiale. Materiali più costosi, come polietereterchetone {PEEK), idealmente adatti per porzioni del trasportatore che impegnano le fette di silicio, possono venire limitati alle pareti laterali, con altri materiali convenzionali, come polipropilene (PP), polibutilentereftalato (PBT) e politetrafluoroetilene (PTFE), possono venire utilizzati per il telaio del trasportatore. Analogamente, anziché eliminare tutto il trasportatore per fette di silicio quando una serie di caratteristiche non vengono più utilizzate, le pareti laterali possono venire riprogettate per soddisfare le nuove caratteristiche senza alterare lo stampo dell'intelaiatura del trasportatore .

Un'altra caratteristica dell'invenzione consiste nel provvedere,una maggiore sicurezza di qualità costante da un trasportatore ad un altro, riducendo significativamente la deformazione e altri problemi associati con trasportatori per fette di silicio formati da uno stampo singolo.

Un'altra caratteristica dell'invenzione consiste nel provvedere una maggiore flessibilità nella valutazione di nuovi prodotti e progetti per le pareti laterali. La valutazione può venire eseguita semplicemente cambiando le pareti laterali piuttosto che tutto il trasportatore per fette di silicio.

Un'altra caratteristica dell'invenzione consiste nell'aumentare la precisione strutturale dei trasportatori per fette di silicio. Stampando le pareti laterali separatamente, i produttori possono soddisfare con maggiore precisione e costanza le caratteristiche richieste.

Un'altra caratteristica dell'invenzione, per certe realizzazioni, consiste nel provvedere una maggiore facilità di riparazione dei trasportatori per fette di silicio. Un trasportatore per fette di silicio può venire riparato o ricostruito sostituendo le pareti laterali o altre parti.

Un'altra caratteristica dell'invenzione consiste nel fatto che gli inserti delle pareti laterali possono venire stampati molto più facilmente con una deformazione minima. Quando vi è una certa deformazione dell'intelaiatura del trasportatore, come nell'intelaiatura che circonda l'apertura di inserimento della parete laterale, il supporto strutturale fornito mediante gli inserti delle due pareti laterali può correggere detta deformazione.

Un'altra caratteristica dell'invenzione consiste nel fatto che interfaccia addizionali per la macchina o flange con maniglie, possono venire collegate e cambiate, all'estremità posteriore del trasportatore per fette di silicio. Con una seconda interfaccia opposta per la macchina, il trasportatore per fette di silicio può venire posto sull'attrezzatura per recuperare le fette di silicio con le fette di silicio con il loro lato superiore verso l'alto oppure capovolte.

Un'altra caratteristica e vantaggio dell'invenzione nelle realizzazioni preferite consiste nel fatto che il trasportatore per fette di silicio montato ha un solo punto o linea di contatto alle unioni dei componenti separati. Inoltre, non è necessario alcun elemento di fissaggio esterno per montare i trasportatori.

BREVE DESCRIZIONE DEI DISEGNI

La Fig. 1è una vista prospettica del trasportatore composito per fette di silicio montato.

La Fig. 2 è una vista in proiezione di un trasportatore per fette di silicio con la sua prima estremità interfacciata con una attrezzatura di lavorazione

La Fig. 3 è una vista prospettica di una intelaiatura universale per un trasportatore per fette di silicio secondo l'invenzione.

La Fig. 4 è una vista prospettica di un'altra intelaiatura universale per un trasportatore per fette di silicio secondo l'invenzione.

La Fig. 5 è una vista,prospettica di una parete laterale secondo una realizzazione preferita dell'invenzione.

La Fig. 6 è una vista prospettica del lato anteriore della porzione superiore di una parete laterale secondo un'altra realizzazione preferita dell'invenzione.

La Fig. 7 è una vista prospettica del lato ante-· riore della porzione di fondo di una parete laterale secondo un'altra realizzazione preferita dell'invenzione.

La Fig. 8 è una vista prospettica di una parete laterale secondo una realizzazione preferita dell'invenzione.

La Fig. 9 è una vista prospettica del lato posteriore della porzione superiore di una parete laterale secondo un'altra realizzazione preferita dell'invenzione.

La Fig. 10 è una vista prospettica della porzione di fondo di una parete laterale secondo un'altra realizzazione preferita dell'invenzione.

La Fig. 11 è una vista prospettica di una parete laterale secondo una realizzazione preferita dell'invenzione.

La Fig. 12 è una vista prospettica dal lato posteriore della porzione superiore di una parete laterale secondo una realizzazione preferita dell'invenzione.

La Fig. 13 è una vista prospettica dal lato posteriore della porzione di fondo di una parete laterale secondo una realizzazione preferita dell'invenzione.

La Fig. 14 è una vista in-sezione trasversale sulla linea 14-14 della Fig. 15.

La Fig. 15 è una vista in proiezione laterale di un trasportatore composito per fette di silicio montato.

La Fig. 16 è una vista in sezione trasversale sulla linea 16-16 della Fig. 17.

La Fig. 17 è una vista in proiezione laterale di un trasportatore composito per fette di silicio montato.

La Fig. 18 è una vista prospettica di un trasportatore composito per fette di silicio montato secondo una realizzazione preferita dell'invenzione.

La Fig. 19 è una vista prospettica di un elemento di estremità posteriore.

La Fig. 20 è una vista prospettica di un elemento di estremità anteriore.

La Fig. 21 è una vista prospettica di una parete laterale.

La Fig. 22 è una vista prospettica di una intelaiatura alternativa.

La Fig. 23 è una vista prospettica di una realizzazione addizionale.

La Fig. 24 è una vista in esploso della realizzazione della Fig. 23.

La Fig. 25 è una vista in proiezione anteriore di un secondo sistema di interfaccia.

La Fig. 26 è una vista in pianta dall'alto della flangia o interfaccia con la macchina della Fig. 27..

La Fig. 27 è una vista in proiezione posteriore di una flangia o sistema di interfaccia adatto per attaccare i trasportatori per fette di silicio delle Fig. 23 e 24.

La Fig. 28 è una vista in sezione trasversale attraverso la linea 28-28 della Fig. 26.

DESCRIZIONE DETTAGLIATA DELLE REALIZZAZIONI PREFERITE Con riferimento alle Fig. 1 e 2, è mostrato un esempio di un trasportatore composito per fette di silicio, indicato generalmente con 30, per trasportare e immagazzinare dischi circolari W di fette di silicio semiconduttore. Il dispositivo 30 ha diverse caratteristiche convenzionali che comprendono principalmente un elemento 32 di estremità anteriore verticale a barra ad H, o primo elemento, avente una parte 34 di sistema di interfaccia, un elemento 36 di estremità posteriore verticale, o secondo elemento, avente una parte intermedia configurata come un pannello 38, e pareti laterali 40 con fessure 46 per contenere le fette di silicio W. Le fessure 46 sono adatte a contenere e trattenere dischi W di fette di silicio durante l'immagazzinamento, il trasporto e la manipolazione robotizzata del trasportatore composito 30 per fette di silicio. Il trasportatore 30 ha una parte superiore aperta 42 per ricevere le fette di silicio ed una parte di fondo aperta 44.

La Fig. 2 mostra il trasportatore composito 30 per fette di silicio interfacciato con una attrezzatura di lavorazione 47. I dischi W di fette di silicio sono inseriti nella prima fessura 46<1 >e 46<1 >di posizione delle pareti laterali 40. Il numero n di fessure, spazi s fra le fessure, posizione d della fessura 46<1 >rispetto ad un dato piano A e la posizione 46<n >dell'ultima fessura delle pareti laterali, devono contenere le caratteristiche dell'attrezzatura di lavorazione 47 e dell'interfaccia 48 dell'attrezzatura di lavorazione.

Facendo nuovamente riferimento alle Fig. 1 e 2, il trasportatore 30 per fette di silicio comprende anche una intelaiatura universale 60 del trasportatore che si integra con inserti 41 delle pareti laterali, e mezzi di fissaggio indicati generalmente con 62, per bloccare in impegno gli inserti 41 delle pareti laterali nell'intelaiatura 60. L'intelaiatura universale 60 del trasportatore viene preferibilmente formata in materie plastiche stampate ad iniezione, per esempio polipropilene comunemente usato e noto nell'industria per trasportatori per fette <‘>di silicio. Gli inserti 41 della parete laterale -possono-essere formati da un materiale diverso rispetto a quello usato per creare l'intelaiatura universale 60 del trasportatore. Per conseguenza, il trasportatore composito 30 per fette di silicio può venire preparato in modo da contenere vari tipi di attrezzature di lavorazione che richiedono posizioni 46<1 >della prima fessura, numero s di fessure e distanza s delle fessure differenti, semplicemente utilizzando inserti appropriati delle pareti laterali che soddisfano le caratteristiche appropriate. Per formare il trasportatore composito 30 per fette di -silicio, possono venire usate varie combinazioni di inserti delle pareti laterali, configurazioni dell'intelaiatura del trasportatore e realizzazioni dei mezzi di fissaggio.

Facendo riferimento alla Fig. 3, l'intelaiatura universale 60 del trasportatore è mostrata corrispondente al trasportatore completo mostrato nella Fig. 1. L'intelaiatura 60 comprende l'elemento di estremità anteriore 32 avente una barra ad H 64, l'elemento di estremità posteriore 36 avente un pannello terminale 38, un primo ed un secondo supporto laterale superiore 66, 67, un primo ed un secondo supporto laterale inferiore 68, 69, una parte superiore aperta 42 e una parte inferiore aperta 44. Parti di impegno dell'intelaiatura, indicate generalmente con 70' dei mezzi di fissaggio 62, sono configurate come fessure. La barra ad H 64 viene usata come sistema di interfaccia di lavorazione. I supporti laterali superiori 66, 67 si estendono dalla porzione sinistra 50 e dalla porzione destra 51 dell'estremità anteriore 32 alla porzione sinistra 52 ed alla porzione destra 53 dell'estremità posteriore 36. Anche i supporti laterali inferiori 68, 69 si estendono dalle porzioni sinistra e destra 50., 51 dell'estremità anteriore 32 a sinistra e alle porzioni di sinistra 52, 53 dell'estremità posteriore 36. I supporti laterali 66, 67, 68, 69 stabiliscono la distanza fra l'elemento di estremità anteriore e l'elemento di estremità posteriore 36 e definiscono aperture dell'inserto della parete laterale chiuse generalmente rettangolari configurate come prima e seconda finestra 73, 73.5. Gli inserti 82, 102 delle pareti laterali corrispondenti all'intelaiatura 60 ed ai mezzi di fissaggio 62 della Fig. 3, sono mostrati nelle Fig. 5, 8 e 11 e sono descritti dettagliatamente in seguito.

Facendo riferimento alle Fig. 14 e 15, sono mostrati dettagli dei mezzi di fissaggio 62 del supporto laterale inferiore 68. Le porzioni 70' di impegno dell'intelaiatura e le porzioni 70" cooperanti di impegno della parete laterale dei mezzi di-fissaggio 62, comprendono una pluralità di porzioni di-impegno cooperanti per facilitare il collegamento della rispettiva intelaiatura 60 e inserti 41 delle pareti laterali. La .Fig. 14, una vista in sezione trasversale della Fig. 15, mostra una parte della porzione 70' di impegno dell'intelaiatura che impegna cooperativamente le porzioni 70" di impegno della parete laterale. In questa realizzazione, le porzioni 70' di impegno dell'intelaiatura e le porzioni 70" di impegno della parete laterale dei mezzi di fissaggio 62, comprendono una linguetta 75 di bloccaggio a scatto, e una cavità 77 e un dente di arresto 79 per un collegamento meccanico sicuro per l'impegno di bloccaggio delle rispettive porzioni di impegno dell'intelaiatura e della parete laterale in ciascuna posizione dei mezzi di bloccaggio.

Facendo riferimento alle Fig. 3 e 8, i mezzi di fissaggio 62 della realizzazione della Fig. 1 comprendono anche una pluralità di sporgenze 81 dirette verso il basso dai pannelli 81.5 di collegamento orizzontali superiori degli inserti 82 delle pareti laterali. Le sporgenze 81 si impegnano in cavità 81.7 nei supporti laterali superiori 66, 67. Le cavità possono essere indentazioni oppure fori attraverso detti supporti laterali 66, 67. In questa realizzazione, i pannelli 81.5 di collegamento orizzontali superiori si estendono sui supporti laterali mentre le linguette 70" si estendono dalle porzioni inferiori degli inserti delle pareti laterali bloccati nelle cavità 77 nei supporti laterali inferiori 68, 69. L'impegno di bloccaggio insieme con il posizionamento degli inserti delle pareti laterali nelle finestre delle pareti laterali, fornisce una struttura composita rigida.

La Fig. 4 mostra una intelaiatura universale 60 per trasportatore avente posizione 72* di impegno dell'intelaiatura con un mezzo di fissaggio 62 alternativo. Con riferimento alle Fig. 6, 7, 9, 10, 12, 13, sono mostrate porzioni di inserti delle pareti laterali adatti per l'intelaiatura 60 della Fig. 4. Gli inserti delle pareti laterali hanno fessure 46, denti 96, una porzione superiore 84, una porzione inferiore curva 86, supporti superiori 92, supporti inferiori 94 e elementi di impegno delle pareti laterali, indicati generalmente con 70", dei mezzi di fissaggio 62. Gli elementi 70" di impegno delle pareti laterali, sono posizionati sopra la parte superiore 98 e inferiore 100 della parete laterale 82.

Le fessure 46 sono formate fra denti allungati 96 che corrono paralleli fra di loro. I confini delle pareti laterali sono definiti da un primo dente laterale 96<1 >e dall'ennesimo dente laterale 96<n>, dal lato superiore 98 e dal lato inferiore 100. I dischi inseriti nelle fessure 46 vengono trattenuti saldamente durante il trasporto, la manipolazione robotizzata e l'immagazzinamento. Il numero n e la distanza s delle fessure 46 e la posizione della prima posizione delle fessura 46<1>, possono venire regolati in base al tipo di disco e di attrezzatura di lavorazione usata.

Denti allungati 96 sono posizionati verticalmente nella porzione superiore 84 e generalmente curvi verso l'interno nella porzione inferiore 86. Una tecnica precedente della porzione inferiore 86 è il profilo generalmente curvo, come mostrato nelle Fig. 5, 8 e 11, per conformarsi al perimetro dei dischi. Supporti superiori 92 e supporti inferiori 94 trattengono denti allungati 96 in posizione nelle realizzazioni con fessure di lavaggio e sono posizionati per permettere ad un fluido di passare fra il lato interno 88 ed il lato esterno 90.

Le Fig. 5 e 11 mostrano rispettivamente l'interno 88 e l'esterno 90, dell'inserto 102 della parete laterale, un'altra realizzazione dell'inserto 41 della parete laterale. L'inserto 102 della -parete laterale è identico alla'realizzazione 82 della parete laterale, mostrata nella Fig. 8, tranne per la sezione planare superiore piena 104 e la sezione curva inferiore piena 108 poste sul lato posteriore 90 che sostituiscono rispettivamente, i supporti superiore ed inferiore 92 e 94. La sezione planare superiore 104 e la sezione curva inferiore 106, fissano denti allungati 96 e chiudono le fessure di lavaggio, impedendo il passaggio del fluido fra l'interno 88 e L' esterno 90.

La Fig. 11 mostra la parete laterale 102 con porzioni 70" di impegno delle parete laterale dei mezzi di fissaggio 70. Le Fig. 12 e 13 mostrano la parete laterale 102 con porzioni 72" di impegno della parete laterale dei mezzi di fissaggio 72.

Altre realizzazioni dell'intelaiatura universale del trasportatore possono avere uno o l'altro dei supporti superiori 66 e dei supporti inferiori 68 dell'intelaiatura universale 60 e usare i mezzi di fissaggio 70 oppure 72 come mostrato nella Fig. 24. Le pareti laterali 82 sono configurate per adattarsi all'intelaiatura del trasportatore utilizzando mezzi di fissaggio corrispondenti appropriati per l'impegno di bloccaggio degli inserti delle pareti .laterali nell'intelaiatura.

Un'altra realizzazione,del trasportatore composito 116 per fette di silicio, è mostrata nella Fig. 18 con il corrispondente elemento di estremità anteriore 118, elemento di estremità posteriore 120 e inserti 122 delle pareti laterali mostrati, rispettivamente, nelle Fig. 20, 19 e 21. In questa realizzazione, il trasportatore 116 per fette di silicio ha le seguenti parti stampate separatamente: elemento di estremità anteriore a barra ad H 118; estremità posteriore 120; coppia di inserti 122 delle pareti laterali ad immagine speculare. L'elemento di estremità anteriore 118 ha una porzione 119 di sistema di interfaccia posizionato a metà fra la porzione anteriore sinistra 124 e la porzione anteriore destra 126. La parte di interfaccia 119 comprende la barra ad H 128. L'elemento di estremità posteriore 120 avente un pannello terminale 130 posizionato a metà fra la posizione di estremità posteriore sinistra 132 e la porzione di estremità posteriore destra 134.

Gli inserti 122 delle pareti laterali sono posizionati fra l'elemento dì estremità anteriore 118 e l'elemento di estremità posteriore 120 ed hanno caratteristiche simili a quelle trovate negli inserti 41 delle pareti laterali con l'aggiunta della parte di estremità anteriore 136, della parte di estremità posteriore 138 e.dei pannelli di collegamento verticali cooperanti 140, come mostrato nella Fig. 21. La Fig. 21 mostra una realizzazione dell'inserto 122 della parete laterale, comprendente una sezione planare piena superiore 104 ed una sezione curva piena inferiore 106 per chiudere le fessure di lavaggio e impedire che il fluido passi fra l'interno 88 e l'esterno 90. La porzione di estremità anteriore 136 di ciascun inserto 122 della parete laterale è collegata alla porzione anteriore sinistra 124 oppure alla porzione anteriore destra 126 appropriata dell'estremità anteriore 118. La porzione dì estremità posteriore 138 di ciascun inserto 122 della parete laterale, è collegata alla porzione posteriore sinistra 132 oppure alla porzione posteriore destra appropriata dell'estremità posteriore 120.

I mezzi di fissaggio 62 delle Fig. 18-21 utilizzano pannelli di accoppiamento 140 attaccati alla porzione anteriore sinistra 124, alla porzione anteriore destra 126, alla porzione posteriore sinistra 132, alla porzione posteriore destra 134 ed alle porzioni anteriore e posteriore degli inserti 122 della parete laterale. Facendo riferimento alla Fig. 18, pannelli di collegamento 140 possono venire collegati insieme mediante rivetti 141, saldature isolate 142, dadi e bulloni 143 o mezzi di fissaggio simili. "Mezzi di fissaggio", quando usato in questa sede, comprende questi ed altri elementi di fissaggio tradizionali.

Facendo riferimento alla Fig. 1, e specificamente alle linee tratteggiate, è illustrata una realizzazione alternativa dell'invenzione che utilizza una intelaiatura universale costituita dalle pareti laterali 40 e dall'elemento di estremità posteriore 36 ed ba. l'elemento di estremità anteriore 32 oppure la porzione di interfaccia 34, inseribile nell'intelaiatura. La linea tratteggiata 150 della Fig. 1, indica una divisione adatta fra l'estremità anteriore 32 o porzione di interfaccia 34 e il resto dell'intelaiatura 152. In questa realizzazione, varie interfacce specificate 48 per l'attrezzatura del procedimento possono venire alloggiate semplicemente usando stampi separati alternativi per l'estremità anteriore 32, mantenendo le stesse pareti laterali. Mezzi di fissaggio come suddescritti possono venire usati per fissare l'elemento di estremità anteriore 32 o porzioni di interfaccia 34 nell'intelaiatura del trasportatore .

Facendo riferimento alle Fig. 23-28, sono mostrate realizzazioni addizionali dell'invenzione. Il trasportatore per fette di silicio indicato generalmente con il numero 230 ha la caratteristica addizionale di elementi separatori 234 che sì estendono dall'elemento di estremità anteriore 236 alla porzione anteriore jsinistra 238 e alla porzione anteriore destra 240. Questo trasportatore per fette di silicio ha nuovamente una parte superiore aperta 236, un parte inferiore aperta 248, una interfaccia 252 con l'attrezzatura come parte dell'elemento di estremità anteriore, il sistema di interfaccia e la barra ad H 254 estendentesi fra la porzione anteriore sinistra e la porzione anteriore destra. Le pareti laterali 260, 262 sono costituite da inserti 268, 270 delle pareti laterali, ciascuno dei quali ha una porzione superiore verticale sostanzialmente 272 ed una porzione inferiore convergente 274. Una pluralità di fessure verticali 276 si estendono verticalmente verso il basso per sostenere e trattenere le fette di silicio.

Gli inserti 268, 270 della pareti laterali hanno ciascuno una coppia di linguette 280 che si estendono verso il basso che si impegnano in cavità 282 come parte di coppie di porzioni di impegno cooperanti 284. Gli inserti 268, 270 delle pareti laterali hanno anche linguette verticali dirette verso l'alto 288 che scorrono entro e si impegnano con fessure o cavità 290 nell'intelaiatura. Gli inserti delle pareti laterali possono venire bloccati-in posizione mediante denti di arresto 292 opportunamente posizionati come mostrato sulle linguette 280.

Questa realizzazione del trasportatore per fette di silicio comprende una interfaccia addizionale per la macchine o flangia 300 che è attaccata all'elemento di estremità posteriore 302. Nuovamente, questa connessione viene fatta per mezzo di coppie di porzioni di impegno 306 cooperanti. Tali porzioni di impegno cooperanti possono venire configurate come linguette 308 che si estendono in cavità o fessure 310 sull'elemento di estremità posteriore 302. Linguette di bloccaggio 314 caricate a molla, che comprendono un dente di arresto 316, possono venire utilizzate per bloccare in posizione la seconda interfaccia 300 dell'attrezzatura. Detti denti di arresto 316 si impegnano in cavità 320 ricavate mediante strutture sporgenti 322 sul sistema di interfaccia 300.

Facendo riferimento alle Fig. 26, 27 e 28, è mostrata una realizzazione addizionale di una flangia 300 comprendente una maniglia 330. Tale maniglia può facilitare la presa manuale del trasportatore per fette di silicio, oppure, più appropriatamente, viene utilizzata come maniglia per la presa robotizzata.

Le realizzazioni delle Fig. 23-28/ permettono di posizionare gli inserti delle pareti laterali in fessure di alloggiamento 334 e con detto inserimento si aggiunge una significativa rigidità addizionale all'intelaiatura del trasportatore che è già sostanzialmente rigida per le molteplici strutture di distanziamento.

Si noti che l'utilizzazione di elementi formati separatamente permette l'uso di cariche in fibra di carbonio in varie quantità per fornire livelli variabili di caratteristiche di dissipazione statica desiderate per ciascun specifico componente formato indipendentemente. Per esempio, le interfacce per la macchina possono avere capacità di conduttività maggiore per scaricare qualsiasi carica sul trasportatore, all'opposto della parete laterale che ha una caratteristica di conduttività minore per minimizzare il potenziale di scariche elettrostatiche in prossimità delle fette di silicio. La carica di carbonio può essere una carica in fibra di carbonio oppure polvere di carbone.

Le porzioni di impegno cooperanti utilizzate in questa sede, in diverse delle realizzazioni provvedono mezzi di fissaggio senza elementi di fissaggio esterni. Questo facilita il montaggio e-minimizza il contatto fra due superfici diverse dal contatto a punto oppure dal contatto a linea e permette di mantenere insieme a scatto il gruppo. Questa particolare configurazione., porta quindi alla pulizia ed all'asciugatura del trasportatore montato per fette di silicio.

Sebbene le figure mostrino interfacce della macchina a barra ad H e maniglie per robot, possono venire usate anche altre interfacce per la macchina, come collegamenti cinematici convenzionali utilizzando tre scanalature distanziate angolarmente oppure qualsiasi altro sistema di interfaccia.

La presente invenzione può venire realizzata in altre forme specifiche senza distaccarsi dal suo spirito oppure attributi essenziali, e si desidera quindi che la presente invenzione sia considerata, sotto tutti gli aspetti, come illustrativa e non limitativa, essendo fatto riferimento alle rivendicazioni allegate piuttosto che alla descrizione precedente per indicare il campo dell'invenzione.

Claims

RIVENDICAZIONI 1. Trasportatore per fette di silicio per l'impegno con l'attrezzatura e per trasportare una pluralità di fette di silicio circolari allineate assialmente con l'asse delle fette di silicio estendentesi in modo sostanzialmente orizzontale, il trasportatore per fette di silicio allineate avendo una parte superiore aperta, una parte inferiore aperta, e comprendendo: un elemento verticale di estremità anteriore avente una porzione anteriore sinistra, una porzione anteriore destra e una primo sistema di interfaccia, il primo sistema di interfaccia essendo configurato in modo che il trasportatore possa venire ruotato-in avanti per portare il sistema di interfaccia sull'attrezzatura e disporre l'asse delle fette di silicio allineate in un orientamento sostanzialmente verticale; una coppia di elementi di parete laterale che si estendono posteriormente dall'elemento di estremità anteriore, uno dalla porzione anteriore sinistra e uno dalla porzione anteriore destra, ciascuna parete laterale avendo una porzione superiore sostanzialmente verticale ed una porzione inferiore convergente e una pluralità di fessure sostanzialmente verticali che si estendono dalla porzione superiore alla porzione inferiore per supportare e trattenere le fette di silicio; un elemento verticale di estremità posteriore avente un pannello ed estendentesi in posizione intermedia fra le pareti laterali; e almeno uno fra l'elemento verticale di estremità anteriore, la coppia di elementi di parete laterale e l'elemento di estremità posteriore essendo formato separatamente dal resto del trasportatore per fette di silicio e montato in detto trasportatore per fette di silicio mediante una coppia di porzioni di impegno di bloccaggio cooperanti.
2. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 1, in cui il primo sistema di interfaccia dell'elemento di estremità anteriore è una barra ad H che si estende fra la porzione anteriore sinistra e la porzione anteriore destra.
3. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 1, in cui gli elementi di parete laterale sono inserti di parete laterale e il trasportatore per fette di silicio comprende inoltre una coppia di elementi distanziatori che si estendono dalla porzione anteriore sinistra e la porzione anteriore destra dell'elemento di estremità anteriore e l'elemento di estremità posteriore, ciascun elemento distanziatore estendendosi lungo un rispettivo inserto di parete laterale.
4. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 3, in cui ciascun inserto di parete laterale ha una di una coppia di porzioni di impegno cooperanti e ciascun rispettivo elementi distanziatore ha l'altra delle porzioni di impegno cooperanti, ciascuna coppia di porzioni di impegno cooperanti essendo fissabile insieme senza elementi di fissaggio esterni.
5. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 1, in cui l'elemento verticale di estremità posteriore comprende inoltre un secondo sistema di interfaccia, per cui il trasportatore per fette di silicio può venire ruotato posteriormente in modo che il secondo sistema di interfaccia si appoggi sull'attrezzatura.
6. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 1, comprende inoltre una seconda interfaccia per la macchina che ha uno di una coppia di elementi di impegno cooperanti sulla seconda interfaccia per la macchina sulla seconda interfaccia per la macchina e l'altro degli elementi di impegno cooperanti è sull'elemento di estremità posteriore.
7. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 6, in cui l interfaccia per la macchina è una flangia per il sollevamento robotizzato.
8. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 1, in cui l'elemento formato separatamente viene stampato ad iniezione ed è costituito da plastica e una carica di carbonio, per cui viene fornita una caratteristica di dissipazione statica.
9. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 8, in cui la caratteristica di dissipazione statica dell'elemento formato separatamente è diversa dalla caratteristica di dissipazione statica di almeno uno degli altri elementi del trasportatore per fette di silicio.
10. Trasportatore per fette di silicio per supportare una pluralità di fette di silicio sostanzialmente circolari allineate assialmente con l'asse delle fette di silicio che si estende in modo sostanzialmente orizzontale, il trasportatore per fette di silicio avendo una parte superiore aperta ed una parte inferiore aperta, e comprendendo: un elemento verticale di estremità anteriore avente un primo sistema di interfaccia configurato in modo che il trasportatore possa venire ruotato in avanti per appoggiarsi sul sistema di interfaccia e posizionare l'asse delle fette di silicio in un orientamento sostanzialmente verticale, una porzione anteriore sinistra e una porzione anteriore destra; un elemento verticale di estremità posteriore spostato da e generalmente parallelo all'elemento verticale di estremità anteriore; una coppia di elementi distanziatori che si estende dalla porzione anteriore sinistra e dalla porzione anteriore destra dell'elemento di estremità anteriore fino all'elemento di estremità posteriore, l'elemento di estremità anteriore, gli elementi distanziatori e l'elemento di estremità posteriore essendo tutti formati integralmente e definendo una intelaiatura del trasportatore; e una coppia di inserti della parete laterale, ciascuno inseribile vicino ad un elemento distanziatore, per cui ciascun inserto della parete laterale si estende posteriormente dall'elemento di estremità anteriore, uno dalla porzione anteriore sinistra e uno dalla porzione anteriore destra, ciascuna parete laterale avendo una porzione superiore sostanzialmente verticale, una porzione inferiore convergente e una pluralità di fessure sostanzialmente verticali che si estendono dalla porzione superiore alla porzione inferiore per supportare e trattenere le fette di silicio.
11. Trasportatore per fette di silicio per l'interfacciamento con una attrezzatura e per trasportare una pluralità di fette di silicio sostanzialmente circolari allineate assialmente con l'asse delle fette di silicio che si estende in modo sostanzialmente orizzontale, il trasportatore per fette di silicio avendo una parte superiore aperta ed una parte inferiore aperta, e comprendendo: un elemento verticale di estremità anteriore avente una prima interfaccia per l'attrezzatura configurata in modo che il trasportatore possa venire ruotato in avanti per appoggiarsi sul sistema di interfaccia e posizionare l'asse delle fette di silicio in un orientamento sostanzialmente verticale, una porzione anteriore sinistra e una porzione anteriore destra; una coppia di elementi di parete laterale che si estendono posteriormente dall'elemento di estremità anteriore, uno dalla porzione anteriore sinistra e uno dalla porzione anteriore destra, ciascuna parete laterale avendo una porzione superiore sostanzialmente verticale, una porzione inferiore convergente e una pluralità di fessure sostanzialmente verticali che si estendono dalla porzione superiore alla porzione inferiore per supportare e trattenere le fette di silicio; un elemento verticale di estremità posteriore avente un pannello ed estendentesi in una parte intermedia alle due pareti laterali; e una seconda interfaccia per la macchina formata separatamente dal resto del trasportatore per fette di silicio e montata in detto trasportatore per fette di silicio mediante una coppia di porzioni di impegno di bloccaggio cooperanti.
12. Trasportatore per fette di silicio per contenere fette di silicio semiconduttore circolari aventi una porzione di bordo, il trasportatore comprendendo: a) una intelaiatura del trasportatore comprendente: 1) un elemento di estremità anteriore avente una porzione di interfaccia per l'attrezzatura intermedia ad una porzione anteriore sinistra e una porzione anteriore destra, dette porzioni anteriori sinistra e destra avendo ciascuna una porzione superiore ed una porzione inferiore, 2) un elemento di estremità posteriore opposto a detta estremità anteriore, detta estremità posteriore avendo un pannello intermedio a una porzione posteriore sinistra ed una porzione posteriore destra, dette porzioni posteriori sinistra e destra avendo ciascuna una porzione superiore ed una porzione inferiore, 3) un primo supporto della parete laterale avente una estremità anteriore ed una estremità posteriore, detta estremità anteriore essendo collegata a e integrale con detta porzione anteriore sinistra e detta estremità posteriore essendo collegata ed integrale con detta porzione posteriore sinistra, 4) un secondo supporto della parete laterale avente una estremità anteriore ed una estremità posteriore, detta estremità anteriore essendo collegata a e integrale con detto lato anteriore destro e detta estremità posteriore essendo collegata a e integrale con detto lato posteriore destro, per cui l'estremità anteriore, l'estremità posteriore e il primo ed il secondo supporto della parete laterale formano una intelaiatura integrale, b) un primo ed un secondo inserto della parete laterale formati separatamente da detta intelaiatura del trasportatore e avente fessure per trattenere dette parti di bordo delle fette di silicio, gli inserti delle pareti laterali essendo posizionati in posizione intermedia a detti elementi di estremità anteriore e posteriore, distanziati lungo i rispettivi supporti laterali, ciascun inserto della parete laterale essendo in impegno di bloccaggio con l'intelaiatura del trasportatore per mezzo di coppie di porzioni di impegno cooperative con una porzione di impegno di ciascuna coppia posizionata su un inserto della parete laterale e la porzione di impegno cooperativa con questa posizionata sulla parte di intelaiatura e in cui detta almeno una di dette coppie di porzioni di impegno cooperative è costituita da una cavità e porzione di impegno cooperativa con questa è costituita da una linguetta dimensionata per detta cavità.
13. Trasportatore per fette di silicio per contenere fette di silicio semiconduttore circolari aventi una porzione di bordo, il trasportatore comprendente : a) una intelaiatura del trasportatore comprendente : 1) un elemento di estremità anteriore avente una porzione di interfaccia intermedia fra una porzione anteriore sinistra ed una porzione anteriore destra, dette porzioni anteriori sinistra e destra avendo ciascuna una porzione superiore ed una porzione inferiore; 2) un elemento di estremità posteriore opposto a detto elemento di estremità anteriore, l'estremità posteriore avendo una porzione posteriore sinistra e una porzione posteriore destra, dette porzioni posteriori sinistra e destra avendo ciascuna una porzione superiore ed una porzione inferiore; 3) un primo supporto superiore della parete laterale ed un primo supporto inferiore della parete laterale, ciascuno avente una estremità anteriore ed una estremità posteriore, dette estremità anteriori essendo collegate a dette estremità posteriori collegate rispettivamente a dette porzioni posteriori sinistre superiore ed inferiore, formando così una prima finestra della parete laterale; e 4) un secondo supporto superiore della parete laterale ed un secondo supporto inferiore della parete laterale ciascuno avente una estremità anteriore ed una estremità posteriore, dette estremità anteriori essendo rispettivamente collegate a dette porzioni anteriore destra superiore ed inferiore e detta estremità posteriore essendo rispettivamente collegata a dette porzioni posteriori destre superiore ed inferiore, formando così una seconda finestra della parete laterale; b) una prima ed una seconda parete laterale stampata separatamente da detta intelaiatura del trasportatore, avente fessure per trattenere detti bordi delle fette di silicio, detti inserti della parete laterale avendo un interno ed un esterno, detti inserti della parete laterale essendo ciascuno impegnato entro una di dette finestre della parete laterale.
14. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 13, comprendente inoltre mezzi per fissare detti inserti della parete laterale entro ciascuna di dette finestre della parete laterale.
15. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 14, in cui detti mezzi per fissare gli inserti della parete laterale comprendono una pluralità di mezzi di fissaggio a scatto cooperanti su ciascuno di detti inserti della parete laterale e una pluralità di cavità cooperanti configurate per l'inserimento di dette linguette di fissaggio a scatto sull'intelaiatura.
16. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 15, in cui detti mezzi per fissare gli inserti della parete laterale comprendono inoltre una pluralità di sporgenze da ciascuno degli inserti della parete laterale e una pluralità di cavità cooperanti in ciascuno dei primi e secondi supporti della parete laterale per ricevere dette sporgenze.
17. Trasportatore per fette di silicio per contenere fette di silicio semiconduttore circolari aventi una porzione di bordo circolare, il trasportatore comprendendo: a) una estremità anteriore avente una porzione di interfaccia per l'attrezzatura a barra ad H, intermedia alla porzione anteriore sinistra ed alla porzione anteriore destra; b) una estremità posteriore avente un pannello, opposta a detta estremità anteriore e intermedia ad una porzione posteriore sinistra e una porzione posteriore destra; e c) un primo ed un secondo inserto della parete laterale formati separatamente da dette estremità anteriore e posteriore, gli inserti della parete laterale avendo una porzione di estremità anteriore, una porzione di estremità posteriore, una porzione inferiore curva corrispondente alla porzione di bordo circolare delle fette di silicio e fessure per trattenere detta porzione di bordo, gli inserti della parete laterale essendo bloccati in impegno con e intermedi all'estremità anteriore ed all'estremità posteriore in una configurazione con una parte superiore aperta ed una parte inferiore aperta.
18. Trasportatore per fette di silicio secondo la rivendicazione 17, in cui detto trasportatore per fette di silicio comprende inoltre una coppia di supporti laterali superiori che si estendono fra gli elementi di estremità anteriori e gli elementi di estremità posteriori e una coppia di supporti laterali inferiori che si estende anche fra l'elemento di estremità anteriore e l'elemento di estremità posteriore e che definiscono una coppia di finestre dell'inserto laterale per ricevere gli inserti laterali, l'estremità anteriore, l'estremità posteriore e i supporti laterali integrali l'uno con l'altro.