FR2765563A1 - Support de pastilles semi-conductrices - Google Patents
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Abstract
L'invention concerne un support de pastilles semi-conductrices(30) destine à contenir et à retenir des disques de pastilles semi-conductrices circulaires pendant leur transport, leur stockage et leur traitement. Le support de pastilles composite (30) comprend, généralement, un dessus et un fond ouverts (42, 44) pour l'insertion et l'enlèvement des disques de pastilles, un élément d'extrémité avant vertical (32) comportant une partie d'interface, telle qu'une barre en H, un élément d'extrémité arrière vertical (36) et deux éléments de parois latérales comportant des fentes de parois latérales verticales s'étendant vers l'arrière depuis l'élément d'extrémité avant jusqu'audit élément d'extrémité arrière. Au moins un desdits éléments moulés séparément est relie aux autres éléments sans attaches externes. Les éléments formés séparément permettent d'utiliser différents matériaux ou le même matériau de base selon différentes formulations, par exemple, pour différentes caractéristiques de dissipation statique.
Description
SUPPORT DE PASTILLES SEMI-CONDUCTRICES.
La présente invention concerne un support de pastilles composite conçu pour le transport, le stockage et le traitement de disques de pastilles semi-conductrices utilisés pour la fabrication de composants de circuits intégrés. Le traitement de disques de pastilles en puces de circuits intégrés comprend souvent des étapes dans lesquelles les disques sont traités, stockés et transportés à plusieurs reprises. Du fait de la nature délicate des disques et de leur grande valeur, il est crucial qu'ils soient correctement protégés tout au long de cette procédure. Un objet d'un support de pastilles consiste à assurer cette protection. En outre, étant donné que le traitement de disques de pastilles est généralement automatisé, il est nécessaire que les disques soient positionnés avec précision par rapport à l'équipement de traitement pour l'enlèvement et l'insertion par robots des pastilles. Un second objet d'un support de pastilles consiste à bien tenir les disques de pastilles pendant le transport. Le support de pastilles classique consiste en une pièce moulée unique comprenant, généralement, une extrémité avant comportant une partie d'interface à barre en H, une extrémité arrière comportant un panneau et des parois latérales comportant des fentes et des parties inférieures incurvées ou convergentes suivant la courbure des pastilles et avec un dessus ouvert et un fond ouvert. Ces conceptions présentent des problèmes à la fois dans leur versatilité et dans leur fabrication. Lorsqu'on doit effectuer un ajustement aux spécifications d'un support moulé unique, l'ancien moule, ou une partie de celui-ci, est typiquement
modifié ou jeté et un nouveau moule, ou une partie de celui-
ci, est usiné. Typiquement, les parties individuelles inchangées du support ne peuvent pas être moulées et stockées séparément pour un assemblage ultérieur. En outre, des parties moulées de plus grand volume et plus complexes augmentent la possibilité d'apparition de voilement ou d'autres problèmes structuraux, affectant ainsi la qualité et l'uniformité des produits. En conséquence, des supports de pastilles à moule unique intégral présentent des inefficacités inhérentes. Les spécifications qu'il peut être souhaitable de modifier sur des supports de pastilles comprennent le type de plastique, les interfaces d'équipement, les caractéristiques dissipatives statiques et le positionnement
et l'espacement des pastilles.
La présente invention utilise des parties moulées séparément pour former un support de pastilles composite à barre en H. Cette conception réduit les problèmes structuraux et de versatilité associés aux supports à barre en H à moule unique. D'abord, en réduisant la taille volumétrique de la partie moulée, les problèmes structuraux, tels que de voilement, sont réduits, augmentant ainsi la qualité, la précision et l'uniformité de la fabrication de supports de pastilles. De plus, cette conception augmente la versatilité en permettant de satisfaire à diverses spécifications en redessinant simplement les parois latérales ou d'autres composants plutôt que tout le support de pastilles. En conséquence, la présente invention est beaucoup plus efficace que les conceptions à moule unique
précédentes.
Un mode de réalisation de la présente invention consiste en un support de pastilles à barre en H qui utilise des parois latérales de mise en prise avec les pastilles moulées séparément, insérées dans un cadre de support de pastilles moulé. Le cadre de support de pastilles comporte un élément d'extrémité avant, un élément d'extrémité arrière opposé et des éléments de support latéraux ou des éléments de traverse s'étendant entre l'extrémité de l'élément avant et les éléments d'extrémité arrière fournissant des moyens de fixation pour retenir les parois latérales en place. Les parois latérales comportent chacune une pluralité de fentes destinées à maintenir et à retenir les pastilles dans le support pendant le transport et le stockage. L'élément d'extrémité avant comporte une barre en H pour réaliser l'interface avec l'équipement de traitement afin d'assurer un alignement précis pour l'insertion et l'enlèvement par robots des disques de pastilles. En outre, une seconde interface d'équipement peut être positionnée au niveau de
l'élément d'extrémité arrière.
Une caractéristique de l'invention consiste à augmenter
l'efficacité de la fabrication du support de pastilles.
Plutôt que de devoir concevoir un support de pastilles entier et d'usiner un nouveau moule, une spécification pour un support de pastilles peut souvent être satisfaite simplement en concevant de nouvelles parois latérales et en les insérant dans un cadre de support de pastilles
universel.
Une autre caractéristique de l'invention consiste à augmenter sensiblement la versatilité du support de pastilles pour réduire le coût et le gaspillage de
matériaux. Les matériaux plus coûteux, tels que le polyéther-
éthercétone (PEEK), idéalement adaptés pour les parties du support qui sont en prise avec les pastilles peuvent être limités aux parois latérales, d'autres matériaux classiques, tels que le polypropylène (PP), le polybutylène-téréphtalate (PBT) et le polytétrafluoréthylène (PTFE), peuvent être utilisés pour le cadre du support. De même, plutôt que de jeter un support de pastilles entier une fois qu'un ensemble de spécifications ont été interrompues, les parois latérales peuvent être redessinées afin de satisfaire aux nouvelles
spécifications sans modifier le moule du cadre du support.
Une autre caractéristique de l'invention consiste à fournir une plus grande assurance de qualité uniforme d'un support à un autre en diminuant considérablement le voilement et les autres problèmes associés aux supports de
pastilles réalisés à partir d'un moule unique.
Une autre caractéristique de l'invention consiste à assurer une plus grande souplesse de la vérification des nouveaux matériaux et modèles de parois latérales. La vérification peut être accomplie simplement en remplaçant les parois latérales plutôt qu'en remoulant un support de
pastilles entier.
Une autre caractéristique de l'invention consiste à accroître la précision de construction des supports de pastilles. En moulant les parois latérales séparément, les fabricants peuvent satisfaire aux spécifications requises
avec plus de précision et de manière plus uniforme.
Une autre caractéristique de l'invention, pour certains modes de réalisation, consiste à assurer une plus grande facilité de réparation des supports de pastilles. Un support de pastilles pourrait être réparé ou reconstruit en
remplaçant les parois latérales ou d'autres parties.
Une autre caractéristique de l'invention consiste en ce que les inserts de parois latérales sont moulés beaucoup plus facilement avec un minimum de voilement. Lorsqu'il y a un léger voilement dans le cadre du support, tel que dans le cadre entourant l'ouverture d'insert de paroi latérale, le support structural fourni par les inserts de parois
latérales peut corriger ledit voilement.
Une autre caractéristique de l'invention consiste en ce que des interfaces de machine ou des rebords avec poignées supplémentaires peuvent être fixés et changés à l'extrémité arrière du support de pastilles. Avec une seconde interface de machine opposée, le support de pastilles peut être placé sur l'équipement pour l'enlèvement des pastilles, les pastilles étant disposées avec leur côté supérieur vers le
haut ou inversement.
Une autre caractéristique et un autre avantage de l'invention dans les modes de réalisation préférés consistent en ce que le support de pastilles assemblé présente seulement un contact ponctuel ou linéaire au niveau des jonctions des composants séparés. En outre, aucune attache externe n'est nécessaire pour l'assemblage des
supports.
L'invention est illustrée ci-après à l'aide d'exemples de réalisation et en référence aux dessins annexés, sur lesquels: La figure 1 est une vue en perspective d'un support de pastilles composite assemblé; La figure 2 est une vue en élévation d'un support de pastilles avec sa première extrémité reliée à l'équipement de traitement; La figure 3 est une vue en perspective d'un cadre de support de pastilles universel selon l'invention; La figure 4 est une vue en perspective d'un autre cadre de support de pastilles universel selon l'invention; La figure 5 est une vue en perspective d'une paroi latérale selon un mode de réalisation préféré de l'invention; La figure 6 est une vue de face, en perspective, de la partie supérieure d'une paroi latérale selon un autre mode de réalisation préféré de l'invention; La figure 7 est une vue de face, en perspective, de la partie inférieure d'une paroi latérale selon un autre mode de réalisation préféré de l'invention; La figure 8 est une vue en perspective d'une paroi latérale selon un mode de réalisation préféré de l'invention; La figure 9 est une vue arrière, en perspective, de la partie supérieure d'une paroi latérale d'un autre mode de réalisation préféré de l'invention; La figure 10 est une vue en perspective de la partie inférieure d'une paroi latérale selon un autre mode de réalisation préféré de l'invention; La figure 11 est une vue en perspective d'une paroi latérale selon un mode de réalisation préféré de l'invention; La figure 12 est une vue arrière, en perspective, de la partie supérieure d'une paroi latérale selon un mode de réalisation préféré de l'invention; La figure 13 est une vue arrière, en perspective, de la partie inférieure d'une paroi latérale selon un mode de réalisation préféré de l'invention; La figure 14 est une vue en coupe transversale selon la ligne 14-14 de la figure 15; La figure 15 est une vue latérale, en élévation, d'un support de pastilles composite assemblé; La figure 16 est une vue en coupe transversale selon la ligne 16-16 de la figure 17; La figure 17 est une vue latérale, en élévation, d'un support de pastilles composite assemblé; La figure 18 est une vue en perspective d'un support de pastilles composite assemblé selon un mode de réalisation préféré de l'invention; La figure 19 est une vue en perspective d'un élément d'extrémité arrière; La figure 20 est une vue en perspective de l'élément d'extrémité avant; La figure 21 est une vue en perspective d'une paroi latérale; La figure 22 est une vue en perspective d'un autre cadre; La figure 23 est une vue en perspective d'un mode de réalisation supplémentaire; La figure 24 est une vue éclatée du mode de réalisation de la figure 23; La figure 25 est une vue de face, en élévation, d'une seconde interface d'équipement; La figure 26 est une vue en plan de dessus du rebord ou de l'interface de machine de la figure 27; La figure 27 est une vue arrière, en élévation, d'un rebord, ou d'une interface d'équipement destinée à être fixée aux supports de pastilles des figures 23 et 24; et La figure 28 est une vue en coupe transversale selon la
ligne 28-28 de la figure 26.
Une description détaillée des modes de réalisation
préférés de l'invention est exposée ci-dessous.
Avec référence aux figures 1 et 2, un exemple d'un support de pastilles est montré, généralement indiqué 30, destiné à transporter et à stocker des disques de pastilles semi-conductrices circulaires W. L'appareil 30 présente plusieurs caractéristiques classiques qui comprennent, principalement, un premier élément ou élément d'extrémité avant vertical à barre en H 32 comportant une partie d'interface d'équipement 34, un second élément ou élément d'extrémité arrière vertical 36 comportant une section intermédiaire configurée comme un panneau 38 et des parois latérales 40 présentant des fentes 46 pour maintenir les pastilles W. Les fentes 46 sont destinées à maintenir et à retenir les disques de pastilles W pendant le stockage, le transport et la manipulation par robots du support de pastilles composite 30. Le support 30 comporte un dessus ouvert 42 pour recevoir les pastilles et
un fond ouvert 44.
La figure 2 montre le support de pastilles composite 30 relié à un équipement de traitement 47. Les disques de pastilles W sont insérés dans la fente à première position 461 et dans les fentes 46i des parois latérales 40. Le nombre de fentes n, l'espacement des fentes s, l'emplacement d de la fente à première position 461 par rapport au plan de référence A et la dernière position de fente 46n des parois latérales 40, doivent être adaptés aux exigences de l'équipement de traitement 47 et de l'interface 48
d'équipement de traitement.
De nouveau avec référence aux figures 1 et 2, le support de pastilles 30 comprend, également, un cadre de support universel 60 qui est d'un seul tenant avec les inserts de parois latérales 41 et des moyens de fixation généralement indiqués 62 qui se mettent en prise par verrouillage avec les inserts de parois latérales 41 dans le cadre 60. Le cadre de support universel 60 est, de préférence, constitué de plastique moulé par injection, par exemple le polypropylène communément utilisé et connu dans l'industrie des supports de pastilles. Les inserts de parois latérales 41 peuvent être constitués d'un matériau différent de celui utilisé pour créer le cadre de support universel 60. Par conséquent, le support de pastilles composite 30 peut être réalisé de manière à s'adapter à divers types d'équipement de traitement nécessitant des positions de première fente 461, un nombre de fentes n et un espacement de fentes s différents, simplement en utilisant des inserts de parois latérales appropriés satisfaisant aux spécifications appropriées. Divers modes de réalisation de combinaisons d'inserts de parois latérales, de configurations de cadre de support et de moyens de fixation peuvent être utilisés pour former le support de pastilles
composite 30.
Avec référence à la figure 3, le cadre de support universel 60 est montré correspondant au support terminé montré sur la figure 1. Le cadre 60 comprend l'élément d'extrémité avant 32 comportant une barre en H 64, l'élément d'extrémité arrière 36 comportant un panneau d'extrémité 38, des premier et second supports latéraux supérieurs 66, 67, des premier et second supports latéraux inférieurs 68, 69, un dessus ouvert 42 et un fond ouvert 44. Les parties de mise en prise de cadre, généralement indiquées 70', des moyens de fixation 62, sont configurées comme des fentes. La barre en H 64 est utilisée pour la liaison avec l'équipement de traitement. Les supports latéraux supérieurs 66, 67 s'étendent depuis la partie gauche 50 et la partie droite 51 de l'extrémité avant 32 jusqu'à la partie gauche 52 et la partie droite 53 de l'extrémité arrière 36. Les supports latéraux inférieurs 68, 69 s'étendent également depuis les parties gauche et droite 50, 51 de l'extrémité avant 32 jusqu'aux parties gauche et droite 52, 53 de l'extrémité arrière 36. Les supports latéraux 66, 67, 68, 69 couvrent la distance entre l'élément d'extrémité avant et l'élément d'extrémité arrière 36 et définissent des ouvertures d'inserts de parois latérales fermées, généralement rectangulaires, configurées comme des première et seconde fenêtres 73, 73.5. Les inserts de parois latérales 82, 102 correspondant au cadre 60 et aux moyens de fixation 62 de la figure 3 sont montrés sur les figures 5, 8 et 11 et sont
examinés en détail ci-dessous.
Avec référence aux figures 14 et 15, les détails des moyens de fixation 62 au niveau du support latéral inférieur 68 sont montrés. Les parties de mise en prise de cadre 70' et les parties de mise en prise de paroi latérale 70'' concourantes des moyens de fixation 62 comprennent une pluralité de parties de mise en prise concourantes pour faciliter l'accouplement du cadre 60 et des inserts de parois latérales 41 respectifs. La figure 14, qui est une vue en coupe transversale de la figure 15, montre une partie de la partie de mise en prise de cadre 70' en prise, de manière concourante, avec les parties de mise en prise de paroi latérale 70''. Dans ce mode de réalisation, les parties de mise en prise de cadre 70' et les parties de mise en prise de paroi latérale 70'' des moyens de fixation 62 comprennent une patte de verrouillage par encliquetage 75, un renfoncement 77 et un arrêt 79 pour une bonne liaison mécanique pour mettre en prise par verrouillage les parties de mise en prise de cadre et de parois latérales respectives
à chaque emplacement des moyens de fixation.
Avec référence aux figures 3 et 8, les moyens de fixation 62 du mode de réalisation de la figure 1 comprennent, également, une pluralité de boutons 81 s'étendant vers le bas depuis les panneaux d'accouplement horizontaux supérieurs 81.5 des inserts de parois latérales 82. Les boutons 81 s'engagent dans les renfoncements 81.7 dans les supports latéraux supérieurs 66, 67. Les renfoncements peuvent être des indentations ou des trous à travers lesdits supports latéraux 66, 67. Dans ce mode de réalisation, les panneaux d'accouplement horizontaux supérieurs 81.5 s'étendent par-dessus les supports latéraux tandis que les pattes 70'' s'étendant depuis les parties inférieures des inserts de parois latérales se verrouillent dans les renfoncements 77 dans les supports latéraux inférieurs 68, 69. La mise en prise par verrouillage conjointement avec le positionnement des inserts de parois latérales dans les fenêtres latérales fournissent une
structure composite rigide.
La figure 4 montre un cadre de support universel 60 comportant des parties de mise en prise de cadre 72 avec d'autres moyens de fixation 72'. Avec référence aux figures 6, 7, 9, 10, 12, 13, des parties d'inserts de parois latérales destinées au cadre 60 de la figure 4 sont montrées. Les inserts de parois latérales comportent des fentes 46, des dents 96, une partie supérieure 84, une partie incurvée inférieure 86, des supports supérieurs 92, des supports inférieurs 94 et des éléments de mise en prise de paroi latérale, généralement indiqués 70'' des moyens de fixation 62. Les éléments de mise en prise de paroi latérale '' sont positionnés autour du dessus 98 et du fond 100 de
la paroi latérale 82.
Les fentes 46 sont formées entre les dents allongées 96 qui s'étendent parallèles les unes aux autres. Les limites de parois latérales sont définies par la première dent latérale 961 et la nième dent latérale 96n, le côté supérieur 98 et le côté inférieur 100. Les disques insérés dans les fentes 46 sont maintenus fixement pendant le transport, la manipulation par robots et le stockage. Le nombre n et l'espacement s des fentes 46 et l'emplacement de la première position de fente 461 peuvent être ajustés selon le type de
disque et l'équipement de traitement utilisés.
Les dents allongées 96 sont positionnées verticalement dans la partie supérieure 84 et sont généralement incurvées vers l'intérieur dans la partie inférieure 86. Un mode de réalisation préféré de la partie inférieure 86 est le profil généralement incurvé, tel que montré sur les figures 5, 8 et 11, de manière à correspondre au périmètre des disques. Les supports supérieurs 92 et les supports inférieurs 94 maintiennent les dents allongées 96 en position dans les modes de réalisation comportant des fentes de lavage et sont situés de manière à permettre le passage de fluide entre le
côté d'entrée 88 et le côté de sortie 90.
Les figures 5 et 11 montrent, respectivement, l'intérieur 88 et l'extérieur 90 de l'insert de paroi latérale 102, un autre mode de réalisation de l'insert de paroi latérale 41. L'insert de paroi latérale 102 est identique au mode de réalisation de paroi latérale 82, montré sur la figure 8, à l'exception de la section plane supérieure pleine 104 et de la section incurvée inférieure pleine 108 situées sur le côté arrière 90 qui remplacent, respectivement, les supports supérieur et inférieur 92 et 94. La section plane supérieure 104 et la section incurvée inférieure 106 fixent les dents allongées 96 et ferment les fentes de lavage, empêchant le passage de fluide entre
l'intérieur 88 et l'extérieur 90.
La figure 11 montre la paroi latérale 102 avec les parties de mise en prise de paroi latérale 70'' des moyens de fixation 70. Les figures 12 et 13 montrent la paroi latérale 102 avec les parties de mise en prise de paroi
latérale 72'' des moyens de fixation 72.
D'autres modes de réalisation du cadre de support universel peuvent comprendre l'un ou l'autre des supports supérieurs 66 et des supports inférieurs 68 du cadre universel 60 et utiliser les moyens de fixation 70 ou 72, tels que montrés sur la figure 24. Les parois latérales 82 sont configurées de manière à correspondre au cadre du support en utilisant des moyens de fixation correspondants appropriés pour mettre les inserts de parois latérales en
prise par verrouillage dans le cadre.
Un autre mode de réalisation du support de pastilles composite 116 est montré sur la figure 18 avec l'élément d'extrémité avant 118, l'élément d'extrémité arrière 120 et les inserts de parois latérales 122 correspondants montrés sur les figures 20, 19 et 21, respectivement. Dans ce mode de réalisation, le support de pastilles 116 comporte les parties moulées séparément suivantes: l'élément d'extrémité avant à barre en H 118, l'extrémité arrière 120, deux inserts de parois latérales 122 symétriques. L'élément d'extrémité avant 118 comporte une partie d'interface d'équipement 119 positionnée entre la partie avant gauche 124 et la partie avant droite 126. La partie d'interface 119 comprend la barre en H 128. L'élément d'extrémité arrière comportant le panneau d'extrémité 130 est positionné entre la partie d'extrémité arrière gauche 132 et la partie
d'extrémité arrière droite 134.
Les inserts de parois latérales 122 sont positionnés entre l'élément d'extrémité avant 118 et l'élément d'extrémité arrière 120 et présentent des caractéristiques similaires à celles trouvées dans les inserts de parois latérales 41 avec, en plus, la partie d'extrémité avant 136, la partie d'extrémité arrière 138 et les panneaux d'accouplement verticaux 140 concourants, montrés sur la figure 21. La figure 21 montre un mode de réalisation de l'insert de paroi latérale 122 comprenant une section plane pleine supérieure 104 et une section incurvée pleine inférieure 106 afin de fermer les fentes de lavage et d'empêcher que du fluide s'écoule entre l'intérieur 88 et l'extérieur 90. La partie d'extrémité avant 136 de chaque insert de paroi latérale 122 est reliée à la partie avant gauche 124 ou à la partie avant droite 126 appropriée de l'extrémité avant 118. La partie d'extrémité arrière 138 de chaque insert de paroi latérale 122 est reliée à la partie arrière gauche 132 ou à la partie arrière droite 134
appropriée de l'extrémité arrière 120.
Les moyens de fixation 62 des figures 18-21 utilisent des panneaux d'accouplement 140 attachés à la partie avant gauche 124, à la partie avant droite 126, à la partie arrière gauche 132, à la partie arrière droite 134 et aux parties avant et arrière des inserts de parois latérales 122. Avec référence à la figure 18, les panneaux d'accouplement 140 pourraient être reliés les uns aux autres par des rivets 141, des soudures isolées 142, des écrous et des boulons 143, ou des moyens de fixation similaires. Les "moyens de fixation", lorsqu'ils sont utilisés ici, comprennent ces dispositifs de fixation et d'autres
dispositifs de fixation classiques.
Avec référence à la figure 1, et particulièrement aux traits en pointillés, un autre mode de réalisation de l'invention est illustré qui utilise un cadre universel comprenant les parois latérales 40 et l'élément d'extrémité arrière 36 et qui a l'élément d'extrémité avant 32, ou la partie d'interface 34, susceptible d'être inséré dans le cadre. Le trait en pointillés 150 de la figure 1 indique une division adéquate entre l'extrémité avant 32 ou la partie d'interface 34 et la balance du cadre 152. Dans ce mode de réalisation, diverses interfaces d'équipement de traitement 48 spécifiées peuvent être reçues simplement en utilisant d'autres moules séparés pour l'extrémité avant 32, tout en maintenant les mêmes parois latérales. Des moyens de fixation tels que décrits ci-dessus peuvent être utilisés pour fixer l'élément d'extrémité avant 32 ou les parties
d'interface 34 dans le cadre de support.
Avec référence aux figures 23-28, des modes de réalisation supplémentaires de l'invention sont montrés. Ce support de pastilles, généralement indiqué par le numéro 230, présente la caractéristique ajoutée d'éléments de traverse 234 qui s'étendent depuis l'élément d'extrémité avant 236 au niveau de la partie avant gauche 238 et au niveau de la partie avant droite 240. Ce support de pastilles comporte, de nouveau, un dessus ouvert 246, un fond ouvert 248, une interface d'équipement 252 faisant partie de l'élément d'extrémité avant, l'interface d'équipement et la barre en H 254 s'étendant entre la partie avant gauche et la partie avant droite. Les parois latérales 260, 262 sont composées des inserts de parois latérales 268, 270, comprenant chacun une partie supérieure sensiblement verticale 272 et une partie inférieure convergeante 274. Une pluralité de fentes verticales 276 s'étendent verticalement
vers le bas pour supporter et contraindre les pastilles.
Les inserts de parois latérales 268, 270 comportent chacun deux pattes 280 s'étendant vers le bas qui s'engagent dans les renfoncements 282 en tant que partie des paires de parties de mise en prise 284 concourantes. Les inserts de parois latérales 268, 270 comportent également des pattes droites verticales 288 qui glissent et se mettent en prise avec les fentes ou les renfoncements 290 dans le cadre. Les inserts de parois latérales peuvent être verrouillés en place par des arrêts 292 positionnés de manière appropriée,
par exemple comme montré sur les pattes 280.
Ce mode de réalisation du support de pastilles comprend une interface de machine ou un rebord 300 supplémentaire qui s'attache à l'élément d'extrémité arrière 302. De nouveau, cette liaison est réalisée au moyen de paires de parties de mise en prise 306 concourantes. Ces parties de mise en prise concourantes peuvent être configurées comme les pattes 308 qui s'étendent dans les renfoncements ou les fentes 310 sur l'élément d'extrémité arrière 302. Des pattes de verrouillage par ressorts 314 qui comprennent un arrêt 316 peuvent être utilisées pour verrouiller la seconde interface d'équipement 300 en place. Lesdits arrêts 316 s'engagent dans les renfoncements 320 formés par des structures
saillantes 322 sur la seconde interface d'équipement 300.
Avec référence aux figures 26, 27 et 28, un mode de réalisation supplémentaire d'un rebord 300 est montré comprenant une poignée 330. Une telle poignée peut faciliter la prise manuelle du support de pastilles ou, de manière plus appropriée, est utilisée comme poignée de prise par robots. Les modes de réalisation des figures 23-28 permettent de positionner les inserts de parois latérales dans des fentes d'emboîtement 334 et, par cette insertion apportent une rigidité supplémentaire significative au cadre de support qui est déjà sensiblement rigide du fait des
multiples structures de traverse.
On notera que l'utilisation d'éléments formés séparément permet d'utiliserun remplissage en fibre de carbone en quantités variables pour fournir des niveaux variables de caractéristiques dissipatives selon les souhaits pour chaque composant spécifique formé indépendamment. Par exemple, les interfaces de machine peuvent présenter des capacités de conduction supérieures afin de décharger n'importe quelle charge sur le support, par opposition à la paroi latérale qui présente une caractéristique de conduction moindre afin de minimiser le potentiel de décharges électrostatiques à proximité des pastilles. Le remplissage de carbone peut être un
remplissage en fibre de carbone, ou de la poudre de carbone.
Les parties de mise en prise concourantes utilisées ici, dans plusieurs modes de réalisation, fournissent des moyens de fixation sans attaches externes. Ceci facile l'assemblage et minimise le contact entre deux surfaces autre que le contact ponctuel ou le contact linéaire et permet à l'ensemble d'être encliqueté. Cette configuration particulière conduit donc au nettoyage et au séchage du
support de pastilles assemblé.
Bien que les figures montrent des interfaces de machine à barre en H et des poignées pour robots, d'autres interfaces de machine, telles que les accouplements cinématiques classiques utilisant trois rainures espacées de manière angulaire, ou n'importe quelles autres interfaces
d'équipement adéquates peuvent également être utilisées.
La présente invention peut être mise en oeuvre sous d'autres formes spécifiques sans s'écarter de l'esprit ou des attributs essentiels de celle-ci et il est, donc, souhaitable que le présent mode de réalisation soit considéré à tous égards comme illustratif et non restrictif,
référence étant faite aux revendications jointes plutôt qu'à
la description qui précède pour indiquer le domaine de
l'invention. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation ci-dessus décrits et représentés, à partir desquels on pourra prévoir d'autres modes et d'autres formes de réalisation, sans pour autant sortir du cadre de l'invention.
Claims (18)
1. Support de pastilles destiné à être mis en prise avec un équipement et à transporter une pluralité de pastilles circulaires alignées axialement (W), l'axe des pastilles s'étendant sensiblement horizontalement, le support de pastilles alignées comportant un dessus ouvert (42) et un fond ouvert (44) et étant caractérisé en ce qu'il comprend: un élément d'extrémité avant vertical (32) comportant une partie avant gauche, une partie avant droite et une première interface d'équipement, la première interface d'équipement étant configurée de sorte que le support puisse être tourné vers l'avant pour appuyer l'interface d'équipement sur l'équipement et positionner l'axe des pastilles alignées dans une orientation sensiblement verticale; deux éléments de parois latérales s'étendant vers l'arrière depuis l'élément d'extrémité avant, l'un depuis la partie avant gauche et l'autre depuis la partie avant droite, chaque paroi latérale comportant une partie supérieure sensiblement verticale, une partie inférieure convergeante et une pluralité de fentes sensiblement verticales s'étendant depuis la partie supérieure; vers la partie inférieure pour supporter et retenir les pastilles; un élément d'extrémité arrière vertical (36) comportant un panneau (38) et s'étendant entre les deux parois latérales (40); et au moins un élément d'extrémité avant vertical (32), les deux éléments de parois latérales et l'élément d'extrémité arrière étant formés séparément à partir de la balance du support de pastilles (30) et assemblés en ledit support de pastilles (30) par deux parties de mise en prise
par verrouillage concourantes.
2. Support de pastilles selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première interface d'équipement de l'élément d'extrémité avant est une barre en H s'étendant
entre la partie avant gauche et la partie avant droite.
3. Support de pastille selon la revendication 1, caractérisé en ce que les éléments de parois latérales sont des inserts de parois latérales (41) et le support de pastilles (30) comprend, de plus, deux éléments de traverse s'étendant depuis la partie avant gauche et la partie avant droite de l'élément d'extrémité avant jusqu'à l'élément d'extrémité arrière, chaque élément de traverse s'étendant
le long d'un insert de paroi latérale respectif.
4. Support de pastilles selon la revendication 3, caractérisé en ce que chaque insert de paroi latérale comporte une des deux parties de mise en prise concourantes et chaque élément de traverse respectif comporte l'autre des parties de mise en prise concourantes, chacune des paires de parties de mise en prise concourantes étant susceptible
d'être fixée ensemble sans attaches externes.
5. Support de pastilles selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément d'extrémité arrière vertical (36) comprend, de plus, une seconde interface d'équipement de telle manière que le support de pastilles (30) puisse être tourné vers l'arrière de sorte que la seconde interface
d'équipement s'appuie sur l'équipement.
6. Support de pastilles selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend, de plus, une seconde interface de machine qui a l'un des deux éléments de mise en prise concourants sur la seconde interface de machine et l'autre des éléments de mise en prise concourants se trouve
sur l'élément d'extrémité arrière.
7. Support de pastilles selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'interface de machine est un rebord
de levage par robots.
8. Support de pastilles selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément formé séparément est moulé par injection et est constitué de plastique et d'un remplissage de carbone, de telle manière qu'une
caractéristique de dissipation statique soit fournie.
9. Support de pastilles selon la revendication 8, caractérisé en ce que la caractéristique de dissipation statique de l'élément formé séparément est différente d'une caractéristique de dissipation statique d'au moins un des
autres éléments du support de pastilles (30).
10. Support de pastilles destiné à supporter une pluralité de pastilles sensiblement circulaires alignées axialement, l'axe des pastilles s'étendant sensiblement horizontalement, le support de pastilles (30) comportant un dessus ouvert (42) et un fond ouvert (44) et caractérisé en ce qu'il comprend: un élément d'extrémité avant vertical (32) comportant une première interface d'équipement configurée de sorte que le support puisse être tourné vers l'avant pour s'appuyer sur l'interface d'équipement et pour positionner l'axe des pastilles dans une orientation sensiblement verticale, une partie avant gauche et une partie avant droite; un élément d'extrémité arrière vertical (36) décalé par rapport à l'élément d'extrémité avant vertical (32) et généralement parallèle à celui-ci; deux éléments de traverse s'étendant depuis la partie avant gauche et la partie avant droite de l'élément d'extrémité avant jusqu'à l'élément d'extrémité arrière, l'élément d'extrémité avant, les éléments de traverse et l'élément d'extrémité arrière étant tous formés d'un seul tenant et définissant un cadre de support; et deux inserts de parois latérales, susceptibles chacun d'être insérés contigus à un élément de traverse, de telle manière que chaque insert de paroi latérale s'étende vers l'arrière depuis l'élément d'extrémité avant, l'un depuis la partie avant gauche et l'autre depuis la partie avant droite, chaque paroi latérale comportant une partie supérieure sensiblement verticale, une partie inférieure convergeante et une pluralité de fentes sensiblement verticales s'étendant depuis la partie supérieure jusqu'à la
partie inférieure pour supporter et retenir les pastilles.
11. Support de pastilles destiné à être relié à un équipement et à supporter une pluralité de pastilles sensiblement circulaires alignées axialement, l'axe des pastilles s'étendant sensiblement horizontalement, le support de pastilles (30) comportant un dessus ouvert (42) et un fond ouvert (44) et étant caractérisé en ce qu'il comprend: un élément d'extrémité avant vertical (32) comportant une première interface d'équipement configurée de sorte que le support puisse être tourné vers l'avant pour s'appuyer sur l'interface d'équipement et pour positionner l'axe des pastilles alignées dans une orientation sensiblement verticale, une partie avant gauche et une partie avant droite; deux éléments de parois latérales s'étendant vers l'arrière depuis l'élément d'extrémité avant, l'un depuis la partie avant gauche et l'autre depuis la partie avant droite, chaque paroi latérale comportant une partie supérieure sensiblement verticale, une partie inférieure convergente et une pluralité de fentes sensiblement verticales (46) s'étendant depuis la partie supérieure; vers la partie inférieure pour supporter et retenir les pastilles; un élément d'extrémité arrière vertical (36) comportant un panneau (38) et s'étendant entre les deux parois latérales (40); et une seconde interface de machine formée séparément à partir de la balance du support de pastilles (30) et assemblée en ledit support de pastilles (30) par deux
parties de mise en prise par verrouillage concourantes.
12. Support de pastilles destiné à contenir des pastilles semiconductrices (W) comportant une partie de bord, le support étant caractérisé en ce qu'il comprend: a) un cadre de support comprenant: 1) un élément d'extrémité avant comportant une partie d'interface d'équipement entre une partie avant gauche et une partie avant droite, lesdites parties avant gauche et droite comportant chacune une partie supérieure et une partie inférieure, 2) un élément d'extrémité arrière face à ladite extrémité avant, ladite extrémité arrière comportant un panneau entre une partie arrière gauche et une partie arrière droite, lesdites parties arrière gauche et droite comportant chacune une partie supérieure et une partie inférieure, 3) un premier support de paroi latérale comportant une extrémité avant et une extrémité arrière, ladite extrémité avant étant reliée à ladite partie avant gauche et d'un seul tenant avec celle-ci et ladite extrémité arrière étant reliée à ladite partie arrière gauche et d'un seul tenant avec celle-ci, 4) un second support de paroi latérale comportant une extrémité avant et une extrémité arrière, ladite extrémité avant étant reliée audit côté avant droit et d'un seul tenant avec celui-ci et ladite extrémité arrière étant reliée audit côté arrière droit et d'un seul tenant avec celui-ci, de telle manière que l'extrémité avant, l'extrémité arrière et les premier et second supports de parois latérales forment un cadre d'un seul tenant, b) des premier et second inserts de parois latérales formés séparément dudit cadre de support et comportant des fentes pour retenir lesdites parties de bord des pastilles (W), les inserts de parois latérales positionnés entre lesdits éléments d'extrémité avant et arrière, s'étendant le long des supports latéraux respectifs, chaque insert de paroi latérale étant en prise par verrouillage avec le cadre de support au moyen de paires de parties de mise en prise concourantes, chaque partie de mise en prise de chaque paire étant positionnée sur un insert de paroi latérale et la partie de mise en prise concourante avec celle-ci étant positionnée sur la partie de cadre, et dans lequel ladite au moins une de chacune desdites paires de parties de mise en prise concourantes comprend un renfoncement et la partie de mise en prise concourante avec celle-ci comprend une patte
dimensionnée pour ledit renfoncement.
13. Support de pastilles destiné à contenir des pastilles semiconductrices circulaires (W) comportant une partie de bord, le support étant caractérisé en ce qu'il comprend: a) un cadre de support comprenant: 1) un élément d'extrémité avant comportant une partie d'interface d'équipement entre une partie avant gauche et une partie avant droite, lesdites parties avant gauche et droite comportant chacune une partie supérieure et une partie inférieure, 2) un élément d'extrémité arrière face audit élément d'extrémité avant, l'extrémité arrière comportant une partie arrière gauche et une partie arrière droite, lesdites parties arrière gauche et droite comportant chacune une partie supérieure et une partie inférieure, 3) un premier support de paroi latérale supérieur et un premier support de paroi latérale inférieur comportant chacun une extrémité avant et une extrémité arrière, lesdites extrémités avant étant reliées auxdites parties avant gauches supérieure et inférieure, respectivement, et lesdites extrémités arrière étant reliées auxdites parties arrière gauches supérieure et inférieure, respectivement, formant de ce fait une première fenêtre de paroi latérale; et 4) un second support de paroi latérale supérieur et un second support de paroi latérale inférieur comportant chacun une extrémité avant et une extrémité arrière, lesdites extrémités avant étant reliées auxdites parties avant droites supérieure et inférieure, respectivement, et lesdites extrémités arrière étant reliées auxdites parties arrière droites supérieure et inférieure, respectivement, formant de ce fait une seconde fenêtre de paroi latérale; b) des première et seconde parois latérales moulées séparément dudit cadre de support comportant des fentes pour retenir lesdits bords des pastilles, les inserts de parois latérales comportant un intérieur et un extérieur, lesdits inserts de parois latérales étant engagés dans une desdites
fenêtres de parois latérales.
14. Support de pastilles selon la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comprend, de plus, des moyens destinés à fixer lesdits inserts de parois latérales dans
chacune desdites fenêtres de parois latérales.
15. Support de pastilles selon la revendication 14, caractérisé en ce que lesdits moyens destinés à fixer les inserts de parois latérales comprennent une pluralité de pattes de verrouillage par encliquetage concourantes sur chacun desdits inserts de parois latérales et une pluralité de renfoncements concourants configurés pour l'insertion desdites pattes de verrouillage par encliquetage sur le cadre.
16. Support de pastilles selon la revendication 15, caractérisé en ce que lesdits moyens destinés à fixer les inserts de parois latérales comprennent, de plus, une pluralité de boutons s'étendant depuis chacun des inserts de parois latérales et une pluralité de renfoncements concourants dans chacun des premier et second supports de
parois latérales supérieurs pour recevoir lesdits boutons.
17. Support de pastilles destiné à contenir des pastilles semiconductrices circulaires (W) comportant une partie de bord circulaire, le support étant caractérisé en ce qu'il comprend: a) une extrémité avant comportant une partie d'interface d'équipement à barre en H entre une partie avant gauche et une partie avant droite; b) une extrémité arrière comportant un panneau face à ladite extrémité avant et entre une partie arrière gauche et une partie arrière droite; et c) des premier et second inserts de parois latérales formés séparément à partir desdites extrémités avant et arrière, les inserts de parois latérales comportant une partie d'extrémité avant, une partie d'extrémité arrière, une partie inférieure incurvée correspondant à la partie de bord circulaire des pastilles et des fentes pour retenir ladite partie de bord, les inserts de parois latérales étant en prise par verrouillage avec et entre l'extrémité avant et l'extrémité arrière dans une configuration avec un dessus
ouvert (42) et un fond ouvert (44).
18. Support de pastilles selon la revendication 17, caractérisé en ce que ledit support de pastilles (30) comprend, de plus, deux supports latéraux supérieurs (66, 67) s'étendant entre les éléments d'extrémité avant et les éléments d'extrémité arrière et deux supports latéraux inférieurs (68, 69) s'étendant également entre l'élément d'extrémité avant et l'élément d'extrémité arrière, et définissant deux fenêtres d'inserts latérales pour recevoir les inserts latéraux, l'extrémité avant, l'extrémité arrière et les supports latéraux d'un seul tenant les uns avec les autres.
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