FR2770498A1 - Dispositif de transport de tranches de silicium pour semi-conducteurs - Google Patents
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Abstract
L'invention concerne un dispositif de transport de tranches de silicium destiné à transporter ou à maintenir des tranches de silicium selon une disposition horizontale alignée axiale.Ce dispositif comprend au moins quatre zones ponctuelles servant à supporter les tranches de silicium au niveau de leur portion de bord. Il comprend une pluralité de fentes définies par des guides allongés (220) formés sur les parois latérales du dispositif de transport. Des protubérances (230) s'étendant vers le haut supportent les tranches de silicium dans des conditions de contact minimal avec le dispositif de transport. Le nombre et la configuration des protubérances (230) sont suffisants pour empêcher tout contact avec la surface supérieure des guides (220).
Description
Dispositif de transport de tranches de silicium pour semi-conducteurs.
Contexte de l'invention La présente invention concerne un équipement de traitement de semi-conducteurs. Elle concerne plus particulièrement des dispositifs de transport de tranches de
silicium pour semi-conducteurs.
Au fur et à mesure que la capacité des semi-conducteurs a augmenté, c'est-à-dire au fur et à mesure que le nombre de circuits par surface unitaire a augmenté, la question des particules est devenue plus qu'un problème. La taille des particules qui peuvent détruire un circuit a diminué et se rapproche du niveau moléculaire. La suppression des particules est nécessaire durant toutes les phases de la fabrication, du traitement, du transport et du stockage des tranches de silicium pour semi-conducteurs. La génération de particules durant l'insertion des tranches de silicium dans et leur retrait des dispositifs de transport et par suite des mouvements des tranches à l'intérieur des dispositifs de transport durant leur transport doit être réduite au minimum
ou évitée.
La formation et la décharge de charges statiques au voisinage de tranches de silicium pour semi-conducteurs peuvent être catastrophiques. La capacité de dissipation des charges statiques est une caractéristique hautement souhaitable pour les dispositifs de transport de tranches de silicium. Les charges statiques peuvent être dissipées par un circuit de mise à la terre traversant le support. Toutes les parties qui sont mises au contact d'équipements ou qui peuvent entrer en contact avec des tranches de silicium ou qui peuvent être touchées par des opérateurs bénéficieraient d'un circuit de mise à la terre. De telles parties des dispositifs de transport comprendraient les supports de tranches de silicium, les poignées des robots de
manipulation et les interfaces aux équipements.
La possibilité de voir les tranches de silicium lorsqu'elles se trouvent à l'intérieur de récipients fermés est hautement souhaitable et peut être demandée par des utilisateurs finaux. L'utilisation de matières plastiques transparentes convenant pour ce genre de récipient, telles que les polycarbonates, est souhaitable en ce sens qu'une telle matière plastique est bon marché, mais ces matières plastiques ne présentent pas des caractéristiques de dissipation des charges statiques suffisantes ni la
résistance à l'usure par frottements souhaitable.
Les matériaux destinés à la fabrication de dispositifs de transport pour tranches de silicium doivent également être rigides pour éviter toute détérioration des tranches de silicium durant leur transport et doivent également conserver leur stabilité dimensionnelle lorsque les
conditions ambiantes varient.
Les matériaux classiques idéaux pour la fabrication de dispositifs de transport, possédant des caractéristiques de faible dégagement de particules, une stabilité dimensionnelle et d'autres caractéristiques physiques souhaitables, tels que le polyétheréthercétone (PEEK) ne sont pas transparents, sont relativement onéreux et sont difficiles à mouler dans des configurations unitaires complexes et de grandes dimensions, telles que des
dispositifs de transport et des récipients.
D'une manière générale, les récipients et les dispositifs de transport destinés au stockage et au transport de tranches de silicium étaient conçus pour transporter et maintenir les tranches de silicium dans des plans verticaux. De tels dispositifs de transport, par exemple les dispositifs de transport à barre en forme de H, bien connus dans la technique concernée (voir figure 18), sont, en règle générale, configurés de manière à permettre également une position du dispositif de transport avec deux tranches de silicium dans une position horizontale pour traitement et/ou insertion et retrait des tranches de silicium. Dans la position horizontale, les tranches sont, de manière classique, supportées par des nervures ou des guides pour tranches de silicium qui constituent les logements d'insertion des tranches de silicium et s'étendent sur la longueur des faces intérieures du dispositif de transport. Le côté du dispositif de transport est en partie incurvé ou incliné pour épouser le tracé du bord de la tranche de silicium. De tels dispositifs de transport sont en contact avec et supportent les tranches de silicium le long de deux arcs sur ou adjacents au bord des tranches de silicium. De plus, le fait de faire passer les dispositifs de transport classiques de la position de transport verticale dans la position horizontale d'introduction - d'enlèvement peut provoquer une agitation des tranches de silicium, leur décalage, leur instabilité, une génération de particules et
une détérioration des tranches de silicium.
La profession évolue, traitant progressivement des
tranches de silicium de plus grandes dimensions, c'est-à-
dire de 300 mm de diamètre et par conséquent des récipients et des dispositifs de transport plus grands sont requis pour maintenir en position les tranches de silicium dans les conditions qui s'imposent. En outre, on a de plus en plus tendance dans la profession à disposer les tranches de silicium horizontalement dans les dispositifs de transport et les récipients. L'augmentation de la taille de ces dispositifs de transport a encore aggravé les problèmes de retrait et de gauchissement lors du moulage. La fait de faire de plus en plus appel à la robotique, notamment pour l'enlèvement et l'insertion des tranches de silicium dans les récipients et les dispositifs de transport, a rendu les tolérances d'autant plus critiques. Ce dont il faut pouvoir disposer est un dispositif de transport de manière optimale peu coûteux, générant peu de particules et dissipant les charges statiques, dans lequel les tranches de silicium sont stables et disposées de manière régulière et directe, et qui réduise au minimum la transmission de toutes particules depuis le dispositif de transport vers les tranches de silicium.
RESUME DE L'INVENTION
Un récipient pour tranches de silicium destiné à transporter ou à maintenir des tranches de silicium placées selon une disposition horizontale alignée de manière axiale comprend au minimum quatre régions ponctuelles de support de tranche de silicium au niveau des portions de bord des tranches de silicium. Un mode de réalisation préféré comprend une première portion formant récipient et une porte susceptible d'être fermée. La première portion formant récipient comprend une première portion moulée réalisée dans une matière à dissipation de charges statiques comportant un châssis de porte vertical avec une portion formant partie supérieure plane qui en fait partie intégrante. Une portion de base inférieure en faisant partie intégrante avec une interface à un équipement s'étend également depuis le châssis de porte. Une deuxième portion moulée consiste en une enveloppe transparente qui est raccordée au châssis de porte, à la portion supérieure plane et à la portion inférieure de base. Des colonnes de support de tranches de silicium moulées séparément sont reliées à la portion supérieure plane et à la portion inférieure de base et comprennent des rayonnages disposés de manière verticale avec une saillie orientée vers le haut fournissant un contact ponctuel ou de région ponctuelle minimum avec les tranches de silicium. Les rayonnages comprennent des butées pour tranches de silicium destinées à interférer avec le mouvement vers l'avant ou vers l'arrière des tranches de silicium lorsqu'elles sont supportées par les saillies et à
empêcher une insertion au-delà d'une position de logement.
Une poignée latérale venant en prise d'engagement à la fois avec la première portion moulée et avec la deuxième portion moulée sert à fixer les deux portions moulées ensemble. Une poignée pour robot est raccordée à la portion supérieure plane. La poignée pour robot, les rayonnages de support des tranches de silicium, les poignées latérales et le châssis de porte comprennent un circuit de mise à la terre par
l'interface machine.
Un mode de réalisation additionnel consiste en un dispositif de transport de tranches de silicium à barres en H classiques avec des protubérances ajoutées sur la face supérieure des guides des tranches de silicium de telle sorte que lorsque le dispositif de transport à barres en H est positionné avec le plan des tranches de silicium selon une disposition horizontale, les tranches de silicium ont un contact minimal avec le dispositif de transport par les bourrelets ou les protubérances présents sur les guides des
tranches de silicium.
Une caractéristique et un avantage de l'invention consistent en ce que le support de tranche de silicium est muni d'un contact minimal et solide assuré par le dispositif
de transport.
Un autre avantage et une autre caractéristique du mode de réalisation du récipient composite selon l'invention consistent en ce que la conception composite permet une utilisation optimale de matériaux, tels que les matériaux résistant à l'usure par frottements et à la dissipation des charges statiques plus onéreux, par exemple le PEEK, pour la réalisation des portions du récipient qui sont en contact avec les tranches de silicium ou l'équipement, et l'utilisation de matière plastique transparente moins onéreuse, telle que le polycarbonate, pour réaliser le support structural du récipient et obtenir la visibilité des tranches de silicium dans le récipient. Ainsi, les paramètres du moulage et le choix des matériaux peuvent être sélectionnés pour chaque partie moulée séparément, optimisant ainsi le rendement et réduisant les coûts au
minimum.
Un autre avantage et une autre caractéristique du mode de réalisation du récipient composite selon l'invention consistent en ce que la conception composite réduit au minimum les incidences négatives associées au moulage de dispositifs de transport de grandes dimensions, telles que
le gauchissement ou le retrait.
Un autre avantage et une autre caractéristique du mode de réalisation du récipient composite selon l'invention consistent en ce que toutes les parties critiques peuvent être reliées de manière conductrice à la terre par l'intermédiaire de la portion formant l'interface à l'équipement du dispositif de transport. Un autre avantage et une autre caractéristique de l'invention consistent en ce que les tranches de silicium sont maintenues de manière passive dans une position d'assise spécifique par les rayonnages ayant une
configuration appropriée.
Un autre avantage et une autre caractéristique de l'invention consistent en ce que le récipient composite peut être assemblé et ses parties solidement fixées ensemble au moyen d'attaches, de languettes et de brides associées à la
poignée latérale.
un autre avantage et une autre caractéristique de l'invention consistent en ce que le contact des tranches de silicium avec les protubérances ou les bourrelets réduit l'accumulation de particules sur les tranches de silicium en réduisant au minimum le transfert de telles particules par la réduction à un minimum du contact entre les tranches de
silicium et le dispositif de transport.
Un autre avantage et une autre caractéristique de l'invention consistent en ce que les protubérances ou les extensions sur la face supérieure des guides des tranches de silicium peuvent être réalisées suivant toute une série de configurations. Un autre avantage et une autre caractéristique d'un mode de réalisation préféré de l'invention consistent en ce que le contact ponctuel minimum réduit au minimum le balancement des tranches de silicium individuelles et permet de plus grandes variantes au niveau du moulage tout en conservant la régularité et la sûreté du positionnement des tranches de silicium. La dimension critique à respecter est la partie supérieure de la protubérance comparativement à la longueur totale de la surface de contact sur les guides de tranches
de silicium classiques.
BREVE DESCRIPTION DES DESSINS
La figure 1 est une vue en perspective partiellement éclatée d'un récipient composite pour tranches de silicium
comprenant une porte susceptible d'être fermée.
La figure 2 est une vue en perspective depuis l'avant d'un récipient pour tranches de silicium comprenant trois colonnes de support de tranches de silicium fixées sur une enveloppe transparente en forme de U. La figure 3 est une vue en perspective depuis l'arrière d'un dispositif de transport similaire à celui représenté sur la figure 2, muni de cavaliers en plastique destinés à assurer une liaison avec la terre par l'intermédiaire de
l'interface à l'équipement.
La figure 4 est une vue en perspective depuis l'avant d'un récipient composite muni de poignées latérales, d'une
bride pour robot et d'une porte susceptible d'être fermée.
La figure 5 est une vue en perspective depuis l'avant d'un dispositif de transport de tranches de silicium ouvert
selon l'invention.
La figure 6 est une vue en élévation latérale en coupe
transversale d'un dispositif de transport.
La figure 7 est une vue en perspective depuis l'avant d'un mode de réalisation de la première portion moulée d'un
dispositif de transport de tranches de silicium.
La figure 8 est une vue en perspective depuis l'arrière de la première portion moulée d'un mode de réalisation du
dispositif de transport de tranches de silicium.
La figure 9 est une vue en perspective depuis l'avant de l'enveloppe ou deuxième portion moulée d'un mode de réalisation du dispositif de transport de tranches de silicium. La figure 10 est une vue en perspective d'une poignée
latérale pour un dispositif de transport composite.
La figure 11 est une vue de détail en coupe transversale d'une liaison entre la première portion moulée et la
deuxième portion moulée.
La figure 12 est une vue en perspective d'une colonne de support de tranches de silicium destinée à un récipient pour
tranches de silicium.
La figure 13 est une vue en perspective d'une colonne de support de tranches de silicium pour le dispositif de transport représenté sur la figure 5. La figure 14 est une vue de détail en perspective d'une
portion d'une colonne de support de tranches de silicium.
La figure 15 est une vue en plan en coupe transversale
d'un dispositif de transport de tranches de silicium.
La figure 16 est une vue en coupe transversale suivant
la ligne 16-16 sur la figure 15.
La figure 17 est une vue en plan d'une portion de bord d'une tranche de silicium illustrant le contact et le
support ponctuels minima des tranches de silicium.
La figure 18 est une vue en perspective d'un dispositif de transport de tranches de silicium selon la technique antérieure. La figure 19 est une vue en perspective des guides de tranches de silicium gauches de la paroi latérale du dispositif de transport de tranches de silicium représenté
sur la figure 18.
Les figures 20a-d sont des vues en plan de dessus des faces supérieures des guides de tranches de silicium
montrant différents modes de réalisation de l'invention.
Les figures 21a-d sont des vues de l'avant des guides de
tranches de silicium représentés sur les figures 20a-d.
Les figures 22a-d sont des vues de côté des guides de tranches de silicium représentés sur les figures 20a-d et 21a-d. Les figures 23A-D sont des vues en coupe transversale de dessus au travers d'un dispositif de transport de tranches de silicium à barre en forme de H montrant le support des tranches de silicium en différentes positions d'insertion/d'enlèvement. La figure 24 est une vue en coupe transversale suivant
la ligne 24-24 sur la figure 23D.
DESCRIPTIF DETAILLE
La figure 1, à laquelle on se reporte, est une vue en perspective d'un mode de réalisation préféré du dispositif de transport de tranches de silicium horizontal en place sur l'équipement 22. Les figures 2, 3, 4 et 5 montrent des modes de réalisation supplémentaires. Les dispositifs de transport de tranches de silicium sont globalement constitués par une portion formant récipient 26, comprenant des colonnes de support de tranches de silicium 27, et une porte opérant en association avec celle-ci. La portion formant récipient 26 a une partie avant ouverte 30, un côté gauche 32, une face arrière 34, un côté droit 36, une partie supérieure 38 et un fond 40. Les modes de réalisation représentés sur les figures 1, 2, 3 et 4 ont des faces arrière fermées et des côtés gauches et droits fermés. Le mode de réalisation représenté sur la figure 5 est un dispositif de transport globalement ouvert, avec une face arrière ouverte, dont la face supérieure et le fond sont raccordés et supportés par
les colonnes de support des tranches de silicium.
En se reportant notamment aux figures 1, 4 et 6, aux modes de réalisation qui y sont représentés, la portion formant récipient 26 peut être réalisée par moulage. Elle comprend une première portion moulée 50 et une deuxième portion moulée 52, comme cela est indiqué sur les figures 1 et 4 ou elle peut être moulée sous la forme d'une portion monobloc unique comme cela est indiqué sur les figures 2 et 3. La première portion moulée 50, qui est représentée isolée sur les figures 7 et 8, comprend un châssis de porte rectangulaire 56 constitué d'une portion de châssis supérieure horizontale 58, d'une paire de portions de châssis verticales droites 60, 62 et d'une portion de
châssis inférieure horizontale 64.
La portion de châssis supérieure 58 et les portions de châssis verticales 60, 62 comportent des surfaces inclinées 66, 68, 70 pour recevoir et guider la porte lors de sa fermeture. La portion de châssis inférieure 64 a une surface sensiblement horizontale 72, que l'on voit le mieux sur la figure 6. Le châssis de porte 56, au niveau des surfaces obliques 66, 68, 70 et de la surface horizontale 72, reçoit la porte 28 pour fermer la face avant ouverte 30. Les surfaces du châssis de porte peuvent comporter des ouvertures ou des évidements 73 destinés à recevoir des languettes 75 qui sont susceptible de s'étendre depuis la porte 28, de manière escamotable. S'étendant vers l'arrière depuis la portion de châssis supérieure 58 se trouve une
section supérieure essentiellement horizontale 74.
S'étendant vers l'arrière depuis la portion de châssis inférieure 64 se trouve une portion de base inférieure 76 comportant une interface pour équipement 82, qui est configurée sous la forme d'un accouplement cinématique. Une section supérieure horizontale 74 comprend une portion de bord horizontale 88 et les portions de châssis verticales
, 62 comprennent des portions de bord verticales 92, 94.
De manière similaire, la portion de base inférieure 76 comprend une portion de bord horizontale inférieure 96. La section supérieure horizontale 74 peut comprendre des brides de mise en prise 98 pour la fixation d'une poignée ou une bride pour raccordement de robot 100. Ainsi qu'il est indiqué sur la figure 7, la section supérieure horizontale comprend une paire d'éléments rainurés 106, 108 qui correspondent aux éléments rainurés 110, 112 placés sur la portion de base inférieure 76. Lesdits éléments rainurés sont dimensionnés et configurés pour recevoir les colonnes de support des tranches de silicium 27. S'étendant depuis les portions de châssis verticales 60, 62 se trouvent une pluralité de guides de tranches de silicium de forme allongée 120. Comme on le voit le mieux sur les figures 4 et 8, des caractéristiques supplémentaires peuvent être ajoutées à la première portion moulée 50 pour faciliter le raccordement avec la deuxième portion de moule 52 et pour faciliter l'adjonction de poignées latérales 128. S'étendant depuis la section supérieure horizontale se trouvent des pattes en forme de crochets 134 et des évidements 136 sont ménagés dans ladite section supérieure 74. Des attaches 138 comportant un évidement 140 sont fixées sur la portion de
base inférieure 76.
Comme le montre la figure 9, la deuxième portion moulée 52 est configurée sous la forme d'une enveloppe en matière plastique transparente, comprenant un panneau 150 incurvé de manière très régulière, une portion de panneau de haut supérieure 152, une portion de bord supérieure 154 se présentant sous la forme d'une lèvre évasée, des panneaux latéraux verticaux 156, 158 comprenant également des portions formant lèvre évasée 160, une lèvre évasée horizontale inférieure 162 et une paire de rejets latéraux
164, 166 s'étendant vers l'extérieur.
La figure 11 est une vue détaillée d'une lèvre évasée 162 se raccordant à une portion de bord 96 de la première portion moulée 50. L'assemblage se présente sous la forme
d'un raccordement par languette dans une rainure 170.
La figure 10 est une vue en perspective d'une pièce d'une poignée droite 128. La poignée latérale comprend une portion d'accrochage 174 reliée par l'intermédiaire de montants 176, 178 à une embase de poignée 180 se présentant sous la forme d'une bande. La bande comprend une portion divisée 18 ayant la forme d'un Y, qui comporte des portions incurvées 184, 186 destinées à s'enrouler autour de portion de bord supérieure incurvée de l'enveloppe en matière plastique transparente et deux languettes 188 et 190 s'étendant vers le bas, qui s'ajustent dans les évidements 136 de la section supérieure horizontale 74 de la première portion moulée 50. Les extrémités supérieures horizontales 189, 191 de la poignée latérale 128 comprennent également des portions d'encastrement latérales 194, 196 destinées à venir en prise avec les pattes 134 positionnées également sur la section supérieure horizontale 74. L'extrémité inférieure 200 de la poignée latérale 129 comporte une fente de réception 202 pour la languette 138 sur la portion de
base inférieure 76 de la première portion moulée 50.
L'extrémité inférieure 200 comporte également une fente 208 destinée à venir en prise avec et à fixer en position la saillie 176 qui se trouve sur le panneau latéral 156 de
l'enveloppe en matière plastique transparente.
La poignée latérale 128 est réalisée dans une matière plastique rigide mais néanmoins souple de manière élastique, ce qui fait que la poignée est solidement fixée dans la forme illustrée sur la figure 10. Ceci permet à la poignée d'être essentiellement encliquetée en place et de rester fixée sur les côtés 32, 36 et la partie supérieure 38 du dispositif de transport pour venir en prise d'engagement avec à la fois la première portion moulée 50 et la deuxième portion moulée 52 et maintenir fermement l'ensemble en
position d'assemblage.
Sur les figures 12, 13, 14, 15 et 16 les colonnes de support des tranches de silicium sont représentées dans deux configurations principales. La figure 13 représente une colonne de support de tranche de silicium convenant pour le
dispositif de transport ouvert représenté sur la figure 5.
Les figures 12 et 14 montrent une configuration de colonnes de support de tranches de silicium 27 destinées à être utilisées dans le mode de réalisation du dispositif de transport illustré sur la figure 1 et la figure 4. Ces deux colonnes de support de tranches de silicium 27 sont fixées dans leur dispositif de transport respectif au moyen de languettes 138 ou de pattes 134. Des moyens de fixation mécaniques différents peuvent également être utilisés. Ainsi qu'on peut notamment le voir sur les figures 12, 13 et 14, la colonne de support des tranches de silicium 27 se compose d'une pluralité de guides ou de rayonnages pour tranches de silicium 220 qui sont raccordés à un élément formant support vertical 222 et un montant arrière 225 comportant des butées arrière 226. Les portions formant languettes ou les pattes supérieures et inférieures 228, 229 s'étendent depuis l'élément formant support vertical 222 et sont assujettis avec les évidements ou les éléments rainurés 106, 108, 110, 112 correspondants. Une configuration en variante des colonnes de support des tranches de silicium est illustrée sur les figures 2 et 3. Les colonnes sont représentées avec une fixation directe sur le panneau 150 en forme de U, au moyen de vis 231 par exemple. Les colonnes représentées sur les figures 2 et 3 comprennent chacune une pluralité de supports ou rayonnages pour tranches de silicium individuels 220, chaque rayon comprenant une protubérance 230 d'encastrement pour tranche unique de silicium se présentant sous la forme d'un bourrelet de forme allongée. A noter que les colonnes de support des tranches de silicium peuvent, dans certains modes de réalisation de l'invention, faire partie intégrante de la portion formant récipient, tout en fournissant bon nombre des avantages et des caractéristiques
identifiés plus haut.
Sur les figures 6, 14, 15 et 16 sont représentés d'autres détails et le positionnement des colonnes de
support des tranches de silicium 27 et des rayonnages.
Chaque rayon 236 est associé à un rayon correspondant opposé 238 sur le côté opposé du dispositif de transport. Les colonnes de support des tranches de silicium disposées en opposition 27, avec leurs rayonnages opposés, sont disposées sur un axe passant par la tranche de silicium parallèle à la partie avant ouverte 30 et au châssis de porte 56 et perpendiculaire à la direction 229 d'insertion et d'enlèvement des tranches de silicium W. Pour supporter les tranches de silicium, les rayonnages opposés sont espacés dans une proportion moindre que la valeur du diamètre D des tranches de silicium. Chaque guide de tranche de silicium a un guide de tranche de silicium opposé sur le côté
opposé du récipient.
Comme on peut le voir sur les figures 6, 15 et 16, la séparation entre chaque paire adjacente dans le plan vertical de guides de tranches de silicium et la distance d'un bout à l'autre de l'intérieur du dispositif de support définissent un niveau d'insertion et d'enlèvement de tranche de silicium et une fente pour tranche de silicium 244. De manière similaire, un niveau d'insertion est défini par la zone se trouvant entre les rayonnages de support des tranches de silicium 220 adjacents dans le plan vertical. La fente pour tranche de silicium est en outre définie comme étant la zone sur toute l'étendue du dispositif de transport entre les éléments formant supports verticaux de la colonne de support des tranches de silicium. Chaque rayon comprend une paire de protubérances de prise avec la tranche de silicium 230 orientées vers le haut, se présentant sous la forme de bourrelets. Un bourrelet peut être une petite bosse ayant globalement la configuration d'une portion de sphère, ainsi qu'il est indiqué sur la figure 14 par le repère numérique 231, ou d'une tige cylindrique partielle à
extrémités lisses, désignée par le repère numérique 230.
Comme on peut le voir sur la figure 17, cet élément fournit un point de contact minimum 246 ou un contact linéaire minimum abrégé orienté sensiblement de manière radiale 248 au sommet 233 de la protubérance. Le sommet vient en contact avec le côté inférieur ou la surface inférieure 235 de la
tranche de silicium W au niveau de la portion de bord 236.
Les bourrelets allongés, tels qu'ils sont représentés,
s'étendent sensiblement de manière radiale vers l'intérieur.
Chaque rayon pour tranche de silicium 220 comprend une butée pour tranche de silicium 232 antérieure, c'est-à-dire orientée vers l'avant, se présentant sous la forme d'une surface de contact verticale qui épouse letracé circonférentiel de la tranche de silicium W lorsque la tranche de silicium se trouve dans la position de logement représentée sur la figure 15. La butée antérieure pour tranche de silicium 232 ne s'étend pas à l'intérieur du niveau d'insertion et d'enlèvement de la tranche de silicium mais interfère avec le mouvement vers l'extérieur des
tranches de silicium placées dans la position de logement.
La distance D1 entre les butées antérieures sur les rayonnages opposés est inférieure au diamètre D de la tranche de silicium W. Chaque rayonnage de support comprend une butée arrière pour tranche de silicium 226 faisant partie du montant arrière 225. La butée arrière s'étend vers le haut, définissant ainsi les limites arrière de la fente pour tranche de silicium. La distance D2 entre les butées arrière 226 correspondantes de chaque rayonnage pour tranche de silicium opposé est inférieure au diamètre de la tranche de silicium D. Les butées arrière 226 s'étendent en élévation verticale de la fente pour tranche de silicium. La butée arrière 226 peut également servir à guider la tranche de silicium après son insertion dans la position de logement
237, ainsi qu'on le voit le mieux sur les figures 15 et 16.
Les composants identifiés ci-dessus, qui sont représentés en tant que partie de la première portion moulée peuvent être moulés selon une configuration monobloc et faire donc partie intégrante de chacune desdites autres pièces. De manière similaire, la deuxième portion moulée 52 se présentant sous la forme d'une enveloppe en matière plastique transparente est moulée selon une configuration monobloc. Les colonnes de support des tranches de silicium 27 seront réalisées dans une matière dissipant les charges statiques faisant preuve d'une résistance élevée à l'abrasion. Les poignées latérales et la bride pour robot seront également réalisées par moulage dans une matière dissipant les charges statiques. Avec la première portion moulée 50, également réalisée dans une matière dissipant les charges statiques, un circuit conducteur de mise à la terre est assuré pour la bride pour robot, les poignées latérales et les rayonnages 220 des colonnes de support des tranches de silicium 27 par l'intermédiaire de l'interface à l'équipement qui fait partie de la première portion moulée et qui vient en prise avec une interface mise à la terre de l'équipement. A noter que l'interface à l'équipement peut être constituée par un accouplement cinématique à trois sphères et trois gorges, tel qu'il est représenté, ou une interface en barre en forme de H classique raccordant chacune des parties réalisées dans une matière dissipant les charges statiques, telle que représentée sur les figures 1, 4 et 5; les pièces peuvent être reliées entre elles de manière conductrice, par exemple par des cavaliers conducteurs en matière plastique 241, raccordés de manière
appropriée aux pièces comme il est indiqué sur la figure 3.
En général, un dispositif de support ou un composant est considéré comme dissipant l'électricité statique lorsque sa résistivité superficielle se situe dans une fourchette comprise entre 105 et 1012 ohms par carré. Pour une matière destinée à assurer un circuit conducteur, tel que pour une mise à la terre, une résistance inférieure à celle-ci peut
être appropriée.
La figure 18 représente un dispositif de transport de tranches de silicium 280 constitué par une barre en H typique de la technique concernée. De tels dispositifs de transport à barre en H ont deux orientations selon lesquelles ils peuvent être placés sur un équipement ou d'autres surfaces. Dans une position, les tranches de silicium sont disposées selon un agencement à empilage vertical, les tranches de silicium étant alignées de manière axiale avec l'axe des tranches de silicium sensiblement horizontal. Dans la deuxième position, les tranches de silicium sont disposées de manière horizontale comme dans les modes de réalisation représentés sur les figures 1, 2 et 5. Le dispositif de transport de tranches de silicium 280 comprend une face supérieure 281, une face inférieure 282, une face arrière 285, une paroi latérale gauche 300 et une paroi latérale droite 400. La face inférieure 282 comprend un fond ou une paroi d'extrémité 283 portant une bride en forme de H 284 qui réalise l'interfaçage à l'équipement de traitement des tranches de silicium (non représenté). Bien que le dispositif de transport de tranches de silicium 280 soit représenté avec les tranches de silicium disposées selon un alignement vertical sur la figure, les composants sont identifiés en faisant référence à l'orientation avec le fond ou la paroi d'extrémité 283 globalement horizontal et les tranches de silicium sensiblement disposées de manière horizontale. La figure 19 montre une section de la paroi latérale gauche 300 du dispositif de transport de tranches de silicium 280 tel qu'il se présenterait pour un agencement horizontal d'au moins une tranche de silicium. La paroi latérale gauche 300 comprend une pluralité de guides pour tranches de silicium allongés qui s'étendent de manière horizontale et vers l'intérieur, définissant ainsi une pluralité de fentes pour tranches de silicium sensiblement horizontales 320. Les guides pour tranches de silicium 310 comprennent également un bord avant 313 qui s'étend sur la longueur du guide pour tranche de silicium 310 depuis l'avant ouvert 301 jusqu'à la face arrière 302 du dispositif de transport de tranches de silicium (non représenté). Les guides pour tranches de silicium 310 ont une face supérieure 311 qui comprend une pluralité de protubérances ou
d'extensions 330.1, 330.2, 330.3, 330.4 et 330.5.
Les figures 20 à 22 sont des vues en projection orthogonale de segments de guides pour tranches de silicium 310 qui comprennent différents modes de réalisation de protubérances ou d'extensions 330.1, 330.2, 330.3, 330.4 et
330.5.
Les figures 20a-d sont des vues de dessus de segments de guides pour tranches de silicium 310 qui montrent différents modes de réalisation de protubérances ou d'extensions 330.1, 330.2, 330.3, 330.4 et 330.5. Sur la figure 20a, la protubérance ou l'extension 330.3 est agencée de telle façon qu'elle comble sensiblement la distance entre le bord avant
313 et arrière 314 du guide pour tranche de silicium 310.
Ainsi qu'on peut le voir sur la figure, la protubérance ou l'extension 330.3 est globalement de forme allongée et de préférence à angle droit par rapport au bord avant 313 du guide pour tranches de silicium 310, ce qui fait que l'axe longitudinal (non représenté) de la protubérance ou de l'extension 330.3 pointe vers l'intérieur en direction du
centre du dispositif de transport de tranches de silicium.
Sur la figure 20b, la protubérance ou l'extension 330.4 a une forme convexe s'apparentant à une bosse. Bien que la
protubérance ou l'extension 330.4 soit représentée à mi-
chemin entre le bord avant 313 et le bord arrière 314 du guide pour tranches de silicium 310, on comprend que la protubérance ou l'extension 330.4 peut être positionnée plus près de soit le bord avant 313 soit le bord arrière 314 sans
que l'on s'écarte de l'esprit et de l'objet de l'invention.
Sur la figure 20C se trouvent deux protubérances ou extensions 330.1 et 330.2 qui sont adjacentes l'une à l'autre le long d'un axe orienté vers l'intérieur qui s'étend du bord avant du guide pour tranches de silicium 310 en direction du centre du dispositif de transport de tranches de silicium. La figure 20D illustre une
protubérance ou un bourrelet 330.5 de forme ovale.
Les figures 21a-d sont des vues de l'avant des guides pour tranches de silicium 310 représentés sur les figures a-d, depuis le bord avant 313 du guide pour tranches de silicium 310. Comme on peut le voir, les protubérances ou extensions 330.2, 330.3, 330.4 et 330.5 font saillie depuis la face supérieure 311 du guide pour tranches de silicium 310, tandis que le guide inférieur 312 du guide pour tranches de silicium est globalement plan. Bien que les protubérances ou les extensions 300A-D semblent faire saillie de manière quelque peu abrupte depuis la face supérieure 311 du guide pour tranches de silicium 310, ceci a été fait uniquement pour mieux illustrer l'invention. On comprend que les protubérances ou les extensions puissent présenter une transition en douceur entre la face supérieure 311 et les protubérances ou les extensions 330.1, 330.2, 330.3, 330.4 et 330.5, si on le désire, sans qu'on s'écarte
pour autant de l'esprit et de l'objet de l'invention.
Les figures 22a-d sont des vues de côté des guides pour
tranches de silicium 310 représentés sur les figures 20a-d.
Comme on peut le voir, les protubérances ou les extensions 330.1, 330.2, 330.3, 330.4 et 330.5 font saillie depuis la
face supérieure 311 du guide pour tranches de silicium 310.
On remarquera que la figure 22a est quelque peu différente des figures 22b-d en ce sens que la protubérance ou l'extension 330.3 traverse globalement la largeur de guide pour tranches de silicium 310 du bord avant 313 jusqu'à l'arrière. Sur les figures 23A, 23B, 23C et 23D est représentée une vue en coupe transversale d'un dispositif de transport de tranches de silicium à barre en forme de H, ce dispositif se trouvant dans son orientation avec son extrémité de barre en forme de H horizontale. Cette série de figures démontre la caractéristique consistant en ce que la tranche de silicium est supportée exclusivement au moyen des protubérances 330.3, lorsqu'elle se trouve dans le dispositif de
transport, insérée dans une fente pour tranche de silicium.
En d'autres termes, dans toutes les positions dans lesquelles la tranche de silicium peut reposer dans une position horizontale sur le rayon ou le guide pour tranche de silicium 310, ladite tranche de silicium est supportée de manière exclusive par les protubérances 330.3 s'étendant vers le haut, et a ainsi un contact minimum avec le dispositif de transport de tranches de silicium. Comme on peut le voir, l'écartement existant entre les protubérances du guide pour tranches de silicium varie, assurant ainsi un support continu dans toutes lesdites positions. L'écartement de ces protubérances 330.3 sera fonction des dimensions relatives du dispositif de transport de tranches de silicium et des tranches de silicium ainsi que de la configuration particulière des protubérances. C'est-à-dire que, dans une situation dans laquelle les protubérances se présentent sous la forme d'une bosse 330.4, ainsi qu'il est indiqué sur la figure 19, et sont déplacées d'une certaine distance du bord avant intérieur 313 du guide pour tranches de silicium, beaucoup plus de bosses seront requises que dans le cas o une protubérance se présente sous la forme d'un bourrelet de forme allongée 330.3 s'étendant sur toute la largeur du
guide pour tranches de silicium.
Sur la figure 24, une coupe transversale du dispositif de transport de tranches de silicium à barre en forme de H, suivant la ligne 24-24 sur la figure 24D, est représentée et illustre la coopération entre la tranche de silicium 290 et le guide pour tranches de silicium 310. La surface supérieure 352 de la protubérance 330.3 est arrondie comme il est globalement indiqué sur la figures 19 et les figures 21a-d et 22a-d. Chaque paire de guides pour tranches de silicium adjacents définit une fente 354 pour l'insertion, l'enlèvement et la mise en place des tranches de silicium 290. Entre chaque paire de guides pour tranches de silicium se trouve un méplat 356 au niveau de chaque fente pour tranche de silicium 354. La région se situant entre les méplats opposés définit un niveau ou une zone d'insertion ou d'enlèvement, au travers de laquelle la tranche de silicium peut être placée dans ou retirée du dispositif de transport sans entrer en contact avec les guides pour tranches de silicium aussi longtemps que la tranche de silicium est centrée dans le dispositif de transport. On remarquera que, ainsi qu'il est indiqué sur la figure 24, la surface supérieure 352 du guide pour tranches de silicium est légèrement inclinée par rapport au plan de la tranche de silicium 290 en position logée et que la surface inférieure 360 également est inclinée d'un angle légèrement plus grand par rapport au plan horizontal de la tranche de silicium 290. Du fait de l'inclinaison de la surface supérieure 352, l'engagement de la tranche de silicium 290 s'effectue au niveau de l'angle inférieur 357 de la tranche de silicium en un point restreint 364 de la protubérance 330. 3. Dans le cas o la surface supérieure 352 est parallèle au plan de la tranche de silicium dans sa position logée en place, l'engagement s'effectuera au niveau d'une région segmentée limitée légèrement plus large très limitée. On peut voir sur la figure 24 que la tranche de silicium durant son insertion et son enlèvement et lorsqu'elle est dans sa position logée sur la protubérance 330.3 est séparée de la face supérieure ou du haut 311 du guide pour tranches de silicium dans la proportion de l'épaisseur de la protubérance. Ainsi, toute particule qui se trouverait sur ladite face supérieure 311 du guide ne vient pas en contact avec et, par conséquent, n'aura en règle générale pas la possibilité d'adhérer sur
ladite tranche de silicium 290.
Sur les figures 25, 26 et 27 sont représentés trois récipients différents, qui sont tous connus dans la technique concernée et sont utilisés conjointement à des dispositifs de transport à barre en forme de H. La figure 25 représente un dispositif de transport du type SMIF pod 378, dans lequel la face inférieure 380 comprend une porte amovible sur laquelle est placé le dispositif de transport à barre en forme de H. La figure 26 représente un module type transport 381 avec une porte 382 fermant une face avant ouverte 385, avec un dispositif de transport à barre en forme de H 280 amovible. La figure 27 représente une boite 389 destinée à contenir et à transporter des dispositifs de transport à barre en forme de H. Tous ces récipients sont susceptibles d'être ouverts pour l'enlèvement de la tranche de silicium avec les dispositifs de transport à barre en forme de H séparés et tous conviennent pour être utilisés avec les caractéristiques de contact minimum sur les guides pour tranches de silicium des dispositifs de transport à barre en forme de H. La présente invention peut être concrétisée en d'autres configurations spécifiques sans que l'on s'écarte de l'esprit ou des attributs essentiels de celle-ci, et il est en conséquence souhaité que le présent mode de réalisation soit considéré à tous égards comme donné à titre d'exemple
et comme étant non restrictif.
Claims (25)
1. Dispositif de transport pour tranches de silicium, destiné à maintenir des tranches de silicium dans une position alignée axialement à disposition horizontale, caractérisé en ce qu'il comporte une partie avant (30) fermée, une partie supérieure (38) fermée, un fond (40) fermé, une face arrière (34) fermée, un côté gauche (32) fermé, un côté droit (36) fermé et un intérieur ouvert, en ce qu'il est susceptible d'être ouvert pour permettre l'insertion et l'enlèvement des tranches de silicium et en ce qu'il comprend une pluralité de guides pour tranches de silicium (220) alignés de manière verticale à l'intérieur du côté gauche du récipient (26) et une pluralité de supports pour tranches de silicium correspondants, alignés de manière verticale à l'intérieur du côté droit du récipient (26), pour supporter des tranches de silicium sensiblement de manière horizontale selon une disposition alignée dans le plan axial, caractérisé en ce que les guides pour tranches de silicium (220) comprennent chacun au moins une protubérance (230) s'étendant vers le haut destinée à supporter chaque tranche de silicium avec un contact minimum au niveau de la face inférieure de ladite tranche de silicium.
2. Dispositif de transport pour tranches de silicium selon la revendication 1, caractérisé en ce que les guides pour tranches de silicium (220) comprennent au moins deux colonnes de support (27) positionnées en opposition réciproque, une de chaque côté du dispositif de transport, chaque colonne de support (27) s'étendant depuis la face supérieure (38) fermée jusqu'au fond (40) fermé, les colonnes de support (27) étant raccordées de manière conductrice à la partie supérieure (38) fermée et au fond
(40) fermé.
3. Dispositif de transport pour tranches de silicium selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il est susceptible d'être inséré dans et d'être retiré de l'intérieur ouvert du récipient (26), le dispositif de transport de tranches de silicium comprenant des guides pour
tranches de silicium (220) alignés de manière verticale.
4. Dispositif de transport pour tranches de silicium destiné à maintenir des tranches de silicium, orientées de manière sensiblement horizontale, selon un axe vertical, les tranches de silicium ayant une surface inférieure, une face arrière, une portion supérieure, une portion inférieure, un côté gauche et un côté droit, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: une paire de colonnes de support de tranches de silicium (27) s'étendant de la portion supérieure à la portion inférieure, l'une des colonnes de support (27) étant placée sur le côté droit et l'autre étant placée sur le côté gauche, chacune des colonnes se composant d'une pluralité de guides allongés pour tranches de silicium (220) s'étendant horizontalement et disposés dans le plan vertical, s'étendant parallèlement aux côtés respectifs et définissant une pluralité de fentes (244) destinées à recevoir des tranches de silicium, chaque guide se composant d'une pluralité de protubérances (230) s'étendant vers le haut destinées à assurer un contact minimal avec la face inférieure d'une tranche de silicium au niveau de chaque protubérance (230), chaque fente (244) présentant en outre un niveau d'insertion et un niveau d'enlèvement d'une tranche de silicium, une tranche de silicium pouvant être insérée dans le dispositif de transport au travers de la face avant (30) ouverte à un niveau d'insertion et abaissée pour prendre appui sur des protubérances (230) s'étendant vers le haut, au niveau du niveau de logement dans une position de logement, les protubérances (230) prévues sur la face supérieure de chaque guide étant en nombre suffisant et configurées de telle sorte que les faces inférieures des tranches de silicium soient supportées exclusivement par les protubérances (230) s'étendant vers le haut lorsqu'elles se
trouvent dans leur position de logement.
5. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 4, caractérisé en ce que chaque guide pour tranche de silicium (220) comprend en outre une butée avant (232) positionnée au niveau du niveau de logement de manière partielle en avant et vers l'intérieur des protubérances (230) s'étendant vers le haut, s'opposant de ce fait au mouvement vers l'avant d'une tranche de silicium placée dans sa position de logement, chaque guide (220) comportant en outre des butées orientées vers l'arrière (226), disposées en direction de l'arrière et en direction de l'intérieur des protubérances s'étendant vers le haut, empêchant ainsi le mouvement vers l'arrière d'une tranche de silicium placée dans ladite position de logement, lesdites butées avant (232) ne s'étendant pas dans le niveau d'insertion, de sorte que les tranches de silicium peuvent être insérées et enlevées au niveau du niveau d'insertion sans interférer
avec lesdites butées avant (232).
6. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une enveloppe transparente extérieure moulée s'étendant autour de et entourant le côté gauche (32), la
face arrière (34) et le côté droit (36).
7. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 4, caractérisé en ce que les portions supérieures, la portion formant fond et les colonnes de support de tranches de silicium (27) sont réalisées de manière séparée par moulage dans une matière à dissipation d'électricité statique et sont reliées ensemble par voie mécanique.
8. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 7, caractérisé en ce que les protubérances (230) s'étendant vers le haut sont arrondies, de forme
allongée et sont orientées vers l'intérieur.
9. Dispositif de transport de tranches de silicium destiné à maintenir en position des tranches de silicium selon une disposition empilée de manière sensiblement horizontale, les tranches de silicium ayant une surface inférieure plane, caractérisé en ce que le dispositif de transport comprend une face avant (30) ouverte pour l'insertion et l'enlèvement de tranches de silicium, une face arrière (34), une portion supérieure (38), une portion formant fond (40), une paroi latérale gauche (32) et une paroi latérale droite (36), chacune des parois latérales gauche et droite comportant une pluralité de guides de forme allongée pour tranches de silicium (220) s'étendant de manière horizontale et orientés vers l'intérieur, définissant une pluralité de fentes sensiblement horizontales pour tranches de silicium (244) ayant un axe vertical, la pluralité de guides pour tranches de silicium (220) ayant une face supérieure et une face inférieure, chacun des guides pour tranche de silicium comprenant au moins deux protubérances arrondies faisant saillie vers le haut, destinées à supporter les tranches de silicium dans des conditions de contact minimum entre les tranches de
silicium et le dispositif de transport.
10. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 9, caractérisé en ce que chaque guide pour tranches de silicium (220) a une position sensiblement linéaire sensiblement parallèle au sens de l'introduction des tranches de silicium, et en ce que chaque guide pour tranche de silicium (220) comprend en outre une portion convergeant vers l'intérieur à mesure que chaque guide pour tranche de silicium (220), s'approche de la face arrière, chaque portion convergente étant contiguë à la portion
linéaire respective.
11. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 10, caractérisé en ce que les protubérances (230) se trouvant sur la face supérieure de chaque guide pour tranches de silicium (220) sont en nombre suffisant et sont configurées de telle façon que la tranche de silicium ne peut pas entrer en contact avec la face supérieure du guide pour tranches de silicium (220) lors de l'insertion et de l'enlèvement de celles-ci, sauf au niveau
desdites protubérances (230).
12. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 11, caractérisé en ce que chaque protubérance (230) a une forme allongée et pointe vers l'intérieur.
13. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 11, caractérisé en ce que la face formant fond (40) comprend une interface à un équipement (22).
14. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'interface
à l'équipement (22) est une barre en forme de H (280).
15. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 8, caractérisé en ce que chaque
protubérance (230) a la forme d'une bosse.
16. Dispositif de transport de tranches de silicium du type destiné à maintenir en place une pluralité de tranches de silicium, caractérisé en ce qu'il comprend une face avant (30) ouverte pour l'insertion et l'enlèvement de tranches de silicium, une face arrière (34), une face supérieure (38), un côté formant fond (40), une paroi latérale gauche (32) et une paroi latérale droite (36), chacune des parois latérales gauche et droite comportant une pluralité de guides pour tranches de silicium parallèles (220), de forme allongée orientés vers l'intérieur et sensiblement horizontaux, définissant une pluralité de fentes pour tranches de silicium (244), la pluralité de guides (220) comprenant une face supérieure et une face inférieure, au moins deux protubérances (230) faisant saillie vers le haut depuis la face supérieure des guides pour tranches de silicium de manière à supporter les tranches de silicium avec un contact
minimal au moyen des guides pour tranches de silicium (220).
17. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 16, caractérisé en ce que chaque guide pour tranche de silicium (220) comprend une portion convergeant vers l'intérieur au fur et à mesure que le guide pour tranche de silicium (220) s'approche de la face arrière, chaque portion convergente étant contiguë à la
portion linéaire respective.
18. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 16, caractérisé en ce que les protubérances (230) se trouvant sur la face supérieure de chaque guide pour tranches de silicium (220) sont en nombre suffisant et sont configurées de telle façon que la tranche de silicium ne peut pas venir en contact avec la face supérieure du guide pour tranches de silicium (220) sous ladite tranche de silicium durant les processus d'insertion et d'enlèvement, sauf au niveau desdites protubérances
(230).
19. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 16, caractérisé en ce que chaque protubérance (230) a une forme allongée et est orientée vers l'intérieur.
20. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 16, caractérisé en ce que chaque
protubérance (230) a un tracé convexe.
21. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 16, caractérisé en ce que la face formant fond (40) comprend une interface pour équipement
(22).
22. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 21, caractérisé en ce que l'interface pour équipement (22) est une barre en forme de H.
23. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 10, caractérisé en ce que chaque protubérance est arrondie et se présente sous la forme d'une
bosse (280).
24. Dispositif de transport de tranches de silicium selon la revendication 16, caractérisé en ce qu'il est réalisé par moulage selon une configuration monobloc dans
une matière dissipant l'électricité statique.
25. Dispositif de transport de tranches de silicium destiné à maintenir en position au moins une tranche de silicium ayant une surface inférieure plane, caractérisé en ce qu'il comprend: une face avant (30) ouverte pour l'insertion et l'enlèvement d'au moins une tranche de silicium, la tranche de silicium étant susceptible d'être insérée dans une direction transversale par rapport à la face avant; et une face arrière (34), une face supérieure (38), une face formant fond (40), une paroi latérale gauche (32) et une paroi latérale droite (36), chacune des parois latérales gauche et droite comportant une pluralité de guides allongés pour tranches de silicium (220) s'étendant de manière horizontale et orientés vers l'intérieur, les guides pour tranches de silicium (220) comprenant des portions sensiblement linéaires sensiblement parallèles à la direction de l'insertion des tranches de silicium et en ce que chaque guide pour tranches de silicium (220) comprend une portion convergeant vers l'intérieur à mesure que chaque guide pour tranches de silicium (220) se rapproche de la face arrière, chaque portion convergeante étant contiguë à la portion linéaire respective, définissant une pluralité de fentes pour tranches de silicium (244) sensiblement horizontales, la pluralité de guides pour tranches de silicium (220) comprenant une face supérieure et une face inférieure, chacune des faces supérieures comportant au moins deux protubérances destinées à supporter au moins une tranche de silicium avec un contact minimal entre la tranche
de silicium et le guide pour tranches de silicium (220).
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| KR102281583B1 (ko) * | 2014-01-21 | 2021-07-27 | 우범제 | 퓸 제거 장치 |
| KR102162366B1 (ko) | 2014-01-21 | 2020-10-06 | 우범제 | 퓸 제거 장치 |
| KR102223033B1 (ko) * | 2014-04-29 | 2021-03-04 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 수납장치 |
| US9881820B2 (en) * | 2015-10-22 | 2018-01-30 | Lam Research Corporation | Front opening ring pod |
| CN107706144A (zh) * | 2017-09-14 | 2018-02-16 | 德淮半导体有限公司 | 晶圆清洗固定装置及清洗设备 |
| KR102020294B1 (ko) * | 2017-09-15 | 2019-09-11 | (주)상아프론테크 | 슬롯 구조체 및 이를 포함하는 웨이퍼 보관 용기 |
| TWI689030B (zh) * | 2018-06-14 | 2020-03-21 | 家登精密工業股份有限公司 | 基板載具 |
| CN109003928B (zh) * | 2018-07-21 | 2021-03-09 | 江苏德尔科测控技术有限公司 | 一种硅片承载装置 |
| KR200493303Y1 (ko) * | 2018-12-27 | 2021-03-10 | 위아코퍼레이션 주식회사 | 웨이퍼 캐리어의 슬롯바 |
| TWI727713B (zh) * | 2020-03-23 | 2021-05-11 | 家登精密工業股份有限公司 | 光罩盒及其耐磨件 |
| TWI751814B (zh) * | 2020-09-22 | 2022-01-01 | 家登精密工業股份有限公司 | 支撐片狀物的中央支撐裝置及存放片狀物的儲存設備 |
| KR102349499B1 (ko) * | 2020-09-24 | 2022-01-07 | 우범제 | 사이드 스토리지 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5534074A (en) * | 1995-05-17 | 1996-07-09 | Heraeus Amersil, Inc. | Vertical boat for holding semiconductor wafers |
| US5584401A (en) * | 1994-07-29 | 1996-12-17 | Yodogawa Kasei Kabushiki Kaisha | Substrate-supporting side boards and a cassette utilizing the boards |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5492229A (en) * | 1992-11-27 | 1996-02-20 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Vertical boat and a method for making the same |
| JPH0864669A (ja) * | 1994-08-25 | 1996-03-08 | Hitachi Cable Ltd | ウエハボックス |
| US5452795A (en) * | 1994-11-07 | 1995-09-26 | Gallagher; Gary M. | Actuated rotary retainer for silicone wafer box |
| JP3328763B2 (ja) * | 1995-10-30 | 2002-09-30 | エヌティティエレクトロニクス株式会社 | 縦型ウエハボートのウエハ支持構造 |
| JPH1098096A (ja) * | 1996-09-25 | 1998-04-14 | Nippon Valqua Ind Ltd | 半導体ウェハ用カセット |
-
1998
- 1998-10-15 NL NL1010321A patent/NL1010321C2/nl not_active IP Right Cessation
- 1998-10-16 IT IT1998TO000879A patent/IT1303138B1/it active IP Right Grant
- 1998-10-20 JP JP10298859A patent/JPH11204629A/ja active Pending
- 1998-10-20 SG SG9804226A patent/SG81942A1/en unknown
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- 1998-10-20 KR KR1019980043797A patent/KR100830654B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-10-20 CN CNB981224393A patent/CN1165963C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1998-10-20 DE DE19848147A patent/DE19848147A1/de not_active Ceased
-
2000
- 2000-04-20 HK HK00102409A patent/HK1023228A1/xx not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5584401A (en) * | 1994-07-29 | 1996-12-17 | Yodogawa Kasei Kabushiki Kaisha | Substrate-supporting side boards and a cassette utilizing the boards |
| US5534074A (en) * | 1995-05-17 | 1996-07-09 | Heraeus Amersil, Inc. | Vertical boat for holding semiconductor wafers |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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