TWI727713B - 光罩盒及其耐磨件 - Google Patents

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Abstract

本發明提供了一種光罩盒，特別是一種具有耐磨件的光罩盒。其中，該光罩盒為一種大尺寸光罩盒且為直立式，用以容置光罩，主要包含一上蓋體與一盒體，該盒體用以與該上蓋體組合，形成一內部空間可容納一光罩。該盒體外設置有一導位塊，該導位塊可以協助導正盒體與上蓋體的相對位置，該盒體內接觸直立式光罩的接觸面設置有至少一卡槽，而該卡槽上設置有至少一耐磨組。其中，該耐磨組更包括一設置於卡槽上部的第一耐磨件以及一設置於該卡槽下部的第二耐磨件。

Description

光罩盒及其耐磨件
本發明係有關於一種光罩盒，特別是有關於一種具有耐磨件的大尺寸直立式光罩盒，用以防止接觸光罩面產生塵粒。
近代半導體科技發展迅速，其中光學微影技術（Optical Lithography）扮演重要的角色，只要是關於圖形（pattern）定義，皆需仰賴光學微影技術。光學微影技術在半導體的應用上，是將設計好的線路製作成具有特定形狀可透光之光罩（Reticle）。利用曝光原理，則光源通過光罩投影至矽晶圓（Silicon wafer）可曝光顯示特定圖案。由於任何附著於光罩上的塵埃顆粒（如微粒、粉塵或有機物）都會造成投影成像的品質劣化，用於產生圖形的光罩必須保持絕對潔淨，其中SMIF系統之目的係為減少半導體製程之儲存及運送過程中所受之微粒過量。
根據上述技術概念，除了在曝光使用時，晶圓與光罩在運送過程或保存期間，都必須放置在一個高潔淨度、氣密性佳、低氣體逸出（Outgassing）與抗靜電防護（ESD）的載具內，如晶舟盒（Cassette）、晶圓傳送盒（FOUP）、晶圓運輸盒（FOSB）、光罩儲存盒（Mask Package）、光罩傳送盒（Reticle SMIF Pod, RSP），有效防止晶圓與光罩受到污染，確保高晶圓與光罩的潔淨度與高生產良率。
再者，由於製程的進步，當半導體廠進入更高階的製程時，除了靜電效應外，半導體廠中的電磁脈衝（EMI）也會對晶圓與光罩產生危害，尤其在晶圓與光罩處於儲存狀態時，更無法預期周遭環境的變化，因此防止靜電效應（ESD）以及電磁脈衝（EMI）對晶圓與光罩產生的損害前提下，也是一項重要問題。
而早期之晶圓/光罩的載具所承載之晶圓/光罩多呈平躺式，因為接觸面積大，其中需要多個耐磨件、支撐件或壓抵單元來防止晶圓或光罩與載具之摩擦與碰撞，甚至因磨擦或碰撞出現塵粒（particle）附著等問題。換言之，如何能提供抗靜電效果佳、耐磨耗及高潔淨等需求的晶圓/光罩載具，是相當重要的課題。
本發明針對前述晶圓與光罩之載具在使用時所面臨的問題深入探討，並不斷努力的改良與試作，而成功開發一種應用於晶圓/光罩載具，其能解決現有晶圓/光罩載具耐磨性不佳所造成的不便與困擾。
本發明提供一種耐磨組，設置於一基板容器中設有的複數卡槽上，該耐磨組包含：一第一耐磨件，設置於該卡槽的一端；一第二耐磨件，設置於該卡槽的另一端。
在前述的概念下，本發明更提供一種光罩盒，包含：一上蓋體；一盒體，與該上蓋體配合，該盒體包含一直立空間以容納至少一光罩；該盒體外設置有至少一導位塊，該導位塊可以協助導正盒體與上蓋體的相對位置；複數卡槽，成對設於該直立空間上； 該卡槽設置有一耐磨組；該耐磨組包括：一第一耐磨件，設置於該卡槽的一端；以及一第二耐磨件，設置於該卡槽的另一端。
以上對本發明的簡述，目的在於對本發明之數種面向和技術特徵作一基本說明。發明簡述並非對本發明的詳細表述，因此其目的不在特別列舉本發明的關鍵性或重要元件，也不是用來界定本發明的範圍，僅為以簡明的方式呈現本發明的數種概念而已。
為能瞭解本發明的技術特徵及實用功效，並可依照說明書的內容來實施，茲進一步以如圖式所示的較佳實施例，詳細說明如後：
請先參照圖3，圖3係本發明實施例之卡槽與耐磨組之示意圖。在圖3的實施例中，提供了一種得以設置於基板容器中的耐磨組4。所述基板容器可以是如本案圖1所示的光罩盒3（即一種光罩載具）；抑或是乘載例如晶圓等基板（Substrate）的基板載具（Substrate Carrier）。
其中，光罩載具可以是光罩儲存盒（Mask Package）、光罩傳送盒（Reticle SMIF Pod, RSP）或極紫外光光罩盒（EUV Pod）等；而基板載具可以是晶舟盒（Cassette）、晶圓傳送盒（FOUP）或晶圓運輸盒（FOSB）等，本發明並不加以限制。
因此，在本實施方式中，實施耐磨組4的前提係先提供基板容器，且該基板容器包含容置空間。在此容置空間中，將會有複數個卡槽3220成對設於該容置空間上。於此同時，每個卡槽3220的一端（一般是光罩或晶圓等半導體板狀薄片置入的開口端）相應設置有第一耐磨件410；而另一端則設置有第二耐磨件420。為使本發明的概念能更清楚的被理解，以下將以光罩盒3作為本發明更精確的實施例，據以解釋基板容器、卡槽3220、第一耐磨件410以及第二耐磨件420可能的實施方式。
依照前述實施方式針對本發明耐磨組4的應用概念，請參照圖1，圖1係本發明實施例之外觀示意圖。本實施例提供了一種光罩盒3。更進一步來說，光罩盒3為容置大尺寸光罩所設計的大尺寸光罩盒。一般而言，大尺寸光罩係面板產業特有規格的光罩，其尺寸可寬幅至800毫米比960毫米之故，無法用傳統小型的光罩盒進行傳送或儲存；相對的必須使用專規的大尺寸光罩盒。
據此，有鑑於大尺寸光罩的儲存或搬運特性，本實施例係以直立的方式容置光罩5；因此，光罩盒3的容置空間係以直立的方式形成直立空間。本實施例之光罩盒3主要由上蓋體310與盒體320所組成，該盒體320用以與該上蓋體310配合，形成直立空間並據以容納光罩5（可參照圖2）。如圖1所示，在本實施例中，光罩盒3上蓋體310與盒體320為一體成型且具透明度的材質所製成。此外，該上蓋體310與該盒體320由靜電消散材質製成，該靜電消散材質例如是丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物（Acrylonitrile Butadiene Styrene, ABS）。
除此之外，請同時參閱圖1與圖2，該盒體320外部上緣設置有一導位塊3210，該導位塊3210可以協助導正盒體320與上蓋體310配合時的相對位置，使上蓋體310閉合時能以正確角度密封，更加穩固上蓋體310與盒體320的密封度。在其他可能的實施例中，導位塊3210更可使用氣密膠條設計，具有較佳的結構強度與密合度，避免運輸時的微粒汙染。在本實施例中，該盒體320外更設置有兩個把手3230，成對設於該盒體320外的對稱位置，以輔助搬運光罩盒3時能有更佳的方便性；至於盒體320內接觸直立式光罩5的接觸面更設置有至少二卡槽3220。在其中一個最佳實施例中，如圖2所示，多個卡槽3220以互相平行的方式設置在光罩盒3內接觸光罩5邊緣的側面，可使光罩5以直立方式放進光罩盒3內時，得互相平行陳列在光罩盒3中，減少直接與光罩盒3內壁摩擦產生微粒的機會。
請參照圖3，該卡槽3220上設置有至少一耐磨組4。在其中一實施例中，耐磨組4包含一第一耐磨件410以及一第二耐磨件420，分別設置於該卡槽3220的上部與下部末端。更進一步來說，可先參照圖9。本實施例中卡槽3220中央連接該第二耐磨件420之處設置有一第三斜面3221，以方便光罩5放入光罩盒時能以正確角度導入卡槽3220中並減少摩擦。此外，該第一耐磨件材質410以及第二耐磨件420的材質可選用高耐熱工程塑膠及奈米碳管的組合。
在本實施例中，第一耐磨件410的示意圖請參照圖4，第二耐磨件420的示意圖請參照圖7。其中，該第一耐磨件410或第二耐磨件420材質可選用高耐熱工程塑膠及奈米碳管的組合。在一最佳實施例中，請參照圖5，第一耐磨件410以埋入射出成型或以固定件430與固定件孔431互相嵌合的方式裝設於該卡槽3220上。
更進一步來說，在其中一實施例中，若第一耐磨件410以埋入射出成型方式固定在卡槽3220上，該第一耐磨件410更包含埋設件400，卡槽3220透過埋設件400與第一耐磨件410連接。如圖5所示，其中該埋設件400可為配重嵌件。舉例而言，埋設件400係為提供第一耐磨件410一個較為沉重的下壓力而設置。據此，本實施例之埋設件400可為包射螺絲或螺絲銅柱等金屬嵌件，主要用來增加射出成形之卡槽3220與第一耐磨件410連接的介面。本實施例中，若該第一耐磨件410以嵌合方式固定在卡槽3220上，該卡槽3220更包含設有至少一固定件430，將第一耐磨件410固設於卡槽3220上。在本實施例中，固定件430的數量為兩個，且每個固定件430具有一錐狀部。所述錐狀部與該第一耐磨件410上設置之該固定件孔431固定作嵌合。舉例而言，該固定件430可以是單純與卡槽3220上端一體成型的突出錐狀部；抑或為額外加裝的插銷、鉚釘或螺絲等，本發明並不加以限制。
本實施例透過固定件430的錐狀部及相應該錐狀部設計的固定件孔431，兩者配合之下可以讓第一耐磨件410以正確的位置安裝。換言之，如使用者將第一耐磨件410倒置安裝時，將會因固定件430的錐狀部無法相應該固定件孔431配合，立即察覺其安裝位置有誤。因此，固定件孔431和固定件430的錐狀部間的配合設計更有防呆的效果，據以讓光罩盒3的組裝簡易化。
請同時參照圖4、圖6、圖7、圖8以及圖9。在本實施例中，第一耐磨件410與該光罩5接觸之接觸面為一第一斜面4110；該第二耐磨件420與該光罩5接觸之接觸面為一第二斜面4240，此第一斜面4110與第二斜面4240的作用與前述之第三斜面3221作用類似，使光罩5放入光罩盒3內的卡槽3220時能以正確角度導入並減少可能的摩擦碰撞。此外，如圖7所示，為了能將第二耐磨件420固定於卡槽3220下端，該第二耐磨件420更包含了至少一卡榫部。以本實施例來說，第二耐磨件420上設有一第一卡榫部4210、一第二卡榫部4220及一第三卡榫部4230，使該第二耐磨件420能適配並以正確角度嵌入卡槽3220的下端中，進一步達到裝設時防呆的功效。
惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即依本發明申請專利範圍及說明內容所作之簡單變化與修飾，皆仍屬本發明涵蓋之範圍內。
3:光罩盒
5:光罩
310:上蓋體
320:盒體
3210:導位塊
3220:卡槽
3221:第三斜面
3230:把手
400:埋設件
4:耐磨組
410:第一耐磨件
4110:第一斜面
420:第二耐磨件
4210:第一卡榫部
4220:第二卡榫部
4230:第三卡榫部
4240:第二斜面
430:固定件
431:固定件孔
圖1係本發明實施例之外觀示意圖。 圖2係本發明實施例之光罩與光罩盒示意圖。 圖3係本發明實施例之卡槽與耐磨組之示意圖。 圖4係本發明實施例之第一耐磨件示意圖。 圖5係本發明實施例之與卡槽連接示意圖。 圖6係本發明實施例之第一耐磨件與卡槽連接側視圖。 圖7係本發明實施例之第二耐磨件之示意圖。 圖8係本發明實施例之第二耐磨件與卡槽連接示意圖。 圖9係本發明實施例之第二耐磨件與卡槽連接示意圖。
3:光罩盒
310:上蓋體
320:盒體
3210:導位塊
3230:把手
3220:卡槽

Claims (12)

  1. 一種光罩盒，包含：一上蓋體；一盒體，透過至少一導位塊與該上蓋體配合，該盒體包含一直立空間；複數卡槽，成對設於該直立空間上；該卡槽設置有一耐磨組；該耐磨組包括：一第一耐磨件，設置於該卡槽的一端；以及一第二耐磨件，設置於該卡槽的另一端；其中，至少一固定件相應配合設於該第一耐磨件上之至少一固定件孔將該第一耐磨件連接於該卡槽上。
  2. 如請求項1所述的光罩盒，其中該上蓋體與該盒體為靜電消散材質製成。
  3. 如請求項1所述的光罩盒，其中該盒體外更設置有一把手，成對設於該盒體外的對稱位置。
  4. 如請求項1所述的光罩盒，其中該卡槽中央連接該第二耐磨件之處設置有一第三斜面。
  5. 如請求項1所述的光罩盒，其中每個該固定件具有一錐狀部，該錐狀部與每個該固定件孔配合。
  6. 如請求項1所述的光罩盒，其中該第一耐磨件透過至少一埋設件與該卡槽連接。
  7. 一種耐磨組，設置於一基板容器中設有的複數卡槽上，該耐磨組包含：一第一耐磨件，設置於該卡槽的一端；以及一第二耐磨件，設置於該卡槽的另一端；其中，至少一固定件相應配合設於該第一耐磨件上之至少一固定件孔將該第一耐磨件連接於該卡槽上。
  8. 如請求項7所述的耐磨組，其中該固定件具有一錐狀部，該錐狀部與該固定件孔配合。
  9. 如請求項7所述的耐磨組，其中該第一耐磨件透過至少一埋設件與該卡槽連接。
  10. 如請求項7所述的耐磨組，其中該第一耐磨件更包含一第一斜面。
  11. 如請求項7所述的耐磨組，其中該第二耐磨件更包含一第二斜面。
  12. 如請求項7或11所述的耐磨組，其中該第二耐磨件更包含至少一卡榫部。
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