JP2003264225A - ガラス基板収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】輸送中の振動や外部からの衝撃に対して、ガラ
ス基板ががたつくことなく安定的に保持、固定ができる
とともに、使用寿命が長く、特別な寸法管理が不要なガ
ラス基板収納容器を提供する事を課題としている。 【解決手段】ガラス基板を収納する内箱と、開口を有し
前記内箱を収容する外容器と、開口を閉鎖する蓋体とか
らなり、内箱１の内側壁には、１又は複数枚のガラス基
板を収納する一対の収納溝２が一定間隔で形成され、収
納溝２の下端部にはガラス基板の下面と接触する底受部
４を有し、蓋体は、それそれぞれのガラス基板の少なく
とも１稜線と接触する突片１０、１１を備えた押さえ片
９を有し、収納溝２と底受部４と押さえ片９のそれぞれ
に、ガラス基板を狭持する一対の傾斜面３、５、１４、
１５を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、石英、合成石英、
ソーダ石灰、低膨張ガラスなどからなり、半導体ウェー
ハ等の基板に電子回路パターンを焼き付けするときの原
版として使用されるフォトマスクやフォトマスクの表面
に金属薄膜がコーティングされたマスクブランクス、あ
るいは液晶用のディスプレイに使われる液晶ガラス等の
ガラス基板を収納し、保管、輸送又は工程内搬送に使用
されるガラス基板収納容器に関するものであり、特に
は、ガラス基板を保持及び固定をするのに好適な保持構
造を有するガラス基板収納容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ガラス基板収納容器は、複数枚の
ガラス基板を一定間隔で整列させて収納する収納溝を有
する内箱と、前記内箱を収納する為に上部に開口を有す
る外容器と、前記外容器の開口を閉鎖する上蓋と、前記
上蓋の内側の面に取り付けられ前記ガラス基板の上方か
らこれを保持する為の押さえ片と、前記外容器と上蓋と
を嵌合させて係止する為の係止用クランプとからなるも
のが知られており、実開平３−８１９４５の公報にその
詳細が記載されている。

【０００３】従来、ガラス基板を複数枚収納する内箱２
１は、一対の側壁とこれらを連結する一対の端壁とから
なり上下方向に開口を有するものである。前記一対の側
壁内面のそれぞれには、ガラス基板を収納する為の相対
向する収納溝２２が上部開口側から下部開口側にかけて
一定間隔を保ちながら複数形成されている。また前記収
納溝の底部には、前記ガラス基板下端部と接触して高さ
方向にガラス基板を整列させる為の底受面２４が形成さ
れている。前記底受面は、ガラス基板を係止するための
一対のＶ字状斜面を側壁下端に対向して配置される。ま
た、側壁にはガラス基板の側面と接触するように内方に
突出する湾曲部２５が形成されている。

【０００４】また、こうした従来のガラス基板収納容器
では、前記内箱２１の各収納溝２２毎に前記ガラス基板
を収納し、前記ガラス基板の下面を前記底受面２４で支
持していて、前記ガラス基板の上面及び側面は、上蓋に
取り付けられる押さえ片２９によって保持されている。
前記押さえ片には、ガラス基板の上面と接触して保持す
る断面略コの字状をしたガラス基板の上面接触部が前記
内箱の収納溝と同じ一定間隔を保ちながら複数形成され
ている。また、前記押さえ片には、前記基板上面接触部
３０と鋭角をなすように形成され、前記ガラス基板の側
面を保持する側面接触部３１が形成されている。

【０００５】前記内箱に収納された前記ガラス基板は、
前記押さえ片を前記内箱の上方開口部から突き出た前記
ガラス基板Ｍの上面に前記上面接触部を接触させ、その
後、上蓋と外容器とを係止させることにより、上蓋内面
に取り付けられた前記押さえ片を下方へ移動させて前記
押さえ片を弾性変形させ、前記上面接触部と前記側壁接
触部とが前記ガラス基板Ｍのコーナー部と同じ直角状態
となり、内箱収納溝及び底受面によって、前記ガラス基
板Ｍが収納溝内で移動しないように保持する構造となっ
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のガラス
基板収納容器によってガラス基板を保管したり輸送した
りする場合、ガラス基板は先ず内箱に形成された収納溝
に収納されたり取り出されたりされる。このとき内箱の
収納溝には、ガラス基板の厚さよりも広い略断面Ｖ字形
をした溝が形成されていて、収納されるガラス基板の下
端面と接触する平坦面を有する底受面が形成されてい
る。このときガラス基板のガタツキ防止は、ガラス基板
の側面を係止するために相対する収納溝のそれぞれから
接近する方向に突出する一対の湾曲面によって行われて
いた。

【０００７】ガラス基板を収納した内箱は、さらに外容
器に収容され、外容器の開口部を覆う為の上蓋が取り付
けられて保管される。このときガラス基板の上面側の保
持や固定は、上蓋の内面に取り付けられる押さえ部材の
ガラス基板上面と接触する押さえ片と側面に接触する折
曲片により行っていたが、押さえ片に形成される溝の平
坦部の幅がガラス基板の厚さよりも大きく形成されてい
た、また、折曲片は平坦面状でガラス基板の側面と接触
する為、水平方向の振動及び外部からの衝撃により、前
記ガラス基板も水平方向に移動し易く、ガラス基板と押
さえ片とが擦れ合い、結果としてガラス基板よりも硬度
の低い内箱及び押さえ片の樹脂が削れてパーティクルが
発生し、発生したパーティクルがガラス基板に付着し易
い傾向にあった。

【０００８】また、水平方向の振動及び衝撃により内箱
の開口窓とガラス基板の主表面とが接触すると、接触面
においてパーティクルが発生し易い傾向があり、ガラス
基板に形成されたレジスト膜に影響が及ぶ可能性もあ
る。

【０００９】次に、収納するガラス基板の寸法の変化や
内箱に形成される収納溝の寸法ばらつきや変形によって
も、収納溝とガラス基板との間に隙間が生じて、内箱内
でガラス基板ががたついたり、湾曲面の間隔がガラス基
板の寸法に対して狭くなり過ぎて取り出しにくくなって
しまうといった問題があった。

【００１０】こうした寸法変化は、使用中の経時変化
や、ガラス基板収納容器の洗浄によって生じると考えら
れていた。一般にガラス基板は汚染を嫌う為に、これを
収納するガラス基板収納容器も清浄な状態が必要であ
り、使用前に洗浄されてから使用されているが、薬液に
よる洗浄や高温での乾燥処理を繰り返すうちに変形が生
じてしまい内箱の寸法バラツキが大きくなって使えなく
なるといった問題があった。こうした寸法バラツキの大
きくなった内箱はその都度廃棄処分する必要があり、ガ
ラス基板収納容器特に内箱の寿命を短かくしていた。

【００１１】さらに、ガラス基板は表面に半導体ウェー
ハに電子回路を形成する為の回路パターンを形成するに
当たって表面が研磨されたり，洗浄されたり，成膜され
たりする各種処理加工が施されるので、各種処理の前後
でガラス基板の厚みが微妙に変化する。しかしながら、
寸法変化はごく小さいものであるので、通常はガラス基
板を収納する収納容器は、その都度寸法を微妙に変化さ
せたものを用意するのは経済的に得策ではなく、同一の
ものが使用される。その為、最も厚い状態のガラス基板
でも収納溝から容易に取り出しができるように、収納溝
の寸法はガラス基板の寸法公差に対して大きめにしてお
くのが一般的であり、内箱内でガラス基板ががたつき易
くなる傾向にあった。

【００１２】こうしたガタツキを防ぐ為に湾曲面の突出
量を大きくしたり、収納溝の寸法をガラス基板の寸法ぎ
りぎりに設定してしまうと、ガラス基板の角が収納溝を
形成するリブにぶつかって収納溝に入れるのが困難にな
ったり取り出しにくくなるという問題があった。また、
出し入れの際にガラス基板の側面と内箱との擦れが大き
くなり、パーティクルの発生が多くなってガラス基板が
汚染されるといった問題もあった。さらに、こうした収
納溝内でのガラス基板のがたつきや収納溝との接触抵抗
が大きくなる為の悪影響を防ぐ為に、内箱の寸法管理を
徹底して行う必要があった。

【００１３】本発明は、上記した問題点を解決する為、
輸送中の振動や外部からの衝撃に対して、がたつきなく
ガラス基板を安定的に保持・固定ができるとともに、ガ
ラス基板や内箱に寸法変化が生じてもガラス基板が内箱
内でがたつくことなく、使用寿命が長く特別な寸法管理
が不要なガラス基板収納容器を提供することを課題とし
ている。

【００１４】

【課題を解決する為の手段】本発明は、上記従来の問題
に鑑みなされたもので、請求項１記載の発明において
は、上記課題を達成するため、１又は複数枚のガラス基
板を収納する収納溝が一定間隔で形成された一対の側壁
と側壁を連結する一対の端壁とからなる内箱と、開口を
有し前記内箱を収容する外容器と、前記外容器の前記開
口を閉鎖する蓋体と、前記蓋体に取り付けられそれぞれ
のガラス基板と接触する突片を有する押さえ片とを有す
るガラス基板収納容器において、前記内箱の前記収納溝
下端部にはガラス基板の下面と接触する底受部が形成さ
れていて、前記収納溝と前記底受部と前記押さえ片のそ
れぞれには、ガラス基板を狭持する一対の傾斜面がそれ
ぞれ形成されている事を特徴とする基板収納容器であ
り、請求項２に記載の発明は前記収納溝と前記底受部と
前記突片のそれぞれに形成される一対の傾斜面が、ガラ
ス基板の稜線部に形成される面取り部と同一の傾斜角度
でそれぞれ形成されている事を特徴とする基板収納容器
であり、請求項３の発明は、前記収納溝、前記底受部、
前記押さえ片に設けられる前記傾斜面の間にある平坦面
の幅が、前記ガラス基板の厚さから両端に設けられる面
取り部の長さの和を引いた値よりも小さいことを特徴と
する請求項1又は２の何れか１項に記載の基板収納容器
である。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。ガラス基板収納容器は、図1
に示すように上部に開口を有する外容器７と１又は複数
のガラス基板を一定間隔で収納可能な収納溝２を有する
内箱１と、外容器の開口を閉鎖する上蓋８と、上蓋に取
り付けられる押さえ片９と、外容器と上蓋を係止する係
止用クランプ１６とからなる。なお、ガラス基板として
は、例えば１辺の長さが約１５２ｍｍ（６インチ）の正
方形状で、厚さが約６．３５ｍｍ（０．２５インチ）の
寸法であるフォトマスクガラス基板を収納する基板収納
容器を例にして説明する。

【００１６】本実施形態における内箱1は、図２及び図
３に示す様に、上部と下部に開口を有し、これらを囲繞
する一対の側壁とこれらを連結する一対の端壁とからな
り、向き合う一組の側壁の内側面に互いに対向する一対
の収納溝２が上部開口から下部開口にかけて一定間隔
（１３．５ｍｍ）を保ちながら複数形成されていて、下
部開口側にはガラス基板Ｍの一端面（図１の下面）の一
部がが搭載可能に延在する底受部４が形成されている。
底受部４近傍には、内箱１の洗浄時における水切り性を
考慮した開口窓（図示せず）が複数設けられ、さらに下
部開口には成形時における前記内箱１の変形防止として
格子状に交わる補強リブ６が設けられている。

【００１７】前記内箱１の上面開口側から底受部４まで
の高さ寸法は、ガラス基板Ｍを前記内箱１に収納したと
きに、ガラス基板Ｍの上半分が内箱１の上部開口から突
出するような寸法に設定されている。また、一般にガラ
ス基板Ｍの稜線には、傾斜角４５゜で加工された面取り
部ｍ１〜ｍ３（Ｃ＝０．５ｍｍ）が形成されている。

【００１８】一方、前記ガラス基板Ｍの側面と前記収納
溝２との接触部には、図４に示す様に、前記面取り部ｍ
２とほぼ同じ傾斜角度約４５°となるように収納溝２の
両端部に収納溝傾斜面３が形成されていて、一対の側壁
に向き合うように形成される収納溝の傾斜面にだけ接触
してガラス基板が位置決めされて収納される。向き合う
収納溝の間隔は、ガラス基板の出し入れを考えると、ガ
ラス基板の横幅寸法（１５２ｍｍ）よりも若干大きめに
設定しておくのが良い。また、底受部４には上記したガ
ラス基板下面の稜線部の面取り部ｍ３とほぼ同じ傾斜角
度約４５゜となる一対の傾斜面がそれぞれ形成されてい
て、底受部はガラス基板下面の面取り部ｍ３とだけ接触
するように支持する。ガラス基板Ｍの一端面（図１の下
面）と前記底受部４との接触は、図５に示す様に、ガラ
ス基板Ｍの面取り部に接触するように形成された底受部
傾斜面５とで行われる。

【００１９】このとき、前記ガラス基板Ｍを収納した前
記内箱１と前記ガラス基板Ｍの主表面に成膜されたレジ
スト膜との接触によるレジスト膜の擦れを抑制する為
に、収納溝傾斜面３の間に形成される平坦部分ｗの幅を
前記ガラス基板の厚さ寸法Ｔ（６．３５ｍｍ）からガラ
ス基板の両端に形成される面取り部の寸法の和（０．５
＋０．５＝１ｍｍ）を引いた値ｔ（ｔ＝５．３５ｍｍ）
よりも小さく設定して（ｗ＜５．３５ｍｍ）、ガラス基
板の面取り部だけが内箱の収納溝と底受部と接触して支
持されるようにする。

【００２０】前記内箱１に使用する材料としては、低密
度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリブチレン
テレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン等が挙げ
られるが、耐摩耗性、コストの面を考慮すると、高密度
ポリエチレンやポリブチレンテレフタレートが好まし
い。

【００２１】本実施例における押さえ片９は、図1に示
す様に、上蓋８の内面に相対向するように一対取り付け
られる。上蓋天面の内側のコーナー部には、前記押さえ
片９の取り付け孔部１２と嵌合する為の２対の突状をし
た係止リブ１３がそれぞれ形成されている。上蓋８の外
壁には前記外容器７と嵌合したときの前記係止用クラン
プ１６を装着させる為の上蓋係止リブ１７が少なくとも
一対形成されている。前記外容器７は、前記内箱１の位
置決めとがたつきを抑制する為のリブを内側に複数形成
し、外側には前記上蓋８同様に、前記係止用クランプ１
６を装着させる為の外容器係止リブ１８が少なくとも一
対形成されている。

【００２２】前記係止用クランプ１６は、前記上蓋８、
前記外容器７の開口部を係止する為、前記上蓋８、前記
外容器７のそれぞれに設けられる少なくとも一対の係止
リブ１７,１８に沿ってスライドさせ係合部で係止させ
る。前記上蓋８、前記外容器７、及び前記係止用クラン
プ１６に使用する材料としては、ポリプロピレン、ＡＢ
Ｓ樹脂、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート
等が挙げられるが、外部からの衝撃性、耐光性、コスト
の面を考慮すると、ＡＢＳ樹脂が好ましい。

【００２３】押さえ片９は、両端部に取り付け孔１２を
有するベース部とここから略直交する方向に伸びる２つ
の突片が形成されている。突片の一方は、ガラス基板の
上面と接触するようにベース部と平行に伸展する上部押
さえ突片１０であり、他方は、ガラス基板の一側壁と接
触するようにベース部に対して垂直方向に伸展する側部
押さえ突片１１である。これらそれぞれの突片１０、１
１の内面にはガラス基板を受け入れる溝部が形成されて
いる。各溝部の両端には、底受部４と同様にガラス基板
の稜線部に形成される面取り部とほぼ同じ傾斜角度に形
成される上部押さえ傾斜面１４と側部押さえ傾斜面１５
とが形成されていて、ガラス基板の面取り部とのみ接触
してこれを保持することが可能となる。

【００２４】このようにして、内箱１に収納されたガラ
ス基板Ｍは、内箱１ごと外容器７に収容され、次に外容
器の開口部を覆う上蓋８が被覆される。このときガラス
基板Ｍの上面及び上面と隣接する左右の側面は、前記押
さえ片20に形成される２つの突片と接触することになる
が、図６、７、８に示す様に、前記内箱１の上面から突
き出たガラス基板Ｍの面取り部ｍ１に前記面取り部ｍ１
と同じ傾斜角度を有するように形成された上部押さえ傾
斜面１４と側部押さえ傾斜面１５とだけで行われる。

【００２５】上蓋８と外容器７とを係止用クランプ１６
で嵌合させて、さらに押さえ片９を下方へ移動させると
前記押さえ片９が弾性変形し、前記上部押さえ突片１０
と側部押さえ突片１１とが前記ガラス基板Ｍのコーナー
部に沿った直角状態を形成し、結果としてこれらの押さ
え片がガラス基板の上面と側面のそれぞれを上部押さえ
傾斜面１４と側部押さえ傾斜面１５とで保持する。前記
した押さえ片９の弾性変形によってガラス基板と内箱と
の寸法差が吸収され、寸法ガタツキなくガラス基板を保
持することが可能になる。

【００２６】また、本発明のようにガラス基板Ｍの稜線
部に形成される面取り部ｍ１、ｍ２、ｍ３と同一の傾斜
角度を有する様に収納溝と底受け部と押さえ片のそれぞ
れに形成される収納溝傾斜面３、底受け部傾斜面５、上
部押さえ傾斜面１４、側部押さえ傾斜面１５とでガラス
基板Ｍを保持するので、ガラス基板Ｍや内箱１の収納溝
２の寸法が多少変化しても、ガラス基板Ｍは前記した押
さえ片の弾性変形によって、ガラス基板Ｍと押さえ片の
傾斜面との間に隙間を生じることがなくしっかりと保持
される。しかも、ガラス基板Ｍの稜線に形成される面取
り部だけがガラス基板収納容器と接触するので、電子回
路の加工や処理が施されるガラス基板の主表面は、ガラ
ス基板収納容器と一切接触することなくパーティクルの
影響が著しく低減されて、ガラス基板の表面を清浄な状
態に保つことが可能となる。

【００２７】前記押さえ片２０に使用する材料として
は、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプ
ロピレン、ポリエーテルエーテルケトン、各種熱可塑性
エラストマー等が挙げれられるが、柔軟性、曲げ弾性、
コストの面を考慮すると、低密度ポリエチレンが好まし
い。

【００２８】

【発明の効果】本発明のガラス基板収納容器によれば、
ガラス基板の稜線に形成される面取り部の傾斜角度に合
わせて、内箱の底受面及び収納溝のそれぞれに向き合う
傾斜面を、押さえ片の上部押さえ突片及び側部押さえ突
片にもそれぞれ向き合う傾斜面を設けたことにより、ガ
ラス基板が内箱内でがたつくことが抑制され、ガラス基
板表面を清浄な状態に保つことができる。また、内箱の
使用寿命を著しく改善できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のガラス基板収納容器を示す分解斜視図
である。

【図２】本発明の内箱を示す斜視図である。

【図３】図２における内箱のＡ−Ａ断面図である。

【図４】 本発明の内箱の収納溝とガラス基板との接触
状態を示す図２ａ部の拡大断面図である。

【図５】本発明の内箱底受部とガラス基板との接触状態
を示す図３ｂ部の拡大断面図である。

【図６】本発明の押さえ片を示す斜視図である。

【図７】本発明の押さえ片によるガラス基板の保持、固
定状況を示す斜視図である。

【図８】本発明の押さえ片によるガラス基板の保持・固
定状況を示す断面図である。

【図９】従来の内箱によるガラス基板の収納状態を示す
断面図である。

【図１０】従来の内箱収納溝によるガラス基板の収納状
態を示す断面図である。

【図１１】従来の押さえ片によるガラス基板の保持、固
定状況を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 内箱、２ 収納溝、３ 収納溝傾斜面、４ 底受部、５
底受け部傾斜面、６ 補強リブ、７ 外容器、８ 上蓋、
９ 押さえ片、１０ 上部押さえ突片、１１ 側部押さえ
突片、１２ 取り付け孔、１３ 押さえ部材係止リブ、１
４ 上部押さえ傾斜面、１５ 側部押さえ傾斜面、１６
係止用クランプ、１７ 上蓋係止リブ、１８ 外容器係止
リブ、Ｍ ガラス基板、ｍ１ ガラス基板上部稜線部の面
取り部、ｍ２ ガラス基板右側面稜線部の面取り部、ｍ
３ ガラス基板下面稜線部の面取り部、Ｔ ガラス基板の
厚さ、ｔ ガラス基板の厚さＴから両端に形成される面
取り部の寸法を引いた値、ｗ 一対の傾斜面の間にある
平坦面の幅寸法

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3E096 AA06 AA13 BA15 BA20 BB05 CA02 CA09 CB03 DA05 DA25 DB01 DB07 DC02 EA02X EA02Y FA03 FA09 FA10 GA04 GA05 GA13 5F031 CA05 DA08 EA02 EA06 EA10 EA14 PA26 PA30

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】１又は複数枚のガラス基板を収納する収納
   溝が一定間隔で形成された一対の側壁と前記側壁を連結
   する一対の端壁とからなる内箱と、開口を有し前記内箱
   を収容する外容器と、前記外容器の前記開口を閉鎖する
   蓋体と、前記蓋体に取り付けられそれぞれのガラス基板
   と接触する突片を有する押さえ片とを有するガラス基板
   収納容器において、前記内箱の前記収納溝下端部にはガ
   ラス基板の下面と接触する底受部が形成されていて、前
   記収納溝と前記底受部と前記押さえ片のガラス基板との
   接触部のそれぞれには、ガラス基板を狭持する一対の傾
   斜面が形成されている事を特徴とする基板収納容器。
2. 【請求項２】前記収納溝と前記底受部と前記突片のそれ
   ぞれに形成される一対の傾斜面が、ガラス基板の稜線部
   に形成される面取り部と同一の傾斜角度でそれぞれ形成
   されていることを特徴とする基板収納容器。
3. 【請求項３】前記収納溝、前記底受部、前記押さえ片に
   設けられる前記傾斜面の間にある平坦面の幅が、前記ガ
   ラス基板の厚さから両端に設けられる面取り部の長さの
   和を引いた値よりも小さいことを特徴とする請求項1又
   は２の何れか１項に記載の基板収納容器。