KR101848950B1 - 마스크 블랭크 수납 케이스 및 마스크 블랭크 수납체 - Google Patents

마스크 블랭크 수납 케이스 및 마스크 블랭크 수납체 Download PDF

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Abstract

본 발명의 과제는 수납 케이스의 중간 케이스로부터 마스크 블랭크를 출입할 때의 발진을 억제할 수 있는 마스크 블랭크 수납 케이스를 제공한다. 상방이 개방된 케이스 본체(7)와, 그 케이스 본체(7)에 씌우는 덮개(6)와, 케이스 본체(7) 내에 수용되고, 주표면이 사각 형상의 마스크 블랭크를 내부에 종방향으로 수납하는 중간 케이스(5)를 구비하는 마스크 블랭크 수납 케이스이다. 중간 케이스(5)는, 마스크 블랭크의 양측단부를 종방향으로 보유 지지하는 기판 보유 지지부(53)를 구비하고, 그 기판 보유 지지부(53)는 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성되어 있다. 또한 중간 케이스(5)는, 폴리카르보네이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀폴리머로부터 선택되는 수지로 이루어지고, 연필 경도로 H 이상의 표면 경도를 갖고 있다.

Description

마스크 블랭크 수납 케이스 및 마스크 블랭크 수납체{MASK BLANK STORING CASE AND MASK BLANK PACKAGE}
본 발명은, 전자 디바이스의 제조에 사용되는 포토마스크의 제조에 사용되는 마스크 블랭크를 수납하는 수납 케이스 및 마스크 블랭크 수납체에 관한 것이다.
최근의 전자 디바이스, 특히 반도체 소자나 액정 모니터용의 컬러 필터 혹은 TFT 소자 등은, IT 기술의 급속한 발달에 수반하여, 한층 미세화가 요구되고 있다. 이와 같은 미세 가공 기술을 지지하는 기술 중 하나가, 전사용 마스크라고 불리는 포토마스크를 사용한 리소그래피 기술이다. 이 리소그래피 기술에서는, 노광용 광원의 전자파를 전사용 마스크를 통하여 레지스트막을 갖는 실리콘 웨이퍼에 노광함으로써, 실리콘 웨이퍼 위에 미세한 패턴을 형성하고 있다. 이 전사용 마스크는 통상적으로, 글래스 기판 등의 표면에 차광막 등의 박막을 형성한 마스크 블랭크에 리소그래피 기술을 사용해서 전사 패턴(마스크 패턴)이 되는 패턴을 형성하여 제조된다. 그런데, 마스크 블랭크의 표면에 파티클 등의 이물질이 있으면, 형성되는 패턴 결함의 원인이 되므로, 마스크 블랭크는, 그 표면에 이물질 등이 부착되지 않도록 청정하게 보관될 필요가 있다.
이와 같은 마스크 블랭크를 수납 보관하여 운반하기 위한 케이스로서는, 종래에는 예를 들어 하기 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같은 마스크 운반용 케이스가 알려져 있다. 즉, 종래의 마스크 블랭크를 수납 보관하는 케이스는, 캐리어 등이라고 불리고 있는 중간 케이스에 마스크 블랭크를 수매 내지 수십매 배열하여 보유 지지시키고, 이 마스크 블랭크를 보유 지지한 중간 케이스를 외부 상자(케이스 본체) 내에 수용하고, 또한 외부 상자 위에 덮개를 씌워, 마스크 블랭크를 수납하는 구조로 되어 있었다.
도 9 내지 도 11은, 특허문헌 1에 개시된 것과 마찬가지인 구조의 수납 케이스를 도시하는 것으로, 도 9는 수납 케이스의 덮개를 도시하는 사시도, 도 10은 마스크 블랭크를 중간 케이스에 수납하는 상태를 도시하는 사시도, 도 11은 수납 케이스의 케이스 본체(외부 케이스)를 도시하는 사시도이다. 이 수납 케이스는, 마스크 블랭크(1)를 중간 케이스(2)에 수납하고, 이 중간 케이스(2)를 케이스 본체(3)에 수납하고, 이 케이스 본체(3)의 개구부측에 덮개(4)를 씌우는 구조이다.
상기 중간 케이스(2)는, 개구부측(상방)으로부터 저면측(하방)을 향하여 복수의 홈(21, 22)을, 한쪽의 서로 대향하는 내측면에 소정 간격을 두고 한 쌍을 이루어 형성하고, 그 홈(21, 22)의 저면측의 저부와 중간 케이스 저면에는 각각 개구창(도시하지 않음)과 개구부(27)가 설치되고, 또한 중간 케이스 저면측에는 기판 지지부(26)가 형성되고, 이 기판 지지부(26)에서 마스크 블랭크(1)의 하방 단부면을 지지하고 있다(도 10). 그리고, 이 중간 케이스(2)를 케이스 본체(3)에 수납하여 고정하기 위한 오목면부(28, 29)가, 각각 중간 케이스의 다른 쪽의 서로 대향하는 외측면에 저면측으로부터 개구부측의 도중까지 형성되어 있다. 수매의 마스크 블랭크(1)를 중간 케이스(2)의 한 쌍의 홈(21, 22)을 따라서 삽입하면, 이들의 마스크 블랭크는 소정 간격을 두고 서로 평행하게 나열되어 수납된다.
상기 케이스 본체(3)는, 상술한 중간 케이스(2)의 오목면부(28, 29)와 접촉하는 데 적합한 돌출부(31, 32)를, 서로 대향하는 내측면에 형성하고, 그 돌출부(31, 32)의 저부는 케이스 본체(3) 저면과도 접합하고 있다(도 11). 또한, 한쪽의 대향하는 외측면의 개구부측에는 볼록부(33, 34)가 형성되어 있다. 그리고, 케이스 본체(3)의 개구 테두리(35)의 약간 하방의 위치에 이어지는 외주면(36)과 상기 볼록부(33, 34)의 볼록면과는 대략 동일면으로 형성되어 있다.
또한 상기 덮개(4)는, 그 한쪽의 대향하는 하방 테두리(47)(케이스 본체에 삽입하는 개구부측의 테두리이며, 도 9에서는 상방을 향하고 있음)의 중앙으로부터 연장된 걸림 결합편(41, 42)에 오목부(43, 44)를 형성하고 있다. 이에 의해, 덮개(4)를 케이스 본체(3)에 씌웠을 때에, 상기 오목부(43, 44)가 상기 케이스 본체(3)의 볼록부(33, 34)와 각각 끼워 맞춤함으로써, 덮개(4)와 케이스 본체(3)가 고정되는 구조로 되어 있다. 또한, 중간 케이스(2)의 개구부측 상방 단부면(25)과 접촉하여 중간 케이스(2)를 수직 방향에 있어서 지지 고정하는 스토퍼(45, 46)를 한쪽 내측면에 서로 대향시켜 형성하고 있다.
[특허문헌]
[특허문헌 1] 일본 특허 공고 평1-39653호 공보
최근의 전자 디바이스의 고성능화에 수반하여, 전사용 마스크에 형성되는 패턴도 한층 더 미세화가 요구되고 있고, 이와 같은 미세 패턴을 형성하기 위해서도 마스크 블랭크의 청정도는 매우 높은 것이 아니면 허용할 수 없게 되어 있다. 따라서, 마스크 블랭크에 이물질 등이 부착되는 것을 가능한 한 억제함으로써, 특히 레지스트막을 갖는 마스크 블랭크의 보관 중에는 가능한 한 높은 청정도로 유지할 필요가 있다.
그러나, 종래 구조의 수납 케이스는, 마스크 블랭크를 중간 케이스(2)에 수납할 때, 혹은 중간 케이스(2)로부터 취출할 때에, 마스크 블랭크의 양측단부가 중간 케이스(2)의 홈(21, 22)과 접촉하고, 마찰되는 것에 의한 발진이 발생하기 쉽다. 종래는, 주로 마스크 블랭크의 출입에 지장이 없도록 하는 관점으로부터, 중간 케이스(2)의 상기 홈(21, 22)은, 수납하는 마스크 블랭크의 크기 및 판 두께보다도 약간 여유를 갖게 하고 있었지만, 마스크 블랭크의 출입시의 발진을 억제하는 관점으로부터의 검토는 이루어져 있지 않았다. 그 때문에, 마스크 블랭크를 상기 중간 케이스(2)의 홈(21, 22)을 따라서 삽입할 때의 최초의 시점으로부터 수납하는 최후의 시점까지, 혹은 수납된 마스크 블랭크를 홈(21, 22)을 따라서 취출할 때의 최초의 시점으로부터 취출하는 최후의 시점까지, 마스크 블랭크의 양측단부가 중간 케이스(2)의 홈(21, 22)과 항상 거의 접촉하고 있으므로, 그 사이에 발진이 일어나기 쉬울 것이라고 생각된다. 그리고, 발생한 파티클은, 예를 들어 마스크 블랭크의 막 표면에 부착되어, 이물질 결함이 될 우려가 매우 높았다. 또한, 본 발명자의 검토에 따르면, 발진이 일어나기 쉬운 것은, 예를 들어 상기 중간 케이스(2)의 재질에 따라서도 서로 다르다.
따라서, 본 발명은, 상기 종래의 문제점을 해소하고, 중간 케이스를 구비하는 수납 케이스로부터 마스크 블랭크를 출입할 때의 발진을 억제할 수 있도록 한 마스크 블랭크 수납 케이스 및 마스크 블랭크 수납체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자는, 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토한 결과, 마스크 블랭크의 양측단부를 종방향으로 보유 지지하는 중간 케이스의 기판 보유 지지부를 테이퍼 형상으로 하고, 그 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성함과 함께, 중간 케이스를 미끄럼 이동성이 높고, 또한 표면 경도가 높은 재료로 형성함으로써, 마스크 블랭크를 중간 케이스로부터 출입할 때의 발진을 효과적으로 억제할 수 있는 것을 발견하고, 본 발명을 완성하는 데 이른 것이다.
즉, 본 발명은 이하의 구성을 갖는 것이다.
(구성 1)
상방이 개방된 케이스 본체와, 그 케이스 본체에 씌워서 끼워 맞추어지는 덮개와, 상기 케이스 본체 내에 수용되고, 주표면이 사각 형상의 마스크 블랭크를 내부에 종방향으로 수납하는 중간 케이스를 구비하는 마스크 블랭크 수납 케이스로서, 상기 중간 케이스는, 마스크 블랭크의 양측단부를 종방향으로 보유 지지하는 기판 보유 지지부를 구비하고, 그 기판 보유 지지부는 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성되어 있고, 또한 상기 중간 케이스는 폴리카르보네이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀폴리머로부터 선택되는 수지로 이루어지고, 상기 중간 케이스는 연필 경도로 H 이상의 표면 경도를 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스이다.
구성 1과 같이, 중간 케이스의 기판 보유 지지부는 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성하고, 또한 중간 케이스는 폴리카르보네이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀폴리머로부터 선택되는 수지이며, 연필 경도로 H 이상의 표면 경도를 갖고 있으므로, 마스크 블랭크와 접촉하는 중간 케이스의 미끄럼 이동성이 높고, 또한 표면 경도가 높으므로, 중간 케이스로부터 마스크 블랭크를 출입할 때에 마스크 블랭크와 중간 케이스(기판 보유 지지부)와의 접촉, 마찰에 의한 발진이 특히 발생하기 쉬운 중간 케이스의 개구부측에서의 발진을 효과적으로 억제할 수 있고, 그 결과로서 마스크 블랭크를 중간 케이스로부터 출입할 때의 발진을 전체적으로 억제할 수 있다.
(구성 2)
상기 중간 케이스의 기판 보유 지지부는, 마스크 블랭크의 주표면 방향의 횡폭과 판 두께 방향의 횡폭 모두, 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 구성 1에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스이다. 구성 2에 있는 바와 같이, 중간 케이스의 기판 보유 지지부는, 마스크 블랭크의 주표면 방향의 횡폭과 판 두께 방향의 횡폭 모두, 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성함으로써, 마스크 블랭크를 중간 케이스로부터 출입할 때의 발진을 억제하는 효과가 보다 효과적으로 발휘된다.
(구성 3)
상기 중간 케이스의 기판 보유 지지부는, 저면측보다도 개구부측의 치수가 1㎜ 내지 3㎜ 넓어지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 구성 1 또는 2에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스이다. 구성 3에 있는 바와 같이, 중간 케이스의 기판 보유 지지부는, 예를 들어 저면측보다도 개구부측의 치수가 1㎜ 내지 3㎜ 넓어지도록 구성함으로써, 상술한 본 발명에 따른 효과가 충분히 발휘되고, 또한 마스크 블랭크를 중간 케이스 내에 보유 지지하는 기능을 저하시키는 일은 없다.
(구성 4)
표면에 레지스트막을 갖는 레지스트막 부착 마스크 블랭크를 수납하는 것을 특징으로 하는 구성 1 내지 3 중 어느 하나에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스이다. 구성 4와 같이, 표면에 레지스트막을 갖는 레지스트막 부착 마스크 블랭크의 경우에는 기판 보유 지지부와의 접촉, 마찰에 의한 발진이 특히 발생하기 쉬우므로, 수납에 본 발명의 수납 케이스를 사용하는 것이 적절하다.
(구성 5)
구성 1 내지 4 중 어느 하나에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스에 레지스트막 부착 마스크 블랭크가 수납된 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납체이다. 상기 본 발명의 구성의 마스크 블랭크 수납 케이스에 레지스트막 부착 마스크 블랭크가 수납된 마스크 블랭크 수납체는, 마스크 블랭크를 중간 케이스로부터 출입할 때의 발진이 억제되므로, 마스크 블랭크의 막 표면으로의 이물질 부착에 의한 결함의 발생도 억제된다.
(구성 6)
상기 마스크 블랭크는, 기판의 주표면 위에 전사 패턴 형성용의 박막을 갖고, 상기 기판의 대향하는 주표면 사이에 개재하는 단부면에 있어서, 상기 주표면과 직교하는 방향의 측벽면과, 그 측벽면과 상기 주표면 사이에 개재하는 모따기면을 갖고 있고, 상기 기판에서의 상기 측벽면과 상기 모따기면의 능선의 곡률 반경이 50㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 구성 5에 기재된 마스크 블랭크 수납체이다. 구성 6에 있는 바와 같이, 상기 마스크 블랭크는, 상기 기판에서의 상기 측벽면과 상기 모따기면의 능선의 곡률 반경이 50㎛ 이상으로 하고 있으므로, 마스크 블랭크의 능선에 의한 상기 중간 케이스의 기판 보유 지지부에의 데미지를 억제할 수 있으므로, 상기 기판 보유 지지부 결락에 의한 파티클 발생을 억제할 수 있다.
본 발명에 따르면, 중간 케이스는, 마스크 블랭크의 양측단부를 종방향으로 보유 지지하는 기판 보유 지지부를 구비하고, 그 기판 보유 지지부는 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성되고, 또한 중간 케이스는 폴리카르보네이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀폴리머로부터 선택되는 수지이며, 연필 경도로 H 이상의 표면 경도를 갖고 있으므로, 중간 케이스로부터 마스크 블랭크를 출입할 때에 마스크 블랭크와 중간 케이스와의 접촉, 마찰에 의한 발진이 특히 발생하기 쉬운 중간 케이스의 개구부측에서의 발진을 효과적으로 억제할 수 있으므로, 마스크 블랭크를 중간 케이스로부터 출입할 때의 발진을 전체적으로 억제할 수 있다. 그 결과, 마스크 블랭크의 막 표면으로의 이물질 부착에 의한 결함의 발생도 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 수납 케이스의 일 실시 형태를 도시하는 것으로, 덮개를 케이스 본체에 씌우기 전의 상태의 (a) 정면도와 (b) 측면도이다.
도 2는 본 발명에 관한 수납 케이스의 덮개를 케이스 본체에 씌운 상태의 (a) 정면도와 (b) 측면도이다.
도 3은 복수매의 레지스트막 부착 마스크 블랭크를 중간 케이스에 수납한 상태를 도시하는 평면도이다.
도 4의 (a)는 도 3의 중간 케이스의 I-I선의 종단면도, (b)는 마찬가지로 중간 케이스의 II-II선의 종단면도이다.
도 5는 마스크 블랭크의 단면도이다.
도 6은 보유 지지 부재의 사시도이다.
도 7은 보유 지지 부재와 마스크 블랭크 단부면이 접촉한 상태를 도시하는 도면이다.
도 8은 보유 지지 부재와 마스크 블랭크 단부면이 접촉한 상태를 도시하는 도면이다.
도 9는 종래 구조의 수납 케이스의 덮개를 도시하는 사시도이다.
도 10은 마스크 블랭크를 중간 케이스에 수납하는 상태를 도시하는 사시도이다.
도 11은 종래 구조의 수납 케이스의 케이스 본체(외부 케이스)를 도시하는 사시도이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명을 실시하기 위한 형태를 설명한다. 도 1 및 도 2는, 본 발명에 관한 수납 케이스의 일 실시 형태를 도시하는 것이며, 도 1의 (a)는, 본 발명에 관한 수납 케이스의 덮개를 케이스 본체에 씌우기 전의 상태의 정면도, 도 1의 (b)는 그 측면도이고, 도 2의 (a)는, 본 발명에 관한 수납 케이스의 덮개를 케이스 본체에 씌운 상태의 정면도, 도 2의 (b)는 그 측면도이다. 또한, 도 3은, 복수매의 레지스트막 부착 마스크 블랭크를 중간 케이스에 수납한 상태를 도시하는 평면도이고, 도 4의 (a)는, 도 3의 중간 케이스의 I-I선의 종단면도, 도 4의 (b)는 동일하게 중간 케이스의 II-II선의 종단면도이다.
본 실시 형태에 따른 마스크 블랭크 수납 케이스는, 상방이 개방된 케이스 본체(7)와, 그 케이스 본체(7)에 씌우는 덮개(6)와, 상기 케이스 본체(7) 내에 수용되고, 주표면이 사각 형상의 마스크 블랭크를 내부에 종방향으로 수납하는 중간 케이스(5)를 구비하는 마스크 블랭크의 수납 케이스이다. 상기 덮개(6) 및 케이스 본체(7)는, 그 전체적인 형상은, 종래 구조의 수납 케이스[즉 도 9에 도시하는 덮개(4) 및 도 11에 도시하는 케이스 본체(3)]와 마찬가지의 형상을 갖고 있다.
본 실시 형태의 수납 케이스는, 주표면이 사각 형상(예를 들어 정사각형)의 글래스 기판의 일 주표면 위에 크롬막 등의 차광성 박막을 성막하고, 또한 그 위에 레지스트막을 형성한 레지스트막 부착 마스크 블랭크를 중간 케이스(5)에 수납하고, 이 중간 케이스(5)를 케이스 본체(7)에 수납하고, 이 케이스 본체(7)의 개구부측에 덮개(6)를 씌우는 구조이다[도 2의 (a), (b) 및 도 3 참조]. 케이스 본체(7) 위로부터 덮개(6)를 씌우면, 덮개(6)의 하방 테두리에 계속되는 약간 하방으로 확대 개방된 측벽부(61)와 케이스 본체(7)의 개구 테두리(71)가 전후로 겹침과 동시에, 덮개(6)의 하방 테두리의 측벽부(61)와 케이스 본체(7)의 개구 테두리(71)의 하방으로 형성된 약간 외측으로 확대 개방된 측벽부(72)와 동일면 위에 겹쳐서 덮개(6)와 케이스 본체(7)가 접합된다.
또한, 상기 케이스 본체(7)는, 그 한쪽의 대향하는 외주면의 개구 테두리(71)측에는 볼록부(73)가 형성되어 있다. 그리고, 케이스 본체(7)의 개구 테두리(71)의 약간 하방의 위치에 형성된 상기 측벽부(72)와 상기 볼록부(73)의 볼록면과는 거의 동일면으로 형성되어 있다.
또한 상기 덮개(6)는, 그 한쪽의 대향하는 상기 측벽부(61)의 중앙으로부터 연장된 걸림 결합편(62)의 내측에 오목부(63)를 형성하고 있다. 이에 의해, 덮개(6)를 케이스 본체(7)에 씌웠을 때에, 그 한쪽의 대향하는 2군데에 있어서, 상기 걸림 결합편(62)의 오목부(63)가 케이스 본체(7)의 상기 볼록부(73)와 각각 끼워 맞춤함으로써, 덮개(6)와 케이스 본체(7)가 폐쇄된 상태로 고정되는 구조로 되어 있다[도 2의 (a) 참조]. 또한, 도 1의 (a)에서는, 덮개(6)의 상기 걸림 결합편(62) 및 오목부(63)와, 케이스 본체(7)의 상기 볼록부(73)의 어느 것이나 한쪽이 도시되어 있지만, 이와 대향하는 반대측에도 덮개(6)에 상기 걸림 결합편(62) 및 오목부(63)가, 케이스 본체(7)에 상기 볼록부(73)가 각각 형성되어 있다.
상기 중간 케이스(5)는, 개구부측(상방)으로부터 저면측(하방)을 향하여 복수의 홈(51, 52)을, 한쪽의 서로 대향하는 내측면에 소정 간격을 두고 한 쌍을 이루어 형성하고, 마스크 블랭크(1)의 양측단부를 종방향으로 보유 지지하는 기판 보유 지지부(53)를 구성하고 있다. 또한 중간 케이스(5)의 저면측에는 기판 지지부(54)가 형성되고, 이 기판 지지부(54)에서 수납된 마스크 블랭크(1)의 하방 단부면을 지지하고 있다.
본 발명에서는, 마스크 블랭크(1)의 양측단부를 종방향으로 보유 지지하는 상기 기판 보유 지지부(53)를 테이퍼 형상으로 하고 있다. 구체적으로는, 상기 기판 보유 지지부(53)를 구성하는 양측의 홈(51, 52)을 개구부측(상방)으로부터 저면측(하방)을 향하여 테이퍼 형상으로 하고, 상기 기판 보유 지지부(53)의 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성되어 있다. 그리고, 수매의 마스크 블랭크(1)를 중간 케이스(5)의 각각 한 쌍의 홈(51, 52)을 따라서 삽입하면, 이들의 마스크 블랭크(1)는 소정 간격을 두고 서로 평행하게 배열되어 수납된다(도 3 참조). 또한, 본 발명에서는, 상기 중간 케이스(5)는 미끄럼 이동성이 높은(즉 미끄럼성이 양호한) 폴리카르보네이트 수지, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀폴리머로부터 선택되는 수지로 형성되어 있다. 이 폴리카르보네이트 수지, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀폴리머로부터 선택되는 수지는, 화학 성분 가스의 방출이 적은 재료이기도 하다.
본 발명의 마스크 블랭크 수납 케이스는, 상기한 바와 같이, 중간 케이스(5)의 한쪽의 대향하는 내측면에 각각 형성한 양측의 홈(51, 52)으로 구성되는 기판 보유 지지부(53)는 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성하고, 또한 중간 케이스(5)는 미끄럼 이동성이 높은 폴리카르보네이트 수지, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀폴리머로부터 선택되는 수지로 형성한다. 이에 의해, 마스크 블랭크(1)를 중간 케이스(5)로부터 출입할 때에, 마스크 블랭크(1)와 기판 보유 지지부(53)인 홈(51, 52)과의 접촉, 마찰에 의한 발진이 특히 발생하기 쉬운 중간 케이스(5)의 개구부측에서의 발진을 효과적으로 억제할 수 있다. 그 결과, 마스크 블랭크(1)를 중간 케이스(5)로부터 출입할 때의 발진을 전체적으로 억제할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 중간 케이스(5)의 기판 보유 지지부(53)는, 마스크 블랭크(1)의 주표면 방향의 횡폭과 판 두께 방향의 횡폭 모두, 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성되는 것이 바람직하다. 도 4에 도시되는 바와 같이, 마스크 블랭크의 판 두께 방향에서의 개구부측 횡폭의 치수를 A로 하고, 저면측 횡폭의 치수를 B로 한다[도 4의 (a) 참조]. 또한, 마스크 블랭크의 주표면 방향에서의 개구부측 횡폭의 치수를 C로 하고, 저면측 횡폭의 치수를 D로 한다[도 4의 (b) 참조]. 본 발명에서는, 적어도 A>B 혹은 C>D이면 좋지만, 특별하게는 A>B, 또한, C>D인 것이 바람직하다.
이와 같이, 중간 케이스(5)의 기판 보유 지지부(53)는 마스크 블랭크의 주표면 방향의 횡폭과 판 두께 방향의 횡폭 모두, 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성(A>B, 또한, C>D)함으로써, 마스크 블랭크(1)를 중간 케이스(5)로부터 출입할 때의 발진을 억제하는 효과가 보다 효과적으로 발휘된다. 통상적으로, 마스크 블랭크(1)를 중간 케이스(5)로부터 출입할 때에는, 마스크 블랭크(1)의 모따기면(1c)(도 5 참조)이 기판 보유 지지부(53)와 접촉하지만, A>B로 되어 있으므로, 마스크 블랭크(1)와 기판 보유 지지부(53)의 접촉을 최대한 적게 할 수 있으므로, 발진 억제 효과가 크다. 또한, 중간 케이스(5)의 기판 보유 지지부(53) 모두에 마스크 블랭크를 수납하지 않는 경우에도, 보유 지지 수단(후술)에 의해 확실히 마스크 블랭크를 고정시킬 수 있으므로, 반송ㆍ수송시의 진동에 의한 발진의 발생을 억제할 수 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 수납 케이스에서는, 중간 케이스(5)의 기판 보유 지지부(53)는 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성되어 있지만, 예를 들어 6인치×6인치의 마스크 블랭크를 수납하는 케이스에서는, 바람직하게는, 저면측보다도 개구부측의 치수가 1㎜ 내지 3㎜ 넓어지도록 구성되어 있는 것이 적절하다.
이와 같이 중간 케이스(5)의 기판 보유 지지부(53)를, 저면측보다도 개구부측의 치수가 1㎜ 내지 3㎜ 넓어지도록 구성함으로써, 상술한 본 발명에 따른 발진 억제 효과가 충분히 발휘되고, 또한 중간 케이스(5) 내에 수납한 마스크 블랭크(1)를 보유 지지하는 기능이 저하되는 일은 없다. 기판 보유 지지부(53)의 저면측보다도 개구부측의 치수가 완전히 넓으면(예를 들어 3㎜를 초과하면), 기판 보유 지지부에서의 마스크 블랭크를 보유 지지하는 기능이 저하되고, 중간 케이스에 수납한 마스크 블랭크가 수납 케이스 이동 중에 덜걱거릴 우려가 있다. 더욱 바람직하게는, 저면측보다도 개구부측의 치수를 1㎜ 내지 2㎜ 넓어지도록 구성하는 것이 바람직하다.
상기에서는 중간 케이스(5)의 기판 보유 지지부(53)에서의 저면측과 개구부측의 치수차에 대해서 규정하였지만, 저면측에 대한 개구부측의 확대 각도에 대해서 규정해도 상관없다. 즉, 중간 케이스(5)의 기판 보유 지지부(53)를, 저면측에 대한 개구부측의 확대 각도가 0.08° 내지 0.5°가 되도록 구성하는 것이 적절하다. 바람직하게는, 0.1° 내지 0.4°, 더욱 바람직하게는, 0.15° 내지 0.35°로 하는 것이 바람직하다.
또한, 본 실시 형태의 수납 케이스는, 덮개(6)를 폐쇄할 때, 상기 본체 케이스(7)의 개구 테두리(71)와 덮개(6)의 측벽부(61)가 끼워 맞추어지지만, 덮개(6)를 폐쇄한 수납 케이스의 밀폐성을 높이기 위해, 덮개(6)를 폐쇄하였을 때에 케이스 본체(7)의 개구 테두리(71)에 끼워 넣어지는 적당한 크기의 환상의 탄성 부재(도시하지 않음)를 덮개(6)의 측벽부(61)의 내측에 설치해도 좋다. 이 탄성 부재로서는, 분위기의 온도, 기압 등의 변동이 있어도 화학 성분 가스의 방출이 적은 재료가 바람직하고, 예를 들어, 폴리올레핀 엘라스토머, 폴리에스테르 엘라스토머를 들 수 있다.
또한, 상기 중간 케이스(5)의 재질은, 상기한 바와 같이 폴리카르보네이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀폴리머 중으로부터 선택한 수지로 한다. 또한, 중간 케이스(5)는, 사용하는 수지 재료의 분자량, 성형 온도, 성형 압력 등을 적절하게 조정함으로써, 그 표면 경도가 연필 경도로 H 이상으로 하고 있다. 중간 케이스(5)의 표면 경도는, 일본 공업 규격 JIS K5600-5-4로 정의되어 있는 방법에 의해 측정한다. 핸드 스크래치 방법(hand scratch method)이어도 좋지만, 바람직하게는 기기법에 의해 측정하는 것이 바람직하다. 중간 케이스(5)의 표면 경도를 핸드 스크래치 방법에 의해 측정하는 경우에는, 마스크 블랭크가 접촉하여 보유 지지되는 중간 케이스(5)의 기판 보유 지지부(53)의 부분을 측정한다. 또한, 기기법에 의해 측정하는 경우에는, 중간 케이스(5)의 평탄한 면을 갖는 외주 부분을 측정하거나, 또는, 중간 케이스(5)를 성형하는 조건과 동일 조건으로 제작한 평판을 측정해도 좋다.
또한, 본 실시 형태의 수납 케이스는, 수납된 마스크 블랭크의 상방 코너부를 보유 지지하는 보유 지지 수단을 상기 덮개(6)의 내측에 설치하는 것이 적절하다. 이러한 보유 지지 수단으로서, 본 실시 형태에서는, 마스크 블랭크의 상방의 코너부 단부면을 보유 지지하는 수지 재료로 형성된 2개의 보유 지지 부재(10)를 덮개(6)의 내측의 한쪽 내측면에 서로 대향시켜 설치된다.
이하, 상기 보유 지지 부재(10)에 대해서 설명한다. 도 6은 보유 지지 부재의 사시도이다. 도 7은 보유 지지 부재와 마스크 블랭크 단부면이 접촉한 상태를 일방향에서 본 도면이고, 도 8은 마찬가지로 보유 지지 부재와 마스크 블랭크 단부면이 접촉한 상태를 다른 방향으로부터 도면이다. 본 실시 형태의 상기 보유 지지 부재(10)는, 수납된 상기 마스크 블랭크(1)의 상방 단부면에서의 측벽면(1b)과 모따기면(1c)(도 5 참조)의 능선에 의해 접촉하는 제1 접촉부(12)와, 그 제1 접촉부(12)가 접촉하는 마스크 블랭크(1)의 상방 단부면과 인접하는 측방 단부면에서의 측벽면(1b)에 접촉하는 제2 접촉부(13)를 구비하고 있다. 본 실시 형태에서는, 복수매의 마스크 블랭크의 수납에 대응할 수 있도록, 복수의 상기 제1 접촉부(12) 및 상기 제2 접촉부(13)를 구비하고 있다.
상기 복수의 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)는 모두, 직선 형상으로 연장된 축(11)을 따라서 소정 간격으로 배열되어 있다. 이 경우의 소정 간격은, 중간 케이스(5) 내에 수납되는 복수매의 마스크 블랭크의 간격에 따라서 적절히 설정된다. 그리고, 상기 제1 접촉부(12) 및 상기 제2 접촉부(13)는 각각 동일 방향을 향하여 배열되고, 또한 각 제1 접촉부(12)와 각 제2 접촉부(13)는 마주보는 위치로 배열되어 있다.
상기 제1 접촉부(12)는, 상기 축(11)의 측면으로부터 인출한 연장부(122)의 선단에 접촉면(121)을 구비하여 이루어지고, 또한 그 접촉면(121)의 접촉측의 대략 중앙에 돌기(123)를 구비하고 있다. 상기 접촉면(121)은 마스크 블랭크(1)와 접촉하였을 때에 마스크 블랭크 단부면에서의 측벽면(1b)과 양측의 모따기면(1c)의 능선에 의해 선 접촉으로 접촉하도록, 전체가 완만한 오목 형상으로 형성되어 있다(도 6, 도 7을 참조). 또한, 상기 접촉면(121)에 상기 돌기(123)를 설치함으로써, 상기 접촉면(121)의 전체가 마스크 블랭크 단부면의 측벽면(1b)과는 접촉하지 않고, 상기 돌기(123)와 마스크 블랭크 단부면의 측벽면(1b)이 접촉하게 되므로, 마스크 블랭크 단부면과의 접촉 영역을 가능한 한 적게 하여 발진을 억제하는 관점으로부터 유리하다.
또한, 상기 제2 접촉부(13)는, 전체가 단부면 대략 L자 형상으로 형성되어 있고, 상기 축(11)의 측면으로부터 인출한 연장부(132)의 선단에, 그 연장부(132)와는 거의 수직인 방향으로 접촉면(131)을 구비하여 이루어지고, 또한 그 접촉면(131)의 접촉측의 대략 중앙에 돌기(133)를 구비하고 있다. 이러한 구성의 제2 접촉부(13)에서는, 상기 접촉면(131)에 설치한 돌기(133)의 선단부와 마스크 블랭크 단부면의 측벽면(1d)이 P4로 접촉한다. 또한, 상기 돌기(133)를 설치하지 않는 구성으로 하는 것도 가능하지만, 그 경우는 상기 접촉면(131)이 마스크 블랭크 단부면의 측벽면(1d)과 접촉하므로, 마스크 블랭크 단부면과의 접촉 영역을 가능한 한 적게 하여 발진을 억제하는 관점으로부터는, 상기한 바와 같이 돌기(133)를 접촉면(131)에 설치하는 구성이 유리하다.
또한, 상기 제1 접촉부(12) 및 상기 제2 접촉부(13)는, 상기 축(11)에 대하여 단부면시에서 서로가 예각이 되는 방향으로 배열되어 있는 것이 바람직하다. 본 실시 형태에서는, 구체적으로는, 상기 제1 접촉부(12)의 접촉면(121)과 상기 제2 접촉부(13)의 접촉면(131)이, 상기 축(11)에 대하여 단부면시에서 서로가 예각이 되는 방향으로 배열되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 축(11)에는, 상기 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)에 대응하여 복수의 절결을 형성하고 있고, 구체적으로는 상기 제1 접촉부(12)의 양측에 절결(14)을, 상기 제2 접촉부(13)의 양측에 절결(15)을 각각 형성하고 있다. 이들의 절결의 크기는 적절하게 형성할 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 보유 지지 부재(10)를 상기 덮개(6)의 내측에 설치할 때의 고착 홀로서, 상기 축(11)의 소정 개소에 개구(16, 17)를, 또한 보유 지지 부재(10)의 양단부에 개구(18)를 각각 설치하고 있다. 물론, 보유 지지 부재(10)의 설치 구조에 따라서는, 상기 개구를 설치할 필요는 없다.
또한, 이상 설명한 축(11)과, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)로 구성되는 보유 지지 부재(10)는, 예를 들어 수지 재료로 일체로 형성되어 있다. 상기 보유 지지 부재(10)의 재질은 중간 케이스(5)와 마찬가지로, 폴리카르보네이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀폴리머 중으로부터 선택한 재료가 바람직하다. 또한, 사용하는 수지 재료의 선정, 수지 재료의 분자량, 성형 온도, 성형 압력 등을 적절하게 조정함으로써, 그 표면 경도가 연필 경도로 H 이상으로 하는 것이 바람직하다. 보유 지지 부재(10)의 표면 경도는 중간 케이스(5)와 마찬가지로, 일본 공업 규격 JIS K5600-5-4로 정의되어 있는 방법에 의해 측정한다.
상기 보유 지지 부재(10) 중, 상기 제1 접촉부(12)가 마스크 블랭크의 상방단부면에서의 측벽면(1b)과 모따기면(1c)의 능선(P1, P3)에 의해, 나아가서는 상기 제2 접촉부(13)가 마스크 블랭크의 측벽면(1b)의 P2로 접촉하고, 소정의 압력이 가해진 상태에서 마스크 블랭크를 보유 지지해도, 이들의 수지 재료는, 원하는 경도와 미끄럼 이동성을 겸비하고 있으므로, 마스크 블랭크와 보유 지지 부재(10)와의 마찰에 의한 파티클의 발생을 현저하게 억제할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 수납 케이스에 수납된 상태의 마스크 블랭크의 상방 코너부를 보유 지지하는 보유 지지 수단으로서 사용하는 보유 지지 부재(10)는, 마스크 블랭크 단부면과의 접촉 면적은 매우 작고, 게다가 마스크 블랭크 단부면의 모따기면(1c)에 전사 패턴 형성용의 박막이나 레지스트막이 형성되었다고 해도, 상기 보유 지지 부재(10)의 제1 접촉부(12)가 직접 접촉하는 일은 없다. 본 실시 형태에서는, 상기 제1 접촉부(12)는 마스크 블랭크(1)의 상방 단부면에서의 측벽면(1b)과 그 양측의 모따기면(1c)의 능선 위의 2군데와, 접촉면(121)의 돌기(123)와 접촉하는 측벽면(1b) 위의 1군데의 전부 3군데(구체적으로는 도 5 중에 동그라미 표시를 붙인 P1, P2, P3의 3군데)에서 마스크 블랭크 단부면과 선 접촉한다. 따라서, 상기 보유 지지 부재(10)와 마스크 블랭크 단부면과의 접촉에 의한 파티클의 발생을 현저하게 억제할 수 있고, 그 결과, 예를 들어 수송ㆍ보관 중의 진동 등이 있어도 발진 등에 의한 마스크 블랭크의 주표면에의 파티클 부착을 억제할 수 있다. 또한, 상기 보유 지지 부재(10)는 마스크 블랭크에 있어서 중요한 주표면과 매우 가까운 영역에 접촉하는 일은 없으므로, 주표면에의 영향(예를 들어 주표면에서의 막 결함 등)의 우려도 없다.
또한, 상기 보유 지지 부재(10)는, 상기 제1 접촉부(12)가 접촉하는 마스크 블랭크(1)의 상방 단부면과 인접하는 측방 단부면에서의 측벽면(1b)에 접촉하는 제2 접촉부(13)를 더 구비하고 있으므로, 상기 제1 접촉부(12)에 의해 보유 지지되는 마스크 블랭크(1)의 상방 단부면과 인접하는 측방 단부면에서의 측벽면도 보유 지지할 수 있다(도 8을 참조). 그 결과, 수납된 마스크 블랭크(1)의 상방 코너부를 확실히 고정하여 보유 지지할 수 있다.
또한, 상기한 바와 같이, 상기 제1 접촉부(12) 및 상기 제2 접촉부(13)는 모두 직선 형상으로 연장된 상기 축(11)을 따라서 소정 간격으로 배열되고, 상기 축(11)에는 상기 제1 접촉부(12) 및 상기 제2 접촉부(13)에 대응하여 복수의 절결(14, 15)을 형성하고 있으므로, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각의(하나하나의) 축 주위의 움직임의 자유도가 향상된다. 고로, 수납 케이스 내에 수납된 복수매의 마스크 블랭크의 1매 1매를 확실히 보유 지지할 수 있다. 또한, 수납 케이스 내에, 상기 보유 지지 부재(10)의 상기 제1 접촉부(12), 제2 접촉부(13)에 대응한 매수의 마스크 블랭크(1)를 수납하지 않는 경우에서도, 상기 복수의 절결(14, 15)에 의해, 수납 케이스 내에 수납된 마스크 블랭크의 1매 1매를 확실히 보유 지지할 수 있으므로, 마스크 블랭크의 수송, 반송 중의 진동에 의한 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 상기한 바와 같이, 상기 제1 접촉부(12) 및 상기 제2 접촉부(13)가, 상기 축(11)에 대하여 단부면시에서 서로가 예각이 되는 방향으로 배열되어 있음으로써, 케이스 본체에 마스크 블랭크를 수납하고, 그 케이스 본체에 상기 보유 지지 부재(10)를 설치한 덮개를 씌울 때에, 마스크 블랭크의 상방 단부면을 보유 지지하는 제1 접촉부(12)는 최초에 그 선단부가 마스크 블랭크와 접촉하고, 계속해서 그 밖의 부분이 마스크 블랭크와 접촉하므로, 마스크 블랭크에 대한 보유 지지력을 향상시킬 수 있어, 접촉시의 발진도 억제된다. 이와 같은 보유 지지 부재(10)(보유 지지 수단)를 덮개(6)의 내측에 설치하고 있음으로써, 예를 들어 수송, 반송 중의 진동을 완화시킬 수 있어, 마스크 블랭크를 확실히 고정하여 발진을 방지할 수 있다.
한편, 상술한 케이스 본체(7) 및 덮개(6)의 재질은, 수지 재료로 형성되지만, 예를 들어 폴리프로필렌, 아크릴, 폴리에틸렌, 폴리카르보네이트, 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리이미드, 폴리에틸설파이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 아크릴로니트릴ㆍ부타디엔ㆍ스티렌(ABS), 시클로올레핀폴리머 등의 수지로부터 적절하게 선택되는 것이 바람직하다. 이들 중에서도, 분위기의 온도, 기압 등의 변동이 있어도 화학 성분 가스의 방출이 적은 재료가 특히 바람직하고, 예를 들어 폴리카르보네이트, 폴리에스테르, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀폴리머가 바람직하다. 또한, 마스크 블랭크의 보관 중에 차지가 저류되면, 마스크 제조 과정에 있어서 방전 파괴를 일으켜, 패턴 결함이 될 경우가 있으므로, 예를 들어 케이스 본체(7)의 구성 수지에 카본 등을 섞어 넣어서 도전성을 부여하도록 해도 좋다.
또한, 본 발명의 마스크 블랭크 수납 케이스는, 보유 지지 수단, 덮개 및 케이스 본체의 구조에 관해서는, 상기 도 1 및 도 2, 도 6에 도시하는 것에는 한정되지 않는다. 또한, 덮개와 케이스 본체와의 끼워 맞춤 구조(고정 구조)에 관해서도 상기 도 1 및 도 2에 도시하는 것에는 한정되지 않는다.
본 발명에 관한 수납 케이스에 수납되는 마스크 블랭크의 일구성예는, 기판의 주표면 위에 전사 패턴이 되는 박막을 형성하여 이루어지는 것, 혹은 또한 그 박막의 표면에 레지스트막을 형성하여 이루어지는 것이다. 상기 기판으로서는, 마스크 블랭크가 바이너리 마스크 블랭크나 위상 시프트형 마스크 블랭크 등의 투과형 마스크 블랭크인 경우, 노광광에 대하여 투광성을 갖는 기판 재료를 사용하고, 예를 들어 합성 석영 글래스 기판이다. 또한, 마스크 블랭크가 EUV 노광용 등의 반사형 마스크 블랭크인 경우, 저열팽창의 특성을 갖는 SiO2-TiO2계 글래스[2원계(SiO2-TiO2) 및 3원계(SiO2-TiO2-SnO2 등)]나, 예를 들어 SiO2-Al2O3-Li2O계의 결정화 글래스의 기판이 사용된다. 또한, 마스크 블랭크가 나노 임프린트 플레이트용 마스크 블랭크인 경우, 예를 들어 합성 석영 글래스 기판이 사용된다.
또한, 상기 마스크 블랭크는, 상기 기판에서의 측벽면과 모따기면과의 능선의 곡률 반경이 50㎛ 이상인 단부 형상을 갖고 있는 것이 바람직하다. 마스크 블랭크의 능선에 의한 기판 보유 지지부에의 데미지를 억제할 수 있으므로, 기판 보유 지지부의 결락에 의한 파티클 발생을 억제할 수 있다. 상기 능선의 곡률 반경은, 바람직하게는 50㎛ 이상 1000㎛ 이하, 더욱 바람직하게는, 100㎛ 이상 850㎛ 이하, 더욱 바람직하게는, 350㎛ 이상 750㎛ 이하가 바람직하다.
상기 투과형 마스크 블랭크는, 상기 기판의 주표면 위에, 전사 패턴 형성용의 박막으로서 차광막을 형성함으로써 바이너리 마스크 블랭크가 얻어진다. 또한, 상기 기판의 주표면 위에, 전사 패턴 형성용의 박막으로서 위상 시프트막, 혹은 위상 시프트막 및 차광막을 형성함으로써, 위상 시프트형 마스크 블랭크가 얻어진다. 또한, 기판 홈파기형의 레벤슨 위상 시프트형 마스크 블랭크에서는, 기판의 주표면 위에, 전사 패턴 형성용의 박막으로서 차광막을 형성함으로써 얻어진다. 또한, 크롬리스 타입의 위상 시프트형 마스크 블랭크나, 나노 임프린트 플레이트용 마스크 블랭크에서는, 기판의 주표면 위에, 전사 패턴 형성용의 박막으로서 에칭 마스크막을 형성함으로써 얻어진다. 상기 차광막은, 단층이나 복수층(예를 들어 차광층과 반사 방지층과의 적층 구조)으로 해도 좋다. 또한, 차광막을 차광층과 반사 방지층과의 적층 구조로 하는 경우, 이 차광층을 복수층으로 이루어지는 구조로 해도 좋다. 또한, 상기 위상 시프트막, 에칭 마스크막, 흡수체막에 대해서도, 단층이나 복수층으로 해도 좋다.
투과형 마스크 블랭크로서는, 예를 들어, 크롬(Cr)을 함유하는 재료에 의해 형성되어 있는 차광막을 구비하는 바이너리 마스크 블랭크, 천이 금속과 규소(Si)를 함유하는 재료에 의해 형성되어 있는 차광막을 구비하는 바이너리 마스크 블랭크, 탄탈(Ta)을 함유하는 재료에 의해 형성되어 있는 차광막을 구비하는 바이너리 마스크 블랭크, 규소(Si)를 함유하는 재료, 혹은 천이 금속과 규소(Si)를 함유하는 재료에 의해 형성되어 있는 위상 시프트막을 구비하는 위상 시프트형 마스크 블랭크 등을 들 수 있다. 상기 천이 금속과 규소(Si)를 함유하는 재료로서는, 천이 금속과 규소를 함유하는 재료 외에, 천이 금속 및 규소에, 질소, 산소 및 탄소 중 적어도 1개의 원소를 더 포함하는 재료를 들 수 있다. 구체적으로는, 천이 금속 실리사이드, 또는 천이 금속 실리사이드의 질화물, 산화물, 탄화물, 산질화물, 탄산화물, 혹은 탄산질화물을 포함하는 재료가 적절하다. 천이 금속에는, 몰리브덴, 탄탈, 텅스텐, 티탄, 크롬, 하프늄, 니켈, 바나듐, 지르코늄, 루테늄, 로듐, 니오브 등이 적용 가능하다. 이 중에서도 특히 몰리브덴이 적절하다.
또한 상기 바이너리 마스크 블랭크나 위상 시프트형 마스크 블랭크에 있어서, 차광막 위에, 에칭 마스크막을 구비해도 상관없다. 에칭 마스크막의 재료는, 차광막을 패터닝할 때에 사용하는 에천트에 대하여 내성을 갖는 재료로부터 선택된다. 차광막의 재료가 크롬(Cr)을 함유하는 재료인 경우, 에칭 마스크막의 재료로서는, 예를 들어 상기 규소(Si)를 함유하는 재료가 선택된다. 또한, 차광막의 재료가 규소(Si)를 함유하는 재료나, 천이 금속과 규소(Si)를 함유하는 재료인 경우,에칭 마스크막의 재료로서는, 예를 들어 상기 크롬(Cr)을 함유하는 재료가 선택된다.
또한, 반사형 마스크 블랭크로서는, 기판 위에, EUV광에 대하여 반사하는 다층 반사막, 또한, 전사용 마스크의 제조 공정에서의 드라이 에칭이나 웨트 세정으로부터 다층 반사막을 보호하므로, 보호막이 형성된 다층 반사막을 갖는 기판으로 하고, 상기 다층 반사막이나 보호막 위에 전사 패턴 형성용의 박막으로서 흡수체막을 구비하는 반사형 마스크 블랭크를 들 수 있다.
EUV광의 영역에서 사용되는 다층 반사막으로서는, Mo/Si 주기 다층막 외에, Ru/Si 주기 다층막, Mo/Be 주기 다층막, Mo 화합물/Si 화합물 주기 다층막, Si/Nb 주기 다층막, Si/Mo/Ru 주기 다층막, Si/Mo/Ru/Mo 주기 다층막, Si/Ru/Mo/Ru 주기 다층 반사막을 들 수 있다. 또한, 상기 보호막의 재료로서는, 예를 들어, Ru, Ru-(Nb, Zr, Y, B, Ti, La, Mo), Si-(Ru, Rh, Cr, B), Si, Zr, Nb, La, B 등의 재료로부터 선택된다. 이들 중, Ru를 포함하는 재료를 적용하면, 다층 반사막의 반사율 특성이 보다 양호하게 된다.
또한, 상기 흡수체막의 재료로서는, 예를 들어, Ta 단체, Ta를 주성분으로 하는 재료가 사용된다. Ta를 주성분으로 하는 재료는, 통상, Ta의 합금이다. 이와 같은 흡수체막의 결정 상태는, 평활성, 평탄성의 점으로부터, 아몰퍼스 형상 또는 미결정의 구조를 갖고 있는 것이 바람직하다. Ta를 주성분으로 하는 재료로서는, 예를 들어, Ta와 B를 포함하는 재료, Ta와 N을 포함하는 재료, Ta와 B를 포함하고, 또한 O와 N의 적어도 어느 한쪽을 포함하는 재료, Ta와 Si를 포함하는 재료, Ta와 Si와 N을 포함하는 재료, Ta와 Ge를 포함하는 재료, Ta와 Ge와 N을 포함하는 재료 등을 사용할 수 있다. 또한 예를 들어, Ta에 B, Si, Ge 등을 추가함으로써, 아몰퍼스 구조가 용이하게 얻어져, 평활성을 향상시킬 수 있다. 또한, Ta에 N, O를 추가하면, 산화에 대한 내성이 향상되므로, 경시적인 안정성을 향상시킬 수 있다.
또한, 이상은, 기판 위에 전사 패턴 형성용의 박막을 갖는 마스크 블랭크, 혹은 상기 박막 위에 또한 레지스트막을 갖는 마스크 블랭크를 수납하는 수납 케이스에 대해서 설명하였지만, 본 발명에 관한 수납 케이스는 마스크 블랭크용 기판이나, 상기 마스크 블랭크를 사용해서 제조된 전사용 마스크의 수납 케이스로 해도 바람직하게 사용할 수 있다.
<실시예>
이하, 구체적인 실시예에 의해 본 발명을 설명한다.
(제1 실시예)
6인치×6인치의 합성 석영 글래스 기판(152.4㎜×152.4㎜×6.25㎜) 위에 스퍼터법에 의해, 표층에 반사 방지 기능을 갖는 크롬막(차광막)을 형성하고, 그 위에 스핀 코트법에 의해 포지티브형의 화학 증폭형 레지스트인 전자선 묘화용 레지스트막을 형성한 후, 기판 주연부에 형성된 레지스트막을 용제로 제거하여 레지스트막 부착 마스크 블랭크를 제조하였다. 또한, 합성 석영 글래스 기판의 측벽면 및 모따기면은, 산화세륨의 연마제를 사용한 브러시 연마에 의해 원하는 평활성이 얻어지도록 정밀 연마되고, 측벽면과 모따기면 사이의 능선의 곡률 반경이, 350㎛ 이상 750㎛ 이하의 범위의 합성 석영 글래스 기판을 사용하였다. 능선의 곡률 반경은, 미츠토요사제 윤곽 형상 측정기 CV-3100에 의해 측정하였다.
이와 같이 하여 제조한 5매의 레지스트막 부착 마스크 블랭크를 1케이스에 수납하였다. 수납 케이스로서, 전술한 도 1 내지 도 4에 도시하는 본 발명의 실시 형태에 따른 수납 케이스를 사용하였다. 또한, 중간 케이스의 기판 보유 지지부의 치수(도 4 참조)는, A=154.2㎜, B=153.0㎜, C=8.3㎜, D=7.3㎜(마스크 블랭크 주표면 방향에서의 저면측에 대한 개구부측 횡폭의 확대 각도는, 0.28°, 마스크 블랭크 판 두께 방향에서의 저면측에 대한 개구부측 횡폭의 확대 각도는, 0.24°)로 하였다. 또한, 덮개, 케이스 본체, 중간 케이스의 재질은, 폴리카르보네이트(카본 함유), 덮개에 설치한 보유 지지 부재의 재질은 폴리부틸렌테레프탈레이트를 사용하였다. 수납 작업은 소정의 청정도로 조절된 클린룸 내에서 행하였다.
또한, 중간 케이스로 사용한 폴리카르보네이트, 보유 지지 부재에서 사용한 폴리부틸렌테레프탈레이트는, 각각 중간 케이스, 보유 지지 부재를 성형하는 조건에서 제작한 평판을 준비하고, 연필 경도 시험기에 의해 각각의 수지의 표면 경도를 측정하였다. 수지의 표면 경도는, JIS K5600-5-4에 준하여 측정하였다. 중간 케이스의 폴리카르보네이트, 보유 지지 부재의 폴리부틸렌테레프탈레이트의 표면 경도는 각각, 연필 경도로, 2H(중간 케이스), H(보유 지지 부재)이었다. 또한, 마스크 블랭크가 접촉하는 중간 케이스의 기판 보유 지지부, 보유 지지 부재를 핸드 스크래치 방법에 의해 표면 경도를 측정한 바, 상기와 동일한 결과가 얻어졌다.
그리고, 중간 케이스로부터 상기 마스크 블랭크를 취출하고, 또한 중간 케이스에 수납하는 마스크 블랭크의 출입 조작을 연속 10회 행하였다. 마스크 블랭크의 출입 조작 종료 후, 결함 검사 장치(레이저텍사제:M2350)를 사용해서, 마스크 블랭크의 132㎜×132㎜ 영역의 레지스트막 위의 부착 이물질에 의한 결함(0.1㎛ 이상의 크기의 결함) 개수를 측정하였다. 또한, 평가는, 상기 출입 조작 전의 결함 개수를 미리 상기와 마찬가지로 측정해 두고, 이에 대한 출입 조작 종료 후의 결함 개수의 증가 개수로 행하였다. 그 결과, 본 실시예에서는, 증가 결함 개수는 평균(5매의 평균)적으로 0개이고, 중간 케이스에의 마스크 블랭크의 출입 조작에 수반하는 마스크 블랭크와 중간 케이스와의 마찰에 의한 발진을 효과적으로 억제하는 것이 가능한 것을 확인할 수 있었다.
(제1 비교예)
제1 실시예와 마찬가지로 제조한 5매의 레지스트막 부착 마스크 블랭크를 수납하는 케이스로서, 전술한 도 9 내지 도 11에 도시하는 종래 구조의 수납 케이스를 사용한 것 이외는 제1 실시예와 마찬가지로 하여 마스크 블랭크의 수납을 행하였다. 또한, 중간 케이스(도 10 참조)의 기판 보유 지지부는, 개구부측(상방)으로부터 저면측(하방)까지 동일 치수이고, 마스크 블랭크의 주표면 방향의 횡폭은 153.0㎜, 판 두께 방향의 횡폭은 7.3㎜로 하였다. 또한, 덮개의 재질은, 아크릴로니트릴ㆍ부타디엔ㆍ스티렌(ABS), 케이스 본체, 중간 케이스, 보유 지지 부재의 재질은 폴리프로필렌을 사용하였다. 또한, 제1 실시예와 마찬가지로 하여 측정한 중간 케이스, 보유 지지 부재의 폴리프로필렌의 표면 경도는, 연필 경도로, HB이었다. 그리고, 제1 실시예와 마찬가지로 상기 레지스트막 부착 마스크 블랭크의 중간 케이스에의 출입 조작을 행하였다.
그리고, 제1 실시예와 마찬가지로, 마스크 블랭크의 상기 출입 조작 전의 부착 이물질 결함 개수에 대한 출입 조작 종료 후의 결함 개수의 증가 개수를 측정하였다. 그 결과, 본 비교예에서는, 증가 결함 개수는 평균(5매의 평균)적으로 3.6개로 매우 많고, 이것은 중간 케이스에의 마스크 블랭크의 출입 조작에 수반하는 마스크 블랭크와 중간 케이스와의 마찰에 의한 발진이 많이 발생하기 쉬운 것에 의한다고 생각된다.
(제2 실시예)
제1 실시예에 있어서, 사용하는 합성 석영 글래스 기판의 측벽면 및 모따기면의 브러시 연마의 연마 시간을 짧게 하여, 측벽면과 모따기면 사이의 능선의 곡률 반경이, 100㎛ 이상 300㎛ 이하의 범위의 합성 석영 글래스 기판을 사용한 것 이외는 제1 실시예와 마찬가지로 하여, 중간 케이스에 수납하는 마스크 블랭크의 출입 조작을 연속 10회 행한 후의 증가 결함 개수를 평가하였다. 그 결과, 본 제2 실시예에서는, 증가 결함 개수는 평균(5매의 평균)적으로 0.2개이고, 중간 케이스의 마스크 블랭크의 출입 조작에 수반하는 마스크 블랭크와 중간 케이스와의 마찰에 의한 발진을 효과적으로 억제하는 것이 가능한 것을 확인할 수 있었다.
(제2 비교예)
제2 실시예와 마찬가지로 제조한 5매의 레지스트막 부착 마스크 블랭크를 수납하는 케이스로서, 전술한 도 9 내지 도 11에 도시하는 종래 구조의 수납 케이스를 사용한 것 이외는 제2 실시예와 마찬가지로 하여 마스크 블랭크의 수납을 행하였다. 그리고, 제1 실시예와 마찬가지로 상기 레지스트막 부착 마스크 블랭크의 중간 케이스에의 출입 조작을 행하였다. 그 결과, 본 비교예에서는, 증가 결함 개수는 평균(5매의 평균)적으로 5.2개로 매우 많고, 이것은 중간 케이스에의 마스크 블랭크의 출입 조작에 수반하는 마스크 블랭크와 중간 케이스와의 마찰에 의한 발진이 많이 발생하기 쉬운 것이라고 생각된다.
(제3, 제4 실시예)
제1 실시예에서의 중간 케이스를 폴리부틸렌테레프탈레이트(표면 경도 H), 시클로올레핀폴리머(표면 경도 H)로 한 것 이외는 제1 실시예와 마찬가지로 하여, 중간 케이스 내에 수납하는 마스크 블랭크의 출입 조작을 연속 10회 행한 후의 증가 결함 개수를 평가하였다. 그 결과, 본 제3, 제4 실시예에서는, 증가 결함 개수는 평균(5매의 평균)적으로 0개이고, 중간 케이스에의 마스크 블랭크의 출입 조작에 수반하는 마스크 블랭크와 중간 케이스와의 마찰에 의한 발진을 효과적으로 억제하는 것이 가능한 것을 확인할 수 있었다.
1 : 마스크 블랭크
2 : 중간 케이스
3 : 케이스 본체
4 : 덮개
5 : 중간 케이스
51, 52 : 홈부
53 : 기판 보유 지지부
6 : 덮개
7 : 케이스 본체
10 : 보유 지지 부재

Claims (6)

  1. 상방이 개방된 케이스 본체와, 그 케이스 본체에 씌워서 끼워 맞추어지는 덮개와, 상기 케이스 본체 내에 수용되고, 주표면의 크기가 6인치×6인치의 마스크 블랭크를 내부에 종방향으로 수납하는 중간 케이스를 구비하는 마스크 블랭크 수납 케이스로서,
    상기 중간 케이스는, 마스크 블랭크의 양측단부를 종방향으로 보유 지지하는 기판 보유 지지부를 구비하고, 그 기판 보유 지지부는 마스크 블랭크의 주표면 방향의 횡폭과 판 두께 방향의 횡폭 모두가 저면측보다도 개구부측의 치수가 넓어지도록 구성되어 있고, 또한 상기 중간 케이스는 폴리카르보네이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀폴리머로부터 선택되는 수지로 이루어지고, 상기 중간 케이스는 연필 경도로 H 이상의 표면 경도를 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 중간 케이스의 기판 보유 지지부는, 저면측보다도 개구부측의 치수가 1㎜ 내지 3㎜ 넓어지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스.
  3. 제1항에 있어서,
    표면에 레지스트막을 갖는 레지스트막 부착 마스크 블랭크를 수납하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스.
  4. 제1항에 있어서,
    수납 케이스에 수납된 상태의 마스크 블랭크의 상방 코너부를 보유 지지하는 보유 지지 부재를 구비하고, 그 보유 지지 부재는 마스크 블랭크의 상방 단부면에서의 측벽면과 그 양측의 모따기면의 능선 위의 2군데와, 측벽면 위의 1군데의 전부 3군데에서 마스크 블랭크 단부면과 선접촉 하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스.
  5. 마스크 블랭크 수납체로서,
    제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스에 레지스트막 부착 마스크 블랭크가 수납된 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납체.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 마스크 블랭크는, 기판의 주표면 위에 전사 패턴 형성용의 박막을 갖고, 상기 기판의 대향하는 주표면 사이에 개재하는 단부면에 있어서, 상기 주표면과 직교하는 방향의 측벽면과, 그 측벽면과 상기 주표면 사이에 개재하는 모따기면을 갖고 있고, 상기 기판에서의 상기 측벽면과 상기 모따기면의 능선의 곡률 반경이 50㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납체.
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