JP5268142B2 - マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体 - Google Patents

Description

本発明は、電子デバイスの製造に使用されるフォトマスク等の製造に用いられるマスクブランクを収納する収納ケース及びその収納方法に関する。

近年の電子デバイス、特に半導体素子や液晶モニター用のカラーフィルター或いはＴＦＴ素子等は、ＩＴ技術の急速な発達に伴い、一層の微細化が要求されている。このような微細加工技術を支える技術の一つが、転写マスクと呼ばれるフォトマスクを用いたリソグラフィー技術である。このリソグラフィー技術においては、露光用光源の電磁波を転写マスクを通じてレジスト膜付きシリコンウエハー等に露光することにより、シリコンウエハー上に微細なパターンを形成している。この転写マスクは通常、透光性基板上に遮光性膜を形成したマスクブランクにリソグラフィー技術を用いて原版となるパターンを形成して製造される。ところで、マスクブランクの表面にパーティクル等の異物があると、形成されるパターンの欠陥の原因となるので、マスクブランクの表面には異物等が付着しないように清浄に保管される必要がある。

このようなマスクブランクを収納保管し運搬するためのケースとしては、従来では例えば下記特許文献１に開示されているようなマスク運搬用ケースが知られている。すなわち、従来のマスクブランクを収納保管するケースは、キャリアなどと呼ばれている内ケースにマスクブランクを数枚乃至数十枚並べて保持させ、このマスクブランクを保持した内ケースを外箱（ケース本体）内に収容し、さらに外箱上に蓋を被せて、マスクブランクを収納する構造となっていた。

図１１乃至図１３は、特許文献１に開示されたものと同様の構造の収納ケースを示すもので、図１１は収納ケースの蓋を示す斜視図、図１２はマスクブランクを中ケースに収納する状態を示す斜視図、図１３は収納ケースのケース本体（外ケース）を示す斜視図である。
この収納ケースは、マスクブランク１を中ケース２に収納し、この中ケース２をケース本体３に収納し、このケース本体３の開口部側に蓋４を被せる構造である。

上記中ケース２は、開口部側（上方）から底面側（下方）に向けて複数の溝２１，２２を一方の互いに対向する内側面に所定間隔をおいて一対をなして形成し、その溝２１，２２の底面側の底部と中ケース底面にはそれぞれ開口窓（図示せず）と開口部２７が設けられ、さらに中ケース底面側には基板支持部２６が形成され、この基板支持部２６でマスクブランク１の下方端面を支持している（図１２）。そして、この中ケース２をケース本体３に収納して固定するための凹面部２８，２９がそれぞれ中ケースの他方の互いに対向する外側面に底面側から開口部側の途中まで形成されている。数枚のマスクブランク１を中ケース２の一対の溝２１，２２に沿って入れると、これらのマスクブランクは所定間隔をおいて互いに平行に林立する。

上記ケース本体３は、上述した中ケース２の凹面部２８，２９と当接するに適合した突出部３１，３２を、互いに対向する内側面に形成し、その突出部３１，３２の底部はケース本体３底面とも接合している（図１３）。また、一方の対向する外側面の開口部側には凸部３３，３４が形成されている。そして、ケース本体３の開口縁３５のやや下方の位置に続く外周面３６と上記凸部３３，３４の凸面とは略同一面に形成されている。

また上記蓋４は、その一方の対向する下方縁４７（ケース本体へ差し込む開口部側の縁であって、図１１では上方へ向いている）の中央から延びた係合片４１，４２に凹部４３，４４を形成している。これにより、蓋４をケース本体３に被せたときに、上記凹部４３，４４が前記ケース本体３の凸部３３，３４とそれぞれ嵌合することで、蓋４とケース本体３とが固定される構造となっている。また、中ケース２の開口部側上端面２５と当接して中ケース２を垂直方向において支持固定するストッパー４５，４６を一方の内側面に互いに対向させて形成している。

特公平１−３９６５３号公報

近年の電子デバイスの高性能化に伴って、転写マスクに形成されるパターンも一段と微細化が要求されており、このような微細パターンを形成するためにもマスクブランクの清浄度は極めて高いものでないと許容できなくなってきている。従って、マスクブランクに異物等が付着するのを出来るだけ抑制することにより、特にレジスト膜を有するマスクブランクの保管中は出来るだけ高い清浄度に維持する必要がある。

しかしながら、従来構造の収納ケースは、上述したように、蓋４をケース本体３に被せると、前記蓋４の凹部４３，４４が前記ケース本体３の凸部３３，３４とそれぞれ嵌合することで、蓋４とケース本体３とが固定されるようになっており、また上記蓋４やケース本体３はポリプロピレン等の樹脂で形成されているため、蓋を開閉する際に、前記蓋４の凹部４３，４４と前記ケース本体３の凸部３３，３４との擦れによるパーティクルが発生する。発生したパーティクルはケースに付着する。そして、たとえば蓋４を開けた際にパーティクルがケース内に進入してマスクブランクに付着して、異物欠陥となるおそれが極めて高かった。

また、上記のように蓋４の凹部４３，４４とケース本体３の凸部３３，３４とをそれぞれ嵌合させる構造を設けるかわりに、たとえば蓋４をケース本体３に被せたときのケース本体３の開口縁部の外周面３６と蓋４の下縁部の外周面４８との接合部（合わせ部）に例えば図１４に示すような断面コ字状の固定フック１０を嵌めて固定する構造も知られている。しかしながら、固定フック１０をケースの端から固定位置（通常は中央の位置）まで着脱の度にいちいちスライドさせる必要があるため、収納ケースの開閉作業が煩雑なうえに、固定フック１０をスライドさせる時のパーティクル発生による発塵が極めて大きい。

従って、本発明は、上記従来の問題点を解消し、収納ケースの開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を抑制できるようにしたマスクブランクの収納ケース及び収納方法を提供することを目的とする。

本発明者は、前記課題を解決するため鋭意検討した結果、収納ケースの蓋とケース本体との固定構造を改良することにより、蓋の開閉時の発塵を抑制し、その結果マスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制できることを見い出し、本発明を完成するに至ったものである。

すなわち、本発明は以下の構成を有するものである。
（構成１）上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、ケース本体及び蓋体のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、レジスト膜を有するマスクブランクを内部に収納するマスクブランク収納ケースであって、前記ケース本体及び前記蓋体は樹脂材料で形成され、前記ケース本体と前記蓋体とは嵌め合わされた状態で固定部材によって固定され、前記固定部材は、少なくとも、蓋体側の嵌合部と係合する係合部を備える第１部材と、ケース本体側の嵌合部と係合する係合部を備える第２部材とからなり、前記第１部材の係合部と前記第２部材の係合部間の距離が伸縮可能であることを特徴とするマスクブランク収納ケースである。

（構成２）前記固定部材は、前記第１部材と前記第２部材とが回動自在に接続されていることを特徴とする構成１に記載のマスクブランク収納ケースである。
（構成３）前記固定部材は、前記第１部材と前記第２部材をそれぞれ回動自在に接続する第３の部材を有することを特徴とする構成１に記載のマスクブランク収納ケースである。

（構成４）前記固定部材は樹脂材料で形成されていることを特徴とする構成１乃至３のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケースである。
（構成５）前記固定部材は、収納ケースの少なくとも対向する二方を固定することを特徴とする構成１乃至４のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケースである。

（構成６）前記ケース本体及び前記蓋体は、前記嵌合部に弾性部材を介在させることを特徴とする構成１乃至５のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケースである。
（構成７）収納されたマスクブランクの端面頂部を支持する樹脂材料で形成された支持手段を前記蓋体の内側に設けてなることを特徴とする構成１乃至６のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケースである。

（構成８）構成１乃至７のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケースに、レジスト膜を有するマスクブランクを収納することを特徴とするマスクブランクの収納方法である。
（構成９）構成８に記載の収納方法によりマスクブランクが収納されたことを特徴とするマスクブランク収納体である。

請求項１の発明によれば、ケース本体と蓋体とを嵌め合わせた状態で固定するための固定部材が、少なくとも、蓋体側の嵌合部と係合する係合部を備える第１部材と、ケース本体側の嵌合部と係合する係合部を備える第２部材とからなり、第１部材の係合部と第２部材の係合部間の距離が伸縮可能であるため、固定部材を着脱する際に固定部材と収納ケースの嵌合部とが擦れることがないため、蓋体の開閉時の発塵を抑制することができ、その結果たとえば蓋体を開けた際にパーティクルがケース内に進入してマスクブランクに付着することによるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。

また、請求項２の発明によれば、固定部材は、第１部材と第２部材とが回動自在に接続されており、前記第１部材の係合部を前記嵌合部の蓋体側と係合させてから、前記第２部材を回動させることにより、前記第２部材の係合部を前記嵌合部のケース本体側と係合させる構造としているため、固定部材を着脱する際に固定部材と収納ケースの嵌合部とが擦れることがなく、蓋体の開閉時の発塵を抑制することができ、その結果たとえば蓋体を開けた際にパーティクルがケース内に進入してマスクブランクに付着することによるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。

また、請求項３の発明によれば、固定部材は、第１部材と前記第２部材をそれぞれ回動自在に接続する第３の部材を有しており、第３部材を介して、前記第１部材と第２部材をそれぞれ回動させることにより、前記第１部材の係合部を前記嵌合部の蓋体側と、前記第２部材の係合部を前記嵌合部のケース本体側とそれぞれ係合させる構造としているため、固定部材を着脱する際に固定部材と収納ケースの嵌合部とが擦れることがなく、蓋体の開閉時の発塵を抑制することができ、その結果たとえば蓋体を開けた際にパーティクルがケース内に進入してマスクブランクに付着することによるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。

また、請求項４の発明によれば、前記固定部材は樹脂材料で形成されていることにより、輸送、搬送中の外部衝撃（例えば振動）に対しても収納ケースをしっかりと固定して発塵を防ぐことができる。

また、請求項５の発明によれば、前記固定部材は、収納ケースの少なくとも対向する二方を固定することにより、ケース内に収納されたマスクブランクをほぼ均一な固定荷重で固定でき、例えば輸送、搬送中の振動によっても収納ケース内のマスクブランクとそれを支持しているプラスチックパーツとの擦れによるパーティクルの発生を抑制し、マスクブランクへのパーティクル付着を防止することができる。

また、請求項６の発明によれば、前記ケース本体及び前記蓋体は、両者の嵌合部に弾性部材を介在させることにより、蓋体をケース本体に被せる際、ケース本体との嵌合部に介在する弾性部材を押し付けて、ケース内を密閉状態とすることが可能である。

また、請求項７の発明によれば、収納されたマスクブランクの端面頂部を支持する樹脂材料で形成された支持手段を前記蓋体の内側に設けることにより、例えば輸送、搬送中の振動を緩和でき、マスクブランクをしっかりと固定して発塵を防ぐことができる。

また、請求項８の発明によれば、本発明のマスクブランク収納ケースに、レジスト膜を有するマスクブランクを収納することにより、蓋体の開閉時の発塵を抑制することができ、その結果たとえば蓋体を開けた際にパーティクルがケース内に進入してマスクブランクに付着することを抑制することができる。また、例えば輸送、搬送中の振動によってもマスクブランクをしっかりと固定して発塵を防止することができる。

また、請求項９の発明によれば、請求項７の収納方法によりマスクブランクが収納されたマスクブランク収納体は、蓋体の開閉時の発塵が抑制されるので、たとえば蓋体を開けた際にパーティクルがケース内に進入してマスクブランクに付着することを抑制することができる。また輸送、搬送中の例えば振動に対してもマスクブランクがしっかりと固定され発塵を防止することができる。

以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１および図２は、本発明に係る収納ケースの一実施の形態を示すものであり、図１は、固定部材で固定する前の状態の正面図、図２の（ａ）は、固定部材で固定した状態の一側面図、（ｂ）は同じく固定部材で固定した状態の他の側面図である。
本実施の形態に係るマスクブランク収納ケースは、上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランクの収納ケースである。上記ケース本体５及び蓋体６は、その全体的な形状は、従来構造の収納ケースが前記蓋４の凹部４３，４４と前記ケース本体３の凸部３３，３４を備えている点を除いては、図７に示す蓋４及び図９に示すケース本体３と同様の形状を有している。また、図１および図２には示していないが、前述の従来構造の収納ケースのようにマスクブランクを複数枚保持するための中ケース２（図１２参照）を用いる構成とすることができる。上記中ケースを使用せずに、マスクブランクをケース本体５に直接溝等を設けて収納する形態とすることもできるが、中ケースを使用すると、数枚乃至数十枚のマスクブランクをまとめて中ケースに入れた状態で取り扱えるので便利である。

本実施の形態の収納ケースは、主表面が正方形のガラス基板の一主表面上にクロム膜等の遮光性薄膜を成膜し、例えばさらにその上にレジスト膜を形成したマスクブランクをたとえば従来構造と同様の中ケースに収納し、この中ケースをケース本体５に収納し、このケース本体５の開口部側に蓋体６を被せる構造である（図２（ａ）、（ｂ）参照）。ケース本体５の上から蓋体６を被せると、蓋体６の下方縁に続くやや外方に拡開した側壁部６１とケース本体５の開口縁部５１とが前後に重なり合うと同時に、蓋体６の下方縁の側壁部６１とケース本体５の開口縁部５１の下方に形成されたやや外方に拡開した側壁部５２とが同一面上に重なり合って蓋体６とケース本体５とが接合される。

本実施の形態の収納ケースは、蓋体６を閉じる際、上記本体ケース５の開口縁部５１と蓋体６の側壁部６１とが嵌め合わされるが、蓋体６を閉じた収納ケースの密閉性を高めるために、ケース本体５の開口縁部５１に沿って適当な大きさの環状の弾性部材７を嵌め込んでいる（図１参照）。弾性部材７としては、雰囲気の温度、気圧等の変動があっても化学成分ガスの放出が少ない材料が好ましく、例えば、ポリオレフィンエラストマー、ポリエステルエラストマーが挙げられる。蓋体６をケース本体５に被せる際、ケース本体５との嵌合部に介在する弾性部材７を押し付けて、ケース内を密閉性の高い状態とすることができる。

本実施の形態による収納ケースは、上述のように内部にマスクブランクを収納して、ケース本体５に蓋体６を被せた状態でケース本体５と蓋体６とを固定するため、ケース本体５、蓋体６とは別体の固定部材９を使用する。図３の（ａ）は、収納ケースを固定部材９で固定する前の状態を示す側面図、同図（ｂ）は、収納ケースを固定部材９で固定した状態を示す側面図であり、図４は、固定部材９の正面図である。
この固定部材９は、第１の部材９１と、該第１の部材９１に回動自在に支持された第２の部材９２とからなる。図４に示すように正面視では、第１の部材９１は、下方に両腕部９５，９５を向けたコ字状に形成されており、また、図３に示すように側面視では、第１の部材９１の上端部が内側に折れ曲がった係合部９１ａを有するとともに、真中よりやや下方の位置に段部９４を有している。また、第２の部材９２は、第１の部材９１の両腕部９５，９５間に配設され、第２の部材９２の両側はそれぞれ第１の部材９１の両腕部９５，９５とは若干の間隙を設けた状態で、軸Ｃ，Ｃを回動軸として上記両腕部９５，９５に軸支されている。そして、該第２の部材９２は、図３の側面視では、全体がほぼＳ字状に形成されており、その先端（上端）に係合部９３を有している。このようにして第２の部材９２は、第１の部材９１に対して回動自在に接続されている。

次に、かかる固定部材９を用いて、ケース本体５に蓋体６を被せた状態でケース本体５と蓋体６とを固定する方法を説明する。
蓋体６の側壁部６１上端の一部分には内方へ窪ませ乃至は切欠いた係合凹部６１ａを有しており、ケース本体５の側壁部５２下端における上記蓋体６の係合凹部６１ａと対応する位置にも同様に内方へ窪ませ乃至は切欠いた係合凹部５２ａを有している。そして、蓋体６をケース本体５に被せた状態で、まず上記固定部材９の第１部材９１の係合部９１ａを、蓋体６とケース本体６との嵌合部の蓋体側、つまり蓋体６の側壁部６１の係合凹部６１ａと係合させてから（図３（ａ）参照）、第１の部材９１の下方部をケース側へ（図３（ａ）中の矢印Ａ方向）接近させると同時に、第２の部材９２の下方部を同じくケース側へ（図３中の矢印Ｂ方向）回動させることにより、第２の部材の係合部９３を、上記嵌合部のケース本体側、つまりケース本体５の側壁部５２の係合凹部５２ａと係合させる（図３（ｂ）参照）。なおこのとき、第１の部材９１の段部９４は、上記ケース本体５の係合凹部５２ａよりも若干下方の位置に嵌め込まれる。

本実施の形態のマスクブランク収納ケースによれば、上記のようにして固定部材９を用いることにより、内部にマスクブランクを収納して、ケース本体５に蓋体６を被せた状態で、蓋体６とケース本体５とを固定することができる。収納ケースの開閉時には、固定部材９を収納ケースから着脱するが、たとえば固定部材９を装着する場合は、上述したようにまず第１部材９１の係合部９１ａを蓋体６の係合凹部６１ａと係合させてから、第２部材９２を回動させて、第２部材９２の係合部９３をケース本体５の係合凹部５２ａに接近、当接させて該係合凹部５２ａと係合させ、固定部材９を脱着する場合には上記と逆の操作を行うため、固定部材９を着脱する際に固定部材９と収納ケースの嵌合部とが擦れることがないため、収納ケースの開閉時の発塵を抑制することができ、その結果たとえば蓋体を開けた際にパーティクルがケース内に進入してマスクブランクに付着することによるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。

上記固定部材９の材質は、例えばポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブチレンテレフタレート、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）等の樹脂や、ステンレス、アルミニウム等の金属から適宜選択されることが好ましい。特に樹脂材料で形成されることが好ましい。樹脂材料で形成されていることにより、輸送、搬送中の外部衝撃（例えば振動）に対しても収納ケースをしっかりと固定して発塵を防ぐことができる。

また、上記固定部材９は、収納ケースの少なくとも対向する二方を固定することにより、ケース内に収納されたマスクブランクをほぼ均一な固定荷重で固定でき、例えば輸送、搬送中の振動によっても収納ケース内のマスクブランクとそれを支持しているプラスチックパーツとの擦れによるパーティクルの発生を抑制し、マスクブランクへのパーティクル付着を防止することができる。より好ましくは、収納ケースの四方を固定することである。

また、本実施の形態の収納ケースは、収納されたマスクブランクの端面頂部を支持する樹脂材料で形成された支持手段を前記蓋体６の内側に設けている。かかる支持手段として、本実施の形態では、マスクブランクの上方の端面頂部を支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材８を蓋体６の内側に設けている。
上記支持部材８は、図９に示すように、断面円形で直線状に延在した軸８１と、その軸８１の側面から断面において直交する方向に引き出した複数対の連結部８２，８３と、その連結部８２，８３の先端に断面略円形状に形成した複数対の当接部８４，８５とを備えている。複数対の連結部８２，８３と当接部８４，８５は、収納する複数枚のマスクブランクを適当な間隔で離間するように所定間隔で配列されている。そして、当接部８４，８５には、内側に凹状にくぼませた当接面８６，８７をそれぞれ互いに直交する方向に形成している。
このような支持部材８を２本用意して、蓋体６の内側の一方の内側面に互いに対向させて取り付けられる。

上記支持部材８を構成する樹脂材料としては、特に限定はされないが、雰囲気の温度、気圧等の変動があっても化学成分ガスの放出が少ない材料が特に好ましく、例えば、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリプロピレン、環状ポリオレフィン、ポリオレフィンエラストマー、ポリエステルエラストマー、ポリカーボネート、フッ素系樹脂から選択される１以上の樹脂が好ましく挙げられる。

そして、各支持部材８の当接部８４，８５の当接面８６，８７がマスクブランク１の上部頂部において各端面にそれぞれ当接し、マスクブランク１を固定状態に支持する。この際、上記各支持部材８の各当接面８６，８７は凹状にくぼませて形成してあるので、マスクブランク１の各端面の側壁面１ｂとこれに連続する面取面１ｃ（あるいはその一部）（図１０参照）を支持する。
このような支持手段を蓋体６の内側に設けていることにより、例えば輸送、搬送中の振動を緩和でき、マスクブランクをしっかりと固定して発塵を防ぐことができる。

なお、上述のケース本体５及び蓋体６の材質は、樹脂材料で形成されるが、例えばポリプロピレン、アクリル、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリエチルサルファイト、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）等の樹脂から適宜選択されることが好ましい。これらの中でも、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリブチレンテレフタレートが好ましい。なお、マスクブランクの保管中にチャージが溜まると、マスク製造過程において放電破壊を起こし、パターン欠陥となる場合があるので、たとえばケース本体５の構成樹脂にカーボン等を混ぜ込んで導電性を付与するようにしてもよい。

図５及び図６は、上記固定部材の他の実施の形態を示す。図５は、収納ケースを他の実施形態に係る固定部材で固定した状態を示す側面図、図６は、他の実施形態に係る固定部材の正面図である。
本実施の形態に係る固定部材１１は、第１の部材１１１と、第２の部材１１４とからなる。図６に示すように正面視では、第１の部材１１１は、略中央に開口部１１３と、それよりも下方に開口部１１３よりやや小さな開口部１１２を有しており、また、図５に示すように側面視では、第１の部材１１１の上端部が内側に折れ曲がった係合部１１１ａを有するとともに、真中よりやや下方の位置に段部１１５（上記開口部１１３の下端面）を有している。また、第２の部材１１４は、第１の部材１１１の上記段部１１５の下方に設けられた空間内に配設され、上記開口部１１２から水平方向に突出する取手部１１４ａと、上記段部１１５より上方向に出没する係合部１１４ｂとを有している。なお、第２の部材１１４は、例えば板バネのようなバネ部材１１６によって、最上の位置に来るように付勢されている。

次に、かかる固定部材１１を用いて、ケース本体５に蓋体６を被せた状態でケース本体５と蓋体６とを固定する方法を説明する。
蓋体６をケース本体５に被せた状態で、まず上記固定部材１１の取手部１１４ａを一番下に下げた状態（このとき係合部１１４ｂは上記段部１１５より下にある）で、第１部材１１１の係合部１１１ａを、蓋体６とケース本体６との嵌合部の蓋体側、つまり蓋体６の側壁部６１の係合凹部６１ａと係合させ、次いで上記取手部１１４ａを放すと、第２の部材１１４は、バネ部材１１６によって最上の位置に来るように付勢されているため、第２の部材１１４の係合部１１４ｂが上記段部１１５より上方向に突出し、このとき上記嵌合部のケース本体側、つまりケース本体５の側壁部５２の係合凹部５２ａと係合する（図５参照）。固定部材１１を脱着する場合には上記と逆の操作を行う。

本実施の形態の固定部材１１を用いることにより、第１の部材１１１の係合部１１１ａと第２の部材１１４の係合部１１４ｂ間の距離が伸縮可能に構成されているので、固定部材１１を着脱する際に固定部材１１と収納ケースの嵌合部とが擦れることがないため、収納ケースの開閉時の発塵を抑制することができ、その結果たとえば蓋体を開けた際にパーティクルがケース内に進入してマスクブランクに付着することによるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。

また、図７及び図８は、固定部材のさらに別の実施の形態を示す。図７は、収納ケースを上記固定部材で固定した状態を示す側面図、図８は、上記固定部材の正面図である。
本実施の形態に係る固定部材１２は、第１の部材１２６と、第２の部材１２３と、これら第１の部材と第２の部材をそれぞれ回動自在に接続する第３の部材１２１とからなる。図８に示すように正面視では、第３の部材１２１は、全体がＨ字状に形成されている。また、第１の部材１２６は、第３の部材１２１の一方の両腕部１２５，１２５間に配設され、第１の部材１２６の両側はそれぞれ第３の部材１２１の両腕部１２５，１２５とは若干の間隙を設けた状態で、軸Ｃ，Ｃを回動軸として上記両腕部１２５，１２５に軸支されている。そして、該第１の部材１２６は、図７の側面視では、全体がほぼＳ字状に形成されており、その先端（上端）（図７においては下端）に係合部１２７を有している。このようにして第１の部材１２６は、第３の部材１２１に対して回動自在に接続されている。一方、第１の部材１２３は、第３の部材１２１の他方の両腕部１２２，１２２間に配設され、第１の部材１２３の両側はそれぞれ第３の部材１２１の両腕部１２２，１２２とは若干の間隙を設けた状態で、軸Ｃ，Ｃを回動軸として上記両腕部１２２，１２２に軸支されている。そして、該第１の部材１２３も同様に、全体がほぼＳ字状に形成されており、その先端（上端）に係合部１２４を有している。このようにして第１の部材１２３は、第３の部材１２１に対して回動自在に接続されている。

次に、かかる固定部材１２を用いて、ケース本体５に蓋体６を被せた状態でケース本体５と蓋体６とを固定する方法を説明する。
蓋体６をケース本体５に被せた状態で、上記固定部材１２をケース側へ接近させながら、第１の部材１２６の下方部（図７では上方部）をケース側へ、第２の部材１２３の下方部を同じくケース側へ回動させることにより、第１の部材の係合部１２７を、上記嵌合部の蓋体側、つまり蓋体６の側壁部６１の係合凹部６１ａと係合させ、第２の部材の係合部１２４を、上記嵌合部のケース本体側、つまりケース本体５の側壁部５２の係合凹部５２ａと係合させる（図７参照）。

本実施の形態の固定部材１２を用いることによっても、固定部材１２を着脱する際に固定部材１２と収納ケースの嵌合部とが擦れることがないため、収納ケースの開閉時の発塵を抑制することができ、たとえば蓋体を開けた際にパーティクルがケース内に進入してマスクブランクに付着することによるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。

なお、上述のいずれの実施形態に係る固定部材においても、収納ケースから取り外しができるため、例えば自動ロボット等を用いてブランクの収納作業を行う場合に、自動ロボットに収納ケースをセットする際に、固定部材を外しておけば、ケース本体の側面がほぼフラットになり、自動ロボットに収納ケースをセットする際の邪魔にならない。また、固定部材が収納ケースの例えば蓋体に固定されていて取り外しができない構造であると、ケース内のブランクを取り出すときに固定部材が接触する危険性があるが、固定部材が取り外しできれば、このような危険性もない。

以下、具体的な実施例により本発明を説明する。
（実施例１）
合成石英基板（６インチ×６インチの大きさ）上にスパッタ法で、表層に反射防止機能を有するクロム膜（遮光膜）を形成し、その上にスピンコート法でポジ型の化学増幅型レジストである電子線描画用レジスト膜を形成してレジスト膜付きマスクブランクを製造した。

このようにして製造した２０枚のマスクブランクを、１ケースに５枚収納し、計４ケースを用意した。収納ケースとして、前述の図１乃至図４に示す実施の形態に係る収納ケースを用いた。なお、蓋体の材質は、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）、ケース本体の材質はポリプロピレン、中ケースの材質はポリプロピレンを用いた。また、固定部材９の材質はＡＢＳを用い、蓋体に取り付けた支持部材８の材質はポリブチレンテレフタレートを用い、弾性部材７の材質はポリオレフィンエラストマーを用いた。収納作業はクリーンルーム内で行った。

そして、同じくクリーンルーム内で、固定部材９をケースから外して、蓋体を開け、再び蓋体を閉じて、固定部材９をケースに装着するという蓋の開閉動作を連続して５０回行った。
そして、このような蓋の開閉動作を行った後、収納ケースからマスクブランクを取り出し、欠陥検査装置（レーザーテック社製：Ｍ２３５０）を用いて、マスクブランク主表面上の付着異物による欠陥（９０μｍ以上の大きさの欠陥）個数を測定した。なお、評価は、収納ケースに収納する前の欠陥個数を予め上記と同様に測定しておき、これに対する蓋の開閉動作後の欠陥個数の増加個数で行った。その結果、本実施例では、増加欠陥個数は、平均して１．３個であり、蓋体の開閉動作によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することが可能である。

（比較例）
実施例１と同様に製造したマスクブランクを収納するケースとして、前述の図７乃至図９に示す従来構造の収納ケースを用いたこと以外は実施例１と同様にしてマスクブランクの収納を行った。なお、蓋の材質は、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）、ケース本体の材質はポリプロピレン、中ケースの材質はポリプロピレンを用いた。
そして、収納ケースの前記蓋４の凹部４３，４４と前記ケース本体３の凸部３３，３４とを係合し、またその係合を外すことにより蓋の開閉動作を連続して５０回行った。

そして、このような蓋の開閉動作を行った後、実施例１と同様に、収納ケースに収納する前の欠陥個数に対する蓋の開閉動作後の欠陥個数の増加個数を測定した。その結果、本比較例では、増加欠陥個数は、平均して６．８個と非常に多く、蓋体の開閉動作によるマスクブランクへのパーティクル付着を抑制することができない。これは、従来構造の収納ケースの場合、蓋の開閉動作に伴う発塵が非常に多いことが要因であると考えられる。

本発明に係る収納ケースの一実施の形態を示し、固定部材で固定する前の状態の正面図である。 本発明に係る収納ケースの一実施の形態を示し、（ａ）固定部材で固定した状態の一側面図、（ｂ）固定部材で固定した状態の他の側面図である。 （ａ）収納ケースを固定部材で固定する前の状態を示す側面図、（ｂ）収納ケースを固定部材で固定した状態を示す側面図である。 固定部材の正面図である。 収納ケースを他の実施形態に係る固定部材で固定した状態を示す側面図である。 他の実施形態に係る固定部材の正面図である。 収納ケースをさらに別の実施形態に係る固定部材で固定した状態を示す側面図である。 さらに別の実施形態に係る固定部材の正面図である。 支持部材の斜視図である。 マスクブランクの断面図である。 従来構造の収納ケースの蓋を示す斜視図である。 マスクブランクを中ケースに収納する状態を示す斜視図である。 従来構造の収納ケースのケース本体（外ケース）を示す斜視図である。 従来の固定フックの斜視図である。

符号の説明

１ マスクブランク
２ 中ケース
３ ケース本体
４ 蓋
５ ケース本体
６ 蓋体
７ 弾性部材
８ 支持部材
９ 固定部材
１０ 固定フック
１１，１２ 固定部材

Claims (9)

1. 上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、ケース本体及び蓋体のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、レジスト膜を有するマスクブランクを内部に収納するマスクブランク収納ケースであって、
   前記ケース本体及び前記蓋体は樹脂材料で形成され、
   前記ケース本体と前記蓋体とは嵌め合わされた状態で固定部材によって固定され、
   前記固定部材は、少なくとも、蓋体側の嵌合部と係合する係合部を備える第１部材と、ケース本体側の嵌合部と係合する係合部を備える第２部材とからなり、前記第１部材の係合部と前記第２部材の係合部間の距離が伸縮可能であることを特徴とするマスクブランク収納ケース。
2. 前記固定部材は、前記第１部材と前記第２部材とが回動自在に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のマスクブランク収納ケース。
3. 前記固定部材は、前記第１部材と前記第２部材をそれぞれ回動自在に接続する第３の部材を有することを特徴とする請求項１に記載のマスクブランク収納ケース。
4. 前記固定部材は樹脂材料で形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
5. 前記固定部材は、収納ケースの少なくとも対向する二方を固定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
6. 前記ケース本体及び前記蓋体は、前記嵌合部に弾性部材を介在させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
7. 収納されたマスクブランクの端面頂部を支持する樹脂材料で形成された支持手段を前記蓋体の内側に設けてなることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
8. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケースに、レジスト膜を有するマスクブランクを収納することを特徴とするマスクブランクの収納方法。
9. 請求項８に記載の収納方法によりマスクブランクが収納されたことを特徴とするマスクブランク収納体。
   

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