JPH09118350A - 密封容器の封止具 - Google Patents

密封容器の封止具

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JPH09118350A
JPH09118350A JP7300449A JP30044995A JPH09118350A JP H09118350 A JPH09118350 A JP H09118350A JP 7300449 A JP7300449 A JP 7300449A JP 30044995 A JP30044995 A JP 30044995A JP H09118350 A JPH09118350 A JP H09118350A
Authority
JP
Japan
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sealing
band
container body
lid
sealing member
Prior art date
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Pending
Application number
JP7300449A
Other languages
English (en)
Inventor
Masato Hosoi
正人 細井
Tatsuaki Hirohata
達明 廣畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
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Publication date
Application filed by Shin Etsu Polymer Co Ltd, Shin Etsu Chemical Co Ltd, Shin Etsu Handotai Co Ltd filed Critical Shin Etsu Polymer Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 密封性のバラツキを防止できるとともに、作
業性を向上させ、形状の簡素化を通じてコストの増加を
抑制できる密封容器の封止具を提供する。 【解決手段】 相互に嵌まり合う容器本体1とふた体4
の各開口周縁部の囲繞帯状段差部2・5における外周部
に定着される封止具において、この封止具を伸縮性を有
する枠形の封止バンド7とし、封止バンド7の上下両端
部に係止つめ8を中心部方向に向けそれぞれ一体的に突
出成形する。そして、囲繞帯状段差部2・5の外周部に
封止バンド7を嵌めて密着させるとともに、容器本体リ
ブ3の段差部2およびふた体リブ6の段差部2に封止バ
ンド7の係止つめ8をそれぞれ引っかけ、容器本体1と
ふた体4との開放防止と嵌め合い部の密着性を維持す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体シリコンウ
ェハ (以下、単にシリコンウェハという) 、フォオトマ
スク、又はマスク原板などの精密部品をほこりや粉塵な
どから保護する密封容器の封止具に関するものである。
【0002】
【従来の技術】シリコンウェハは、超微細加工された
後、専用の密封容器に多数枚収納された状態でウェハメ
ーカから集積回路などの電子部品を製造するデバイスメ
ーカに輸送されるが、この際、ほこりや粉塵などにさら
されるおそれがある。しかしながら、シリコンウェハ
は、不純物を極端にきらう高純度製品であるので、ほこ
りや粉塵をはじめとするパーティクル汚染から有効に保
護するため、密封容器に充分な配慮が要求される。
【0003】従来の密封容器の封止具は、図10ないし
図12に示すごとく、さまざまな密封方法を採用してい
る。例えば、図9に示す第1の方法では、多数枚のシリ
コンウェハ (図示せず) を収納する容器本体1の開口上
部とふた体4の開口下部とを相互に嵌め合わせ、この嵌
め合わせ部の外周方向 (矢印参照) に粘着テープ11を
貼り付けて密封性を維持するようにしている。また、図
10や図11に示す第2の方法では、多数枚のシリコン
ウェハを収納する容器本体1の開口上部とふた体4の開
口下部とを枠形のガスケット12を介して相互に嵌め合
わせ、容器本体1の壁面のフック13とふた体4の壁面
のフックみぞ14とを係合させて密封性を維持するよう
にしている。さらに、図11に示す第3の方法では、多
数枚のシリコンウェハを収納する容器本体1の開口上部
とふた体4の開口下部とをガスケット12を介して相互
に嵌め合わせ、容器本体1の壁面の容器本体リブ3とふ
た体4の壁面のふた体リブ6とを重ね合わせてコ字形の
クランプ15でクランプするとともに、ガスケット12
を圧縮して変形させ、輸送中の振動や気圧変化による外
気の侵入を防止して密封性を維持するようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の密封容器の封止
具は、以上のように構成されているので、以下に示すよ
うな問題があった。まず、上述した第1の方法の場合に
は、粘着テープ11にしわが入るなどして密封の不十分
な箇所が発生することが少なくなかった。したがって、
テーピングによる密封方法では、密封性にバラツキが多
いという問題があった。また、良好なテーピング状態を
得るためには、手間がかかり、作業性が低下するという
問題があった。また、例え容器本体1とふた体4との嵌
め合わせ部に粘着テープ11を適切に貼り付けても、密
封容器の内外で気圧差が発生し、粘着テープ11が押し
上げられて剥離が進行し、1箇所でもショートパスが発
生すると、その時点で密封性を維持できなくなるという
問題があった。この点に関し、比較的粘着力の高い粘着
テープ11を使用して実験してみたが、約0.1kg/
cm2 の圧力差に耐えられないことが既に判明してい
る。したがって、粘着力の高い粘着テープ11を使用し
ても、剥離の進行が遅くなるだけで、密封性を適切に維
持することは困難である。
【0005】また、第2、第3の方法の場合には、容器
本体1とふた体4との各開口周縁部にガスケットみぞ
(図10参照) 16をそれぞれ成形する必要があるの
で、容器本体1の開口上部およびふた体4の開口下部の
形状がそれぞれ複雑化することとなる。したがって、密
封容器を射出成形して製造する場合には、金型コストや
成形コストの増加を抑制しえないという問題があった。
さらに、容器本体1とふた体4との間に介在するガスケ
ット12をクランプ15で圧縮する必要がある場合に
は、クランプ機構が必要となるので、やはりコストの増
加を防止することができないという問題があった。
【0006】本発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
で、密封性のバラツキを防止することができるととも
に、作業性を向上させ、容器本体やふた体の形状の簡素
化を通じてコストの増加を抑制することのできる密封容
器の封止具を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明においては、上記
目的を達成するため、容器本体とふた体の相互に嵌合す
る各開口周縁部の囲繞帯状段差部における外周部に定着
される封止具であって、伸縮性枠状封止部材を上記囲繞
帯状段差部の外周部に密着させて該容器本体と該ふた体
との開き防止と嵌合部の密着性を維持するようにしてい
る。なお、上記伸縮性枠状封止部材の内周側における幅
方向又は長手方向に薄肉みぞ部を形成し、この薄肉みぞ
部に区画された部分を剥離可能な剥離片とすることが好
ましい。また、上記伸縮性枠状封止部材の幅方向の両端
部に係止つめをそれぞれ形成することが望ましい。
【0008】本発明によれば、精密部品を収納する容器
本体の開口面の囲繞帯状段差部にふた体の開口面の囲繞
帯状段差部を嵌め合わせ、伸縮性枠状封止部材を伸ばし
た状態で容器本体又はふた体に嵌め入れて嵌め合わせ部
を覆うようにすれば、容器本体リブとふた体リブとの間
のすきまを伸縮性枠状封止部材で締めつけた状態で密封
することができる。また、請求項2記載の発明によれ
ば、伸縮性枠状封止部材の内面に肉厚の薄い薄肉みぞ部
を成形するとともに、この薄肉みぞ部に区画された伸縮
性枠状封止部材の一部を剥離片としているので、剥離片
を破り取れば、密封容器を簡単に開封することができ
る。さらに、請求項3記載の発明によれば、容器本体の
囲繞帯状段差部およびふた体の囲繞帯状段差部に伸縮性
枠状封止部材の係止つめをそれぞれ引っかければ、容器
本体とふた体との間のすきまを伸縮性枠状封止部材で締
めつけて密封することができるとともに、容器本体から
ふた体が不用意に外れるのを防止することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。この実施の形態における密封容器
の封止具は、図1に示すごとく、容器本体1とふた体4
との嵌め合わせ部の外周部に封止バンド7を嵌め入れて
覆い、嵌め合わせ部のクリアランスに封止バンド7を密
着させるようにしている。
【0010】容器本体1は、その上面が開口した有底箱
形に成形され、開口周縁部には囲繞帯状段差部2が成形
されるとともに、この囲繞帯状段差部2の両側壁の外周
縁から容器本体リブ3が水平外方向にそれぞれ張り出し
て成形されており、多数枚のシリコンウェハ (図示せ
ず) を収納したカセット (図示せず) を内蔵する機能を
有している。また、ふた体4は、その下面が開口した箱
形に成形され、開口周縁部には囲繞帯状段差部5が成形
されるとともに、この囲繞帯状段差部2の両側壁の外周
縁からふた体リブ6が水平外方向にそれぞれ張り出して
成形されており、内蔵したウェハ押さえ (図示せず) の
下部における多数のウェハ押さえ片を多数枚のシリコン
ウェハの上部にそれぞれ接触させて保護する作用を有す
る。なお、容器本体1やふた体4の材質としては、例え
ば透視可能なポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリ
エチレン、又はPBT樹脂などの合成樹脂材料が適宜使
用され、剛性などが向上するようになっている。
【0011】さらに、封止バンド7は、図1や図2に示
すように、伸縮可能な枠形に形成され、その上下端部に
は係止つめ8が中心部方向に向けてそれぞれ一体的に突
出成形されている。封止バンド7は、熱可塑性エラスト
マ (例えば、スチレン系、オレフィン系、エステル系、
又はウレタン系などのエラストマ) やシリコーンゴムを
はじめとする熱硬化性ゴムで、そのショア硬度がA30
°〜70°の材質で形成され、容器本体1およびふた体
4に対する弾力性や密着性などが向上するようになって
いる。なお、封止バンド7の内面全周に一対の薄肉みぞ
部9を成形し、この一対の薄肉みぞ部9の間の中央部を
テープ状の剥離片10とし、この剥離片10を周方向に
引き裂いて密封容器を開封するようにしてもよい。
【0012】したがって、密封容器を密封するには、カ
セットを内蔵した容器本体1の開口上面の囲繞帯状段差
部2にふた体4の開口下面の囲繞帯状段差部5を嵌め合
わせて容器本体リブ3とふた体リブ6とを相互に重ね合
わせ、封止バンド7を少し引き伸ばした状態でふた体4
に嵌め入れて下方向にずらし、その後、容器本体リブ3
の段差部2およびふた体リブ6の段差部2に封止バンド
7の係止つめ8をそれぞれ引っかければ、封止バンド7
で容器本体リブ3とふた体リブ6との間のクリアランス
を覆って適切に密封することができるとともに、容器本
体1からふた体4が安易に外れるのを防止することがで
きる。
【0013】上記構成によれば、粘着テープ11を使用
しないので、密封性のバラツキを確実に防止することが
できる。また、封止バンド7を嵌め入れて下方向にずら
した後、容器本体リブ3およびふた体リブ6に封止バン
ド7の係止つめ8をそれぞれ係合させるだけでよいの
で、手間のかかることがなく、取り扱いや操作の容易化
を通じて作業性の大幅な向上が期待できる。また、粘着
テープ11を使用しないので、密封容器の内外で気圧差
が発生しても、密封性の安定した維持が期待できる。ま
た、容器本体1およびふた体4の各開口周縁部にガスケ
ットみぞ16を成形する必要が全くないので、容器本体
1の開口上部およびふた体4の開口下部の形状が複雑化
することがない。したがって、密封容器を射出成形して
製造する場合でも、金型コストや成形コストの増加を確
実に抑制することができる。さらに、クランプ機構を省
略することができるので、コストの増加の防止が可能と
なる。
【0014】次に、図3および図4は本発明の第2の実
施の形態を示すもので、この場合には、ふた体リブ6お
よび係止つめ8を省略するようにしている。その他の部
分については、上記実施形態と同様である。本実施形態
においても、上記実施形態と同様の作用効果が期待し得
られ、しかも、封止バンド7の構成を簡素化することが
できるので、金型コストや成形コストの増加を確実に抑
制することができる。
【0015】次に、図5は本発明の第3の実施の形態を
示すもので、この場合には、封止バンド7の内面に肉厚
の薄い一対の薄肉みぞ部9を間隔をおいて縦に成形する
とともに、この一対の薄肉みぞ部9に区画された封止バ
ンド7の一部を剥離片10とし、接着固定した封止バン
ド7の剥離片10を縦に引き裂いて破り取り、密封容器
の密封を解除するようにしている。その他の部分につい
ては、上記実施形態と同様である。本実施形態において
も、上記実施形態と同様の作用効果が期待し得られ、し
かも、密封容器の密封を解除する場合にも、封止バンド
7を上下方向にわざわざずらして取り外す必要が全くな
いので、作業性の大幅な向上が期待できるのは明らかで
ある。
【0016】次に、図6ないし図8は本発明の第4の実
施の形態を示すもので、この場合には、封止バンド7の
内面に肉厚の薄い一対の薄肉みぞ部9を全周にわたって
成形するとともに、この一対の薄肉みぞ部9に区画され
た中央部をテープ状の剥離片10とし、接着固定した封
止バンド7の剥離片10を横に引き裂いて破り取り、密
封容器の密封を解除するようにしている。その他の部分
については、上記実施形態と同様である。本実施形態に
おいても、上記実施形態と同様の作用効果が期待し得ら
れ、しかも、密封容器を開封する場合にも、封止バンド
7を上下方向にわざわざずらして取り外す必要が全くな
いので、作業性の大幅な向上が期待できるのは明らかで
ある。
【0017】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、密封性の
バラツキを防止することができるとともに、作業性を向
上させ、容器本体やふた体の形状の簡素化を通じてコス
トの増加を抑制することができるという格別の効果があ
る。また、請求項2記載の発明によれば、伸縮性枠状封
止部材を極めて容易に取り外して密封容器の密封を解除
することができるという効果がある。さらに、請求項3
記載の発明によれば、容器本体リブとふた体リブとのす
きまを伸縮性枠状封止部材で被覆して適切に密封でき、
しかも、容器本体からふた体が簡単に外れるのを防止す
ることが可能になるという顕著な効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る密封容器の封止具の実施の形態を
示す全体斜視図である。
【図2】図1の断面説明図である。
【図3】本発明に係る密封容器の封止具の第2の実施の
形態を示す全体斜視図である。
【図4】図3の断面説明図である。
【図5】本発明に係る密封容器の封止具の第3の実施の
形態を示す全体斜視図である。
【図6】本発明に係る密封容器の封止具の第4の実施の
形態における封止バンドを示す斜視図である。
【図7】図6の封止具を密封容器に取り付けたときの断
面説明図である。
【図8】図6の封止具を取り除くときの全体斜視図であ
る。
【図9】従来の密封容器の封止具の第1の密封方法を示
す全体斜視図である。
【図10】従来の密封容器の封止具の第2の密封方法を
示す分解斜視図である。
【図11】図10の組立斜視図である。
【図12】従来の密封容器の封止具の第3の密封方法を
示す全体斜視図である。
【符号の説明】
1…容器本体 2・5…囲繞帯状段差部 3…容器本体リブ 4…ふた体 6…ふた体リブ 7…封止バンド (伸縮性枠状封止部材) 8…係止つめ 9…薄肉みぞ部 10…剥離片

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 容器本体とふた体の相互に嵌合する各開
    口周縁部の囲繞帯状段差部における外周部に定着される
    封止具であって、伸縮性枠状封止部材を上記囲繞帯状段
    差部の外周部に密着させて該容器本体と該ふた体との開
    き防止と嵌合部の密着性を維持するようにしたことを特
    徴とする密封容器の封止具。
  2. 【請求項2】 上記伸縮性枠状封止部材の内周側におけ
    る幅方向又は長手方向に薄肉みぞ部を形成し、この薄肉
    みぞ部に区画された部分を剥離可能な剥離片とした請求
    項1記載の密封容器の封止具。
  3. 【請求項3】 上記伸縮性枠状封止部材の幅方向の両端
    部に係止つめをそれぞれ形成した請求項1又は2記載の
    密封容器の封止具。
JP7300449A 1995-10-26 1995-10-26 密封容器の封止具 Pending JPH09118350A (ja)

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