KR101257950B1 - 밀봉부재, 및 이것을 사용한 기판수납용기 - Google Patents

Abstract

개구단부를 갖고 기판을 수납하는 용기본체 (20a) 와, 덮개체 (20b) 로 이루어지는 기판수납용기 (20) 의 상기 개구단부와 상기 덮개체 사이에 개재하는 밀봉부재 (10) 로서, 상기 밀봉부재가 제 1 재료로 형성되는 기체부분 (11) 과, 제 2 재료로 형성되어 상기 기체부분의 적어도 일부를 덮는 피복부분 (12) 으로 이루어지고, 상기 피복부분은 상기 용기본체 또는 덮개체의 일방에 접촉하여 밀봉을 형성하는 밀봉형성부를 갖고 있는 것이다.

Description

밀봉부재, 및 이것을 사용한 기판수납용기{SEAL MEMBER, AND SUBSTRATE STORAGE CONTAINER USING THE SEAL MEMBER}

본 발명은 반도체 웨이퍼나 마스크 유리판 등의 기판을 수납하는 기판수납용기의 개구단부와, 개구단부를 폐쇄하는 덮개체 사이에 개재하는 밀봉부재, 및 이것을 사용한 기판수납용기에 관한 것이다.

종래, 기판수납용기의 개구부를 덮개체로 밀봉상태로 폐쇄할 때에 사용되는 밀봉부재는 폴리올레핀계, 폴리에스테르계 등의 각종 열가소성 엘라스토머, 또는 불소고무, EPDM (에틸렌-프로필렌-디엔 3원 공중합체 배합물) 등의 각종 고무재료를 사용하고, 성형금형을 사용하여 엔드리스형상으로 형성하였다. 이렇게 하여 얻어지는 기판수납용기용 밀봉부재는 수납하는 기판을 오염시키지 않도록 세정된 후에 사용되었다.

종래의 밀봉부재는 용기본체의 개구부 둘레 가장자리이나 덮개체의 개구 둘레 가장자리부에 홈부나 볼록부로서 형성되는 끼워맞춤부와, 밀봉부재에 볼록부 또는 홈부로서 형성되는 걸어맞춤부분이 끼워맞춰져 사용되었다. 또한 이러한 밀봉부재의 끼워맞춤 작업은 사람의 손에 의해 행해지고 있었다.

종래의 밀봉부재는 전체가 상기한 바와 같은 탄성체인 열가소성 엘라스토머 등으로 형성된다. 그래서 성형조건 등에 따라 변형되기 쉽고, 치수편차도 컸었다. 특히 성형후에 금형에 달라붙기 쉬워, 금형에서 이형(離型)시킬 때에 무리하게 금형에서 잡아떼면 더욱 둘레길이에 편차가 생기고, 또한 성형후의 보관시에 확실하게 형상을 유지하기가 어려우며, 제품끼리의 겹침으로 인한 냉각의 불균형이나 가중(加重)의 차이에 따라서도 쉽게 변형되기 쉬운 등 치수안정성이 부족하였다.

상기와 같이, 밀봉부재는 탄력성이 있고 강성이 없는 재질이 사용되고 있고, 또한 덮개체나 용기본체로의 걸어맞춤부를 형성하는 요철형상을 형성해야만 하므로, 더욱 밀봉부재는 성형금형에 달라붙기 쉬워 금형으로부터의 빼냄을 자동화하기 어려워 수동으로 빼낼 수밖에 없었다.

이상과 같이 하여 얻어지는 밀봉부재는 상기한 바와 같이 보관시에도 쉽게 변형되므로, 취급할 때에도 변형되지 않도록 세심한 주의가 필요하여 보관시 또는 반송시의 취급이 번거로웠다.

또한 기판수납용기에 사용되는 밀봉부재는 사용전에 계면활성제 등의 세정액, 순수, 초순수 등의 헹굼수를 사용하여 세정되고, 밀봉부재 표면의 파티클 등의 오염원을 제거한 후에 사용되었었다. 이러한 세정에 있어서는 생산효율을 높이기 위해 복수의 밀봉부재가 한데 모아져 처리되고 있는데, 종래의 탄성을 갖는 연성재료로 형성된 밀봉부재는 임의로 형상이 변화되기 쉬워 안정적이지 못하므로, 그대로 세정하면 표면의 일부가 비틀리거나 포개져 충분히 세정되지 않는 경우가 있었다.

따라서, 세정용 지지부품으로서 형성되는 틀체에 밀봉부재를 약간 장력이 가해지도록 지지시킨 후 세정하는 방법이 있었으나, 이러한 약간의 장력이나 세정시에 가해지는 온도가 밀봉부재의 치수를 더욱 불안정하게 하였다.

또한, 기판수납용기의 용기본체나 덮개체에 밀봉부재를 부착하여 사용할 때에는 밀봉부재의 걸어맞춤부 전 둘레가 확실히 끼워넣어져야만 하기 때문에 부착작업이 매우 번잡하였다. 특히 최근 주류를 이루고 있는 직경 200㎜ 이상의 웨이퍼 등의 대구경 기판을 수납하는 기판수납용기는 개구부의 둘레길이도 당연히 커져 밀봉부재의 부착작업이 매우 번잡한 작업이었다. 그러나, 기판수납용기의 청정도를 유지하기 위해서는 가급적 작업원의 개재를 막을 필요가 있어 밀봉부재를 자동기로 취급하는 것이 바람직하였다.

또한 밀봉부재를 용기본체 또는 덮개체의 소정의 위치에 부착할 때에 밀봉부재가 한군데라도 확실히 끼워넣어져 있지 않으면 밀봉불량이 되거나, 덮개체를 제거할 때에, 밀봉부재의 걸림부의 일부가 끼워맞춤부로부터 빠져 부분적으로 말려올라가 다음에 덮개체를 걸 수 없거나, 밀봉부재가 말림 등으로 인해 부분적으로 강하게 압축되면, 용기부분과 밀봉부재의 스침으로 인해 파티클이 발생하여 수납하는 기판을 오염시킬 가능성이 있었다.

특히 최근 이러한 기판수납용기의 덮개체의 탈부착은 공장내의 청정도를 높이기 위해, 종래의 인간에 의한 작업 대신에 자동기로 실시하고 있다. 따라서, 밀봉부재의 둘레길이의 편차나 변형, 부착시의 끼워맞춤 불충분 등이 있으면 밀봉부재의 위치어긋남을 알아차리지 못하고 밀봉부재를 끼워넣거나 덮개를 닫을 때에 부하가 가하지기 때문에 덮개체 개폐작업이 중단되는 트러블이 발생하여 생산효율을 현저히 저하시킨다는 문제가 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로 성형시의 치수편차가 작고, 또한 이형성이 양호하며 그 후의 세정이나 보관시의 취급 또는 기판수납용기로의 부착이 쉬워 자동화가 가능하고, 취급중에 오염되는 경우가 적으며, 기판수납용기에 강고하게 부착함으로써, 사용중에 걸림부분으로부터 위치가 어긋나서 말리는 경우가 없는 밀봉부재 및 그것을 사용한 기판수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

발명의 개시

본 발명은 개구단부를 갖고 기판을 수납하는 용기본체와, 덮개체로 이루어지는 기판수납용기의 상기 개구단부와 상기 덮개체 사이에 개재하는 밀봉부재로서, 상기 밀봉부재가 제 1 재료로 형성되는 기체부분과, 제 2 재료로 형성되어 상기 기체부분의 적어도 일부를 덮는 피복부분으로 이루어지고, 상기 피복부분은 상기 용기본체 또는 덮개체의 일방에 접촉하여 밀봉을 형성하는 밀봉형성부를 갖고 있는 것이다. 또한 상기 제 1 재료가 열가소성 수지이고, 상기 제 2 재료가 열가소성 엘라스토머인 것이 바람직하다. 상기 피복부분이 상기 기체부분의 전역을 덮는 피복부분인 것이어도 되고, 상기 기체부분의 일부분이 상기 피복부분에서 돌출되는 탭부를 형성하고 있는 것이어도 된다. 상기 피복부분이 상기 기체부분의 외주측면 또는 내주측면에 형성되고, 상기 피복부분의 일단에는 만곡한 돌출부가 상기 밀봉형성부로서 형성되고, 타단부에는 상기 용기본체 또는 덮개체의 타방 에 걸리는 걸림부가 형성되어 있는 것이어도 된다.

또한, 본 발명은 개구단부를 갖고 기판을 수납하는 용기본체와, 덮개체로 이루어지는 기판수납용기로서, 상기 개구단부와 상기 덮개체 사이에는 밀봉부재가 개재하고, 상기 밀봉부재가 제 1 재료로 형성되는 기체부분과, 제 2 재료로 형성되어 상기 기체부분의 적어도 일부를 덮는 피복부분으로 이루어지고, 상기 피복부분은 일단에 상기 용기본체 또는 덮개체의 일방에 접촉하여 밀봉을 형성하는 밀봉형성부를 갖고, 타단에는 상기 용기본체 또는 덮개체의 타방에 걸리는 걸림부가 형성되고, 상기 용기본체 또는 덮개체의 타방에는 상기 걸림부를 지지하는 끼워맞춤부가 형성되어 있는 것이다.

또 상기 기체부분은 밀봉부재의 형상을 유지하기 위해 경질이며 강성이 있는 제 1 재료로 형성되는 것이고, 피복부분은 탄력성이 있는 제 2 재료로 형성되어 개구단부 또는 덮개체와 접촉하여 밀봉을 형성하여 스침으로 인한 파티클의 발생을 방지하는 것이다. 기체부분은 피복부분에 의해 표면의 거의 전역이 덮이는 심재부분으로 할 수도 있고, 밀봉부재의 틀체로서 표면에 노출되고, 일부가 피복부분에 의해 덮이는 것으로 할 수도 있다.

도 1은 본 발명에 의한 밀봉부재의 제 1 실시형태를 나타내는 평면도이고,

도 2는 도 1에 나타내는 밀봉부재의 A-A선 단면도이고,

도 3은 도 2의 밀봉부재의 사용상태를 나타내는 단면도이고,

도 4는 본 발명의 실시형태의 밀봉부재가 사용되는 기판수납용기의 분해사시 도이고,

도 5는 본 발명에 의한 밀봉부재의 제 2 실시형태를 나타내는 평면도이고,

도 6은 도 5에 나타내는 밀봉부재의 B-B선 단면도이고,

도 7은 도 5에 나타내는 밀봉부재의 사용상태를 나타내는 단면도이고,

도 8은 본 발명에 의한 밀봉부재의 제 2 실시형태의 변형예를 나타내는 평면도이고,

도 9는 본 발명의 제 2 실시형태의 밀봉부재의 사용상태의 다른 예를 나타내는 단면도이고,

도 10은 본 발명의 제3 실시형태의 밀봉부재의 사시도이고,

도 11은 도 10에 나타내는 C-C선 단면도이고,

도 12는 도 10에 나타내는 밀봉부재의 사용상태를 나타내는 단면도이다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

본 발명에 의한 밀봉부재의 실시형태 및 이 밀봉부재를 사용한 기판수납용기의 실시형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 내지 도 3 에 나타내는 바와 같이 본 발명의 제 1 실시형태의 밀봉부재 (10) 는 밀봉부재 (10) 의 심재가 되는 기체부분 (11) 을 제 1 재료인 열가소성 수지로 형성하고, 이것을 피복하도록 제 2 재료인 열가소성 엘라스토머재로 이루어지는 피복부분 (12) 을 형성하여 일체화하고, 전체형상이 코너부가 R성형된 직사각형상을 한 엔드리스형으로 형성되어 있다.

밀봉부재 (10) 는 도 4 에 나타내는 기판수납용기 (20) 에 사용된다. 기 판수납용기 (20) 는 정면에 개구를 갖는 용기본체 (20a) 와 개구부를 폐쇄하는 덮개체 (20b) 로 구성된다. 용기본체 (20a) 의 상대하는 내측벽에는 수평상태로 기판을 지지하기 위해, 수직방향으로 일정간격으로 형성된 지지선반 (21) 이 마주보도록 안쪽으로 돌출되어 있다. 용기본체 (20a) 에는 장치로의 위치결정을 실시하는 보톰플레이트 (22) 가 저부에 부착되고, 또한 수동반송용 핸들부재 (23) 가 측부에, 천정부에는 자동반송용 로보틱 플랜지 (24) 가 각각 필요에 따라 부착된다. 또한 용기본체 (20a) 의 개구부 둘레 가장자리에는 덮개체 (20b) 를 걸기 위한 덮개체 걸어맞춤부 (25) 가 적어도 한쌍 형성되어 있다.

덮개체 (20b) 의 측벽에는 전 둘레에 걸쳐 개구부를 밀봉상태로 폐쇄하기 위해, 엔드리스형상으로 형성된 밀봉부재 (10) 가 부착되고, 덮개체 (20) 의 용기본체 (20a) 개구부와 마주보는 내표면에는 기판의 각각과 맞닿는 V 홈을 갖는 한쌍의 리테이너 (26) 가 용기본체 (20a) 의 내부공간을 향해 돌출되어 용기본체 (20a) 에 수납되는 기판의 단부와 맞닿도록 부착되어 있다. 또한, 덮개체 (20b) 의 측벽에는 용기본체 (20a) 에 덮개체 (20b) 를 걸기 위한 한쌍의 걸림부재 (27) 가 부착되어 있다.

용기본체 (20a) 와 덮개체 (20b) 는 폴리카보네이트 수지나 폴리부틸렌테레프탈레이트 수지 등의 열가소성 수지를 이용하여 투명체 또는 불투명체로 형성된다. 또한 상기 수지는 대전방지성이나 도전성의 첨가물을 첨가한 대전방지성이나 도통성의 열가소성 수지일 수도 있다.

또 밀봉부재 (10) 의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니며, 용기본체 (20a) 의 개구부에 맞춘 형상이면 되고, 전체형상이 원형이나 타원형일 수도 있다. 밀봉부재 (10) 의 단면형상은 예컨대 도 2 에 나타내는 바와 같이 역 T 자 형상으로 형성되고, 일단은 선단이 반구형상으로 형성되어 용기본체의 개구단부와 탄성변형할 수 있게 접촉하는 밀봉형성부가 되고, 타단은 덮개체 (20b) 에 밀봉부재를 부착할 때에 걸림부가 되는 걸림홈 (13) 이 전 둘레에 걸쳐 형성되어 있다. 한편, 덮개체 (20b) 의 측벽에는 밀봉부재와의 끼워맞춤부가 되는 상기 걸림홈 (13) 과 끼워맞춰지는 걸림볼록부 (28) 가 형성되어 있다. 밀봉부재 (10) 의 부착은 덮개체 (20b) 측면에 형성된 밀봉부재수납홈 (16) 에 밀봉부재 (10) 를 밀어넣고, 상기한 걸림홈 (13) 과 걸림볼록부 (28) 를 끼워맞춤으로써 실시된다. 또 밀봉부재 (10) 의 부착은 덮개체 (20b) 에 한정되지 않고, 용기본체 (20a) 의 개구부 둘레 가장자리에 부착되어 밀봉부재 (10) 의 선단부가 덮개체 (20b) 와 맞닿도록 해도 된다. 걸림부는 상기한 홈형상 또는 구멍형상 이외에도 돌기일 수도 있고, 끼워맞춤부는 상기 걸림부와 끼워맞출 수 있는 형상이면 되고, 상기한 볼록부에 한정되지 않고 홈형상이나 구멍부일 수도 있다. 밀봉부재 (10) 의 단면형상은 도 2 에 나타낸 역 T 자 형상 이외에, h 형상 또는 I 형상 등일 수도 있다. 또한 기체부분 (11) 은 피복부분 (12) 의 압축성능이 저해되지 않는 범위에서, 피복부분 (12) 의 전체형상을 거의 축소한 형상으로 형성된다.

기체부분 (11) 은 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리스티렌 등의 열가소성 수지 또는 페놀 수지 또는 에폭시 수지 등의 열경화성 수지, 철, 스테인리스강, 알루미늄 등의 금속재료, 세라믹 등에서 선택되는 강성이 있는 제 1 재료로 형성된다. 피복부분 (12) 은 폴리올레핀계, 폴리에스테르계, 폴리스티렌계, 폴리우레탄계, 불소계 고무 등의 각종 열가소성 엘라스토머 또는 EPDM, NBR, IR 등의 고무재료 등에서 선택되는 유연하고 탄력성이 있는 제 2 재료로 형성할 수 있다. 이러한 다른 2종류의 재료를 일체화할 때의 생산성을 고려하면 제 1 재료로서는 열가소성 수지를 선택하고, 제 2 재료로서는 열가소성 엘라스토머를 선택하는 것이 바람직하다.

또 바람직하게는 다른 2개의 재료의 상용성, 접착성 등을 고려하여 밀봉부재 (10) 로서 폴리올레핀계의 열가소성 엘라스토머 (소프트성분이 EPDM (에틸렌-프로필렌-디엔 3원 공중합체) 이고, 하드성분이 폴리프로필렌이고, 이들을 혼합하여 일부 또는 전부를 가교시킨 것) 를 피복부분 (12) 에 선택하였을 때에는 기체부분 (11) 의 원재료로서 폴리프로필렌이나 폴리에틸렌을 선택하고, 피복부분 (12) 에 폴리에스테르계 열가소성 엘라스토머 (소프트성분이 지방족 폴리에테르의 코폴리머 또는 지방족 폴리에스테르이고, 하드성분이 방향족 폴리에스테르 수지로 이루어짐) 를 선택한 경우에는 기체성분 (11) 으로서 폴리카보네이트 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트를 선택하는 것이 좋다.

밀봉부재 (10) 는 기체부분 (11) 을 상기한 바와 같은 열가소성 수지를 재료로 사용하여 가장 먼저 형성하고, 이어서 얻어지는 기체부분 (11) 을 피복부분 (12) 성형용 금형에 삽입 지지하고, 나머지의 공간부에 열가소성 엘라스토머를 충전하여 기체부분 (11) 과 일체화함으로써 얻어진다.

이 때, 기체부분 (11) 이 금형내에서 움직이지 않도록 종래부터 알려져 있는 2색 성형이나 인서트 성형의 수법에 따라, 고정 또는 가동의 지지핀 등을 이용하여 기체부분 (11) 을 금형의 캐버티내에서 지지시켜 두면 된다. 특히 수지압으로 변위가능한 가동핀을 사용하면 얻어지는 피복부분 (12) 의 표면에 지지핀의 흔적인 불필요한 오목부가 형성되지 않아 바람직하다.

또 밀봉부재 (10) 에 있어서의 피복부분 (12) 은 상기 인서트방법에 의한 성형에 한정되지 않고, 기체부분 (10) 의 형상을 연구하는 것에 따라서는 2색 성형기를 사용하여 연속성형할 수도 있다.

이 같이 형성되는 밀봉부재 (10) 는 전 둘레에 걸쳐 기체부분 (11) 을 갖기 때문에, 강성이 있고, 형상유지력이 있으므로, 탄성재로만 이루어지는 밀봉부재에 비해 쉽게 변형되지 않고, 취급도 쉽고, 세정, 보관 또는 밀봉부재 부착 등에 관해 자동기에서의 취급도 가능해진다. 기판수납용기 (20) 로의 부착시에는 기체부분 (11) 을 가지므로, 힘의 전달이 양호하여 전 둘레에 걸쳐 치밀하게 밀어 넣지 않아도 일정간격을 두고 밀어 넣음으로써 쉽게 걸림부분에 걸어맞출 수 있게 된다. 또한 밀봉부재 (10) 는 기체부분 (11) 을 갖고 변형되기 어려우므로 걸림부의 걸림력도 커지고, 걸림부로부터 잘 빠지지 않으므로 사용중에 위치가 어긋나는 것이 방지된다. 피복부분 (12) 에서의 기판수납용기 (20) 와의 사이에서 밀봉을 형성하는 돌기부분의 선단은 기체부분 (11) 을 없애 충분한 유연성이 얻어지도록 해 두면 된다.

또 밀봉부재 (10) 와 같은 기체부분과 피복부분을 갖는 밀봉부재로서, 상기 기체부분의 전역이 상기 피복부분으로 덮여 있는 것이어도 된다.

이어서, 본 발명의 제 2 실시형태의 밀봉부재 (30) 를 도 5 내지 도 9 에 나타낸다. 밀봉부재 (30) 는 상기 제 1 재료, 예컨대 열가소성 수지로 형성된 기체부분 (31) 과 상기 제 2 재료, 예컨대 열가소성 엘라스토머로 형성된 피복부분 (32) 을 갖고, 피복부분 (32) 의 일부에서 외부로 돌출되는 기체부분 (31) 의 탭부 (34) 가 1개 또는 복수개 형성된 것이다.

밀봉부재 (30) 에 있어서, 강성이 있는 열가소성 수지로 형성된 기체부분 (31) 과 일체가 되는 탭부 (34) 를 형성함으로써, 성형시의 빼냄이나 그 후의 보관, 나아가 기판수납용기 (20) 로의 부착 등의 핸들링에, 파지하거나 또는 흡착하여 이용할 수 있다. 특히 기판수납용기 (20) 로의 부착시에 도 5 에 나타내는 바와 같이 코너부나 4변의 중간부 등에 탭부 (34) 를 복수개 형성해 두고, 탭부 (34) 를 밀어 넣음으로써 강성이 있는 기체부분 (31) 을 통해 힘이 다른 부분에도 전해지므로, 밀봉부재 (30) 의 전역을 쉽게 걸어맞춤 지지시킬 수 있다.

이 경우, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 덮개체 (20b) 측에 탭부 (34) 를 지지하는 걸림수단 (35) 을 형성하거나, 또는 도 9 에 나타내는 본 발명의 제 2 실시형태의 밀봉부재 (30) 의 사용상태를 나타내는 다른 예와 같이, 탭부 (44) 에 관통구멍이나 노치를 형성하여 이들과 끼워맞춰 지지하는 분할핀 등의 걸림수단 (45) 을 덮개체 (20b) 측에 형성해 둠으로써 밀봉부재 (30,40) 의 부상을 확실히 방지할 수 있다. 이 같이 탭부 (34,44) 를 지지하는 경우, 예컨대 도 5 에 나타내는 바와 같이, 탭부 (34,44) 를 밀봉부재 (30,40) 의 일방향 (도 5 의 경우, 내측방향만) 에 형성하는 것이 아니라, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 내측방향과 외측방향 으로 번갈아 돌출시켜 이들을 지지하는 것이 바람직하다. 이 경우, 도 7 에 나타내는 바와 같은 밀봉부재 수납홈 (36) 을 없앨 수도 있어 밀봉부재 (30,40) 의 부착 구조를 간소화할 수 있다. 또 도면에서 부호 33, 43은 걸림홈이다.

또 제 2 실시형태의 밀봉부재 (40) 의 기체부분 (44) 과 피복부분 (42) 은 각각 상기 제 1 재료와 제 2 재료로 형성되어 있다.

이어서, 본 발명에 의한 밀봉부재의 제 3 실시형태에 대해 설명한다. 도 10 내지 도 12 에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 제 3 실시형태의 밀봉부재 (50) 는 상기 제 1 재료로 형성되는 기체부분 (51) 과 상기 제 2 재료로 형성되는 피복부분 (52) 으로 구성되어 있다.

기체부분 (51) 은 상기 실시형태의 밀봉부재 (10) 의 기체부분 (11) 에 사용된 재료와 동일한 상기 제 1 재료, 예컨대 열가소성 수지에 의해 직사각형을 한 틀체로서 형성되고, 기체부분 (51) 의 내주측면에는 덮개체 (60) 내면에 형성되는 끼워맞춤부 (61) 와 끼워맞출 수 있는 걸림돌기 (53) 가 형성되어 있다.

피복부분 (52) 은 상기 실시형태의 밀봉부재 (10) 의 피복부분 (12) 에 사용된 재료와 동일한 상기 제 2 재료, 예컨대 열가소성 엘라스토머에 의해 형성되고, 기체부분 (51) 의 내주에 형성된 걸림돌기 (53) 를 포함하는 기체부분 (51) 의 일부를 피복함과 동시에, 기체부분 (51) 의 내주측면에 고정 또는 고착되어 있다.

또 걸림돌기 (53) 가 끼워맞춤부 (61) 에 끼워맞춰지는 걸림부분에서와 같이, 기체부분 (51) 과 덮개체 (60) 의 기타 부분에서도 기체부분 (51) 과 덮개체 (60) 가 직접 접촉하지 않도록 피복부분 (52) 과 동일한 것으로 피복되어 있는 것 이 바람직하다. 이 같이 피복함으로써 기체부분 (51) 과 덮개체 (60) 와 같은 상기 열가소성 수지로 형성되는 부분끼리의 접촉을 방지할 수 있으므로, 열가소성 수지끼리의 스침, 마모에 의해 발생되는 마모분 등으로 인해 기판수납용기에 수납되는 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있어 바람직하다.

피복부분 (52) 은 도 11 에 나타내는 바와 같이, 기체부분 (51) 에 고정되는 기부 (52a) 와 도면중에서 기부 (52a) 에서 밑으로 향해 뻗는 돌출부 (52b) 로 이루어진다. 돌출부 (52b) 는 도면에서 하측의 선단부분을 향해 서서히 가늘어지도록 형성된다. 또한 돌출부 (52b) 는 만곡형상 또는 직선형상으로 비스듬하게 뻗도록 형성되어 있고, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 용기본체 (65) 의 개구부에 적절한 힘으로 압접하여 용기본체 (65) 의 개구부를 기밀하게 밀봉한다.

돌출부 (52b) 는 이 밖에도 다양한 형상으로 할 수 있으며, 도면에서 기부 (52a) 의 연장선상에 선단에 오도록 I 자형으로 해도 되고, 용기본체 (65) 의 개구부의 측벽 (66) 에 접촉하도록 L 자형으로 형성해도 된다. 또한 피복부분 (52) 을 형성하는 위치는 기체부분 (51) 의 내주에 한정되지 않고, 필요에 따라 외주나 그 밖의 부분에 형성해도 된다.

본 발명에 따르면 강성이 있어 변형되기 어려우므로, 성형후의 취급이나 기판수납용기로의 장착이 쉽고, 또한 사용중에 밀봉부재가 부상하는 일이 없어 위치어긋남을 방지할 수 있고, 자동장착도 가능한 기판수납용기의 밀봉부재 및 이 밀봉부재를 사용한 기판수납용기로 이용할 수 있다.

Claims (6)

1. 개구단부를 갖고, 기판을 수납하는 용기본체와, 덮개체로 이루어지는 기판수납용기의 상기 개구단부와 상기 덮개체 사이에 개재하는 밀봉부재로서, 상기 밀봉부재는, 제 1 재료로 형성되는 기체부분과, 제 2 재료로 형성되어 상기 기체부분의 적어도 일부를 덮는 피복부분으로 이루어지고, 상기 제 1 재료가 열가소성 수지이고, 상기 제 2 재료가 열가소성 엘라스토머이고, 상기 피복부분은, 상기 기체부분에 고정되는 기부와, 상기 기부에서 직선 또는 만곡 형상으로 비스듬하게 연장되는 돌출부로 이루어지고,

   상기 기체부분의 외주측면 또는 내주측면에는 상기 덮개체의 내면에 형성되는 끼워맞춤부와 끼워맞출 수 있는 걸림돌기가 형성되고,

   상기 기체부분의 상기 걸림돌기를 상기 덮개체의 상기 끼워맞춤부에 끼워맞췄을 때 상기 밀봉부재는 상기 덮개체에 부착되고,

   상기 밀봉부재가 부착된 상기 덮개체로 상기 용기본체의 상기 개구단부를 폐쇄했을 때에, 상기 기체부분과 상기 덮개체가 직접적으로 접촉하지 않고, 상기 피복부분의 상기 돌출부가 상기 용기본체에 접촉함으로써, 상기 밀봉부재는 상기 용기본체와 상기 덮개체의 밀봉을 형성하는 것을 특징으로 하는 밀봉부재.
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6. 개구단부를 갖고, 기판을 수납하는 용기본체와, 덮개체로 이루어지는 기판수납용기로서, 상기 개구단부와 상기 덮개체 사이에는 밀봉부재가 개재하고, 상기 밀봉부재는, 제 1 재료로 형성되는 기체부분과, 제 2 재료로 형성되어 상기 기체부분의 적어도 일부를 덮는 피복부분으로 이루어지고, 상기 제 1 재료가 열가소성 수지이고, 상기 제 2 재료가 열가소성 엘라스토머이고, 상기 피복부분은, 상기 기체부분에 고정되는 기부와, 상기 기부에서 직선 또는 만곡 형상으로 비스듬하게 연장되는 돌출부로 이루어지고,

   상기 덮개체의 내면에는 끼워맞춤부가 형성되고, 상기 기체부분의 외주측면 또는 내주측면에는 상기 덮개체의 상기 끼워맞춤부와 끼워맞출 수 있는 걸림돌기가 형성되고,

   상기 기체부분의 상기 걸림돌기를 상기 덮개체의 상기 끼워맞춤부에 끼워맞췄을 때 상기 밀봉부재는 상기 덮개체에 부착되고,

   상기 밀봉부재가 부착된 상기 덮개체로 상기 용기본체의 상기 개구단부를 폐쇄했을 때에, 상기 기체부분과 상기 덮개체가 직접적으로 접촉하지 않고, 상기 피복부분의 상기 돌출부가 상기 용기본체에 접촉함으로써, 상기 밀봉부재는 상기 용기본체와 상기 덮개체의 밀봉을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.

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