JP2001002180A

JP2001002180A - 基板搬送コンテナ

Info

Publication number: JP2001002180A
Application number: JP17078999A
Authority: JP
Inventors: Koichiro Saga; 幸一郎嵯峨
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1999-06-17
Filing date: 1999-06-17
Publication date: 2001-01-09

Abstract

(57)【要約】【課題】酸素や水分その他の大気中の低分子の侵入を
防止できる基板輸送コンテナを提供する。【解決手段】一面側を開口させた箱状を成し外側に向
かって広がる段差形状に成形された開口縁１１を有する
コンテナ本体１と、コンテナ本体１の開口を塞ぐ状態で
コンテナ本体１に圧着される底蓋２とを備えた基板搬送
コンテナにおいて、底蓋２の周縁には、底蓋２によって
コンテナ本体１の開口を塞いだ状態で、コンテナ本体１
の開口縁１１の全周に亘って開口縁１１の異なる面に対
して押圧されるパッキン２３が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送コンテナ
に関し、特には、半導体ウエハや液晶基板等の電子基板
の搬送に用いるための密閉式の基板搬送コンテナに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶基板、磁気ディスク
等の電子基板を用いた電子機器の製造は、発塵のないク
リーンルーム内において行われている。一方、クリーン
ルーム間において電子基板を搬送する場合には、可搬式
で密閉可能な局所清浄化コンテナ（すなわち基板搬送コ
ンテナ）に、カセットに保持させた電子基板を収納した
状態で行う。これによって、クリーンルームの外であっ
ても、電子基板を大気中の塵埃に暴露させることなく電
子基板を搬送し、製造することができる。このような基
板搬送コンテナは、ＳＭＩＦ（Standard Mechanical In
terface ）ポッドという商品名（アシストテクノロジー
社）で市販されており、図６の断面図に示すような構造
となっている。

【０００３】この図に示す基板搬送コンテナは、一面側
を開口した箱状のコンテナ本体１００と、コンテナ本体
１００の開口を塞ぐ底蓋２００とで構成されている。コ
ンテナ本体１００は、その開口縁１０１が一回り大きく
広げられた段差形状に成形されており、広げられた開口
縁１０１の内側壁にラッチ用溝１０２が設けられてい
る。また、底蓋２００は、コンテナ本体１００の開口縁
１０１内に嵌合する大きさを有すると共に、ラッチ用溝
１０２に嵌入される状態で底蓋２００の側周から突出自
在のラッチ２０１と、このラッチ２０１の突出を操作す
るラッチ操作部２０２とを備えている。さらに、この底
蓋２００の周縁には、コンテナ本体１００を塞いだ状態
で、開口縁１０１の全周に亘って押圧されるパッキン２
０３が設けられている。このパッキン２０３は、底蓋２
００の周縁において、コンテナ本体１００側に向かう面
に設けたパッキン用溝２０４内に固定されている。

【０００４】図７は、このような基板搬送コンテナの開
閉動作を説明するための要部断面図である。先ず、図７
（ａ）に示すように、ラッチ操作部（２０２）の操作に
よってラッチ２０１を底蓋２００内に収納させた状態
で、底蓋２００をコンテナ本体１００の開口縁１０１内
に嵌合させる。その後、図７（ｂ）に示すように、ラッ
チ操作部（２０２）の操作によって、ラッチ２０１を底
蓋２００の側周から突出させてラッチ用溝１０２内に嵌
入させる。さらに、図２（ｃ）に示すように、ラッチ操
作部（２０２）の操作によって、ラッチ用溝１０２内に
嵌入させたラッチ２０１の先端をコンテナ本体１００と
反対側に向けて傾ける。これによって、パッキン２０３
を挟んで底蓋２００をコンテナ本体１００に対して圧着
させ、コンテナ本体１００の内部を密閉する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
構成の基板搬送コンテナは、コンテナ本体の内部への大
気中の塵埃の侵入を防止することを目的としたものであ
り、酸素、水分、揮発性の有機物やその他の低分子等の
侵入を防止することはできない。このため、例えば半導
体ウエハのように、高い清浄度が要求される電子基板を
搬送する場合には、カセット４に保持させた電子基板Ｗ
をコンテナ本体１００の内部に収納した後、コンテナ本
体１００の内部を窒素ガス（Ｎ₂）等の不活性ガスで置
換して底蓋２００を閉じる。そして、コンテナ本体１０
０の内部を不活性ガス雰囲気にして密閉した状態で、こ
の基板搬送コンテナに収納された電子基板Ｗを搬送す
る。ここで、不活性ガスによるコンテナ本体２内部の置
換は、底蓋３を開閉する都度行われる。

【０００６】しかし、このようにコンテナ本体２の内部
を不活性ガスで置換した場合であっても、コンテナ本体
２内部への低分子の侵入を防止することはできないた
め、基板搬送コンテナ内部における水分や酸素やその他
の低分子の濃度は、基板搬送コンテナの放置時間の増加
に伴って徐々に上昇する。したがって、これらの低分子
による電子基板の汚染を防止することはできず、例え
ば、基板搬送コンテナ内に半導体ウエハを収納して放置
した場合、半導体ウエハの表面に自然酸化膜が成長した
り、有機物やホウ素、リン等の分子吸着汚染が起こる。
これは、この半導体ウエハを用いた半導体装置の特性に
影響を及ぼし、半導体装置の歩留りを低下させる要因に
なる。

【０００７】そこで本発明は、酸素や水分やその他の低
分子の侵入による電子基板の汚染を防止した状態で、内
部に電子基板を長時間保管できる基板搬送コンテナを提
供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るための本発明の基板搬送コンテナは、一面側を開口さ
せた箱状を成し外側に向かって広がる段差形状に成形さ
れた開口縁を有するコンテナ本体と、当該コンテナ本体
の開口を塞ぐ状態で当該コンテナ本体に圧着される底蓋
とを備えた基板搬送コンテナにおいて、前記底蓋の周縁
には、当該底蓋によって前記コンテナ本体の開口を塞い
だ状態で、前記コンテナ本体の開口縁の全周に亘って当
該開口縁の異なる面に対して押圧されるパッキンが設け
られていることを特徴としている。このパッキンは、底
蓋の周縁の角部に沿って折り曲げられたものであっても
良い。また、開口縁の全周に亘って押圧される複数のパ
ッキン間に、吸着剤を備えたものであっても良い。

【０００９】このような構成の基板搬送コンテナでは、
コンテナ本体の開口を底蓋で塞いだ状態においては、段
差形状に成形されたコンテナ本体の開口縁の異なる２面
に対して底蓋の周縁に設けられたパッキンが押圧され
る。このため、底蓋の周縁とコンテナ本体の開口縁との
間には、開口縁の全周に亘って２重にパッキンが挟み込
まれることになり、内部の密閉性が向上する。特に、底
蓋の周縁の角部に沿ってパッキンが折り曲げられている
場合には、開口縁の異なる２面に対して連続的にパッキ
ンが押圧されることになるため、内部の密閉性がさらに
向上する。また、開口縁の全周に亘って押圧される複数
のパッキンの間に吸着剤を設けた場合には、外側のパッ
キンから侵入した外気はこの吸着剤に吸着され、内側の
パッキンよりもコンテナ本体の内部への外気の侵入が防
止される。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の電子基板搬送コン
テナの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

【００１１】（第１実施形態）図１（ａ）及び図１
（ｂ）は、第１実施形態の基板搬送コンテナにおける密
閉部分の要部拡大断面図であり、図２は、基板搬送コン
テナの全体構成図である。これらの図に示す基板搬送コ
ンテナは、一面側を開口した箱状のコンテナ本体１と、
コンテナ本体１の開口を塞ぐ底蓋２とで構成されてい
る。

【００１２】コンテナ本体１は、その開口縁１１が２段
階に大きく広げられた段差形状に成形されており、最も
大きく広げられた開口縁１１部分の内側壁にラッチ用溝
１２が設けられている。図面においては、開口縁１１の
１段目（内側）の広がり幅が２段目（外側）の広がり幅
よりも大きくなっているが、段差形状の各部の大きさ
は、このような形状に限定されることはない。この開口
縁１１は、２段階の段差形状に成形されているため、異
なる方向に向かうかまたは段差を有する４つの内壁面を
備えていることになる。

【００１３】また、底蓋２は、コンテナ本体１の開口縁
１１内に嵌合する大きさを有すると共に、その周縁はコ
ンテナ本体１の開口縁１１の段差形状に嵌合する２段階
の段差形状に成形されている。この底蓋２には、コンテ
ナ本体１の開口縁１１内に底蓋２を嵌合させた状態にお
いて、コンテナ本体１のラッチ用溝１２に嵌入される状
態で底蓋２の側周から突出自在のラッチ２１と、このラ
ッチ２１の突出を操作するラッチ操作部２２（図２のみ
に図示）とを備えている。また、底蓋２の周縁には全周
に亘ってパッキン２３が設けられている。

【００１４】ラッチ操作部２２は、コンテナ本体１の開
口縁１１に底蓋２を嵌合させた状態で外側になる面の中
央に設けられており、このラッチ操作部２２を一方向に
回転させることで底蓋２の側周からラッチ２１が突出
し、さらに同一方向に回転させることでラッチ２１の先
端がラッチ操作部２２が設けられた面側に傾斜するよう
に構成されており、ラッチ２１が傾斜することによっ
て、底蓋２がコンテナ本体１に圧着されることになる
〔図１（ａ）参照〕。また、この状態から、ラッチ操作
部２２を他方向に回転させることによって、底蓋２の側
壁内にラッチ２１が収納され、コンテナ本体１への底蓋
２の圧着状態が解放されるように構成されている〔図１
（ｂ）参照〕。

【００１５】また、この底蓋２に設けられたパッキン２
３は、底蓋２の周縁における２段階の段差形状の角部を
連続して覆う状態で、すなわち底蓋２の周縁の角部に沿
って３回折り曲げられた形状で底蓋２の周縁部分に固定
されている。このパッキン２３は、高いガスバリア性を
有しかつ脱ガス性の小さいシリコーンゴムやフッ素系ゴ
ムで構成されている。また、パッキン２３の各部は、コ
ンテナ本体１の開口縁１１に底蓋２を嵌合させた状態
で、開口縁１１内への底蓋２の嵌合が強嵌合になる程度
に、底蓋２と開口縁１１との間に形成される各隙間の間
隔ｄ1 ，ｄ2 ，…よりも大きな厚みを有することとす
る。

【００１６】このように構成された基板搬送コンテナを
用いる場合、コンテナ本体１から底蓋２を外した状態
で、カセット４に保持させた電子基板Ｗをコンテナ本体
１の内部に収納した後、コンテナ本体１の内部を窒素ガ
ス（Ｎ₂）等の不活性ガスで置換して底蓋２を閉じる。
この際、先ず、図１（ｂ）に示すように、ラッチ操作部
２２の操作によってラッチ２１を底蓋２内に収納させた
状態で、底蓋２をコンテナ本体１の開口縁１１内に嵌合
させる。その後、図１（ａ）に示すように、ラッチ操作
部２２の操作によって、ラッチ２１を底蓋２の側周から
突出させてラッチ用溝１２内に嵌入させる。さらに、ラ
ッチ操作部（２２）の操作によって、ラッチ用溝１２内
に嵌入させたラッチ２１の先端をコンテナ本体１と反対
側に向けて傾ける。これによって、ラッチ２１の先端で
コンテナ本体１を外側に向けて押圧し、コンテナ本体１
の開口縁１１内にパッキン２３を介して底蓋２を確実に
押し込むと共に、パッキン２３を介して底蓋２をコンテ
ナ本体１に圧着させる。

【００１７】以上の操作によって、ラッチ２１の先端で
コンテナ本体１を外側に向けて押圧すると共に底蓋２を
コンテナ本体１側に押圧し、パッキン２３を介して底蓋
２をコンテナ本体１の開口縁１１内に押し込んで、底蓋
２をコンテナ本体１に圧着させる。これによって、コン
テナ本体１の開口が塞がれ、その内部が密閉状態にな
る。

【００１８】このような構成の基板搬送コンテナでは、
コンテナ本体１の開口を底蓋２で塞いだ状態において
は、段差形状に成形されたコンテナ本体１の開口縁１１
の異なる４つの内壁面に対して、底蓋２の周縁に設けら
れたパッキン２３が連続的に押圧される。このため、底
蓋２の周縁とコンテナ本体１の開口縁１１との間には、
開口縁１１の全周に亘って四重のパッキンが連続的に挟
み込まれることになり、内部の密閉性が向上する。した
がって、基板搬送コンテナの内部への水分や酸素、その
他の大気中の低分子が侵入することが防止され、内部に
収納された電子基板Ｗの清浄度を確保することができ
る。この結果、例えば、電子基板Ｗとして収納された半
導体ウエハの表面に自然酸化膜が成長したり、半導体ウ
エハの表面が低分子の吸着によって汚染されることを防
止でき、この半導体ウエハを用いた半導体装置の歩留り
の向上を図ることが可能になる。

【００１９】図３は、このような密閉状態にある基板搬
送コンテナ内部の酸素濃度の経時変化を示すグラフであ
る。ここでは、第１実施形態の基板搬送コンテナ及び従
来の基板搬送コンテナに関し、コンテナ本体内における
酸素濃度を約１０ｐｐｍにまで低減して密閉した後の酸
素濃度の経時変化を測定した。このグラフに示すよう
に、従来の基板搬送コンテナにおける酸素濃度と比較
して、第１実施形態の基板搬送コンテナにおける酸素濃
度の経時的な上昇が低く抑えられ、コンテナ内部の密
閉性が向上し、酸素の侵入を防止する効果が得られたこ
とが確認された。

【００２０】また、図４は、同様の密閉状態にある基板
搬送コンテナ内部の水分濃度の経時変化を示すグラフで
ある。ここでは、第１実施形態の基板搬送コンテナ及び
従来の基板搬送コンテナに関し、コンテナ本体内におけ
る水分濃度を約１０ｐｐｍにまで低減して密閉した後の
水分濃度の経時変化を測定した。このグラフに示すよう
に、従来の基板搬送コンテナにおける水分濃度と比較
して、第１実施形態の基板搬送コンテナにおける水分濃
度の経時的な上昇が低く抑えられ、コンテナ内部の密
閉性が向上し、水分の侵入を防止する効果が得られたこ
とが確認された。

【００２１】尚、第１実施形態においては、コンテナ本
体１の開口縁１１の４つの異なる内壁面に対して連続的
に押圧されるように、底蓋２の周縁に３回折り曲げたパ
ッキン２３を配置した場合を説明した。しかし、このパ
ッキン２３は、段差形状の開口縁１１の少なくとも２つ
の異なる面に押圧されれば、異なる面に対して連続して
押圧されなくても良い。このような場合であっても、底
蓋２の周縁においてパッキンが一重に設けられた従来の
基板搬送コンテナよりも、密閉性を向上させることが可
能である。

【００２２】（第２実施形態）図５（ａ）及び図５
（ｂ）は、第２実施形態の基板搬送コンテナにおける密
閉部分の要部拡大断面図である。これらの図に示す基板
搬送コンテナと、第１実施形態の基板搬送コンテナとの
異なるところは、底蓋２に設けられたパッキン２５ａ，
２５ｂと吸着剤２６とにあり、その他の構成は第１実施
形態の基板搬送コンテナと同様であることとする。

【００２３】これらの図に示す基板搬送コンテナは、コ
ンテナ本体１の開口縁１１内に底蓋２を嵌合させた状態
で、コンテナ本体１の開口縁１１における異なる４つの
内壁面のうちの最も内側の１面にのみ押圧されるパッキ
ン２５ａと、これらの内壁面のうちの外側の２面に対し
て連続的に押し圧されるパッキン２５ｂとを備えてい
る。これらのパッキン２５ａ，２５ｂは、底蓋２の全周
に亘って設けられ、開口縁１１の全周に亘って押圧され
る。

【００２４】また、吸着剤２６は、パッキン２５ａとパ
ッキン２５ｂとの間に、底蓋２周縁の全周に亘って設け
られる。この吸着剤２６としては、吸着剤２６が発塵源
となることのない状態で用いることが要求され、例えば
繊維に活性炭のような吸着剤を化学的に結合させてなる
活性炭繊維や、不織布、シリカゲル、活性炭等を用いた
シート状のガス吸着材料として、底蓋２周縁に固定され
ている。

【００２５】このような構成の基板搬送コンテナによる
電子基板の搬送は、第１実施形態と同様に行われる。

【００２６】このような構成の基板搬送コンテナでは、
外側のパッキン２５ｂよりもコンテナ本体１の内部側に
侵入した微量の外気は、吸着剤２６に吸着され、内側の
パッキン２５ａよりもコンテナ本体１の内部側へ侵入す
ることが防止される。このため、第１実施形態と比較し
て、さらにコンテナ本体１内の密閉性を向上させること
が可能になる。特に、大気中の水分は吸着剤２６に良く
吸着されるため、第１実施形態と比較してさらに、密閉
状態にあるコンテナ本体１内部の水分濃度の上昇を抑え
ることが可能になる。

【００２７】尚、第２実施形態においては、コンテナ本
体１の開口縁１１における１面にのみ押圧されるパッキ
ン２５ａと、２つに折り曲げて２つの面に押し圧される
パッキン２５ｂとの間に吸着剤２６を設けた構成を示し
た。しかし、本発明の基板搬送コンテナは、複数のパッ
キンの間に吸着剤が設けられた構成であれば、これらの
パッキンの形状や、これらのパッキンが押圧される開口
縁１１の面が特定されることはない。ただし、各パッキ
ンは、底蓋２によってコンテナ本体１の開口を塞いだ状
態で、コンテナ本体１の開口縁１１の全周に亘って押圧
されることとする。

【００２８】また、第１実施形態及び第２実施形態にお
いては、ラッチ用溝１２、ラッチ２１及びラッチ操作部
２２によって、コンテナ本体１に底蓋２を圧着させる構
成の基板搬送コンテナを説明した。しかし、本発明の基
板搬送コンテナにおけるコンテナ本体１への底蓋２の圧
着は、コンテナ本体１の開口を底蓋２で塞いだ状態にお
いてコンテナ本体１に底蓋２が圧着されれば、このよう
な構成に限定されることはなく、例えば、コンテナ本体
の内部を減圧状態にすることでコンテナ本体１に底蓋２
が圧着されるような構成であっても良い。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の基板搬送
コンテナによれば、段差形状に成形されたコンテナ本体
の開口縁の異なる２面に対して、底蓋の周縁に設けられ
たパッキンを押圧させる構成にしたことで、開口縁の全
周に亘って２重にパッキンを挟み込み、内部の密閉性を
向上させることが可能になる。さらに、底蓋の周縁の角
部に沿ってパッキンを折り曲げた構成にした場合、開口
縁の異なる２面に対して連続的にパッキンを押圧させる
ことができ、内部の密閉性をさらに向上させることが可
能になる。また、開口縁の全周に亘って押圧される複数
のパッキンの間に吸着剤を設けた構成にした場合、外側
のパッキンから侵入した微量の外気をこの吸着剤に吸着
させ、コンテナ本体内側への外気の侵入を確実に防止す
ることが可能になる。以上のことから、本発明の基板搬
送コンテナによれば、内部に収納した電子基板が、外気
に含まれる酸素、水分、揮発性有機物やその他の低分子
の侵入によって汚染されることを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の基板搬送コンテナの要部拡大断
面図である。

【図２】第１実施形態の基板搬送コンテナの全体構成図
である。

【図３】基板搬送コンテナ内部の酸素濃度の経時変化を
示すグラフである。

【図４】基板搬送コンテナ内部の水分濃度の経時変化を
示すグラフである。

【図５】第２実施形態の基板搬送コンテナの要部拡大断
面図である。

【図６】従来の基板搬送コンテナの全体構成図である。

【図７】従来の基板搬送コンテナの要部拡大断面図であ
る。

【符号の説明】

１…コンテナ本体、２…底蓋、１１…開口縁、２３，２
５ａ，２５ｂ…パッキン、２６…吸着剤

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3E096 AA06 BA15 BA16 BA20 BA30 CA01 DA17 DA26 DA30 FA01 FA22 GA05 5D112 AA02 KK02 5F031 CA01 CA02 CA05 DA09 EA11 EA12 EA14 EA19 EA20 NA02 NA04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一面側を開口させた箱状を成し外側に向
かって広がる段差形状に成形された開口縁を有するコン
テナ本体と、当該コンテナ本体の開口を塞ぐ状態で当該
コンテナ本体に圧着される底蓋とを備えた基板搬送コン
テナにおいて、前記底蓋の周縁には、当該底蓋によって前記コンテナ本
体の開口を塞いだ状態で、前記コンテナ本体の開口縁の
全周に亘って当該開口縁の異なる面に対して押圧される
パッキンが設けられていることを特徴とする基板搬送コ
ンテナ。
【請求項２】請求項１記載の基板搬送コンテナにおい
て、前記パッキンは、前記底蓋の周縁の角部に沿って折り曲
げられたことを特徴とする基板搬送コンテナ。
【請求項３】請求項１記載の基板搬送コンテナにおい
て、前記コンテナ本体の開口縁は、複数段の段差形状に成形
され、前記底蓋は、その側周が前記開口縁の段差形状に嵌合す
る段差形状に成形されると共に、当該底蓋によって前記
コンテナ本体の開口を塞いだ状態で前記開口縁の全周に
亘って当該開口縁の異なる面に対して押圧される複数の
パッキンが備えられたことを特徴とする基板搬送コンテ
ナ。
【請求項４】請求項３記載の基板搬送コンテナにおい
て、前記底蓋は、前記複数のパッキンの間に吸着剤を備えた
ことを特徴とする基板搬送コンテナ。
【請求項５】一面側を開口させた箱状を成し外側に向
かって広がる段差形状に成形された開口縁を有するコン
テナ本体と、当該コンテナ本体の開口を塞ぐ状態で当該
コンテナ本体に圧着される底蓋とを備えた基板搬送コン
テナにおいて、前記底蓋の周縁には、当該底蓋によって前記コンテナ本
体の開口を塞いだ状態で、前記コンテナ本体の前記開口
縁の全周に亘って押圧される複数のパッキンと、当該複
数のパッキンの間に設けられた吸着剤とが備られたこと
を特徴とする基板搬送コンテナ。