JP3336652B2 - 可搬式密閉コンテナ - Google Patents
可搬式密閉コンテナInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ、液晶表
示板、レチクルおよびディスク類を製造するシステムに
おいて用いられる可搬式密閉コンテナに関する。
示板、レチクルおよびディスク類を製造するシステムに
おいて用いられる可搬式密閉コンテナに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１９はこの種のシステムの１例を示し
たもので、１は半導体ウエハの表面処理を行なう表面処
理炉を内蔵した表面処理装置、２はウエハ検査装置、３
は自走式の移載ロボット、４はウエハ保管庫、５はウエ
ハ洗浄装置、６はリニアモータ式の搬送装置、７はウエ
ハＷを段々に複数枚載置可能なウエハカセット（図３に
拡大して示す）である。
たもので、１は半導体ウエハの表面処理を行なう表面処
理炉を内蔵した表面処理装置、２はウエハ検査装置、３
は自走式の移載ロボット、４はウエハ保管庫、５はウエ
ハ洗浄装置、６はリニアモータ式の搬送装置、７はウエ
ハＷを段々に複数枚載置可能なウエハカセット（図３に
拡大して示す）である。
【０００３】このウエハカセット７のシステム内（クリ
ーンルーム内）での搬送や保管は、半導体ウエハへの塵
埃の付着を防ぐためにウエハカセットを図２０に斜視図
で、また図２１に断面図で示す可搬式の密閉コンテナ１
０に収納して行なう。
ーンルーム内）での搬送や保管は、半導体ウエハへの塵
埃の付着を防ぐためにウエハカセットを図２０に斜視図
で、また図２１に断面図で示す可搬式の密閉コンテナ１
０に収納して行なう。
【０００４】図２０および図２１において、１１は底蓋
形の把手１６を有するコンテナ本体であって、開口１２
にフランジ１３が形成されている。２０は中空の底蓋で
あって、上面はウエハカセット載置部２１となってお
り、内部に図示しない施錠・解錠機構を内蔵し、この施
錠・解錠機構は側壁からラッチ２０Ａを側壁孔１７から
コンテナ本体１１のフランジ１３の内周面に形成された
凹部１４へ進退させて施錠・解錠する。底蓋２０は上記
施錠時、フランジ１３の底にシール材１５を介して圧接
し、コンテナ本体１１内を外気に対して気密に遮断す
る。
形の把手１６を有するコンテナ本体であって、開口１２
にフランジ１３が形成されている。２０は中空の底蓋で
あって、上面はウエハカセット載置部２１となってお
り、内部に図示しない施錠・解錠機構を内蔵し、この施
錠・解錠機構は側壁からラッチ２０Ａを側壁孔１７から
コンテナ本体１１のフランジ１３の内周面に形成された
凹部１４へ進退させて施錠・解錠する。底蓋２０は上記
施錠時、フランジ１３の底にシール材１５を介して圧接
し、コンテナ本体１１内を外気に対して気密に遮断す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような可搬式密閉
コンテナを用いれば、コンテナ内への塵埃等の侵入を防
止することができるが、コンテナ内の雰囲気の湿度や酸
素濃度等のガス濃度を所望値以下に保持することはでき
ない。
コンテナを用いれば、コンテナ内への塵埃等の侵入を防
止することができるが、コンテナ内の雰囲気の湿度や酸
素濃度等のガス濃度を所望値以下に保持することはでき
ない。
【０００６】そこで、従来は、コンテナ内に、乾燥剤や
脱酸素剤等のガス吸着剤等を入れて、コンテナ内部雰囲
気を調整するようにしているが、これらは、通気性のあ
るパッケージに封入したかたちで、コンテナ内に入れる
ので、コンテナのハンドリング時や搬送時のコンテナの
揺れに伴って、パッケージがコンテナ本体１１内、正確
には、底蓋２０上を移動し、コンテナ本体１１や底蓋２
０、またウエハカセット７との擦れによる発塵が生じ、
ウエハカセット７やウエハＷが汚染され、製品歩留りが
低下するという問題があった。
脱酸素剤等のガス吸着剤等を入れて、コンテナ内部雰囲
気を調整するようにしているが、これらは、通気性のあ
るパッケージに封入したかたちで、コンテナ内に入れる
ので、コンテナのハンドリング時や搬送時のコンテナの
揺れに伴って、パッケージがコンテナ本体１１内、正確
には、底蓋２０上を移動し、コンテナ本体１１や底蓋２
０、またウエハカセット７との擦れによる発塵が生じ、
ウエハカセット７やウエハＷが汚染され、製品歩留りが
低下するという問題があった。
【０００７】また、この種のパッケージをコンテナ１０
内に入れる場合、従来は、底蓋２０を開けて入れるの
で、クリーンルーム内にある塵埃やウエハが嫌うガスが
コンテナ１０に入り、これらの塵埃やガスでウエハが汚
染される恐れがあった。
内に入れる場合、従来は、底蓋２０を開けて入れるの
で、クリーンルーム内にある塵埃やウエハが嫌うガスが
コンテナ１０に入り、これらの塵埃やガスでウエハが汚
染される恐れがあった。
【０００８】また、ウエハを保管庫に長時間保存する場
合、パッケージを新しいものと交換する必要が生じる
が、この時も、底蓋２０を開けるので同様の問題が発生
する。本発明はこの問題を解消するためになされたもの
で、コンテナ内部雰囲気調整剤に起因する発塵を確実に
防止し、その上、簡便な手段で、調整剤の機能劣化を早
期に知ることが可能で、極めて簡単な改造を加えるだけ
で、製品歩留りの大幅な向上を図ることができる可搬式
密閉コンテナを提供することを目的とする。
合、パッケージを新しいものと交換する必要が生じる
が、この時も、底蓋２０を開けるので同様の問題が発生
する。本発明はこの問題を解消するためになされたもの
で、コンテナ内部雰囲気調整剤に起因する発塵を確実に
防止し、その上、簡便な手段で、調整剤の機能劣化を早
期に知ることが可能で、極めて簡単な改造を加えるだけ
で、製品歩留りの大幅な向上を図ることができる可搬式
密閉コンテナを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１では、コンテナ
本体と、このコンテナ本体開口を気密に閉鎖する蓋と、
コンテナ内部の湿度、酸素濃度、特定ガスのガス濃度を
調整するコンテナ内部雰囲気調整材とを有する可搬式密
閉コンテナにおいて、前記調整材を収納／保持するコン
テナ内部雰囲気調整部材収納/保持部材を外部からセッ
トするためにコンテナ蓋もしくはコンテナ壁にセット空
間を設けるとともに、前記コンテナ内部雰囲気調整材/
保持部材をコンテナ内部で被覆するためにコンテナ本体
に内部フィルタを設けるようにした。
本体と、このコンテナ本体開口を気密に閉鎖する蓋と、
コンテナ内部の湿度、酸素濃度、特定ガスのガス濃度を
調整するコンテナ内部雰囲気調整材とを有する可搬式密
閉コンテナにおいて、前記調整材を収納／保持するコン
テナ内部雰囲気調整部材収納/保持部材を外部からセッ
トするためにコンテナ蓋もしくはコンテナ壁にセット空
間を設けるとともに、前記コンテナ内部雰囲気調整材/
保持部材をコンテナ内部で被覆するためにコンテナ本体
に内部フィルタを設けるようにした。
【００１０】請求項２では、前記コンテナ内部雰囲気調
整部材収納部材は、着脱および相互連結可能なカートリ
ッジ型とした。
整部材収納部材は、着脱および相互連結可能なカートリ
ッジ型とした。
【００１１】請求項３では、コンテナ内部雰囲気調整剤
収納／保持部材を、プッシュロック機構もしくはワンタ
ッチ着脱機構でセット空間に着脱されるようにした。
収納／保持部材を、プッシュロック機構もしくはワンタ
ッチ着脱機構でセット空間に着脱されるようにした。
【００１２】請求項４では、コンテナ内部雰囲気調整材
収納／保持部材に、湿度もしくは濃度検出用の化学的検
出手段が設けられ、かつ、コンテナ内部雰囲気調整材収
納／保持部材一部または全部が透明体とした。
収納／保持部材に、湿度もしくは濃度検出用の化学的検
出手段が設けられ、かつ、コンテナ内部雰囲気調整材収
納／保持部材一部または全部が透明体とした。
【００１３】請求項５では、コンテナ内部雰囲気調整剤
収納／保持部材に、圧力調整用の気体注入口を設けた。
収納／保持部材に、圧力調整用の気体注入口を設けた。
【００１４】
【００１５】
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【００１９】
【作用】本発明では、コンテナ内部雰囲気調整剤をコン
テナ内の特定の空間に固定可能に入れるので、コンテナ
内部雰囲気調整剤に起因する発塵は確実に防止される。
また、コンテナ内部雰囲気調整剤収納／保持部材をコン
テナ外部から内部へ挿脱可能にしたので、コンテナ内部
雰囲気調整剤のコンテナ内へのセットや交換に際してコ
ンテナの蓋を開けなくても済む。
テナ内の特定の空間に固定可能に入れるので、コンテナ
内部雰囲気調整剤に起因する発塵は確実に防止される。
また、コンテナ内部雰囲気調整剤収納／保持部材をコン
テナ外部から内部へ挿脱可能にしたので、コンテナ内部
雰囲気調整剤のコンテナ内へのセットや交換に際してコ
ンテナの蓋を開けなくても済む。
【００２０】また、湿度もしくは濃度検知用の化学的検
知手段を外部から一瞥可能な構造としたので、調整剤の
機能劣化を早期に知ることが可能である。
知手段を外部から一瞥可能な構造としたので、調整剤の
機能劣化を早期に知ることが可能である。
【００２１】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００２２】図１において、底蓋２０のカセット載置面
２１上の適所（ウエハカセット７の移載に邪魔にならな
い個所）に、乾燥剤や脱酸化剤やガス吸着剤等を入れる
ためのコンテナ内部雰囲気調整剤収納もしくは保持部材
（この例では、ポケット部）２２が設けられている点に
おいて、前記従来のものと相違する。
２１上の適所（ウエハカセット７の移載に邪魔にならな
い個所）に、乾燥剤や脱酸化剤やガス吸着剤等を入れる
ためのコンテナ内部雰囲気調整剤収納もしくは保持部材
（この例では、ポケット部）２２が設けられている点に
おいて、前記従来のものと相違する。
【００２３】本実施例のポケット部２２は上に開口する
立方体状の箱体であって、図２に拡大して示す如く、フ
ィルタ機能を有する蓋２３を有し、内部には、乾燥剤、
脱酸化剤、ガス吸着剤等を封入した通気性のあるパッケ
ージ２５を固定するための固定具（もしくは押さえ具）
２４が設けられている。この固定具２４はばね片であっ
て、ポケット部２２の壁内面との間にパッケージ２５を
挟圧して当該パッケージ２５を固定する。なお、蓋２３
はヒンジ式のものであってもワンタッチ着脱式のもので
あってもよい。
立方体状の箱体であって、図２に拡大して示す如く、フ
ィルタ機能を有する蓋２３を有し、内部には、乾燥剤、
脱酸化剤、ガス吸着剤等を封入した通気性のあるパッケ
ージ２５を固定するための固定具（もしくは押さえ具）
２４が設けられている。この固定具２４はばね片であっ
て、ポケット部２２の壁内面との間にパッケージ２５を
挟圧して当該パッケージ２５を固定する。なお、蓋２３
はヒンジ式のものであってもワンタッチ着脱式のもので
あってもよい。
【００２４】本実施例では、乾燥剤、脱酸化剤、特定の
ガスを吸着するガス吸着剤等（コンテナ内部雰囲気調整
剤）のパッケージ２５をポケット部２２に入れた状態で
コンテナ１０をハンドリングしたり搬送したりするの
で、このハンドリング時や搬送時のコンテナの揺れに伴
って、パッケージ２５がコンテナ本体１１内、正確に
は、底蓋２０上を移動する恐れがなくなり、コンテナ本
体１１や底蓋２０、またウエハカセット７との擦れによ
る発塵が防止され、ウエハカセット７やウエハＷの汚染
が防止される。
ガスを吸着するガス吸着剤等（コンテナ内部雰囲気調整
剤）のパッケージ２５をポケット部２２に入れた状態で
コンテナ１０をハンドリングしたり搬送したりするの
で、このハンドリング時や搬送時のコンテナの揺れに伴
って、パッケージ２５がコンテナ本体１１内、正確に
は、底蓋２０上を移動する恐れがなくなり、コンテナ本
体１１や底蓋２０、またウエハカセット７との擦れによ
る発塵が防止され、ウエハカセット７やウエハＷの汚染
が防止される。
【００２５】また、本実施例では、ポケット部２２の開
口部をフィルタ機能を有する蓋２３で閉鎖するから、ポ
ケット部２２内のパッケージ２５側からの発塵があって
も、この塵がコンテナ本体１１内へ拡散する恐れはな
い。
口部をフィルタ機能を有する蓋２３で閉鎖するから、ポ
ケット部２２内のパッケージ２５側からの発塵があって
も、この塵がコンテナ本体１１内へ拡散する恐れはな
い。
【００２６】更に、本実施例では、固定具２４を用いて
パッケージ２５をポケット部２２内に固定するので、上
記ウエハカセット７やウエハＷの汚染防止効果はより顕
著なものとなる。
パッケージ２５をポケット部２２内に固定するので、上
記ウエハカセット７やウエハＷの汚染防止効果はより顕
著なものとなる。
【００２７】また、図３に示すように、底蓋２０上にカ
セット位置決めを兼ねたカセット置台２６が設けられて
いる場合には、このカセット置台２６を中空にして、ポ
ケット部２２として利用する。
セット位置決めを兼ねたカセット置台２６が設けられて
いる場合には、このカセット置台２６を中空にして、ポ
ケット部２２として利用する。
【００２８】上記実施例では、底蓋２０上にポケット部
２２を設けているが、図４の（Ａ）の斜視図および図４
の（Ｂ）の断面図に示すように、コンテナ本体１１の内
周面にポケット部２２を取り付けてもよい。
２２を設けているが、図４の（Ａ）の斜視図および図４
の（Ｂ）の断面図に示すように、コンテナ本体１１の内
周面にポケット部２２を取り付けてもよい。
【００２９】このように、コンテナ１０内にポケット部
２２を設けることによるパッケージ２５に起因する塵埃
の発生を防止することができるが、乾燥剤、脱酸化剤、
特定のガスを吸着するガス吸着剤等が劣化もしくは機能
低下しているのを看過してコンテナ１０内の湿度、酸素
濃度、特定のガスのガス濃度を所望値内へ下げることが
できないのに、そのまま同じパッケージ２５を使用し続
け、製品歩留りを低下させてしまう場合がある。
２２を設けることによるパッケージ２５に起因する塵埃
の発生を防止することができるが、乾燥剤、脱酸化剤、
特定のガスを吸着するガス吸着剤等が劣化もしくは機能
低下しているのを看過してコンテナ１０内の湿度、酸素
濃度、特定のガスのガス濃度を所望値内へ下げることが
できないのに、そのまま同じパッケージ２５を使用し続
け、製品歩留りを低下させてしまう場合がある。
【００３０】これを防止するため、本実施例では、コン
テナ本体１１およびポケット部２２を透明容器とし、図
５に示すように、パッケージ２５の表面に湿度あるいは
濃度の化学的な検知もしくは確認手段２７を貼付する。
この種の検知もしくは確認手段としては、例えば、酸素
濃度の変化により、ピンク色→青色に変色する酸素検知
剤２８を塗布した検知紙、シリカゲルを使用した水分検
知剤等がある。
テナ本体１１およびポケット部２２を透明容器とし、図
５に示すように、パッケージ２５の表面に湿度あるいは
濃度の化学的な検知もしくは確認手段２７を貼付する。
この種の検知もしくは確認手段としては、例えば、酸素
濃度の変化により、ピンク色→青色に変色する酸素検知
剤２８を塗布した検知紙、シリカゲルを使用した水分検
知剤等がある。
【００３１】このようにすれば、ポケット部２２内のパ
ッケージ２５に貼着した検知剤の変色の有無をコンテナ
１０外から一目で知ることができるので、パッケージ２
５を適切な時期に交換することができ、コンテナ１０内
の環境（雰囲気）を常に所望の環境に維持することが容
易に可能となる。勿論、上記した検知手段２７の貼着場
所はパッケージ２５に限定されることはなく、コンテナ
内の雰囲気に触れる場所であればよく、例えば図６に示
す如くウエハカセット２７の表面に貼着してもよい。
ッケージ２５に貼着した検知剤の変色の有無をコンテナ
１０外から一目で知ることができるので、パッケージ２
５を適切な時期に交換することができ、コンテナ１０内
の環境（雰囲気）を常に所望の環境に維持することが容
易に可能となる。勿論、上記した検知手段２７の貼着場
所はパッケージ２５に限定されることはなく、コンテナ
内の雰囲気に触れる場所であればよく、例えば図６に示
す如くウエハカセット２７の表面に貼着してもよい。
【００３２】図７は、本発明の他の実施例を示したもの
である。３０はコンテナ本体１１の側壁に形成されたセ
ット空間（本実施例では、小窓）であって、この小窓３
０は、図８に示すワンタッチ着脱式の小窓蓋３１で気密
に閉鎖される。
である。３０はコンテナ本体１１の側壁に形成されたセ
ット空間（本実施例では、小窓）であって、この小窓３
０は、図８に示すワンタッチ着脱式の小窓蓋３１で気密
に閉鎖される。
【００３３】本実施例では、この小窓蓋３１がコンテナ
内部雰囲気調整剤収納もしくは保持部材となる。
内部雰囲気調整剤収納もしくは保持部材となる。
【００３４】図８において、３２は板状の蓋本体であっ
て、内面側には、小窓３０内に嵌まり込む台部３３が形
成され、この台部３３の外周面に、複数個の着脱手段
（本実施例では、図９に拡大して示す爪部材）３４を有
している。３５は蓋本体３２の内面周部に設けられたシ
ール部材である。蓋本体３２の台部３３には、ばね片か
らなる固定具２４が取り付けられている。
て、内面側には、小窓３０内に嵌まり込む台部３３が形
成され、この台部３３の外周面に、複数個の着脱手段
（本実施例では、図９に拡大して示す爪部材）３４を有
している。３５は蓋本体３２の内面周部に設けられたシ
ール部材である。蓋本体３２の台部３３には、ばね片か
らなる固定具２４が取り付けられている。
【００３５】本実施例では、蓋本体３２の台部３３にパ
ッケージ２５を固定具２４で留めたのち、蓋本体３２を
小窓３０に当て押力を加える。爪部材３４が弾性変形し
て、図９に示すようにそのガイド部３４Ａが小窓３０か
らコンテナ本体１１内に滑り込み、係合部３４Ｂが小窓
３０の窓縁に係合し、シール部材３５が小窓３０の外面
周部に圧接して気密にシールする。
ッケージ２５を固定具２４で留めたのち、蓋本体３２を
小窓３０に当て押力を加える。爪部材３４が弾性変形し
て、図９に示すようにそのガイド部３４Ａが小窓３０か
らコンテナ本体１１内に滑り込み、係合部３４Ｂが小窓
３０の窓縁に係合し、シール部材３５が小窓３０の外面
周部に圧接して気密にシールする。
【００３６】この実施例の小窓蓋３１はワンタッチ着脱
式であるが、ヒンジ取り付けされている非着脱形のワン
タッチ蓋としてもよい。
式であるが、ヒンジ取り付けされている非着脱形のワン
タッチ蓋としてもよい。
【００３７】図１０および図１１は、本発明の他の実施
例を示したものであり、コンテナ内部雰囲気調整剤収納
もしくは保持部材として、図１１に示すネジ型の栓部材
４１を用いる。ネジ型の栓部材４１は蓋機能を持つ頭部
４２とネジ軸部４３を有し、ネジ軸部４３端面側にコン
テナ内部雰囲気調整剤を収納する通気性のある収納部４
４が設けられている。
例を示したものであり、コンテナ内部雰囲気調整剤収納
もしくは保持部材として、図１１に示すネジ型の栓部材
４１を用いる。ネジ型の栓部材４１は蓋機能を持つ頭部
４２とネジ軸部４３を有し、ネジ軸部４３端面側にコン
テナ内部雰囲気調整剤を収納する通気性のある収納部４
４が設けられている。
【００３８】他方、コンテナ本体１１の側壁には、栓部
材４１のネジ軸部４３が螺合する１もしくは複数の栓孔
（セット空間）４０が形成されている。栓部材４１の頭
部４２のネジ部４３側面には、図示しないが、栓孔４０
の外面周部に圧接するシール部材が取り付けられてい
る。
材４１のネジ軸部４３が螺合する１もしくは複数の栓孔
（セット空間）４０が形成されている。栓部材４１の頭
部４２のネジ部４３側面には、図示しないが、栓孔４０
の外面周部に圧接するシール部材が取り付けられてい
る。
【００３９】図１１に示した栓部材４１は、収納部４４
を１箇取り付けたものであるが、収納部４４を図１２に
示すカートリッジタイプの形状とし、図示の如く２箇以
上の取り付け可能にすることもできる。図１２におい
て、４５は嵌合突起、４６は嵌合突起４５用の嵌合孔で
ある。本実施例では、ネジ軸部４３の端面にも嵌合突起
４５用の嵌合孔を形成している。
を１箇取り付けたものであるが、収納部４４を図１２に
示すカートリッジタイプの形状とし、図示の如く２箇以
上の取り付け可能にすることもできる。図１２におい
て、４５は嵌合突起、４６は嵌合突起４５用の嵌合孔で
ある。本実施例では、ネジ軸部４３の端面にも嵌合突起
４５用の嵌合孔を形成している。
【００４０】なお、栓部材４１の収納部４４内に入れた
コンテナ内部雰囲気調整剤側からの発塵がコンテナ本体
１１内へ拡散するのを防止するためには、図１３に示す
如く、コンテナ本体１１の内側に、栓部材４１の収納部
４４を覆うような高性能フィルタ４８を設ければよい。
コンテナ内部雰囲気調整剤側からの発塵がコンテナ本体
１１内へ拡散するのを防止するためには、図１３に示す
如く、コンテナ本体１１の内側に、栓部材４１の収納部
４４を覆うような高性能フィルタ４８を設ければよい。
【００４１】図１４は、本発明の他の実施例を示したも
ので、セット空間は方形の孔状とし、このセット空間３
０にセットされるコンテナ内部雰囲気調整剤収納もしく
は保持部材は、このセット空間３０より大きい蓋板４９
の裏面にコンテナ内部雰囲気調整剤を入れる収納部５０
を突起状に設けた構成としてある。蓋板４９の上記裏面
には図示しないシール材とプッシュロック機構（一度押
すと蓋板４８がコンテナ本体１１に装着され、もう一度
押すと蓋板４９がコンテナ本体１１から取り外し可能と
なる機構）５０が設けられている。
ので、セット空間は方形の孔状とし、このセット空間３
０にセットされるコンテナ内部雰囲気調整剤収納もしく
は保持部材は、このセット空間３０より大きい蓋板４９
の裏面にコンテナ内部雰囲気調整剤を入れる収納部５０
を突起状に設けた構成としてある。蓋板４９の上記裏面
には図示しないシール材とプッシュロック機構（一度押
すと蓋板４８がコンテナ本体１１に装着され、もう一度
押すと蓋板４９がコンテナ本体１１から取り外し可能と
なる機構）５０が設けられている。
【００４２】前記した栓部材４１に、図１５の斜視図、
図１６の断面図に示す如く、確認用孔５１を形成すれ
ば、収納部４４に入れた前記検知もしくは確認手段２７
を外部から見ることができる。５２はガラスやレンズ等
の透明体であって、確認用孔５１を外気に対して気密に
閉鎖している。
図１６の断面図に示す如く、確認用孔５１を形成すれ
ば、収納部４４に入れた前記検知もしくは確認手段２７
を外部から見ることができる。５２はガラスやレンズ等
の透明体であって、確認用孔５１を外気に対して気密に
閉鎖している。
【００４３】ところで、ガス吸着剤をコンテナ１０内に
入れた場合、吸着対象となるガスが吸着され、この吸着
によりコンテナ内部の圧力が低下し、当該内部圧が外気
圧より低下して、底蓋２０が開け難くなる恐れがある。
例えば、２５ｃｍ3 の内容積のコンテナ１０に空気を充
満させ、酸素吸着剤を入れた場合、コンテナ内面には、
０．２（Ｏ2 の空気中に占める割合）×６２５＝１３５
ｋｇかかる。
入れた場合、吸着対象となるガスが吸着され、この吸着
によりコンテナ内部の圧力が低下し、当該内部圧が外気
圧より低下して、底蓋２０が開け難くなる恐れがある。
例えば、２５ｃｍ3 の内容積のコンテナ１０に空気を充
満させ、酸素吸着剤を入れた場合、コンテナ内面には、
０．２（Ｏ2 の空気中に占める割合）×６２５＝１３５
ｋｇかかる。
【００４４】これを防止するため、図１７に示す如く、
コンテナ本体１１に圧力調整用の気体注入口１８を形成
し、当該気体注入口１８が開口するコンテナ本体１１内
面側に、高性能フィルタ１９を設け、上記圧力低下分を
気体注入口１８から注入してコンテナ内部圧を調整す
る。図１７において、２０は気体注入口１７を気密に閉
鎖するキャップである。勿論、逆止弁付きの気体注入口
１７としてもよい。
コンテナ本体１１に圧力調整用の気体注入口１８を形成
し、当該気体注入口１８が開口するコンテナ本体１１内
面側に、高性能フィルタ１９を設け、上記圧力低下分を
気体注入口１８から注入してコンテナ内部圧を調整す
る。図１７において、２０は気体注入口１７を気密に閉
鎖するキャップである。勿論、逆止弁付きの気体注入口
１７としてもよい。
【００４５】また、前記したネジ型の栓部材４１に、図
１８に示す如く、逆止弁５４付きの通気孔５３を設け
て、気体注入口として利用してもよい。
１８に示す如く、逆止弁５４付きの通気孔５３を設け
て、気体注入口として利用してもよい。
【００４６】なお、上記説明では、コンテナとして、底
蓋式のものを例にとって説明したが、上蓋式のものであ
ってもよく、上蓋式の場合、蓋の端面に開口する空所を
設けるととともに当該空所の内面側にコンテナ本体内と
当該空所を連通する（空所からコンテナ本体側に開口す
る）多数の通気孔を設け、上該空所に図１４の（Ｂ）に
示したようなプッシュロック式のコンテナ内部雰囲気調
整剤収納もしくは保持部材を挿脱可能に設けることがで
きる。
蓋式のものを例にとって説明したが、上蓋式のものであ
ってもよく、上蓋式の場合、蓋の端面に開口する空所を
設けるととともに当該空所の内面側にコンテナ本体内と
当該空所を連通する（空所からコンテナ本体側に開口す
る）多数の通気孔を設け、上該空所に図１４の（Ｂ）に
示したようなプッシュロック式のコンテナ内部雰囲気調
整剤収納もしくは保持部材を挿脱可能に設けることがで
きる。
【００４７】
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、コンテナ内
部雰囲気調整剤に起因する発塵を確実に防止し、その
上、簡便な手段で、調整剤の機能劣化を早期に知ること
が可能で、極めて簡単な改造を加えるだけで、製品歩留
りの大幅な向上を図ることができる
部雰囲気調整剤に起因する発塵を確実に防止し、その
上、簡便な手段で、調整剤の機能劣化を早期に知ること
が可能で、極めて簡単な改造を加えるだけで、製品歩留
りの大幅な向上を図ることができる
【図１】本発明の実施例を示す底蓋の斜視図である。
【図２】上記実施例におけるポケット部の拡大斜視図で
ある。
ある。
【図３】本発明の他の実施例を示す底蓋の斜視図であ
る。
る。
【図４】本発明の他の実施例を示すコンテナ本体の図で
ある。
ある。
【図５】本発明において、化学的検知手段を用いた例を
示す図である。
示す図である。
【図６】本発明において、化学的検知手段を用いた他の
例を示す図である。
例を示す図である。
【図７】本発明の他の実施例のコンテナ本体の斜視図で
ある。
ある。
【図８】図７の実施例で用いるコンテナ内部雰囲気調整
剤収納もしくは保持部材を示す図である。
剤収納もしくは保持部材を示す図である。
【図９】図８の実施例における着脱手段を示す図であ
る。
る。
【図１０】本発明の他の実施例のコンテナ本体の斜視図
である。
である。
【図１１】図１０の実施例で用いるコンテナ内部雰囲気
調整剤収納もしくは保持部材を示す図である。
調整剤収納もしくは保持部材を示す図である。
【図１２】図１０の実施例で用いるコンテナ内部雰囲気
調整剤収納もしくは保持部材の他の例を示す図である。
調整剤収納もしくは保持部材の他の例を示す図である。
【図１３】図１０の実施例で用いるコンテナ本体の他の
例を示す図である。
例を示す図である。
【図１４】本発明におけるコンテナ内部雰囲気調整剤収
納もしくは保持部材の他の例を示す図である。
納もしくは保持部材の他の例を示す図である。
【図１５】本発明におけるコンテナ内部雰囲気調整剤収
納もしくは保持部材の更に他の例を示す図である。
納もしくは保持部材の更に他の例を示す図である。
【図１６】図１６のコンテナ内部雰囲気調整剤収納もし
くは保持部材の断面図である。
くは保持部材の断面図である。
【図１７】本発明におけるコンテナ本体の他の例例を示
す図である。
す図である。
【図１８】本発明におけるコンテナ内部雰囲気調整剤収
納もしくは保持部材の確認用孔を設けた例を示す図であ
る。
納もしくは保持部材の確認用孔を設けた例を示す図であ
る。
【図１９】半導体製造システムの概略構成を示す図であ
る。
る。
【図２０】図１９の半導体製造システムにおいて用いら
れる従来の可搬式密閉コンテナの斜視図である。
れる従来の可搬式密閉コンテナの斜視図である。
【図２１】図２０の可搬式密閉コンテナの断面図であ
る。
る。
７ ウエハカセット １０ 密閉コンテナ １１ 密閉コンテナの本体 １８ 気体注入口 １９ フィルタ １９Ａ キャップ ２０ 密閉コンテナの底蓋 ２２ ポケット部 ２４ 固定具 ２５ パッケージ ２６ カセット置台 ２７ 化学的検知手段 ３０ セット空間である小窓 ３１ 小窓の蓋 ４０ セット空間である栓孔 ４１ 栓部材 ４３ ネジ軸部 ４４ 収納部 ４８ 内部フィルタ ４９ セット空間の蓋板 ５０ プッシュロック機構 ４９ セット空間の蓋板 ５１ 確認用孔 ５２ ガラス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (56)参考文献 実開 昭60−39237（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−11989（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−70748（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−98640（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65D 81/26 B65D 85/86
Claims (5)
- 【請求項１】 コンテナ本体と、このコンテナ本体開口
を気密に閉鎖する蓋と、コンテナ内部の湿度、酸素濃
度、特定ガスのガス濃度を調整するコンテナ内部雰囲気
調整材とを有する可搬式密閉コンテナにおいて、前記調整材を収納／保持するコンテナ内部雰囲気調整部
材収納/保持部材を外部からセットするためにコンテナ
蓋もしくはコンテナ壁にセット空間を設けるとともに、
前記コンテナ内部雰囲気調整材/保持部材をコンテナ内
部で被覆するためにコンテナ本体に内部フィルタを設け
た ことを特徴とする可搬式密閉コンテナ。 - 【請求項２】 前記コンテナ内部雰囲気調整部材収納部
材は、着脱および相互連結可能なカートリッジ型である
ことを特徴とする請求項１記載の可搬式密閉コンテナ。 - 【請求項３】 コンテナ内部雰囲気調整材収納／保持部
材は，プッシュロック機構もしくはワンタッチ着脱機構
でセット空間に着脱されることを特徴とする請求項１記
載の可搬式密閉コンテナ。 - 【請求項４】 コンテナ内部雰囲気調整材収納／保持部
材に、湿度もしくは濃度検出用の化学的検出手段が設け
られ、かつ、コンテナ内部雰囲気調整材収納／保持部材
の一部または全部が透明体であることを特徴とする請求
項１記載の可搬式密閉コンテナ。 - 【請求項５】 コンテナ内部雰囲気調整材収納／保持部
材に，圧力調整用の気体注入口が設けられていることを
特徴とする請求項１記載の可搬式密閉コンテナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167493A JP3336652B2 (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | 可搬式密閉コンテナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167493A JP3336652B2 (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | 可搬式密閉コンテナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06224288A JPH06224288A (ja) | 1994-08-12 |
| JP3336652B2 true JP3336652B2 (ja) | 2002-10-21 |
Family
ID=11784541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1167493A Expired - Fee Related JP3336652B2 (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | 可搬式密閉コンテナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3336652B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6547953B2 (en) | 2000-01-28 | 2003-04-15 | Ebara Corporation | Substrate container and method of dehumidifying substrate container |
| US6901971B2 (en) * | 2001-01-10 | 2005-06-07 | Entegris, Inc. | Transportable container including an internal environment monitor |
-
1993
- 1993-01-27 JP JP1167493A patent/JP3336652B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06224288A (ja) | 1994-08-12 |
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