WO2015033411A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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WO2015033411A1
WO2015033411A1 PCT/JP2013/073852 JP2013073852W WO2015033411A1 WO 2015033411 A1 WO2015033411 A1 WO 2015033411A1 JP 2013073852 W JP2013073852 W JP 2013073852W WO 2015033411 A1 WO2015033411 A1 WO 2015033411A1
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WO
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latch
lid
substrate storage
latch member
engagement
Prior art date
Application number
PCT/JP2013/073852
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
貴立 小山
剛 永島
Original Assignee
ミライアル株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by ミライアル株式会社 filed Critical ミライアル株式会社
Priority to PCT/JP2013/073852 priority Critical patent/WO2015033411A1/ja
Priority to JP2015535210A priority patent/JP6133992B2/ja
Priority to TW103130228A priority patent/TWI620699B/zh
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems

Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container for storing a substrate such as a semiconductor wafer.
  • a container having a container body and a lid is known as a container for storing a substrate such as a semiconductor wafer.
  • the container body has a cylindrical wall part in which an opening part of the container body is formed at one end and the other end is closed.
  • a substrate storage space is formed in the container body.
  • the substrate storage space is formed by being surrounded by a wall portion, and can store a plurality of substrates.
  • the lid can be attached to and detached from the container body opening, and the container body opening can be closed.
  • the substrate support plate-like portion is provided on the wall portion so as to form a pair.
  • the substrate support plate-like portion can support the edges of a plurality of substrates in a state where adjacent substrates are spaced apart and arranged in parallel when the container body opening is not closed by the lid. is there.
  • a front retainer is provided in a portion of the lid that faces the substrate storage space when the container main body opening is closed.
  • the front retainer can support the edges of the plurality of substrates when the container main body opening is closed by the lid.
  • the back substrate support portion is provided on the wall portion so as to be paired with the front retainer.
  • the back side substrate support part can support the edges of a plurality of substrates.
  • a slight gap is formed between the peripheral edge of the opening that forms the container body opening and the lid that closes the container body opening so that the lid can be inserted into the container body opening. .
  • the lid moves slightly within the container body opening and abuts on the opening periphery. The part and the lid rub against each other. Thereby, dust generation (particle generation) may occur.
  • An object of the present invention is to provide a substrate storage container that can prevent dust generation due to rubbing between the peripheral edge of the opening and the lid.
  • the present invention includes a container main body having an opening peripheral edge portion in which a substrate storage space capable of storing a plurality of substrates is formed, and an opening peripheral edge portion formed at one end portion and communicating with the substrate storage space. And a lid that can close the container body opening in a positional relationship surrounded by the opening peripheral edge, and the opening peripheral edge has a positional relationship facing each other. And at least a pair of engaging recesses formed to face the lid, wherein the lid includes the lid body and the container body opening when the lid is closed by the lid body.
  • the engagement body is engaged with each of the engagement recesses to fix the lid body to the container body, and the engagement with respect to the engagement recess is released and the lid body is fixed to the container body.
  • Disengagement position to be released And at least a pair of latch members movable relative to the lid body, and when the latch members are in the engagement position, the tip ends of the at least one pair of latch members are the at least a pair of latch members. It is related with the board
  • the latch member is configured by a rigid body, and includes a latch driving unit that moves the latch member between the engagement position and the engagement release position, and the latch member can be elastically expanded and contracted in the movement direction of the latch member. It is preferable that
  • leading end portion of the latch member can be elastically expanded and contracted in the moving direction of the latch member.
  • the front end of the latch member is positioned around the front end through hole penetrating the front end of the latch member and the front end through hole, and surrounds the front end through hole. It is preferable to have a surrounding frame portion that abuts on the engagement recess forming portion when in the engagement position.
  • the tip of the latch member has a notch that bisects a portion of the peripheral frame portion that abuts on the engagement recess forming portion when the latch member is in the engagement position. preferable.
  • the latch member includes a latch member main body configured by a rigid body, a drive unit engaging unit configured by a rigid body and engaged with the latch drive unit, the latch member main body unit, and the drive unit engaging unit. And an elastic connection part that is elastically expandable and contractable in the moving direction of the latch member.
  • the latch member protrudes from the latch member main body portion at the latch member main body portion and a tip end portion of the latch member, and contacts the engagement recess forming portion when the latch member is in the engagement position.
  • a portion of the latch tip portion abutting portion that is in contact with the engaging recess forming portion is a portion of the engaging recess forming portion and is a portion of the latch tip portion abutting portion. It is preferable that the contact portion has a shape that coincides with the contact portion.
  • the portion of the engaging recess forming portion that is in contact with the tip of the latch member is a portion forming the bottom of the engaging recess.
  • the lid has a substantially rectangular plate shape having a lid outer surface and a lid inner surface, and the bottom of the engaging recess is V-shaped in a cross section parallel to the lid outer surface or the lid inner surface. A portion that has a shape and is in contact with a portion of the engagement recess forming portion that forms a bottom portion of the engagement recess when the latch member is in the engagement position. It is preferable to have a V-shaped end face that coincides with the bottom of the engaging recess.
  • the portion of the engaging recess forming portion that is in contact with the tip of the latch member is a side wall that connects the opening and the bottom of the engaging recess and is a portion that decreases in diameter from the opening toward the bottom. It is preferable that it is a side wall which has.
  • the portion of the engaging recess forming portion where the tip of the latch member abuts is a portion forming the opening of the engaging recess.
  • the present invention it is possible to provide a substrate storage container that can prevent dust generation due to rubbing between the peripheral edge of the opening and the lid.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a substrate storage container 1 according to a first embodiment of the present invention. It is a disassembled perspective view which shows the substrate storage container 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention. It is a perspective view which shows the latch rotation member 31 and the latch arm 32 of the substrate storage container 1 which concern on 1st Embodiment of this invention.
  • FIG. 6 is a front view showing a state of the latch rotation member 31 and the latch arm 32 when the lid body 3 is removable from the opening peripheral edge portion 28 in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a front view showing a state of the latch rotation member 31 and the latch arm 32 when the lid body 30 is fixed to the opening peripheral edge 28 in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention. is there.
  • the substrate storage container 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention, it is sectional drawing which shows the state in which the cover body 3 is removable from the opening peripheral part 28.
  • FIG. FIG. 5B is an enlarged cross-sectional view showing a portion surrounded by a two-dot chain line A in FIG. 5A.
  • FIG. 5B is an enlarged cross-sectional view showing a portion surrounded by a two-dot chain line B in FIG. 5A.
  • the lid body 30 is a cross-sectional view showing a state in which the lid body 30 is fixed to the opening peripheral edge 28.
  • FIG. 6B is an enlarged cross-sectional view illustrating a portion surrounded by a two-dot chain line C in FIG. 6A.
  • FIG. 6B is an enlarged cross-sectional view showing a portion surrounded by a two-dot chain line D in FIG. 6A.
  • It is a perspective view showing latch arm 32A of substrate storage container 1A concerning a 2nd embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view showing the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the latch rotation member 31 and the latch arm 32 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4A is a front view showing a state of the latch rotating member 31 and the latch arm 32 when the lid 3 is removable from the opening peripheral edge 28 in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention. is there.
  • FIG. 4B shows the state of the latch rotation member 31 and the latch arm 32 when the lid body 30 is fixed to the opening peripheral edge 28 in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4A is a front view showing a state of the latch rotating member 31 and the latch arm 32 when the lid 3 is removable from the opening peripheral edge 28 in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention. is there.
  • FIG. 5A is a cross-sectional view showing a state in which the lid 3 is removable from the opening peripheral edge 28 in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • 5B is an enlarged cross-sectional view illustrating a portion surrounded by a two-dot chain line A in FIG. 5A.
  • FIG. 5C is an enlarged cross-sectional view showing a portion surrounded by a two-dot chain line B in FIG. 5A.
  • FIG. 6A is a cross-sectional view showing a state where the lid body 30 is fixed to the opening peripheral edge 28 in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • 6B is an enlarged cross-sectional view showing a portion surrounded by a two-dot chain line C in FIG. 6A.
  • 6C is an enlarged cross-sectional view showing a portion surrounded by a two-dot chain line D in FIG. 6A.
  • a direction (lower left direction in FIG. 1) from the container body 2 to the lid 3 described later is defined as a front direction D11, and the opposite direction is defined as a rear direction D12. It is defined as D1.
  • a direction (upward direction in FIG. 1) from the lower wall 24 to the upper wall 23, which will be described later, is defined as an upward direction D21
  • the opposite direction is defined as a downward direction D22, and these are defined as a vertical direction D2.
  • a direction (upper left direction in FIG. 1) from the second side wall 26 to be described later to the first side wall 25 is defined as the left direction D31
  • the opposite direction is defined as the right direction D32, and these are defined as the left and right direction D3.
  • the substrate (not shown) stored in the substrate storage container 1 is a disk-shaped silicone wafer, glass wafer, sapphire wafer, etc., and is a thin one used in the industry.
  • the substrate in this embodiment is a silicone wafer having a diameter of 300 mm to 450 mm.
  • the substrate storage container 1 has a container body 2 and a lid 3.
  • the container body 2 has a cylindrical wall portion 20 in which a container body opening 21 is formed at one end and the other end is closed.
  • a substrate storage space 27 is formed in the container body 2.
  • the substrate storage space 27 is formed so as to be surrounded by the inner surface of the main body formed by the inner surface of the wall portion 20.
  • the substrate support plate-shaped portion 5 is disposed in a portion of the wall portion 20 that forms the substrate storage space 27. A plurality of substrates can be stored in the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate-like portion 5 is provided on the wall portion 20 so as to form a pair in the left-right direction D3 in the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate-like portion 5 is configured so that the edges of the plurality of substrates are arranged in a state where adjacent substrates are spaced apart from each other at a predetermined interval. It can be supported.
  • a back side substrate support part 6 (see FIG. 5A and the like) is provided.
  • the back substrate support 6 can support the rear portions of the edges of the plurality of substrates when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the lid 3 is detachable from the container main body opening 21 and can close the container main body opening 21.
  • the inner surface of the lid (the surface on the back side of the lid 3 shown in FIG. 1) is formed by the inner surface of the container main body 2 (the inner surface of the container main body 2).
  • the substrate storage space 27 is formed together with the inner surface of the main body.
  • a front retainer 7 is provided in a portion of the lid 3 that faces the substrate storage space 27 when the container main body opening 21 is closed by the lid 3 (inner surface of the lid). The front retainer 7 is disposed so as to make a pair with the back substrate support 6.
  • the front retainer 7 can support the front portions of the edges of the plurality of substrates when the container main body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the front retainer 7 supports a plurality of substrates in cooperation with the back substrate support 6 when the container body opening 21 is closed by the lid 3, thereby separating adjacent substrates from each other at a predetermined interval.
  • a plurality of substrates are held in a state of being separated and arranged in parallel.
  • the wall portion 20 of the container body 2 has a back wall 22, an upper wall 23, a lower wall 24, a first side wall 25, and a second side wall 26.
  • the back wall 22, the upper wall 23, the lower wall 24, the first side wall 25, and the second side wall 26 are made of a plastic material or the like. In the first embodiment, they are integrally formed of polycarbonate.
  • the first side wall 25 and the second side wall 26 face each other, and the upper wall 23 and the lower wall 24 face each other.
  • the rear end of the upper wall 23, the rear end of the lower wall 24, the rear end of the first side wall 25, and the rear end of the second side wall 26 are all connected to the back wall 22.
  • the front end of the upper wall 23, the front end of the lower wall 24, the front end of the first side wall 25, and the front end of the second side wall 26 have a positional relationship facing the back wall 22 and have a substantially rectangular shape. Opening peripheral edge portion 28 is formed.
  • the opening peripheral edge portion 28 is provided at one end portion of the container main body 2 constituted by the wall portion 20, and the back wall 22 is located at the other end portion of the container main body 2.
  • the outer shape of the container body 2 formed by the outer surface of the wall portion 20 is box-shaped.
  • the inner surface of the wall portion 20 constituting the inner surface of the main body, that is, the inner surface of the back wall 22, the inner surface of the upper wall 23, the inner surface of the lower wall 24, the inner surface of the first side wall 25, and the inner surface of the second side wall 26 are surrounded by these.
  • a substrate storage space 27 is formed.
  • the container main body opening 21 formed in the opening peripheral edge portion 28 is surrounded by the wall portion 20 and communicates with the substrate storage space 27 formed in the container main body 2.
  • a maximum of 25 substrates can be stored in the substrate storage space 27 in such a positional relationship that the upper and lower surfaces of the substrates are substantially horizontal.
  • the portion of the opening peripheral edge portion 28 constituted by the upper wall 23 and the lower wall 24 is formed to be recessed outward from the substrate storage space 27.
  • Latch engaging recesses 231A, 231B, 241A, and 241B are provided as recesses.
  • the latch engaging recesses 231A, 231B, 241A, and 241B are formed in two pairs, one in the vicinity of the left and right ends of the upper wall 23 and the lower wall 24, for a total of four, and positions facing each other in the vertical direction D2. Have a relationship.
  • the latch engaging recesses 231 ⁇ / b> A, 231 ⁇ / b> B, 241 ⁇ / b> A, 241 ⁇ / b> B are opposed to the lid 3.
  • the portion of the opening peripheral edge 28 forming the latch engaging recess 231A, 231B, 241A, 241B constitutes an engaging recess forming portion.
  • a flange fixing portion (not shown) is integrally formed with the upper wall 23.
  • a flange fixing portion (not shown) is disposed at the center of the upper wall 23.
  • a top flange 236 is fixed to a flange fixing portion (not shown).
  • the top flange 236 is disposed at the center of the upper wall 23.
  • the top flange 236 is hung on an arm (not shown) of these machines as a lifting member when the substrate storage container 1 is suspended in an AMHS (automatic wafer transfer system), PGV (wafer substrate transfer carriage) or the like. Thereby, the substrate storage container 1 is suspended from the arm. 5A and 6A, the illustration of the flange fixing portion and the top flange 236 is omitted for convenience.
  • the lid 3 has a substantially rectangular shape that substantially matches the shape of the opening peripheral edge 28 of the container body 2.
  • the lid 3 can be attached to and detached from the opening peripheral portion 28 of the container main body 2, and the lid 3 is attached to the opening peripheral portion 28 so that the lid 3 is surrounded by the opening peripheral portion 28.
  • the container body opening 21 can be closed.
  • the lid 3 has a lid body 30 (see FIG. 5A and the like).
  • the lid body 30 includes an inner plate portion 301 having a substantially rectangular plate shape, an outer plate portion 302 having a substantially rectangular plate shape, and a peripheral wall portion 303.
  • the surface on the rear direction D12 side of the inner plate-shaped portion 301 constitutes the inner surface of the lid body, and forms the substrate storage space 27 together with the inner surface of the container body when the container body opening 21 is closed by the lid body 3.
  • the peripheral edge of the inner plate-like portion 301 (see FIG. 5A and the like) is a front direction that is perpendicular to the inner surface of the lid of the inner plate-like portion 301 along the peripheral edge so as to go around the periphery.
  • a peripheral wall portion 303 extending in the direction D11 is provided.
  • the inner plate-like portion 301 and the peripheral wall portion 303 are integrally formed of polycarbonate and connected.
  • the outer side plate-shaped part 302 is arrange
  • the outer plate-like portion 302 is fixed to the inner plate-like portion 301 with the peripheral edge of the outer plate-like portion 302 surrounded by the peripheral wall portion 303.
  • a box-like structure is configured by the inner plate portion 301, the peripheral wall portion 303, and the outer plate portion 302, and the inner plate portion 301, the peripheral wall portion 303, and the like.
  • a lid body internal space 304 surrounded by the outer plate-like portion 302 is formed.
  • the surface on the front direction D11 side of the outer plate-shaped portion 302 constitutes the lid outer surface.
  • the lid 3 has a substantially rectangular plate shape (thin rectangular parallelepiped shape) having a lid outer surface and a lid inner surface as a whole.
  • An annular seal member 4 is attached to the periphery of the inner plate-shaped portion 301 constituting the lid body 30.
  • the seal member 4 is disposed so as to go around the peripheral wall portion 303 of the lid body 30.
  • the seal member 4 is made of various thermoplastic elastomers such as polyester and polyolefin that can be elastically deformed, made of fluoro rubber, and made of silicone rubber.
  • the seal member 4 When the lid 3 is mounted on the opening peripheral edge 28, the seal member 4 is sandwiched between the step portion 201 (see FIG. 2) formed in the container body 2 and the inner surface of the lid body 30 and elastically deforms. . That is, when the sealing member 4 is interposed between the lid 3 and the container body 2, the lid body 3 and the opening peripheral portion 28 are separated from each other without coming into contact with each other.
  • the main body opening 21 can be closed. By removing the lid 3 from the opening peripheral edge 28, the substrate can be taken in and out of the substrate storage space 27 in the container body 2.
  • the lid inner space 304 of the lid body 30 is provided with a latch mechanism having a latch rotating member 31 as a latch driving unit and a latch arm 32 as a latch member.
  • the latch mechanism is disposed in the lid inner space 304 at a position near the left direction D31 and a position near the right direction D32.
  • Two pairs of latch arms 32 are arranged in pairs in the vertical direction D2.
  • the base end portions 321 of the pair of latch arms 32 are respectively engaged with a latch rotating member 31 as a latch driving portion.
  • the latch arm 32 extends in the upward direction D21 and the downward direction D22 from the base end portion 321 of the latch arm 32 that engages with the latch rotation member 31, respectively.
  • the latch rotating member 31 is integrally formed of a resin whose main component is POM (polyacetal). Therefore, the latch rotating member 31 is a rigid body that hardly elastically deforms due to a reaction force or the like acting from the latch arm 32 when the latch arm 32 moves between the engagement position and the engagement release position as will be described later. It is comprised by.
  • the latch rotation member 31 has a circular portion 311, and is supported by an inner plate-shaped portion 301 (see FIG. 5A and the like) of the lid body 30 so as to be rotatable about the center of the circular portion 311 as a rotation axis. Yes.
  • the latch rotation member 31 is supported by the inner plate-shaped portion 301 so as not to move in the vertical direction D2 and the horizontal direction D3, although it can rotate in this way.
  • a pair of elongated holes 312 having an arc shape of about 90 ° at the central angle of the circular portion 311 is formed along the substantially peripheral edge at a position in the vicinity of the peripheral edge of the circular portion 311.
  • the linear distance from the center of the circular portion 311 to the elongated hole 312 varies depending on the location of the elongated hole 312. For example, the linear distance from the center of the circular portion 311 to the end portion of the elongated hole 312 in the clockwise direction takes the maximum value. Further, the linear distance from the center of the circular portion 311 to the end portion of the elongated hole 312 in the counterclockwise direction takes the minimum value.
  • a linear recess 313 that is recessed in a straight line is formed at the center of the latch rotation member 31.
  • the straight concave portion 313 can be engaged with a straight convex portion provided at the tip of an arm of a device (not shown) for opening and closing the lid 3.
  • the latch rotating member 31 can be rotated by rotating an arm (not shown) in a state where the straight convex portion (not shown) is engaged with the linear concave portion 313.
  • the latch rotation member 31 engages the latch arm 32 with the engagement position due to the difference in the linear distance from the center of the circular portion 311 to the elongated hole 312 as the latch rotation member 31 rotates. It can be moved between the release positions.
  • an elastic protrusion 314 is provided on the peripheral edge of the latch rotating member 31.
  • the elastic protrusion 314 is configured by a member extending in the circumferential direction of the latch rotation member 31 and formed so as to partially cover a notch formed in the peripheral edge portion of the latch rotation member 31. The portion protrudes outward in the radial direction of the latch rotation member 31.
  • the elastic protruding portion 314 is an engaging portion (not shown) formed on the outer plate-like portion 302 when the cylindrical convex portion 325 is located at the end of the elongated hole 312 in the clockwise direction or the counterclockwise direction.
  • the latch rotation member 31 is temporarily prevented from being rotated by this engagement.
  • the elastic protrusion 314 is not particularly engaged with a part of the outer plate-like portion 302, and the latch rotating member 31 is in a state where it can be easily rotated. It is in.
  • the two pairs of latch arms 32 are respectively provided in two pairs of latch engaging recesses 231A, 231B, 241A, 241B that form a pair in the vertical direction D2 when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the engagement position for engaging and fixing the lid body 30 to the container body 2 and the latch engagement recesses 231A, 231B, 241A and 241B are released and the container body 2 is fixed to the lid body 30. It can move with respect to the lid body 30 between the disengagement positions where the is released.
  • the pair of latch arms 32 has a symmetrical shape with respect to a plane that passes through the rotation axis of the latch rotation member 31 and is parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1. For this reason, only one latch arm 32 will be described, and the description of the other latch arm 32 will be omitted unless particularly necessary.
  • the latch arm 32 has a substantially rectangular shape when viewed from the front, as shown in FIGS. 4A and 4B. As shown in FIG. 3, the latch arm 32 has a base end portion 321, a tip end portion 322, and a latch arm main body portion 323, which are integrally formed of a resin whose main component is PBT (polybutylene terephthalate). Has been.
  • the base end portion 321 of the latch arm 32 on the downward direction D22 side of the latch rotating member 31 has a base extension portion 324 extending in the upward direction D21 from a portion on the left direction D31 side of the latch arm main body portion 323. Yes. As shown in FIG.
  • a columnar convex portion 325 extending in the front direction D11 is provided at the extending end portion of the base extending portion 324.
  • the columnar convex portions 325 are engaged with the pair of long holes 312 of the latch rotating member 31 one by one, and can move relative to the long hole 312 in the long hole 312.
  • the latch arm 32 is in the disengagement position. At this time, the leading end portion 322 of the latch arm 32 extends from the through holes 303A and 303B (see FIG. 5B, FIG. 5C, etc.) formed in the peripheral wall portion 303 constituting the upper side of the lid 3 to the upward direction D21 and the downward direction D22. Each will not protrude.
  • FIG. 4B when the cylindrical convex portion 325 is located at the end of the elongated hole 312 in the clockwise direction, the latch arm 32 is in the engaged position. At this time, as shown in FIGS. 2, 6B, and 6C, the leading end portion 322 of the latch arm 32 extends upward from the through holes 303A and 303B formed in the peripheral wall portion 303 that constitutes the upper side of the lid 3, Projects downward D22.
  • the latch arm main body 323 is provided with a plurality of ribs 326 that extend from the vicinity of the proximal end 321 of the latch arm 32 to the vicinity of the distal end 322 and project forward. .
  • the latch arm main body 323 is formed with two guided projections 327 each projecting in the left direction D31 and the right direction D32 that are orthogonal to the moving direction of the latch arm 32, two in total. Yes.
  • the guided convex portion 327 is engaged with a guide portion (not shown) formed on the lid body 30, whereby the latch arm 32 is movable inside the lid body 30 so as to be movable in the vertical direction D ⁇ b> 2. It is supported by the plate-like part 301.
  • the guided convex portion 327 is guided by a guide portion (not shown), the latch arm 32 moves in the vertical direction D2. With this configuration, the latch arm 32 moves between the engagement position and the engagement release position.
  • the end edge of the leading end 322 of the latch arm 32 has a linear shape extending in the left-right direction D3 as shown in FIG. 4A and the like.
  • the latch arm 32 is located when the cylindrical convex portion 325 is positioned at the end of the elongated hole 312 in the clockwise direction, as shown in FIG.
  • bottom forming portion 232A an engaging recess forming portion
  • a concave portion (not shown) that is recessed outward (front direction D11) of the substrate storage space 27 is formed in a portion of the inner plate-shaped portion 301 that constitutes the inner surface of the lid body of the lid body 3.
  • a front retainer 7 is fixedly provided in the recess (not shown).
  • the front retainer 7 has a front retainer substrate receiving portion.
  • Two front retainer substrate receiving portions are arranged so as to form a pair spaced apart at a predetermined interval in the left-right direction D3.
  • the front retainer substrate receiving portions arranged in pairs so as to form a pair in this way are provided in a state where 25 pairs are juxtaposed in the vertical direction D2.
  • the front retainer substrate receiving portion sandwiches and supports the edge of the substrate edge.
  • the lid 3 is fixed to the opening peripheral edge 28 of the container body 2 as follows. First, the latch rotating member 31 is rotated so that the cylindrical convex portion 325 is positioned at the end of the long hole 312 in the counterclockwise direction as shown in FIG. 4A. As a result, the leading end 322 of the latch arm 32 does not protrude in the upward direction D21 and the downward direction D22 from the through holes 303A and 303B formed in the peripheral wall portion 303 constituting the upper side and the lower side of the lid 3, respectively. Become. At this time, the latch arm 32 is in the disengagement position. With this state maintained, the lid 3 is attached to the opening peripheral edge 28 as shown in FIG. 5A.
  • the portion of the peripheral wall 303 of the upper lid 3 is separated from the opening peripheral edge 28 of the container body 2 through the gap S1, but as shown in FIG. A portion of the peripheral wall portion 303 of the lower lid 3 is in contact with the opening peripheral edge portion 28 of the container body 2.
  • the straight convex portion provided at the end of the arm of the device (not shown) for opening and closing the lid 3 is engaged with the linear concave portion 313 (see FIG. 4A and the like) of the latch rotating member 31.
  • the arm is rotated to rotate the latch rotating member 31.
  • the convex portion of the base end portion 321 of the latch arm 32 moves relative to the elongated hole 312 in the elongated hole 312 of the latch rotating member 31, whereby the latch arm 32 on the upper side of the latch rotating member 31 is moved.
  • Simultaneously moves in the upward direction D21 the lower latch arm 32 of the latch rotation member 31 moves in the downward direction D22.
  • the leading end portion 322 of the latch arm 32 projects from the through holes 303A and 303B formed in the peripheral wall portion 303 constituting the upper side and the lower side of the lid 3 to the upward direction D21 and the downward direction D22, respectively.
  • the columnar convex portion 325 is positioned at the end of the elongated hole 312 in the clockwise direction, so that the latch arm 32 is in the engagement position, and the tip end portion 322 of the latch arm 32 is.
  • 6A to 6C are engaged with the latch engaging recesses 231A, 231B, 241A, 241B, and the bottom forming portions 232A, 242A, the bottom forming portions of the latch engaging recesses 231A, 231B, 241A, 241B, respectively. (Not shown).
  • the tip 322 of the lower latch arm 32 comes into contact with the bottom forming portion 242A and the bottom forming portion (not shown) of the latch engaging recesses 241A and 241B.
  • the lid body 30 is pushed up in the upward direction D21, and the portion of the peripheral wall portion 303 on the lower side of the lid body 3 opens the peripheral edge portion 28 of the container body 2 via the gap S2, as shown in FIG. 6C.
  • the portion of the peripheral wall portion 303 on the lower side of the lid body 3 is separated from the opening peripheral edge portion 28 of the container body 2 via the gap S2, and the lid body.
  • the upper peripheral wall portion 303 is also spaced from the opening peripheral edge portion 28 of the container body 2 via the gap S2.
  • the upper latch arm 32 protrudes from the upper side of the lid 3 in the upward direction D21 and engages with the latch engagement recesses 231A and 231B of the container body 2, and the lower latch arm 32 is the lid.
  • the lid 3 is fixed to the opening peripheral edge portion 28 of the container body 2 by projecting in the downward direction D22 from the lower side of the container 3 and engaging with the latch engagement recesses 241A and 241B of the container body 2.
  • the substrate storage container 1 has a substrate main body 27 having an opening peripheral portion 28 in which a substrate storage space 27 capable of storing a plurality of substrates is formed and a container main body opening 21 communicating with the substrate storage space 27 is formed at one end. 2 and a lid 3 that can be attached to and detached from the opening peripheral edge 28 and can close the container main body opening 21 in a positional relationship surrounded by the opening peripheral edge 28.
  • the opening peripheral edge portion 28 has two pairs of latch engaging recesses 231A, 231B, 241A, and 241B formed to face the lid body 3 so as to face each other, and the lid body 3 is a lid body.
  • the lid body 30 When the container body opening 21 is closed by the main body 30 and the lid 3, the lid body 30 is engaged with the container main body 2 by engaging with at least a pair of latch engaging recesses 231 A, 231 B, 241 A, and 241 B, respectively.
  • the lid between the engagement position to be fixed to the latch engagement recesses 231A, 231B, 241A and 241B and the engagement release position to release the fixation of the lid body 30 to the container body 2 And at least a pair of latch members (latch arms 32) movable with respect to the body main body 30.
  • the distal end portions 322 of the pair of latch arms 32 are at least the bottom forming portions 232A, 242A of the pair of latch engaging concave portions 231A, 231B, 241A, 241B, and the bottom portion is formed.
  • the lid body 30 is separated from the opening peripheral edge 28 that forms the container body opening 21 by abutting against the respective parts (not shown).
  • FIG. 7 is a perspective view showing a latch arm 32A of the substrate storage container 1A according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing a substrate storage container 1A according to the second embodiment of the present invention.
  • the tip 322A of the latch arm 32A has a V-shaped end surface as shown in FIG. 7 and the like, and the latch engagement recess 231C as shown in FIG.
  • 231D, 241C, 241D bottom 230C, 230D, 240C, 240D has a V-shaped bottom surface that coincides with the V-shaped end surface of the tip 322A of the latch arm 32A, the latch arm in the first embodiment It is different from the tip end portion 322 of 32. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the first embodiment, the description thereof is omitted. About the same code
  • the bottom portions 230C, 230D, 240C, and 240D of the latch engaging recesses 231C, 231D, 241C, and 241D of the container main body 2A of the substrate storage container 1A are parallel to the lid outer surface or the lid inner surface, respectively.
  • the cross section (a cross section parallel to the vertical direction D2 and the horizontal direction D3) has a V shape.
  • the V-shaped bottom portions 230 ⁇ / b> C, 230 ⁇ / b> D, 240 ⁇ / b> C, 240 ⁇ / b> D are formed to be recessed in the direction away from the latch rotation member 31 (upward direction D ⁇ b> 21 or downward direction D ⁇ b> 22).
  • the bottom portion forming portion 232C of the latch engaging recesses 231C, 231D, 241C, and 241D when the latch arm 32A is in the engaging position is the portion of the distal end portion 322A of the latch arm 32A of the lid 3A.
  • 232D, 242C, and the part which contacts 242D have a V-shaped end surface.
  • the V-shaped end surface protrudes in a direction away from the latch rotating member 31, and has a shape that coincides with the bottom portions 230C, 230D, 240C, and 240D of the latch engaging recesses 231C, 231D, 241C, and 241D.
  • the V-shaped end surface has a tip butting portion surface 328A and a pair of displacement preventing surfaces 329A.
  • the tip butting portion surface 328A is configured by the surface of the central portion of the V-shaped end surface in the left-right direction D3.
  • the pair of misalignment prevention surfaces 329A are located on both sides in the substantially left-right direction D3 of the tip butting portion surface 328A.
  • the tip butting portion surface 328A engages with the deepest portion of the V-shaped bottom surface of the latch engaging recess portions 231C, 231D, 241C, and 241D.
  • the pair of displacement preventing surfaces 329A can come into surface contact with the bottom portion forming portions 232C, 232D, 242C, and 242D forming the slopes of the V-shaped bottom surfaces of the latch engaging recesses 231C, 231D, 241C, and 241D, respectively. .
  • the bottom portions 230C, 230D, 240C, and 240D of the latch engaging recesses 231C, 231D, 241C, and 241D are V-shaped in a cross section parallel to the lid outer surface or the lid inner surface (a cross section parallel to the vertical direction D2 and the horizontal direction D3). have.
  • the bottom formation portion 232C, 232D, 242C, 242D of the latch engagement recess 231C, 231D, 241C, 241D is the portion of the tip 322A of the latch arm 32A as the latch member.
  • the portion that contacts the V-shaped end surface has a V-shaped end face that coincides with the bottom portions 230C, 230D, 240C, and 240D of the latch engaging recesses 231C, 231D, 241C, and 241D.
  • the latch arm 32A is positioned with respect to the latch engagement recesses 231C, 231D, 241C, and 241D in a direction parallel to the lid outer surface or the lid inner surface (a direction parallel to the vertical direction D2 and the horizontal direction D3). In the same direction, the latch arm 32A can be prevented from being displaced with respect to the latch engaging recesses 231C, 231D, 241C, and 241D.
  • FIG. 9 is a perspective view showing a latch arm 32B of the substrate storage container according to the third embodiment of the present invention.
  • the tip end portion 322B of the latch arm 32B is different from the tip end portion 322A of the latch arm 32A in the second embodiment in that it has a tip end through hole 331B as shown in FIG. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the second embodiment, the description thereof is omitted.
  • the same members will be described with the same reference numerals.
  • the leading end portion 322B of the latch arm 32B has a leading end portion through-hole 331B and a surrounding frame portion 332B.
  • the distal end through hole 331B penetrates the distal end 322B of the latch arm 32B in the front-rear direction D1.
  • the peripheral frame portion 332B is positioned around the distal end portion through hole 331B and constitutes a frame surrounding the distal end portion through hole 331B.
  • the peripheral frame portion 332B contacts the bottom forming portions 232C, 232D, 242C, 242D (see FIG. 8) of the latch engagement recesses 231C, 231D, 241C, 241D when the latch arm 32B is in the engagement position.
  • the peripheral frame portion 332B is a portion of the tip portion 322A of the latch arm 32A of the second embodiment, and when the latch arm 32A is in the engagement position, the bottom forming portion 232C of the latch engagement recesses 231C, 231D, 241C, 241D. 232D, 242C, and 242D have the same V-shaped end surface as the part that abuts.
  • the peripheral frame portion 332B is integrally formed and connected to the latch arm main body portion 323, but the peripheral frame portion 332B is configured by a thin frame portion with respect to the latch arm main body portion 323.
  • the latch arm 32B can be elastically deformed in the moving direction (vertical direction D2). For this reason, the front-end
  • the substrate storage container 1 includes a latch rotation member 31 as a latch drive unit that is configured by a rigid body and moves a latch arm 32B as a latch member between an engagement position and an engagement release position.
  • the leading end 322B of the latch arm 32B is positioned around the leading end through hole 331B and the leading end through hole 331B that penetrates the leading end 322B of the latch arm 32B, and surrounds the leading end through hole 331B.
  • a peripheral frame portion 332B that abuts against the bottom portion forming portions 232C, 232D, 242C, and 242D (see FIG. 8) of the latch engaging recesses 231C, 231D, 241C, and 241D when the arm 32B is in the engaging position.
  • the tip 322B of the latch arm 32B can be elastically expanded and contracted in the moving direction of the latch arm 32B. For this reason, when the latch arm 32B is in the engagement position, the leading end portion 322B of one of the latch arms 32B of the pair of the latch arms 32B has a latch engagement recess due to a slight dimensional error. 231C and 231D are in contact with the bottom forming portions 232C and 232D, but the leading end 322B of the other latch arm 32B is not in contact with the bottom forming portions 242C and 242D of the latch engaging recesses 241C and 241D. Can be prevented.
  • the leading end portions 322B of both latch arms 32B that make a pair can be reliably brought into contact with the bottom forming portions 232C, 232D, 242C, 242D of the latch engaging recesses 231C, 231D, 241C, 241D. it can.
  • FIG. 10 is a perspective view showing a latch arm 32C of the substrate storage container according to the fourth embodiment of the present invention.
  • the leading end 322C of the latch arm 32C has a notch 333C that bisects the peripheral frame 332C as shown in FIG. Is different. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the third embodiment, the description thereof is omitted. The same members will be described with the same reference numerals.
  • a V-shaped bottom forming portion of the latch engagement recesses 231C, 231D, 241C, and 241D when the latch arm 32C is in the engagement position which is a portion of the peripheral frame portion 332C that constitutes the distal end portion 322C of the latch arm 32C.
  • a notch 333C that bisects this portion is formed in a portion that contacts the deepest portion of 232C, 232D, 242C, 242D (see FIG. 8).
  • the notch 333C is formed in a portion corresponding to the tip abutting portion surface 328B of the third embodiment. Due to the presence of the notch 333C, the left side portion and the right side portion of the peripheral frame portion 332C are separated via the notch 333C.
  • the substrate storage container according to the fourth embodiment having the above configuration can provide the following effects.
  • the leading end 322C of the latch arm 32C as a latch member is a part of the peripheral frame portion 332C, and when the latch arm 32C is in the engagement position, the latch engagement recesses 231C, 231D, 241C, and 241D (see FIG. 8). It has a notch 333C that bisects the portion that abuts against the bottom portion forming portions 232C, 232D, 242C, and 242D. For this reason, the front-end
  • FIG. 11 is a perspective view showing a latch arm 32D of the substrate storage container according to the fifth embodiment of the present invention.
  • the latch arm 32D has a latch arm body portion 323D and a latch tip end contact portion 322D, and the tip portion of the latch arm body portion 323D has a substantially triangular portion 3231D. This is different from the latch arm 32 in the first embodiment. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the first embodiment, the description thereof is omitted. The same members will be described with the same reference numerals.
  • the tip portion of the latch arm main body portion 323D has a substantially triangular portion 3231D, and protrudes away from the latch rotating member 31.
  • a latch tip end contact portion 322D is integrally formed with and connected to the substantially triangular portion 3231D of the latch arm main body portion 323D at the apex angle portion that protrudes most in the substantially triangular portion 3231D.
  • the latch tip end contact portion 322D includes an abutting portion 328D and a displacement prevention portion 329D.
  • the abutting portion 328D protrudes thinly from the apex angle of the substantially triangular portion 3231D of the latch arm main body portion 323D so as to be separated from the latch rotating member 31.
  • a pair of misalignment prevention portions 329D is provided, and one end portion of the misalignment prevention portion 329D is integrally formed and connected to the abutting portion 328D.
  • the displacement arm portion 323D As the displacement prevention portion 329D approaches the other end portion of the displacement prevention portion 329D, along the two oblique sides of the substantially triangular portion 3231D at the front end of the latch arm body portion 323D, the displacement arm portion 323D has the latch arm body portion 323D in the left-right direction D3. It extends to a position corresponding to the position of the edge. Therefore, each of the pair of misalignment prevention portions 329D constitutes a cantilever spring and can be easily elastically deformed.
  • the end face of the abutting portion 328D corresponding to the tip end face and the end face of the misalignment preventing portion 329D coincide with the bottom forming portions 232C, 232D, 242C, 242D (see FIG. 8) of the latch engaging recesses 231C, 231D, 241C, 241D.
  • the substrate storage container according to the fifth embodiment having the above configuration can provide the following effects.
  • the latch arm 32D protrudes from the latch arm main body 323D and the latch arm main body 323D at the tip of the latch arm 32D.
  • 241C and 241D are in contact with the bottom forming portions 232C, 232D, 242C, and 242D, and have a shape that matches the bottom forming portions 232C, 232D, 242C, and 242D of the latch engaging recesses 231C, 231D, 241C, and 241D.
  • the latch tip end abutting portion 322D can be configured by the abutting portion 328D and the misalignment preventing portion 329D that extends from the abutting portion 328D and forms a cantilever spring, so that the latch engaging concave portion can be more flexibly provided.
  • 231C, 231D, 241C, and 241D can be brought into contact with each other in a state of following.
  • FIG. 12 is a perspective view showing a latch arm 32E of the substrate storage container according to the sixth embodiment of the present invention.
  • the latch arm 32A in the second embodiment is provided in that it has an elastic connection portion 335E that connects the latch arm main body portion 323E and the base end portion 321E of the latch arm 32E as a drive portion engaging portion. Is different. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the second embodiment, the description thereof is omitted. The same members will be described with the same reference numerals.
  • the latch arm 32E has a base end portion 321E, a tip end portion 322A, and a latch arm main body portion 323E that are integrally formed with each other.
  • the latch arm 32E has an elastic connection portion 335E.
  • the elastic connecting portion 335E connects the latch arm main body portion 323E and the driving portion engaging portion, and can elastically extend and contract in the moving direction of the latch arm 32E.
  • the base end portion 321E of the latch arm 32E has a columnar convex portion 325 and a base extending portion 324, as in the first embodiment.
  • the base extension part 324 is integrally formed and connected to a base end part left-right extension part 326E extending in the left-right direction.
  • the end of the latch arm main body 323E on the lower direction D22 side and the base end left / right extending portion 326E are integrally formed with the elastic connecting portion 335E, thereby being connected to each other.
  • the thickness of the elastic connecting portion 335E is configured to be much thinner than the end portion on the lower direction D22 side of the base end portion left and right extending portion 326E and the latch arm main body portion 323E.
  • a portion in the middle of the elastic connecting portion 335E is curved in a wave shape in the front-rear direction D1.
  • the end of the latch arm main body 323E on the downward direction D22 side and the base end left / right extension 326E Furthermore, it is composed of a rigid body that hardly deforms elastically.
  • the substrate storage container according to the sixth embodiment having the above configuration can provide the following effects.
  • the latch arm 32E as a latch member includes a latch arm main body portion 323E configured by a rigid body, and a base end portion 321E as a drive unit engaging unit that is configured by a rigid body and engages with a latch rotation member 31 as a latch drive unit. And an elastic connection portion 335E that connects the latch arm main body portion 323E and the base end portion 321E. With this configuration, the latch arm 32E as a latch member can be elastically extended and contracted in the moving direction (vertical direction D2) of the latch arm 32E.
  • FIG. 13 is principal part schematic sectional drawing which shows the state which the front-end
  • the shape of the leading end 322F of the latch arm 32F and the shape of the engaging recess 231F in the seventh embodiment are different from the shape of the leading end 322 of the latch arm 32 and the shape of the engaging recess 231A in the first embodiment. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the first embodiment, the description thereof is omitted.
  • the same members will be described with the same reference numerals.
  • the opening 236F and the bottom 230F of the engaging recess 231F are connected by a side wall having a vertical portion 233F and a tapered portion 234F that form an engaging recess forming portion that forms the engaging recess 231F.
  • the tapered portion 234F on the side wall constitutes a portion that decreases in diameter from the opening 236F toward the bottom portion 230F.
  • the tapered portion 234F extends from the opening 236F toward the bottom 230F to a predetermined depth.
  • the width of the engaging recess 231F gradually decreases in the left-right direction D3.
  • the lower end of the tapered portion 234F and the bottom forming portion 232F are connected by a vertical portion 233F having a shape in which the width of the engaging recess 231F is constant in the left-right direction D3.
  • the front end 322F of the latch arm 32F has a latch-side tapered portion 332F.
  • the latch-side tapered portion 332F is located closer to the base of the latch arm 32F (downward direction D22) than the tip 328F of the latch arm 32F.
  • the tapered surface of the latch-side tapered portion 332F abuts on the surface of the tapered surface of the tapered portion 234F.
  • the tip 328F of the latch arm 32F does not contact the bottom forming portion 232F of the engaging recess 231F.
  • FIG. 14 is a schematic cross-sectional view of a relevant part showing a state in which the tip 322G of the latch arm 32G of the substrate storage container according to the eighth embodiment of the present invention is engaged with the engagement recess 231F.
  • the distal end 322G of the latch arm 32G in the eighth embodiment is different from the distal end 322F of the latch arm 32F in the seventh embodiment in that it has a distal end through hole 331G similar to the distal end through hole 331B in the third embodiment. Is different. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the seventh embodiment, the description thereof is omitted. The same members will be described with the same reference numerals.
  • the leading end 322G of the latch arm 32G has a leading end through hole 331G and a surrounding frame portion 332G, similar to the leading end 322B of the latch arm 32B in the third embodiment.
  • the distal end through hole 331G penetrates the distal end 322G of the latch arm 32G in the front-rear direction D1.
  • the peripheral frame portion 332G has a latch-side tapered portion 334G that comes into contact with the tapered surface of the tapered portion 234F at a portion closer to the base than the portion constituting the tip 328G of the latch arm 32G. Accordingly, when the latch arm 32G is in the engagement position, the tip 328G of the latch arm 32G does not contact the bottom forming portion 232F of the engagement recess 231F.
  • the leading end 322G of the latch arm 32G has the leading end through hole 331G that penetrates the leading end 322G of the latch arm 32G, and the latch arm 32G is in the engaged position. And a peripheral frame portion 332G that comes into contact with the tapered surface of the tapered portion 234F. With this configuration, the leading end 322G of the latch arm 32G can be elastically expanded and contracted in the moving direction of the latch arm 32G.
  • FIG. 15 is a schematic cross-sectional view of the main part showing a state in which the leading end 322H of the latch arm 32H of the substrate storage container according to the ninth embodiment of the present invention is engaged with the engaging recess 231A.
  • the leading end 322H of the latch arm 32H has an elastic member 332H that abuts on a portion of the opening forming portion 235A that is a part of the engaging recess forming portion that forms the opening 236A of the engaging recess. It differs from the front-end
  • the leading end portion 322H of the latch arm 32H has a constricted portion 334H and an elastic member 332H.
  • the constricted portion 334H is narrowly constricted at the distal end portion 322H of the latch arm 32H.
  • the portion on the distal end side (upward direction D21) of the latch arm 32H relative to the constricted portion 334H is configured to be smaller in width in the left-right direction D3 than the portion on the base side (downward direction D22) of the latch arm 32H. Yes.
  • the elastic member 332H is integrally formed with the same material as the latch arm 32H with a thin thickness, or is formed by fitting rubber or the like made of a material different from that of the latch arm 32H, and is disposed in the constricted portion 334H.
  • the elastic member 332H has an annular shape and is attached to the constricted portion 334H so as to go around the constricted portion 334H.
  • the present invention is not limited to the embodiment described above, and can be modified within the technical scope described in the claims.
  • the latch rotating member 31 as the latch driving unit is temporarily difficult to rotate.
  • the cylindrical convex portion 325 is positioned at the end of the elongated hole 312 in the clockwise direction or the counterclockwise direction
  • the cylindrical convex portion is formed at the end of the elongated hole 312.
  • a concave portion that is recessed toward the center of the circular portion 311 of the latch rotation member 31 that can engage the portion 325 may be formed.
  • the materials, shapes, and configurations of the substrate storage container, the lid, and the latch member are not limited to the materials, shapes, and configurations of the above-described embodiments.
  • the present invention is not limited to this. At least a pair may be formed.
  • the shape of the latch arm is not limited to the shape of the latch arm 32 in the above-described embodiment.
  • the shape of the latch engagement recess is not limited to the shape and configuration of the latch engagement recess in the above-described embodiment.
  • the portion of the engaging recess forming portion that is in contact with the tip of the latch member is configured by the tapered portion 234F in the seventh and eighth embodiments, but is not limited thereto.
  • the portion of the engagement recess forming portion where the tip of the latch member abuts is a side wall that connects the opening and bottom of the engagement recess and has a portion that decreases in diameter from the opening toward the bottom. That's fine.

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Abstract

　基板収納容器１は、容器本体２と蓋体３とを備える。容器本体２の開口周縁部２８は、互いに対向する位置関係を有して蓋体３に対向して形成された少なくとも一対の係合凹部を有する。蓋体３は、蓋体本体３０と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、少なくとも一対の係合凹部にそれぞれ係合して蓋体本体３０を容器本体２に対して固定する係合位置と係合凹部に対して係合が解除され容器本体２に対する蓋体本体３０への固定が解除される係合解除位置との間で蓋体本体３０に対して移動可能な少なくとも一対のラッチ部材３２と、を備える。ラッチ部材３２が係合位置にあるときに、少なくとも一対のラッチ部材３２の先端部３２２が、少なくとも一対の係合凹部を形成する開口周縁部２８の係合凹部形成部２３２Ａにそれぞれ当接することにより、蓋体本体３０を開口周縁部２８から離間させる。

Description

基板収納容器
　本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器に関する。
　半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。
　容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。基板収納空間内には、基板支持板状部が対をなすように壁部に設けられている。基板支持板状部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。
　蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
国際公開第２０１３／０２５６２９号パンフレット
　容器本体開口部を形成する開口周縁部と、容器本体開口部を閉塞する蓋体との間には、容器本体開口部へ蓋体を挿入可能とするために、僅かな隙間が形成されている。このため、容器本体開口部が蓋体によって閉塞された状態で基板収納容器が搬送されているときに、蓋体は、容器本体開口部内において僅かに移動して開口周縁部に当接し、開口周縁部と蓋体とが擦れ合う。これにより、発塵（パーティクルが発生）することがある。
　本発明は、開口周縁部と蓋体とが擦れることによる発塵を防ぐことができる基板収納容器を提供することを目的とする。
　本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、前記開口周縁部は、互いに対向する位置関係を有して前記蓋体に対向して形成された少なくとも一対の係合凹部を有し、前記蓋体は、蓋体本体と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記少なくとも一対の係合凹部にそれぞれ係合して前記蓋体本体を前記容器本体に対して固定する係合位置と前記係合凹部に対して係合が解除され前記容器本体に対する前記蓋体本体の固定が解除される係合解除位置との間で前記蓋体本体に対して移動可能な少なくとも一対のラッチ部材と、を備え、前記ラッチ部材が前記係合位置にあるときに、前記少なくとも一対のラッチ部材の先端部が、前記少なくとも一対の係合凹部を形成する前記開口周縁部の係合凹部形成部にそれぞれ当接することにより、前記蓋体本体を前記開口周縁部から離間させる基板収納容器に関する。
　また、剛体により構成され、前記ラッチ部材を前記係合位置と前記係合解除位置との間で移動させるラッチ駆動部を備え、前記ラッチ部材は、前記ラッチ部材の移動方向において弾性的に伸縮可能であることが好ましい。
　また、前記ラッチ部材の先端部は、前記ラッチ部材の移動方向において弾性的に伸縮可能であることが好ましい。
　また、前記ラッチ部材の先端部は、前記ラッチ部材の先端部を貫通する先端部貫通孔と、前記先端部貫通孔の周囲に位置して、前記先端部貫通孔を取囲み、前記ラッチ部材が前記係合位置にあるときに前記係合凹部形成部に当接する周囲枠部と、を有することが好ましい。
　また、前記ラッチ部材の先端部は、前記周囲枠部の部分であって前記ラッチ部材が前記係合位置にあるときに前記係合凹部形成部に当接する部分を二分する切欠きを有することが好ましい。
　また、前記ラッチ部材は、剛体により構成されたラッチ部材本体部と、剛体により構成され、前記ラッチ駆動部に係合する駆動部係合部と、前記ラッチ部材本体部と前記駆動部係合部とを接続し、前記ラッチ部材の移動方向において弾性的に伸縮可能である弾性接続部とを有することが好ましい。
　また、前記ラッチ部材は、ラッチ部材本体部と、前記ラッチ部材の先端部において前記ラッチ部材本体部から突出し、前記ラッチ部材が前記係合位置にあるときに前記係合凹部形成部に当接するラッチ先端部当接部とを有し、前記ラッチ先端部当接部の部分であって前記係合凹部形成部に当接する部分は、前記係合凹部形成部の部分であって前記ラッチ先端部当接部が当接する部分に一致する形状を有することが好ましい。
　また、前記係合凹部形成部の部分であって前記ラッチ部材の先端部が当接する部分は、前記係合凹部の底部を形成する部分であることが好ましい。
　また、前記蓋体は、蓋体外面及び蓋体内面を有する略長方形状の板状を有し、前記係合凹部の底部は、前記蓋体外面又は前記蓋体内面に平行な断面ではＶ字形状を有し、前記ラッチ部材の先端部の部分であって前記ラッチ部材が前記係合位置にあるときに前記係合凹部の底部を形成する前記係合凹部形成部の部分に当接する部分は、前記係合凹部の底部に一致するＶ字形状端面を有することが好ましい。
　また、前記係合凹部形成部の部分であって前記ラッチ部材の先端部が当接する部分は、前記係合凹部の開口と底部とを結ぶ側壁であって開口から底部へ向かって縮径する部分を有する側壁であることが好ましい。
　また、前記係合凹部形成部の部分であって前記ラッチ部材の先端部が当接する部分は、前記係合凹部の開口を形成している部分であることが好ましい。
　本発明によれば、開口周縁部と蓋体とが擦れることによる発塵を防ぐことができる基板収納容器を提供することができる。
本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のラッチ回転部材３１及びラッチアーム３２を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において蓋体３が開口周縁部２８から取り外し可能な状態のときの、ラッチ回転部材３１及びラッチアーム３２の状態を示す正面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において蓋体本体３０が開口周縁部２８に対して固定されている状態のときの、ラッチ回転部材３１及びラッチアーム３２の状態を示す正面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、蓋体３が開口周縁部２８から取り外し可能な状態を示す断面図である。 図５Ａの二点鎖線Ａで囲まれた部分を示す拡大断面図である。 図５Ａの二点鎖線Ｂで囲まれた部分を示す拡大断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、蓋体本体３０が開口周縁部２８に対して固定されている状態を示す断面図である。 図６Ａの二点鎖線Ｃで囲まれた部分を示す拡大断面図である。 図６Ａの二点鎖線Ｄで囲まれた部分を示す拡大断面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａのラッチアーム３２Ａを示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａを示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｂを示す斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｃを示す斜視図である。 本発明の第５実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｄを示す斜視図である。 本発明の第６実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｅを示す斜視図である。 本発明の第７実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｆの先端部３２２Ｆが係合凹部２３１Ｆに係合している状態を示す要部概略断面図である。 本発明の第８実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｇの先端部３２２Ｇが係合凹部２３１Ｆに係合している状態を示す要部概略断面図である。 本発明の第９実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｈの先端部３２２Ｈが係合凹部２３１Ａに係合している状態を示す要部概略断面図である。
　以下、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のラッチ回転部材３１及びラッチアーム３２を示す斜視図である。図４Ａは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において蓋体３が開口周縁部２８から取り外し可能な状態のときの、ラッチ回転部材３１及びラッチアーム３２の状態を示す正面図である。図４Ｂは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において蓋体本体３０が開口周縁部２８に対して固定されている状態のときの、ラッチ回転部材３１及びラッチアーム３２の状態を示す正面図である。
　図５Ａは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、蓋体３が開口周縁部２８から取り外し可能な状態を示す断面図である。図５Ｂは、図５Ａの二点鎖線Ａで囲まれた部分を示す拡大断面図である。図５Ｃは、図５Ａの二点鎖線Ｂで囲まれた部分を示す拡大断面図である。図６Ａは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、蓋体本体３０が開口周縁部２８に対して固定されている状態を示す断面図である。図６Ｂは、図６Ａの二点鎖線Ｃで囲まれた部分を示す拡大断面図である。図６Ｃは、図６Ａの二点鎖線Ｄで囲まれた部分を示す拡大断面図である。
　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における左下方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における左上方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。
　また、基板収納容器１に収納される基板（図示せず）は、円盤状のシリコーンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板は、直径３００ｍｍ～４５０ｍｍのシリコーンウェーハである。
　図１、図２に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と蓋体３とを有している。容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０の内面からなる本体内面により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、複数の基板を収納可能である。
　基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において左右方向Ｄ３に対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６（図５Ａ等参照）が設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板の縁部の後部を支持可能である。
　蓋体３は、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときに、蓋体内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）が容器本体２の内面（容器本体２の内側の面により構成される本体内面）と共に基板収納空間２７を形成する。蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分（蓋体内面）には、フロントリテーナ７が設けられている。フロントリテーナ７は、奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
　フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板の縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。以下、各部について、詳細に説明する。
　図１～図２に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。
　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
　開口周縁部２８は、壁部２０により構成される容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。本体内面を構成する壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板を、基板の上面及び下面が略水平となる位置関係で収納可能である。
　図１、図２、図５Ｃに示すように、上壁２３及び下壁２４により構成される開口周縁部２８の部分は、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んで形成された、係合凹部としてのラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂを有している。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、二対で計４つ形成されており、上下方向Ｄ２において、互いに対向する位置関係を有している。従って、開口周縁部２８に蓋体３が装着されているときには、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、蓋体３に対向している。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂを形成している開口周縁部２８の部分は、係合凹部形成部を構成する。
　上壁２３の外面においては、フランジ固定部（図示せず）が、上壁２３と一体成形されて設けられている。フランジ固定部（図示せず）は、上壁２３の中央部に配置されている。フランジ固定部（図示せず）には、図１、図２に示すように、トップフランジ２３６が固定されている。トップフランジ２３６は、上壁２３の中央部に配置されている。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、吊り上げ部材としてのこれらの機械のアーム（図示せず）に掛けられ、これにより基板収納容器１は、アームに吊り下げられる。なお、図５Ａ、図６Ａにおいては、便宜上、フランジ固定部及びトップフランジ２３６の図示を省略する。
　図１に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、開口周縁部２８によって取り囲まれる位置関係で、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図５Ａ等に示すように、蓋体３は、蓋体本体３０（図５Ａ等参照）を有している。
　蓋体本体３０は、略長方形状の板状を有する内側板状部３０１と、略長方形状の板状を有する外側板状部３０２と、周壁部３０３とを有している。内側板状部３０１の後方向Ｄ１２の側の面は、蓋体内面を構成し、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、容器本体内面と共に基板収納空間２７を形成する。内側板状部３０１（図５Ａ等参照）の周縁部には、当該周縁部を一周するように当該周縁部に沿って、内側板状部３０１の蓋体内面に対して直交する方向である前方向Ｄ１１へ延びる周壁部３０３が設けられている。内側板状部３０１と周壁部３０３とは、ポリカーボネートにより一体成形されて接続されている。
　前方向Ｄ１１における周壁部３０３の延出端部には、外側板状部３０２が配置されている。外側板状部３０２は、外側板状部３０２の周縁が周壁部３０３に取囲まれた状態で、内側板状部３０１に固定されている。この構成により、図５Ａ等に示すように、内側板状部３０１と、周壁部３０３と、外側板状部３０２とにより箱状の構造が構成され、内側板状部３０１と、周壁部３０３と、外側板状部３０２とにより囲まれる蓋体内部空間３０４が形成されている。また、外側板状部３０２の前方向Ｄ１１の側の面は、蓋体外面を構成する。従って蓋体３は、全体として蓋体外面及び蓋体内面を有する略長方形状の板状（薄い直方体形状）を有している。
　蓋体本体３０を構成する内側板状部３０１の周縁には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、蓋体本体３０の周壁部３０３を一周するように配置されている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコーンゴム製等である。
　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、容器本体２に形成された段部２０１（図２参照）と蓋体本体３０の内面とにより挟まれて弾性変形する。即ち、蓋体３と容器本体２との間にシール部材４が介在することにより、蓋体本体３０と開口周縁部２８とが互いに当接せずに離間した状態で、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板を出し入れ可能となる。
　図５Ａ等に示すように、蓋体本体３０の蓋体内部空間３０４には、ラッチ駆動部としてのラッチ回転部材３１、及び、ラッチ部材としてのラッチアーム３２を有するラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体内部空間３０４において左方向Ｄ３１寄りの位置と右方向Ｄ３２寄りの位置に配置されている。ラッチアーム３２は、上下方向Ｄ２において対をなして計２対配置されている。図３に示すように、一対のラッチアーム３２の基端部３２１は、ラッチ駆動部としてのラッチ回転部材３１にそれぞれ係合している。ラッチアーム３２は、ラッチ回転部材３１に係合するラッチアーム３２の基端部３２１から上方向Ｄ２１、下方向Ｄ２２にそれぞれ延びている。
　より具体的にはラッチ回転部材３１は、主成分がＰＯＭ（ポリアセタール）の樹脂により一体成形されている。従って、ラッチ回転部材３１は、後述のようにラッチアーム３２が係合位置と係合解除位置との間で移動する際に、ラッチアーム３２から作用する反力等によっては、ほとんど弾性変形しない剛体により構成されている。ラッチ回転部材３１は、円形状部３１１を有しており、円形状部３１１の中心を回転軸心として回転可能に蓋体本体３０の内側板状部３０１（図５Ａ等参照）に支持されている。ラッチ回転部材３１は、このように回転可能ではあるが、上下方向Ｄ２や左右方向Ｄ３へ移動不能に内側板状部３０１に支持されている。円形状部３１１の周縁近傍の位置には、点対称の位置関係で、略周縁に沿って円形状部３１１の中心角で略９０°の弧状を有する一対の長穴３１２が形成されている。
　図４Ａ等に示すように、長穴３１２においては、円形状部３１１の中心から長穴３１２までの直線距離は、長穴３１２の場所によって異なる。例えば、円形状部３１１の中心から長穴３１２の時計回り方向における端部までの直線距離は、最大の値を採る。また、円形状部３１１の中心から長穴３１２の反時計回り方向における端部までの直線距離は、最小の値を採る。ラッチ回転部材３１の中央部には、一直線状に窪んだ直線状凹部３１３が形成されている。直線状凹部３１３には、蓋体３を開閉するための装置（図示せず）のアームの先端に設けられた一直線状の凸部が係合可能である。この一直線状の凸部（図示せず）が直線状凹部３１３に係合している状態でアーム（図示せず）が回転することにより、ラッチ回転部材３１を回転させることができる。ラッチ回転部材３１が回転することによって、円形状部３１１の中心から長穴３１２までの直線距離の違いにより、後述のように、ラッチ回転部材３１は、ラッチアーム３２を、係合位置と係合解除位置との間で移動させることができる。
　また、ラッチ回転部材３１の周縁部には、弾性突出部３１４が設けられている。弾性突出部３１４は、ラッチ回転部材３１の周縁部に形成された切欠きを部分的に覆うように形成された、ラッチ回転部材３１の周方向に延びる部材により構成されており、その部材の一部が、ラッチ回転部材３１の半径方向外方へ突出している。弾性突出部３１４は、円柱状の凸部３２５が長穴３１２の時計回り方向もしくは反時計回り方向の端部に位置するときに、外側板状部３０２に形成された係合部（図示せず）に係合可能であり、この係合により、ラッチ回転部材３１は、一時的に回転されにくい状態とされる。ラッチアーム３２が係合位置以外の位置にあるときには、弾性突出部３１４は、特に外側板状部３０２の一部には係合しておらず、ラッチ回転部材３１は、容易に回転可能な状態にある。
　２対のラッチアーム３２は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、上下方向Ｄ２において対をなしている２対のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂにそれぞれ係合して蓋体本体３０を容器本体２に固定する係合位置と、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに対して係合が解除され容器本体２に対する蓋体本体３０への固定が解除される係合解除位置との間で、蓋体本体３０に対して移動可能である。
　具体的には、一対のラッチアーム３２は、ラッチ回転部材３１の回転軸心を通り左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な面に関して対称形状を有している。このため、一方のラッチアーム３２についてのみ説明し、特に必要が無い場合には、他方のラッチアーム３２については、説明を省略する。
　ラッチアーム３２は、図４Ａ、図４Ｂに示すように、正面視で略長方形状を有している。図３に示すように、ラッチアーム３２は、基端部３２１と先端部３２２とラッチアーム本体部３２３とを有しており、これらは、主成分がＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）の樹脂により一体成形されている。ラッチ回転部材３１の下方向Ｄ２２の側にあるラッチアーム３２の基端部３２１は、ラッチアーム本体部３２３の左方向Ｄ３１の側の部分から上方向Ｄ２１へ延びる基部延出部３２４を有している。基部延出部３２４の延出端部には、図４Ａ等に示すように、前方向Ｄ１１へ延びる円柱状の凸部３２５が設けられている。円柱状の凸部３２５は、ラッチ回転部材３１の一対の長穴３１２に１つずつ係合しており、長穴３１２内を長穴３１２に対して相対的に移動可能である。
　図４Ａに示すように、円柱状の凸部３２５が長穴３１２の反時計回り方向における端部に位置しているときには、ラッチアーム３２は、係合解除位置にある。このとき、ラッチアーム３２の先端部３２２は、蓋体３の上辺を構成する周壁部３０３に形成された貫通孔３０３Ａ、３０３Ｂ（図５Ｂ、図５Ｃ等参照）から上方向Ｄ２１、下方向Ｄ２２へそれぞれ突出していない状態となる。図４Ｂに示すように、円柱状の凸部３２５が長穴３１２の時計回り方向における端部に位置しているときには、ラッチアーム３２は、係合位置にある。このとき、ラッチアーム３２の先端部３２２は、図２、図６Ｂ、図６Ｃに示すように、蓋体３の上辺を構成する周壁部３０３に形成された貫通孔３０３Ａ、３０３Ｂから上方向Ｄ２１、下方向Ｄ２２へ突出する。
　また、図３に示すように、ラッチアーム本体部３２３には、ラッチアーム３２の基端部３２１近傍から先端部３２２近傍に至るまで延び、前方へ突出する複数本のリブ３２６が設けられている。また、ラッチアーム本体部３２３には、ラッチアーム３２の移動方向に直交する方向である左方向Ｄ３１及び右方向Ｄ３２にそれぞれ突出する被ガイド凸部３２７が、２つずつ、計４つ形成されている。被ガイド凸部３２７は、蓋体本体３０に形成されたガイド部（図示せず）に係合しており、これにより、ラッチアーム３２は、上下方向Ｄ２へ移動可能に蓋体本体３０の内側板状部３０１に支持されている。被ガイド凸部３２７がガイド部（図示せず）に案内されることにより、ラッチアーム３２は、上下方向Ｄ２へ移動する。この構成により、ラッチアーム３２は、係合位置と係合解除位置との間を移動する。
　また、ラッチアーム３２の先端部３２２の端縁は、図４Ａ等に示すように、左右方向Ｄ３に延びる直線状を有している。ラッチアーム３２は、長手方向（上下方向Ｄ２）において、図４Ｂに示すように、円柱状の凸部３２５が時計回り方向における長穴３１２の端部に位置しているとき、即ち、ラッチアーム３２が係合位置にあるときには、一対のラッチアーム３２の先端部３２２が、図６Ａ～図６Ｃに示すように、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに係合して、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂの底部２３０Ａ、２４０Ａ等を形成する係合凹部形成部の部分（以下「底部形成部２３２Ａ」という）に同時に当接する程度の長さを有している。
　蓋体３の蓋体内面を構成する内側板状部３０１の部分には、基板収納空間２７の外方（前方向Ｄ１１）へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）には、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。
　フロントリテーナ７は、フロントリテーナ基板受け部を有している。フロントリテーナ基板受け部は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板が収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板の縁部の端縁を挟持して支持する。
　上記構成の基板収納容器１において、容器本体２の開口周縁部２８への蓋体３の固定は、以下のようにして行われる。先ず、ラッチ回転部材３１を回転させて、図４Ａに示すように、円柱状の凸部３２５を反時計回り方向における長穴３１２の端部に位置した状態とする。これにより、ラッチアーム３２の先端部３２２は、蓋体３の上辺、下辺を構成する周壁部３０３に形成された貫通孔３０３Ａ、３０３Ｂから、上方向Ｄ２１、下方向Ｄ２２へそれぞれ突出していない状態となる。このとき、ラッチアーム３２は、係合解除位置にある。この状態を維持して、図５Ａに示すように、蓋体３を開口周縁部２８に装着する。
　このとき、図５Ｂに示すように、上側の蓋体３の周壁部３０３の部分は、間隙Ｓ１を介して容器本体２の開口周縁部２８から離間しているが、図５Ｃに示すように、下側の蓋体３の周壁部３０３の部分は、容器本体２の開口周縁部２８に当接している。
　次に、蓋体３を開閉するための装置（図示せず）のアームの先端に設けられた一直線状の凸部を、ラッチ回転部材３１の直線状凹部３１３（図４Ａ等参照）に係合させ、当該アームを回転させて、ラッチ回転部材３１を回転させる。すると、ラッチ回転部材３１の長穴３１２内において長穴３１２に対して、ラッチアーム３２の基端部３２１の凸部が相対的に移動し、これにより、ラッチ回転部材３１の上側のラッチアーム３２が上方向Ｄ２１へ移動すると同時に、ラッチ回転部材３１の下側のラッチアーム３２は、下方向Ｄ２２へ移動する。このとき、ラッチアーム３２の先端部３２２は、蓋体３の上辺、下辺を構成する周壁部３０３に形成された貫通孔３０３Ａ、３０３Ｂから、上方向Ｄ２１、下方向Ｄ２２へそれぞれ突出している状態となる。そして、図４Ｂに示すように、円柱状の凸部３２５が時計回り方向における長穴３１２の端部に位置することにより、ラッチアーム３２は、係合位置にあり、ラッチアーム３２の先端部３２２は、図６Ａ～図６Ｃに示すように、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに係合し、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂの底部形成部２３２Ａ、２４２Ａ、底部形成部（図示せず）に当接する。
　この際、より詳細には、先ず下側のラッチアーム３２の先端部３２２がラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂの底部形成部２４２Ａ、底部形成部（図示せず）に当接する。これにより、蓋体本体３０が上方向Ｄ２１へ押し上げられて、蓋体３の下側の周壁部３０３の部分は、図６Ｃに示すように、間隙Ｓ２を介して容器本体２の開口周縁部２８から離間する。そして、上側のラッチアーム３２の先端部３２２がラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂの底部形成部２３２Ａ、底部形成部（図示せず）に当接して、ラッチアーム３２は、係合位置に存在する。このように、ラッチアーム３２が係合位置にあるときに、蓋体３の下側の周壁部３０３の部分は、容器本体２の開口周縁部２８から間隙Ｓ２を介して離間するとともに、蓋体３の上側の周壁部３０３の部分も、図６Ｂに示すように、容器本体２の開口周縁部２８から間隙Ｓ２を介して離間している。
　このように、上側のラッチアーム３２が蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側のラッチアーム３２が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
　上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。基板収納容器１は、複数の基板を収納可能な基板収納空間２７が内部に形成され、一端部に基板収納空間２７に連通する容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有する容器本体２と、開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８によって取り囲まれる位置関係で容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、を備える。開口周縁部２８は、互いに対向する位置関係を有して蓋体３に対向して形成された二対のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂを有し、蓋体３は、蓋体本体３０と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、少なくとも一対のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂにそれぞれ係合して蓋体本体３０を容器本体２に対して固定する係合位置とラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに対して係合が解除され容器本体２に対する蓋体本体３０の固定が解除される係合解除位置との間で蓋体本体３０に対して移動可能な少なくとも一対のラッチ部材（ラッチアーム３２）と、を備える。そして、ラッチアーム３２が係合位置にあるときに、少なくとも一対のラッチアーム３２の先端部３２２が、少なくとも一対のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂの底部形成部２３２Ａ、２４２Ａ、底部形成部（図示せず）にそれぞれ当接することにより、蓋体本体３０を、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８から離間させる。
　即ち、上記構成により、ラッチアーム３２が係合位置にあるときに、蓋体３の下側の周壁部３０３の部分を、容器本体２の開口周縁部２８から離間させることができるとともに、蓋体３の上側の周壁部３０３の部分をも、容器本体２の開口周縁部２８から離間させることができる。このため、基板収納容器１を搬送しているときに、蓋体３の下側の周壁部３０３の部分が、容器本体２の開口周縁部２８に対して擦れることを防止することができ、擦れることにより発塵する（パーティクルが発生する）ことを防止することができる。
　次に、本発明の第２実施形態による基板収納容器について、図７～図８を参照しながら説明する。図７は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａのラッチアーム３２Ａを示す斜視図である。図８は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａを示す断面図である。第２実施形態では、ラッチアーム３２Ａの先端部３２２Ａは、図７等に示すように、Ｖ字形状の端面を有している点、及び、図８等に示すように、ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部２３０Ｃ、２３０Ｄ、２４０Ｃ、２４０Ｄが、ラッチアーム３２Ａの先端部３２２ＡのＶ字形状の端面と一致するＶ字形状の底面を有する点において、第１実施形態におけるラッチアーム３２の先端部３２２とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の符号については、同一の符号を付して説明する。
　基板収納容器１Ａの容器本体２Ａのラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部２３０Ｃ、２３０Ｄ、２４０Ｃ、２４０Ｄは、図８に示すように、それぞれ、蓋体外面又は蓋体内面に平行な断面（上下方向Ｄ２及び左右方向Ｄ３に平行な断面）では、Ｖ字形状を有している。Ｖ字形状の底部２３０Ｃ、２３０Ｄ、２４０Ｃ、２４０Ｄは、ラッチ回転部材３１から離間する方向（上方向Ｄ２１又は下方向Ｄ２２）へそれぞれ窪んで形成されている。
　図８に示すように、蓋体３Ａのラッチアーム３２Ａの先端部３２２Ａの部分であってラッチアーム３２Ａが係合位置にあるときにラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄに当接する部分は、Ｖ字形状の端面を有している。Ｖ字形状の端面は、ラッチ回転部材３１から離間する方向へ突出しており、ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部２３０Ｃ、２３０Ｄ、２４０Ｃ、２４０Ｄに一致する形状を有している。Ｖ字形状の端面は、先端突き当て部面３２８Ａと、一対のズレ防止面３２９Ａとを有している。先端突き当て部面３２８Ａは、左右方向Ｄ３におけるＶ字形状の端面の中央の部分の面により構成されている。一対のズレ防止面３２９Ａは、先端突き当て部面３２８Ａの略左右方向Ｄ３における両側に位置している。先端突き当て部面３２８Ａがラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１ＤのＶ字形状の底面の最も深い部分に係合する。一対のズレ防止面３２９Ａは、ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１ＤのＶ字形状の底面の斜面を形成している底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄにそれぞれ面当接可能である。
　上記構成の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａによれば、以下のような効果を得ることができる。ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部２３０Ｃ、２３０Ｄ、２４０Ｃ、２４０Ｄは、蓋体外面又は蓋体内面に平行な断面（上下方向Ｄ２及び左右方向Ｄ３に平行な断面）ではＶ字形状を有している。そしてラッチ部材としてのラッチアーム３２Ａの先端部３２２Ａの部分であってラッチアーム３２Ａが係合位置にあるときにラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄに当接する部分は、ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部２３０Ｃ、２３０Ｄ、２４０Ｃ、２４０Ｄに一致するＶ字形状の端面を有する。
　この構成により、蓋体外面又は蓋体内面に平行な方向（上下方向Ｄ２及び左右方向Ｄ３に平行な方向）において、ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄに対してラッチアーム３２Ａを位置決めすることができ、同方向において、ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄに対してラッチアーム３２Ａが位置ずれすることを抑えることができる。
　次に、本発明の第３実施形態による基板収納容器について、図９を参照しながら説明する。図９は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｂを示す斜視図である。第３実施形態では、ラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂは、図９に示すように、先端部貫通孔３３１Ｂを有する点において、第２実施形態におけるラッチアーム３２Ａの先端部３２２Ａとは異なる。これ以外の構成については、第２実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
　ラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂは、先端部貫通孔３３１Ｂと周囲枠部３３２Ｂとを有している。先端部貫通孔３３１Ｂは、ラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂを前後方向Ｄ１に貫通している。周囲枠部３３２Ｂは、先端部貫通孔３３１Ｂの周囲に位置して、先端部貫通孔３３１Ｂを取囲む枠を構成する。周囲枠部３３２Ｂは、ラッチアーム３２Ｂが係合位置にあるときにラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄ（図８参照）に当接する。周囲枠部３３２Ｂは、第２実施形態のラッチアーム３２Ａの先端部３２２Ａの部分であってラッチアーム３２Ａが係合位置にあるときにラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄに当接する部分と同様の、Ｖ字形状端面を有している。
　周囲枠部３３２Ｂは、ラッチアーム本体部３２３と一体成形されて接続されているが、周囲枠部３３２Ｂは、ラッチアーム本体部３２３に対して、厚さの薄い枠部により構成されているため、ラッチアーム３２Ｂの移動方向（上下方向Ｄ２）において、弾性的に変形可能である。このため、ラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂは、ラッチアーム３２Ｂの移動方向において弾性的に伸縮可能である。
　上記構成の第３実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。基板収納容器１は、剛体により構成されラッチ部材としてのラッチアーム３２Ｂを係合位置と係合解除位置との間で移動させるラッチ駆動部としてのラッチ回転部材３１を備える。
　そして、ラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂは、ラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂを貫通する先端部貫通孔３３１Ｂと、先端部貫通孔３３１Ｂの周囲に位置して、先端部貫通孔３３１Ｂを取囲み、ラッチアーム３２Ｂが係合位置にあるときにラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄ（図８参照）に当接する周囲枠部３３２Ｂと、を有する。
　この構成により、ラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂを、ラッチアーム３２Ｂの移動方向において弾性的に伸縮可能とすることができる。このため、ラッチアーム３２Ｂが係合位置にあるときに、僅かな寸法誤差に因って、対をなしているラッチアーム３２Ｂのうちの一方のラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂは、ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄの底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄに当接しているのに、他方のラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂはラッチ係合凹部２４１Ｃ、２４１Ｄの底部形成部２４２Ｃ、２４２Ｄに当接していない、という不具合の発生を防止することができる。この結果、確実に、対をなしている両方のラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂを、ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄに当接させることができる。
　次に、本発明の第４実施形態による基板収納容器について、図１０を参照しながら説明する。図１０は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｃを示す斜視図である。第４実施形態では、ラッチアーム３２Ｃの先端部３２２Ｃは、図１０に示すように、周囲枠部３３２Ｃを二分する切欠き３３３Ｃを有する点において、第３実施形態におけるラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂとは異なる。これ以外の構成については、第３実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
　ラッチアーム３２Ｃの先端部３２２Ｃを構成する周囲枠部３３２Ｃの部分であってラッチアーム３２Ｃが係合位置にあるときに、ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１ＤのＶ字形状の底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄ（図８参照）の最も深い部分に当接する部分には、この部分を二分する切欠き３３３Ｃが形成されている。切欠き３３３Ｃは、第３実施形態の先端突き当て部面３２８Ｂに相当する部分に形成されている。切欠き３３３Ｃの存在により、周囲枠部３３２Ｃの左側の部分と右側の部分とは、切欠き３３３Ｃを介して離間している。
　上記構成の第４実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。ラッチ部材としてのラッチアーム３２Ｃの先端部３２２Ｃは、周囲枠部３３２Ｃの部分であってラッチアーム３２Ｃが係合位置にあるときにラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄ（図８参照）の底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄに当接する部分を二分する切欠き３３３Ｃを有する。このため、ラッチアーム３２Ｃの移動方向において弾性的に伸縮可能なラッチアーム３２Ｃの先端部３２２Ｃを、同方向において、より弾性的に伸縮可能とすることができる。
　次に、本発明の第５実施形態による基板収納容器について、図１１を参照しながら説明する。図１１は、本発明の第５実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｄを示す斜視図である。第５実施形態では、ラッチアーム３２Ｄは、ラッチアーム本体部３２３Ｄとラッチ先端部当接部３２２Ｄとを有する点、及び、ラッチアーム本体部３２３Ｄの先端の部分は略三角形状部３２３１Ｄを有している点において、第１実施形態におけるラッチアーム３２とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
　ラッチアーム本体部３２３Ｄの先端の部分は、略三角形状部３２３１Ｄを有しており、ラッチ回転部材３１から離間するように突出している。略三角形状部３２３１Ｄにおいて最も突出している頂角の部分には、ラッチ先端部当接部３２２Ｄが、ラッチアーム本体部３２３Ｄの略三角形状部３２３１Ｄに一体成形されて接続されている。ラッチ先端部当接部３２２Ｄは、突き当て部３２８Ｄとズレ防止部３２９Ｄとを有している。
　突き当て部３２８Ｄは、ラッチ回転部材３１から離間するようにラッチアーム本体部３２３Ｄの略三角形状部３２３１Ｄの頂角から細く突出している。ズレ防止部３２９Ｄは、一対設けられており、ズレ防止部３２９Ｄの一端部は、突き当て部３２８Ｄに一体成形されて接続されている。ズレ防止部３２９Ｄは、ズレ防止部３２９Ｄの他端部に近づくにつれて、ラッチアーム本体部３２３Ｄの先端の略三角形状部３２３１Ｄの２つの斜辺にそれぞれ沿って、左右方向Ｄ３におけるラッチアーム本体部３２３Ｄの端縁の位置に相当する位置に至るまで延びている。従って、一対のズレ防止部３２９Ｄは、それぞれ片持ちバネを構成しており、容易に弾性変形可能である。
　ラッチ先端部当接部３２２Ｄの部分であってラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄ（図８参照）に当接する部分、即ち、ラッチアーム３２Ｄの先端端面に相当する突き当て部３２８Ｄの端面及びズレ防止部３２９Ｄの端面は、ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄ（図８参照）に一致する形状を有する。
　上記構成の第５実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。ラッチアーム３２Ｄは、ラッチアーム本体部３２３Ｄと、ラッチアーム３２Ｄの先端部においてラッチアーム本体部３２３Ｄから突出し、ラッチアーム３２Ｄが係合位置にあるときにラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄ（図８参照）の底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄに当接するラッチ先端部当接部３２２Ｄと、を有し、ラッチ先端部当接部３２２Ｄの部分であってラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄに当接する部分は、ラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底部形成部２３２Ｃ、２３２Ｄ、２４２Ｃ、２４２Ｄに一致する形状を有する。
　この構成により、ラッチ先端部当接部３２２Ｄを、突き当て部３２８Ｄと、突き当て部３２８Ｄから延び片持ちバネを構成するズレ防止部３２９Ｄとにより構成することができ、より柔軟にラッチ係合凹部２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄの底面に追従させた状態で当接させることができる。
　次に、本発明の第６実施形態による基板収納容器について、図１２を参照しながら説明する。図１２は、本発明の第６実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｅを示す斜視図である。第６実施形態では、ラッチアーム本体部３２３Ｅと、駆動部係合部としてのラッチアーム３２Ｅの基端部３２１Ｅと、を接続する弾性接続部３３５Ｅを有する点において、第２実施形態におけるラッチアーム３２Ａとは異なる。これ以外の構成については、第２実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
　ラッチアーム３２Ｅは、互いに一体成形されている基端部３２１Ｅと先端部３２２Ａとラッチアーム本体部３２３Ｅとを有している。また、ラッチアーム３２Ｅは、弾性接続部３３５Ｅを有している。弾性接続部３３５Ｅは、ラッチアーム本体部３２３Ｅと駆動部係合部とを接続し、ラッチアーム３２Ｅの移動方向において弾性的に伸縮可能である。
　具体的には、ラッチアーム３２Ｅの基端部３２１Ｅは、第１実施形態と同様に、円柱状の凸部３２５及び基部延出部３２４を有する。基部延出部３２４は、左右方向に延びる基端部左右延出部３２６Ｅに一体成形されて接続されている。ラッチアーム本体部３２３Ｅの下方向Ｄ２２の側における端部と基端部左右延出部３２６Ｅとは、弾性接続部３３５Ｅと一体成形されることによって、これらは互いに接続されている。弾性接続部３３５Ｅの厚さは、基端部左右延出部３２６Ｅやラッチアーム本体部３２３Ｅの下方向Ｄ２２の側における端部よりも遥かに薄く構成されている。弾性接続部３３５Ｅの途中の部分は、前後方向Ｄ１へ波状に湾曲している。これに対して、ラッチアーム本体部３２３Ｅの下方向Ｄ２２の側における端部や、基端部左右延出部３２６Ｅは、ラッチアーム３２Ｅが係合位置と係合解除位置との間で移動する際に、ほとんど弾性変形しない剛体により構成されている。
　上記構成の第６実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。ラッチ部材としてのラッチアーム３２Ｅは、剛体により構成されたラッチアーム本体部３２３Ｅと、剛体により構成され、ラッチ駆動部としてのラッチ回転部材３１に係合する駆動部係合部としての基端部３２１Ｅと、ラッチアーム本体部３２３Ｅと基端部３２１Ｅとを接続する弾性接続部３３５Ｅとを有する。この構成により、ラッチ部材としてのラッチアーム３２Ｅを、ラッチアーム３２Ｅの移動方向（上下方向Ｄ２）において弾性的に伸縮可能とすることができる。
　次に、本発明の第７実施形態による基板収納容器について、図１３を参照しながら説明する。図１３は、本発明の第７実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｆの先端部３２２Ｆが係合凹部２３１Ｆに係合している状態を示す要部概略断面図である。第７実施形態におけるラッチアーム３２Ｆの先端部３２２Ｆの形状、係合凹部２３１Ｆの形状は、第１実施形態におけるラッチアーム３２の先端部３２２の形状、係合凹部２３１Ａの形状とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
　図１３に示すように、係合凹部２３１Ｆの開口２３６Ｆと底部２３０Ｆとは、係合凹部２３１Ｆを形成する係合凹部形成部を構成する垂直部分２３３Ｆとテーパ形状部２３４Ｆとを有する側壁により結ばれて接続されている。即ち、側壁のテーパ形状部２３４Ｆは、開口２３６Ｆから底部２３０Ｆへ向かって縮径する部分を構成する。具体的には、テーパ形状部２３４Ｆは、開口２３６Ｆから底部２３０Ｆへ向かって所定の深さに至るまで延びている。テーパ形状部２３４Ｆにおいては、左右方向Ｄ３において係合凹部２３１Ｆの幅が徐々に狭くなる。そして、テーパ形状部２３４Ｆの下端と底部形成部２３２Ｆとは、左右方向Ｄ３において係合凹部２３１Ｆの幅が一定となる形状を有する垂直部分２３３Ｆにより接続されている。
　ラッチアーム３２Ｆの先端部３２２Ｆは、ラッチ側テーパ形状部３３２Ｆを有している。ラッチ側テーパ形状部３３２Ｆは、ラッチアーム３２Ｆの先端３２８Ｆよりもラッチアーム３２Ｆの基部寄り（下方向Ｄ２２）に位置している。ラッチ側テーパ形状部３３２Ｆのテーパ面は、ラッチアーム３２Ｆが係合位置にあるときには、テーパ形状部２３４Ｆのテーパ面に面で当接する。このとき、ラッチアーム３２Ｆの先端３２８Ｆは、係合凹部２３１Ｆの底部形成部２３２Ｆには当接しない。
　次に、本発明の第８実施形態による基板収納容器について、図１４を参照しながら説明する。図１４は、本発明の第８実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｇの先端部３２２Ｇが係合凹部２３１Ｆに係合している状態を示す要部概略断面図である。第８実施形態におけるラッチアーム３２Ｇの先端部３２２Ｇは、第３実施形態における先端部貫通孔３３１Ｂと同様の先端部貫通孔３３１Ｇを有する点において、第７実施形態におけるラッチアーム３２Ｆの先端部３２２Ｆとは異なる。これ以外の構成については、第７実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
　ラッチアーム３２Ｇの先端部３２２Ｇは、第３実施形態におけるラッチアーム３２Ｂの先端部３２２Ｂと同様に、先端部貫通孔３３１Ｇと周囲枠部３３２Ｇとを有している。先端部貫通孔３３１Ｇは、ラッチアーム３２Ｇの先端部３２２Ｇを前後方向Ｄ１に貫通している。周囲枠部３３２Ｇは、ラッチアーム３２Ｇの先端３２８Ｇを構成する部分よりも基部側の部分に、テーパ形状部２３４Ｆのテーパ面に当接するラッチ側テーパ形状部３３４Ｇを有している。従って、ラッチアーム３２Ｇが係合位置にあるときには、ラッチアーム３２Ｇの先端３２８Ｇは、係合凹部２３１Ｆの底部形成部２３２Ｆには当接しない。
　上記構成の第８実施形態に係る基板収納容器によれば、ラッチアーム３２Ｇの先端部３２２Ｇは、ラッチアーム３２Ｇの先端部３２２Ｇを貫通する先端部貫通孔３３１Ｇと、ラッチアーム３２Ｇが係合位置にあるときにテーパ形状部２３４Ｆのテーパ面に当接する周囲枠部３３２Ｇと、を有する。この構成により、ラッチアーム３２Ｇの先端部３２２Ｇを、ラッチアーム３２Ｇの移動方向において弾性的に伸縮可能とすることができる。
　次に、本発明の第９実施形態による基板収納容器について、図１５を参照しながら説明する。図１５は、本発明の第９実施形態に係る基板収納容器のラッチアーム３２Ｈの先端部３２２Ｈが係合凹部２３１Ａに係合している状態を示す要部概略断面図である。第９実施形態におけるラッチアーム３２Ｈの先端部３２２Ｈは、係合凹部の開口２３６Ａを形成する係合凹部形成部の一部である開口形成部２３５Ａの部分に当接する弾性部材３３２Ｈを有する点において、第１実施形態におけるラッチアーム３２の先端部３２２とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
　ラッチアーム３２Ｈの先端部３２２Ｈは、括れ部３３４Ｈと弾性部材３３２Ｈとを有している。括れ部３３４Ｈは、ラッチアーム３２Ｈの先端部３２２Ｈにおいて細く括れている。括れ部３３４Ｈよりもラッチアーム３２Ｈの先端側（上方向Ｄ２１の側）の部分は、左右方向Ｄ３において、ラッチアーム３２Ｈの基部側（下方向Ｄ２２の側）の部分よりも幅が小さく構成されている。弾性部材３３２Ｈは、ラッチアーム３２Ｈと同材質で薄い厚さで一体成形されたり、ラッチアーム３２Ｈとは別材質のゴム等が嵌め込まれて構成されており、括れ部３３４Ｈに配置されている。弾性部材３３２Ｈは、環状を有しており、括れ部３３４Ｈを一周するように括れ部３３４Ｈに装着されている。ラッチアーム３２Ｈが係合位置にあるときに、括れ部３３４Ｈよりもラッチアーム３２Ｈの基部側の部分は、弾性部材３３２Ｈを介して開口２３６Ａを形成する開口形成部２３５Ａに当接する。このとき、ラッチアーム３２Ｈの先端３２８Ｈは、係合凹部２３１Ａの底部形成部２３２Ａには当接しない。
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、円柱状の凸部３２５が長穴３１２の時計回り方向もしくは反時計回り方向の端部に位置するときに、ラッチ駆動部としてのラッチ回転部材３１が一時的に回転しにくくなるような構成は、上述の実施形態の構成に限定されない。具体的には、図４Ｂに示すように、円柱状の凸部３２５が時計回り方向における長穴３１２の端部に位置しているときに、当該長穴３１２の端部に、円柱状の凸部３２５が係合可能な、ラッチ回転部材３１の円形状部３１１の中心方向へ窪んだ凹部が形成されていてもよい。
　また、基板収納容器、蓋体、及びラッチ部材の材料や形状や構成は、上述した実施形態の材料や形状や構成に限定されない。例えば、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、２対形成されていたが、これに限定されない。少なくとも一対形成されていればよい。また、ラッチアームの形状は、上述の実施形態におけるラッチアーム３２の形状に限定されない。
　同様に、ラッチ係合凹部の形状は、上述した実施形態におけるラッチ係合凹部の形状や構成に限定されない。例えば、係合凹部形成部の部分であってラッチ部材の先端部が当接する部分は、第７、第８実施形態においては、テーパ形状部２３４Ｆにより構成されていたが、これに限定されない。係合凹部形成部の部分であってラッチ部材の先端部が当接する部分は、係合凹部の開口と底部とを結ぶ側壁であって開口から底部へ向かって縮径する部分を有する側壁であればよい。
１　基板収納容器
２　容器本体
３　蓋体
２１　容器本体開口部
２７　基板収納空間
２８　開口周縁部
３０　蓋体本体
３１　ラッチ回転部材（ラッチ駆動部）
３２、３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄ、３２Ｅ、３２Ｆ、３２Ｇ、３２Ｈ　ラッチアーム（ラッチ部材）
２３０Ａ、２４０Ａ、２３０Ｃ、２３０Ｄ、２３０Ｆ、２４０Ｃ、２４０Ｄ　底部
２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂ、２３１Ｃ、２３１Ｄ、２４１Ｃ、２４１Ｄ、２３１Ｆ　ラッチ係合凹部（係合凹部）
２３４Ｆ　テーパ形状部
２３５Ｈ　開口形成部
３２１Ｅ　基端部（駆動部係合部）
３２２、３２２Ａ、３２２Ｂ、３２２Ｃ　先端部
３２２Ｄ　ラッチ先端部当接部
３２２Ｅ、３２２Ｆ、３２２Ｇ、３２２Ｈ　先端部
３２３Ｅ　ラッチアーム本体部
３３１Ｂ、３３１Ｇ　先端部貫通孔
３３２Ｂ、３３２Ｇ　周囲枠部
３３３Ｃ　切欠き
３３５Ｅ　弾性接続部

Claims (11)

  1. 　複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
    　前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、
    　前記開口周縁部は、互いに対向する位置関係を有して前記蓋体に対向して形成された少なくとも一対の係合凹部を有し、
    　前記蓋体は、蓋体本体と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記少なくとも一対の係合凹部にそれぞれ係合して前記蓋体本体を前記容器本体に対して固定する係合位置と前記係合凹部に対して係合が解除され前記容器本体に対する前記蓋体本体の固定が解除される係合解除位置との間で前記蓋体本体に対して移動可能な少なくとも一対のラッチ部材と、を備え、
    　前記ラッチ部材が前記係合位置にあるときに、前記少なくとも一対のラッチ部材の先端部が、前記少なくとも一対の係合凹部を形成する前記開口周縁部の係合凹部形成部にそれぞれ当接することにより、前記蓋体本体を前記開口周縁部から離間させる基板収納容器。
  2. 　剛体により構成され、前記ラッチ部材を前記係合位置と前記係合解除位置との間で移動させるラッチ駆動部を備え、
    　前記ラッチ部材は、前記ラッチ部材の移動方向において弾性的に伸縮可能である請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記ラッチ部材の先端部は、前記ラッチ部材の移動方向において弾性的に伸縮可能である請求項２に記載の基板収納容器。
  4. 　前記ラッチ部材の先端部は、前記ラッチ部材の先端部を貫通する先端部貫通孔と、前記先端部貫通孔の周囲に位置して、前記先端部貫通孔を取囲み、前記ラッチ部材が前記係合位置にあるときに前記係合凹部形成部に当接する周囲枠部と、を有する請求項２又は請求項３に記載の基板収納容器。
  5. 　前記ラッチ部材の先端部は、前記周囲枠部の部分であって前記ラッチ部材が前記係合位置にあるときに前記係合凹部形成部に当接する部分を二分する切欠きを有する請求項４に記載の基板収納容器。
  6. 　前記ラッチ部材は、剛体により構成されたラッチ部材本体部と、剛体により構成され、前記ラッチ駆動部に係合する駆動部係合部と、前記ラッチ部材本体部と前記駆動部係合部とを接続し、前記ラッチ部材の移動方向において弾性的に伸縮可能である弾性接続部とを有する請求項２に記載の基板収納容器。
  7. 　前記ラッチ部材は、ラッチ部材本体部と、前記ラッチ部材の先端部において前記ラッチ部材本体部から突出し、前記ラッチ部材が前記係合位置にあるときに前記係合凹部形成部に当接するラッチ先端部当接部とを有し、
    　前記ラッチ先端部当接部の部分であって前記係合凹部形成部に当接する部分は、前記係合凹部形成部の部分であって前記ラッチ先端部当接部が当接する部分に一致する形状を有する請求項１～請求項６のいずれかに記載の基板収納容器。
  8. 　前記係合凹部形成部の部分であって前記ラッチ部材の先端部が当接する部分は、前記係合凹部の底部を形成する部分である請求項１～請求項７のいずれかに記載の基板収納容器。
  9. 　前記蓋体は、蓋体外面及び蓋体内面を有する略長方形状の板状を有し、
    　前記係合凹部の底部は、前記蓋体外面又は前記蓋体内面に平行な断面ではＶ字形状を有し、
    　前記ラッチ部材の先端部の部分であって前記ラッチ部材が前記係合位置にあるときに前記係合凹部の底部を形成する前記係合凹部形成部の部分に当接する部分は、前記係合凹部の底部に一致するＶ字形状端面を有する請求項８に記載の基板収納容器。
  10. 　前記係合凹部形成部の部分であって前記ラッチ部材の先端部が当接する部分は、前記係合凹部の開口と底部とを結ぶ側壁であって開口から底部へ向かって縮径する部分を有する側壁である請求項１～請求項６のいずれかに記載の基板収納容器。
  11. 　前記係合凹部形成部の部分であって前記ラッチ部材の先端部が当接する部分は、前記係合凹部の開口を形成している部分である請求項１～請求項６のいずれかに記載の基板収納容器。
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