JP2012182304A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェーハを収納可能な容器本体1と、容器本体1の開口した正面2に嵌合される蓋体20と、容器本体1と蓋体20の間に介在されるシール用のガスケット40とを備え、容器本体1の正面内周にガスケット用のシール形成面7を形成し、蓋体20に、ガスケット用の嵌合取付溝25を形成した基板収納容器であり、ガスケット40を、蓋体20の嵌合取付溝25に嵌合される枠体41と、枠体41から突出して容器本体1のシール形成面7に変形接触してシールするリップ片47とから形成し、リップ片47の変形量を枠体41のコーナ領域と他領域とで相違させる。
【選択図】図5
Description
ガスケットは、蓋体の嵌合取付溝に嵌め合わされる枠体と、この枠体から突出して容器本体のシール形成面に変形接触してシールするリップ片とを含み、このリップ片の変形量を枠体のコーナ領域と他領域とで相違させることにより、容器本体の開口部に蓋体が嵌め合わされた場合に容器本体のシール形成面からガスケットの枠体におけるコーナ領域のリップ片が離れるのを規制するようにしたことを特徴としている。
ガスケットの枠体に、蓋体の嵌合取付溝内に接触する位置ずれ防止部を形成するとともに、枠体のコーナ領域を、略L字形に屈曲した屈曲部と、この屈曲部の両端からそれぞれ短く伸びる複数の直線部とから形成し、屈曲部から直線部に向かうにしたがい徐々に薄肉にすることができる。
さらに、ガスケットの枠体におけるコーナ領域のリップ片をコーナ領域以外の他領域のリップ片よりも肉厚に形成し、コーナ領域のリップ片の変形量をコーナ領域以外の他領域のリップ片の変形量よりも小さくすることもできる。
さらに、請求項4記載の発明によれば、容器本体の開口した正面やその内周に改造を特に施す必要がないので、既存の容器本体をそのまま利用することが可能となる。
容器本体1の両側壁中央部には、握持操作用に機能するグリップ具12がそれぞれ着脱自在に装着される。また、容器本体1の両側壁下部には、搬送用のサイドレール13がそれぞれ選択的に水平に装着される。
2 正面(開口部)
3 支持片
6 段差部
7 シール形成面
8 コーナ領域
9 屈曲部
10 直線部
14 突起
20 蓋体
21 蓋本体
25 嵌合取付溝
27 表面プレート
30 施錠機構
40 ガスケット
41 枠体
42 コーナ領域
43 直線片(他領域)
44 屈曲部
45 直線部
46 位置ずれ防止リブ(位置ずれ防止部)
47 リップ片
48 補強片
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (4)
- 基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口部に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在されるシール用のガスケットとを備え、容器本体の開口部内周にガスケット用のシール形成面を形成し、蓋体には、ガスケット用の嵌合取付溝を形成した基板収納容器であって、
ガスケットは、蓋体の嵌合取付溝に嵌め合わされる枠体と、この枠体から突出して容器本体のシール形成面に変形接触してシールするリップ片とを含み、このリップ片の変形量を枠体のコーナ領域と他領域とで相違させることにより、容器本体の開口部に蓋体が嵌め合わされた場合に容器本体のシール形成面からガスケットの枠体におけるコーナ領域のリップ片が離れるのを規制するようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体をフロントオープンボックスに形成し、この容器本体の開口した正面の少なくとも内周に段差部を設けてガスケット用のシール形成面を形成し、
ガスケットの枠体に、蓋体の嵌合取付溝内に接触する位置ずれ防止部を形成するとともに、枠体のコーナ領域を、略L字形に屈曲した屈曲部と、この屈曲部の両端からそれぞれ短く伸びる複数の直線部とから形成し、屈曲部から直線部に向かうにしたがい徐々に薄肉にするようにした請求項1記載の基板収納容器。 - 容器本体のシール形成面を正面略枠形に形成し、シール形成面のコーナ領域を、略L字形に屈曲した屈曲部と、この屈曲部の両端からそれぞれ短く伸びる複数の直線部とから形成するとともに、コーナ領域以外の他領域よりも厚い肉厚面に形成した請求項2記載の基板収納容器。
- ガスケットの枠体におけるコーナ領域のリップ片をコーナ領域以外の他領域のリップ片よりも肉厚に形成し、コーナ領域のリップ片の変形量をコーナ領域以外の他領域のリップ片の変形量よりも小さくした請求項2又は3記載の基板収納容器。
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