WO2014084115A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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WO2014084115A1
WO2014084115A1 PCT/JP2013/081389 JP2013081389W WO2014084115A1 WO 2014084115 A1 WO2014084115 A1 WO 2014084115A1 JP 2013081389 W JP2013081389 W JP 2013081389W WO 2014084115 A1 WO2014084115 A1 WO 2014084115A1
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WO
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lid
cover plate
positioning
main body
locking mechanism
Prior art date
Application number
PCT/JP2013/081389
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English (en)
French (fr)
Inventor
和正 大貫
啓之 志田
裕樹 山岸
剛 永島
井上　修一
千明 松鳥
貴立 小山
Original Assignee
信越ポリマー株式会社
ミライアル株式会社
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Priority to US14/648,101 priority patent/US9711385B2/en
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    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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    • Y10S206/00—Special receptacle or package
    • Y10S206/832—Semiconductor wafer boat

Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container used for storing, storing, transporting, transporting and the like of a substrate represented by a semiconductor wafer.
  • a conventional substrate storage container is not shown, but a container main body that stores a plurality of semiconductor wafers, a lid that opens and closes the front of the container main body, and a locking mechanism that locks the lid that closes the front of the container main body, And used when transporting a semiconductor wafer to a semiconductor manufacturing factory (see Patent Documents 1, 2, and 3).
  • the container body is formed into a front open box having a size capable of aligning and storing semiconductor wafers having a diameter of 300 mm or more, and a bottom plate is attached to the bottom plate. A plurality of positioning tools that fit and align with the positioning pins on the top are mounted.
  • the lid body includes a substantially dish-shaped lid body that is detachably fitted to the front surface of the container body, and a cover plate that covers the open front surface of the lid body, and the lid body is provided between the lid body and the cover plate.
  • a locking mechanism is interposed, and is automatically opened and closed by a lid opening / closing device.
  • the cover plate is formed as a plate having a size corresponding to the front surface of the lid body, and an operation hole for a locking mechanism is formed in the center of both sides.
  • the locking mechanism is a pair of rotary operation bodies that are pivotally supported by the lid body of the lid body and rotated from the outside, and slides in the vertical direction of the lid body with the rotation of each rotary operation body, and appears and disappears from the peripheral wall of the lid body And a plurality of latch bars that are in contact with and away from the front inner periphery of the container body.
  • Each rotary operation body is formed, for example, in a disc having a pair of curved grooves on the peripheral edge, and is opposed to the operation hole of the cover plate, and is operated to rotate from the outside by the operation key of the lid opening / closing device penetrating the operation hole. Is done.
  • the lid opening / closing device sucks and holds the lid, and the sucked and held lid is the container. It is press-fitted into the open front of the main body and is shallowly fitted.
  • the operation key of the lid opening / closing device is inserted into the operation hole of the cover plate to rotate the rotation operation body of the locking mechanism, and the plurality of latch bars of the locking mechanism slide to each of the containers.
  • the lid body is completely fitted to the front surface of the container main body, and the lid body is firmly locked.
  • the operation key of the lid opening / closing device is inserted into the operation hole of the cover plate, and the rotation operation body of the locking mechanism is rotated.
  • the cover plate And the rotary operating body may be pressed obliquely and a part of the rotary operation body may be lifted. If this lift is left as it is, there arises a problem that the cover plate and the rotating operation body whose posture is deteriorated come into contact with each other and are damaged or rubbed to generate dust, resulting in contamination of the semiconductor wafer and deterioration of the appearance of the lid.
  • This problem becomes more serious when the substrate storage container is of a large type that accommodates a semiconductor wafer having a diameter of 450 mm because the rotary operation body is also enlarged.
  • the present invention has been made in view of the above, and prevents the cover plate of the lid and the rotary operating body from coming into contact with each other and being damaged or rubbing to generate dust when the rotary operating body of the locking mechanism is rotated.
  • An object of the present invention is to provide a substrate storage container that can be used.
  • the present invention includes a container body that stores a substrate, a lid that opens and closes the opening of the container body, and a locking mechanism that locks the lid that closes the opening of the container body.
  • the lid includes a lid body fitted into the opening of the container body, and a cover plate that covers the opening surface of the lid body,
  • the locking mechanism is supported by the lid body and is rotated by an external rotation of the cover plate.
  • the locking mechanism slides in response to the rotation of the rotary operation body, and protrudes and retracts from the peripheral wall of the lid body to open the inner periphery of the opening of the container body.
  • a plurality of locking members contacting and separating from, Of the cover plate of the lid and the rotary operation body of the locking mechanism, at least the cover plate is provided with a posture control member for controlling the posture of the rotary operation body.
  • position control member which makes a point contact or a line contact to the peripheral part of a rotation operation body
  • an encircling rib for the rotary operation body of the locking mechanism can be formed on the facing surface of the cover plate, and a plurality of posture control members can be provided in the encircling rib.
  • a posture control member that makes point contact or line contact with the lid body of the lid can be provided on the rotary operation body of the locking mechanism.
  • the positioning means includes a plurality of first positioning members formed on the facing surface of the lid body and a second positioning member formed on the facing surface of the cover plate, and the plurality of first positioning members are spaced apart from each other.
  • the first positioning members are bent to form openings between the two end portions, and a plurality of second positioning members are formed at intervals to form the size.
  • the second positioning members can be bent along the first positioning members, and each second positioning member can be bent to define an opening between both ends thereof. It is.
  • the plurality of first and second positioning members can each be formed in a substantially semicircular arc shape, a substantially horseshoe shape, a substantially hem shape, a substantially C shape, a substantially U shape, or a substantially V shape. is there.
  • the substrate in the claims includes at least ⁇ 200 mm, 300 mm, 450 mm semiconductor wafer, liquid crystal substrate, glass substrate and the like.
  • the container body and the lid may be transparent, opaque, or translucent.
  • the main body of the container is mainly a front open box type, but may be a top open box type.
  • the required number of posture control members can be provided on the cover plate of the lid, or the required number can be provided on the cover plate and the rotary operation body of the locking mechanism.
  • the posture control member is preferably capable of contacting at least the peripheral portion of the rotary operation body, but can also be in contact with a portion other than the peripheral portion of the rotary operation body.
  • the fixing means includes (1) a combination of a plurality of screw bosses formed on the lid body and screw members (screws, bolts, etc.) that pass through the cover plate and are screwed to the screw bosses, respectively (2 ) A combination of a plurality of locking recesses formed on the lid body and a locking projection protruding from the cover plate and locking to the locking recesses, respectively. (3) A plurality of cylindrical bosses formed on the lid body. And a combination of ribs protruding from the cover plate and fitted to the plurality of cylindrical bosses.
  • the positioning means can be provided at the center or side of the lid body and cover plate.
  • the plurality of first positioning members of the positioning means are preferably formed with different radii of curvature and curvatures when curved. This also applies to the plurality of second positioning members.
  • the opening direction of the first and second positioning members is preferably downward, but may be upward, obliquely downward, left and right lateral directions, and the like.
  • the second positioning member is preferably attached to the peripheral surface of the first positioning member via a gap, but there may be no gap.
  • the attitude control member is attached to the rotary operation body of the locking mechanism even if the cover plate of the lid is pushed by the lid opening / closing device or the like. Prevents the posture of the rotating operation body from collapsing or varying.
  • the cover plate of the lid body and the rotary operation body can be prevented from being damaged or rubbed to generate dust. effective.
  • this effect can prevent contamination of the substrate and deterioration of the appearance of the lid.
  • the posture control member since the posture control member is brought into contact with the outer peripheral edge where the operating force acts stronger than the central portion of the rotary operation body and the vicinity thereof, the posture of the rotary operation body is more appropriately controlled. can do.
  • the contact area is reduced by making the posture control member not a surface contact but a point contact or a line contact, the rotating operation body can be stably rotated while suppressing damage and dust generation of the posture control member.
  • the posture of the rotary operation body can be controlled more reliably.
  • the contact area is reduced by making the attitude control member contact the lid body instead of surface contact instead of point contact or line contact, damage to the attitude control member and dust generation can be suppressed, and rotation of the rotary operation body can be stabilized. It becomes possible.
  • the positioning means effectively prevents the cover plate from being distorted or displaced, the positioning recess of the cover plate or the detected portion is less likely to be displaced. Therefore, the detection part of the lid can be accurately detected by the detection sensor of the lid opening / closing device, and it is possible to prevent the lid opening / closing device from stopping during the lid opening / closing operation.
  • the positioning means facilitates visual discrimination of the cover plate orientation, there is little risk of accidentally attaching a cover plate with the opposite orientation, and simplification and speeding up of the lid assembly work can be expected. .
  • the openings of the first and second positioning members are both directed downward, the cleaning water can be smoothly drained when the lid is cleaned. Therefore, it is possible to improve drainage and drainage during the cleaning of the lid, and to facilitate the drying operation after the cleaning.
  • FIG. 1 is an overall perspective view schematically showing an embodiment of a substrate storage container according to the present invention. It is front explanatory drawing which shows typically embodiment of the substrate storage container which concerns on this invention. It is a disassembled perspective view which shows typically the cover body in embodiment of the substrate storage container which concerns on this invention. It is a section explanatory view showing typically the lid in the embodiment of the substrate storage container concerning the present invention. It is front explanatory drawing which shows typically the lid body in embodiment of the substrate storage container which concerns on this invention. It is back surface explanatory drawing which shows typically the cover plate in embodiment of the substrate storage container which concerns on this invention. It is front explanatory drawing which shows typically the rotation operation body of the locking mechanism in embodiment of the substrate storage container which concerns on this invention.
  • a substrate storage container in this embodiment includes a container body 1 for aligning and storing a plurality of semiconductor wafers.
  • the lid body 10 and the cover plate are provided with a transparent lid 10 that opens and closes the front surface of the container body 1 and a locking mechanism 30 that locks the lid body 10 that closes the front surface of the container body 1.
  • the fixing means 40 and the positioning means 50 are disposed respectively, and a plurality of posture control members 60 for the locking mechanism 30 are formed on at least the cover plate 19 of the lid body 10.
  • the semiconductor wafer is made of a large thin heavy silicon wafer having a diameter of, for example, 450 mm, and is stored horizontally in the container body 1, and a plurality of pieces (eg, 10 pieces, 25 pieces, etc.) are aligned vertically.
  • the container body 1, the lid body 10, the locking mechanism 30, the positioning means 50, and the attitude control member 60 are each formed by combining a plurality of parts by injection molding with a molding material containing a required resin.
  • the resin contained in the molding material include thermoplastic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyether ketone, polyether ether ketone, polybutylene terephthalate, polyacetal, and liquid crystal polymer, and alloys thereof. .
  • resins are added with conductive materials made of carbon fibers, carbon powder, carbon nanotubes, conductive polymers, and various antistatic agents such as anions, cations, and nonionics as necessary.
  • conductive materials made of carbon fibers, carbon powder, carbon nanotubes, conductive polymers, and various antistatic agents such as anions, cations, and nonionics as necessary.
  • benzotriazole-based, salicylate-based, cyanoacrylate-based, oxalic acid anilide-based, hindered amine-based ultraviolet absorbers are added, and glass fibers, carbon fibers, and the like that improve rigidity are also selectively added.
  • the container body 1 is formed into a front open box having a front opening using a required molding material, and a semiconductor wafer is formed on both sides of the inside, in other words, on the inner surfaces of both sides.
  • a pair of left and right support pieces that are horizontally supported are provided, and the pair of support pieces are arranged at a predetermined pitch in the vertical direction, and each support piece is formed as an elongated plate piece extending in the front-rear direction.
  • a bottom plate 2 for a lid opening / closing device is screwed to the bottom plate of the container body 1 from below, and either one of the bottom plate or the bottom plate 2 is fitted to a positioning pin on a table of the lid opening / closing device from above.
  • a plurality of positioning tools for positioning together are arranged.
  • a robotic flange 3 for transport that is gripped by a ceiling transport mechanism of a semiconductor manufacturing factory is attached to the center of the ceiling of the container body 1.
  • the front surface of the container body 1 projects outward while the peripheral edge is bent, and locking holes for the locking mechanism 30 are drilled on both the upper and lower sides of the inner peripheral edge. Further, forklift flanges 4 for transporting in the front-rear direction are respectively formed on the lower portions of the outer surfaces of both side walls of the container body 1 so as to protrude.
  • the lid body 10 has a shallow lid body 11 having a substantially dish-shaped cross section that is detachably press-fitted to the front surface of the container body 1, and an opening of the lid body 11. And a transparent cover plate 19 that is detachably attached to the front surface 12.
  • a locking mechanism 30 is interposed between the lid body 11 and the cover plate 19. It opens and closes automatically.
  • the lid body 11 has light transmittance and transparency, and a front rectangular raised portion 13 is integrally formed at the center of the opened front surface 12 side. Locking mechanisms 30 are provided on both right and left sides of the raised portion 13.
  • the installation area 14 for each is divided. In each installation region 14, a pair of left and right guide ribs 15 for the locking mechanism 30 are integrally formed in the vertical direction, and the pair of guide ribs 15 oppose each other with a gap therebetween.
  • the lid body 11 is a front retainer that holds the front edge of each semiconductor wafer with an elastic holding piece on the back surface opposite to the front edge of the plurality of semiconductor wafers accommodated in the container body 1, that is, on both sides of the back surface. 16 are respectively mounted.
  • a frame-shaped gasket groove is cut out on the peripheral edge or peripheral wall of the back surface of the lid main body 11, and a frame-shaped gasket 17 that is deformed by being pressed against the inner peripheral edge of the front surface of the container main body 1 is fitted into the gasket groove.
  • the cover plate 19 is formed as a plate having a size corresponding to the front surface 12 of the lid body 11, and a plurality of screw holes 20 for the fixing means 40 are formed.
  • the cover plate 19 has a plurality of cleaning grooves 21 in the center thereof, and operation holes 22 for the locking mechanism 30 in the center of the left and right sides.
  • the plurality of cleaning grooves 21 each include a plurality of long cleaning grooves 21 and short cleaning grooves 21, which are arranged substantially radially with respect to the central portion of the cover plate 19. 13 is opposed.
  • Positioning recesses 23 adjacent to the peripheral edge portions are formed in the left and right sides of the surface exposed to the outside of the cover plate 19, respectively. Corners on the surface of the cover plate 19, for example, four corners, are detected by the lid opening / closing device Each of the detected parts 24 detected by a sensor (for example, a photoelectric sensor) is formed, and each detected part 24 is formed in a flat circular shape.
  • surrounding ribs 25 for the locking mechanism 30 adjacent to the plurality of cleaning grooves 21 are formed on both sides of the back surface of the cover plate 19 facing the lid body 11. Each surrounding rib 25 surrounds the operation hole 22 and functions to limit the contamination range of the dust generated by the operation of the locking mechanism 30.
  • the locking mechanism 30 includes a pair of left and right rotary operation bodies 31 that are pivotally supported by a pair of installation regions 14 of the lid body 11 and are rotated from the outside.
  • a plurality of latch bars 36 that slide in the vertical direction of the lid body 10 in accordance with the rotation of the operation body 31, appear in and out of the intrusion hole 18 of the lid body 11, and come in contact with and away from the locking holes of the container body 1 are configured.
  • Each rotary operation body 31 is configured, for example, by combining two rotary plates 33 and 33A each having a pair of curved grooves 32 at the peripheral portion.
  • the two rotary plates 33 and 33A are formed in a substantially disc shape or a substantially cylindrical shape that can be fitted to each other, and a key hole 34 that faces the operation hole 22 of the cover plate 19 is formed in the center thereof.
  • the operation key of the lid opening / closing device penetrating the operation hole 22 is removably inserted into the key hole 34.
  • a contacted portion 35 is integrally formed on the peripheral portion of the rotating plate 33 located on the cover plate 19 side, and a plurality of posture control members 60 are in contact with the contacted portion 35.
  • Such a rotating operation body 31 is surrounded by the surrounding ribs 25 of the cover plate 19, the key hole 34 is opposed to the operation hole 22, and the rotation operation body 31 is rotated by the operation key of the lid opening / closing device penetrating the operation hole 22.
  • Each latch bar 36 is formed in a vertically long plate shape, and is slidably sandwiched between the pair of guide ribs 15 in the installation area 14 with the end portion sandwiched between the two rotating plates 33 and 33A.
  • a connecting pin 37 that is slidably fitted into the curved groove 32 of the rotary operation body 31 is formed to project at the end of the latch bar 36.
  • the fixing means 40 includes, for example, a plurality of female screw bosses 41 projecting in a cylindrical shape on the front surface 12 of the lid body 11, and a plurality of female screw bosses 41. It has a male screw 42 to be screwed, and functions so that the lid body 11 and the cover plate 19 are detachably fixed and integrated.
  • the plurality of female screw bosses 41 are integrally formed on the periphery of the raised portion 13 of the lid body 11 and the installation region 14.
  • the male screw 42 passes through the plurality of screw holes 20 drilled in the cover plate 19 and is screwed into the female screw boss 41.
  • the positioning means 50 is a pair of first positioning members that are arranged on the raised portion 13 of the lid body 11 and project in the direction of the cover plate 19. 51 and 51A, and a pair of second positioning members 53 and 53A that are arranged on the back surface of the cover plate 19 and project in the direction of the lid body 11, and the plurality of first and second positioning members 51 and 51A. , 53 and 53A mesh with each other in the thickness direction of the lid body 10 (see FIG. 8).
  • the pair of first positioning members 51 and 51A are arranged at intervals above and below the surface of the raised portion 13 to facilitate visual discrimination or alternately fit with the second positioning members 53 and 53A. From the viewpoint of preventing vertical displacement, the first positioning member 51 is formed in a different size, and the first positioning member 51 positioned above is formed smaller than the first positioning member 51A positioned below.
  • the first positioning members 51 and 51A are each curved and formed in a substantially semicircular arc shape.
  • An opening 52 is defined between both ends of the first positioning member 51, and an opening 52A is defined between both ends of the first positioning member 51A. Both of these openings 52 and 52A are the lid body 10. This prevents the cleaning water from remaining at the time of cleaning.
  • the pair of second positioning members 53 and 53A are arranged at intervals above and below the central portion of the back surface of the cover plate 19, and are formed in different sizes from the viewpoint of facilitating visual discrimination.
  • the second positioning member 53 positioned above is formed larger than the second positioning member 53A positioned below (see FIGS. 9 and 10).
  • Each of the second positioning members 53 and 53A is curved in a substantially semicircular arc shape so as to be close to the end of the cleaning groove 21 and on the inner or outer peripheral surface of the first positioning member 51 or 51A.
  • the both ends are aligned with the both ends of the first positioning members 51 and 51A.
  • An opening 54 is defined between both end portions of the second positioning member 53, and an opening 54 A is defined between both end portions of the second positioning member 53 A.
  • These openings 54 and 54 A are formed on the lid 10. Directing downward to improve drainage and drainage during cleaning.
  • the second positioning member 53 located above has an inner diameter larger than the outer diameter of the first positioning member 51 located above, preferably the outer circumference of the first positioning member 51. It faces the surface through a slight gap 55 for drainage.
  • a plurality of protrusions 56 that are in point contact with the outer peripheral surface of the first positioning member 51 are arranged at intervals on both ends and the central portion of the inner peripheral surface of the second positioning member 53.
  • Each protrusion 56 is formed in a minute front substantially semicircular shape from the viewpoint of suppressing generation of particles accompanying wear.
  • the second positioning member 53 located above appropriately opposes only the first positioning member 51 located above.
  • the second positioning member 53A positioned below has an outer diameter smaller than the inner diameter of the first positioning member 51A positioned below, preferably as shown in FIG. It faces the inner peripheral surface of the member 51A through a slight gap 55 for drainage.
  • a plurality of protrusions 56 that are in point contact with the inner peripheral surface of the first positioning member 51A are arranged at intervals on both ends and the center of the outer peripheral surface of the second positioning member 53A.
  • Each protrusion 56 is formed in a small, substantially semicircular shape in order to suppress generation of particles accompanying wear.
  • Such a second positioning member 53A positioned below properly opposes only the first positioning member 51A positioned below.
  • the first and second positioning members 51 and 53 positioned above and the first and second positioning members 51A and 53A positioned below are configured as described above.
  • the asymmetric relationship with respect to the center line effectively eliminates the possibility of accidentally covering the cover plate 19 upside down when the lid 10 is assembled.
  • the second positioning member 53 positioned above the cover plate 19 is positioned on the outer peripheral side (the upper side in FIG. 8) of the first positioning member 51 formed on the lid body 11 and positioned below the cover plate 19. Since the second positioning member 53A to be positioned is located on the inner peripheral side (lower side in FIG. 8) than the first positioning member 51A formed on the lid body 11, the cover plate 19 fitted to the lid body 11 is The movement in the horizontal direction and the movement in the vertical direction in FIG.
  • the plurality of posture control members 60 are arranged at intervals near the peripheral edge of each surrounding rib 25 and include a periphery including the vicinity of the maximum outer diameter of the rotary operation body 31. Opposite the part.
  • Each posture control member 60 is formed so as to protrude in a small semicircular cross section from the viewpoint of suppressing damage to the rotary operation body 31 and generation of particles, and the contacted portion 35 of the rotary plate 33 constituting the rotary operation body 31. Point contact with the opposite surface.
  • the cover plate 19 is placed on the open front surface 12 of the lid body 11, and the pair of first positioning members 51 and 51 ⁇ / b> A of the lid body 11 is covered with the second positioning member 53.
  • the protrusions 56 of 53A are brought into point contact with each other, and the lid body 11 and the cover plate 19 are appropriately positioned in the vertical and horizontal directions.
  • the orientation of the lid body 11 with respect to the cover plate 19 can be properly grasped.
  • the second positioning member 53A and the plurality of protrusions 56 interfere with the first positioning member 51, and the first positioning member 51A Since the second positioning member 53 and the plurality of protrusions 56 come into contact with each other, and the first and second positioning members 51, 51A, 53, 53A are prevented from facing or contacting each other, the vertical relationship of the cover plate 19 is maintained. You can easily grasp the mistake.
  • the male screw 42 is sequentially screwed into the plurality of female screw bosses 41 from the cover plate 19 side, thereby covering the cover main body 11 with high accuracy. Then, the lid 10 can be assembled. At this time, even if the cover plate 19 tries to rotate slightly in the rotation direction of the male screw 42, the plurality of protrusions 56 restrict the rotation of the cover plate 19, so that the cover plate 19 may be fixed in a distorted state. Therefore, it is possible to expect matching between the female screw boss 41 and the screw hole 20 of the cover plate 19.
  • the lid body opening / closing device holds the lid body 10 by vacuum suction, and the suction-holded lid body 10 is press-fitted into the open front surface of the container body 1 and is shallowly fitted.
  • the operation key of the lid opening / closing device passes through the operation hole 22 of the cover plate 19 and is inserted into the key hole 34 of the rotation operation body 31 of the locking mechanism 30, so that the rotation operation body is inserted. 31 is rotated in the locking direction.
  • each posture control is performed on the contacted portion 35 of the rotary plate 33 constituting the rotary operation body 31. This prevents the member 60 from making point contact and causing the balance of the rotary operation body 31 to collapse in the thickness direction of the lid body 10.
  • the plurality of latch bars 36 of the locking mechanism 30 slide in the vertical direction and are firmly fitted and locked in the locking holes of the container body 1. By the locking, the lid body 10 is drawn into the front surface of the container body 1 and is completely fitted, and the lid body 10 is firmly locked.
  • the cover plate 19 and the rotating operation body 31 whose posture has deteriorated are not in contact with each other and are damaged or rubbed to generate particles, which does not cause contamination of the semiconductor wafer or deterioration of the appearance of the lid 10.
  • This effect is very significant because the rotary operation body 31 is increased in size when the substrate storage container is a large type that stores a semiconductor wafer having a diameter of 450 mm.
  • the positioning means 50 effectively prevents the cover plate 19 from being distorted or displaced, the positioning recess 23 and the detected portion 24 of the cover plate 19 are not displaced. Therefore, the detection part 24 of the lid 10 can be accurately detected by the detection sensor of the lid opening / closing device, and the problem that the lid opening / closing device stops during the opening / closing operation of the lid 10 can be solved. . This effect is very significant when the substrate storage container is a large type that stores a semiconductor wafer of ⁇ 450 mm.
  • the positioning means 50 facilitates visual discrimination of the vertical relationship of the cover plate 19, there is no risk of accidentally covering the cover plate 19 upside down, thereby simplifying and speeding up the assembly work. Can be planned.
  • the second positioning members 53 and 53A are not in surface contact with the first positioning members 51 and 51A, but the protrusions 56 of the second positioning members 53 and 53A are in point contact, so that wear is suppressed, It becomes possible to prevent contamination of the semiconductor wafer due to generation of particles.
  • the openings 52 and 54 of the first and second positioning members 51 and 51A, 53 and 53A are both directed downward, and the liquid is distributed between the first and second positioning members 51 and 51A, 53 and 53A.
  • the protrusions 56 are minute, the flow of the cleaning water is not hindered when the lid 10 is cleaned by ultrasonic irradiation or the like. Therefore, it is possible to improve drainage and drainage during the cleaning of the lid body 10 and to facilitate the drying operation after the cleaning.
  • the first and second positioning members 51, 53, first, The two positioning members 51A and 53A can be appropriately opposed and brought into contact with each other.
  • the detected portions 24 are formed at the four corners of the surface of the cover plate 19, respectively. However, the detected portions 24 are formed at the two corners on the diagonal diagonal line, and each detected portion 24 is flattened as a mirror surface. It may be processed. Further, a portion that is higher (thicker) or lower (thin) than other portions of the rotating plate 33 may be formed on the peripheral edge of the rotating plate 33, and this portion may be used as the contacted portion 35. Moreover, in the said embodiment, although the 2nd positioning member 53 was made to oppose the 1st positioning member 51, even if it makes the some 2nd positioning member 53 oppose the inner peripheral surface of the 1st positioning member 51, respectively. good. Similarly, a plurality of second positioning members 53A may be opposed to the inner and outer peripheral surfaces of the first positioning member 51A.
  • the opening 52 may be defined only on the first and second positioning members 51 and 51A, or the opening 54 may be defined only on the second positioning members 53 and 53A.
  • a plurality of protrusions 56 can be arranged at intervals on either the inner or outer peripheral surface of the first positioning member 51 or 51A. Further, a plurality of protrusions 56 can be arranged at intervals on the peripheral surfaces of the first and second positioning members 51, 51A, 53, 53A. Further, the first and second positioning members 51, 51A, 53, 53A can be colored in mutually different colors to facilitate visual identification.
  • first and second positioning members 51, 51A, 53, 53A are formed in a substantially U shape, and the openings 52, 54 of the first, second positioning members 51, 51A, 53, 53A are respectively downward. It is also possible to turn to Further, the first positioning member 51 positioned above can be formed larger than the first positioning member 51A positioned below. In this case, the second positioning member 53 positioned above the cover plate 19 is positioned on the inner peripheral side (lower side in FIG. 8) of the first positioning member 51 formed on the lid body 11, and The second positioning member 53A positioned below is positioned on the outer peripheral side (upper side in FIG. 8) than the first positioning member 51A formed on the lid body 11.
  • the protrusion 56 may be formed in a small frontal substantially triangular shape, and the protrusion 56 may be brought into line contact instead of point contact.
  • a plurality of posture control members 60 that are in point contact with the installation area 14 are arranged in the vicinity of the peripheral portion of the opposing surface facing the installation area 14 of the rotation plate 33A, and the rotary operation body 31 is arranged. You may make it rotate stably.
  • the posture control member 60 may be formed in an elliptical shape, an oval shape, a triangular shape, a quadrangular shape, a polygonal shape, etc. in addition to a circular shape in plan view.
  • the cross-sectional shape of the posture control member 60 may be a semicircular shape, an arc shape, a curved shape, a triangle, a pentagon, or the like, and may be point-contacted or line-contacted with the rotating plate 33 constituting the rotating operation body 31. .
  • the attitude control member 60 can be formed in a shape having a protrusion that can make point contact or line contact with the rotary operation body 31.
  • the cross-sectional shape of the posture control member 60 is formed in a semicircular shape or a curved shape, damage and wear of the rotary operation body 31 and the posture control member 60 are effective at the time of contact between the rotary operation body 31 and the posture control member 60. Can be suppressed.
  • the substrate storage container according to the present invention is used in the field of manufacturing semiconductors and liquid crystals.

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Abstract

　施錠機構の回転操作体が回転操作される際、蓋体のカバープレートと回転操作体が接触して損傷したり、擦れて発塵するのを防ぐことのできる基板収納容器を提供する。　半導体ウェーハを収納する容器本体（１）と、容器本体（１）の正面を開閉する蓋体（１０）と、容器本体（１）の正面を閉鎖した蓋体（１０）を施錠する施錠機構（３０）とを備え、蓋体（１０）を、容器本体（１）の正面に嵌合される蓋本体（１１）と、蓋本体（１１）の正面（１２）を覆う透明のカバープレート（１９）とから構成し、施錠機構（３０）を、蓋本体（１１）に軸支されてカバープレート（１９）の外部から回転操作される回転操作体（３１）と、回転操作体（３１）の回転に応じてスライドし、蓋本体（１１）の周壁から出没して容器本体（１）の正面内周に接離する複数のラッチバー（３６）とから構成し、カバープレート（１９）と回転操作体（３１）のうち、少なくともカバープレート（１９）に、回転操作体（３１）用の複数の姿勢制御部材（６０）を設ける。

Description

基板収納容器
　本発明は、半導体ウェーハに代表される基板の収納、保管、搬送、輸送等に使用される基板収納容器に関するものである。
　従来における基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを収納する容器本体と、この容器本体の正面を開閉する蓋体と、容器本体の正面を閉鎖した蓋体を施錠する施錠機構とを備え、半導体の製造工場に半導体ウェーハを輸送する際に使用される（特許文献１、２、３参照）。
　容器本体は、例えばφ３００ｍｍ以上の半導体ウェーハを整列収納可能な大きさのフロントオープンボックスに成形され、底板にボトムプレートが装着されており、底板とボトムプレートのいずれかに、蓋体開閉装置のテーブル上の位置決めピンに嵌合して位置合わせする複数の位置決め具が装着されている。
　蓋体は、容器本体の正面に着脱自在に嵌合される断面略皿形の蓋本体と、この蓋本体の開口した正面を覆うカバープレートとを備え、これら蓋本体とカバープレートとの間に施錠機構が介在して配設されており、蓋体開閉装置により自動的に開閉される。カバープレートは、蓋本体の正面に対応する大きさの板に形成され、両側部の中央に、施錠機構用の操作孔がそれぞれ穿孔されている。
　施錠機構は、蓋体の蓋本体に軸支されて外部から回転操作される一対の回転操作体と、各回転操作体の回転に伴い蓋体の上下方向にスライドし、蓋本体の周壁から出没して容器本体の正面内周部に接離する複数のラッチバーとを備えて構成されている。各回転操作体は、例えば周縁部に一対の湾曲溝を備えた円板に形成され、カバープレートの操作孔に対向し、この操作孔を貫通した蓋体開閉装置の操作キーにより外部から回転操作される。
　このような基板収納容器は、容器本体の開口した正面に蓋体が嵌合され、施錠される場合には、蓋体開閉装置が蓋体を吸着保持し、この吸着保持された蓋体が容器本体の開口した正面に圧入して浅く嵌合される。蓋体が浅く嵌合されると、蓋体開閉装置の操作キーがカバープレートの操作孔に挿入されて施錠機構の回転操作体を回転操作し、施錠機構の複数のラッチバーがそれぞれスライドして容器本体の正面内周部に強く接触することにより、容器本体の正面に蓋体が完全に嵌合され、蓋体が強固に施錠される。
特許第３９０４７７２号 特許第４２０８３０８号 特許第４５４０５２９号
　従来における基板収納容器は、以上のように蓋体開閉装置の操作キーがカバープレートの操作孔に挿入されて施錠機構の回転操作体を回転操作するが、この操作キーの挿入の際、カバープレートと回転操作体とが斜めに押圧されてその一部が浮き上がることがある。この浮き上がりをそのまま放置すると、カバープレートと姿勢の悪化した回転操作体とが接触して損傷したり、擦れて発塵し、半導体ウェーハの汚染や蓋体の外観の悪化を招くという問題が生じる。この問題は、基板収納容器がφ４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納する大型タイプの場合、回転操作体も大型化するので、より深刻となる。
　本発明は上記に鑑みなされたもので、施錠機構の回転操作体が回転操作される際、蓋体のカバープレートと回転操作体とが接触して損傷したり、擦れて発塵するのを防ぐことのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
　本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体と、容器本体の開口部を閉鎖した蓋体を施錠する施錠機構とを備えたものであって、
　蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆うカバープレートとを含み、
　施錠機構は、蓋本体に支持されてカバープレートの外部から回転操作される回転操作体と、この回転操作体の回転に応じてスライドし、蓋本体の周壁から出没して容器本体の開口部内周に接離する複数の施錠部材とを含み、
　蓋体のカバープレートと施錠機構の回転操作体のうち、少なくともカバープレートに、回転操作体の姿勢を制御する姿勢制御部材を設けたことを特徴としている。
　なお、蓋体のカバープレートの蓋本体に対向する対向面に、回転操作体の周縁部に点接触又は線接触する姿勢制御部材を設けることができる。
　また、カバープレートの対向面に、施錠機構の回転操作体用の包囲リブを形成し、この包囲リブ内に、複数の姿勢制御部材を設けることができる。
　また、施錠機構の回転操作体に、蓋体の蓋本体に点接触又は線接触する姿勢制御部材を設けることもできる。
　また、蓋体の蓋本体とカバープレートとを固定する固定手段と、蓋本体とカバープレートとを位置決めする位置決め手段とを含み、
　カバープレートに光透過性を付与し、このカバープレートには、位置決め凹部と被検出部とをそれぞれ形成し、
　位置決め手段は、蓋本体の対向面に複数形成される第一の位置決め部材と、カバープレートの対向面に複数形成される第二の位置決め部材とを含み、複数の第一の位置決め部材を間隔をおき形成してその大きさを相互に異ならせ、各第一の位置決め部材を屈曲してその両端部付近間に開口を区画し、複数の第二の位置決め部材を間隔をおき形成してその大きさを相互に相違させるとともに、各第二の位置決め部材を屈曲して第一の位置決め部材に沿わせ、各第二の位置決め部材を屈曲してその両端部付近間に開口を区画することが可能である。
　さらに、複数の第一、第二の位置決め部材をそれぞれ略半円弧形状、略馬蹄形状、略へ字形状、略Ｃ字形状、略Ｕ字形状、又は略Ｖ字形状に形成することも可能である。
　ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくともφ２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍの半導体ウェーハ、液晶基板、ガラス基板等が含まれる。容器本体と蓋体とは、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。容器本体は、フロントオープンボックスタイプが主ではあるが、トップオープンボックスタイプでも良い。姿勢制御部材は、蓋体のカバープレートに必要数設けたり、カバープレートと施錠機構の回転操作体にそれぞれ必要数設けることができる。この姿勢制御部材は、少なくとも回転操作体の周縁部に接触可能であることが好ましいが、回転操作体の周縁部以外の箇所にも接触させることができる。
　固定手段には、（１）蓋本体に形成される複数の螺子ボスと、カバープレートを貫通して複数の螺子ボスにそれぞれ螺子締めされる螺子部材（螺子やボルト等）との組み合わせ、（２）蓋本体に形成される複数の係止凹部と、カバープレートから突出して複数の係止凹部にそれぞれ係止する係止凸部との組み合わせ、（３）蓋本体に形成される複数の筒ボスと、カバープレートから突出して複数の筒ボスにそれぞれ嵌め合わされるリブとの組み合わせ等が該当する。
　位置決め手段は、蓋本体とカバープレートの中央部や側部等に設けることができる。この位置決め手段の複数の第一の位置決め部材は、湾曲形成される場合、相互に異なる曲率半径や曲率で形成されることが好ましい。この点については、複数の第二の位置決め部材も同様である。第一、第二の位置決め部材の開口方向は、下方が好ましいが、上方、斜め下方、左右横方向等でも良い。第二の位置決め部材は、第一の位置決め部材の周面に隙間を介して添うのが好ましいが、隙間がなくても良い。
　本発明によれば、容器本体に対する蓋体の取り付け取り外し時に施錠機構が作動する際、蓋体のカバープレート等が蓋体開閉装置等に押されても、施錠機構の回転操作体に姿勢制御部材が接触してその姿勢の悪化を防ぐので、回転操作体の姿勢が崩れたり、ばらつくことが少ない。
　本発明によれば、施錠機構の回転操作体が回転操作される際、蓋体のカバープレートと回転操作体とが接触して損傷したり、擦れて発塵するのを抑制することができるという効果がある。また、この効果により、基板の汚染や蓋体の外観悪化を防ぐことができる。
　請求項２記載の発明によれば、回転操作体の中心部やその近傍よりも操作力が強く作用する外側の周縁部に姿勢制御部材を接触させるので、回転操作体の姿勢をより適切に制御することができる。また、姿勢制御部材を面接触ではなく、点接触又は線接触させて接触面積を減少させるので、姿勢制御部材の損傷や発塵を抑制しながら回転操作体を安定して回転させることができる。
　請求項３記載の発明によれば、回転操作体の姿勢をより確実に制御することができる。また、蓋本体に姿勢制御部材を面接触ではなく、点接触又は線接触させて接触面積を減少させるので、姿勢制御部材の損傷や発塵を抑制し、回転操作体の回転を安定させることが可能になる。
　請求項４記載の発明によれば、位置決め手段がカバープレートの歪みや位置ずれを有効に防止するので、カバープレートの位置決め凹部や被検出部のずれを招くことが少ない。したがって、蓋体開閉装置の検出センサに蓋体の被検出部を正確に検出させることができ、蓋体開閉装置が蓋体の開閉作業の途中等で停止する事態を防ぐことが可能となる。また、位置決め手段がカバープレートの向きの視覚的な判別を容易にするので、向きが逆のカバープレートを誤って取り付けてしまうおそれが少なく、蓋体の組立作業の簡素化や迅速化が期待できる。
　さらに、第一、第二の位置決め部材の開口を共に下方に向ければ、蓋体の洗浄の際、洗浄水を円滑に排水することが可能となる。したがって、蓋体の洗浄時の排水性や水切り性を向上させたり、洗浄後の乾燥作業の便宜を図ることができる。
本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す正面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を模式的に示す分解斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を模式的に示す断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋本体を模式的に示す正面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるカバープレートを模式的に示す裏面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転操作体を模式的に示す正面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における複数の第一、第二の位置決め部材を模式的に示す断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における上方の第一、第二の位置決め部材を模式的に示す拡大説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における下方の第一、第二の位置決め部材を模式的に示す拡大説明図である。
　以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１０に示すように、複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体１と、この容器本体１の正面を開閉する透明の蓋体１０と、容器本体１の正面を閉鎖した蓋体１０を施錠する施錠機構３０とを備え、蓋体１０を構成する蓋本体１１とカバープレート１９とに固定手段４０と位置決め手段５０とをそれぞれ配設し、少なくとも蓋体１０のカバープレート１９に、施錠機構３０用の複数の姿勢制御部材６０を形成するようにしている。
　半導体ウェーハは、図示しないが、例えばφ４５０ｍｍの大型の薄く重いシリコンウェーハからなり、容器本体１内に水平に収納され、上下方向に複数枚（例えば、１０枚、２５枚等）が整列する。
　容器本体１、蓋体１０、施錠機構３０、位置決め手段５０、及び姿勢制御部材６０は、所要の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料に含まれる樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。
　これらの樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等からなる導電物質やアニオン、カチオン、非イオン系等の各種帯電防止剤が必要に応じて添加される。また、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されたり、剛性を向上させるガラス繊維や炭素繊維等も選択的に添加される。
　容器本体１は、図１や図２に示すように、所要の成形材料を使用して正面の開口したフロントオープンボックスに成形され、内部両側、換言すれば、両側壁の内面に、半導体ウェーハを水平に支持する左右一対の支持片が対設されており、この一対の支持片が上下方向に所定のピッチで配列されるとともに、各支持片が前後方向に伸びる細長い板片に形成される。
　容器本体１の底板には、蓋体開閉装置用のボトムプレート２が下方から螺着され、これら底板とボトムプレート２のいずれか一方に、蓋体開閉装置のテーブル上の位置決めピンに上方から嵌合して位置決めする複数の位置決め具が配設される。また、容器本体１の天井中央部には、半導体の製造工場の天井搬送機構に把持される搬送用のロボティックフランジ３が装着される。
　容器本体１の正面は、周縁部が屈曲しながら外方向に張り出し、内周縁の上部両側と下部両側とに、施錠機構３０用の施錠穴がそれぞれ穿孔される。また、容器本体１の両側壁の外面下部には、前後方向に指向する搬送用のフォークリフトフランジ４がそれぞれ突出形成される。
　蓋体１０は、図１ないし図６に示すように、容器本体１の正面に着脱自在に圧入して嵌合される断面略皿形状で浅底の蓋本体１１と、この蓋本体１１の開口した正面１２に着脱自在に覆着される透明のカバープレート１９とを備え、これら蓋本体１１とカバープレート１９との間に施錠機構３０が介在して配設されており、蓋体開閉装置により自動的に開閉される。
　蓋本体１１は、光透過性や透明性を有し、その開口した正面１２側の中央部に正面矩形状の隆起部１３が一体形成されており、この隆起部１３の左右両側に施錠機構３０用の設置領域１４がそれぞれ区画される。各設置領域１４には、施錠機構３０用の左右一対のガイドリブ１５が上下方向に向けて一体形成され、この一対のガイドリブ１５が間隔をおいて相互に対向する。
　蓋本体１１は、容器本体１に整列収納された複数枚の半導体ウェーハの周縁前部に対向する背面、すなわち裏面の両側部に、各半導体ウェーハの周縁前部を弾性保持片で保持するフロントリテーナ１６がそれぞれ装着される。蓋本体１１の裏面の周縁部あるいは周壁には、枠形状のガスケット溝が切り欠かれ、このガスケット溝に、容器本体１の正面内周縁に圧接して変形する枠形状のガスケット１７が嵌合される。蓋本体１１の周壁の上部両側と下部両側とには、容器本体１の施錠穴に対向する出没孔１８がそれぞれ穿孔される。
　カバープレート１９は、蓋本体１１の正面１２に対応する大きさの板に形成され、固定手段４０用の螺子孔２０が複数穿孔される。このカバープレート１９は、その中央部に複数の洗浄溝孔２１が穿孔され、左右両側部の中央には施錠機構３０用の操作孔２２がそれぞれ穿孔される。複数の洗浄溝孔２１は、長い洗浄溝孔２１と短い洗浄溝孔２１とをそれぞれ複数備え、これらがカバープレート１９の中心部を基準に略放射状に配列されており、蓋本体１１の隆起部１３に対向する。
　カバープレート１９の外部に露出する表面の左右両側部には、周縁部に隣接する位置決め凹部２３がそれぞれ凹み形成され、カバープレート１９表面の隅部、例えば四隅部には、蓋体開閉装置の検出センサ（例えば、光電センサ）に検出される被検出部２４がそれぞれ形成されており、各被検出部２４が平坦な円形状に形成される。また、カバープレート１９の蓋本体１１に対向する裏面の両側部には、複数の洗浄溝孔２１に隣接する施錠機構３０用の包囲リブ２５がそれぞれ形成される。各包囲リブ２５は、操作孔２２を包囲し、施錠機構３０の動作に伴う発塵の汚染範囲を限定するよう機能する。
　施錠機構３０は、図２～図５、図７に示すように、蓋本体１１の一対の設置領域１４にそれぞれ軸支されて外部から回転操作される左右一対の回転操作体３１と、各回転操作体３１の回転に伴い蓋体１０の上下方向にスライドし、蓋本体１１の出没孔１８から出没して容器本体１の施錠穴に接離する複数のラッチバー３６とを備えて構成される。
　各回転操作体３１は、例えば周縁部に一対の湾曲溝３２を備えた二個の回転プレート３３・３３Ａが前後に組み合わされることにより構成される。この二個の回転プレート３３・３３Ａは、相互に嵌合可能な略円板形状あるいは略円筒形状に形成され、その中心部に、カバープレート１９の操作孔２２に対向するキー穴３４が形成されており、このキー穴３４に操作孔２２を貫通した蓋体開閉装置の操作キーが挿脱自在に嵌挿される。
　二個の回転プレート３３・３３Ａのうち、カバープレート１９側に位置する回転プレート３３の周縁部には、被接触部３５が一体形成され、この被接触部３５に複数の姿勢制御部材６０が接触する。このような回転操作体３１は、カバープレート１９の包囲リブ２５に包囲されてキー穴３４を操作孔２２に対向させ、操作孔２２を貫通した蓋体開閉装置の操作キーにより回転操作される。
　各ラッチバー３６は、縦長の板形状に形成され、その末端部が二個の回転プレート３３・３３Ａに挟持された状態で設置領域１４の一対のガイドリブ１５間にスライド可能に挟持される。このラッチバー３６の末端部には、回転操作体３１の湾曲溝３２にスライド可能に嵌入する連結ピン３７が突出形成される。
　固定手段４０は、図２、図５、図６に示すように、例えば蓋本体１１の正面１２に円筒形状に突出形成される複数の雌螺子ボス４１と、この複数の雌螺子ボス４１にそれぞれ螺挿される雄螺子４２とを備え、蓋本体１１とカバープレート１９とを着脱自在に固定して一体化するよう機能する。複数の雌螺子ボス４１は、蓋本体１１の隆起部１３周縁や設置領域１４にそれぞれ一体形成される。また、雄螺子４２は、カバープレート１９に穿孔された複数の螺子孔２０をそれぞれ貫通して雌螺子ボス４１に螺挿される。
　位置決め手段５０は、図１、図２、図５、図８～図１０に示すように、蓋本体１１の隆起部１３に配列形成されてカバープレート１９方向に突出する一対の第一の位置決め部材５１・５１Ａと、カバープレート１９の裏面に配列形成されて蓋本体１１方向に突出する一対の第二の位置決め部材５３・５３Ａとを備え、これら複数の第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａが蓋体１０の厚さ方向において相互に噛合する（図８参照）。
　一対の第一の位置決め部材５１・５１Ａは、隆起部１３表面の上下に間隔をおいて配列され、視覚的な判別を容易にしたり、第二の位置決め部材５３・５３Ａと互い違いに嵌合させて上下方向のずれを防止する観点から、相互に異なる大きさに形成されており、上方に位置する第一の位置決め部材５１が下方に位置する第一の位置決め部材５１Ａよりも小さく形成される。
　各第一の位置決め部材５１・５１Ａは、それぞれ略半円弧形に湾曲形成される。第一の位置決め部材５１の両端部間には開口５２が区画され、第一の位置決め部材５１Ａの両端部間には開口５２Ａが区画されており、これらの開口５２・５２Ａがいずれも蓋体１０の下方に指向して洗浄時の洗浄水が残留するのを防止する。
　一対の第二の位置決め部材５３・５３Ａは、カバープレート１９裏面の中央部上下に間隔をおいて配列され、視覚的な判別を容易にする観点から、相互に異なる大きさに形成されており、上方に位置する第二の位置決め部材５３が下方に位置する第二の位置決め部材５３Ａよりも大きく形成される（図９、図１０参照）。
　各第二の位置決め部材５３・５３Ａは、それぞれ略半円弧形に湾曲形成されて洗浄溝孔２１の端部に近接するとともに、第一の位置決め部材５１・５１Ａの内外いずれかの周面に沿い、両端部が第一の位置決め部材５１・５１Ａの両端部に揃えられる。第二の位置決め部材５３の両端部の間には開口５４が区画され、第二の位置決め部材５３Ａの両端部の間には開口５４Ａが区画されており、これら開口５４・５４Ａが蓋体１０の下方に指向して洗浄時の排水性や水切り性を向上させる。
　上方に位置する第二の位置決め部材５３は、図９に示すように、上方に位置する第一の位置決め部材５１の外径よりも大きい内径を有し、好ましくは第一の位置決め部材５１の外周面に排水用の僅かな隙間５５を介して対向する。この第二の位置決め部材５３の内周面における両端部と中央部とには、第一の位置決め部材５１の外周面に点接触する複数の突部５６が間隔をおいて配列形成される。各突部５６は、摩耗に伴うパーティクルの発生を抑制する観点から、微小な正面略半円形状に形成される。このような上方に位置する第二の位置決め部材５３は、上方に位置する第一の位置決め部材５１にのみ適切に対向する。
　これに対し、下方に位置する第二の位置決め部材５３Ａは、図１０に示すように、下方に位置する第一の位置決め部材５１Ａの内径よりも小さい外径を有し、好ましくは第一の位置決め部材５１Ａの内周面に排水用の僅かな隙間５５を介して対向する。この第二の位置決め部材５３Ａの外周面における両端部と中央部とには、第一の位置決め部材５１Ａの内周面に点接触する複数の突部５６が間隔をおいて配列形成される。各突部５６は、摩耗に伴うパーティクルの発生を抑制するため、微小な略半円形状に形成される。このような下方に位置する第二の位置決め部材５３Ａは、下方に位置する第一の位置決め部材５１Ａにのみ適切に対向する。
　上方に位置する第一、第二の位置決め部材５１、５３と下方に位置する第一、第二の位置決め部材５１Ａ、５３Ａとは、以上のように構成されるので、蓋体１０の水平方向の中心線に対して非対称の関係となり、蓋体１０の組立時に上下逆のカバープレート１９を誤って覆着してしまうおそれを有効に排除する。
　さらに、カバープレート１９の上方に位置する第二の位置決め部材５３が蓋本体１１に形成される第一の位置決め部材５１の外周側（図８の上側）に位置し、カバープレート１９の下方に位置する第二の位置決め部材５３Ａが蓋本体１１に形成される第一の位置決め部材５１Ａよりも内周側（図８の下側）に位置するので、蓋本体１１に嵌合されたカバープレート１９は、図２の左右方向の動きや上下方向の動きが規制され、正確に位置決めされる。
　複数の姿勢制御部材６０は、図２、図４、図６に示すように、各包囲リブ２５の周縁部寄りに間隔をおいて配列形成され、回転操作体３１の最大外径付近を含む周縁部に対向する。各姿勢制御部材６０は、回転操作体３１の損傷やパーティクルの発生を抑制する観点から、微小な断面略半円形状に突出形成され、回転操作体３１を構成する回転プレート３３の被接触部３５対向面に点接触する。
　上記構成において、蓋体１０を組み立てる場合には、蓋本体１１の開口した正面１２にカバープレート１９を被せ、蓋本体１１の一対の第一の位置決め部材５１・５１Ａに第二の位置決め部材５３・５３Ａの突部５６をそれぞれ点接触させ、蓋本体１１とカバープレート１９とを上下左右方向に適切に位置決めする。この際、一対の第一の位置決め部材５１・５１Ａの大きさが相互に異なるので、カバープレート１９に対する蓋本体１１の向きを適切に把握することができる。
　また、誤って上下逆にしたカバープレート１９を被せようとすると、第一の位置決め部材５１に第二の位置決め部材５３Ａやその複数の突部５６が干渉するとともに、第一の位置決め部材５１Ａに第二の位置決め部材５３やその複数の突部５６が接触し、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの適切な対向や接触が阻止されるので、カバープレート１９の上下関係を間違えたことを容易に把握することができる。
　蓋本体１１とカバープレート１９とを適切に位置決めしたら、複数の雌螺子ボス４１に雄螺子４２をカバープレート１９側から順次螺挿することにより、蓋本体１１にカバープレート１９を高精度に覆着し、蓋体１０を組み立てることができる。この際、雄螺子４２の回転方向にカバープレート１９が僅かに回転しようとしても、複数の突部５６がカバープレート１９の回転を規制するので、カバープレート１９が歪んだ状態で固定されるおそれを排除することができ、雌螺子ボス４１とカバープレート１９の螺子孔２０との整合が期待できる。
　次に、基板収納容器の容器本体１の開口した正面に蓋体１０を嵌合し、施錠する場合について説明する。この場合には、先ず、蓋体開閉装置が蓋体１０を真空吸着により保持し、この吸着保持された蓋体１０が容器本体１の開口した正面に圧入して浅く嵌合される。蓋体１０が浅く嵌合されると、蓋体開閉装置の操作キーがカバープレート１９の操作孔２２を貫通して施錠機構３０の回転操作体３１のキー穴３４に嵌挿され、回転操作体３１を施錠方向に回転操作する。
　この操作キーの挿入の際、カバープレート１９が斜めに押圧され、回転操作体３１が一部浮き上がろうとしても、回転操作体３１を構成する回転プレート３３の被接触部３５に各姿勢制御部材６０が点接触し、回転操作体３１のバランスが蓋体１０の厚さ方向に崩れるのを防止する。回転操作体３１が施錠方向に回転操作されると、施錠機構３０の複数のラッチバー３６がそれぞれ上下方向にスライドして容器本体１の施錠穴内に強く嵌合係止し、このラッチバー３６の嵌合係止により、容器本体１の正面に蓋体１０が引き込まれて完全に嵌合し、蓋体１０が強固に施錠される。
　回転操作体３１が施錠方向とは反対の解錠方向に回転操作される場合にも、カバープレート１９が斜めに押圧され、回転操作体３１の一部が浮き上がろうとするが、このときにも回転プレート３３の被接触部３５に各姿勢制御部材６０が点接触するので、回転操作体３１のバランスが保たれる。
　上記構成によれば、複数の姿勢制御部材６０が回転操作体３１の姿勢を制御するので、回転操作体３１の安定した回転が期待できる。したがって、カバープレート１９と姿勢の悪化した回転操作体３１とが接触して損傷したり、擦れてパーティクルが発生し、半導体ウェーハの汚染や蓋体１０の外観の悪化を招くことがない。この効果は、基板収納容器がφ４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納する大型タイプの場合、回転操作体３１が大型化するので、きわめて有意義である。
　また、位置決め手段５０がカバープレート１９の歪みや位置ずれを有効に防止するので、カバープレート１９の位置決め凹部２３や被検出部２４のずれを招くことがない。したがって、蓋体開閉装置の検出センサに蓋体１０の被検出部２４を正確に検出させることができ、蓋体開閉装置が蓋体１０の開閉作業の途中で停止する問題を解消することができる。この効果は、基板収納容器がφ４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納する大型タイプの場合には、実に有意義である。
　また、位置決め手段５０がカバープレート１９の上下関係の視覚的な判別を容易にするので、上下逆のカバープレート１９を誤って覆着してしまうおそれがなく、組立作業の簡素化や迅速化を図ることができる。また、第一の位置決め部材５１・５１Ａに第二の位置決め部材５３・５３Ａが面接触するのではなく、第二の位置決め部材５３・５３Ａの突部５６が点接触するので、摩耗を抑制し、パーティクルの発生に伴う半導体ウェーハの汚染を防止することが可能となる。
　また、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの開口５２・５４が共に下方に指向し、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの間に液体流通用の隙間５５が区画され、しかも、各突部５６が微小なので、蓋体１０が超音波の照射等で洗浄される場合、洗浄水の流通が阻害されることがない。したがって、蓋体１０の洗浄時の排水性や水切り性を向上させたり、洗浄後の乾燥作業の便宜を図ることが可能となる。
　さらに、例え成形時の不具合で位置決め手段５０に寸法誤差が生じたとしても、各突部５６を加工して微調整するだけで、第一、第二の位置決め部材５１、５３、第一、第二の位置決め部材５１Ａ、５３Ａを適切に対向させ、接触させることが可能となる。
　なお、上記実施形態ではカバープレート１９表面の四隅部に被検出部２４をそれぞれ形成したが、斜め対角線上の二隅部に被検出部２４をそれぞれ形成し、各被検出部２４を平坦に鏡面加工しても良い。また、回転プレート３３の周縁部には、回転プレート３３の他の箇所よりも高い（厚い）部分、又は低い（薄い）部分を形成し、この部分を被接触部３５として利用しても良い。また、上記実施形態では第一の位置決め部材５１に第二の位置決め部材５３を対向させたが、第一の位置決め部材５１の内外周面に複数の第二の位置決め部材５３をそれぞれ対向させても良い。同様に、第一の位置決め部材５１Ａの内外周面に複数の第二の位置決め部材５３Ａをそれぞれ対向させても良い。
　また、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａのみに開口５２を区画しても良いし、第二の位置決め部材５３・５３Ａのみに開口５４を区画することもできる。また、第一の位置決め部材５１・５１Ａの内外いずれかの周面に複数の突部５６を間隔をおいて配列形成することもできる。また、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの周面に複数の突部５６を間隔をおいてそれぞれ配列形成することもできる。また、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａを相互に異なる色彩に着色し、視覚的な識別を容易にすることも可能である。
　また、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａをそれぞれ略Ｕ字形状に形成し、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの開口５２・５４をそれぞれ下方に向けることも可能である。また、上方に位置する第一の位置決め部材５１を、下方に位置する第一の位置決め部材５１Ａよりも大きく形成することも可能である。この場合、カバープレート１９の上方に位置する第二の位置決め部材５３が蓋本体１１に形成される第一の位置決め部材５１の内周側（図８の下側）に位置し、カバープレート１９の下方に位置する第二の位置決め部材５３Ａが蓋本体１１に形成される第一の位置決め部材５１Ａよりも外周側（図８の上側）に位置することとなる。
　また、突部５６を小さい正面略三角形状に形成し、この突部５６を点接触ではなく、線接触させても良い。また、図４に示すように、回転プレート３３Ａの設置領域１４に対向する対向面の周縁部付近に、設置領域１４に点接触する複数の姿勢制御部材６０を配列形成し、回転操作体３１を安定して回転させるようにしても良い。また、姿勢制御部材６０を平面視円形の他、楕円形、長円形、三角形、四角形、多角形等に形成しても良い。この姿勢制御部材６０の断面形状も、半円形の他、円弧形、湾曲形状、三角形、五角形等に形成し、回転操作体３１を構成する回転プレート３３に点接触又は線接触させても良い。
　このように姿勢制御部材６０は、回転操作体３１と点接触又は線接触可能な突出部を備えた形状に形成することができる。特に、姿勢制御部材６０の断面形状を半円形や湾曲形に形成すれば、回転操作体３１と姿勢制御部材６０との接触時に、これら回転操作体３１や姿勢制御部材６０の損傷や摩耗を有効に抑制することが可能となる。
　本発明に係る基板収納容器は、半導体や液晶の製造分野等で使用される。
１　　　　容器本体
１０　　　蓋体
１１　　　蓋本体
１２　　　正面
１３　　　隆起部
１４　　　設置領域
１９　　　カバープレート
２０　　　螺子孔
２３　　　位置決め凹部
２４　　　被検出部
２５　　　包囲リブ
３０　　　施錠機構
３１　　　回転操作体
３３　　　回転プレート
３３Ａ　　回転プレート
３５　　　被接触部
３６　　　ラッチバー（施錠部材）
４０　　　固定手段
４１　　　雌螺子ボス
４２　　　雄螺子
５０　　　位置決め手段
５１　　　第一の位置決め部材
５１Ａ　　第一の位置決め部材
５２　　　開口
５３　　　第二の位置決め部材
５３Ａ　　第二の位置決め部材
５４　　　開口
５５　　　隙間
５６　　　突部
６０　　　姿勢制御部材
 

Claims (4)

  1. 　基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体と、容器本体の開口部を閉鎖した蓋体を施錠する施錠機構とを備えた基板収納容器であって、
    　蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆うカバープレートとを含み、
    　施錠機構は、蓋本体に支持されてカバープレートの外部から回転操作される回転操作体と、この回転操作体の回転に応じてスライドし、蓋本体の周壁から出没して容器本体の開口部内周に接離する複数の施錠部材とを含み、
    　蓋体のカバープレートと施錠機構の回転操作体のうち、少なくともカバープレートに、回転操作体の姿勢を制御する姿勢制御部材を設けたことを特徴とする基板収納容器。
  2. 　蓋体のカバープレートの蓋本体に対向する対向面に、回転操作体の周縁部に点接触又は線接触する姿勢制御部材を設けた請求項１記載の基板収納容器。
  3. 　施錠機構の回転操作体に、蓋体の蓋本体に点接触又は線接触する姿勢制御部材を設けた請求項１又は２記載の基板収納容器。
  4. 　蓋体の蓋本体とカバープレートとを固定する固定手段と、蓋本体とカバープレートとを位置決めする位置決め手段とを含み、
    　カバープレートに光透過性を付与し、このカバープレートには、位置決め凹部と被検出部とをそれぞれ形成し、
    　位置決め手段は、蓋本体の対向面に複数形成される第一の位置決め部材と、カバープレートの対向面に複数形成される第二の位置決め部材とを含み、複数の第一の位置決め部材を間隔をおき形成してその大きさを相互に異ならせ、各第一の位置決め部材を屈曲してその両端部付近間に開口を区画し、複数の第二の位置決め部材を間隔をおき形成してその大きさを相互に相違させるとともに、各第二の位置決め部材を屈曲して第一の位置決め部材に沿わせ、各第二の位置決め部材を屈曲してその両端部付近間に開口を区画した請求項１、２、又は３記載の基板収納容器。
     
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