JP6058365B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
容器本体の背面壁下方と側壁の後部下方の少なくともいずれかを外部に突出させて折り返すことにより、気体用の拡散制御部を断面略J字形状に屈曲形成し、
給排気バルブは、容器本体の底部後方に取り付けられて容器本体の外部から内部に気体を流入させる給気バルブと、容器本体の底部前方に取り付けられて容器本体の内部から外部に気体を排気する排気バルブとを含み、
容器本体の拡散制御部の下方に給気バルブの一部を配置し、この給気バルブから容器本体の内部に流入した気体を拡散制御部に衝突させ、容器本体内に気体を拡散させることを特徴としている。
また、例え容器本体が大型タイプの場合にも、正面が開口した容器本体の強度を確保し、容器本体の変形を防止して基板の汚染を防ぐことができる。具体的には、容器本体の背面壁下方と側壁の後部下方の少なくともいずれかに、屈曲した拡散制御部を一体形成するので、容器本体の強度を向上させることができ、例え基板収納容器が大型タイプの場合にも、容器本体の変形のおそれを有効に排除することができる。
2 側壁(周壁)
3 支持片
4 底板
5 取付孔
6 ボトムプレート
8 貫通孔
10 正面
12 背面壁(周壁)
20 蓋体
24 フロントリテーナ
40 施錠機構
44 ラッチバー
50 拡散制御部
51 長辺
52 短辺
60 給排気バルブ
61 給気バルブ
62 筺体
66 流出口
67 弁体
73 バネ部材
74 フィルタ
75 排気バルブ
80 ガス給排ノズル
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (2)
- 複数枚の基板を収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面に嵌め合わされる蓋体と、正面に蓋体が嵌め合わされた容器本体の内部の気体を置換する給排気バルブとを備えた基板収納容器であって、
容器本体の背面壁下方と側壁の後部下方の少なくともいずれかを外部に突出させて折り返すことにより、気体用の拡散制御部を断面略J字形状に屈曲形成し、
給排気バルブは、容器本体の底部後方に取り付けられて容器本体の外部から内部に気体を流入させる給気バルブと、容器本体の底部前方に取り付けられて容器本体の内部から外部に気体を排気する排気バルブとを含み、
容器本体の拡散制御部の下方に給気バルブの一部を配置し、この給気バルブから容器本体の内部に流入した気体を拡散制御部に衝突させ、容器本体内に気体を拡散させることを特徴とする基板収納容器。 - 拡散制御部の長辺を短辺の上方に位置させ、この拡散制御部の長辺を外部に向かうにしたがい徐々に傾けて下降させ、拡散制御部の長辺下方に給気バルブの流出口の一部を隙間を介して配置した請求項1記載の基板収納容器。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2012257692A JP6058365B2 (ja) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | 基板収納容器 |
Publications (2)
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JP2014107346A JP2014107346A (ja) | 2014-06-09 |
JP6058365B2 true JP6058365B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2012257692A Active JP6058365B2 (ja) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | 基板収納容器 |
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-
2012
- 2012-11-26 JP JP2012257692A patent/JP6058365B2/ja active Active
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