JP2021010024A - 基板収納容器の弁アセンブリ - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2014年12月1日に出願された米国仮出願第62/086,022号に対する優先権を主張する。
Claims (28)
- 基板収納容器であって、
開いた側部又は底部を有する収納容器部と、
前記開いた側部又は底部を密閉して閉鎖するドアであって、前記ドア及び前記収納容器部の一方が、アクセス構造を画定するドアと、
ウエハを保持するための複数のウエハ棚であって、前記ドア及び収納容器部の一方に位置決めされる棚と、
ツーピース逆止弁アセンブリであって、前記アクセス構造に対して係止され、前記基板収納容器の内部との流体連通を提供する逆止弁アセンブリとを含み、前記逆止弁アセンブリが、
エラストマ材料で形成されたグロメットと、
前記グロメット内部に配置されたエラストマ弁座であって、前記グロメットと一体的に形成されたエラストマ弁座と、
前記グロメット内部に配置されたエラストマ弁部材であって、前記基板収納容器の前記内部に対して前記逆止弁アセンブリを通る流体の流れを制限するために前記エラストマ弁座と係合可能であり、かつ前記基板収納容器の前記内部に対して前記逆止弁アセンブリを通る流体の流れを可能にするために前記エラストマ弁座から離脱可能なエラストマ弁部材とを含む、基板収納容器。 - 前記エラストマ弁が、アンブレラ弁部材を含み、前記アンブレラ弁部材が、前記グロメット内で前記弁座と密閉して係合するように配置され、前記逆止弁アセンブリを通る流体の流れを制限する、請求項1に記載の基板収納容器。
- 前記グロメットが、前記基板収納容器の前記内部に流体を導入し、又は前記基板収納容器の前記内部から流体を引き出すパージノズルに密閉して接続するように構築されたパージグロメットである、請求項1又は2に記載の基板収納容器。
- 前記グロメットを密閉して受け、かつ前記基板収納容器に密閉して接続するように適合されたパージ本体ハウジングと、
前記パージグロメットと、前記パージ本体ハウジングの内面との間に配置されたフィルタとを更に含む請求項1又は2に記載の基板収納容器。 - 前記弁座が、第1の弁座であり、前記グロメットが、前記第1の弁座に対向して前記グロメット内部に配置された第2の弁座を更に含み、前記第2の弁座が、前記グロメットと一体的に形成され、
前記グロメットは、前記エラストマ弁部材が前記第1の弁座を係合及び離脱させ、前記基板収納容器の前記内部に対して前記逆止弁アセンブリを通る、一方向のみでの流体の流れを可能にする第1の位置に、前記エラストマ弁部材を係止するように構築され、
更に前記グロメットは、前記エラストマ弁部材が、前記第2の弁座を係合及び離脱させ、前記基板収納容器の前記内部に対して前記逆止弁アセンブリを通る前記第1の方向とは反対の第2の方向のみでの流体の流れを可能にする第2の位置に、前記エラストマ弁部材を係止するように構築される、請求項1に記載の基板収納容器。 - 前記弁座が、前記グロメットの軸方向長さに沿って前記グロメットの実質的に中間点に配置される、請求項1に記載の基板収納容器。
- 基板収納容器へ、かつ基板収納容器からの流体の流れを制御するように適合された逆止弁アセンブリであって、
前記基板収納容器と操作可能に連結するように適合されたパージグロメットと、
前記パージグロメット内部に配置された弁座と、
前記パージグロメット内部に配置され、前記弁座を係合させて、前記基板収納容器に対して前記パージグロメットを通る流体の流れを制御するエラストマアンブレラ逆止弁部材とを含み、
前記弁座及びパージグロメットは、断面の実質的な「H」字形を一緒に画定する、逆止弁アセンブリ。 - 前記パージグロメットが、エラストマ材料から形成され、更に前記弁座が、前記パージグロメットと一体である、請求項7に記載の逆止弁アセンブリ。
- 前記パージグロメットが、エラストマ材料から形成され、
更に前記逆止弁アセンブリが、前記弁座を画定するハウジングを含み、かつ前記エラストマアンブレラ逆止弁部材を係止し、前記ハウジングが、実質的に硬質の材料から構築され、かつ前記エラストマパージグロメット内部に配置される、請求項7に記載の逆止弁アセンブリ。 - 前記パージグロメットが内部に配置される、パージ本体ハウジングと、
前記パージグロメットと、前記パージ本体ハウジングの内面との間に配置されたフィルタとを更に含む、請求項7に記載の逆止弁アセンブリ。 - 基板収納容器であって、
前記基板収納容器の内部と流体連通するアクセス構造と、
前記収納容器の前記内部の、複数の実質的に水平の離間された基板棚と、
前記アクセス構造と容易に取り外し可能に連結された、エラストマの、実質的に円筒形のインターフェースと、
前記インターフェース内に受けられ、少なくとも1つの弁座を画定するハウジングと、
前記ハウジング内に固着され、前記少なくとも1つの弁座を係合させることによって前記インターフェースを通る流体の流れを制御する、エラストマディスク形状の逆止弁部材とを含み、
前記ハウジングが、エラストマアンブレラ逆止弁部材を損傷から保護するために、実質的に硬質の材料から形成される、基板収納容器。 - 前記ハウジングが、第1の弁座と、第2の弁座とを画定し、前記ハウジングが、前記エラストマディスク形状の弁部材を第1の位置に固着し、前記第1の弁座を選択的に係合させ、かつ1の方向のみでの流体の流れを可能にするように構築され、前記ハウジングが、前記エラストマ弁部材を第2の位置に固着し、前記第2の弁座を選択的に係合させ、かつ前記第1の方向とは反対の第2の方向のみでの流体の流れを可能にするように更に構築される、請求項11に記載の基板収納容器。
- 前記ハウジングが、実質的に硬質の材料から形成され、かつ前記インターフェースに圧入される、請求項11に記載の基板収納容器。
- 前記インターフェースが、パージグロメットインターフェースであり、かつ前記エラストマディスク形状の弁部材が、アンブレラ弁部材である、請求項13に記載の基板収納容器。
- 基板収納容器であって、
収納容器内部を画定する収納容器壁を有する収納容器部であって、前記内部に配置された、複数の実質的に水平の離間された基板棚を更に有する収納容器部と、
流体の流れを前記収納容器内部に向ける、少なくとも1つの実質的に管状の環境制御構成部品と、
前記制御構成部品を通る前記基板収納容器への流体の流れを可能にするように適合された、前記制御構成部品内部に配置された逆止弁アセンブリであって、
実質的に円筒形の弁座部と、
前記収納容器から前記制御構成部品を通る流体の流れを実質的に不可能にする前記弁座部内部に保持されるエラストマアンブレラ逆止弁部材とを含む逆止弁アセンブリと、
前記逆止弁アセンブリとともに積層されるエラストマインターフェースであって、端部が、前記逆止弁アセンブリの端部と密閉して係合され、かつ外周が、前記制御構成部品に密閉して接続されるエラストマインターフェースとを含む、基板収納容器。 - 前記逆止弁アセンブリとともに積層されたフィルタ構成部品を更に含み、前記フィルタ構成部品が、前記エラストマインターフェースに対向する前記逆止弁アセンブリの他端と密閉して係合され、かつ配置される、請求項15に記載の基板収納容器。
- 前記フィルタ構成部品が、前記制御構成部品内部に配置された止め具に当接し、前記制御構成部品内部の過剰挿入を防止する、請求項16に記載の基板収納容器。
- 前記弁座部が、円筒形ディスク形状であり、かつ円周方向溝を画定し、更に前記基板収納容器が、前記溝内部に配置されたOリングを含み、前記逆止弁アセンブリを前記制御構成部品に密閉して接続する、請求項15に記載の基板収納容器。
- 前記弁座部が、実質的に硬質の材料から形成される、請求項15に記載の基板収納容器。
- 基板収納容器であって、
収納容器内部を画定する外部収納容器部と、
前記収納容器内部の、複数の実質的に水平の離間された基板棚と、
前記外部収納容器部に画定され、前記収納容器内部と流体連通するように適合された少なくとも1つのポートと、
前記少なくとも1つのポートと操作可能に連結され、かつ前記収納容器内部との流体連通を可能にし、不可能にするように適合されたパージモジュールとを含み、前記パージモジュールが、
第1の弁座と、第2の弁座とを画定する弁体ハウジングと、
前記弁体ハウジング内部に保持されたエラストマアンブレラ逆止弁部材とを含み、前記弁体ハウジングが、前記エラストマアンブレラ逆止弁部材を第1の位置に保持し、前記第1の弁座を係合及び離脱させ、前記収納容器内部へのみ流体の流れを可能にするように構築され、前記弁体ハウジングが、前記エラストマアンブレラ逆止弁部材を第2の位置に保持し、前記第2の弁座を係合及び離脱させ、前記収納容器内部からのみ流体の流れを可能にするように構築される、基板収納容器。 - 前記弁体ハウジングが、実質的に硬質であり、かつ中央ボアを画定し、前記エラストマアンブレラ逆止弁部材が、その一端から前記中央ボアに圧入され、前記第1の弁座を係合及び離脱させ、前記エラストマアンブレラ逆止弁部材が、その反対端から前記中央ボアに圧入され、前記第2の弁座を係合及び離脱させる、請求項20に記載の基板収納容器。
- 基板収納容器内の少なくとも1つのポートと連結し、前記基板収納容器の内部との流体連通を可能にし、かつ不可能にするように適合されたパージモジュールであって、
弁座を画定する弁体ハウジングと、
前記ハウジング内部に配置され、前記弁座に密閉して接触し、前記基板収納容器の前記内部との流体連通を不可能にするエラストマアンブレラ逆止弁部材と、
前記弁体ハウジングを受けるように適合された、射出成形されたダイアフラムインターフェースと、
前記逆止弁部材と流体連通して配置されたフィルタと、
前記ダイアフラムインターフェースを受けるように適合されたパージ本体とを含み、
前記ダイアフラムインターフェースで前記基板収納容器と流体連通するように適合され、前記基板収納容器の前記内部との流体連通を可能にし、不可能にする、パージモジュール。 - 前記弁体ハウジングによって画定される前記弁座が、第1の弁座であり、前記弁体ハウジングが、第2の弁座を更に画定し、
前記弁体ハウジングが、前記エラストマアンブレラ逆止弁部材を係止し、前記第1の弁座又は前記第2の弁座に接触するように適合され、かつ
前記パージモジュールが、同じ配向において前記基板収納容器への接続のために適合され、前記エラストマアンブレラ逆止弁部材が、前記第1の弁座又は前記第2の弁座に接触するために係止されるかに応じて、前記基板収納容器へ/からの流体の入口又は出口の役割を果たす、請求項22に記載のパージモジュール。 - 第1の配向において前記基板収納容器への操作可能な接続のために適合され、前記基板収納容器への流体連通のための入口の役割を果たし、更に第2の配向において前記基板収納容器への操作可能な接続のために適合され、前記基板収納容器からの流体連通のための出口の役割を果たす、請求項22に記載のパージモジュール。
- 基板収納容器であって、
収納容器内部を画定する外部収納容器部と、
前記収納容器内部の、複数の実質的に水平の離間された基板棚と、
前記外部収納容器部に画定され、前記収納容器内部と流体連通するように適合された少なくとも2つの流体ポートと、
前記2つのポートの一方に対して第1の方向で挿入され、前記収納容器内部との流体連通を可能にするように適合された第1のパージモジュールであって、
弁座を画定する弁体ハウジングと、
前記弁体ハウジング内部に保持されたエラストマアンブレラ逆止弁部材とを含み、前記弁体ハウジングが、前記エラストマアンブレラ逆止弁部材を、前記弁座を係合及び離脱させる位置に保持し、前記収納容器内部に対して一方向のみでの流体の流れを可能にするように構築される第1のパージモジュールと、
前記第1のパージモジュールと同一であり、前記2つのポートの他方に対して前記第1の方向と対向する方向に挿入され、前記収納容器内部に対して反対方向のみでの流体の流れを可能にする第2のパージモジュールとを含む、基板収納容器。 - 基板収納容器によって受けられるパージモジュールを取り換える方法であって、
フレームと、ばね装填プランジャとを含む元のパージモジュールを、前記基板収納容器と連係したアクセス構造から取り外し、
取り換えパージモジュールを、前記元のパージモジュールが取り外された前記アクセス構造に挿入することを含み、前記取り換えパージモジュールが、エラストマグロメットと、前記グロメット内部に配置された弁座と、前記弁座と接触し、前記基板収納容器の内部との流体連通を封鎖するように適合されたエラストマアンブレラ弁部材とを含む、方法。 - 取り換えパージモジュールを挿入することが、一体として一体的に形成されたエラストマグロメットと、エラストマ弁座とを含むパージモジュールを挿入することを含む、請求項26に記載の方法。
- 取り換えパージモジュールを挿入することが、エラストマグロメットと、前記グロメット内部に配置された実質的に硬質の材料で形成された弁座とを含むパージモジュールを挿入することを含む、請求項26に記載の方法。
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