JP2022088280A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】組立作業性を向上させたバルブ体を備える基板収納容器を提供する。
【解決手段】容器本体１０に対する気体の流通を制御するバルブ体４０と、を備える基板収納容器であって、バルブ体４０は、外部に連通する第１通路４５８と、内部に連通する第２通路４５９とを連通させる弁開口４５４を有する弾性弁体４５と、弾性弁体４５を保持する保持部材４１と、弾性弁体４５に挿入されることで、弾性弁体４５を保持部材４１に固定する締付キャップ４７と、を有し、弁開口４５４は、弾性弁体４５の弾性力により密着して閉鎖しているものである。
【選択図】図２Ｅ

Description

本発明は、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えた基板収納容器に関する。

基板を収納する基板収納容器は、容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えている。このバルブ体は、チェックバルブ機能を有するもので、弁体と弁体を開閉させる金属製の弾性部材とを有している（例えば、特許文献１及び２参照）。

ところで、基板収納容器は、基板を気密状態で収納するために、バルブ体から気体が供給され、また、バルブ体を介して気体が排出されるが、収納する基板の加工時に、基板に付着した残留物質も、供給した気体とともに排出されることがある。そのため、バルブ体の金属製の弾性部材などが、残留物質によって腐食されることがあった。

そこで、本発明者らは、金属製の部材を用いることなく、気体通路を開閉する弾性弁体を用いたバルブ体を提案した（特許文献３参照）。このバルブ体は、弾性弁体に形成された弁開口を、自身の弾性力により閉鎖し、弾性力を上回る気体の圧力で開放する弁開閉機構を有している。

特開２０１４－１６０７８３号公報 特開２００４－１７９４４９号公報 特開２０１９－０２１７３６号公報

しかしながら、特許文献３に記載のバルブ体では、固定筒、保持筒、中蓋筒、及び、複数のＯリングなどで構成されているため、部品点数が多くなり、組立作業に時間を要していた。

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、組立作業性を向上させたバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。

（１）本発明に係る１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、前記容器本体の外部に連通する第１通路と、前記容器本体の内部に連通する第２通路とを連通させる弁開口を有する弾性弁体と、前記弾性弁体を保持する保持部材と、前記弾性弁体に挿入されることで、前記弾性弁体を前記保持部材に固定する締付キャップと、を有し、前記弁開口は、前記弾性弁体の弾性力により密着して閉鎖しているものである。
（２）上記（１）の態様において、前記弁開口は、前記第１通路に陽圧が加わると変形して、隙間を形成することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするか、あるいは、前記第２通路に陽圧が加わると変形して、隙間を形成することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にしてもよい。
（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有し、前記保持部材は、前記フィルタを保持してもよい。

本発明によれば、組立作業性を向上させたバルブ体を備える基板収納容器を提供することができる。

本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す分解斜視図である。 給気用のバルブ体を示す分解斜視図である。 給気用のバルブ体を示す上面図である。 給気用のバルブ体を示す正面図である。 給気用のバルブ体を示す下面図である。 給気用のバルブ体を示す図２ＢのＡ－Ａ線で切断した断面図である。 給気用のバルブ体を示す図２ＢのＢ－Ｂ線で切断した断面図である。 バルブ体の保持部材を示す上面図である。 バルブ体の保持部材を示す正面図である。 バルブ体の保持部材を示す下面図である。 バルブ体の保持部材を示す斜視図である。 バルブ体のハンドルを示す斜視図である。 バルブ体のハンドルを示す側面図である。 バルブ体の弾性弁体を示す上面図である。 バルブ体の弾性弁体を示す正面図である。 バルブ体の弾性弁体を示す下面図である。 バルブ体の弾性弁体を示す断面図である。 バルブ体の弁プラグを示す上面図である。 バルブ体の弁プラグを示す正面図である。 バルブ体の弁プラグを示す下面図である。 バルブ体の弁プラグを示す側面図である。 バルブ体のキャップを示す上面図である。 バルブ体のキャップを示す正面図である。 バルブ体のキャップを示す下面図である。 バルブ体のキャップを示す斜視図である。 排気用のバルブ体を示す分解斜視図である。 排気用のバルブ体を示す図２Ｅと同様の位置で切断した断面図である。 排気用のバルブ体を示す図２Ｆと同様の位置で切断した断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。

図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す概略分解斜視図である。
基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のガスケット３０と、を備えている。

容器本体１０は、開口１１が正面に形成された箱状体である。この開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、ガスケット３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましい。

容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。

また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示なし）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板Ｗを保持する。ただし、本実施形態のようにリアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状の基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられるとよい。

基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。

容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを気密収納した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットにより、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。

また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。

そして、容器本体１０の内部の底面には、給気部１６と排気部１７とが設けられており、容器本体１０の外部の底面には、後述するバルブ体４０，５０が取り付けられている。これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、給気部１６から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアを供給し、必要に応じて排気部１７から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、低湿度の気密状態を維持したり、基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたりして、基板収納容器１の内部の清浄性を保つようになっている。なお、気体を給気部１６から給気するだけでなく、排気部１７を負圧（真空）発生装置に接続し、強制的に排気部１７から気体を排出することもある。

さらに、排気部１７から排気された気体を検知することで、基板収納容器１の内部が導入された気体で置換されたか確認することができる。なお、給気部１６及び排気部１７は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部１６及び排気部１７の数量や位置は、図示したものに限らず、容器本体１０の底面の四隅部に位置してもよい。また、給気部１６及び排気部１７は、蓋体２０の側に取り付けられてもよい。

一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に係止片が嵌入することで施錠されるようになっている。

また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が嵌合などで着脱自在に装着されているか、又は、インサート成形などで一体形成されている。このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。

そして、蓋体２０には、ガスケット３０を取り付ける取付溝２１が形成されている。例えば、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さい凸部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されているとよい。この凸部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた時、開口１１の段差部より奥に入り込むようになっている。

これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが適宜添加されてもよい。

つぎに、ガスケット３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のガスケット３０は、蓋体２０への取付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。

ガスケット３０は、容器本体１０のシール面１２と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、シール面１２と蓋体２０とに密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。

ガスケット３０は、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材を用いて形成するとよい。これらの材料には、他の機能を付加するために、各種添加剤が添加されてもよい。

つぎに、給気用のバルブ体４０について説明する。
図２は、給気用のバルブ体４０を示すもので、図２Ａは分解斜視図であり、図２Ｂは上面図であり、図２Ｃは正面図であり、図２Ｄは下面図であり、図２Ｅは図２ＢのＡ－Ａ線で切断した断面図であり、図２Ｆは図２ＢのＢ－Ｂ線で切断した断面図である。なお、図２Ｅ及び図２Ｆは、容器本体１０の底面部も描画した。

バルブ体４０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流通路を介して給気部１６と連通している。バルブ体４０は、図２Ｅ及び図２Ｆに示すように、容器本体１０の底面（あるいは、容器本体１０の底面に装着された底板）のリブによって形成された貫通孔１８に嵌められる保持部材４１を有している。なお、貫通孔１８の基端側には、容器本体１０に対する気体の流通を確保する複数の通気リブ１９が形成されている。

図３は、バルブ体４０の保持部材４１を示すもので、図３Ａは上面図であり、図３Ｂは正面図であり、図３Ｃは下面図であり、図３Ｄは斜視図である。

保持部材４１は、円筒状の第１筒部４１１と、第１筒部４１１の中心軸から偏心した中心軸を有する第２筒部４１２と、から形成されている（図３Ａ及び図３Ｃ参照）。

第１筒部４１１は、外周面にリング溝４１４が形成されている。また、第１筒部４１１は、容器本体１０側の上面に、通気孔４１６から放射状に延びる区画リブ４１３が立設されている。この通気孔４１６は、中心軸が第２筒部４１２の中心軸に一致するように、第１筒部４１１に形成されている。

さらに、第１筒部４１１には、通気孔４１６に連通する収納孔４１７も形成されている（図３Ｃ及び図３Ｄ参照）。この収納孔４１７は、通気孔４１６の内径よりも大きな内径を有している。

一方、第２筒部４１２は、偏心方向に略直交する方向に沿って一対の支軸４１５が外周面に突設されている。この支軸４１５は、下方が面取りされている（図３Ｂ参照）。

また、第２筒部４１２は、中心に嵌合孔４１８が形成されている（図３Ｃ及び図３Ｄ参照）。この嵌合孔４１８は、収納孔４１７の内径よりも大きな内径を有している。この嵌合孔４１８は、後述する弾性弁体４５の嵌合胴部４５１の外径と等しいか若干大きな内径を有している。

そして、保持部材４１は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を材料として成形されている。

ここで、保持部材４１のリング溝４１４には、円環状のシールリング４２が装着されている（図２Ａ、図２Ｅ及び図２Ｆ参照）。このシールリング４２は、容器本体１０の貫通孔１８に保持部材４１を挿入した際、保持部材４１と貫通孔１８との間の気密性を確保するものであり、また、貫通孔１８に嵌合することで、保持部材４１を固定する機能も有している。

このシールリング４２は、例えば、フッ素ゴム、天然ゴム、ウレタンゴム、エチレンプロピレンゴムなどの材料から形成されている。

また、保持部材４１の第１筒部４１１（の区画リブ４１３）の上端には、１枚又は複数枚のフィルタ４３が、例えば、接着や溶着により設けられている（図２Ａ参照）。このフィルタ４３は、供給又は排出される気体を濾過するものであり、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂などからなる多孔質膜、ガラス繊維などからなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維などの濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタなどから選択される。

なお、複数枚のフィルタ４３を用いる場合は、同種類のものであってもよいが、性質の異なるものを組み合わせた方が、パーティクル以外に、有機物の汚染なども防止することができるため、より好ましい。例えば、容器本体１０を洗浄する際に、水や洗浄液などの液体の滞留を抑制するか、あるいは、液体の通過を抑制する機能も奏するため、フィルタ４３の一方に疎水性又は親水性の材料を用いて、液体の透過を抑制してもよい。

図４は、バルブ体４０のハンドル４４を示すもので、図４Ａは斜視図であり、図４Ｂは側面図である。

ハンドル４４は、Ｕ字状に形成されたもので、円弧状の本体部４４１と、本体部４４１の両端に設けられた軸受４４２と、を有している。この軸受４４２は、保持部材４１の支軸４１５が挿入される軸孔４４２ａが形成されている（図２Ａ参照）。

また、軸受４４２は、本体部４４１に接続される側の反対側に突出片４４３が形成されている。この突出片４４３は、バルブ体４０を容器本体１０に装着する際に利用されるものであり、ハンドル４４を図２Ｃのように収納状態に回動させることで、容器本体１０の取付部を支点にするテコの原理で、バルブ体４０が貫通孔１８に嵌合されることになる（詳しくは、特許文献１を参照）。

このハンドル４４は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を材料として成形されている。

図５は、バルブ体４０の弾性弁体４５を示すもので、図５Ａは上面図であり、図５Ｂは正面図であり、図５Ｃは下面図であり、図５Ｄは断面図である。

弾性弁体４５は、円筒状の嵌合胴部４５１と、嵌合胴部４５１の凹んだ上面から延出された筒状部４５２と、を同心状に有している。嵌合胴部４５１は、保持部材４１の嵌合孔４１８の内径と等しいか、若干大きな外径を有しており、下端にフランジ部４５５が形成されている。なお、嵌合胴部４５１は、嵌合孔４１８に無理バメ（締りバメ）状態で嵌合することが好ましい。

一方、筒状部４５２は、弁開口４５４が形成された弁部４５３を内周面に含んでいる（図５Ｄ参照）。この弁部４５３は、容器本体１０側に向かって山型の断面形状となるように、２つの傾斜面が先端の弁開口４５４に向かって延びる嘴状に形成されている。なお、山型の稜線は、実施形態のような直線状に限らず、円弧状であってもよい。

弁部４５３は、筒状部４５２の内側空間を、容器本体１０の外部に連通する第１通路４５８と、容器本体１０の内部に連通する第２通路４５９とに仕切るものであり、これら第１通路４５８及び第２通路４５９は、弁開口４５４を介して連通している。

弁開口４５４は、長円形状又は楕円形状のスリット開口として形成されている。弁開口４５４を形成する場合は、金型による成形時に同時成形するか、成形後にカッターなどで切断するとよい。弁開口４５４は、弾性弁体４５の厚さにもよるが、短軸の長さが、例えば、０．１ｍｍ以上２．０ｍｍ以下程度であればよい。

嵌合胴部４５１の内側には、第１通路４５８と連通する円筒状の通気開口４５６が形成されており、この通気開口４５６には、後述する締付キャップ４７が挿入可能になっている。また、通気開口４５６の奥側（弁部４５３との接続部）には、後述する弁プラグ４６を位置決めする位置決め凸部４５７が形成されている。

弾性弁体４５は、各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂などを用いて形成するとよい。例えば、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴムなどのゴムや、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマーを用いることができる。

図６は、バルブ体４０の弁プラグ４６を示すもので、図６Ａは上面図であり、図６Ｂは正面図であり、図６Ｃは下面図であり、図６Ｄは側面図である。

弁プラグ４６は、リング状の基部４６１と、基部４６１に立設された２本の脚部４６２と、２本の脚部４６２に橋渡しされたシール板部４６３と、を有している。基部４６１は、脚部４６２が立設された上面の２か所が面取部４６５として面取りされており、弾性弁体４５の位置決め凸部４５７に係合するようになっている（図２Ｅ参照）。

シール板部４６３は、弁開口４５４の形状と同じか相似形の断面形状を有している。つまり、シール板部４６３の長軸は、弁開口４５４の長円形状又は楕円形状の長軸に等しい長さか、あるいは、１ｍｍ以下の範囲で長い長さを有している。言い換えると、シール板部４６３は、弁開口４５４の周長と等しいか、若干長い周長を有している。

なお、基部４６１内側の円形開口及び２本の脚部４６２間の空間は、気体が通過可能な開口部４６４となっている。

そして、この弁プラグ４６は、弾性弁体４５を形成する材料に対して貼り付き難い材料、例えば、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリオレフィンメタクリレート、ポリプロピレン、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネートで形成されている。

図７は、バルブ体４０の締付キャップ４７を示すもので、図７Ａは上面図であり、図７Ｂは正面図であり、図７Ｃは下面図であり、図７Ｄは斜視図である。

弾性弁体４５の通気開口４５６には、締付キャップ４７が挿入されている（図２Ａ、図２Ｅ及び図２Ｆ参照）。この締付キャップ４７は、円環部４７１と、円環部４７１の一方面からＬ字状に中心に向かって延びる複数（例えば、４本）の脚部４７３と、を有している。なお、４本の脚部４７３は、互いに接続され十字状になっている。

円環部４７１は、内周面に複数（例えば、４つ）の補強リブ４７４が形成され、外周面に４つの係止爪４７２が形成されている。また、円環部４７１は、弾性弁体４５の通気開口４５６の内径と等しいか、若干大きな外径を有している。

係止爪４７２は、弾性弁体４５の通気開口４５６で係止されるとともに、通気開口４５６の外側の嵌合胴部４５１を押し広げることで、弾性弁体４５を保持部材４１の嵌合孔４１８に密着させることができる、抜け止め機能を有している（図２Ｅ及び図２Ｆ参照）。なお、保持部材４１の嵌合孔４１８と弾性弁体４５の嵌合胴部４５１との嵌合力を十分大きくできる場合には、締付キャップ４７を省略することができる。

締付キャップ４７は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を材料として成形されている。

つづいて、排気用のバルブ体５０について説明する。なお、排気用のバルブ体５０は、給気用のバルブ体４０の弾性弁体４５を除いて、同じ部品で構成されているため、個々の部品の説明は適宜省略する。
図８は、排気用のバルブ体５０を示すもので、図８Ａは分解斜視図であり、図８Ｂは図２Ｅと同様の位置で切断した断面図であり、図８Ｃは図２Ｆと同様の位置で切断した断面図である。

バルブ体５０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流通路を介して排気部１７と連通している。そして、バルブ体５０では、バルブ体４０とは逆に、容器本体１０から外部への気体の排気は可能にするが、容器本体１０の内部への気体の供給は不能にする、排気部１７用として用いられる。

このバルブ体５０では、弾性弁体５５の弁部５５３が、容器本体１０側に対して谷型に形成されており、弁プラグ４６が、保持部材４１と弾性弁体５５との間に保持されている。

最後に、バルブ体４０が、気体の流通を制御する様子を説明する。
バルブ体４０は、弾性弁体４５の第１通路４５８及び第２通路４５９に陽圧が加わらないと、弁開口４５４が弁プラグ４６に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。また、第２通路４５９に陽圧が加わると、弁部４５３の２つの斜面が弁プラグ４６側に押し付けられるが、各斜面に異なる圧力が加わっても、弁プラグ４６を中央に挟んでいるため、弁開口４５４が歪むことなく、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。

そして、例えば、第１通路４５８に所定値以上の陽圧が加わると、弾性弁体４５は、陽圧の大きさに応じて弁開口４５４を押し広げるように変形することで、弁プラグ４６との間に隙間を形成する。そして、容器本体１０の外部から供給された気体は、この隙間を通過して、第２通路４５９へ流通し、容器本体１０の内部に供給される。

一方、第２通路４５９に所定値以上の陰圧が加わった場合は、第１通路４５８に所定値以上の陽圧が加わった場合と相対的に同様であるから、バルブ体４０は同様の弁開動作を行う。

逆に、第２通路４５９に陽圧が加わると、弾性弁体４５の弁部４５３は、頂点（頂線）に向かって先細り形状であるため、逆方向の下方に撓み、弁開口４５４を閉じるように変形し、弁プラグ４６に密着する。そして、弁開口４５４と弁プラグ４６とが密着すると、第２通路４５９側からの気体は、流通が遮断され、第１通路４５８側へ流通することができなくなる。

なお、第１通路４５８に所定値以上の陰圧が加わった場合も、第２通路４５９に所定値以上の陽圧が加わった場合と相対的に同様であるから、バルブ体４０は同様の動作を行う。

気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性弁体４５の材料、硬度、形状・寸法、厚み、弁開口４５４及び弁プラグ４６（のシール板部４６３）の幅又は長さを変更することで調節可能である。

そして、バルブ体５０が気体の流通を制御する様子については、バルブ体４０と基本的に逆方向であるから、説明を省略する。

以上説明したとおり、本発明に係る実施形態の基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０に対する気体の流通を制御するバルブ体４０，５０と、を備える基板収納容器１であって、バルブ体４０，５０は、容器本体１０の外部に連通する第１通路４５８と、容器本体１０の内部に連通する第２通路４５９とを連通させる弁開口４５４を有する弾性弁体４５，５５と、弾性弁体４５，５５を保持する保持部材４１と、弾性弁体４５，５５に挿入されることで、弾性弁体４５，５５を保持部材４１に固定する締付キャップ４７と、を有し、弁開口４５４は、弾性弁体４５，５５の弾性力により密着して閉じているものである。

これにより、締付キャップ４７を弾性弁体４５，５５に装着することで、弾性弁体４５，５５を保持部材４１に固定することができ、従来品に比較して部品点数を削減することできる。そして、保持部材４１と弾性弁体４５との嵌合力を大きくすることができるため、これらの隙間から気体が漏れることも防止できる。

また、基板収納容器１は、金属性の部材を用いないバルブ体４０，５０を備えているため、収納する基板Ｗに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体４０，５０が作動しないようなことが起こり難い。

さらに、弾性弁体４５，５５を取り替えて、弁プラグ４６の位置を付け替えるだけで、給気方向又は排気方向に気体を流通させることができ、給気部１６や排気部１７の位置や個数にかかわらず、あらゆる気体の給気及び排気ルートに対応することができる。

実施形態の弁プラグ４６は、弾性弁体５５と保持部材４１との間に挟持されている。これにより、弾性弁体５５に締付キャップ４７を挿入して、保持部材４１に装着することで、弁プラグ４６及び弾性弁体５５を固定することができる。

実施形態の弁プラグ４６は、弾性弁体４５と締付キャップ４７との間に挟持されている。これにより、締付キャップ４７を弾性弁体４５に装着することで、弁プラグ４６及び弾性弁体４５を固定することができる。

なお、弁プラグ４６の開口部４６４及び締付キャップ４７の通気開口４７５も第１通路４５８につながる点で、特許請求の範囲に記載の「第１通路」に相当し、通気孔４１６も第２通路４５９につながる点で、特許請求の範囲に記載の「第２通路」に相当するといえる。

実施形態の弁開口４５４は、第１通路４５８に陽圧が加わると変形して、隙間を形成することで、容器本体１０に対する気体の流通を可能にするか、あるいは、第２通路４５９に陽圧が加わると変形して、隙間を形成することで、容器本体１０に対する前記気体の流通を可能にするものである。これにより、例えば、バルブ体４０，５０の一方側から気体が導入されて陽圧になり、所定の圧力値になると、弾性弁体４５，５５の弁開口４５４が膨らみ、導入された気体はバルブ体４０，５０の他方側へ供給されることになる。

実施形態のバルブ体４０，５０は、気体を濾過するフィルタ４３を有し、保持部材４１は、フィルタ４３を保持している。これにより、バルブ体４０，５０を通過する気体を濾過することができる。また、フィルタ４３を、保持部材４１（の区画リブ４１３）と容器本体１０（の通気リブ１９）との間に挟持することで、フィルタ４３の脱落を防止することができる。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

（変形例）
上記実施形態において、保持部材４１の第１筒部４１１と第２筒部４１２とは、既存の基板収納容器１と、給気・排気ノズルとを備えるロードポートとの位置決め関係に適合するように、偏心していたが、例えば、上記特許文献３に記載の従来のバルブ体にみられるように同心であってもよい。また、この従来のバルブ体の構造において、弾性体のスリット（弾性弁体４５の弁開口４５４に相当）に、実施形態の弁プラグ４６を挿入するように構成してよい。

上記実施形態において、弾性弁体４５の弁部４５３は、２本の弁開口４５４が直交した十字状であってもよい。この場合、弁プラグ４６のシール板部４６３も断面が十字状になるように形成するとよい。

あるいは、上記実施形態において、バルブ体４０，５０は、弁プラグ４６を有さないものであってもよい。この場合、弾性弁体４５，５５の弁開口４５４は、自身の弾性力で通常時には閉鎖するように形成されるもので、第１通路４５８に陽圧が加わり、弁開口４５４の弾性力を超えると、弁開口４５４が変形して、隙間を形成することで、容器本体１０に対する気体の流通を可能にするか、あるいは、第２通路４５９に陽圧が加わると変形して、隙間を形成することで、容器本体１０に対する気体の流通を可能にするものとなる。

また、上記実施形態において、フィルタ４３は、バルブ体４０，５０とは別に、気体供給源から、容器本体１０の内部の気体放出口までの気体流路中に配置してもよい。

上記実施形態などでは、バルブ体４０，５０は、容器本体１０及び蓋体２０の少なくとも一方に形成された貫通孔１８に取り付けられるように構成されたが、上記特許文献３に記載のバルブ体のように、容器本体１０などに設けられた気体流路（配管）、例えば、給気部１６又は排気部１７の少なくとも一方に連通する気体流路の途中に取り付けられるように構成されてもよい。

１ 基板収納容器
１０ 容器本体、１１ 開口、１２ シール面、１３ 支持体、１４ ロボティックフランジ、１５ マニュアルハンドル、１６ 給気部、１７ 排気部、１８ 貫通孔、１９ 通気リブ
２０ 蓋体、２１ 取付溝、２２ 凸部
３０ ガスケット
４０，５０ バルブ体
４１ 保持部材、４１１ 第１筒部、４１２ 第２筒部、４１３ 区画リブ、４１４ リング溝、４１５ 支軸、４１６ 通気孔、４１７ 収納孔、４１８ 嵌合孔
４２ シールリング
４３ フィルタ
４４ ハンドル、４４１ 本体部、４４２ 軸受、４４２ａ 軸孔、４４３ 突出片
４５，５５ 弾性弁体、４５１ 嵌合胴部、４５２ 筒状部、４５３，５５３ 弁部、４５４ 弁開口、４５５ フランジ部、４５６ 通気開口、４５７ 位置決め凸部、４５８ 第１通路、４５９ 第２通路
４６ 弁プラグ、４６１ 基部、４６２ 脚部、４６３ シール板部、４６４ 開口部、４６５ 面取部
４７ 締付キャップ、４７１ 円環部、４７２ 係止爪、４７３ 脚部、４７４ 補強リブ、４７５ 通気開口
Ｗ 基板

Claims (3)

1. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
   前記バルブ体は、
   前記容器本体の外部に連通する第１通路と、前記容器本体の内部に連通する第２通路とを連通させる弁開口を有する弾性弁体と、
   前記弾性弁体を保持する保持部材と、
   前記弾性弁体に挿入されることで、前記弾性弁体を前記保持部材に固定する締付キャップと、を有し、
   前記弁開口は、前記弾性弁体の弾性力により密着して閉鎖している、
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記弁開口は、
   前記第１通路に陽圧が加わると変形して、隙間を形成することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするか、あるいは、
   前記第２通路に陽圧が加わると変形して、隙間を形成することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にする、
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有し、
   前記保持部材は、前記フィルタを保持する、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。

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