CN116134256A - 基板收纳容器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种具备提高组装作业性的阀体的基板收纳容器。基板收纳容器具备阀体40，其控制气体相对于容器主体10的流通；其中，阀体40具有：弹性阀瓣体45，其具有使与外部连通的第一通路458和与内部连通的第二通路459连通的阀瓣开口454；以及保持部件41，其保持弹性阀瓣体45；以及紧固帽47，通过将其插入至弹性阀瓣体45，从而将弹性阀瓣体45固定于保持部件41；其中，阀瓣开口454通过弹性阀瓣体45的弹性力密接而关闭。

Description

基板收纳容器
技术领域
本发明涉及一种基板收纳容器，其具备控制气体相对于容器主体的流通的阀体。
背景技术
收纳基板的基板收纳容器具备容器主体、封闭容器主体的开口的盖体、以及控制气体相对于容器主体的流通的阀体。该阀体具有止回阀功能，具有阀瓣体和使阀瓣体开闭的金属制的弹性部件(例如，参照专利文献1和2)。
但是，基板收纳容器为了以气密状态收纳基板，从阀体供给气体，此外，经由阀体排出气体，但在加工收纳的基板时，附着在基板上的残留物质有时也与供给的气体一起被排出。因此，阀体的金属制的弹性部件等有时会被残留物质腐蚀。
于是，本发明的发明人们提出了不使用金属制的部件而使用弹性阀瓣体来开闭气体通路的阀体(参照专利文献3)。该阀体具有阀瓣开闭机构，该阀瓣开闭机构利用自身的弹性力关闭形成在弹性阀瓣体的阀瓣开口，并利用超过弹性力的气体压力打开阀瓣开口。
现有技术
专利文献
专利文献1：日本特开2014-160783号公报
专利文献2：日本特开2004-179449号公报
专利文献3：日本特开2019-021736号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
然而，由于专利文献3所记载的阀体由固定筒、保持筒、中盖筒以及多个O形环等构成，因此部件个数增多，组装作业花费时间。
因此，本发明是鉴于上述技术问题而完成的，其目的在于提供一种具备提高组装作业性的阀体的基板收纳容器。
解决技术问题的技术手段
(1)本发明的一个技术方案是一种基板收纳容器，所述基板收纳容器具备：容器主体，用于收纳基板；以及盖体，用于封闭所述容器主体的开口；以及阀体，用于控制气体相对于所述容器主体的流通，其中，所述阀体包括：弹性阀瓣体，其具有使与所述容器主体的外部连通的第一通路和与所述容器主体的内部连通的第二通路连通的阀瓣开口；以及保持部件，其保持所述弹性阀瓣体；以及紧固帽，通过将其插入至所述弹性阀瓣体，从而将所述弹性阀瓣体固定于所述保持部件；所述阀瓣开口通过所述弹性阀瓣体的弹性力密接而关闭。
(2)在上述(1)的技术方案中，也可以是，所述阀瓣开口通过对所述第一通路施加正压时变形而形成间隙，从而使所述气体能够相对于所述容器主体流通，或者通过对所述第二通路施加正压时变形而形成间隙，从而使所述气体能够相对于所述容器主体流通。
(3)在上述(1)或(2)的技术方案中，也可以是，所述阀体具有过滤所述气体的过滤器，所述保持部件保持所述过滤器。
发明效果
根据本发明，能够提供一种具备提高组装作业性的阀体的基板收纳容器。
附图说明
[图1]是表示本发明的实施方式的基板收纳容器的分解立体图。
[图2A]是表示供气用的阀体的分解立体图。
[图2B]是表示供气用的阀体的俯视图。
[图2C]是表示供气用的阀体的主视图。
[图2D]是表示供气用的阀体的仰视图。
[图2E]是表示供气用的阀体的沿图2B的A-A线切断的剖视图。
[图2F]是表示供气用的阀体的沿图2B的B-B线切断的剖视图。
[图3A]是表示阀体的保持部件的俯视图。
[图3B]是表示阀体的保持部件的主视图。
[图3C]是表示阀体的保持部件的仰视图。
[图3D]是表示阀体的保持部件的立体图。
[图4A]是表示阀体的把手的立体图。
[图4B]是表示阀体的把手的侧视图。
[图5A]是表示阀体的弹性阀瓣体的俯视图。
[图5B]是表示阀体的弹性阀瓣体的主视图。
[图5C]是表示阀体的弹性阀瓣体的仰视图。
[图5D]是表示阀体的弹性阀瓣体的剖视图。
[图6A]是表示阀体的阀塞的俯视图。
[图6B]是表示阀体的阀塞的主视图。
[图6C]是表示阀体的阀塞的仰视图。
[图6D]是表示阀体的阀塞的侧视图。
[图7A]是表示阀体的帽的俯视图。
[图7B]是表示阀体的帽的主视图。
[图7C]是表示阀体的帽的仰视图。
[图7D]是表示阀体的帽的立体图。
[图8A]是表示排气用的阀体的分解立体图。
[图8B]是表示排气用的阀体的在与图2E相同的位置切断的剖视图。
[图8C]是表示排气用的阀体的在与图2F相同的位置切断的剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。另外，在本说明书的整个实施方式中，对相同的构件赋予相同的附图标记。
图1是表示本发明的实施方式的基板收纳容器1的示意性分解立体图。
基板收纳容器1具备：容器主体10，其收纳基板W；以及盖体20，其封闭容器主体10的开口11；以及环状的垫圈30，其设置在容器主体10与盖体20之间。
容器主体10是在正面形成有开口11的箱状体。该开口11以向外侧扩展的方式带有台阶地弯曲形成，该台阶部的表面作为垫圈30接触的密封面12，形成于开口11的正面的内周缘。另外，从容易进行300mm直径或450mm直径的基板W的插入操作的观点出发，容器主体10优选为前开式。
在容器主体10的内部的左右两侧配置有支承体13。支承体13具有载置及定位基板W的功能。在支承体13上沿高度方向形成有多个凹槽，构成所谓的凹槽齿。而且，基板W被载置于相同高度的左右两处的凹槽齿。支承体13的材料可以与容器主体10相同，但是也可以使用不同的材料以提高清洁性和滑动性。
此外，在容器主体10的内部的后方(里侧)配置有后保持器(未图示)。后保持器在盖体20被关闭的情况时，与后述的前保持器成对地保持基板W。但是，也可以不像本实施方式那样具备后保持器，而是支承体通过在凹槽齿的里侧具有例如呈“<”形或直线状的基板保持部，从而通过前保持器和基板保持部来保持基板W。这些支承体13或后保持器可以通过嵌件成型或嵌合等设置于容器主体10。
基板W由该支承体13所支承而收纳于容器主体10。另外，作为基板W的一例，没有特别限制，可以列举硅晶片，例如，可以是石英晶片、砷化镓晶片等。
在容器主体10的顶部中央部装卸自如地设置有机器人凸缘14。在洁净的状态下气密收纳有基板W的基板收纳容器1由工厂内的搬送机器人夹持机器人凸缘14，并搬送至加工基板W的各工序的加工装置。
此外，在容器主体10的两侧部的外表面中央部分别装卸自如地安装有供作业人员握持的手动把手15。
而且，在容器主体10的内部的底面设置有供气部16和排气部17，在容器主体10的外部的底面安装有后述的阀体40、50。通过它们，将诸如氮气等的惰性气体或干燥空气从供气部16供给到被盖体20封闭的基板收纳容器1的内部，并根据需要从排气部17排出，从而置换基板收纳容器1的内部的气体，或维持低湿度的气密状态，或吹走基板W上的杂质，保持基板收纳容器1的内部的清洁性。另外，不仅从供气部16供给气体，也可以将排气部17与负压(真空)发生装置连接，强制地从排气部17排出气体。
进一步，通过检测从排气部17所排出的气体，能够确认基板收纳容器1的内部是否被导入的气体置换。另外，尽管供气部16和排气部17优选位于与从基板W投影到底面的位置偏离的位置，但供气部16和排气部17的数量和位置不限于图示的数量和位置，也可以位于容器主体10的底面的四个角部。此外，供气部16及排气部17也可以安装在盖体20的一侧。
另一方面，盖体20是安装于容器主体10的开口11的正面的大致矩形状的部件。盖体20具有未图示的锁定机构，通过卡止片嵌入到形成于容器主体10的卡止孔(未图示)中而被锁定。
此外，盖体20在中央部装卸自如地安装或一体地形成有弹性的前保持器(未图示)，用于水平地保持基板W的前部周缘。该前保持器与支承体13的凹槽齿和基板保持部等一样，是晶片直接接触的部位，因此使用了清洗性和滑动性良好的材料。
而且，在盖体20上形成有安装垫圈30的安装槽21。例如，在盖体20的容器主体10侧的面上，通过环状地形成小于开口11的台阶部的凸部22，从而环状地形成剖面大致U字状的安装槽21。该凸部22构成为，当将盖体20安装于容器主体10时，其进入到比开口11的台阶部靠里侧。
作为这些容器主体10和盖体20的材料，例如可以列举：聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚醚酮、液晶聚合物等热塑性树脂。该热塑性树脂中可适当添加含有导电性碳、导电纤维、金属纤维、导电性高分子等的导电剂、各种抗静电剂、紫外线吸收剂等。
接着，垫圈30是与盖体20的正面形状(以及容器主体10的开口11的形状)对应的环状部件，在本实施方式中为矩形框架状。但是，环状垫圈30在安装到盖体20之前的状态下也可以是圆环(环状)状。
垫圈30被配置在容器主体10的密封面12与盖体20之间，在将盖体20安装于容器主体10上时，与密封面12和盖体20密接从而确保基板收纳容器1的气密性，减少尘埃、湿气等从外部侵入基板收纳容器1，并且减少气体从内部向外部的泄漏。
垫圈30可以使用含有聚酯类弹性体、聚烯烃类弹性体、氟类弹性体、聚氨酯类弹性体等的热塑性弹性体、氟橡胶、乙丙橡胶、有机硅橡胶等的弹性材料形成。在这些材料中，为了附加其他功能，也可以添加各种添加剂。
接着，对供气用的阀体40进行说明。
图2是表示供气用的阀体40的示图，图2A是分解立体图，图2B是俯视图，图2C是主视图，图2D是仰视图，图2E是沿图2B的A-A线切断的剖视图，图2F是沿图2B的B-B线切断的剖视图。另外，图2E及图2F还描绘了容器主体10的底面部。
阀体40控制气体相对于容器主体10的流通，在安装于容器主体10时，经由未图示的气体流通路与供气部16连通。如图2E及图2F所示，阀体40具有保持部件41，该保持部件41嵌入到由容器主体10的底面(或者安装于容器主体10的底面的底板)的肋所形成的贯通孔18中。另外，在贯通孔18的基端侧形成有确保气体相对于容器主体10流通的多个通气肋19。
图3表示阀体40的保持部件41，图3A是俯视图，图3B是主视图，图3C是仰视图，图3D是立体图。
保持部件41由圆筒状的第一筒部411和具有从第一筒部411的中心轴偏心的中心轴的第二筒部412形成(参照图3A及图3C)。
第一筒部411在外周面上形成有环形槽414。此外，第一筒部411在容器主体10侧的上表面立设有从通气孔416呈放射状延伸的分隔肋413。该通气孔416以其中心轴与第二筒部412的中心轴一致的方式形成于第一筒部411。
进一步，在第一筒部411上还形成有与通气孔416连通的收纳孔417(参照图3C及图3D)。该收纳孔417具有比通气孔416的内径大的内径。
另一方面，第二筒部412沿着与偏心方向大致正交的方向在外周面上突出设置有一对支轴415。该支轴415的下方被倒角(参照图3B)。
此外，第二筒部412在中心形成有嵌合孔418(参照图3C及图3D)。该嵌合孔418具有比收纳孔417的内径大的内径。该嵌合孔418具有与后述的弹性阀瓣体45的嵌合主体部451的外径相等或稍大的内径。
并且，保持部件41例如以聚碳酸酯、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮、液晶聚合物等的热塑性树脂为材料而成形。
这里，在保持部件41的环形槽414中安装有圆环状的密封环42(参照图2A、图2E及图2F)。该密封环42在将保持部件41插入容器主体10的贯通孔18时，确保保持部件41与贯通孔18之间的气密性，此外，通过与贯通孔18嵌合，还具有固定保持部件41的功能。
该密封环42例如由氟橡胶、天然橡胶、聚氨酯橡胶、乙丙橡胶等的材料形成。
此外，在保持部件41的第一筒部411(的分隔肋413)的上端，例如通过粘合或熔接设置有一枚或多枚过滤器43(参照图2A)。该过滤器43用于对所供给或排出的气体进行过滤，其选自包含四氟乙烯、聚酯纤维、氟树脂等的多孔质膜、包含玻璃纤维等的分子过滤器、使活性炭纤维等的滤材上担载化学吸附剂的化学过滤器等。
另外，在使用多枚过滤器43的情况下，可以是相同种类的过滤器，但组合性质不同的过滤器时，除了颗粒以外，还能够防止有机物的污染等，因此更优选。例如，在清洗容器主体10时，由于还起到抑制水或清洗液等液体的滞留、或者抑制液体的通过的功能，因此过滤器43中的一个也可以使用疏水性或亲水性的材料来抑制液体的透过。
图4是表示阀体40的把手44的示图，图4A是立体图，图4B是侧视图。
把手44形成为U字状，其具有圆弧状的主体部441和设置在主体部441的两端的轴承442。该轴承442形成有保持部件41的支轴415插入的轴孔442a(参照图2A)。
此外，轴承442在与主体部441连接的一侧的相反侧形成有突出片443。该突出片443是在将阀体40安装到容器主体10上时利用的部件，通过使把手44转动到如图2C所示的收纳状态，利用以容器主体10的安装部为支点的杠杆原理，阀体40嵌合到贯通孔18中(详情参照专利文献1)。
该把手44例如以聚碳酸酯、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮、液晶聚合物等的热塑性树脂为材料而成形。
图5表示阀体40的弹性阀瓣体45，图5A是俯视图，图5B是主视图，图5C是仰视图，图5D是剖视图。
弹性阀瓣体45同心状地具有圆筒状的嵌合主体部451和从嵌合主体部451的凹陷的上表面延伸出的筒状部452。嵌合主体部451具有与保持部件41的嵌合孔418的内径相等或稍大的外径，在下端形成有凸缘部455。另外，嵌合主体部451优选以强制嵌合(过盈嵌合)的状态嵌合于嵌合孔418。
另一方面，筒状部452在内周面上包括形成有阀瓣开口454的阀瓣部453(参照图5D)。该阀瓣部453以朝向容器主体10侧呈山型的剖面形状的方式形成为两个倾斜面朝向前端的阀瓣开口454延伸的鸟嘴状。另外，山型的棱线不限于实施方式那样的直线状，也可以是圆弧状。
阀瓣部453将筒状部452的内侧空间分隔为与容器主体10的外部连通的第一通路458和与容器主体10的外部连通的第二通路459，这些第一通路458和第二通路459经由阀瓣开口454连通。
阀瓣开口454形成为长圆形状或椭圆形的狭缝开口。在形成阀瓣开口454的情况时，可以在利用模具成形时同时成形，也可以在成形后用刀具等切断。阀瓣开口454取决于弹性阀瓣体45的厚度，短轴的长度例如只要为0.1mm以上且2.0mm以下左右即可。
在嵌合主体部451的内侧形成有与第一通路458连通的圆筒状的通气开口456，后述的紧固帽47能够插入至该通气开口456。此外，在通气开口456的里侧(与阀瓣部453的连接部)形成有对后述的阀塞46进行定位的定位凸部457。
弹性阀瓣体45可以使用各种橡胶或热塑性弹性体树脂等形成。例如，可以使用由氟橡胶、乙丙橡胶等的橡胶、或包含聚酯类弹性体、聚烯烃类弹性体、氟类弹性体、聚氨酯类弹性体等的热塑性的弹性体。
图6是表示阀体40的阀塞46的示图，图6A是俯视图，图6B是主视图，图6C是仰视图，图6D是侧视图。
阀塞46具有环状的基部461、立设于基部461的两个脚部462、以及架设于两个脚部462的密封板部463。基部461的立设有脚部462的上表面的两处被倒角为倒角部465，与弹性阀瓣体45的定位凸部457卡合(参照图2E)。
密封板部463具有与阀瓣开口454的形状相同或相似的剖面形状。即，密封板部463的长轴具有与阀瓣开口454的长圆形状或椭圆形状的长轴相等的长度，或者在1mm以下的范围内较长的长度。换言之，密封板部463具有与阀瓣开口454的周长相等或稍长的周长。
另外，基部461内侧的圆形开口以及两个脚部462之间的空间成为气体能够通过的开口部464。
而且，该阀塞46由难以粘附到形成弹性阀瓣体45的材料的材料所形成，作为这样的材料，例如可以为环烯烃聚合物、聚醚醚酮、聚烯烃甲基丙烯酸酯、聚丙烯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚碳酸酯。
图7是表示阀体40的紧固帽47的示图，图7A是俯视图，图7B是主视图，图7C是仰视图，图7D是立体图。
在弹性阀瓣体45的通气开口456中插入有紧固帽47(参照图2A、图2E及图2F)。该紧固帽47具有圆环部471和从圆环部471的一个面上以L字状朝向中心延伸的多个(例如四个)脚部473。另外，四个脚部473相互连接而成为十字状。
圆环部471在内周面形成有多个(例如四个)加强肋474，在外周面形成有四个卡止爪472。此外，圆环部471具有与弹性阀瓣体45的通气开口456的内径相等或稍大的外径。
卡止爪472具有如下的防脱功能：通过卡止于弹性阀瓣体45的通气开口456，并且扩张通气开口456的外侧的嵌合主体部451而能够使弹性阀瓣体45与保持部件41的嵌合孔418密接(参照图2E及图2F)。另外，在保持部件41的嵌合孔418与弹性阀瓣体45的嵌合主体部451的嵌合力能够设定为充分大的情况下，则可省略紧固帽47。
紧固帽47例如以聚碳酸酯、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮、液晶聚合物等热塑性树脂为材料而成形。
接着，对排气用的阀体50进行说明。另外，由于排气用的阀体50除了供气用的阀体40的弹性阀瓣体45以外，由相同的部件构成，因此适当省略各个部件的说明。
图8是表示排气用的阀体50的示图，图8A是分解立体图，图8B是在与图2E相同的位置切断的剖视图，图8C是在与图2F相同的位置切断的剖视图。
阀体50控制气体相对于容器主体10的流通，在安装于容器主体10时，经由未图示的气体流通路与排气部17连通。而且，阀体50与阀体40相反，可以从容器主体10向外部排出气体，但不能向容器主体10的内部供给气体，被用作排气部17。
在该阀体50中，弹性阀瓣体55的阀瓣部553相对于容器主体10侧形成为谷型，阀塞46被保持在保持部件41与弹性阀瓣体55之间。
最后，对阀体40控制气体的流通的方式进行说明。
在阀体40中，当未对弹性阀瓣体45的第一通路458及第二通路459施加正压时，阀瓣开口454与阀塞46密接，阻断气体向任一侧的流通。此外，当对第二通路459施加正压时，阀瓣部453的两个斜面被按压向阀塞46一侧，但即使对各斜面施加不同的压力，由于将阀塞46夹在中央，因此阀瓣开口454不会变形，阻断气体向任一侧的流通。
并且，例如，当对第一通路458施加所定值以上的正压时，弹性阀瓣体45根据正压的大小以扩大阀瓣开口454的方式变形，从而与阀塞46之间形成间隙。而且，从容器主体10的外部所供给的气体通过该间隙，向第二通路459流通，供给到容器主体10的内部。
另一方面，当对第二通路459施加所定值以上的负压的情况时，与对第一通路458施加所定值以上的正压的情况相似，因此阀体40进行同样的开阀动作。
相反，当向第二通路459施加正压时，由于弹性阀瓣体45的阀瓣部453是朝向顶点(顶线)前端变细的形状，因此向相反方向的下方挠曲，以关闭阀瓣开口454的方式变形，并与阀塞46密接。并且，当阀瓣开口454与阀塞46密接时，来自第二通路459侧的气体的流通被阻断，无法向第一通路458侧流通。
另外，当对第一通路458施加所定值以上的负压的情况时，也与对第二通路459施加所定值以上的正压的情况相似，因此阀体40进行同样的动作。
能够使气体流通的压力的所定值可以通过改变弹性阀瓣体45的材料、硬度、形状/大小、厚度、阀瓣开口454及阀塞46(的密封板部463)的宽度或长度来调节。
而且，关于阀体50控制气体流通的方式，由于与阀体40基本上为相反方向，所以省略说明。
如上所述，本发明的实施方式的基板收纳容器1具备：容器主体10，其收纳基板W；以及盖体20，其封闭容器主体10的开口11；以及阀体40、50，其控制气体相对于容器主体10的流通，其中，阀体40、50具有：弹性阀瓣体45、55，它们具有使与容器主体10的外部连通的第一通路458和与容器主体10的内部连通的第二通路459连通的阀瓣开口454；以及保持部件41，其保持弹性阀瓣体45、55；以及紧固帽47，通过将其插入至弹性阀瓣体45、55，从而将弹性阀瓣体45、55固定于保持部件41，阀瓣开口454通过弹性阀瓣体45、55的弹性力密接而关闭。
由此，通过将紧固帽47安装于弹性阀瓣体45、55，能够将弹性阀瓣体45、55固定于保持部件41，与以往产品相比能够削减部件个数。而且，由于能够增大保持部件41与弹性阀瓣体45的嵌合力，因此还能够防止气体从这些间隙泄漏。
此外，由于基板收纳容器1具备不使用金属性部件的阀体40、50，因此即使在收纳的基板W上存在金属腐蚀性的残留物质，也不会引起金属腐蚀的问题，不易引起阀体40、50不工作的情况。
进一步，仅通过更换弹性阀瓣体45、55并改变阀塞46的位置，就能够使气体向供气方向或排气方向流通，无论供气部16或排气部17的位置或个数如何，都能够应对所有气体的供气及排气路径。
实施方式的阀塞46被夹持在弹性阀瓣体55与保持部件41之间。由此，通过将紧固帽47插入至弹性阀瓣体55，并安装于保持部件41，能够固定阀塞46及弹性阀瓣体55。
实施方式的阀塞46被夹持在弹性阀瓣体45与紧固帽47之间。由此，通过将紧固帽47安装于弹性阀瓣体45，能够固定阀塞46及弹性阀瓣体45。
另外，阀塞46的开口部464及紧固帽47的通气开口475也与第一通路458相连这一点上，可以说相当于权利要求中记载的“第一通路”，通气孔416也与第二通路459相连这一点上，可以说相当于权利要求中记载的“第二通路”。
实施方式的阀瓣开口454在对第一通路458施加正压时变形而形成间隙，从而能够使气体相对于容器主体10流通，或者在对第二通路459施加正压时变形而形成间隙，从而能够使所述气体相对于容器主体10流通。由此，例如气体从阀体40、50的一侧被导入而成为正压，且成为所定的压力值时，弹性阀瓣体45、55的阀瓣开口454扩张，导入的气体被供给至阀体40、50的另一侧。
实施方式的阀体40、50具有过滤气体的过滤器43，保持部件41保持过滤器43。由此，能够对通过阀体40、50的气体进行过滤。此外，通过将过滤器43夹持在保持部件41(的分隔肋413)与容器主体10(的通气肋19)之间，能够防止过滤器43的脱落。
以上，对本发明的优选实施方式进行了详细说明，但本发明并不限定于上述实施方式，在权利要求所记载的本发明的主旨的范围内，能够进行各种变形、变更。
(变形例)
在上述实施方式中，尽管保持部件41的第一筒部411和第二筒部412以适合于既存的基板收纳容器1与具备供气/排气喷嘴的装载口的定位关系的方式而偏心，但是，例如也可以如上述专利文献3所记载的以往的阀体那样而同心。此外，在该以往的阀体的结构中，也可以构成为在弹性体的狭缝(相当于弹性阀瓣体45的阀瓣开口454)中插入实施方式的阀塞46。
在上述实施方式中，弹性阀瓣体45的阀瓣部453也可以是两个阀瓣开口454正交的十字状。在这种情况时，阀塞46的密封板部463也可以形成为剖面呈十字状。
或者，在上述实施方式中，阀体40、50也可以不包括阀塞46。在这种情况时，弹性阀瓣体45、55的阀瓣开口454形成为利用自身的弹性力在通常情况下关闭，当对第一通路458施加正压而超过阀瓣开口454的弹性力时，阀瓣开口454变形而形成间隙，从而使气体能够相对于容器主体10流通，或者当对第二通路459施加正压时变形而形成间隙，从而使气体能够相对于容器主体10流通。
此外，在上述实施方式中，过滤器43也可以与阀体40、50分开地配置于从气体供给源到容器主体10的内部的气体放出口为止的气体流路中。
在上述实施方式等中，尽管阀体40、50构成为安装于形成在容器主体10及盖体20的至少一者的贯通孔18，但也可以如上述专利文献3所记载的阀体那样，构成为安装于设置在容器主体10等的气体流路(配管)、例如与供气部16或排气部17的至少一者连通的气体流路的中途。
附图标记说明
1 基板收纳容器
10 容器主体
11 开口
12 密封面
13 支承体
14 机器人凸缘
15 手动把手
16 供气部
17 排气部
18 贯通孔
19 通风肋
20 盖体
21 安装槽
22 凸部
30 垫圈
40、50 阀体
41 保持部件
411 第一筒部
412 第二筒部
413 分隔肋
414 环形槽
415 支轴
416 通气孔
417 收纳孔
418 嵌合孔
42 密封环
43 过滤器
44 把手
441 主体部
442 轴承
442a 轴孔
443 突出片
45、55 弹性阀瓣体
451 嵌合主体部
452 筒状部
453、553 阀瓣部
454 阀瓣开口
455 凸缘部
456 通气开口
457 定位凸部
458 第一通路
459 第二通路
46 阀塞
461 基部
462 脚路
463 密封板部
464 开口部
465 倒角部
47 紧固帽
471 圆环部
472 卡止爪
473 脚部
474 加强肋
475 通气开口
W 基板

Claims (3)

1.一种基板收纳容器，其具备：
容器主体，用于收纳基板；以及
盖体，用于封闭所述容器主体的开口；以及
阀体，用于控制气体相对于所述容器主体的流通，所述基板收纳容器的特征在于，
所述阀体具有：
弹性阀瓣体，其具有使与所述容器主体的外部连通的第一通路和与所述容器主体的内部连通的第二通路连通的阀瓣开口；以及
保持部件，其保持所述弹性阀瓣体；以及
紧固帽，通过将其插入至所述弹性阀瓣体，从而将所述弹性阀瓣体固定于所述保持部件，
所述阀瓣开口通过所述弹性阀瓣体的弹性力密接而关闭。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述阀瓣开口通过对所述第一通路施加正压时变形而形成间隙，从而使所述气体能够相对于所述容器主体流通，或者
通过对所述第二通路施加正压时变形而形成间隙，从而使所述气体能够相对于所述容器主体流通。
3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述阀体具有过滤所述气体的过滤器，
所述保持部件保持所述过滤器。
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