JP6915203B2 - 基板収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えた基板収納容器に関する。

基板を収納する基板収納容器は、容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えている。このバルブ体は、チェックバルブ機能を有するもので、弁体と弁体を開閉させる金属製の弾性部材とを有している（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。

バルブ体のチェックバルブ機能は、一方向の気体の流通を制御するものであるから、気体の流通方向に応じて、バルブ体自体が取り替えられたり、弁体及び弾性部材が組み替えられたりしている。

特開２００８−０６６３３０号公報 特開２００４−１７９４４９号公報

ところで、基板収納容器は、基板を気密状態で収納するために、バルブ体から気体が供給され、また、バルブ体を介して排出されるが、収納する基板の加工時に、基板に付着した残留物質も、供給した気体とともに排出されることがある。そのため、バルブ体の金属製の弾性部材などが、残留物質によって腐食されることがあった。

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。
また、本発明は、気体の供給又は排気といった気体の両方向への流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。

（１）本発明に係る１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体及び前記蓋体の少なくとも一方の貫通孔に取り付けられ、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、前記容器本体の外部に連通する第１通路と、前記容器本体の内部に連通する第２通路とを仕切る弾性体を有し、前記弾性体は、前記第１通路に陽圧又は陰圧が加わる場合、及び、前記第２通路に陽圧又は陰圧が加わる場合のいずれでも、変形することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第１通路及び前記第２通路に陽圧及び陰圧が加わらない場合に、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断するものである。
（２）上記（１）の態様において、前記弾性体は、前記第１通路と前記第２通路とを仕切る仕切板を有し、前記仕切板は、少なくとも１本のスリットが形成され、前記スリットは、変形することで隙間が形成されてもよい。
（３）上記（２）の態様において、前記スリットは、０．１ｍｍから１．０ｍｍ幅で形成されてもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記弾性体は、内部通路を有する筒状であるとともに、前記第１通路と、前記内部通路と、前記第２通路と、のみを前記気体が流れるように、前記第１通路と前記第２通路との間を、シールしてもよい。
（５）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記第１通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、前記第２通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に形成されてもよい。
（６）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記第１通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、前記第２通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒に形成されてもよい。
（７）上記（１）から（６）までのいずれか１つの態様において、前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有してもよい。
（８）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記バルブ体は、前記容器本体に設けられた気体流路の途中に取り付けられてもよい。

本発明によれば、金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することができる。

本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す概略分解斜視図である。 バルブ体を示す、（ａ）上方からの断面斜視図、（ｂ）下方からの断面斜視図である。 気体流通を遮断した状態の弾性体を示す、（ａ）斜視図、（ｂ）上面図である。 気体流通を可能にした状態の弾性体を示す、（ａ）斜視図、（ｂ）上面図である。 基板収納容器に取り付けられたバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。 変形例のバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。 第２実施形態の容器本体におけるバルブ体を示す概略断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。

図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す概略分解斜視図である。
基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のパッキン３０と、を備えている。

容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、パッキン３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。

容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。

また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示なし）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板Ｗを保持する。ただし、本実施形態のようにリアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状をした基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられている。

基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。

容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを気密収納した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。

また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。

そして、容器本体１０の内部の底面には、給気部１６と排気部１７とが設けられており、容器本体１０の外部の底面には、後述するバルブ体４０が取り付けられている。これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、給気部１６から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、必要に応じて排気部１７から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、低湿度の気密状態を維持したり、基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたりして、基板収納容器１の内部の清浄性を保つようになっている。なお、気体を給気部１６から給気するだけでなく、排気部１７を負圧（真空）発生装置に接続し、強制的に排気部１７から気体を排出することもある。

さらに、排気部１７から排気された気体を検知することで、基板収納容器１の内部が導入された気体で置換されたか確認することができる。なお、給気部１６及び排気部１７は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部１６及び排気部１７の数量や位置は、図示したものに限らず、容器本体１０の底面の四隅部に位置してもよい。また、給気部１６及び排気部１７は、蓋体２０の側に取り付けられてもよい。

一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が着脱自在に装着又は一体形成されている。

このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナも、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。

そして、蓋体２０には、パッキン３０を取り付ける取付溝２１が形成されている。より詳しくは、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さい凸部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されている。この凸部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた時、開口１１の段差部より奥に入り込む。

これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。

つぎに、パッキン３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のパッキン３０は、蓋体２０への取り付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。

パッキン３０は、容器本体１０のシール面１２と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、シール面１２と蓋体２０とに密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。

パッキン３０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。

ここで、バルブ体４０について説明する。図２は、バルブ体４０を示す、（ａ）上方からの断面斜視図、（ｂ）下方からの断面斜視図である。図３は、気体流通を遮断した状態の弾性体４４を示す、（ａ）斜視図、（ｂ）上面図である。図４は、気体流通を可能にした状態の弾性体４４を示す、（ａ）斜視図、（ｂ）上面図である。図５は、基板収納容器１に取り付けられたバルブ体４０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。

バルブ体４０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流通路を介して給気部１６又は排気部１７と連通している。

バルブ体４０は、図２に示すように、容器本体１０のリブ１８０によって形成された貫通孔１８（図５も参照）に下方から嵌められる固定筒４１と、貫通孔１８にシール部材４５を介して上方から嵌入されて、固定筒４１に上方から螺合により着脱自在に組み合わされる保持筒４２と、を有している。

固定筒４１は、容器本体１０の内部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、固定筒４１の内周面には、保持筒４２を取り付けるための取り付け用の螺子溝４１２が螺刻形成されている。また、固定筒４１の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４１３が周設されており、リブ１８０の開口周縁部に接触するようになっている。

さらに、固定筒４１は、底部中心に、一端が容器本体１０の外部に連通する第１筒部４１０が、気体流通用の通気口４１１とともに形成されている。第１筒部４１０は、通気口４１１と連通しながら、通気口４１１の周縁から立ち上がって、保持筒４２に向かって延びている。また、第１筒部４１０と通気口４１１とで、第１通路４１００が形成されている。

一方、保持筒４２は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、保持筒４２の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４２３が周設されており、貫通孔１８の開口周縁に接触している。さらに、保持筒４２の外周面には、固定筒４１へ取り付けるための螺子溝４２２が螺刻形成され、この螺子溝４２２が固定筒４１の螺子溝４１２と螺合する。ただし、固定筒４１及び保持筒４２は、螺合でなく、圧入や係止などの他の方法で互いに取り付けられてもよい。

また、保持筒４２は、容器本体１０（底面）の内部側に、気体流通用の複数の通気口４２１を区画する区画リブ４２４が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ４２４の裏面には、後述するフィルタ４６を収納する収納空間が形成されている。

なお、保持筒４２は、外周面にシール部材４５が装着されており、保持筒４２と貫通孔１８の内周面との間から、容器本体１０の内部に侵入する外気や洗浄液を遮断し、また、容器本体１０の内部から漏れる気体を遮断することができる。

ところで、バルブ体４０は、保持筒４２の内周壁にシール部材４７を介して取り付けられ、保持筒４２との間にフィルタ４６を保持する中蓋筒４３も有している。

中蓋筒４３は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、容器本体１０の内部側に、フィルタ４６が載置されるようになっている。また、中蓋筒４３の外周面には突起が形成されており、保持筒４２の内周面側に形成された係止溝と係止することで、中蓋筒４３は、保持筒４２に連結され取り付けられている。

この中蓋筒４３は、一端が容器本体１０の内部に連通するとともに、第１筒部４１０の他端から離間して設けられる第２筒部４３０が形成されている。第２筒部４３０は、通気口４２１と連通しながら、中央開口の周縁から立ち上がって、固定筒４１に形成された第１筒部４１０に向かって延びている。また、第２筒部４３０と通気口４２１とで、第１通路４１００が形成されている。なお、第１筒部４１０の外径及び第２筒部４３０の外径は、等しい直径で形成されている。

上述した固定筒４１、保持筒４２及び中蓋筒４３は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を材料として成形されている。また、シール部材４５，４７には、例えば、フッ素ゴム、ＮＢＲゴム、ウレタンゴム、ＥＰＤＭゴム、シリコーンゴムなどの材料から形成された、Ｏリングなどが用いられている。

さらに、バルブ体４０は、第１筒部４１０の他端と、第２筒部４３０の他端との間に設けられる弾性体４４を有している。弾性体４４は、内部通路４４００を有する円筒状であり、第１筒部４１０の他端と、第２筒部４３０の他端と、を覆うように密着して取り付けられている。

つまり、給気又は排気される気体が、第１筒部４１０の第１通路４１００と、弾性体４４の内部通路４４００と、第２筒部４３０の第２通路４３００と、のみを通って流れるように、第１筒部４１０と第２筒部４３０との間を、確実にシールしており、位置ズレが起きることもない。

また、弾性体４４は、第１筒部４１０の第１通路４１００と、第２筒部４３０の第２通路４３００と、を仕切る仕切板４４０を有し、仕切板４４０には、少なくとも１本のスリット４４１形成されている（図３及び図４参照）。なお、本実施形態では、仕切板４４０に、２本のスリット４４１が交差して形成されているが、３本以上であってもよい。また、スリット４４１は、圧力が加わらない場合に、スリット４４１が密着して、気体の流通を遮断できる形状であればよく、直線に限らず、弓状やＳ字形状の曲線であってもよい。

仕切板４４０は、円板状であり、交差する溝部４４２が仕切板４４０を四等分するように形成され、溝部４４２にスリット４４１が形成されている。つまり、仕切板４４０は、スリット４４１により、４つの扇形状の仕切片４４３に分割されている。

仕切板４４０にスリット４４１を形成する場合は、カッターなどで切断するか、金型による成形時に同時に形成するとよい。スリット４４１は、仕切板４４０の厚さにもよるが、０．１ｍｍから１．０ｍｍ幅で形成されるとよい。

例えば、スリット４４１を０．１ｍｍより小さい幅で形成すると、仕切片４４３同士の密着固定が解消されないことがあり、１．０ｍｍより大きい幅で形成すると、仕切片４４３同士が密着せず、気体が漏れることがあり、加わる陽圧が小さくても（容器本体１０の内部と外部との間に圧力差が小さくても）気体の流通を遮断できなくなることがある。ただし、弾性体４４の材料に低粘着性のものを用いるか、弾性体４４の表面粗さを粗くすると、スリット４４１を０．１ｍｍより小さい幅で形成しても、仕切片４４３同士の密着固定が起きないようにすることができる。

このように、仕切板４４０に０．１ｍｍから１．０ｍｍ幅のスリット４４１を形成することにより、仕切片４４３同士が重なり合うなどの干渉を防止することができ、また、仕切片４４３同士が、弾性体４４自体の粘着性や弾性による粘着や吸着などの密着固定を防止することができるため、仕切板４４０が動作不能になることがなく、適切に気体を流通又は遮断することができ、また、異物の侵入を防止することもできる。

弾性体４４の材料としては、各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂などを用いることができる。例えば、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどを用いることができる。

そして、フィルタ４６は、供給又は排出される気体を濾過するものであり、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂などからなる多孔質膜、ガラス繊維などからなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維などの濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタなどから選択される。

フィルタ４６は、保持筒４２と中蓋筒４３との間に、１枚又は複数枚保持されている。なお、複数枚のフィルタ４６を用いる場合は、同種類のものであってもよいが、性質の異なるものを組み合わせた方が、パーティクル以外に、有機物の汚染なども防止することができるため、より好ましい。例えば、フィルタ４６は、容器本体１０を洗浄する際に、水や洗浄液などの液体が滞留しないように、液体の通過を抑制する機能も奏するため、フィルタ４６の一方に疎水性又は親水性の材料を用いて、液体の透過を更に抑制してもよい。

最後に、バルブ体４０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図３及び図５（ａ）において、第１筒部４１０の第１通路４１００及び第２筒部４３０の第２通路４３００に陽圧が加わらないと、弾性体４４は、スリット４４１を閉じ、仕切片４４３同士を密着させて、内部通路４４００を遮断し、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。

例えば、図５（ｂ）に矢印で示したように、第１筒部４１０の第１通路４１００に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体４４は、陽圧の大きさに応じて仕切片４４３が上方に折れ曲がる（捲れ上がる）ように変形することで、仕切片４４３同士の間に隙間Ｃを形成する。そして、第１筒部４１０側からの気体は、この隙間Ｃを通過して、第２筒部４３０側へ流通し、容器本体１０の内部に供給される。

また、第２筒部４３０の第２通路４３００に所定値以上の陰圧が加わった場合は、第１筒部４１０の第１通路４１００に所定値以上の陽圧が加わった場合と同様に作用し、図５（ｂ）に矢印で示したように、弾性体４４は、仕切片４４３が上方に折れ曲がる（捲れ上がる）ように変形することで、仕切片４４３同士の間に隙間Ｃを形成する。

逆に、第２筒部４３０の第２通路４３００に所定値以上の陽圧が加わっても、弾性体４４の仕切片４４３は逆方向の下方に変形し、仕切片４４３同士の間に隙間Ｃを形成する。そして、第２筒部４３０側からの気体は、この隙間Ｃを通過して、第１筒部４１０側へ流通し、容器本体１０の外部に排出される。

また、第１筒部４１０の第１通路４１００に所定値以上の陰圧が加わった場合も、第２筒部４３０の第２通路４３００に所定値以上の陽圧が加わった場合と同様に作用する。

このように、実施形態のバルブ体４０は、いずれか一方側からの、気体の流通を遮断又は可能とするものではなく、双方向の気体の流通を遮断又は可能とすることができる。そして、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体４４の材料、硬度、仕切板４４０の厚み、直径、スリット４４１の個数を変更することで調節可能である。

例えば、基板収納容器１の内部の気体を、排気部１７から強制的に排気し、パージ状態の検知やガスや混入物の分析を行う場合でも、排気部１７に接続されたバルブ体４０の第１筒部４１０の第１通路４１００側に陰圧が加わることになり、排気部１７に接続されたバルブ体４０は、仕切板４４０の隙間Ｃを開放する。また、基板収納容器１の内部の気体を、排気部１７から強制的に排気せず、給気部１６から気体を供給するだけの場合は、排気部１７に接続されたバルブ体４０の第２筒部４３０の第２通路４３００側に陽圧が加わることになり、排気部１７に接続されたバルブ体４０は、仕切板４４０の隙間Ｃを開放し、給気部１６に接続されたバルブ体４０は、第１筒部４１０の第１通路４１００側に陽圧が加わることになり、仕切板４４０の隙間Ｃを開放する。

以上説明したとおり、本発明に係る実施形態の基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０に対する気体の流通を制御するバルブ体４０と、を備える基板収納容器１であって、バルブ体４０は、容器本体１０の外部に連通する第１通路４１００と、容器本体１０の内部に連通する第２通路４３００とを仕切る弾性体４４、を有し、弾性体４４は、第１通路４１００に陽圧又は陰圧が加わる場合、及び、第２通路４３００に陽圧又は陰圧が加わる場合のいずれでも、変形することで、容器本体１０に対する気体の流通を可能にするとともに、第１通路４１００及び第２通路４３００に陽圧及び陰圧が加わらない場合に、容器本体１０に対する気体の流通を遮断するものである。また、弾性体４４は、第１通路４１００と第２通路４３００とを仕切る仕切板４４０を有し、仕切板４４０は、少なくとも１本のスリット４４１が形成され、スリット４４１は、変形することで隙間Ｃが形成される。

これにより、バルブ体４０の一方側から気体が導入され（陽圧になり）、所定の圧力値になると、弾性体４４の仕切板４４０の仕切片４４３が変形し、スリット４４１も変形し、仕切片４４３同士の間に隙間Ｃが形成されるため、導入された気体はバルブ体４０の他方側へ供給されることになる。

また、基板収納容器１は、金属性の部材を用いないバルブ体４０を備えているため、収納する基板Ｗに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体４０が作動しないようなことが起こり難い。

さらに、基板収納容器１は、双方向の気体の流通を制御するバルブ体４０を備えているため、同じバルブ体４０を容器本体１０の貫通孔１８に取り付けるだけで、給気部１６や排気部１７の位置や個数にかかわらず、あらゆる気体の給気及び排気ルートに対応することができる。

くわえて、実施形態の基板収納容器１を用いて湿度保持試験を行ったが、時間の経過による湿度低下は、従来のものに対して特に大きな差は見られなかった。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

（変形例）
上記実施形態では、バルブ体４０の弾性体４４は、第１筒部４１０の他端と、第２筒部４３０の他端と、を覆うように取り付けられていたが、固定筒４１及び中蓋筒４３に第１筒部４１０及び第２筒部４３０を形成することなく、固定筒４１及び中蓋筒４３で挟持されるように取り付けられてもよい。

図６は、変形例のバルブ体４０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
図６に示すように、弾性体４４は、外部に連通する固定筒４１の上面と、内部に連通する中蓋筒４３の下面との間に位置し、固定筒４１と保持筒４２とを組み合わせた際に、長手方向に若干押し潰され、挟持された状態で取り付けられている。このとき、第１通路４１００又は第２通路４３００は、固定筒４１、保持筒４２及び中蓋筒４３のいずれかに直接形成される。

また、上記実施形態では、第１筒部４１０の外径及び第２筒部４３０の外径は、すべて等しい直径で形成されていたが、異なる直径で形成されてもよい。また、第１筒部４１０、第２筒部４３０及び弾性体４４は、円筒状に限らず、弾性体４４のスリット４４１によって仕切板４４０が変形することで、容器本体１０に対する気体の流通を制御できれば、どのような形状であってもよい。

さらに、上記実施形態では、保持筒４２は、貫通孔１８に嵌められた固定筒４１の内側に組み合わされたが、逆に、固定筒４１が、貫通孔１８に嵌められた保持筒４２の内側に組み合わされてもよい。また、バルブ体４０は中蓋筒４３を有したが、中蓋筒４３を有さず、第２筒部４３０が保持筒４２に直接形成されてもよい。この場合、フィルタ４６は、保持筒４２に直接接着又は溶着されるとよい。

また、上記実施形態において、フィルタ４６は、バルブ体４０とは別に、気体供給源から、容器本体１０の内部の気体放出口までの気体流路中に配置してもよい。

また、上記実施形態では、弾性体４４は、双方向にほぼ同じ圧力で作動するように構成されていたが、双方向の作動（開放）圧力を異ならせるように構成してもよい。

ところで、上記実施形態では、バルブ体４０は、容器本体１０及び蓋体２０の少なくとも一方に形成された貫通孔１８に取り付けられるように構成されたが、容器本体１０などに設けられた気体流路（配管）、例えば、給気部１６又は排気部１７の少なくとも一方に連通する気体流路の途中に取り付けられるように構成されてもよい。

図７は、第２実施形態の容器本体１０におけるバルブ体４０を示す概略断面図である。
図７に示すように、容器本体１０の開口１１側に位置し、外部の気体供給源からの気体供給配管に連結される気体導入部５０に連通する連通する配管の一端を第１筒部４１０とし、容器本体１０の背面側に位置し、給気部１６又は排気部１７に連通する配管の一端を第２筒部４３０とし、これらを覆うように、弾性体４４を設けて、略パイプ状の構成としてもよい。

このとき、第１筒部４１０及び第２筒部４３０は、剛性の高い樹脂製の配管であっても、可撓性を有するチューブであってもよい。

第２実施形態の基板収納容器１であっても、金属性の部材を用いないバルブ体４０を備えているため、収納する基板Ｗに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体４０が作動しないようなことが起こり難い。

また、気体導入部５０から第１筒部４１０を介したバルブ体４０までの距離が長く、また、気体導入部５０の内部通路５０００と、第１筒部４１０の第１通路４１００とが略直角方向に屈曲しているため、容器本体１０を液体で洗浄した場合でも、バルブ体４０まで液体が届き難くなり、容器本体１０の乾燥後の水残りを防止することができる。そして、バルブ体４０（仕切板４４０）よりも奥側の給気部１６及び排気部１７には、液体が届くことがない。

１ 基板収納容器
１０ 容器本体、１１ 開口、１２ シール面、１３ 支持体、１４ ロボティックフランジ、１５ マニュアルハンドル、１６ 給気部、１７ 排気部、１８ 貫通孔、１８０ リブ
２０ 蓋体、２１ 取付溝、２２ 凸部
３０ パッキン
４０ バルブ体
４１ 固定筒、４１０ 第１筒部、４１１ 通気口、４１２ 螺子溝、４１３ フランジ、４１００ 第１通路、
４２ 保持筒、４２１ 通気口、４２２ 螺子溝、４２３ フランジ、４２４ 区画リブ
４３ 中蓋筒、４３０ 第２筒部、４３００ 第２通路
４４ 弾性体、４４０ 仕切板、４４１ スリット、４４２ 溝部、４４３ 仕切片、４４００ 内部通路
４５ シール部材、４６ フィルタ、４７ シール部材
５０ 気体導入部、５０００ 内部通路
Ｗ 基板
Ｃ 隙間

Claims (8)

1. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって 、
   前記バルブ体は、
   前記容器本体の外部に連通する第１通路と、前記容器本体の内部に連通する第２通路とを仕切る弾性体を有し、
   前記弾性体は、前記第１通路に陽圧又は陰圧が加わる場合、及び、前記第２通路に陽圧又は陰圧が加わる場合のいずれでも、変形することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第１通路及び前記第２通路に陽圧及び陰圧が加わらない場合に、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断し、
   前記気体の流通を可能する圧力が、前記第１通路に陽圧又は陰圧が加わる場合と前記第２通路に陽圧又は陰圧が加わる場合とで異なる
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記弾性体は、前記第１通路と前記第２通路とを仕切る仕切板を有し、
   前記仕切板は、少なくとも１本のスリットが形成され、
   前記スリットは、変形することで隙間が形成される
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記スリットは、０．１ｍｍから１．０ｍｍ幅で形成される
   ことを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記弾性体は、内部通路を有する筒状であるとともに、前記第１通路と、前記内部通路と、前記第２通路と、のみを前記気体が流れるように、前記第１通路と前記第２通路との間を、シールする
   ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
5. 前記第１通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、
   前記第２通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に形成される
   ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
6. 前記第１通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、
   前記第２通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒に形成される
   ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
7. 前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有する
   ことを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
8. 前記バルブ体は、前記容器本体に設けられた気体流路の途中に取り付けられている
   ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

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